JP2002090758A - 液晶表示パネル製造装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板どうしの隙間距離精度の悪化に起因した
液晶表示パネルの品質低下を防止可能な、液晶表示パネ
ル製造装置、及び方法を提供する。 【解決手段】 接着剤４が塗布され液晶材料３が滴下さ
れた第１基板１７１と、第２基板１７２とを合体させ
て、真空雰囲気中にて両基板を合体させて液晶表示パネ
ルを作製する製造装置及び方法において、上記第１基板
を支持する第１基板支持面１２４１ａ、及び上記第２基
板を支持する第２基板支持面１２５１ａの表面粗さを矯
正して第１基板と第２基板との隙間距離精度を設計値以
内とする弾性シート材を備えた。該弾性シート材によ
り、上記両基板間の隙間距離精度が悪化せず、又、両基
板間の水平方向への位置決め精度が悪化しない。よっ
て、塵埃に起因した液晶表示パネルの品質低下を防止可
能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばパーソナル
コンピュータやテレビ受像機等の画像表示パネルとして
用いられる液晶表示パネルの製造装置、及び製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の液晶表示パネルの製造装置につい
て、図１０〜図１７を用いて説明する。図１０に示すよ
うに、液晶表示パネル２０の構造は、例えばガラス等の
透光性材料からなる下基板１及び上基板２を一定の間隔
にて対向配置させ、上記間隔にて形成された空間に液晶
材料３が充填された構造であり、下基板１及び上基板２
は紫外線硬化型の接着剤４にて貼り合わされている。
又、接着剤４には下基板１と上基板２との間隔を一定に
保つため、直径５μｍのスペーサ５が含まれている。こ
のように液晶材料３を接着剤４の内側に配置する一方法
として液晶滴下工法があり、該工法を図１１〜図１７に
示す。

【０００３】まず第１工程では図１１に示すように、透
光性材料からなる下基板１の周囲に接着剤４を厚み３０
μｍで塗布した後、図１２に示す第２工程にて、接着剤
４にて囲まれる下基板１上の領域に液晶材料３を滴下す
る。第３工程では、図１３に示すように、チャンバー１
１内に設けられ下基板１及び後述の上基板２の厚み方向
に直交する水平方向に移動可能でありかつ吸引機構８を
有するテーブル７上に下基板１を載置し、吸着機構８に
よる真空吸着動作にて下基板１の全面をテーブル７上に
密着し固定する。次に、図１４に示す第４工程では以下
の動作が行われる。即ち、上記チャンバー１１には、加
圧機構１０を有し該加圧機構１０にて上記厚み方向に沿
ってチャンバー１１内を移動可能でありかつ吸着機構９
を有する可動板１２が設けられており、吸着機構９にて
上基板２の外面２ａの全面を可動板１２に密着固定す
る。次に、蓋１３にてチャンバー１１を閉じた後、チャ
ンバー１１内を真空状態に吸引する。さらに、真空状態
となったチャンバー１１において、上基板２を保持して
いる可動板１２を加圧機構１０の動作により上記厚み方
向に沿って移動させて上基板２と液晶材料３及び接着剤
４とを接触させる。

