TW201820030A

TW201820030A - 表膜結構體、表膜收納體及固定方法

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Publication number: TW201820030A
Application number: TW106138937A
Authority: TW
Inventors: 廣瀬隆徳; 栗山芳真
Original assignee: 日商旭化成股份有限公司
Priority date: 2016-11-11
Filing date: 2017-11-10
Publication date: 2018-06-01
Also published as: JP2018084806A; KR20180053245A; JP7017900B2; KR102084479B1; TWI652544B; CN207488699U

Abstract

本發明提供一種當自收納容器取出時，能夠使保護膜確實地自黏著層剝離之表膜結構體、表膜收納體及其固定方法。表膜結構體1具備框體2、表膜之膜3及保護膜4。框體2於前視下外形為矩形，且於背面側端面具有黏著層24。表膜之膜3設置於框體2之正面側端面，覆蓋框體2之內部。保護膜4具有：保護部41，其貼附於黏著層24而保護黏著層24；及複數個壓邊5，其等與保護部41一體設置。複數個壓邊5係以朝向框體2之外部延伸之方式形成。複數個壓邊5中之至少一者具有：基端部51，其係端部511連接於保護部41；及錨定部52，其連接於基端部51之端部512。錨定部52之寬度W2大於基端部51之寬度W1。

Description

表膜結構體、表膜收納體及固定方法

本發明係關於一種表膜結構體、表膜收納體及固定方法。

於構成LSI(Large Scale Integration，大型積體電路)、平板顯示器之薄膜電晶體、彩色濾光片等之製造步驟中，需要光罩或倍縮光罩(以下成為｢光罩等｣)之防塵。作為防塵機構，廣泛使用被稱為表膜結構體之結構體。表膜結構體一般而言包含框體及高分子膜(以下稱為｢表膜之膜｣)。表膜之膜例如係由硝化纖維素或纖維素衍生物、氟聚合物等形成之厚度10 μm以下之透明膜。表膜結構體係構成為於框體之一端面貼附表膜之膜，並且藉由該表膜之膜覆蓋框體之內部。於框體之另一端面設置有用以使表膜結構體黏著於光罩等之黏著層。此種表膜結構體一般而言由該表膜結構體之製造者供給至光罩等之製造者。光罩等之製造者藉由使黏著層黏著於光罩等，而將表膜結構體相對於光罩等固定。因此，表膜結構體之製造者為使黏著層之黏著力維持至其之使用，而以於黏著層上貼附保護膜進行保護之狀態，將表膜結構體供給至光罩等之製造者。光罩等之製造者使供給之表膜結構體之保護膜剝離，使框體之黏著層露出，藉此能夠使表膜結構體於黏著層上黏著於光罩等。又，表膜結構體為了防止其損傷或異物對表膜之膜等之附著，而以密封於收納容器之狀態搬送。表膜結構體必須於收納容器之內部確實地固定，而不使框體或表膜之膜與收納容器接觸。對於此種要求，於專利文獻1中，提出有使用膠帶將表膜結構體相對收納容器固定之構成。詳細而言，該構成係於保護膜形成有複數個壓邊，以跨及壓邊及收納容器之托盤之方式貼附膠帶，藉此能夠將表膜結構體之保護膜相對於托盤固定。當將表膜結構體自收納容器取出時，以自托盤拉開之方式對表膜結構體施加力。藉此，能夠於保持著保護膜固定於托盤之狀態下，使保護膜自黏著層剝離，使框體之黏著層露出。即，能夠同時地進行表膜結構體自收納容器之取出及保護膜之剝離。當將表膜結構體自收納容器取出時，必須藉由以自托盤拉開之方式對表膜結構體施加力，而首先於黏著層與保護膜之間形成開始剝離之端部(以下，將該端部稱為｢剝離端｣)。於剝離端形成後，可藉由對表膜結構體進一步施加力而使保護膜中自黏著層剝離之範圍自剝離端擴大，從而使保護膜整體自黏著層剝離。 [先前技術文獻] [專利文獻] [專利文獻1]國際公開第2006/59388號

