KR20180053245A

KR20180053245A - 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 고정 방법

Info

Publication number: KR20180053245A
Application number: KR1020170148440A
Authority: KR
Inventors: 다카노리 히로세; 호즈마 구리야마
Original assignee: 아사히 가세이 가부시키가이샤
Priority date: 2016-11-11
Filing date: 2017-11-09
Publication date: 2018-05-21
Also published as: KR102084479B1; JP2018084806A; TW201820030A; CN207488699U; TWI652544B; JP7017900B2

Abstract

[과제] 수납 용기로부터 취출할 때에, 점착층으로부터 보호 필름을 확실하게 박리시키는 것이 가능한 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 그의 고정 방법을 제공한다.
[해결수단] 펠리클 구조체(1)는 프레임체(2)와, 펠리클막(3)과, 보호 필름(4)을 구비한다. 프레임체(2)는, 정면에서 보아 외형이 직사각형이며, 배면측 단부면에 점착층(24)을 갖는다. 펠리클막(3)은, 프레임체(2)의 정면측 단부면에 설치되고, 프레임체(2)의 내부를 덮는다. 보호 필름(4)은, 점착층(24)에 접착하여 점착층(24)을 보호하는 보호부(41)와, 보호부(41)와 일체적으로 설치된 복수의 가압 마진(5)을 갖는다. 복수의 가압 마진(5)은, 프레임체(2)의 외부를 향하여 연장되도록 형성되어 있다. 복수의 가압 마진(5) 중 적어도 1개는, 단부(511)가 보호부(41)에 접속된 기단부(51)와, 기단부(51)의 단부(512)에 접속된 앵커부(52)를 갖는다. 앵커부(52)의 폭 W2는 기단부(51)의 폭 W1보다도 크다.

Description

펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 고정 방법{PELLICLE STRUCTURE, PELLICLE STORAGE AND FIXING METHOD}

본 발명은 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 고정 방법에 관한 것이다.

LSI, 플랫 패널 디스플레이를 구성하는 박막 트랜지스터, 컬러 필터 등의 제조 공정에서는, 포토마스크나 레티클(이하, 「포토마스크 등」이라고 함)의 방진이 필요해진다. 방진 수단으로서, 펠리클 구조체라고 칭해지는 구조체가 널리 사용되고 있다.

펠리클 구조체는, 일반적으로는 프레임체와 고분자막(이하, 「펠리클막」이라고 함)에 의해 구성된다. 펠리클막은, 예를 들어 니트로셀룰로오스나, 셀룰로오스 유도체, 불소 중합체 등에 의해 형성된 두께 10㎛ 이하의 투명한 막이다. 펠리클 구조체는, 프레임체의 일단부면에 펠리클막을 접착함과 함께, 당해 펠리클막에 의해 프레임체의 내부를 덮도록 하여 구성된다. 프레임체의 타단부면에는, 펠리클 구조체를 포토마스크 등에 점착시키기 위한 점착층이 설치된다.

이러한 펠리클 구조체는, 일반적으로는 당해 펠리클 구조체의 제조자로부터, 포토마스크 등의 제조자에게 공급된다. 포토마스크 등의 제조자는, 점착층을 포토마스크 등에 점착시킴으로써, 펠리클 구조체를 포토마스크 등에 대하여 고정한다. 따라서, 펠리클 구조체의 제조자는, 그러한 사용에 제공할 때까지 점착층의 점착력을 유지시키기 위해서, 점착층에 보호 필름을 접착시켜서 보호한 상태에서, 펠리클 구조체를 포토마스크 등의 제조자에게 공급한다. 포토마스크 등의 제조자는, 공급된 펠리클 구조체의 보호 필름을 박리시켜, 프레임체의 점착층을 노출시킴으로써, 펠리클 구조체를 점착층에 있어서 포토마스크 등에 점착시키는 것이 가능해진다.

또한, 펠리클 구조체는 그 손상이나, 펠리클막 등으로의 이물의 부착을 방지하기 위해서, 수납 용기에 밀봉된 상태에서 반송된다. 펠리클 구조체는, 프레임체나 펠리클막을 수납 용기에 접촉시키지 않고, 수납 용기의 내부에서 확실하게 고정되는 것이 필요해진다.

이와 같은 요구에 대하여 특허문헌 1에는, 테이프를 사용하여 펠리클 구조체를 수납 용기에 대하여 고정하는 구성이 제안되어 있다. 상세하게는, 당해 구성에서는, 보호 필름에 복수의 가압 마진이 형성되어 있고, 가압 마진과 수납 용기의 트레이에 걸치도록 테이프를 접착함으로써, 펠리클 구조체의 보호 필름을 트레이에 대하여 고정할 수 있다. 펠리클 구조체를 수납 용기로부터 취출할 때는, 트레이로부터 분리되도록 펠리클 구조체에 힘을 부가한다. 이에 의해, 보호 필름이 트레이에 고정된 채인 상태에서, 점착층으로부터 보호 필름을 박리시켜, 프레임체의 점착층을 노출시키는 것이 가능해진다. 즉, 수납 용기로부터의 펠리클 구조체의 취출과, 보호 필름의 박리를 동시에 행하는 것이 가능해진다.

펠리클 구조체를 수납 용기로부터 취출할 때는, 트레이로부터 분리되도록 펠리클 구조체에 힘을 부가함으로써, 먼저, 점착층과 보호 필름 사이에, 박리를 개시하는 단부(이하, 이 단부를 「박리단」이라고 함)를 형성할 필요가 있다. 박리단의 형성 후, 펠리클 구조체에 더 힘을 부가함으로써, 보호 필름 중 점착층으로부터 박리된 범위를 박리단으로부터 확대시켜, 보호 필름 전체를 점착층으로부터 박리시킬 수 있다.

국제 공개 제2006/59388호

특허문헌 1에 제안되어 있는 구성에서는, 박리단을 형성하기 위하여 펠리클 구조체에 큰 힘을 부가하면, 가압 마진에는, 테이프로부터 뽑히는 것과 같은 힘이 작용한다. 가압 마진이 테이프로부터 뽑혀, 보호 필름을 수납 용기에 고정된 채로 하는 것이 불가능해지면, 점착층으로부터 보호 필름을 박리시킬 수 없어진다고 하는 과제가 있었다.

