TW201523125A - 大型薄膜之框體及該框體之取持方法 - Google Patents

大型薄膜之框體及該框體之取持方法 Download PDF

Info

Publication number
TW201523125A
TW201523125A TW104105935A TW104105935A TW201523125A TW 201523125 A TW201523125 A TW 201523125A TW 104105935 A TW104105935 A TW 104105935A TW 104105935 A TW104105935 A TW 104105935A TW 201523125 A TW201523125 A TW 201523125A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
frame
film
holding
casing
groove
Prior art date
Application number
TW104105935A
Other languages
English (en)
Other versions
TWI641904B (zh
Inventor
Akihiro Tanimura
Takuro Maeda
Original Assignee
Asahi Kasei Emd Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Asahi Kasei Emd Corp filed Critical Asahi Kasei Emd Corp
Publication of TW201523125A publication Critical patent/TW201523125A/zh
Application granted granted Critical
Publication of TWI641904B publication Critical patent/TWI641904B/zh

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/62—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof
    • G03F1/64—Pellicles, e.g. pellicle assemblies, e.g. having membrane on support frame; Preparation thereof characterised by the frames, e.g. structure or material, including bonding means therefor
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70783—Handling stress or warp of chucks, masks or workpieces, e.g. to compensate for imaging errors or considerations related to warpage of masks or workpieces due to their own weight
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
    • G03F7/70791—Large workpieces, e.g. glass substrates for flat panel displays or solar panels
    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
    • G03F7/708—Construction of apparatus, e.g. environment aspects, hygiene aspects or materials
    • G03F7/70983—Optical system protection, e.g. pellicles or removable covers for protection of mask

Landscapes

  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Epidemiology (AREA)
  • Public Health (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Sustainable Development (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Packaging Frangible Articles (AREA)

Abstract

本發明之大型薄膜組係包含：具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材，且上述框體之最長邊之長度為1m以上，該大型薄膜之上述框體在其所有邊部上，分別具有對上述框體進行取持之取持搬運用的凸部或凹部，於上述框體之各邊部上，分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，藉此能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。

Description

大型薄膜之框體及該框體之取持方法
本發明係關於一種框體，其係為防止異物附著於光罩(photomask)或主光罩(reticle)上而使用之薄膜之構成部件，上述光罩或主光罩係使用於在對構成大型積體電路(LSI)、液晶顯示器(LCD)之薄膜電晶體(TFT)或彩色濾光片(CF)等進行製造時之微影蝕刻(lithography)步驟中。本發明特別係關於一種液晶用大型薄膜之構成部件、即長邊長度為1m以上之作為大型薄膜之構成部件的框體。
本發明係關於薄膜之構成部件即框體之技術，首先對薄膜進行說明。