[發明所欲解決之問題] 專利文獻1中提出之構成係若為形成剝離端而對表膜結構體施加較大之力，則自膠帶拉出般之力作用於壓邊。若將壓邊自膠帶拉出，無法保持保護膜固定於收納容器，則存在無法使保護膜自黏著層剝離之類問題。又，隨著近年顯示器之大型化，表膜結構體之框體亦存在大型化之傾向。因此，存在若對表膜結構體施加較大之力而形成剝離端，則導致框體變形之虞。詳細而言，當自收納容器取出時，存在欲自托盤拉開之力及自保護膜受到之反作用力施加於框體，導致框體中產生撓曲之虞。如此般，於先前之表膜結構體及其固定方法中，存在難以兼顧收納容器之內部中之表膜結構體之確實之固定與表膜結構體容易取出之問題。本發明係鑒於此種問題而完成者，其目的在於提供一種當自收納容器取出時，能夠使保護膜確實地自黏著層剝離之表膜結構體、表膜收納體及其固定方法。 [解決問題之技術手段] 本發明者等人進行了積極研究，結果完成了當將表膜結構體自收納容器取出時，能夠使保護膜確實地自黏著層剝離之本發明。即，本發明係如下所述。 (1) 一種表膜結構體，其特徵在於具備：框體，其於前視下外形為矩形，且於背面側端面具有黏著層；表膜之膜，其設置於上述框體之正面側端面，覆蓋該框體之內部；及保護膜，其具有貼附於上述黏著層保護該黏著層之保護部、及與上述保護部一體設置之複數個壓邊；上述複數個壓邊係以朝向上述框體之外部延伸之方式形成，上述複數個壓邊中之至少一者具有一端部連接於上述保護部之基端部、及連接於上述基端部之另一端部之錨定部，上述錨定部之寬度大於上述基端部之寬度。 (2) 如(1)之表膜結構體，其中上述錨定部係以朝向相對於具有該錨定部之上述壓邊所延伸之方向垂直之方向延伸之方式形成。 (3) 如(1)或(2)之表膜結構體，其中上述基端部之另一端部之寬度係自上述保護部朝向上述錨定部逐漸變大。 (4) 如(1)至(3)中任一項之表膜結構體，其中上述錨定部形成有沿著具有該錨定部之上述壓邊所延伸之方向之狹縫。 (5) 如(1)至(4)中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之40%以上。 (6) 如(1)至(5)中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之90%以下。 (7) 如技術方案6之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之80%以下。 (8) 如(6)之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之70%以下。 (9) 如(6)之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之60%以下。 (10) 如(1)至(9)中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為60 mm以下。 (11) 如(10)之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為40 mm以下。 (12) 如(11)之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為30 mm以下。 (13) 如(12)之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為20 mm以下。 (14) 一種表膜收納體，其特徵在於：其係具備如(1)至(13)中任一項之表膜結構體及收納上述表膜結構體之收納容器者，且具有用以將上述基端部固定於上述收納容器之固定構件。 (15) 如(14)之表膜收納體，其中上述複數個壓邊之相鄰壓邊之間之保護膜未固定於上述收納容器，且上述相鄰壓邊之間之未固定於上述收納容器之保護膜之長度為200 mm以上。 (16) 如(15)之表膜收納體，其中上述複數個壓邊之相鄰壓邊之間之保護膜未固定於上述收納容器，且上述相鄰壓邊之間之未固定於上述收納容器之保護膜之長度為410 mm以上。 (17) 一種表膜收納體，其特徵在於，其係具備表膜結構體、及收納上述表膜結構體之收納容器者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形；表膜之膜，其設置於上述框體之一面，覆蓋上述框體之內部；黏著層，其設置於上述框體之另一面；及保護膜，其貼附於上述黏著層之與設置有上述框體之面為相反側之面；上述保護膜具有突出至上述保護膜之外側之壓邊，上述壓邊藉由固定構件而固定於上述表膜收納體，上述壓邊之藉由上述固定構件固定於上述表膜收納體之部分之長度之合計占上述保護膜之1邊長度之1.0%以上且7.0%以下。 (18) 如(17)之表膜收納體，其中上述壓邊之藉由上述固定構件固定於上述表膜收納體之部分之長度之合計占上述保護膜之1邊長度之1.0%以上且4.0%以下。 (19) 一種表膜收納體，其特徵在於，其係具備表膜結構體、及收納上述表膜結構體之收納容器者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形；表膜之膜，其設置於上述框體之一面，覆蓋上述框體之內部；黏著層，其設置於上述框體之另一面；及保護膜，其貼附於上述黏著層之與設置有上述框體之面為相反側之面；上述保護膜具有突出至上述保護膜之外側之第1至第3壓邊，上述第1至第3壓邊藉由第1至第3固定構件固定於上述表膜收納體，上述第1固定構件、上述第2固定構件及上述第3固定構件係沿上述框體之同一邊依序設置，上述第1壓邊、上述第2壓邊及上述第3壓邊係沿上述框體之同一邊依序設置，第1固定構件與第2固定構件之間之保護膜未固定於上述收納容器，第2固定構件與第3固定構件之間之保護膜未固定於上述收納容器，上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為200 mm以上，上述第2壓邊之最小寬度為60 mm以下，上述第2壓邊之最小寬度部分藉由上述第2固定構件固定於上述表膜收納體。 (20) 如(19)之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為40 mm以下。 (21) 如(20)之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為30 mm以下。 (22) 如(21)之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為20 mm以下。 (23) 如(19)至(22)中任一項之表膜收納體，其中上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為250 mm以上。 (24) 如(23)之表膜收納體，其中上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為300 mm以上。 (25) 一種固定方法，其特徵在於，其係將表膜結構體相對於收納容器固定者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形，且於背面側端面具有黏著層；表膜之膜，其設置於上述框體之正面側端面，覆蓋該框體之內部；及保護膜，其具有貼附於上述黏著層而保護該黏著層之保護部、及與上述保護部一體設置且以朝向上述框體之外部延伸之方式形成之複數個壓邊；上述複數個壓邊中之至少一者具有一端部連接於上述保護部之基端部、及連接於上述基端部之另一端部且寬度大於上述基端部之錨定部，以跨及上述基端部及上述收納容器之方式貼附膠帶，而非將該膠帶貼附於上述錨定部。 [發明之效果] 根據本發明，能夠提供一種當自收納容器取出時，能夠使保護膜確實地自黏著層剝離之表膜結構體、表膜收納體及其固定方法。