또한, 근년의 디스플레이 대형화에 수반하여, 펠리클 구조체의 프레임체도 대형화하는 경향이 있다. 따라서, 펠리클 구조체에 큰 힘을 부가하여 박리단을 형성하고자 하면, 프레임체의 변형을 초래할 우려가 있다. 상세하게는, 수납 용기로부터의 취출 시에, 트레이로부터 분리하려고 하는 힘과, 보호 필름으로부터 받는 반력이 프레임체에 부가되어, 프레임체에 휨이 발생해 버릴 우려가 있다.

이와 같이, 종래의 펠리클 구조체 및 그의 고정 방법에는, 수납 용기의 내부에 있어서의 펠리클 구조체의 확실한 고정과, 펠리클 구조체의 용이한 취출을 양립시키는 것이 곤란하다는 과제가 있었다.

본 발명은 이러한 과제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적은, 수납 용기로부터 취출할 때에, 점착층으로부터 보호 필름을 확실하게 박리시키는 것이 가능한 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 그의 고정 방법을 제공하는 데 있다.

본 발명자들은 예의 검토한 결과, 펠리클 구조체를 수납 용기로부터 취출할 때에, 점착층으로부터 보호 필름을 확실하게 박리시키는 것이 가능한 본 발명을 완성시키기에 이르렀다.

즉, 본 발명은 이하와 같다.

(1)

펠리클 구조체이며,

정면에서 보아 외형이 직사각형이며, 배면측 단부면에 점착층을 갖는 프레임체와,

상기 프레임체의 정면측 단부면에 설치되고, 해당 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,

상기 점착층에 접착하여 해당 점착층을 보호하는 보호부와, 상기 보호부와 일체적으로 설치된 복수의 가압 마진을 갖는 보호 필름을 구비하고,

상기 복수의 가압 마진은, 상기 프레임체의 외부를 향하여 연장되도록 형성되고,

상기 복수의 가압 마진 중 적어도 1개는, 일단부가 상기 보호부에 접속된 기단부와, 상기 기단부의 타단부에 접속된 앵커부를 갖고,

상기 앵커부의 폭은 상기 기단부의 폭보다도 큰 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.

(2)

상기 앵커부는, 해당 앵커부를 갖는 상기 가압 마진이 연장되는 방향에 대하여 수직인 방향으로 연장되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 (1)에 기재된 펠리클 구조체.

(3)

상기 기단부의 타단부 폭은, 상기 보호부로부터 상기 앵커부를 향하여 점차 커지는 것을 특징으로 하는 (1) 또는 (2)에 기재된 펠리클 구조체.

(4)

상기 앵커부는, 해당 앵커부를 갖는 상기 가압 마진이 연장되는 방향을 따르는 슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (3) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 구조체.

(5)

상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 40％ 이상인 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (4) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 구조체.

(6)

상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 90％ 이하인 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (5) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 구조체.

(7)

상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 80％ 이하인 것을 특징으로 하는 (6)에 기재된 펠리클 구조체.

(8)

상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 70％ 이하인 것을 특징으로 하는 (6)에 기재된 펠리클 구조체.

(9)

상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 60％ 이하인 것을 특징으로 하는 (6)에 기재된 펠리클 구조체.

(10)

상기 기단부의 폭 치수는 60mm 이하인 것을 특징으로 하는 (1) 내지 (9) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 구조체.

(11)

상기 기단부의 폭 치수는 40mm 이하인 것을 특징으로 하는 (10)에 기재된 펠리클 구조체.

(12)

상기 기단부의 폭 치수는 30mm 이하인 것을 특징으로 하는 (11)에 기재된 펠리클 구조체.

(13)

상기 기단부의 폭 치수는 20mm 이하인 것을 특징으로 하는 (12)에 기재된 펠리클 구조체.

(14)

(1) 내지 (13) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 구조체와, 상기 펠리클 구조체를 수납하는 수납 용기를 구비하는 펠리클 수납체이며,

상기 기단부를 상기 수납 용기에 고정하기 위한 고정 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.

(15)

상기 복수의 가압 마진의 인접하는 가압 마진 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,

상기 인접하는 가압 마진 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 보호 필름의 길이는 200mm 이상인 것을 특징으로 하는 (14)에 기재된 펠리클 수납체.

(16)

상기 인접하는 가압 마진 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 보호 필름의 길이는 410mm 이상인 것을 특징으로 하는 (15)에 기재된 펠리클 수납체.

(17)

펠리클 구조체와, 상기 펠리클 구조체를 수납하는 수납 용기를 구비하는 펠리클 수납체로서,

상기 펠리클 구조체는,

정면에서 보아 외형이 직사각형인 프레임체와,

상기 프레임체의 한쪽 면에 설치되고, 상기 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,

상기 프레임체의 다른 쪽 면에 설치된 점착층과,

상기 점착층의 상기 프레임체가 설치된 면과는 반대측의 면에 접착된 보호 필름을 구비하고,

상기 보호 필름은, 상기 보호 필름의 외측에 돌출되는 가압 마진을 갖고,

상기 가압 마진은, 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있고,

상기 보호 필름의 1변의 길이에서 차지하는 상기 가압 마진의 상기 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있는 부분의 길이의 합계가, 1.0％ 이상 7.0％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.

(18)

상기 보호 필름의 1변의 길이에서 차지하는 상기 가압 마진의 상기 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있는 부분의 길이의 합계가, 1.0％ 이상 4.0％ 이하인 것을 특징으로 하는 (17)에 기재된 펠리클 수납체.

(19)

상기 펠리클 구조체는,

정면에서 보아 외형이 직사각형인 프레임체와,

상기 프레임체의 다른 쪽 면에 설치된 점착층과,

상기 보호 필름은, 상기 보호 필름의 외측에 돌출되는 제1 내지 제3 가압 마진을 갖고,

상기 제1 내지 제3 가압 마진은, 제1 내지 제3 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있고,

상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재와 상기 제3 고정 부재는, 상기 프레임체의 동일한 변을 따라서 이 순서대로 설치되어 있고,

상기 제1 가압 마진과 상기 제2 가압 마진과 상기 제3 가압 마진은, 상기 프레임체의 동일한 변을 따라서 이 순서대로 설치되어 있고,

제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,

제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,

상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와, 상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 200mm 이상이며,

상기 제2 가압 마진의 최소폭이 60mm 이하이고,

상기 제2 가압 마진의 최소폭 부분이, 상기 제2 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.

