JP5792274B2 - 大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法 - Google Patents
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Description
2.前記把持用の凸部または凹部が、溝若しくは穴である上記1に記載の大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法。
3.前記大型ペリクルの枠体のすべての辺部においてすべての把持用の凸部または凹部を把持して取り出す、上記1又は2に記載の大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法。
長辺の長さが1600mm、短辺の長さが1400mm、幅が14mm、高さが6mmである四辺形のアルミニウム合金製の枠体を準備した。各辺の外側面の高さ3mmの位置に、各辺の中央、および各辺の両端から250mmの3点を中心として、開口部の周方向の長さ200mm、開口部の高さ1.5mm、溝の深さ3mmの溝を、枠体の4辺すべてに対し各辺3箇所ずつ切削加工により形成した。
枠体の下縁面に、表面にアクリル系粘着剤が塗布されたポリエチレン発泡体基材(厚さ1mm)を粘着材層として貼り付けた。次に、上記枠体と同じ枠形状の保護フィルムであって、長辺の中央部に寸法が幅10mm×長さ900mmの押さえ代、短辺の中央部に寸法が幅10mm×長さ750mmの押さえ代、及び四隅の頂点に頂点を中心に半径10mmの押さえ代をそれぞれ枠体の外側方向にはみ出すように設け(図27参照)、シリコーン系離型剤が表面に塗布されたポリエチレンテレフタレート樹脂製の保護フィルムを該粘着材層上に積層した。
このようにして得た保護フィルム付の大型ペリクルの枠体を、ABS樹脂材で真空成形された収納容器のトレイの上に搭載し、前記押さえ代8箇所を粘着テープ(テープサイズ:長辺15mm×940mm、短辺15mm×790mm、四隅15mm×60mm)を介してトレイに粘着固定した。
長辺の長さが1800mm、短辺の長さが1600mm、幅が16mmである以外は、前記実施例1と同様の枠体を準備して、実施例1と同様にトレイに固定した。
長辺の長さが2000mm、短辺の長さが1800mm、幅が18mmである以外は、前記実施例1と同様の枠体を準備して、実施例1と同様にトレイに固定した。
各辺の中央および各辺の両端から150mmの3点に、枠体の外側面に開口部の直径3mm、深さ3mmの円形の穴を、枠体の4辺すべてに対し各辺3箇所ずつ形成した以外は、前記実施例2と同様の枠体を準備して、実施例1と同様にトレイに固定した。
短辺の外側面の全周に渡って、開口部の高さ1.5mm、溝の深さ3mmの溝を形成し、長辺には把持部を形成しなかったこと以外は、前記実施例2と同様の枠体を準備して、実施例1と同様にトレイに固定した。
長辺の中央および両端から150mmの位置で、枠体の外側面に開口部の直径3mm、深さ3mmの円形の穴を、3箇所ずつ形成し、短辺の中央に、枠体の外側面に開口部の直径3mm、深さ3mmの円形の穴を、1箇所ずつ形成した以外は、前記実施例2と同様の枠体を準備して、実施例1と同様にトレイに固定した。
2 マスク粘着材
3 枠体の上縁面
4 枠体の下縁面
5 枠体の外側面
6 枠体の内側面
7 把持用の溝若しくは穴または突出部
7a 把持用の溝若しくは穴の奥に拡がった内部空間または把持用の突出部の先端部
7b 把持用の溝の開口部
7c 把持用の溝の最深部
9 フォトマスク
10,20 枠体
11 保護フィルム
11a 押さえ代
11b 押さえ代
15 別部品
16 把持部材
21 溝
30 枠体(従来品)
Claims (2)
- 大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法であって、
前記大型ペリクルの枠体が、複数の辺からなる多角形形状を有し、また前記枠体は、該枠体の上縁面に接着されたペリクル膜と、該枠体の下縁面に塗着された粘着材とを備えることができ、前記枠体の最も長い辺の長さが1m以上であり、前記枠体は、すべての辺部にそれぞれ3箇所の把持用の凹部を有し、各辺の長さに対して前記把持用の凹部が占める長さがそれぞれ10%以上であり、前記枠体のすべての辺においてすべての把持用の凹部を同時に把持して取り出す、大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法。 - 前記把持用の凹部が溝である請求項1に記載の大型ペリクルの収納容器からの取り出し方法。
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