JP2002090760A - 液晶表示パネル製造装置及び方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 塵埃等の異物に起因した液晶表示パネルの品
質低下を防止可能な、液晶表示パネル製造装置、及び方
法を提供する。 【解決手段】 接着剤４が塗布され液晶材料３が滴下さ
れた第１基板１７１と、第２基板１７２とを合体させ
て、真空雰囲気中にて両基板を合体させて液晶表示パネ
ルを作製する製造装置及び方法において、真空容器内に
存在する塵埃等の異物による上記液晶表示パネルの品質
低下を防止する塵埃防止装置１３０を備えた。該塵埃防
止装置により、上記両基板間の隙間精度が悪化せず、
又、両基板間の水平方向への位置決め精度が悪化しな
い。よって、上記異物に起因した液晶表示パネルの品質
低下を防止可能である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばパーソナル
コンピュータやテレビ受像機等の画像表示パネルとして
用いられる液晶表示パネルの製造装置、及び製造方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の液晶表示パネルの製造装置につい
て、図１３〜図２０を用いて説明する。図１３に示すよ
うに、液晶表示パネル２０の構造は、例えばガラス等の
透光性材料からなる下基板１及び上基板２を一定の間隔
にて対向配置させ、上記間隔にて形成された空間に液晶
材料３が充填された構造であり、下基板１及び上基板２
は紫外線硬化型の接着剤４にて貼り合わされている。
又、接着剤４には下基板１と上基板２との間隔を一定に
保つため、直径５μｍのスペーサ５が含まれている。こ
のように液晶材料３を接着剤４の内側に配置する一方法
として液晶滴下工法があり、該工法を図１４〜図２０に
示す。

【０００３】まず第１工程では図１４に示すように、透
光性材料からなる下基板１の周囲に接着剤４を厚み３０
μｍで塗布した後、図１５に示す第２工程にて、接着剤
４にて囲まれる下基板１上の領域に液晶材料３を滴下す
る。第３工程では、図１６に示すように、チャンバー１
１内に設けられ下基板１及び後述の上基板２の厚み方向
に直交する水平方向に移動可能でありかつ吸引機構８を
有するテーブル７上に下基板１を載置し、吸着機構８に
よる真空吸着動作にて下基板１の全面をテーブル７上に
密着し固定する。次に、図１７に示す第４工程では以下
の動作が行われる。即ち、上記チャンバー１１には、加
圧機構１０を有し該加圧機構１０にて上記厚み方向に沿
ってチャンバー１１内を移動可能でありかつ吸着機構９
を有する可動板１２が設けられており、吸着機構９にて
上基板２の外面２ａの全面を可動板１２に密着固定す
る。次に、蓋１３にてチャンバー１１を閉じた後、チャ
ンバー１１内を真空状態に吸引する。さらに、真空状態
となったチャンバー１１において、上基板２を保持して
いる可動板１２を加圧機構１０の動作により上記厚み方
向に沿って移動させて上基板２と液晶材料３及び接着剤
４とを接触させる。

【０００４】次に、図１８に示す第５工程では、当該液
晶表示パネルにおける各画素部分に対応して、各画素に
おける液晶材料駆動部が位置ずれすることなく配置され
るように、下基板１を保持したテーブル７を上記水平方
向に移動させて、下基板１と上基板２との位置合わせを
行う。次に、図１９に示す第６工程では、加圧機構１０
を動作させて可動板１２を上記厚み方向に沿い下基板１
側へ下降させて、接着剤４を介して上基板２を下基板１
に貼り合わせ、上基板２と下基板１との隙間の距離が５
μｍとなるまで加圧する。その後、上述のようにして一
体となった下基板１及び上基板２は、チャンバー１１内
から取り出され、図２０に示す第７工程において紫外線
ランプ６から紫外線を照射して接着剤４を硬化させて、
下基板１と上基板２との貼り合わせが完了する。以上の
工程により１枚の液晶表示パネル２０が完成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】一方、画像不良や画像
むらのない液晶表示パネルを作製するためには、上述の
ように、上基板２と下基板１との隙間の距離を上記５μ
ｍで、その精度を±０．３μｍ以内にする必要があり、
そのためには下基板１と接触するテーブル７の下基板支
持面７ａ、及び上基板２と接触する可動板１２の上基板
支持面１２ａの各平面度は１μｍ以下である必要があ
る。したがって、下基板支持面７ａや上基板支持面１２
ａにゴミやガラス片が存在していると、上基板２と下基
板１との隙間の寸法精度が悪化してしまい、画像不良や
画像むらが生じ液晶表示パネルの品質を低下させてしま
うという問題がある。

【０００６】又、従来の液晶表示パネル製造装置では、
上述のようにチャンバー１１内を真空状態にするため、
真空状態になるまでの時間を短くするためチャンバー１
１の大きさを小さくする必要がある。よって、上記水平
方向へテーブル７を可動とする機構は、例えば図１８に
示すように、テーブル７とチャンバー１１の底面との間
に鋼球１５を設けた構造を採っている。従って、ゴミや
ガラス片等が鋼球１５に接触すると、テーブル７の上記
水平移動が円滑に行えなくなり、上基板２と下基板１と
の位置合わせ精度が悪化するという問題もある。このよ
うに下基板１と上基板２との間の位置合わせ精度が悪化
すると、各画素の構成部分と、各画素における液晶材料
駆動部とが位置ずれするので、画像不良や画像むらを生
じ、液晶表示パネルの品質が低下する。本発明は、この
ような問題点を解決するためになされたもので、塵埃等
の異物に起因した液晶表示パネルの品質低下を防止す
る、液晶表示パネル製造装置及び方法を提供することを
目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の第１態様の液晶
表示パネル製造装置は、真空容器内に設けられ液晶表示
パネルを構成する第１基板と第２基板とが互いに対向し
て配置されて上記液晶表示パネルを製造する液晶表示パ
ネル製造装置であって、上記第１基板を保持する第１基
板保持装置、及び上記第２基板を保持する第２基板保持
装置の少なくとも一方に対して異物による上記液晶表示
パネルの品質低下を防止する塵埃防止装置を備えたこと
を特徴とする。

【０００８】又、上記第２基板保持装置は、上記第２基
板を水平に保持する第２基板支持面を有し、該第２基板
保持装置に対して上記塵埃防止装置を設けるとき、上記
塵埃防止装置は、上記第２基板支持面の異物を除去する
第２基板支持面塵埃除去装置を有することもできる。