以下，一邊參照隨附圖式，一邊對本發明之實施形態進行說明。為易於理解發明，而於各圖式中，對同一構成要素儘可能地標註同一符號，且省略重複說明。 [第1實施形態] 首先，一邊參照圖1及圖2，一邊對第1實施形態之表膜結構體1之概要進行說明。圖1係表示表膜結構體1之前視圖。圖2係表示圖1之II-II剖面之剖視圖。圖1係表示固定於下述收納容器9之托盤91之表膜結構體1，並且省略收納容器9之蓋92之圖示。該表膜結構體1係於光微影法中進行光罩等之防塵之機器。表膜結構體1具備框體2、表膜之膜3、及保護膜4。如圖1所示，框體2分別具有2個長邊構件21、及2個短邊構件22。長邊構件21及短邊構件22係均由鋁合金形成，且直線狀地延伸之棒狀之構件。2個長邊構件21係相互隔開間隔平行地配置，同樣地，2個短邊構件22亦相互隔開間隔平行地配置。長邊構件21及短邊構件22以相互成大致直角之方式連接有端部。藉此，框體2之外形於前視下呈矩形。框體2之尺寸係基於光罩等之尺寸而決定。例如，長邊構件21之長度為1700 mm以上，短邊構件22之長度為1500 mm以上，且開口面積為1000 cm² 以上。再者，為易於理解，而如圖1所示，使用將框體2之長邊構件21延伸之方向設為X方向，將短邊構件22延伸之方向設為Y方向，將與X方向及Y方向正交之方向設為Z方向之正交座標進行說明。於圖2以後亦表示有對應於該正交座標之座標。如圖2所示，於框體2之-Z方向側之端面設置有黏著層24。黏著層24係遍及該端面之整周地設置。如下所述，黏著層24係用於對於光罩等之黏著。表膜之膜3例如係由硝化纖維素、纖維素衍生物、氟聚合物等形成之薄膜。表膜之膜3係其厚度為10 μm以下，且以於光微影法中使光源發出之光充分地透過之方式形成。如圖2所示，表膜之膜3介隔接著劑23接著於框體2之Z方向側之端面，覆蓋框體2之內部。保護膜4例如係由聚對苯二甲酸乙二酯、聚乙烯等樹脂材料形成。保護膜4係厚度為30 μm至500 μm左右之薄膜，且具有可撓性。如圖1所示，保護膜4具有1個保護部41及8個壓邊5。保護部41呈現與框體2對應之框形狀。壓邊5係以自保護部41之外周放射狀地延伸之方式形成。亦即，各壓邊5係以相互隔開間隔地配置，並且自保護部41突出之方式形成。如圖2所示，保護膜4於保護部41貼附於框體2之黏著層24。藉此，黏著層24之大致整周由保護部41覆蓋，從而能夠防止灰塵附著於黏著層24。黏著層24之黏著力藉由被保護部41覆蓋而保護。又，可藉由剝離保護膜4使黏著層24露出而發揮一直得到保護之黏著力。可藉由將保護部41黏著於黏著層24，而將各壓邊5以朝向框體2之外部延伸之方式配置。以如上說明之方式構成之表膜結構體1係以密封於收納容器9之狀態搬送。其次，一邊參照圖1及圖2，一邊對收納容器9之概要進行說明。如圖2所示，收納容器9具有托盤91及蓋92。托盤91及蓋92係例如由聚對苯二甲酸乙二酯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯、丙烯酸、聚碳酸酯、聚氯乙烯等樹脂材料形成。托盤91及蓋92係各自之端部被夾具93於Z方向上夾持，從而彼此固定。托盤91及蓋92之中央部係於Z方向隔開間隙地設置。該間隙係配置表膜結構體1之收納空間90。配置於收納空間90之表膜結構體1係相對於托盤91固定。表膜結構體1之固定中，使用膠帶8等固定構件。膠帶8呈現帶形狀，例如可由聚乙烯、聚丙烯、聚對苯二甲酸乙二酯、聚氯乙烯等樹脂材料、或不織布形成。於膠帶8之一側面設置有具有黏著性之糊劑。作為該糊劑，例如可採用丙烯酸系者或聚乙烯醇等。表膜結構體1係配置於托盤91之中央部隆起之固定面911。膠帶8係以使設置有糊劑之面朝向固定面911側，並且如圖1所示，跨及保護膜4之壓邊5及托盤91之固定面911之方式貼附。藉此，表膜結構體1於保護膜4相對於托盤91之固定面911固定。以此方式固定之表膜結構體1僅於保護膜4與收納容器9接觸。亦即，無需使框體2或表膜之膜3接觸於收納容器9。因此，當搬送收納有表膜結構體1之收納容器9時，框體2或表膜之膜3不會因振動而與收納容器9刮擦。