(20)

상기 제2 가압 마진의 최소폭이 40mm 이하인 것을 특징으로 하는 (19)에 기재된 펠리클 수납체.

(21)

상기 제2 가압 마진의 최소폭이 30mm 이하인 것을 특징으로 하는 (20)에 기재된 펠리클 수납체.

(22)

상기 제2 가압 마진의 최소폭이 20mm 이하인 것을 특징으로 하는 (21)에 기재된 펠리클 수납체.

(23)

상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와,

상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 250mm 이상인 것을 특징으로 하는 (19) 내지 (22) 중 어느 하나에 기재된 펠리클 수납체.

(24)

상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와, 상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 300mm 이상인 것을 특징으로 하는 (23)에 기재된 펠리클 수납체.

(25)

펠리클 구조체를 수납 용기에 대하여 고정하는 고정 방법으로서,

상기 펠리클 구조체는,

상기 점착층에 접착하여 해당 점착층을 보호하는 보호부와, 상기 보호부와 일체적으로 설치되어 상기 프레임체의 외부를 향하여 연장되도록 형성된 복수의 가압 마진을 갖는 보호 필름을 구비하고,

상기 복수의 가압 마진 중 적어도 1개는, 일단부가 상기 보호부에 접속된 기단부와, 상기 기단부의 타단부에 접속되며 상기 기단부보다도 폭이 큰 앵커부를 갖고,

테이프를, 상기 앵커부에 접착하지 않고, 상기 기단부와 상기 수납 용기에 걸치도록 접착하는 것을 특징으로 하는 고정 방법.

본 발명에 따르면, 수납 용기로부터 취출할 때에, 점착층으로부터 보호 필름을 확실하게 박리시키는 것이 가능한 펠리클 구조체, 펠리클 수납체 및 그의 고정 방법을 제공할 수 있다.

도 1은, 제1 실시 형태에 따른 펠리클 구조체를 도시하는 정면도이다.
도 2는, 도 1의 II-II 단면을 도시하는 단면도이다.
도 3은, 도 1의 III부의 확대도이다.
도 4는, 도 1의 III부의 확대도이다.
도 5는, 제2 실시 형태에 따른 펠리클 구조체의 확대도이다.
도 6은, 제2 실시 형태에 따른 펠리클 구조체의 확대도이다.

이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 대하여 설명한다. 설명의 이해를 용이하게 하기 위해서, 각 도면에 있어서 동일한 구성 요소에 대해서는 가능한 한 동일한 부호를 부여하고, 중복하는 설명은 생략한다.

[제1 실시 형태]

먼저, 도 1 및 도 2를 참조하면서, 제1 실시 형태에 따른 펠리클 구조체(1)의 개요에 대하여 설명한다. 도 1은, 펠리클 구조체(1)를 도시하는 정면도이다. 도 2는, 도 1의 II-II 단면을 도시하는 단면도이다. 도 1은, 후술하는 수납 용기(9)의 트레이(91)에 고정되어 있는 펠리클 구조체(1)를 나타냄과 함께, 수납 용기(9)의 덮개(92)의 도시를 생략하고 있다.

이 펠리클 구조체(1)는, 포토리소그래피에 있어서 포토마스크 등의 방진을 행하는 기기이다. 펠리클 구조체(1)는 프레임체(2)와, 펠리클막(3)과, 보호 필름(4)을 구비하고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 프레임체(2)는 긴 변 부재(21)와, 짧은 변 부재(22)를 각각 2개 갖고 있다. 긴 변 부재(21) 및 짧은 변 부재(22)는, 모두 알루미늄 합금에 의해 형성되고, 직선 형상으로 연장되는 막대 형상의 부재이다. 2개의 긴 변 부재(21)는 서로 간격을 두고 평행하게 배치되어 있고, 마찬가지로, 2개의 짧은 변 부재(22)도 서로 간격을 두고 평행하게 배치되어 있다. 긴 변 부재(21)와 짧은 변 부재(22)는, 서로 대략 직각을 이루도록 단부가 접속되어 있다. 이에 의해, 프레임체(2)의 외형은 정면에서 보아 직사각형을 나타내고 있다. 프레임체(2)의 사이즈는, 포토마스크 등의 사이즈에 기초하여 정해져 있다. 예를 들어, 긴 변 부재(21)의 길이는 1700mm 이상이고, 짧은 변 부재(22)의 길이는 1500mm 이상이고, 개구 면적은 1000㎠ 이상이다.

또한, 이해를 용이하게 하기 위해서, 도 1에 도시된 바와 같이, 프레임체(2)의 긴 변 부재(21)가 연장되는 방향을 X 방향으로 하고, 짧은 변 부재(22)가 연장되는 방향을 Y 방향으로 하고, X 방향 및 Y 방향에 직교하는 방향을 Z 방향으로 하는 직교 좌표를 사용하여 설명한다. 도 2 이후에 있어서도, 당해 직교 좌표와 대응하는 좌표가 나타난다.

도 2에 도시된 바와 같이, 프레임체(2)의 -Z 방향측의 단부면에는, 점착층(24)이 설치되어 있다. 점착층(24)은, 당해 단부면의 전체 둘레에 걸쳐서 설치되어 있다. 후술하는 바와 같이, 점착층(24)은 포토마스크 등으로의 점착에 사용된다.

펠리클막(3)은, 예를 들어 니트로셀룰로오스나, 셀룰로오스 유도체, 불소 중합체 등에 의해 형성된 박막이다. 펠리클막(3)은, 그 두께가 10㎛ 이하이고, 포토리소그래피에 있어서 광원이 발하는 광을 충분히 투과시키도록 형성되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 펠리클막(3)은 접착제(23)를 통하여 프레임체(2)의 Z 방향측의 단부면에 접착되어, 프레임체(2)의 내부를 덮고 있다.

보호 필름(4)은, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리에틸렌 등의 수지 재료에 의해 형성되어 있다. 보호 필름(4)은, 두께가 30㎛ 내지 500㎛ 정도인 박막이고, 가요성을 갖고 있다.

도 1에 도시된 바와 같이, 보호 필름(4)은 1개의 보호부(41)와, 8개의 가압 마진(5)을 갖고 있다. 보호부(41)는, 프레임체(2)와 대응하는 프레임 형상을 나타내고 있다. 가압 마진(5)은, 보호부(41)의 외주로부터 방사 형상으로 연장되도록 형성되어 있다. 즉, 각 가압 마진(5)은 서로 간격을 두고 배치됨과 함께, 보호부(41)로부터 돌출되도록 형성되어 있다.