【０００４】次に、図１５に示す第５工程では、当該液
晶表示パネルにおける各画素部分に対応して、各画素に
おける液晶材料駆動部が位置ずれすることなく配置され
るように、下基板１を保持したテーブル７を上記水平方
向に移動させて、下基板１と上基板２との位置合わせを
行う。次に、図１６に示す第６工程では、加圧機構１０
を動作させて可動板１２を上記厚み方向に沿い下基板１
側へ下降させて、接着剤４を介して上基板２を下基板１
に貼り合わせ、上基板２と下基板１との隙間の距離が５
μｍとなるまで加圧する。その後、上述のようにして一
体となった下基板１及び上基板２は、チャンバー１１内
から取り出され、図１７に示す第７工程において紫外線
ランプ６から紫外線を照射して接着剤４を硬化させて、
下基板１と上基板２との貼り合わせが完了する。以上の
工程により１枚の液晶表示パネル２０が完成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一方、画像不良や画像
むらのない液晶表示パネルを作製するためには、上述の
ように、上基板２と下基板１との隙間の距離を上記５μ
ｍで、その精度を±０．３μｍ以内にする必要があり、
そのためには下基板１と接触するテーブル７の下基板支
持面７ａ、及び上基板２と接触する可動板１２の上基板
支持面１２ａの各平面度は１μｍ以下である必要があ
る。このように各支持面７ａ，１２ａの各平面度は、上
記隙間距離精度に影響し、上記各支持面７ａ，１２ａの
各平面度が上記１μｍを超えるときには、上記隙間距離
精度が悪化するという問題がある。本発明は、このよう
な問題点を解決するためになされたもので、上記隙間距
離精度の悪化に起因する液晶表示パネルの品質低下を防
止する、液晶表示パネル製造装置及び方法を提供するこ
とを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の第1態様におけ
る液晶表示パネル製造装置は、真空容器内に設けられ、
液晶表示パネルを構成する第１基板と第２基板とが互い
に対向して配置された液晶表示パネル製造装置であっ
て、上記第１基板を保持する第１基板保持装置及び上記
第２基板を保持する第２基板保持装置の少なくとも一方
に静電気にて基板保持作用を行う静電保持装置を設け、
上記第１基板保持装置と上記第１基板との間、及び上記
第２基板保持装置と上記第２基板との間の少なくとも一
方に弾性シート材を備えたことを特徴とする。

【０００７】又、上記静電保持装置と上記弾性シート材
とを同じ側に設けた場合、上記弾性シート材は、導電性
材料を含有するように構成することもできる。

【０００８】又、上記第１基板保持装置及び上記第２基
板保持装置のいずれか一方に上記静電保持装置が備わる
とき、他方には吸引動作にて基板保持を行う吸引装置を
備えるように構成することもできる。

【０００９】又、上記吸引装置と上記弾性シート材とを
同じ側に設けた場合、上記弾性シート材は、上記第１基
板を保持可能とする吸引穴を有するように構成すること
もできる。

【００１０】本発明の第２態様における液晶表示パネル
製造方法は、真空状態で第１基板及び第２基板が互いに
対向して液晶表示パネルを製造する液晶表示パネル製造
方法であって、上記第１基板及び上記第２基板の少なく
とも一方を弾性シート材を介して保持する工程と、保持
した上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせる工程
と、を有し、上記第１基板及び上記第２基板の少なくと
も一方は静電気にて保持することを特徴とする。

【００１１】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態における液晶表
示パネル製造装置、及び該液晶表示パネル製造装置にて
実行される液晶表示パネル製造方法について、図を参照
しながら以下に説明する。尚、各図において同じ構成部
分に付いては同じ符号を付している。又、本実施形態の
液晶表示パネル製造装置にて製造される液晶表示パネル
は、例えば４〜２３インチ程度の大きさのものであり、
一つのいわゆるマザーガラスからそれぞれの液晶表示パ
ネルに分割して個片取りが可能な上記マザーガラスタイ
プのものや、一対の構成基板にて一つの液晶表示パネル
を形成するタイプのものがある。

【００１２】本実施形態の液晶表示パネル製造装置の基
本的な構造は、例えば図１４等に示される従来の液晶表
示パネル製造装置に類似するが、本実施形態の液晶表示
パネル製造装置は、特徴的な構成部分として静電保持装
置と弾性シート材とを備える。即ち、以下に詳しく述べ
るが、液晶表示パネルを製造するための真空容器内に
は、上記液晶表示パネルを構成する第１基板を保持する
第１基板保持装置と、上記真空容器内にて上記第１基板
保持装置に対向して設けられ、上記液晶表示パネルを構
成する第２基板を保持する第２基板保持装置とが備わ
る。上記静電保持装置は、上記第１基板保持装置及び上
記第２基板保持装置の少なくとも一方に備わり静電気を
発生し該静電気にて基板保持作用を行う装置である。
又、上記弾性シート材は、上記第１基板保持装置に備わ
る第１定盤の第１基板支持面と上記第１基板との間、及
び上記第２基板保持装置に備わる第２定盤の第２基板支
持面と上記第２基板との間の少なくとも一方に備わり、
上記第１基板及び上記第２基板の少なくとも一方が上記
静電保持装置にて保持されている状態において上記真空
容器内にて液晶材料を密封して上記第１基板と第２基板
とが合体したときに、上記第１基板支持面及び第２基板
支持面における表面粗さを矯正して上記第１基板と第２
基板との隙間の距離精度を設計値以内とする部材であ
る。このように構成される本実施形態の液晶表示パネル
製造装置について以下に詳しく説明する。