藉此，收納空間90中不會產生新的灰塵。表膜結構體1自收納容器9取出係於維持高空氣清潔度之環境中進行。於該環境中，首先，將夾具93自托盤91及蓋92之端部拆下。繼而，使蓋92與托盤91分離，使相對托盤91固定之表膜結構體1露出。進而，將特定之治具相對表膜結構體1之框體2及托盤91固定，並且藉由該治具而對框體2於Z方向上施加力。即，以自托盤91拉開之方式對框體2施加力。藉此，力以自托盤91拉開之方式亦作用於貼附於框體2之黏著層24之保護膜4。然而，如上所述，因跨及保護膜4之壓邊5及托盤91之固定面911之方式貼附膠帶8，故而保護膜4一直固定於固定面911。其結果，力以將框體2之黏著層24與保護膜4之保護部41拉開之方式作用。此種力集中地作用於保護部41之整周中之形成有壓邊5之部位。其結果，於形成有壓邊5之部位之附近，形成未圖示之剝離端。於剝離端形成後，可藉由對框體2進一步施加力，而使保護膜4之保護部41中之自黏著層24剝離之範圍擴大，從而使保護膜4整體自黏著層24剝離。如此同時地進行自收納容器9將表膜結構體1(其中，保護膜4已剝離之狀態者)取出與將保護膜4剝離。可藉由使保護膜4剝離而發揮黏著層24之黏著力，從而使表膜結構體1於黏著層24黏著於光罩等。該表膜結構體1係藉由表膜之膜3而覆蓋形成於光罩等之圖像圖案。藉此，於光微影法中，能夠進行光罩等之防塵。根據該表膜結構體1，可藉由以跨及保護膜4之壓邊5及收納容器9之方式貼附膠帶8，而將表膜結構體1相對收納容器9固定。8個壓邊5係以與貼附於框體2之黏著層24之保護部41一體地設置，並且朝向框體2之外部放射狀延伸之方式形成。可藉由壓邊5以此方式延伸，而確保能夠相對於收納容器9將壓邊5固定之範圍。其結果，能夠將表膜結構體1確實地相對於收納容器9固定。又，可藉由以朝向框體2之外部放射狀地延伸之方式形成8個壓邊5，而局部地形成壓邊5。相鄰壓邊5、5之間之保護膜4未固定於收納容器9。若對於以此方式構成之表膜結構體1以自收納容器9拉開之方式施加力，則於黏著層24與保護膜4之間，力集中地作用於形成有壓邊5之部位。其結果，當自收納容器9取出表膜結構體1時，能夠容易地形成剝離端。再者，為了容易地形成剝離端，較佳為相鄰壓邊5、5間之距離(保護膜4中之未固定於收納容器9之部分之長度)較長，較佳為設定為200 mm以上，較佳為設定為250 mm以上，較佳為設定為300 mm以上，較佳為設定為350 mm以上，較佳為設定為400 mm以上，較佳為設定為410 mm以上，較佳為設定為420 mm以上，較佳為設定為430 mm以上，較佳為設定為440 mm以上，較佳為設定為450 mm以上，較佳為設定為460 mm以上，較佳為設定為470 mm以上，較佳為設定為480 mm以上，較佳為設定為490 mm以上，較佳為設定為500 mm以上，較佳為設定為520 mm以上，較佳為設定為540 mm以上，較佳為設定為560 mm以上，較佳為設定為580 mm以上，較佳為設定為600 mm以上。上限並無特別限定，該距離可為2000 mm以下，亦可為1500 mm以下。為容易地形成剝離端，較佳為相對於保護膜4之一邊而言之壓邊5較少。若相對於保護膜4之一邊而言之壓邊較少，則當自托盤91拉開表膜之膜3時，保護膜4朝向上方移動，從而可出現複數個相對於光罩黏著劑被傾斜地拉伸之部位，藉此剝離變得容易。當將保護膜4之一邊之長度設為Lp，將保護膜4之一邊中之壓邊5之藉由固定構件固定於表膜收納體之部分之長度之合計設為La時，La/Lp之值較佳為7.0%以下，較佳為6.0%以下，較佳為5.0%以下，較佳為4.0%以下。La/Lp之值之下限只要為能夠將保護膜4固定於收納容器9之範圍，便無特別限定，可為1.0%以上，亦可為2.0%以上。即，根據上述構成，能夠將表膜結構體1確實地相對收納容器9固定，並且使自收納容器9取出表膜結構體1變得容易。然而，若使力集中地作用於形成有壓邊5之部位，則存在導致將該壓邊5自膠帶8拉出，從而無法保持將保護膜4一直固定於收納容器9之虞。若無法將保護膜4固定於收納容器9，則當自收納容器9取出表膜結構體1時，無法自黏著層24剝離保護膜4。