【０００９】又、上記第２基板支持面塵埃除去装置は、
上記第２基板支持面に接触し上記第２基板支持面の異物
を除去する第２基板支持面塵埃除去部材と、該第２基板
支持面塵埃除去部材を上記第２基板支持面に沿って移動
させる第２基板支持面塵埃除去部材移動装置とを有する
こともできる。

【００１０】又、上記第１基板保持装置は、上記第１基
板を水平に保持する第１基板支持面を有し、該第１基板
保持装置に対して上記塵埃防止装置を設けるとき、上記
塵埃防止装置は、上記第１基板支持面の異物を除去する
第１基板支持面塵埃除去装置を有し、該第１基板支持面
塵埃除去装置は、上記第１基板支持面に接触し上記第１
基板支持面の異物を除去する第１基板支持面塵埃除去部
材と、該第１基板支持面塵埃除去部材を上記第１基板支
持面に沿って移動させる第１基板支持面塵埃除去部材移
動装置とを有することもできる。

【００１１】又、上記第１基板保持装置は水平方向に可
動であり、該可動部分に異物の侵入を防止する塵埃侵入
防止部を上記第１基板保持装置と上記真空容器との間に
設けることもできる。

【００１２】又、上記塵埃侵入防止部は、一端が上記真
空容器に保持され、他端が上記第１基板保持装置に保持
され、上記第１基板保持装置を水平方向に移動自在とす
る第１塵埃侵入防止部材にて構成することもできる。

【００１３】又、上記塵埃侵入防止部は、上記第１基板
保持装置に対向する上記真空容器の底部に立設され、上
記第１基板保持装置の可動部分を包囲する第２塵埃侵入
防止部材にて構成することもできる。

【００１４】又、上記第１基板保持装置における上記第
２塵埃侵入防止部材の対向する部分は凹部形状であり、
上記第２塵埃侵入防止部材が非接触な状態にて凹部に進
入するように構成することもできる。

【００１５】又、上記塵埃侵入防止部は、上記第１基板
保持装置の可動部分を包囲する領域の近傍で上記真空容
器の底部に開口する吸引口と、該吸引口に接続され異物
を吸引する塵埃吸引装置とを有することもできる。

【００１６】本発明の第２態様の液晶表示パネル製造方
法は、真空状態で第１基板と第２基板とが互いに対向し
て液晶表示パネルを構成する液晶表示パネル製造方法で
あって、上記第１基板を保持する第１基板保持装置、及
び上記第２基板を保持する第２基板保持装置の少なくと
も一方に対して異物による上記液晶表示パネルの品質低
下を防止する塵埃除去工程と、上記第１基板と上記第２
基板とを貼り合わせる工程と、を備えたことを特徴とす
る。

【００１７】

【発明の実施の形態】本発明の実施形態における液晶表
示パネル製造装置、及び該液晶表示パネル製造装置にて
実行される液晶表示パネル製造方法について、図を参照
しながら以下に説明する。尚、各図において同じ構成部
分に付いては同じ符号を付している。又、本実施形態の
液晶表示パネル製造装置にて製造される液晶表示パネル
は、例えば４〜２３インチ程度の大きさのものであり、
一つのいわゆるマザーガラスからそれぞれの液晶表示パ
ネルに分割して個片取りが可能な上記マザーガラスタイ
プのものや、一対の構成基板にて一つの液晶表示パネル
を形成するタイプのものがある。

【００１８】本実施形態の液晶表示パネル製造装置の基
本的な構造は、例えば図１７等に示される従来の液晶表
示パネル製造装置に類似するが、本実施形態の液晶表示
パネル製造装置は、特徴的な構成部分として塵埃防止装
置を備える。即ち、以下に詳しく述べるが、液晶表示パ
ネルを製造するための真空容器内には、上記液晶表示パ
ネルを構成する第１基板を保持する第１基板保持装置
と、上記真空容器内にて上記第１基板保持装置の上方に
設けられ、上記液晶表示パネルを構成する第２基板を保
持する第２基板保持装置とが備わる。上記塵埃防止装置
は、上記真空容器内に存在する塵埃等の異物が、上記第
１基板保持装置及び上記第２基板保持装置の少なくとも
一方に作用するのを防止し上記異物に起因する上記液晶
表示パネルの品質低下を防止する装置であり、大別し
て、上記塵埃等の異物の作用防止を図ることで上記第１
基板と上記第２基板との隙間寸法の精度を維持して上記
液晶表示パネルの品質を維持する隙間精度維持タイプ
と、第１基板保持機構に備わる移動部への異物作用防止
を図ることで、上記第１基板と上記第２基板との位置合
わせ精度を維持して上記液晶表示パネルの品質を維持す
る配置精度維持タイプとがある。上記隙間精度維持タイ
プの実施形態としては、例えば図９に示す第２隙間精度
維持装置１９０及び図１０に示す第１隙間精度維持装置
１９３があり、上記配置精度維持タイプの実施形態とし
ては、例えば図１、図２、及び図３に示す第１配置精度
維持部１３０、第２配置精度維持部１４０、及び第３配
置精度維持部１５０がある。尚、上記塵埃等の異物と
は、第１基板１７１及び第２基板１７２の材料である例
えばガラス等のくずや、その他真空容器１２３内に侵入
したり真空容器１２３内で発生するゴミ等であって、液
晶表示パネルを構成したときにおける第１基板１７１と
第２基板１７２との隙間の距離１７３の精度を悪化させ
たり、第１基板１７１と第２基板１７２との水平方向に
おける位置決め精度を悪化させる異物をいう。又、上記
配置精度維持部１３０、１４０、１５０が塵埃侵入防止
部に相当する。以下に、順次、各種の上記塵埃防止装置
について説明するが、該塵埃防止装置を備える本実施形
態の液晶表示パネル製造装置１０１について、まず説明
する。

【００１９】図１に示すように、本実施形態の液晶表示
パネル製造装置１０１には、真空容器１２３内に、第１
基板保持装置１２４及び第２基板保持装置１２５を有す
るとともに、上記塵埃防止装置を有する。又、真空容器
１２３には真空装置１２２が接続され、蓋１２３１にて
真空容器１２３を密閉後、真空装置１２２による吸引に
て当該真空容器１２３の内部は真空状態となる。