도 2에 도시된 바와 같이, 보호 필름(4)은, 보호부(41)에 있어서 프레임체(2)의 점착층(24)에 접착한다. 이에 의해, 점착층(24)의 대략 전체 둘레가 보호부(41)에 의해 덮여, 점착층(24)으로의 티끌의 부착이 방지된다. 점착층(24)의 점착력은, 보호부(41)에 의해 덮임으로써 보호된다. 또한, 보호 필름(4)을 박리하여 점착층(24)을 노출시킴으로써, 그때까지 보호되어 있었던 점착력을 발휘시킬 수 있다. 보호부(41)가 점착층(24)에 점착함으로써, 각 가압 마진(5)은 프레임체(2)의 외부를 향하여 연장하도록 배치된다.

이상의 설명과 같이 구성된 펠리클 구조체(1)는, 수납 용기(9)에 밀봉된 상태에서 반송된다. 이어서, 도 1 및 도 2를 참조하면서, 수납 용기(9)의 개요에 대하여 설명한다.

도 2에 도시된 바와 같이, 수납 용기(9)는 트레이(91)와, 덮개(92)를 갖고 있다. 트레이(91) 및 덮개(92)는, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 아크릴로니트릴부타디엔스티렌, 아크릴, 폴리카르보네이트, 폴리염화비닐 등의 수지 재료에 의해 형성되어 있다. 트레이(91) 및 덮개(92)는, 각각의 단부가 클립(93)에 의해 Z 방향으로 끼움 지지되고, 서로에 대하여 고정된다. 트레이(91) 및 덮개(92)의 중앙부는, Z 방향으로 간극을 이격하여 설치된다. 당해 간극이, 펠리클 구조체(1)가 배치되는 수납 공간(90)이다.

수납 공간(90)에 배치된 펠리클 구조체(1)는, 트레이(91)에 대하여 고정된다. 펠리클 구조체(1)의 고정에는, 테이프(8) 등의 고정 부재가 사용된다. 테이프(8)는 띠 형상을 나타내고 있고, 예를 들어 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리염화비닐 등의 수지 재료나, 부직포에 의해 형성할 수 있다. 테이프(8)의 한 측면에는, 점착성을 갖는 풀이 마련되어 있다. 당해 풀로서는, 예를 들어 아크릴계의 것이나, 폴리비닐알코올 등을 채용할 수 있다.

펠리클 구조체(1)는, 트레이(91)의 중앙부에서 융기하는 고정면(911)에 배치된다. 테이프(8)는, 풀이 마련된 면이 고정면(911)측을 향함과 함께, 도 1에 도시된 바와 같이, 보호 필름(4)의 가압 마진(5)과, 트레이(91)의 고정면(911)에 걸치도록 접착된다. 이에 의해, 펠리클 구조체(1)는, 보호 필름(4)에 있어서 트레이(91)의 고정면(911)에 대하여 고정된다.

이렇게 고정된 펠리클 구조체(1)는, 보호 필름(4)에서만 수납 용기(9)와 접촉하고 있다. 즉, 프레임체(2)나 펠리클막(3)을 수납 용기(9)에 접촉시킬 필요가 없다. 따라서, 펠리클 구조체(1)를 수납한 수납 용기(9)를 반송할 때에, 진동에 의해 프레임체(2)나 펠리클막(3)이 수납 용기(9)와 마찰될 일이 없다. 이에 의해, 수납 공간(90)에 있어서 새로운 티끌이 발생하는 일이 없다.

수납 용기(9)로부터의 펠리클 구조체(1)의 취출은, 높은 공기 청정도가 유지된 환경에서 행해진다. 당해 환경에 있어서, 먼저, 클립(93)이 트레이(91) 및 덮개(92)의 단부로부터 제거된다. 이어서, 덮개(92)를 트레이(91)로부터 이반시켜, 트레이(91)에 대하여 고정되어 있는 펠리클 구조체(1)를 노출시킨다. 또한, 소정의 지그를, 펠리클 구조체(1)의 프레임체(2)와, 트레이(91)에 대하여 고정함과 함께, 당해 지그에 의해 프레임체(2)에 Z 방향으로 힘을 부가한다. 즉, 트레이(91)로부터 분리되도록 프레임체(2)에 힘을 부가한다.

이에 의해, 프레임체(2)의 점착층(24)에 접착하고 있는 보호 필름(4)에도, 트레이(91)로부터 분리되도록 힘이 작용한다. 그러나, 전술한 바와 같이, 보호 필름(4)의 가압 마진(5)과, 트레이(91)의 고정면(911)에 걸치도록 테이프(8)가 접착되어 있기 때문에, 보호 필름(4)은 고정면(911)에 고정된 채이다. 이 결과, 프레임체(2)의 점착층(24)과, 보호 필름(4)의 보호부(41)를 분리하도록 힘이 작용한다. 이러한 힘은, 보호부(41)의 전체 둘레 중, 가압 마진(5)이 형성되어 있는 부위에 집중적으로 작용한다.

이 결과, 가압 마진(5)이 형성되어 있는 부위의 근방에 있어서, 도시하지 않은 박리단이 형성된다. 박리단의 형성 후, 프레임체(2)에 더 힘을 부가함으로써, 보호 필름(4)의 보호부(41) 중, 점착층(24)으로부터 박리된 범위를 확대시켜, 보호 필름(4) 전체를 점착층(24)으로부터 박리시킬 수 있다.

이와 같이, 수납 용기(9)로부터의 펠리클 구조체(1)(단, 보호 필름(4)이 박리된 상태의 것)의 취출과, 보호 필름(4)의 박리는 동시에 행해진다. 보호 필름(4)을 박리시킴으로써, 점착층(24)의 점착력을 발휘시켜, 펠리클 구조체(1)를 점착층(24)에 있어서 포토마스크 등에 점착시키는 것이 가능해진다. 당해 펠리클 구조체(1)는, 포토마스크 등에 형성된 화상 패턴을 펠리클막(3)에 의해 덮는다. 이에 의해, 포토리소그래피에 있어서 포토마스크 등의 방진을 행할 수 있다.