針對此種問題，表膜結構體1係藉由設計保護膜4之壓邊5之形狀，而防止將壓邊5自膠帶8拉出。其次，一邊參照圖3及圖4，一邊對壓邊5進行詳細說明。圖3及圖4係圖1之III部之放大圖。圖3係表示取出時之力未施加至表膜結構體1之狀態，圖4係表示取出時之力施加至表膜結構體1之狀態。如上所述，保護膜4具有8個壓邊5，但各壓邊5之基本形狀相同。因此，此處對圖1之III部中所示之1個壓邊5進行說明，省略關於其他壓邊5之說明。壓邊5具有基端部51及錨定部52。基端部51係一端部511與保護部41連接。基端部51係以自連接著該基端部51之保護部41，於相對於該保護部41沿框體2延伸之方向(圖3所示之例中為X方向)大致垂直之方向(圖3所示之例中為Y方向)上延伸之方式形成。基端部51之寬度之尺寸(圖3所示之例為X方向上之尺寸)W1約為15 mm。又，基端部51自保護部41突出之長度L1約為20 mm。錨定部52係與基端部51之端部512連接。錨定部52係以於相對於具有該錨定部52之壓邊5所延伸之方向(圖3所示之例中為Y方向)垂直之方向(圖3所示之例中為X方向)上延伸之方式形成。錨定部52之寬度之尺寸(圖3所示之例中為X方向上之尺寸)W2約為30 mm。又，錨定部52自基端部51之端部512突出之長度L2約為5 mm。根據容易地形成剝離端之觀點，錨定部52之寬度大於基端部51之寬度。又，基端部51之寬度之尺寸W1為錨定部52之寬度之尺寸W2之10%以上。基端部51之寬度之尺寸W1可為錨定部52之寬度之尺寸W2之20%以上，亦可為30%以上，亦可為40%以上。進而，基端部51之端部512之寬度自保護部41朝向錨定部52逐漸變大。又，根據容易地形成剝離端之觀點，基端部51之寬度之尺寸W1較佳為錨定部52之寬度之尺寸W2之90%以下，較佳為80%以下，較佳為70%以下，較佳為60%以下。又，根據容易地形成剝離端之觀點，較佳為基端部51之寬度之尺寸W1較小，較佳為60 mm以下，較佳為55 mm以下，較佳為50 mm以下，較佳為45 mm以下，較佳為40 mm以下，較佳為35 mm以下，較佳為30 mm以下，較佳為25 mm以下，較佳為20 mm以下，較佳為15 mm以下，較佳為10 mm以下。尺寸W1之下限並無特別限定，但3 mm以上即可，亦可為5 mm以上。又，根據容易地形成剝離端之觀點，錨定部52之寬度之尺寸W2較佳為大於基端部51之寬度。錨定部52之寬度之尺寸W2可為10 mm以上，亦可為20 mm以上，亦可為30 mm以上，亦可為40 mm以上，亦可為50 mm以上，亦可為60 mm以上，亦可為70 mm以上。當將表膜結構體1固定於收納容器9之托盤91時，如圖3所示地貼附膠帶8。膠帶8係以跨及壓邊5之基端部51及托盤91之固定面911之方式貼附。詳細而言，膠帶8於X方向上橫截基端部51，並且將其中央部貼附於基端部51，兩端部貼附於固定面911。膠帶8係以其Y方向側之端部81與錨定部52之-Y方向側之端部521隔開特定間隔，或者與端部521抵接之方式配置。當將表膜結構體1自收納容器9取出時，若以自托盤91拉開之方式對框體2施加力，則力亦作用於貼附於框體2之黏著層24之保護膜4。該力係如圖4中以箭頭F11所示，以將保護膜4之壓邊5朝向-Y方向拉拽之方式作用。若保護膜4朝向-Y方向移動，則如圖4所示，錨定部52之端部521與膠帶8之端部81抵接。藉此，錨定部52於其端部521，自膠帶8之端部81如箭頭F12所示地受力。壓邊5藉由以該箭頭F12所示之力，對抗以自膠帶8拉出之方式作用之力。其結果，能夠防止壓邊5自膠帶8被拉出。錨定部52係以朝向相對於具有該錨定部52之壓邊所延伸之方向垂直之方向延伸之方式形成。根據該構成，能夠增大錨定部52與膠帶8之端部81抵接之範圍，從而確實地防止壓邊5自膠帶8被拉出。又，基端部51之端部512之寬度係自保護部41朝向錨定部52逐漸變大。根據該構成，能夠緩和基端部51之端部512與連接於該端部512之錨定部52之間之應力集中。