【００２０】上記第１基板保持装置１２４は、例えばガ
ラスやプラスチック等の透光性材料からなり当該液晶表
示パネル１７４を構成する第１基板１７１を真空容器１
２３内で吸着動作にて保持する装置であり、第１定盤１
２４１と、第１定盤駆動装置１２４２と、第１定盤吸引
装置１２４３とを有する。上記第１定盤１２４１には、
上記真空容器１２３の底部１２３２と第１定盤１２４１
との間に設けられ第１定盤１２４１を水平方向１２４５
へ可動とする移動部１２４６が備わる。本実施形態で
は、該移動部１２４６は、上記底部１２３２に鋼球１５
を回転自在で例えば格子状に配列し、これらの鋼球１５
にて第１定盤１２４１の底部対向面１２４７を支持する
構造である。又、第１定盤１２４１には、上記第１基板
１７１を載置し該第１基板１７１の外面１７１１の全面
を支持する第１基板支持面１２４１ａを有する。上記水
平方向１２４５とは、上記第１定盤１２４１上に載置さ
れる上記第１基板１７１の厚み方向に直交する方向であ
る。このような移動部１２４６を有する第１定盤１２４
１は、当該液晶表示パネル製造装置１０１に備わる制御
装置１８０にて動作制御される上記第１定盤駆動装置１
２４２によって、上記真空容器１２３の底部１２３２上
にて上記水平方向１２４５に移動する。さらに又、第１
定盤１２４１には、制御装置１８０にて動作制御される
上記第１定盤吸引装置１２４３が接続され、第１基板１
７１の外面１７１１に対応して上記支持面１２４１ａに
開口する複数の吸引孔１２４４を通して第１定盤吸引装
置１２４３による吸引が行われる。よって該吸引動作に
より、第１定盤１２４１上に載置された第１基板１７１
は、第１定盤１２４１の支持面１２４１ａに吸着され
る。

【００２１】上記第２基板保持装置１２５は、例えばガ
ラスやプラスチック等の透光性材料からなり当該液晶表
示パネル１７４を構成する第２基板１７２を真空容器１
２３内で吸着動作にて保持するとともに、保持している
第２基板１７２を上記第１基板１７１側へ移動させ上記
第１基板１７１と上記第２基板１７２との隙間の距離１
７３を設計値に設定する装置であり、第２定盤１２５１
と、第２定盤駆動装置１２５２と、第２定盤吸引装置１
２５３とを有する。上記第２定盤１２５１は、上記真空
容器１２３に対して取り外し可能であり、図１に示すよ
うに真空容器１２３内に取り付けられたときには、上記
第１定盤１２４１に対向して配置され、かつ上記真空容
器１２３の壁面１２３３にてガイドされながら、制御装
置１８０にて動作制御される上記第２定盤駆動装置１２
５２によって第２基板１７２の厚み方向に移動自在に設
けられる。さらに、第２定盤１２５１は、上記第２基板
１７２の外面１７２１の全面を支持する支持面１２５１
ａを有し、又、制御装置１８０にて動作制御される上記
第２定盤吸引装置１２５３が第２定盤１２５１に接続さ
れ、第２基板１７２の外面１７２１に対応して上記支持
面１２５１ａに開口する複数の吸引孔１２５４を通して
第２定盤吸引装置１２５３による吸引が行われる。よっ
て該吸引動作により、第２定盤１２５１の支持面１２５
１ａに第２基板１７２は吸着される。

【００２２】又、第２定盤１２５１に第２基板１７２が
吸着されている状態にて、上記第２定盤駆動装置１２５
２は、第１定盤１２４１に吸着されている第１基板１７
１に第２基板１７２が近接するように第２定盤１２５１
を第１基板１７１側へ移動し、第１基板１７１と第２基
板１７２との隙間の距離１７３を設計値、本実施形態で
は５μｍとする。尚、本実施形態では、第２定盤１２５
１に第２定盤駆動装置１２５２を設けて第２基板１７２
を第１基板１７１側へ移動させているが、この構成に限
定されるものではない。つまり、第１基板１７１を第２
基板１７２側へ移動させるように構成してもよいし、
又、第１基板１７１及び第２基板１７２の両方を移動さ
せてもよい。要するに、第１基板１７１及び第２基板１
７２を、これら基板の厚み方向へ相対的に移動させれば
良い。

【００２３】以上のように構成される本実施形態の液晶
表示パネル製造装置１０１に備わる上記第１配置精度維
持部１３０について説明する。上記第１配置精度維持部
１３０は、上記真空容器１２３の側部に相当する当該真
空容器１２３の壁面１２３３の全周にわたり、該壁面１
２３３に一端１３１１が保持され上記第１定盤１２４１
の全周にわたり他端１３１２が保持される第１塵埃侵入
防止部材１３１にてなる。上述のように、第１定盤１２
４１は、第１定盤駆動装置１２４２によって水平方向１
２４５に可動であることから、上記第１塵埃侵入防止部
材１３１は、第１定盤１２４１の水平方向１２４５への
移動を妨げる要因とはならない材料及び厚みにてなり、
かつ第１定盤１２４１の上記移動を妨げないように、図
示するようにたるみを持って取り付けられる。具体的に
上記第１塵埃侵入防止部材１３１は、例えば樹脂材や、
紙材等の可撓性を有するシート状の部材が好ましい。

【００２４】このような第１塵埃侵入防止部材１３１
は、第１定盤１２４１上や、該第１定盤１２４１より上
方に配置される第２定盤１２５１等から上記移動部１２
４６に塵埃等の異物が侵入するのを防止するためのもの
である。よって、第１塵埃侵入防止部材１３１の他端１
３１２は、第１定盤１２４１上への第１基板１７１の載
置に妨げとならず、かつ上記移動部１２４６及び第１基
板１７１の移動の妨げとならない部分に取り付け可能で
ある。例えば、真空容器１２３の壁面１２３３に対向す
る第１定盤１２４１の側面１２４１ｂが取り付け部分と
して好ましい。又、第１塵埃侵入防止部材１３１の一端
１３１１及び他端１３１２は、それぞれ真空容器１２３
の壁面１２３３、及び第１定盤１２４１との間で上記異
物が移動部１２４６側へ侵入しないように、一端１３１
１は壁面１２３３との間で、他端１３１２は第１定盤１
２４１との間でそれぞれ隙間なく密着して取り付けられ
る。