이 펠리클 구조체(1)에 의하면, 보호 필름(4)의 가압 마진(5)과 수납 용기(9)에 걸치도록 테이프(8)를 접착함으로써, 펠리클 구조체(1)를 수납 용기(9)에 대하여 고정할 수 있다. 8개의 가압 마진(5)은, 프레임체(2)의 점착층(24)에 접착하는 보호부(41)와 일체적으로 설치됨과 함께, 프레임체(2)의 외부를 향하여 방사 형상으로 연장되도록 형성되어 있다. 이렇게 가압 마진(5)이 연장됨으로써, 수납 용기(9)에 대하여 가압 마진(5)을 고정할 수 있는 범위를 확보할 수 있다. 이 결과, 수납 용기(9)에 대하여 펠리클 구조체(1)를 확실하게 고정하는 것이 가능해진다.

또한, 프레임체(2)의 외부를 향하여 방사 형상으로 연장되도록 8개의 가압 마진(5)을 형성함으로써, 가압 마진(5)을 국소적으로 형성하는 것이 가능해진다. 인접하는 가압 마진(5, 5) 사이의 보호 필름(4)은, 수납 용기(9)에 고정되어 있지 않다. 이렇게 구성된 펠리클 구조체(1)에, 수납 용기(9)로부터 분리되도록 힘을 부가하면, 점착층(24)과 보호 필름(4) 사이에서는, 가압 마진(5)이 형성되어 있는 부위에 집중적으로 힘이 작용한다. 이 결과, 수납 용기(9)로부터 펠리클 구조체(1)를 취출할 때에, 박리단을 용이하게 형성하는 것이 가능해진다.

또한, 박리단을 용이하게 형성하기 위해서는, 인접하는 가압 마진(5, 5) 사이의 거리(보호 필름(4) 중 수납 용기(9)에 고정되어 있지 않은 부분의 길이)는 긴 쪽이 바람직하고, 200mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 250mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 300mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 350mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 400mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 410mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 420mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 430mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 440mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 450mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 460mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 470mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 480mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 490mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 500mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 520mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 540mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 560mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 580mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하고, 600mm 이상으로 설정하는 것이 바람직하다. 상한은 특별히 한정은 없지만, 당해 거리는 2000mm 이하여도 되고, 1500mm 이하여도 된다.

박리단을 용이하게 형성하기 위해서는, 보호 필름(4)에 1변에 대한 가압 마진(5)이 적은 쪽이 좋다. 보호 필름(4)에 1변에 대한 가압 마진이 적으면, 트레이(91)로부터 펠리클막(3)을 분리할 때에, 보호 필름(4)이 상방으로 움직여서 마스크 점착제에 대하여 비스듬히 인장되는 개소가 복수 생길 수 있음으로써, 박리가 용이해진다.

보호 필름(4)의 1변의 길이를 Lp, 보호 필름(4)의 1변에 있어서의, 가압 마진(5)의 고정 부재에 의해 펠리클 수납체에 고정되어 있는 부분의 길이의 합계를 La로 했을 때에, La/Lp의 값은 7.0％ 이하인 것이 바람직하고, 6.0％ 이하인 것이 바람직하고, 5.0％ 이하인 것이 바람직하고, 4.0％ 이하인 것이 바람직하다. La/Lp의 값의 하한은 보호 필름(4)을 수납 용기(9)에 고정할 수 있는 범위라면 특별히 한정은 없지만, 1.0％ 이상이어도 되고, 2.0％ 이상이어도 된다.

즉, 상기 구성에 의하면, 수납 용기(9)에 대하여 펠리클 구조체(1)를 확실하게 고정함과 함께, 수납 용기(9)로부터의 펠리클 구조체(1)의 취출을 용이하게 하는 것이 가능해진다.

그런데, 가압 마진(5)이 형성되어 있는 부위에 집중적으로 힘을 작용시키면, 당해 가압 마진(5)이 테이프(8)로부터 뽑혀 버려, 보호 필름(4)을 수납 용기(9)에 고정된 채로 하는 것이 불가능해질 우려가 있다. 보호 필름(4)을 수납 용기(9)에 고정된 채로 하는 것이 불가능해지면, 펠리클 구조체(1)를 수납 용기(9)로부터 취출할 때에, 점착층(24)으로부터 보호 필름(4)을 박리시킬 수 없다.

이와 같은 과제에 대하여, 펠리클 구조체(1)에서는, 보호 필름(4)의 가압 마진(5)의 형상을 궁리함으로써, 가압 마진(5)이 테이프(8)로부터 뽑혀 버리는 것을 방지하고 있다. 이어서, 도 3 및 도 4를 참조하면서, 가압 마진(5)에 대하여 상세하게 설명한다. 도 3 및 도 4는, 도 1의 III부의 확대도이다. 도 3은, 취출 시의 힘이 펠리클 구조체(1)에 부가되어 있지 않은 상태를 나타내고 있고, 도 4는, 취출 시의 힘이 펠리클 구조체(1)에 부가되어 있는 상태를 나타내고 있다.

전술한 바와 같이, 보호 필름(4)은 8개의 가압 마진(5)을 갖고 있지만, 각 가압 마진(5)의 기본적인 형상은 동일하다. 따라서, 여기서는 도 1의 III부에 표시되는 1개의 가압 마진(5)에 대하여 설명하고, 다른 가압 마진(5)에 관한 설명을 생략한다. 가압 마진(5)은 기단부(51)와 앵커부(52)를 갖고 있다.

기단부(51)는, 한쪽의 단부(511)가 보호부(41)와 접속되어 있다. 기단부(51)는, 당해 기단부(51)가 접속되는 보호부(41)로부터, 당해 보호부(41)가 프레임체(2)를 따라 연장되는 방향(도 3에 도시되는 예에서는 X 방향)에 대하여 대략 수직인 방향(도 3에 도시되는 예에서는 Y 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다. 기단부(51)의 폭 치수(도 3에 도시되는 예에서는 X 방향에 있어서의 치수) W1은 약 15mm이다. 또한, 기단부(51)가 보호부(41)로부터 돌출되는 길이 L1은 약 20mm이다.

앵커부(52)는, 기단부(51)의 단부(512)와 접속되어 있다. 앵커부(52)는, 당해 앵커부(52)를 갖는 가압 마진(5)이 연장되는 방향(도 3에 도시되는 예에서는 Y 방향)에 대하여 수직인 방향(도 3에 도시되는 예에서는 X 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다. 앵커부(52)의 폭 치수(도 3에 도시되는 예에서는 X 방향에 있어서의 치수) W2는 약 30mm이다. 또한, 앵커부(52)가 기단부(51)의 단부(512)로부터 돌출되는 길이 L2는 약 5mm이다.

