JP2009141173A - 貼り合わせ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハWと、排気孔31を備えた基材2の表面の複数の突起を変形可能な保持層5により被覆した基板保持具1とを対向させ、これらW・1を貼り合わせる装置であって、半導体ウェーハWを搭載するステージ10と、ステージ10に搭載された半導体ウェーハWを包囲するエンドレスの周壁20と、基板保持具1の基材2を保持して周壁20に支持される蓋体30とを備える。ステージ10と周壁20との間に、エンドレスのシールゴム21と周壁20支持用の複数のコイルバネ22とをそれぞれ介在し、複数のコイルバネ22により周壁20をステージ10から離隔する上方向に弾圧付勢する。
【選択図】図6
Description
基板を搭載するステージと、このステージに搭載された基板を包囲する周壁と、基板保持具の基材を保持して周壁に支持される蓋体とを備え、ステージと周壁との間に、シール部材と周壁支持用のバネ部材とをそれぞれ介在し、このバネ部材により周壁をステージから離隔(離れ隔てる)する方向に付勢するようにしたことを特徴としている。
また、基板保持具の基材を保持する蓋体の排気孔に接続される排気装置を備え、この排気装置に複数の弁を付設(付属的に設ける)することが好ましい。
さらに、周壁と蓋体の対向面のいずれか一方に、Oリングを取り付けると良い。
また、基板保持具の基材を保持する蓋体の排気孔に接続される排気装置を備えれば、構成の複雑なチャック装置等を使用することなく、負圧作用を利用して基板保持具と蓋体とを適切に固定することができる。
さらに、周壁と蓋体の対向面のいずれか一方に、Oリングを取り付ければ、周壁と蓋体との間の密封状態を容易に得ることが可能となり、これらの間から気体が漏れるのを防ぐことができる。
2 基材
4 突起
5 保持層
10 ステージ
11 搭載プレート
13 位置決めピン
20 周壁
21 シールゴム(シール部材)
22 コイルバネ(バネ部材)
24 Oリング
26 排気装置
27 ライン
29 電磁弁(弁)
30 蓋体
31 排気孔
32 ライン
33 電磁弁(弁)
33A 電磁弁(弁)
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (5)
- 基板と、排気孔を備えた基材の表面の複数の突起を変形可能な保持層により被覆した基板保持具とを対向させ、基板に基板保持具の保持層を接近させて貼り合わせる貼り合わせ装置であって、
基板を搭載するステージと、このステージに搭載された基板を包囲する周壁と、基板保持具の基材を保持して周壁に支持される蓋体とを備え、ステージと周壁との間に、シール部材と周壁支持用のバネ部材とをそれぞれ介在し、このバネ部材により周壁をステージから離隔する方向に付勢するようにしたことを特徴とする貼り合わせ装置。 - ステージ、周壁、蓋体、及びシール部材に区画される空間内の気体を外部に排気する排気装置を備え、この排気装置に弁を付設した請求項1記載の貼り合わせ装置。
- 基板保持具の基材を保持する蓋体の排気孔に接続される排気装置を備え、この排気装置に複数の弁を付設した請求項1又は2記載の貼り合わせ装置。
- ステージと周壁の少なくともいずれか一方に、蓋体用の位置決めピンを取り付けた請求項1、2、又は3記載の貼り合わせ装置。
- 周壁と蓋体の対向面のいずれか一方に、Oリングを取り付けた請求項1ないし4いずれかに記載の貼り合わせ装置。
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