【００２５】又、第１塵埃侵入防止部材１３１を取り付
けることで、該第１塵埃侵入防止部材１３１にて真空容
器１２３内は上、下の領域１２３４、１２３５に２分さ
れる。よって、真空容器１２３内を真空装置１２２にて
真空状態とするときに、真空装置１２２は、上記上、下
領域１２３４、１２３５の両方から吸引を行えるよう
に、図示するように真空装置１２２に連通する吸引口１
２２１は上記上、下領域１２３４、１２３５の両領域に
開口している。勿論、上、下領域１２３４、１２３５に
開口する上記吸引口１２２１に連通する吸引用通路を通
して上記異物が上領域１２３４から下領域１２３５に侵
入しないように構成している。

【００２６】このように第１塵埃侵入防止部材１３１を
設けることで、上記上領域１２３４における上記異物は
第１塵埃侵入防止部材１３１上に保持され、上記下領域
１２３５、ひいては上記移動部１２４６に侵入すること
がなくなる。したがって、上記移動部１２４６の移動が
上記異物により困難になることを防止でき、上記水平方
向１２４５への第１定盤１２４１の移動を円滑に行うこ
とができる。よって、当該液晶表示パネルにおける各画
素部分に対応して、各画素における液晶材料駆動部が位
置ずれすることなく配置されるように第１定盤１２４１
を上記水平方向１２４５に移動させて、第１基板１７１
と第２基板１７２との位置合わせを行うとき、第１基板
１７１と第２基板１７２との位置決め精度が悪化するこ
とを防止できる。したがって、上記異物に起因して、画
像不良や画像むらの発生を防止でき、液晶表示パネルの
品質低下を防止することができる。

【００２７】次に、図２等を参照して、本実施形態の液
晶表示パネル製造装置１０２に備わる上記第２配置精度
維持部１４０について説明する。尚、当該液晶表示パネ
ル製造装置１０２と、上述した液晶表示パネル製造装置
１０１との相違点は、上記第１配置精度維持部１３０に
代えて第２配置精度維持部１４０を設けた点であり、そ
の他の構成で変わる部分はない。よって液晶表示パネル
製造装置１０２の基本的な構成部分についての説明は省
略し、以下には、第２配置精度維持部１４０についての
み説明する。

【００２８】本実施形態では、第２配置精度維持部１４
０は、図４に示すように第２塵埃侵入防止部材１４１
と、該第２塵埃侵入防止部材１４１が非接触な状態にて
進入し上記移動部１２４６への塵埃等の異物の侵入を妨
げる凹部１４２とを有する。上記第２塵埃侵入防止部材
１４１は、上記第１定盤１２４１において上記第１基板
１７１の支持面１２４１ａに対向し、又、真空容器１２
３の底部１２３２に対向する底部対向面１２４７の全周
にわたって、かつ第１定盤１２４１に対向して上記真空
容器１２３の底部１２３２に立設される。このように第
２塵埃侵入防止部材１４１が設けられることで、上記移
動部１２４６は、第２塵埃侵入防止部材１４１にて包囲
される。上記凹部１４２は、第１定盤１２４１の上記底
部対向面１２４７に上記第２塵埃侵入防止部材１４１に
対応して、図５に示すように底部対向面１２４７の全周
にわたり形成される。凹部１４２の深さ１４２１は、本
実施形態では約５ｍｍであり、幅１４２２は約１０ｍｍ
である。又、第２塵埃侵入防止部材１４１と凹部１４２
との隙間１４２３は、第１定盤１２４１における上記水
平方向１２４５への移動を妨げず、かつ移動部１２４６
への上記異物の侵入が困難となる大きさであればよい。

【００２９】このように第２塵埃侵入防止部材１４１及
び凹部１４２を設けることで、上記異物が上記移動部１
２４６へ侵入するには、第２塵埃侵入防止部材１４１と
凹部１４２との隙間１４２３を通過する必要が生じる。
よって、第２塵埃侵入防止部材１４１及び凹部１４２を
設けない場合に比べて、上記異物の上記移動部１２４６
への侵入が困難となる。よって、上記移動部１２４６の
移動が上記異物により困難になることを防止でき、上記
水平方向１２４５への第１定盤１２４１の移動を円滑に
行うことができる。よって、当該液晶表示パネルにおけ
る各画素部分に対応して、各画素における液晶材料駆動
部が位置ずれすることなく配置されるように第１定盤１
２４１を上記水平方向１２４５に移動させて、第１基板
１７１と第２基板１７２との位置合わせを行うとき、第
１基板１７１と第２基板１７２との位置決め精度が悪化
することを防止できる。したがって、上記異物に起因し
て、画像不良や画像むらの発生を防止でき、液晶表示パ
ネルの品質低下を防止することができる。

【００３０】本実施形態では上述のように第２配置精度
維持部１４０として第２塵埃侵入防止部材１４１及び凹
部１４２を設けているが、凹部１４２は必ずしも必要な
い。例えば図６に示すように、第１定盤１２４１の底部
対向面１２４７に接触し移動部１２４６への塵埃等の異
物の侵入を防止する起毛部１４３１を有する第２塵埃侵
入防止部材１４３を第２配置精度維持部１４０として設
けても良い。第２塵埃侵入防止部材１４３も上述の第２
塵埃侵入防止部材１４１と同様に、底部対向面１２４７
の全周にわたり対向しかつ移動部１２４６を包囲して配
置される。又、上記起毛部１４３１は、第１定盤１２４
１の水平方向１２４５への移動を抑制する程度の抵抗を
第１定盤１２４１に与えるものではない。このような第
２塵埃侵入防止部材１４３を設けても上述の第２塵埃侵
入防止部材１４１と同様の効果を奏することができる。

【００３１】次に、図３等を参照して、本実施形態の液
晶表示パネル製造装置１０３に備わる上記第３配置精度
維持部１５０について説明する。尚、当該液晶表示パネ
ル製造装置１０３と、上述した液晶表示パネル製造装置
１０１、１０２との相違点は、上記第１配置精度維持部
１３０や第２配置精度維持部１４０に代えて第３配置精
度維持部１５０を設けた点であり、その他の構成で変わ
る部分はない。よって液晶表示パネル製造装置１０３の
基本的な構成部分についての説明は省略し、以下には、
第３配置精度維持部１５０についてのみ説明する。