其結果，即便於以自托盤91拉開之方式對框體2施加力之情形時，亦能夠防止基端部51之端部512與錨定部52斷裂。又，基端部51之寬度之尺寸W1為錨定部52之寬度之尺寸W2之40%以上。根據該構成，於以跨及基端部51及收納容器9之方式貼附膠帶8之情形時，即便以自收納容器9拉開之方式對表膜結構體1施加力，亦能夠防止基端部51之斷裂。其結果，當將表膜結構體1自收納容器9取出時，能夠保持保護膜4一直確實地固定於收納容器9。 [第2實施形態] 其次，一邊參照圖5及圖6，一邊對第2實施形態之表膜結構體10進行說明。圖5及圖6係表膜結構體10之放大圖，且表示表膜結構體10中之相當於圖1之III部之部位。表膜結構體10係與第1實施形態同樣地用於光罩等之防塵。表膜結構體10係該壓邊6之形狀與第1實施形態不同。對表膜結構體10之構成中之與第1實施形態之構成相同者標註相同符號，且適當省略說明。表膜結構體10之壓邊6具有基端部61及錨定部62。基端部61係一端部611與保護部41連接。基端部61係形成為自連接著該基端部61之保護部41，於相對於該保護部41沿框體2延伸之方向(圖5所示之例中為X方向)大致垂直之方向(於圖5所示之例中為Y方向)上延伸。錨定部62係與基端部61之端部612連接。錨定部62係形成為於相對於具有該錨定部62之壓邊6所延伸之方向(圖5所示之例中為Y方向)垂直之方向(圖5所示之例中為X方向)上延伸。又，錨定部62形成有2個狹縫63。各狹縫63自錨定部62之-Y方向側之端部622，沿具有該錨定部62之壓邊6所延伸之方向(圖5所示之例中為Y方向)上延伸。2個狹縫63係隔開與基端部61之寬度相同程度之間隔，相互平行地延伸。錨定部62藉由形成此種狹縫63，而如圖5中以箭頭A1所示，能夠將2個可動部621翻起或將翻起之可動部621復原。當將表膜結構體10固定於收納容器9之托盤91時，如圖6(A)所示地貼附膠帶8。膠帶8係如箭頭A2所示，以於將壓邊6之可動部621翻起之狀態下跨及基端部61及托盤91之固定面911之方式貼附。詳細而言，膠帶8係於X方向上橫截基端部61，並且將其中央部貼附於基端部61，兩端部貼附於固定面911。於貼附膠帶8後，翻起之可動部621以圖6(B)中箭頭A3所示之方式復原。藉此，將基端部61配置於膠帶8與固定面911之間，與此相對，將可動部621配置於較膠帶8更靠Z方向側。此時，膠帶8以其Y方向側之端部81與各狹縫63之端部631隔開特定間隔，或者與端部631抵接之方式配置。當將表膜結構體10自收納容器9取出時，若以自托盤91拉開之方式對框體2施加力，則力亦作用於貼附於框體2之黏著層24之保護膜4。該力係如圖6(C)中以箭頭F21所示，以將保護膜4之壓邊6朝向-Y方向拉拽之方式作用。若保護膜4朝向-Y方向移動，則各狹縫63之端部631與膠帶8之端部81抵接。藉此，錨定部62於各狹縫63之端部631，自膠帶8之端部81以箭頭F22所示之方式受力。壓邊6藉由該箭頭F22所示之力，對抗以自膠帶8拉出之方式作用之力。其結果，能夠防止壓邊6自膠帶8拉出。以上說明之實施形態係用以容易地理解本發明者，而非用以限定解釋本發明者。實施形態所具備之各要素及其配置、材料、條件、形狀及尺寸等並不限定於例示者，可適當進行變更。又，可將不同實施形態所示之構成彼此進行局部置換或組合。例如，亦可於壓邊5、6之基端部51、61之中央部形成於Z方向將基端部51、61貫通之貫通孔。貫通孔之形狀可設為圓形或四角形等各種者。該情形時，貼附於基端部51、61之膠帶8經由該貫通孔貼附於托盤91之固定面911。即，膠帶8不僅其兩端部，而且中央部亦貼附於固定面911。根據該構成，能夠將保護膜4進一步確實地固定於固定面911。又，固定構件並不限於膠帶8，亦可使用螺絲或螺栓等。但，根據容易地形成剝離端之觀點，最佳為膠帶。又，亦可沿保護膜4之1個邊或框體之1個邊設置3個以上之壓邊，亦可設置4個以上之壓邊，亦可設置5個以上之壓邊，亦可設置6個以上之壓邊。又，亦可沿保護膜4之1個邊或框體之1個邊設置3個以上之固定構件，亦可設置4個以上之固定構件，亦可設置5個以上之固定構件，亦可設置6個以上之壓邊。