박리단을 용이하게 형성하는 관점에서, 앵커부(52)의 폭은 기단부(51)의 폭보다도 크다. 또한, 기단부(51)의 폭 치수 W1은, 앵커부(52)의 폭 치수 W2의 10％ 이상이다. 기단부(51)의 폭 치수 W1은, 앵커부(52)의 폭 치수 W2의 20％ 이상이어도 되고, 30％ 이상이어도 되고, 40％ 이상이어도 된다. 또한, 기단부(51)의 단부(512)의 폭은, 보호부(41)로부터 앵커부(52)를 향하여 점차 커진다.

또한, 박리단을 용이하게 형성하는 관점에서, 기단부(51)의 폭 치수 W1은, 앵커부(52)의 폭 치수 W2의 90％ 이하인 것이 바람직하고, 80％ 이하인 것이 바람직하고, 70％ 이하인 것이 바람직하고, 60％ 이하인 것이 바람직하다.

또한, 박리단을 용이하게 형성하는 관점에서, 기단부(51)의 폭 치수 W1은 작은 쪽이 바람직하고, 60mm 이하가 바람직하고, 55mm 이하가 바람직하고, 50mm 이하가 바람직하고, 45mm 이하가 바람직하고, 40mm 이하가 바람직하고, 35mm 이하가 바람직하고, 30mm 이하가 바람직하고, 25mm 이하가 바람직하고, 20mm 이하가 바람직하고, 15mm 이하가 바람직하고, 10mm 이하가 바람직하다. 치수 W1의 하한은 특별히 없지만, 3mm 이상이면 되고, 5mm 이상이어도 된다.

또한, 박리단을 용이하게 형성하는 관점에서, 앵커부(52)의 폭 치수 W2는 기단부(51)의 폭보다도 큰 것이 바람직하다. 앵커부(52)의 폭 치수 W2는 10mm 이상이어도 되고, 20mm 이상이어도 되고, 30mm 이상이어도 되고, 40mm 이상이어도 되고, 50mm 이상이어도 되고, 60mm 이상이어도 되고, 70mm 이상이어도 된다.

펠리클 구조체(1)를 수납 용기(9)의 트레이(91)에 고정할 때는, 도 3에 도시된 바와 같이 테이프(8)가 접착된다. 테이프(8)는, 가압 마진(5)의 기단부(51)와, 트레이(91)의 고정면(911)에 걸치도록 접착된다. 상세하게는, 테이프(8)는 기단부(51)를 X 방향으로 횡단함과 함께, 그 중앙부가 기단부(51)에 접착되고, 양단부가 고정면(911)에 접착된다. 테이프(8)는, 그 Y 방향측의 단부(81)가 앵커부(52)의 -Y 방향측의 단부(521)와 소정 간격을 두거나, 단부(521)와 맞닿게 배치된다.

펠리클 구조체(1)를 수납 용기(9)로부터 취출할 때에, 트레이(91)로부터 분리되도록 프레임체(2)에 힘을 부가하면, 프레임체(2)의 점착층(24)에 접착되어 있는 보호 필름(4)에도 힘이 작용한다. 이 힘은, 도 4에 화살표 F11로 나타낸 바와 같이, 보호 필름(4)의 가압 마진(5)을 -Y 방향으로 끌어들이게 작용한다.

보호 필름(4)이 -Y 방향으로 이동하면, 도 4에 도시된 바와 같이, 앵커부(52)의 단부(521)가, 테이프(8)의 단부(81)와 맞닿는다. 이에 의해, 앵커부(52)는, 그 단부(521)에 있어서, 테이프(8)의 단부(81)로부터 화살표 F12로 나타낸 바와 같이 힘을 받는다. 가압 마진(5)은, 이 화살표 F12로 나타내는 힘에 의해, 테이프(8)로부터 뽑히도록 작용하는 힘에 저항한다. 이 결과, 가압 마진(5)이 테이프(8)로부터 뽑혀 버리는 것을 방지할 수 있다.

앵커부(52)는, 당해 앵커부(52)를 갖는 가압 마진이 연장되는 방향에 대하여 수직인 방향으로 연장되도록 형성되어 있다. 이 구성에 의하면, 앵커부(52)와 테이프(8)의 단부(81)가 맞닿는 범위를 크게 하여, 가압 마진(5)이 테이프(8)로부터 뽑혀 버리는 것을 확실하게 방지할 수 있다.

또한, 기단부(51)의 단부(512)의 폭은, 보호부(41)로부터 앵커부(52)를 향하여 점차 커진다. 이 구성에 의하면, 기단부(51)의 단부(512)와, 당해 단부(512)에 접속된 앵커부(52) 사이에 있어서의 응력 집중을 완화하는 것이 가능해진다. 이 결과, 트레이(91)로부터 분리되도록 프레임체(2)에 힘을 부가한 경우에도, 기단부(51)의 단부(512)와 앵커부(52)가 파단하는 것을 방지할 수 있다.

또한, 기단부(51)의 폭 치수 W1은, 앵커부(52)의 폭 치수 W2의 40％ 이상이다. 이 구성에 의하면, 기단부(51)와 수납 용기(9)에 걸치도록 테이프(8)를 접착했을 경우에, 수납 용기(9)로부터 분리되도록 펠리클 구조체(1)에 힘을 부가해도, 기단부(51)의 파단을 방지하는 것이 가능해진다. 이 결과, 펠리클 구조체(1)를 수납 용기(9)로부터 취출할 때에, 보호 필름(4)을 수납 용기(9)에 확실하게 고정된 채로 하는 것이 가능해진다.

[제2 실시 형태]

이어서, 도 5 및 도 6을 참조하면서, 제2 실시 형태에 따른 펠리클 구조체(10)에 대하여 설명한다. 도 5 및 도 6은, 펠리클 구조체(10)의 확대도이고, 펠리클 구조체(10) 중 도 1의 III부에 상당하는 부위를 나타내고 있다.

펠리클 구조체(10)는 제1 실시 형태와 동일하게, 포토마스크 등의 방진에 사용된다. 펠리클 구조체(10)는, 그 가압 마진(6)의 형상이 제1 실시 형태와 상이하다. 펠리클 구조체(10)의 구성 중, 제1 실시 형태의 구성과 동일한 것에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 설명을 적절히 생략한다.