【００３２】上記第３配置精度維持部１５０は、上記第
１定盤１２４１の近傍であり上記真空容器１２３の下
部、本実施形態では上記底部１２３２に開口する吸引口
１５１と、該吸引口１５１に接続され上記移動部１２４
６へ侵入する塵埃等の異物について上記吸引口１５１を
通して吸引し、制御装置１８０にて動作制御される塵埃
吸引装置１５２とを有する。上記吸引口１５１は、図７
に示すように第１定盤１２４１の周囲に沿って適宜な間
隔にて設けた円形状の穴でもよいし、又は、図８に示す
ように第１定盤１２４１の周囲に沿って例えば連続的に
設けた溝状の開口であってもよい。真空容器１２３内は
真空状態にする必要があることから、吸引口１５１と塵
埃吸引装置１５２との間には、真空容器１２３内と塵埃
吸引装置１５２とを遮断、連通可能とするバルブ１５３
を設けている。このような第３配置精度維持部１５０
は、真空容器１２３内が大気圧状態にあるとき、吸引口
１５１及びバルブ１５３を介して塵埃吸引装置１５２に
よる吸引を行う。該吸引動作により、真空容器１２３の
特に底部１２３２に存在する上記異物が塵埃吸引装置１
５２に吸引される。そして、所定時間での吸引動作の終
了後、バルブ１５３を閉め、真空容器１２３内が真空状
態に設定される。

【００３３】このように第３塵埃侵入防止部材１５０を
設けることで、特に底部１２３２に存在する上記異物が
吸引されることから、上記異物が上記移動部１２４６に
侵入することを防ぐことができる。よって、上記移動部
１２４６の移動が上記異物により困難になることを防止
でき、上記水平方向１２４５への第１定盤１２４１の移
動を円滑に行うことができる。よって、当該液晶表示パ
ネルにおける各画素部分に対応して、各画素における液
晶材料駆動部が位置ずれすることなく配置されるように
第１定盤１２４１を上記水平方向１２４５に移動させ
て、第１基板１７１と第２基板１７２との位置合わせを
行うとき、第１基板１７１と第２基板１７２との位置決
め精度が悪化することを防止できる。したがって、上記
異物に起因して、画像不良や画像むらの発生を防止で
き、液晶表示パネルの品質低下を防止することができ
る。

【００３４】次に、上記塵埃防止装置における上記隙間
精度維持タイプの実施形態としての上記第２隙間精度維
持装置１９０について説明する。尚、第２隙間精度維持
装置１９０が第２基板支持面塵埃除去装置に対応する。
一実施形態であって図９に示す液晶表示パネル製造装置
１０４は、上記第２隙間精度維持装置１９０を備える。
尚、図９では液晶表示パネル製造装置１０４の構造につ
いて簡略化して図示しているが、液晶表示パネル製造装
置１０４は、上述した例えば液晶表示パネル製造装置１
０１に備わる第１配置精度維持部１３０に代えて第２隙
間精度維持装置１９０を備えた構造を有する。よって、
液晶表示パネル製造装置１０４も液晶表示パネル製造装
置１０１とほぼ同様の構成部分を有するが、以下では、
液晶表示パネル製造装置１０１等と同一の構成部分の説
明は省略し、第２隙間精度維持装置１９０についてのみ
説明を行う。又、図９には図示していないが、適宜な部
材により第２基板保持装置１２５は第１定盤１２４１の
上方に支持されている。

【００３５】第２隙間精度維持装置１９０は、上記第２
定盤１２５１の上記第２基板１７２の支持面１２５１ａ
から上記異物を除去し上記第１基板１７１と上記第２基
板１７２との隙間の距離１７３の精度を維持する装置で
あり、より具体的には、第２定盤１２５１の上記支持面
１２５１ａに接触し該支持面１２５１ａに存在する塵埃
等の異物を該支持面１２５１ａから除去する第２定盤用
塵埃除去部材１９１と、該第２定盤用塵埃除去部材１９
１を上記支持面１２５１ａに沿って移動させる第２定盤
用移動装置１９２とを有する。尚、第２定盤用塵埃除去
部材１９１が第２基板支持面塵埃除去部材に相当し、第
２定盤用移動装置１９２が第２基板支持面塵埃除去部材
移動装置に相当する。

【００３６】上記第２定盤用移動装置１９２は、上記第
２定盤用塵埃除去部材１９１が上記支持面１２５１ａに
接触するように第２定盤用塵埃除去部材１９１を支持す
る支持部材１９２１と、該支持部材１９２１つまり第２
定盤用塵埃除去部材１９１を第２定盤１２５１の長さ方
向１９２５に移動させる駆動機構１９２２とを有する。
該駆動機構１９２２には、上記支持部材１９２１を取り
付けたボールネジ部１９２２１と、該ボールネジ部１９
２２１を駆動し制御装置１８０にて動作制御される駆動
源１９２２２と、上記支持部材１９２１の移動の案内を
行うガイド部１９２２３とが備わる。

【００３７】第２定盤用塵埃除去部材１９１は、上記支
持面１２５１ａから塵埃等の異物を除去する機能を有す
るものであれば良く、その形態は問わないが、本実施形
態では、図１１に示すように上記支持面１２５１ａの全
幅を超える長さを有し、支持面１２５１ａを回転しなが
ら移動可能なローラ状の棒材にて形成している。上述の
ように第２定盤用移動装置１９２にて第２定盤用塵埃除
去部材１９１が支持面１２５１ａに接触しながら上記長
さ方向１９２５へ移動することで、上記支持面１２５１
ａに存在する塵埃等の異物が第２定盤用塵埃除去部材１
９１に付着するので、支持面１２５１ａを清浄化するこ
とができる。又、本実施形態のように、第２定盤用塵埃
除去部材１９１をローラ形状とすることで、支持面１２
５１ａにおける第２定盤用塵埃除去部材１９１の移動が
円滑化でき、上記支持面１２５１ａの塵埃等の異物除去
の作業性を向上することができる。