【００１３】図１に示すように、本実施形態の液晶表示
パネル製造装置１０１には、真空容器１２３内に、第１
基板保持装置１２４及び第２基板保持装置１２５を有す
るとともに、第１基板保持装置１２４に上述の弾性シー
ト材１２６を備え、第２基板保持装置１２５に上述の静
電保持装置１２７を有する。又、真空容器１２３には真
空装置１２２が接続され、蓋１２３１にて真空容器１２
３を密閉後、真空装置１２２による吸引にて当該真空容
器１２３の内部は真空状態となる。

【００１４】上記第１基板保持装置１２４は、例えばガ
ラスやプラスチック等の透光性材料からなり当該液晶表
示パネル１７４を構成する第１基板１７１を真空容器１
２３内で、本実施形態では吸着動作にて保持する装置で
あり、第１定盤１２４１と、第１定盤駆動装置１２４２
と、第１定盤吸引装置１２４３と、上記弾性シート材１
２６とを有する。弾性シート材１２６は、上記第１定盤
１２４１の支持面１２４１ａのほぼ全面に設けられ、か
つ弾力性を有し、本実施形態では厚み約１ｍｍにてなる
シート状の部材である。該弾性シート材１２６の載置面
１２６１上には第１基板１７１が載置される。尚、本実
施形態では図示するように、弾性シート材１２６は、上
記第１定盤１２４１の支持面１２４１ａに対応した大き
さにてなるが、これに限定されるものではなく、少なく
とも第１基板１７１と同一の大きさを有すれば良い。

【００１５】このような弾性シート材１２６は、部材内
部に気泡を内包しない構造、つまり気体非密封構造の部
材が利用される。即ち、上述のように真空容器１２３内
は真空状態となるため、弾性シート材１２６内に気泡が
内包されていると真空状態下において上記気泡が膨張し
弾性シート材１２６の変形を招き、第１基板１７１の平
坦度を悪化させるからである。上記気体非密封構造を採
用するためには、弾性シート材１２６の材料として、シ
リコンゴム又はフッ素ゴムを利用するのが好ましい。

【００１６】さらに、当該弾性シート材１２６は、上述
のように、第１定盤１２４１の上記支持面１２４１ａに
おける表面粗さを矯正して第１基板１７１と第２基板１
７２との隙間の距離１７３の精度を設計値以内とするも
のであるので、上記矯正及び隙間の距離精度維持動作を
可能とする弾力性を有する必要がある。よって、厚み約
１ｍｍのシート状のシリコンゴムそのものでは、硬過ぎ
て上述の機能を発揮するのが困難となる場合もある。よ
って、本実施形態では、弾性シート材１２６は、該弾性
シート材１２６を厚み方向に貫通する複数の貫通穴１２
６２を有し、該貫通穴により硬度の低減を図り上述の機
能を発揮させている。具体的には、例えば一辺８００ｍ
ｍの正方形状で厚み約１ｍｍの弾性シート材において、
直径５ｍｍの貫通穴１２６２を全面に一定間隔にて約１
５００個形成している。

【００１７】上記第１定盤１２４１には、制御装置１８
０にて動作制御される上記第１定盤吸引装置１２４３が
接続され、第１基板１７１の外面１７１１に対応して上
記支持面１２４１ａに開口する複数の吸引孔１２４４を
通して第１定盤吸引装置１２４３による吸引が行われ
る。上述のように、第１定盤１２４１の支持面１２４１
ａ上には弾性シート材１２６が設けられ、該弾性シート
材１２６上に第１基板１７１が載置され、又、弾性シー
ト材１２６には貫通穴１２６２が形成されている。ここ
で、弾性シート材１２６の貫通穴１２６２は、第１定盤
１２４１の吸引孔１２４４に対応する個所に形成されて
いるのが好ましく、弾性シート材１２６を第１定盤１２
４１上に正しく位置決めした状態で、上記吸引孔１２４
４と上記貫通穴１２６２とは連通するようにしてある。
よって、第１定盤吸引装置１２４３による吸引が行われ
ることで、第１定盤１２４１の吸引孔１２４４及び弾性
シート材１２６の貫通穴１２６２を通して、弾性シート
材１２６の載置面１２６１に第１基板１７１が隙間なく
密着して吸引保持、即ち真空保持される。