先前，於半導體裝置之製造中，對於在晶圓上形成電路圖案之微影蝕刻步驟，通常使用被稱為薄膜之防塵機構來防止異物附著於光罩或主光罩上。薄膜係將厚度為10μm以下之硝化纖維素(nitrocellulose)、纖維素衍生物或者氟聚合物等之透明高分子膜(以下稱為「薄膜」)展開，並接著於形狀與光罩或主光罩之形狀一致且厚度為數毫米左右之框體之上緣面上所成者。一般而言，薄膜在較多情況下係以於該框體之下緣面塗附黏著材、並且使保護膜積層於該黏著材層上之產品形態而上市。
上述黏著材層係用以將薄膜固著於光罩或者主光罩上者，又， 上述保護膜係保護該黏著材層之接著面者，以便該黏著材層維持黏著材之接著力而供使用。
此種薄膜通常由薄膜製造者提供給製造光罩或者主光罩之廠商(以下稱為「光罩製造者」)。光罩製造者將上述保護膜自薄膜上剝離，利用黏著材層將薄膜貼附於光罩或者主光罩上，然後將該光罩或者主光罩提供給進行微影蝕刻之廠商，例如半導體裝置製造者或液晶面板製造者。
薄膜之處理必須以如下方式進行，即，在薄膜被用作防塵機構之性質方面，不會附著塵埃。通常，在處理薄膜時，一般是向形成於框體外側面之孔中插入銷狀之夾具以取持框體，由於取持該夾具本體，從而使人手不會直接接觸到薄膜(參照例如專利文獻1)。又，亦提出如下方案：於框體之外側面上形成一槽，用以插入轉動桿，藉此使用具有轉動桿之夾具來取持框體，由於取持該夾具之本體，從而使人手不會直接接觸到薄膜(參照例如專利文獻2)。
又，自薄膜製造者向光罩製造者搬運薄膜時，一般是將薄膜裝入到具有密封性之收納容器內而進行搬運，以免附著塵埃。當然，由於要求將薄膜可靠地固定於收納容器內，因此亦提出如下方案：向形成於框體外側面上之孔中插入銷狀之夾具，藉此將薄膜固定於收納容器內(參照例如專利文獻3)。
又，亦提出如下方法：利用構成收納容器之托盤與蓋將形成於框體外側面上之水平突出部夾入其中，藉此將薄膜固定於收納容器內(參照例如專利文獻4或5)。
進而，不限於對形成於框體外側面上之突出部或槽或者孔對薄膜之取持、固定功能之研究，亦對薄膜之框體形狀進行各種研究。例如，為確保薄膜之內部與外部之通氣性，提出設置自框體之外側面貫穿於內側面之附過濾器之孔(參照例如專利文獻6)。
又，為控制自光罩之圖案面至薄膜之間的距離(間距，standoff)(參照例如專利文獻7~9)、控制光罩黏著材之露出(例如參照專利文獻10或11)、形成光罩黏著材之階差(參照例如專利文獻12)、以及確保向光罩上貼附時之加壓區域(參照例如專利文獻13)，提出於框體之上緣面或下緣面上設有槽或突起或者階差之各種形狀。
近年來，伴隨LCD之大型化，光罩及使用於光罩之薄膜亦大型化，最長邊之長度超過1m之薄膜已上市。本領域技術人員認為，今後，薄膜、光罩之大型化在LCD之大型化及生產效率提昇方面將不可或缺。
對於大型光罩之情形，其原材料較多為合成石英基板，故材料費非常高。因此，相對於已設定之有效曝光區域之大小，通常會將光罩尺寸設計得儘可能小。
對於貼附於大型光罩上之大型薄膜之情形，由於光罩尺寸有所制約，且貼附於自有效曝光區域至光罩外圍端之間的薄膜之框體寬度亦有所制約，故即使薄膜已大型化，但實際情況是，框體之寬度仍無法變大。
進而，自光罩之圖案面至薄膜之間的距離(間距)受到曝光機之光學系統之制約，故在框體高度方面亦有所制約，因此，即使薄膜已大型化，但實際情況是，框體之高度仍無法變大。
另一方面，關於對薄膜之面積為1000cm2以上的大型薄膜之框體彎曲的抑制方法，提出如下方法：使框體之長邊之寬度大於短邊之寬度(參照專利文獻14)。
又，近年來，光罩等之廠商在自收納容器中取出薄膜時，採用在使保護膜貼附於托盤之狀態下自保護膜與黏著材之界面上取出薄膜之方法，以便在自收納容器中取出薄膜後將其直接設置於光罩上，但要求在利用取出方法進行取出操作時，薄膜上不會產生翹曲、彎曲 (參照例如專利文獻15)。
[專利文獻1]日本專利特開平9-204039號公報
[專利文獻2]日本專利特開2005-326634號公報
[專利文獻3]日本專利特開2006-267179號公報
[專利文獻4]日本專利特開平10-48812號公報
[專利文獻5]日本專利特開平10-48811號公報
[專利文獻6]】日本專利特開2001-133960號公報
[專利文獻7]日本專利特開2002-182373號公報
[專利文獻8]日本專利特開2002-182371號公報
[專利文獻9]日本專利特開2000-298333號公報
[專利文獻10]日本專利特開2005-338722號公報
[專利文獻11]日本專利特開2000-292910號公報
[專利文獻12]日本專利特開2006-163035號公報，圖6
[專利文獻13]日本專利特開2005-308901號公報
[專利文獻14]日本專利特開2001-109135號公報
[專利文獻15]日本專利特開2007-017811號公報
如上所述，於大型薄膜中，由於框體之寬度、高度之制約，故框體之邊部彎曲會隨著薄膜之大型化而變大。並且，本發明者對最長邊之長度為1.4m~2.0m之大型薄膜之製作進行了研究，結果發現，利用先前之方法來取持框體極為困難。
即，如上述專利文獻1~5之記載，在向形成於框體之對向的兩邊之外側面上的槽或孔中插入銷、滑片(slide)等夾具以取持或固定框體之先前方法中，由於框體之邊部彎曲，因此銷、滑片等夾具容易自槽或孔中脫落，從而已經處於無法用框體之外側面之槽或孔來取持、固 定之狀況。例如，對於將銷插入到孔中之方法(專利文獻1)或者將轉動桿插入到槽中之方法(專利文獻2)，由於在框體之各邊上大致以一點而支撐，故負重容易集中，因而銷或轉動桿會因框體之邊部彎曲而容易脫落。
考慮將由框體之原材料變更而產生的高剛性化亦作為對策，但鑒於薄膜品質要求中的無灰塵等，實際情況是，無法輕易地變更框體之原材料。
至此，如上所述，對框體形狀考慮了各種情況，但基本上是對受到制約的框體之寬度、高度之範圍內的框體形狀之思考(參照例如專利文獻6~12)，故並不十分有助於框體之高剛性化。
又，亦正在研究於框體之寬度、高度之範圍外的框體形狀之設計(參照例如專利文獻4或5)。此可謂在對當初申請時之框體之制約方面優異的技術。即，於專利文獻4或5之當初申請時，LSI用途之薄膜成為主流，故LSI用途之光罩尺寸為，通常一邊為5~7英吋(127~178mm)，與液晶顯示器(LCD)用途之大型的光罩尺寸(一邊為330~1400mm)相比較小，故與大型的光罩尺寸相比，較薄膜尺寸而言，可使光罩尺寸較大。因此，於框體之寬度、高度之範圍外的框體形狀之設計並不成問題。