【００３８】さらに又、上記第２定盤用塵埃除去部材１
９１をゴム製とすることで、上記異物の除去力を向上さ
せることができる。又、さらに、上記第２定盤用塵埃除
去部材１９１を、例えば上記ゴム材のような弾性材料に
て形成し、その表面に粘着性を持たせることで、塵埃等
の異物除去力をさらに向上させてもよい。さらに又、第
２定盤用塵埃除去部材１９１を上記支持面１２５１ａに
押圧させるように、上記支持部材１９２１に、例えばバ
ネ等の付勢部材を取り付け、第２定盤用塵埃除去部材１
９１の上記支持面１２５１ａへの接触性を良くしてもよ
い。これによりさらに塵埃等の異物除去力を向上させる
ことができる。

【００３９】このように第２定盤用塵埃除去部材１９１
及び第２定盤用移動装置１９２を設けることで、第２定
盤１２５１の上記支持面１２５１ａに存在する上記異物
が除去されることから、上記支持面１２５１ａに第２基
板１７２が吸着保持されたとき、上記支持面１２５１ａ
と第２基板１７２の外面１７２１との間に上記異物が存
在することはほとんどなくなる。よって、支持面１２５
１ａと上記外面１７２１との間に挟まれた塵埃等の異物
に起因して、支持面１２５１ａに保持された第２基板１
７２が第１基板１７１側へ凸状となることがほぼなくな
るので、第１基板１７１と第２基板１７２との間の隙間
の距離１７３の精度が悪化するということを防止でき
る。従って、上記異物に起因する画像不良や画像むらの
発生を防止でき、液晶表示パネルの品質低下を防止する
ことができる。

【００４０】さらに又、第２定盤１２５１の上記支持面
１２５１ａだけでなく、図１０に示すように第１定盤１
２４１の上記支持面１２４１ａ上に存在する上記異物を
除去するための第１隙間精度維持装置１９３をさらに設
けても良い。尚、図１０に示す第１隙間精度維持装置１
９３も上述の第２隙間精度維持装置１９０に備わる構成
部分と同じ構成部分を有しており、該同じ構成部分につ
いては図１０において同じ符号を付している。又、これ
らの構成部分の説明は省略する。又、第１隙間精度維持
装置１９３が第１基板支持面塵埃除去装置に相当し、第
２定盤用塵埃除去部材１９１が第１基板支持面塵埃除去
部材に相当し、第２定盤用移動装置１９２が第１基板支
持面塵埃除去部材移動装置に相当する。このように、第
２隙間精度維持装置１９０に加えてさらに第１隙間精度
維持装置１９３を設けることで、第１定盤１２４１の支
持面１２４１ａと第１基板１７１の外面１７１１との間
に塵埃等の異物が挟まれることはほとんどなくなるの
で、該異物に起因して、支持面１２４１ａに保持された
第１基板１７１が第２基板１７２側へ凸状となることを
防止できる。よって、第１基板１７１と第２基板１７２
との間の隙間の距離１７３の精度が悪化するのを防止で
き、上記異物に起因する画像不良や画像むらの発生を防
止でき、液晶表示パネルの品質低下を防止することがで
きる。

【００４１】又、第２隙間精度維持装置１９０及び第１
隙間精度維持装置１９３の両方を設けたときには、重力
に従って塵埃等の異物は落下するので、まず、第２隙間
精度維持装置１９０にて第２定盤１２５１の支持面１２
５１ａの清掃を行い、その後に第１隙間精度維持装置１
９３にて第１定盤１２４１の支持面１２４１ａの清掃を
行うのが好ましい。

【００４２】又、上述した、第１配置精度維持部１３
０、第２配置精度維持部１４０、及び第３配置精度維持
部１５０のいずれかを設け、かつ第２隙間精度維持装置
１９０及び第１隙間精度維持装置１９３の内、少なくと
も第２隙間精度維持装置１９０を設けることもできる。
以下には、例えば上記第１配置精度維持部１３０と、上
記第２隙間精度維持装置１９０とを設けた液晶表示パネ
ル製造装置を例に採り、液晶表示パネルの製造方法につ
いて説明する。尚、上記液晶表示パネル製造方法は、制
御装置１８０の動作制御に基づいて実行される。

【００４３】液晶表示パネルの製造を開始する前に、図
９に示すように、まず上記第２隙間精度維持装置１９０
にて第２定盤１２５１の支持面１２５１ａの清掃を行
う。尚、第１隙間精度維持装置１９３をも設けたときに
は、支持面１２５１ａの清掃後、図１０に示すように第
１隙間精度維持装置１９３にて第１定盤１２４１の支持
面１２４１ａの清掃を行う。

【００４４】次に、液晶材料３及び紫外線硬化型の接着
剤４をそれぞれ厚み３０μｍで塗布した第１基板１７１
を第１定盤１２４１の支持面１２４１ａ上に載置し、上
記第１定盤吸引装置１２４３の動作により、第１基板１
７１の外面１７１１の全面を大気圧中にて第１定盤１２
４１に吸着させて第１基板１７１を第１定盤１２４１に
固定する。

【００４５】次に、上記第２定盤吸引装置１２５３を動
作させて第２定盤１２５１の支持面１２５１ａに、大気
圧中にて、第２基板１７２の外面１７２１の全面を吸着
して第２基板１７２を固定する。このように第２基板１
７２を固定している第２定盤１２５１を、第１基板１７
１と第２基板１７２とが対向するようにして真空容器１
２３内に装着した後、蓋１２３１にて真空容器１２３を
密閉し、真空装置１２２にて真空容器１２３内を真空状
態にする。さらに、基板保持装置１２５の第２定盤駆動
装置１２５２を動作させて、第２定盤１２５１、つまり
第２基板１７２を第１基板１７１側へ移動させ、第１基
板１７１上に塗布されている接着剤４又は液晶部材３
に、第２基板１７２の内面１７２２を接触させる。

【００４６】次に、当該液晶表示パネルにおける各画素
部分に対応して、各画素における液晶材料駆動部が位置
ずれすることなく配置されるように、第１基板保持装置
１２４の第１定盤駆動装置１２４２を動作させて、第１
基板１７１を保持している第１定盤１２４１を、第１基
板１７１の厚み方向に直交する水平方向１２４５に移動
させ、第１基板１７１と第２基板１７２との位置合わせ
を行う。