펠리클 구조체(10)의 가압 마진(6)은 기단부(61)와 앵커부(62)를 갖고 있다.

기단부(61)는, 한쪽의 단부(611)가 보호부(41)와 접속되어 있다. 기단부(61)는, 당해 기단부(61)가 접속되는 보호부(41)로부터, 당해 보호부(41)가 프레임체(2)를 따라 연장되는 방향(도 5에 도시되는 예에서는 X 방향)에 대하여 대략 수직인 방향(도 5에 도시되는 예에서는 Y 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다.

앵커부(62)는, 기단부(61)의 단부(612)와 접속되어 있다. 앵커부(62)는, 당해 앵커부(62)를 갖는 가압 마진(6)이 연장되는 방향(도 5에 도시되는 예에서는 Y 방향)에 대하여 수직인 방향(도 5에 도시되는 예에서는 X 방향)으로 연장되도록 형성되어 있다.

또한, 앵커부(62)는, 2개의 슬릿(63)이 형성되어 있다. 각 슬릿(63)은, 앵커부(62)의 -Y 방향측의 단부(622)로부터, 당해 앵커부(62)를 갖는 가압 마진(6)이 연장되는 방향(도 5에 도시되는 예에서는 Y 방향)을 따라 연장되고 있다. 2개의 슬릿(63)은, 기단부(61)의 폭과 동일 정도의 간격을 두고, 서로 평행하게 연장되고 있다. 앵커부(62)는 이러한 슬릿(63)이 형성됨으로써, 도 5에 화살표 A1로 나타낸 바와 같이, 2개의 가동부(621)를 넘겨 올리거나, 넘겨 올린 가동부(621)를 복귀시키거나 하는 것이 가능해진다.

펠리클 구조체(10)를 수납 용기(9)의 트레이(91)에 고정할 때는, 도 6의 (A)에 도시된 바와 같이 테이프(8)이 접착된다. 테이프(8)는, 화살표 A2로 나타낸 바와 같이 가압 마진(6)의 가동부(621)를 넘겨 올린 상태에서, 기단부(61)와, 트레이(91)의 고정면(911)에 걸치도록 접착된다. 상세하게는, 테이프(8)는 기단부(61)를 X 방향으로 횡단함과 함께, 그 중앙부가 기단부(61)에 접착되고, 양단부가 고정면(911)에 접착된다.

테이프(8)의 접착 후, 넘겨 올려져 있었던 가동부(621)는, 도 6의 (B)에 화살표 A3으로 나타나는 바와 같이 복귀된다. 이에 의해, 기단부(61)는 테이프(8)와 고정면(911) 사이에 배치되는 것에 대하여 가동부(621)는 테이프(8)보다도 Z 방향측에 배치된다. 이때, 테이프(8)는 그 Y 방향측의 단부(81)가, 각 슬릿(63)의 단부(631)와 소정 간격을 두거나, 단부(631)와 맞닿게 배치된다.

펠리클 구조체(10)를 수납 용기(9)로부터 취출할 때에, 트레이(91)로부터 분리되도록 프레임체(2)에 힘을 부가하면, 프레임체(2)의 점착층(24)에 접착하고 있는 보호 필름(4)에도 힘이 작용한다. 이 힘은, 도 6의 (C)에 화살표 F21로 나타내는 바와 같이, 보호 필름(4)의 가압 마진(6)을 -Y 방향으로 끌어들이도록 작용한다.

보호 필름(4)이 -Y 방향으로 이동하면, 각 슬릿(63)의 단부(631)가, 테이프(8)의 단부(81)와 맞닿는다. 이에 의해, 앵커부(62)는, 각 슬릿(63)의 단부(631)에 있어서, 테이프(8)의 단부(81)로부터 화살표 F22로 나타낸 바와 같이 힘을 받는다. 가압 마진(6)은, 이 화살표 F22로 나타나는 힘에 의해, 테이프(8)로부터 뽑히도록 작용하는 힘에 저항한다. 이 결과, 가압 마진(6)이 테이프(8)로부터 뽑혀 버리는 것을 방지할 수 있다.

이상 설명한 실시 형태는, 본 발명의 이해를 용이하게 하기 위한 것이고, 본 발명을 한정하여 해석하기 위한 것이 아니다. 실시 형태가 구비하는 각 요소 및 그 배치, 재료, 조건, 형상 및 사이즈 등은, 예시한 것에 한정되는 것은 아니고 적절히 변경할 수 있다. 또한, 다른 실시 형태에서 나타낸 구성끼리를 부분적으로 치환하거나 또는 조합하는 것이 가능하다.

예를 들어, 가압 마진(5, 6)의 기단부(51, 61)의 중앙부에, 기단부(51, 61)를 Z 방향으로 관통하는 관통 구멍을 형성해도 된다. 관통 구멍의 형상은 원형이나 사각형 등, 여러 가지 것으로 할 수 있다. 이 경우, 기단부(51, 61)에 접착된 테이프(8)는, 당해 관통 구멍을 통하여 트레이(91)의 고정면(911)에 접착한다. 즉, 테이프(8)는 그 양단부뿐만 아니라, 중앙부에서도 고정면(911)에 접착한다. 이 구성에 의하면, 보호 필름(4)을 더욱 확실하게 고정면(911)에 고정하는 것이 가능해진다.

또한, 고정 부재는 테이프(8)에 한정되지 않고, 나사나 볼트 등을 사용해도 된다. 단, 박리단을 용이하게 형성한다는 관점에서 테이프가 가장 바람직하다.

또한, 보호 필름(4)의 1개의 변이나 프레임체의 1개의 변을 따라서 3개 이상의 가압 마진이 설치되어 있어도 되고, 4개 이상의 가압 마진이 설치되어 있어도 되고, 5개 이상의 가압 마진이 설치되어 있어도 되고, 6개 이상의 가압 마진이 설치되어 있어도 된다.

또한, 보호 필름(4)의 1개의 변이나 프레임체의 1개의 변을 따라서 3개 이상의 고정 부재가 설치되어 있어도 되고, 4개 이상의 고정 부재가 설치되어 있어도 되고, 5개 이상의 고정 부재가 설치되어 있어도 되고, 6개 이상의 고정 부재가 설치되어 있어도 된다.