然而，今後，對於認為隨著更大型薄膜之普及而表面化之課題，即，為使光罩尺寸儘可能小，雖然有薄膜大型化之要求，但仍無法使框體之寬度、高度超出需要而變大，對此課題有必要改善薄膜之取持方法。
關於薄膜之取出方法，有如下方法：例如將配置於矩形框體之邊之中央部附近的相當於保護膜的固定件(Tab)(按壓片)以接著膠帶固定於薄膜收納容器上而形成之薄膜，藉由薄膜保持器而保持，且一邊檢測薄膜保持器之負重，一邊使保持器與收納容器隔開距離而剝離薄 膜(例如專利文獻13)。然而，該方法於大型薄膜之情形下，由於配置於大型薄膜之邊之中央部的固定件(按壓片)係以接著膠帶保持於收納容器上，故認為即便一邊檢測負重一邊剝離薄膜，亦無法避免框體之彎曲(參照專利文獻13之圖9)。
即，除要求能夠可靠地取持薄膜之框體以外，在其後自收納容器中取出薄膜時，亦要求能夠在框體上不產生彎曲或扭曲之情況下取出薄膜之方法。而且，尤其對於薄膜自身之重量變大、操作亦變得困難之大型薄膜，不僅要求收納、搬運、保管時能夠可靠地取持薄膜之框體，而且在自收納容器中取出薄膜時，亦要求在薄膜不產生翹曲、彎曲之情況下，自保護膜與黏著材之界面上取出薄膜之方法，以便薄膜在取出後可直接貼附於光罩等上。
即，本發明提供一種薄膜之框體，在對該薄膜之框體進行處理時以及收納、搬運、保管時，能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。又，本發明提供一種使用該薄膜之框體之大型薄膜之取持方法。
本發明者等為解決上述課題而努力研究，結果想出一方法解決上述課題：為不受到來自光罩之制約，於薄膜之框體之所有邊部上分別形成取持搬運用的凸部或凹部，以此取持最長邊之長度為1.4m~2.0m之大型薄膜。研究之結果發現，該方法對於最長邊之長度為1m以上之大型薄膜亦可有效地使用，從而完成本申請案之發明。即，本發明係如下所述者。
1.一種大型薄膜之框體，其係具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、且上述框體之最長邊之長度為1m以上者，其可具備接著於該框體之上緣面上之薄膜、及塗附於該框體之下緣面上之黏著材， 上述框體在其所有邊部上，分別具有取持搬運用的凸部或凹部。
2.如上述1所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部位於框體之外側面上。
3.如上述2所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部位於框體之外側面上且離開上緣面及下緣面之位置處。
4.如上述1至3中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為槽或者孔。
5.如上述4所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為具有於深處變寬之空間部分的槽或者孔。
6.如上述4所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為具有於深處變窄之空間部分的槽或者孔。
7.如上述1至6中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中對取持搬運用的凸部或凹部而言，於框體之各邊上，該取持搬運用的凸部或凹部所占之長度相對於各邊之長度為10%以上。
8.如上述7所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為遍及框體之所有邊部全周而設置之槽。
9.如上述7所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為部分地設置於框體之邊部上之槽。
10.如上述1至6中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為：各以複數個設置於框體之所有邊部上之孔。
11.一種大型薄膜組，其係包含：上述1~10中任一項所記載之大型薄膜之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材。
12.如上述11所記載之大型薄膜組，其中框體之最長邊之長度為1.4m以上、2.0m以下。
13.如上述11至12中任一項所記載之大型薄膜組之框體，其中框 體之寬度相對於高度之比為1.5~4.0。
14.一種大型薄膜之框體之取持方法，其係上述1~10中任一項所記載之大型薄膜之框體者，該取持方法為，於上述大型薄膜之框體之所有邊部上，分別取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部。
15.如上述14所記載之大型薄膜之框體之取持方法，其為，於大型薄膜之框體之所有邊部上，取持所有取持搬運用的凸部或凹部。
16.一種大型薄膜之框體形狀之矯正方法，其係對上述11~13中任一項所記載之大型薄膜之框體形狀進行矯正者，該矯正方法為，於上述大型薄膜之框體之所有邊部上，分別取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，並對上述大型薄膜之框體之至少1處施加應力，藉此減少該框體之變形。
17.如上述1至3中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為裝卸自如地固定於框體之邊部上的突出部。
18.如上述1至3及17中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為板狀之突出部或者棒狀之突出部。
19.如上述1至3及17中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為板狀之突出部，且該突出部之突出量自框體之四角部至邊之中央部變大。
20.如上述1至3及17至19中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為前端成鉤形狀之突出部。
21.如上述1至3及17至20中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為以如下方式所形成突出部，即，在將薄膜貼附於光罩時，與光罩之外圍側面及/或光罩上所形成之槽相連。