【００４７】上記位置合わせ後、さらに上記第２定盤駆
動装置１２５２を動作させて、図１〜図３に示すよう
に、第１基板１７１と第２基板１７２との隙間の距離１
７３が設計値である、本実施形態では５μｍとなるま
で、第２定盤１２５１、つまり第２基板１７２を第１基
板１７１側へ移動させる。該移動により、及び真空容器
１２３内は真空状態であることにより、液晶材料３は、
第１基板１７１の内面１７１２上であって、接着剤４に
て囲まれた内側領域に気泡を含むことなく密閉される。
又、上記５μｍは、接着剤４に含まれる球状のスペーサ
５の大きさに等しく、第２基板１７２はスペーサ５にて
移動が制限されるまで第１基板１７１側へ移動する。

【００４８】このようにして上記５μｍの距離１７３に
て合体した第１基板１７１及び第２基板１７２からなる
液晶表示パネルは、真空容器１２３内の真空状態が解除
された後、真空容器１２３外の紫外線照射位置へ搬送さ
れる。そして、図１２に示すように上記紫外線照射位置
では、接着剤４を硬化させる紫外線が紫外線源６から上
記液晶表示パネル１７４に照射される。該照射により、
接着剤４は硬化し、第１基板１７１と第２基板１７２と
を接着して、完成品としての液晶表示パネル１７４が作
製される。

【００４９】上述の製造動作において、上記第１配置精
度維持部１３０に代えて第３配置精度維持部１５０を設
けた場合には以下の動作となる。即ち、上記異物が落下
することもあることから上記第２隙間精度維持装置１９
０、さらには上記第１隙間精度維持装置１９３を使用し
た上記清掃を終了した後、真空容器１２３内が大気圧状
態にあるとき、塵埃吸引装置１５３を動作させて真空容
器１２３の底部１２３２に存在する上記異物の吸引を行
う。該吸引終了後、上述の隙間精度維持装置１９０、１
９３による上記清掃後の動作が実行される。

【００５０】

【発明の効果】以上詳述したように本発明の第１態様の
液晶表示パネル製造装置、及び第２態様の液晶表示パネ
ル製造方法によれば、塵埃防止装置を備えたことで、第
１基板を保持する第１基板保持装置及び第２基板を保持
する第２基板保持装置の少なくとも一方に対する真空容
器内の塵埃等の異物の作用を防止することができる。よ
って、上記第１基板及び第２基板を合体させたときの両
者間の隙間精度が上記異物に起因して悪化したり、上記
第１基板及び第２基板の水平方向における位置決め精度
が上記異物に起因して悪化するのを防止できる。したが
って上記異物に起因して液晶表示パネルの品質が低下す
るのを防止することができる。

【００５１】又、上記塵埃防止装置が上記第２基板保持
装置に対して設けられた第２基板支持面塵埃除去装置で
あるとき、該第２基板支持面塵埃除去装置は、上記第２
基板保持装置に備わる第２定盤の第２基板支持面から塵
埃等の異物を除去する。よって、第２基板保持装置に第
２基板を保持したとき、第２基板保持装置に備わる第２
定盤と第２基板との間に塵埃等の異物が挟まれるのを防
止できる。よって第２基板保持装置に保持された第２基
板が第１基板側へ凸状となることを防止でき、第１基板
と第２基板とが合体したとき、両者間の隙間精度は良好
な状態に維持される。したがって、上記異物に起因して
液晶表示パネルの品質が低下するのを防止することがで
きる。

【００５２】上記第２基板支持面塵埃除去装置が第２基
板支持面塵埃除去部材と第２基板支持面塵埃除去部材移
動装置とを有することで、上記第２基板支持面の塵埃等
の異物除去を円滑に行うことができる。

【００５３】又、上記塵埃防止装置は、上記第１基板保
持装置に対して第１基板支持面塵埃除去装置を設けるこ
ともでき、第１基板保持装置に備わる第１定盤の第１基
板支持面から塵埃等の異物を除去することができる。よ
って、上記第２基板支持面塵埃除去装置の場合と同様
に、上記異物に起因する液晶表示パネルの品質低下を防
止することができる。

【００５４】又、上記塵埃防止装置は、上記第１基板保
持装置に備わる可動部分である移動部への塵埃等の異物
の侵入を防止する塵埃侵入防止部を有することもでき
る。該塵埃侵入防止部を有することで、上記移動部への
塵埃等の異物侵入が防止され、移動部の水平方向への移
動が上記異物により支障を来すことを防止できる。した
がって第１基板及び第２基板の水平方向における配置精
度を維持することができ、上記異物に起因する液晶表示
パネルの品質低下を防止することができる。

【００５５】上記塵埃侵入防止部は、第１塵埃侵入防止
部材、第２塵埃侵入防止部材、並びに、吸引口及び塵埃
吸引装置にて構成することもできる。上記第１塵埃侵入
防止部材は、第１基板の水平方向への移動に影響を及ぼ
し難いので、第１基板の配置精度を維持することができ
る。又、上記第２塵埃侵入防止部材を用いた構成を採る
ことで、第１基板の水平方向への移動に対して全く影響
を与えないので、より高い第１基板の配置精度を達成す
ることができる。又、吸引口及び塵埃吸引装置を用いた
構成を採ることで、当該真空容器内から外部へ塵埃等の
異物を排出してしまうことができ、上記異物の影響をよ
り低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の実施形態における液晶表示パネル製
造装置であって、第１配置精度維持部を備えた液晶表示
パネル製造装置の構造を示す図である。

【図２】 本発明の実施形態における液晶表示パネル製
造装置であって、第２配置精度維持部を備えた液晶表示
パネル製造装置の構造を示す図である。

【図３】 本発明の実施形態における液晶表示パネル製
造装置であって、第３配置精度維持部を備えた液晶表示
パネル製造装置の構造を示す図である。

【図４】 図２に示す第２配置精度維持部の拡大図であ
る。

【図５】 図４に示す凹部の形成状態を説明するための
第１定盤の平面図である。

【図６】 図２に示す第２配置精度維持部の変形例を示
す図である。

【図７】 図３に示す第３配置精度維持部の吸引口の形
状を説明するための真空容器底部の平面図である。

【図８】 図３に示す第３配置精度維持部の吸引口の形
状を説明するための真空容器底部の平面図である。

【図９】 本発明の実施形態における液晶表示パネル製
造装置であって、隙間精度維持装置を備えた液晶表示パ
ネル製造装置の構造を示す図である。

【図１０】 本発明の実施形態における液晶表示パネル
製造装置であって、隙間精度維持装置を備えた液晶表示
パネル製造装置の構造を示す図である。

【図１１】 図１０に示す隙間精度維持装置の平面図で
ある。

【図１２】 本発明の実施形態における液晶表示パネル
製造装置にて製造される液晶表示パネルの接着剤を硬化
させる状態を示す図である。

【図１３】 従来の液晶表示パネルの断面図である。

【図１４】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板上に接着剤を塗布した状態を示す図で
ある。

【図１５】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板上に液晶材料を塗布した状態を示す図
である。