【００１８】又、第１基板１７１を弾性シート材１２６
に十分に真空保持するためには、弾性シート材１２６に
おいて、第１基板１７１の外面１７１１に接する接触領
域の面積に対する全貫通穴１２６２の合計面積の比、つ
まり開口率は、約１０％以上とするのが好ましい。又、
貫通穴１２６２の穴径が過剰に大きいと、この貫通穴１
２６２に隣接する部分の第１基板１７１が変形する可能
性がある。このような第１基板１７１の変形を防止する
ために、貫通穴１２６２の穴径は、５ｍｍ以下とするの
が好ましい。

【００１９】又、図１には図示していないが、上記第１
定盤１２４１には、上記真空容器１２３の底部１２３２
と第１定盤１２４１との間に設けられ第１定盤１２４１
を水平方向１２４５へ可動とする移動部が備わる。上記
水平方向１２４５とは、上記弾性シート材１２６上に載
置される上記第１基板１７１の厚み方向に直交する方向
である。

【００２０】次に、上記第２基板保持装置１２５は、例
えばガラスやプラスチック等の透光性材料からなり当該
液晶表示パネル１７４を構成する第２基板１７２を真空
容器１２３内で保持するとともに、保持している第２基
板１７２を上記第１基板１７１側へ移動させ上記第１基
板１７１と上記第２基板１７２との距離１７３を設計値
に設定する装置であり、第２定盤１２５１と、第２定盤
駆動装置１２５２と、静電保持装置１２７とを有する。
上記第２定盤１２５１は、上記真空容器１２３に対して
取り外し可能であり、図１に示すように真空容器１２３
内に取り付けられたときには、上記第１定盤１２４１に
対向して配置され、かつ上記真空容器１２３の壁面１２
３３にてガイドされながら、制御装置１８０にて動作制
御される上記第２定盤駆動装置１２５２によって第２基
板１７２の厚み方向に移動自在に設けられる。さらに、
本実施形態では、第２定盤１２５１の支持面１２５１ａ
の全面には、上記第２基板１７２の外面１７２１の全面
を支持し、かつ発生させる静電気にて第２基板１７２を
保持する静電保持装置１２７が取り付けられている。

【００２１】該静電保持装置１２７は、図９に示すよう
に、例えばセラミック等にてなる板状の基材１２７２内
に、コイル１２７３を封入した構造にてなり、上述のよ
うに、基材１２７２の周縁部と第２定盤１２５１とを本
実施形態ではネジ止めすることで、第２定盤１２５１の
支持面１２５１ａに固定される。又、第２定盤１２５１
に上記基材１２７２が取り付けられた後、基材１２７２
における保持面１２７１は、その平面度が１μｍ以下に
なるように研磨される。該静電保持装置１２７は、制御
装置１８０にて動作制御され、上記コイル１２７３に電
圧を印加することで静電気を発生させる。該静電保持装
置１２７が静電気を発生することで、静電保持装置１２
７における上記基材１２７２の保持面１２７１に第２基
板１７２は静電保持、即ち静電吸着される。上述のよう
に静電保持装置１２７は第２基板１７２を保持すること
から、発生させる静電気力は、第２基板１７２を保持可
能な力であり、又、第２基板１７２のサイズ等に応じて
上記制御装置１８０にて変更可能であり、例えば１０Ｎ
／ｍ ²以上である。

【００２２】又、静電保持装置１２７に第２基板１７２
が吸着されている状態にて、上記第２定盤駆動装置１２
５２は、弾性シート材１２６に吸着されている第１基板
１７１に第２基板１７２が近接するように、第２定盤１
２５１に取り付けられている静電保持装置１２７を第１
基板１７１側へ移動し、第１基板１７１と第２基板１７
２との距離１７３を設計値、本実施形態では５μｍとす
る。