22.如上述1至3及17至21中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為以如下方式所形成之突出部，即，在將薄膜貼附於光罩上時，藉由與其他零件組合而可將框體物理性固定於 該光罩上。
23.如上述7所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為遍及框體之所有邊部全周而設置的板狀之突出部。
24.如上述7所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為部分地設置於框體之邊部上的板狀之突出部。
25.如上述1至3及17至18中任一項所記載之大型薄膜之框體，其中取持搬運用的凸部或凹部為：各以複數個設置於框體之所有邊部上之棒狀的突出部。
26.一種大型薄膜組，其係包含：上述17~25中任一項所記載之大型薄膜之框體、接著於該框體之上緣面上之薄膜、以及塗附於該框體之下緣面上之黏著材。
27.如上述26所記載之大型薄膜組，其中框體之最長邊之長度為1.4m以上、2.0m以下。
28.如上述26至27中任一項所記載之大型薄膜組，其中框體之寬度相對於高度之比為1.5~4.0。
29.一種大型薄膜之框體之取持方法，其係上述17~25中任一項所記載之大型薄膜之框體者，該取持方法為，於上述大型薄膜之框體之所有邊部上，分別取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部。
30.如上述29所記載之大型薄膜之框體之取持方法，其為，於大型薄膜之框體之所有邊部上，取持所有取持搬運用的凸部或凹部。
31.一種大型薄膜之框體形狀之矯正方法，其係對上述26~28中任一項所記載之大型薄膜之框體形狀進行矯正者，該矯正方法為，於上述大型薄膜之框體之所有邊部上，分別取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，並對上述大型薄膜之框體之至少1處施加應力，藉此減少該框體之變形。
根據本發明之大型薄膜之框體及該框體之取持方法，在對薄膜進行處理時以及收納、搬運、保管時，能夠可靠地取持框體，而且，在欲將薄膜貼附於光罩等上時，可自收納容器中簡單地取出薄膜，而不會產生翹曲或彎曲。
1‧‧‧薄膜框
2‧‧‧光罩黏著材
3‧‧‧框體之上緣面
4‧‧‧框體之下緣面
5‧‧‧框體之外側面
6‧‧‧框體之內側面
7‧‧‧取持搬運用的槽或孔或者突出部
7a‧‧‧於取持搬運用的槽或孔之深處變寬的內部空間或者 取持搬運用的突出部之前端部
7b‧‧‧取持搬運用的槽之開口部
7c‧‧‧取持搬運用的槽之最深部
9‧‧‧光罩
10，20‧‧‧框體
11‧‧‧保護膜
11a‧‧‧按壓片
11b‧‧‧按壓片
15‧‧‧其他零件
16‧‧‧取持部件
21‧‧‧槽
30‧‧‧框體(先前產品)
圖1A係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凹部為槽)的立體圖，其表示接著於光罩上之大型薄膜。
圖1B係說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凹部為槽)的示圖，其表示包含框體之部分放大縱剖面圖。
圖1C係說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凹部為槽)的示圖，其表示大型薄膜之框體。
圖1D係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凸部為板狀)的立體圖，其表示接著於光罩上之大型薄膜。
圖1E係說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凸部為板狀)的示圖，其表示包含框體之部分放大縱剖面圖。
圖1F係說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態(取持搬運用的凸部為板狀)的示圖，其表示大型薄膜之框體。
圖2A係用以說明先前之小型薄膜之框體之一形態的立體圖，其表示接著於光罩上之薄膜。
圖2B係用以說明先前之小型薄膜之框體之一形態的示圖，其表示包含框體之槽之部分放大縱剖面圖。
圖2C係用以說明先前之小型薄膜之框體之一形態的示圖，其表示薄膜之框體。
圖3A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3E係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3F係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖3G係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。
圖4A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之上緣面被挖掘後的形態例。
圖4B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之上緣面被挖掘後的形態例。
圖5A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之下緣面被挖掘後 的形態例。
圖5B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之下緣面被挖掘後的形態例。
圖6A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例係部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6E係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6F係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖6G係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