1‧‧‧表膜結構體

2‧‧‧框體

3‧‧‧表膜之膜

4‧‧‧保護膜

5‧‧‧壓邊

6‧‧‧壓邊

8‧‧‧膠帶(固定構件)

9‧‧‧收納容器

10‧‧‧表膜結構體

21‧‧‧長邊構件

22‧‧‧短邊構件

23‧‧‧接著劑

24‧‧‧黏著層

41‧‧‧保護部

51‧‧‧基端部

52‧‧‧錨定部

61‧‧‧基端部

62‧‧‧錨定部

63‧‧‧狹縫

81‧‧‧端部

90‧‧‧收納空間

91‧‧‧托盤

92‧‧‧蓋

93‧‧‧夾具

511‧‧‧端部

512‧‧‧端部

521‧‧‧端部

611‧‧‧端部

612‧‧‧端部

621‧‧‧可動部

622‧‧‧端部

631‧‧‧端部

911‧‧‧固定面

A1‧‧‧箭頭

A2‧‧‧箭頭

A3‧‧‧箭頭

F11‧‧‧箭頭

F12‧‧‧箭頭

F21‧‧‧箭頭

F22‧‧‧箭頭

L1‧‧‧長度

L2‧‧‧長度

W1‧‧‧寬度

W2‧‧‧寬度

X‧‧‧X方向

Y‧‧‧Y方向

Z‧‧‧Z方向

圖1係表示第1實施形態之表膜結構體之前視圖。圖2係表示圖1之II-II剖面之剖視圖。圖3係圖1之III部之放大圖。圖4係圖1之III部之放大圖。圖5係第2實施形態之表膜結構體之放大圖。圖6(A)～(C)係第2實施形態之表膜結構體之放大圖。