【００２３】尚、本実施形態では、第２定盤１２５１に
第２定盤駆動装置１２５２を設けて第２基板１７２を第
１基板１７１側へ移動させているが、この構成に限定さ
れるものではない。つまり、第１基板１７１を第２基板
１７２側へ移動させるように構成してもよいし、又、第
１基板１７１及び第２基板１７２の両方を移動させても
よい。要するに、第１基板１７１及び第２基板１７２
を、これら基板の厚み方向へ相対的に移動させれば良
い。

【００２４】以上のように構成される液晶表示パネル製
造装置１０１における動作、つまり液晶表示パネル製造
方法について以下に説明する。又、上記液晶表示パネル
製造方法は、制御装置１８０の制御により実行される。
まず、図２に示すように、図１２に示す場合と同様に、
第１基板１７１の内面１７１２上に、液晶材料３と、該
液晶材料３を取り囲み第１基板１７１の全周にわたり接
着剤４とが塗布された、半完成基板１７６を弾性シート
材１２６の載置面１２６１に載置する。尚、液晶材料３
及び接着剤４の塗布量は、第１基板１７１の内面１７１
２から高さ１７５にてなる量であり、本実施形態では該
高さ１７５を３０μｍとしている。そして、大気圧中に
おいて、上記第１定盤吸引装置１２４３を動作させて、
半完成基板１７６の第１基板１７１の外面１７１１の全
面を弾性シート材１２６に吸着させて半完成基板１７６
を弾性シート材１２６に固定する。

【００２５】次に、上記静電保持装置１２７を動作させ
て、大気圧中にて、当該静電保持装置１２７の保持面１
２７１に、第２基板１７２の外面１７２１の全面を静電
吸着して、第２基板１７２を固定する。このように第２
基板１７２を固定している静電保持装置１２７を取り付
けた第２定盤１２５１を、第１基板１７１と第２基板１
７２とが対向するようにして真空容器１２３内に装着し
た後、蓋１２３１にて真空容器１２３を密閉し、真空装
置１２２にて真空容器１２３内を真空状態にする。さら
に、基板保持装置１２５の第２定盤駆動装置１２５２を
動作させて、第２定盤１２５１、つまり第２基板１７２
を第１基板１７１側へ移動させ、図３に示すように、第
１基板１７１上に塗布されている接着剤４又は液晶部材
３に、第２基板１７２の内面１７２２を接触させる。

【００２６】次に、当該液晶表示パネルにおける各画素
部分に対応して、各画素における液晶材料駆動部が位置
ずれすることなく配置されるように、図４に示すよう
に、第１基板保持装置１２４の第１定盤駆動装置１２４
２を動作させて、第１基板１７１を間接的に保持してい
る第１定盤１２４１を、第１基板１７１の厚み方向に直
交する直交方向、ここでは水平方向１２４５に移動さ
せ、第１基板１７１と第２基板１７２との位置合わせを
行う。尚、本実施形態では、第１基板１７１を水平方向
１２４５に移動させているが、これに限定されるもので
はない。要するに第１基板１７１と第２基板１７２との
上記位置合わせを行えば良いことから、第１基板１７１
と第２基板１７２とを水平方向１２４５へ相対的に移動
させる構成を採ればよい。

【００２７】上記位置合わせ後、さらに上記第２定盤駆
動装置１２５２を動作させて、図１に示すように、第１
基板１７１と第２基板１７２との隙間の距離１７３が設
計値である、本実施形態では５μｍとなるまで、第２定
盤１２５１、つまり第２基板１７２を第１基板１７１側
へ移動させる。該移動により、及び真空容器１２３内は
真空状態であることにより、液晶材料３は、第１基板１
７１の内面１７１２上であって、接着剤４にて囲まれた
内側領域に、気泡を含むことなく密閉される。又、上記
５μｍは、接着剤４に含まれる球状のスペーサ５の大き
さに等しく、第２基板１７２はスペーサ５にて移動が制
限されるまで第１基板１７１側へ移動する。