1, 10: 펠리클 구조체 2: 프레임체 24: 점착층 3: 펠리클막 4: 보호 필름 41: 보호부 5, 6: 가압 마진 51, 61: 기단부 52, 62: 앵커부 63: 슬릿 8: 테이프(고정 부재) 9: 수납 용기

Claims

펠리클 구조체이며,
정면에서 보아 외형이 직사각형이며, 배면측 단부면에 점착층을 갖는 프레임체와,
상기 프레임체의 정면측 단부면에 설치되고, 해당 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,
상기 점착층에 접착하여 해당 점착층을 보호하는 보호부와, 상기 보호부와 일체적으로 설치된 복수의 가압 마진을 갖는 보호 필름을 구비하고,
상기 복수의 가압 마진은, 상기 프레임체의 외부를 향하여 연장되도록 형성되고,
상기 복수의 가압 마진 중 적어도 1개는, 일단부가 상기 보호부에 접속된 기단부와, 상기 기단부의 타단부에 접속된 앵커부를 갖고,
상기 앵커부의 폭은 상기 기단부의 폭보다도 큰 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항에 있어서, 상기 앵커부는, 해당 앵커부를 갖는 상기 가압 마진이 연장되는 방향에 대하여 수직인 방향으로 연장되도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기단부의 타단부 폭은, 상기 보호부로부터 상기 앵커부를 향하여 점차 커지는 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 앵커부는, 해당 앵커부를 갖는 상기 가압 마진이 연장되는 방향을 따르는 슬릿이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 40％ 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 90％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제6항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 80％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제6항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 70％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제6항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 상기 앵커부의 폭 치수의 60％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 60mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제10항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 40mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제11항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 30mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제12항에 있어서, 상기 기단부의 폭 치수는 20mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 구조체.
제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 기재된 펠리클 구조체와, 상기 펠리클 구조체를 수납하는 수납 용기를 구비하는 펠리클 수납체이며,
상기 기단부를 상기 수납 용기에 고정하기 위한 고정 부재를 갖는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제14항에 있어서, 상기 복수의 가압 마진의 인접하는 가압 마진 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,
상기 인접하는 가압 마진 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 보호 필름의 길이는 200mm 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제15항에 있어서, 상기 복수의 가압 마진의 인접하는 가압 마진 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,
상기 인접하는 가압 마진 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 보호 필름의 길이는 410mm 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
펠리클 구조체와, 상기 펠리클 구조체를 수납하는 수납 용기를 구비하는 펠리클 수납체로서,
상기 펠리클 구조체는,
정면에서 보아 외형이 직사각형인 프레임체와,
상기 프레임체의 한쪽 면에 설치되고, 상기 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,
상기 프레임체의 다른 쪽 면에 설치된 점착층과,
상기 점착층의 상기 프레임체가 설치된 면과는 반대측의 면에 접착된 보호 필름을 구비하고,
상기 보호 필름은, 상기 보호 필름의 외측에 돌출되는 가압 마진을 갖고,
상기 가압 마진은, 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있고,
상기 보호 필름의 1변의 길이에서 차지하는 상기 가압 마진의 상기 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있는 부분의 길이의 합계가, 1.0％ 이상 7.0％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제17항에 있어서, 상기 보호 필름의 1변의 길이에서 차지하는 상기 가압 마진의 상기 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있는 부분의 길이의 합계가, 1.0％ 이상 4.0％ 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
펠리클 구조체와, 상기 펠리클 구조체를 수납하는 수납 용기를 구비하는 펠리클 수납체로서,
상기 펠리클 구조체는,
정면에서 보아 외형이 직사각형인 프레임체와,
상기 프레임체의 한쪽 면에 설치되고, 상기 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,
상기 프레임체의 다른 쪽 면에 설치된 점착층과,
상기 점착층의 상기 프레임체가 설치된 면과는 반대측의 면에 접착된 보호 필름을 구비하고,
상기 보호 필름은, 상기 보호 필름의 외측에 돌출되는 제1 내지 제3 가압 마진을 갖고,
상기 제1 내지 제3 가압 마진은, 제1 내지 제3 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되어 있고,
상기 제1 고정 부재와 상기 제2 고정 부재와 상기 제3 고정 부재는, 상기 프레임체의 동일한 변을 따라서 이 순서대로 설치되어 있고,
상기 제1 가압 마진과 상기 제2 가압 마진과 상기 제3 가압 마진은, 상기 프레임체의 동일한 변을 따라서 이 순서대로 설치되어 있고,
제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,
제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 보호 필름은 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않고,
상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와, 상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 200mm 이상이며,
상기 제2 가압 마진의 최소폭이 60mm 이하이고,
상기 제2 가압 마진의 최소폭 부분이, 상기 제2 고정 부재에 의해 상기 펠리클 수납체에 고정되는 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제19항에 있어서, 상기 제2 가압 마진의 최소폭이 40mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제20항에 있어서, 상기 제2 가압 마진의 최소폭이 30mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제21항에 있어서, 상기 제2 가압 마진의 최소폭이 20mm 이하인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제19항 내지 제22항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와,
상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 250mm 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
제23항에 있어서, 상기 제1 고정 부재와 제2 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이와, 상기 제2 고정 부재와 제3 고정 부재 사이의 상기 수납 용기에 고정되어 있지 않은 상기 보호 필름의 길이가 모두 300mm 이상인 것을 특징으로 하는 펠리클 수납체.
펠리클 구조체를 수납 용기에 대하여 고정하는 고정 방법으로서,
상기 펠리클 구조체는,
정면에서 보아 외형이 직사각형이며, 배면측 단부면에 점착층을 갖는 프레임체와,
상기 프레임체의 정면측 단부면에 설치되고, 해당 프레임체의 내부를 덮는 펠리클막과,
상기 점착층에 접착하여 해당 점착층을 보호하는 보호부와, 상기 보호부와 일체적으로 설치되어 상기 프레임체의 외부를 향하여 연장되도록 형성된 복수의 가압 마진을 갖는 보호 필름을 구비하고,
상기 복수의 가압 마진 중 적어도 1개는, 일단부가 상기 보호부에 접속된 기단부와, 상기 기단부의 타단부에 접속되며 상기 기단부보다도 폭이 큰 앵커부를 갖고,
테이프를, 상기 앵커부에 접착하지 않고, 상기 기단부와 상기 수납 용기에 걸치도록 접착하는 것을 특징으로 하는 고정 방법.