【図１６】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板をテーブル上に配置した状態を示す図
である。

【図１７】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板と第２基板とを近接させている状態を
示す図である。

【図１８】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板と第２基板との位置合わせを行ってい
る状態を示す図である。

【図１９】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、第１基板と第２基板とを所定の隙間寸法まで押
圧した状態を示す図である。

【図２０】 従来の液晶表示パネルの製造動作の一状態
であり、接着剤を硬化させる状態を示す図である。

【符号の説明】

３…液晶材料、１０１〜１０５…液晶表示パネル製造装
置、１２３…真空容器、１２４…第１基板保持装置、１
２５…第２基板保持装置、１３０…第１配置精度維持
部、１３１…第１塵埃侵入防止部材、１４０…第２配置
精度維持部、１４１…第２塵埃侵入防止部材、１４２…
凹部、１５０…第３配置精度維持部、１５１…吸引口、
１５２…塵埃吸引装置、１７１…第１基板、１７２…第
２基板、１７３…距離、１９０…第２隙間精度維持部、
１９１…第２定盤用塵埃除去部材、１９２…第２定盤用
移動装置、１９３…第１隙間精度維持部、１２１１…紫
外線源、１２３２…底部、１２４１…第１定盤、１２４
１ａ…第１基板支持面、１２４６…移動部、１２４７…
底部対向面、１２５１…第２定盤、１２５１ａ…第２基
板支持面、１３１１…一端、１３１２…他端。

Claims (11)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 真空容器内に設けられ液晶表示パネルを
   構成する第１基板と第２基板とが互いに対向して配置さ
   れて上記液晶表示パネルを製造する液晶表示パネル製造
   装置であって、 上記第１基板を保持する第１基板保持装置、及び上記第
   ２基板を保持する第２基板保持装置の少なくとも一方に
   対して異物による上記液晶表示パネルの品質低下を防止
   する塵埃防止装置を備えたことを特徴とする液晶表示パ
   ネル製造装置。
2. 【請求項２】 上記第２基板保持装置は、上記第２基板
   を水平に保持する第２基板支持面を有し、該第２基板保
   持装置に対して上記塵埃防止装置を設けるとき、上記塵
   埃防止装置は、上記第２基板支持面の異物を除去する第
   ２基板支持面塵埃除去装置を有する、請求項１記載の液
   晶表示パネル製造装置。
3. 【請求項３】 上記第２基板支持面塵埃除去装置は、上
   記第２基板支持面に接触し上記第２基板支持面の異物を
   除去する第２基板支持面塵埃除去部材と、該第２基板支
   持面塵埃除去部材を上記第２基板支持面に沿って移動さ
   せる第２基板支持面塵埃除去部材移動装置とを有する、
   請求項２記載の液晶表示パネル製造装置。
4. 【請求項４】 上記第１基板保持装置は、上記第１基板
   を水平に保持する第１基板支持面を有し、該第１基板保
   持装置に対して上記塵埃防止装置を設けるとき、上記塵
   埃防止装置は、上記第１基板支持面の異物を除去する第
   １基板支持面塵埃除去装置を有し、該第１基板支持面塵
   埃除去装置は、上記第１基板支持面に接触し上記第１基
   板支持面の異物を除去する第１基板支持面塵埃除去部材
   と、該第１基板支持面塵埃除去部材を上記第１基板支持
   面に沿って移動させる第１基板支持面塵埃除去部材移動
   装置とを有する、請求項３記載の液晶表示パネル製造装
   置。
5. 【請求項５】 上記第１基板保持装置は水平方向に可動
   であり、該可動部分に異物の侵入を防止する塵埃侵入防
   止部を上記第１基板保持装置と上記真空容器との間に設
   けた、請求項１から４のいずれかに記載の液晶表示パネ
   ル製造装置。
6. 【請求項６】 上記塵埃侵入防止部は、一端が上記真空
   容器に保持され、他端が上記第１基板保持装置に保持さ
   れ、上記第１基板保持装置を水平方向に移動自在とする
   第１塵埃侵入防止部材にてなる、請求項５記載の液晶表
   示パネル製造装置。
7. 【請求項７】 上記塵埃侵入防止部は、上記第１基板保
   持装置に対向する上記真空容器の底部に立設され、上記
   第１基板保持装置の可動部分を包囲する第２塵埃侵入防
   止部材にてなる、請求項５記載の液晶表示パネル製造装
   置。
8. 【請求項８】 上記第１基板保持装置における上記第２
   塵埃侵入防止部材の対向する部分は凹部形状であり、上
   記第２塵埃侵入防止部材が非接触な状態にて凹部に進入
   する、請求項７記載の液晶表示パネル製造装置。
9. 【請求項９】 上記塵埃侵入防止部は、上記第１基板保
   持装置の可動部分を包囲する領域の近傍で上記真空容器
   の底部に開口する吸引口と、該吸引口に接続され異物を
   吸引する塵埃吸引装置とを有する、請求項５記載の液晶
   表示パネル製造装置。
10. 【請求項１０】 真空状態で第１基板と第２基板とが互
    いに対向して液晶表示パネルを構成する液晶表示パネル
    製造方法であって、 上記第１基板を保持する第１基板保持装置、及び上記第
    ２基板を保持する第２基板保持装置の少なくとも一方に
    対して異物による上記液晶表示パネルの品質低下を防止
    する塵埃除去工程と、上記第１基板と上記第２基板とを
    貼り合わせる工程と、を備えたことを特徴とする液晶表
    示パネル製造方法。
11. 【請求項１１】 上記塵埃除去工程は、塵埃除去部材を
    上記第１基板保持装置の第１基板支持面若しくは上記第
    ２基板保持装置の第２基板支持面に沿って移動させる、
    請求項１０記載の液晶表示パネル製造方法。