【００２８】上述のように第１基板１７１と第２基板１
７２とを距離１７３にて位置するとき、弾性シート材１
２６を備えていることで以下のような効果を得ることが
できる。即ち、「発明が解決する課題」の欄にて説明し
たように、上記距離１７３の精度を維持するため、例え
ば第１定盤１２４１の支持面１２４１ａの平面度は従来
１μｍ以下にする必要がある。ここで該平面度とは、図
５に示すように、上記支持面１２４１ａにおける凹凸の
最下位置と最上位置との高低差１７７が相当する。尚、
図５は、弾性シート材１２６による効果を説明するた
め、上記支持面１２４１ａの平面度を誇張して図示して
いる。しかしながら本実施形態では、上記第１定盤１２
４１の支持面１２４１ａの上記平面度が上記１μｍを超
えている場合であっても、第２基板１７２が保持されて
いる静電保持装置１２７の上記保持面１２７１における
平面度が１μｍ以下を満していれば、距離１７３になる
ように第２定盤駆動装置１２５２にて第２基板１７２が
第１基板１７１に押圧されたときには、弾性シート材１
２６の作用により第１基板１７１と第２基板１７２とは
距離１７３を維持して設置することができる。つまり、
上述したように、弾性シート材１２６は、上記矯正及び
上記隙間距離精度維持動作を可能とする弾力性を有する
ことから、上記押圧動作により、上記支持面１２４１ａ
に接している弾性シート材１２６の定盤接触面１２６２
は支持面１２４１ａの凹凸に対応して変形する。これと
同様に、第１基板１７１に接している弾性シート材１２
６の載置面１２６１も、上記１μｍ以下の平面度を満足
している上記保持面１２７１に静電保持、つまり静電吸
着されている第２基板１７２に第１基板１７１が倣い、
かつ第２基板１７２との隙間の距離１７３が維持される
ように、第１基板１７１を支持する。よって、たとえ第
１定盤１２４１の支持面１２４１ａの上記平面度が上記
１μｍを超えている場合であっても、弾性シート材１２
６により、第１基板１７１と第２基板１７２との距離１
７３を、第１基板１７１及び第２基板１７２の全面にわ
たり設計値つまり５μｍに維持することができる。

【００２９】上述のようにして距離１７３にて第１基板
１７１と第２基板１７２とが合体した後、第２定盤駆動
装置１２５２による押圧動作及び静電保持装置１２７に
よる静電保持動作を終了し、さらに真空容器１２３内を
大気圧に戻して、合体している第１基板１７１及び第２
基板１７２からなる液晶表示パネル１７４を真空容器１
２３外の紫外線照射位置まで搬出する。そして図６に示
すように、上記液晶表示パネル１７４に対して、紫外線
ランプ６から紫外線を照射して接着剤４を硬化させて、
第１基板１７１と第２基板１７２との貼り合わせが完了
する。以上の工程により１枚の液晶表示パネルが完成す
る。

【００３０】以上説明したように本実施形態の液晶表示
パネル製造装置１０１によれば、例えば、たとえ第１定
盤１２４１の支持面１２４１ａの上記平面度が上記１μ
ｍを超えている場合であっても、弾性シート材１２６を
設けたことで、第１基板１７１と第２基板１７２との隙
間の距離１７３を、第１基板１７１及び第２基板１７２
の全面にわたり設計値つまり５μｍに維持することがで
きる。又、静電保持装置１２７を設けたことで、第２基
板１７２を保持でき、さらに第２基板１７２のアライメ
ントが可能となる。

【００３１】尚、上述した実施形態では、第１定盤１２
４１に弾性シート材１２６を設けたが、逆に、第１定盤
１２４１には弾性シート材１２６を設けず、静電保持装
置１２７の上記保持面１２７１と第２基板１７２との間
に弾性シート材１２６を設けても良い。尚、この場合に
は、第１定盤１２４１の支持面１２４１ａは、１μｍ以
下の平面度を有しており、一方、静電保持装置１２７の
保持面１２７１は１μｍ以下又は１μｍを超える平面度
のどちらであってもよい。さらに又、第１定盤１２４１
上、及び静電保持装置１２７の上記保持面１２７１上の
両方に弾性シート材１２６を設けることもできる。この
場合には、第１定盤１２４１の支持面１２４１ａ、及び
静電保持装置１２７の保持面１２７１は、１μｍ以下又
は１μｍを超える平面度のどちらであってもよい。