Claims

一種表膜結構體，其特徵在於具備：框體，其於前視下外形為矩形，且於背面側端面具有黏著層；表膜之膜，其設置於上述框體之正面側端面，覆蓋該框體之內部；及保護膜，其具有貼附於上述黏著層保護該黏著層之保護部、及與上述保護部一體設置之複數個壓邊；上述複數個壓邊係以朝向上述框體之外部延伸之方式形成，上述複數個壓邊中之至少一者具有一端部連接於上述保護部之基端部、及連接於上述基端部之另一端部之錨定部，上述錨定部之寬度大於上述基端部之寬度。
如請求項1之表膜結構體，其中上述錨定部係以朝向相對於具有該錨定部之上述壓邊所延伸之方向垂直之方向延伸之方式形成。
如請求項1或2之表膜結構體，其中上述基端部之另一端部之寬度係自上述保護部朝向上述錨定部逐漸變大。
如請求項1至3中任一項之表膜結構體，其中上述錨定部形成有沿著具有該錨定部之上述壓邊所延伸之方向之狹縫。
如請求項1至4中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之40%以上。
如請求項1至5中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之90%以下。
如請求項6之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之80%以下。
如請求項6之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之70%以下。
如請求項6之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為上述錨定部之寬度之尺寸之60%以下。
如請求項1至9中任一項之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為60 mm以下。
如請求項10之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為40 mm以下。
如請求項11之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為30 mm以下。
如請求項12之表膜結構體，其中上述基端部之寬度之尺寸為20 mm以下。
一種表膜收納體，其特徵在於：其係具備如請求項1至13中任一項之表膜結構體、及收納上述表膜結構體之收納容器者，且具有用以將上述基端部固定於上述收納容器之固定構件。
如請求項14之表膜收納體，其中上述複數個壓邊之相鄰壓邊之間之保護膜未固定於上述收納容器，且上述相鄰壓邊之間之未固定於上述收納容器之保護膜之長度為200 mm以上。
如請求項15之表膜收納體，其中上述複數個壓邊之相鄰壓邊之間之保護膜未固定於上述收納容器，且上述相鄰壓邊之間之未固定於上述收納容器之保護膜之長度為410 mm以上。
一種表膜收納體，其特徵在於，其係具備表膜結構體、及收納上述表膜結構體之收納容器者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形；表膜之膜，其設置於上述框體之一面，覆蓋上述框體之內部；黏著層，其設置於上述框體之另一面；及保護膜，其貼附於上述黏著層之與設置有上述框體之面為相反側之面；上述保護膜具有突出至上述保護膜之外側之壓邊，上述壓邊藉由固定構件固定於上述表膜收納體，上述壓邊之藉由上述固定構件固定於上述表膜收納體之部分之長度之合計占上述保護膜之1邊之長度之1.0%以上且7.0%以下。
如請求項17之表膜收納體，其中上述壓邊之藉由上述固定構件固定於上述表膜收納體之部分之長度之合計占上述保護膜之1邊長度之1.0%以上且4.0%以下。
一種表膜收納體，其特徵在於，其係具備表膜結構體、及收納上述表膜結構體之收納容器者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形；表膜之膜，其設置於上述框體之一面，覆蓋上述框體之內部；黏著層，其設置於上述框體之另一面；及保護膜，其貼附於上述黏著層之與設置有上述框體之面為相反側之面；上述保護膜具有突出至上述保護膜之外側之第1至第3壓邊，上述第1至第3壓邊藉由第1至第3固定構件固定於上述表膜收納體，上述第1固定構件、上述第2固定構件、及上述第3固定構件係沿上述框體之同一邊依序設置，上述第1壓邊、上述第2壓邊、及上述第3壓邊沿上述框體之同一邊依序設置，第1固定構件與第2固定構件之間之保護膜未固定於上述收納容器，第2固定構件與第3固定構件之間之保護膜未固定於上述收納容器，上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為200 mm以上，上述第2壓邊之最小寬度為60 mm以下，上述第2壓邊之最小寬度部分藉由上述第2固定構件固定於上述表膜收納體。
如請求項19之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為40 mm以下。
如請求項20之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為30 mm以下。
如請求項21之表膜收納體，其中上述第2壓邊之最小寬度為20 mm以下。
如請求項19至22中任一項之表膜收納體，其中上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為250 mm以上。
如請求項23之表膜收納體，其中上述第1固定構件與第2固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度、及上述第2固定構件與第3固定構件之間之未固定於上述收納容器之上述保護膜之長度均為300 mm以上。
一種固定方法，其特徵在於，其係將表膜結構體相對於收納容器固定者，上述表膜結構體具備：框體，其於前視下外形為矩形，且於背面側端面具有黏著層；表膜之膜，其設置於上述框體之正面側端面，覆蓋該框體之內部；及保護膜，其具有貼附於上述黏著層而保護該黏著層之保護部、及與上述保護部一體設置且以朝向上述框體之外部延伸之方式形成之複數個壓邊；上述複數個壓邊中之至少一者具有一端部連接於上述保護部之基端部、及連接於上述基端部之另一端部且寬度大於上述基端部之錨定部，膠帶係以跨及上述基端部及上述收納容器之方式貼附，而非貼附於上述錨定部。