圖7A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分 放大縱剖面圖，其係設置有複數個取持搬運用的槽或者孔之形態例。
圖7B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個取持搬運用的槽或者孔之形態例。
圖7C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個取持搬運用的槽或者孔之形態例。
圖8A係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖8B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖8C係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖8D係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖9A係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖9B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖9C係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖10A係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而自框體之側面方向觀察到的概略圖。
圖10B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽之配置情況而自框體之側面方向觀察到的概略圖。
圖11A係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的一形態例之部分放大縱剖面圖。
圖11B係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型 薄膜之框體時的一形態例之部分放大縱剖面圖。
圖11C係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的一形態例之部分放大縱剖面圖。
圖11D係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體的一形態例之部分放大縱剖面圖。
圖11E係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的一形態例之部分放大縱剖面圖。
圖12A係用以說明於本實施形態之大型薄膜之框體上取持搬運用的槽的形態例之示圖，其係自框體之外側面方向觀察到的部分概略圖。
圖12B係用以說明於本實施形態之大型薄膜之框體上取持搬運用的槽的形態例之示圖，其係自薄膜之觀察方向所觀察到的部分概略圖。
圖12C係用以說明於本實施形態之大型薄膜之框體上取持搬運用的槽的形態例之示圖，其係自薄膜之觀察方向所觀察到的部分概略圖。
圖12D係用以說明於本實施形態之大型薄膜之框體上取持搬運用的槽的形態例之示圖，其係自薄膜之觀察方向所觀察到的部分概略圖。
圖13A係用以說明大型薄膜之框體上的設置於角部之孔的配置情況之示圖，其係自框體之外側面方向觀察到的部分概略圖。
圖13B係用以說明於大型薄膜之框體上的設置於角部之孔的配置情況之示圖，其係自薄膜之觀察方向所觀察到的部分概略圖。
圖14A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分 放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14E係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14F係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖14G係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。
圖15A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之上緣面上設置有突出部之形態例。
圖15B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之上緣面上設置有突出部之形態例。
圖15C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之上緣面上設置有突出部之形態例。
圖15D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之上緣面上設置有突出部之形態例。
圖16A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之下緣面上設置有突出部之形態例。
圖16B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之下緣面上設置有突出部之形態例。
圖16C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之下緣面上設置有突出部之形態例。
圖16D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分 放大縱剖面圖，其係於框體之下緣面上設置有突出部之形態例。
圖17A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17E係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17F係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖17G係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