【００３２】又、上述の実施形態では、第２基板１７２
のみを静電保持装置１２７にて保持するように構成した
が、該構成に限定されるものではない。即ち、第１定盤
１２４１上に静電保持装置１２７を取り付けて第１基板
１７１を静電保持、つまり静電吸着し、第２定盤１２５
１には第１定盤吸引装置１１２４３に相当する吸引装置
を取り付けて第２基板１７２を吸引保持、つまり真空保
持するように構成することもできる。さらに、第１定盤
１２４１及び第２定盤１２５１の両方に静電保持装置１
２７を取り付けて、第１基板１７１及び第２基板１７２
の両方を静電吸着するように構成することもできる。

【００３３】又、図７に示すように、弾性シート材１２
６を静電保持装置１２７上に取り付ける構造を採ると
き、該弾性シート材１２６を介して例えば第２基板１７
２を静電保持することになるが、図１に示す場合のよう
に静電保持装置１２７に第２基板１７２が直接接して静
電保持される場合に比べて静電保持力の低下が問題とな
る。そこで、弾性シート材１２６を静電保持装置１２７
上に取り付けるときには、弾性シート材１２６内には、
静電保持装置１２７の発生する静電気の減衰を抑え基板
の静電保持を可能とする導電性材料１２６３、例えば鉄
や銅等の金属粒や金属粉を含有させておくのが好まし
い。又、図７に示すように、静電保持装置１２７にて弾
性シート材１２６を介して例えば第２基板１７２を静電
保持するとき、該弾性シート材１２６には、基板吸引用
の吸引穴は設けなくてもよい。但し、上述のように弾性
シート材１２６の弾力性を得るための貫通穴１２６２は
必要である。

【００３４】又、第１基板１７１と第２基板１７２との
合体後、真空容器１２３内から液晶表示パネル１７４を
搬出するときに、上記液晶表示パネル１７４を弾性シー
ト材１２６から容易に剥離可能とし液晶表示パネル１７
４に不要な力が作用して液晶表示パネル１７４が変形す
るのを防止するため、図８に示すように例えば第１基板
１７１と弾性シート材１２６との間に、ポリエチレンか
らなる剥離シート１３１を設けることもできる。尚、図
８に示すように例えば第１基板１７１が真空保持される
ときには、剥離シート１３１には、弾性シート材１２６
の貫通穴１２６２に連通する複数の貫通穴１３１１が形
成されており、第１定盤１２４１の吸引孔１２４４を通
しての吸引動作により剥離シート１３１上に第１基板１
７１が吸引保持可能となっている。

【００３５】尚、上記剥離シート１３１に代えて、上記
弾性シート材１２６における基板載置面１２６１にフッ
素又はテフロン（登録商標）からなる層をコーティング
し、このコーティング層には弾性シート材１２６の貫通
穴１２６２に対応する位置に貫通穴を形成してもよい。

【００３６】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の第１態様の
液晶表示パネル製造装置、及び第２態様の液晶表示パネ
ル製造方法によれば、弾性シート材を備えたことによ
り、真空容器内にて液晶材料を密封して第１基板と第２
基板とを合体したときに、第１基板保持装置及び第２基
板保持装置における各基板支持面における表面粗さを矯
正して上記第１基板と上記第２基板との隙間距離精度を
設計値以内とすることができる。よって、上記隙間距離
精度の悪化に起因する液晶表示パネルの品質低下を防止
することができる。

【００３７】又、弾性シート材を介在させて静電保持装
置にて基板を保持するとき、弾性ソート材に導電性材料
を含有させることで、該弾性シート材上に上記基板を有
効に静電保持可能となる。

【００３８】又、第１基板及び第２基板のいずれか一方
を静電保持し、他方を吸引保持することもできる。この
ような構造を採ることで以下の効果を奏することができ
る。即ち、ＩＴＯ膜の配線が形成されている基板を静電
保持したとき、上記配線に静電破壊が発生する可能性が
ある。よって、静電破壊を生じる可能性のある基板を吸
引保持することで、上記静電破壊を防止することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態における液晶表示パネル製
造装置の構造を説明するための図である。

【図２】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、接着剤及び液晶材料が塗布された第１基板を弾性シ
ート材上に載置する動作を説明するための図である。

【図３】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、第１基板と第２基板とを近接させる動作を説明する
ための図である。

【図４】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、第１基板と第２基板とを近接させときに、第１基板
と第２基板との位置合わせ動作を説明するための図であ
る。

【図５】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、第１基板と第２基板とを近接させ所定の距離に設定
したときに、弾性シート材の変形状態を説明するための
図である。

【図６】 図１に示す液晶表示パネル製造装置にて合体
された液晶表示パネルの接着剤を硬化させる動作を説明
するための図である。

【図７】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、導電性材料を含有する弾性シート材の断面図であ
る。

【図８】 図１に示す液晶表示パネル製造装置におい
て、導電性材料と基板との間に剥離シートを設けた場合
を示す図である。

【図９】 図１に示す液晶表示パネル製造装置に備わる
静電保持装置の構造を示す図である。

【図１０】 従来の液晶表示パネルの断面図である。

【図１１】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板上に接着剤を塗布した状態を示す図であ
る。

【図１２】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板上に液晶材料を塗布した状態を示す図で
ある。

【図１３】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板をテーブル上に配置した状態を示す図で
ある。

【図１４】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板と第２基板とを近接させている状態を示
す図である。

【図１５】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板と第２基板との位置合わせを行っている
状態を示す図である。

【図１６】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、第１基板と第２基板とを所定の距離まで押圧した
状態を示す図である。

【図１７】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一つで
あり、接着剤を硬化させる状態を示す図である。

【符号の説明】

３…液晶材料、４…接着剤、１２３…真空容器、１２４
…第１基板保持装置、１２５…第２基板保持装置、１２
６…弾性シート材、１２７…静電保持装置、１７１…第
１基板、１７２…第２基板、１７３…距離、１７４…液
晶表示パネル、１２３２…底部、１２４１…第１定盤、
１２４１ａ…第１基板支持面、１２４３…第１定盤吸引
装置、１２５１…第２定盤、１２５１ａ…第２基板支持
面、１２６２…貫通穴、１２６３…導電性材料。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に設けられ、液晶表示パネル
   を構成する第１基板と第２基板とが互いに対向して配置
   された液晶表示パネル製造装置であって、 上記第１基板を保持する第１基板保持装置及び上記第２
   基板を保持する第２基板保持装置の少なくとも一方に静
   電気にて基板保持作用を行う静電保持装置を設け、上記
   第１基板保持装置と上記第１基板との間、及び上記第２
   基板保持装置と上記第２基板との間の少なくとも一方に
   弾性シート材を備えたことを特徴とする液晶表示パネル
   製造装置。
2. 【請求項２】 上記静電保持装置と上記弾性シート材と
   を同じ側に設けた場合、上記弾性シート材は、導電性材
   料を含有する、請求項１記載の液晶表示パネル製造装
   置。
3. 【請求項３】 上記第１基板保持装置及び上記第２基板
   保持装置のいずれか一方に上記静電保持装置が備わると
   き、他方には吸引動作にて基板保持を行う吸引装置を備
   えた、請求項１又は２記載の液晶表示パネル製造装置。
4. 【請求項４】 上記吸引装置と上記弾性シート材とを同
   じ側に設けた場合、上記弾性シート材は、上記第１基板
   を保持可能とする吸引穴を有する、請求項３記載の液晶
   表示パネル製造装置。
5. 【請求項５】 真空状態で第１基板及び第２基板が互い
   に対向して液晶表示パネルを製造する液晶表示パネル製
   造方法であって、 上記第１基板及び上記第２基板の少なくとも一方を弾性
   シート材を介して保持する工程と、 保持した上記第１基板と上記第２基板とを貼り合わせる
   工程と、を有し、上記第１基板及び上記第２基板の少な
   くとも一方は静電気にて保持することを特徴とする液晶
   表示パネル製造方法。
6. 【請求項６】 上記第１基板及び上記第２基板の一方は
   静電気にて保持し、他方は吸引動作にて保持する、請求
   項５記載の液晶表示パネル製造方法。