圖18A係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18B係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18C係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18D係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18E係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18F係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分 放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖18G係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，其係設置有複數個突出部之形態例。
圖19A係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖19B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖19C係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖19D係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖20A係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖20B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖20C係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖20D係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖20E係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部的配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。
圖21A係將設置於大型薄膜之框體上的突出部裝卸自如地固定於框體邊部上之形態時的部分放大縱剖面圖，其表示以螺釘擰緊。
圖21B係將設置於大型薄膜之框體上的突出部裝卸自如地固定於框體邊部上之形態時的部分放大縱剖面圖，其表示以耦合器固定。
圖21C係將設置於大型薄膜之框體上的突出部裝卸自如地固定於 框體邊部上之形態時的部分放大縱剖面圖，其表示以彈性體固定。
圖21D係將設置於大型薄膜之框體上的突出部裝卸自如地固定於框體邊部上之形態時的部分放大縱剖面圖，其表示以夾入方式固定。
圖22A係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體之其他形態(突出部為棒狀)之立體圖，其表示接著於光罩上之大型薄膜。
圖22B係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體之其他形態(突出部為棒狀)之立體圖，其表示大型薄膜之框體。
圖23A係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體上的棒狀突出部之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖，與圖12之形態相同，其係於短邊及長邊上分別設置有3個突出部之情形。
圖23B係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的棒狀突出部之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖，與圖12之形態相同，其係於短邊及長邊上分別設置有1個突出部、而且於4角上分別設置有1個突出部之情形。
圖23C係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的棒狀突出部之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖，與圖12之形態相同，其係使圖23A中每一邊上的突出部一體化後的情形。
圖24A係包含設置於大型薄膜之框體上的突出部之部分放大縱剖面圖，其表示突出部為L字形狀、且前端彎曲之邊部與光罩相連之形態。
圖24B係包含設置於大型薄膜之框體上的突出部之部分放大縱剖面圖，其表示突出部為L字形狀、且前端紮進設置於光罩上之槽中的形態。
圖25係在設置於大型薄膜之框體上的突出部上組合其他零件來固定大型薄膜時的部分放大縱剖面圖。
圖26A係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型 薄膜之框體時的狀況之部分放大縱剖面圖，其表示取持、固定有剖面為矩形之突出部之形態。
圖26B係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的狀況之部分放大縱剖面圖，其表示取持、固定有設置於框體之外側面上且剖面為L字狀之突出部的形態。
圖26C係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的狀況之部分放大縱剖面圖，其表示取持、固定有設置於框體之上緣面上且剖面為L字狀之突出部的形態。
圖26D係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的狀況之部分放大縱剖面圖，其表示取持、固定有設置於框體之內側面上的2個矩形狀之突出部之形態。
圖27係表示實施例1中使用的保護膜之平面形狀之模式圖。
參照隨附圖示，對本發明之實施形態加以說明。以下說明的實施形態為本發明之構成之例，本發明並非限定於以下實施形態者。在發揮本發明之效果之範圍內，亦可進行各種形態之變更。
本發明之大型薄膜之框體係具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、且上述框體之最長邊之長度為1m以上者，其可具備接著於其上緣面上之薄膜、及塗附於其下緣面上之黏著材，上述框體係於其所有邊部上分別具有取持搬運用的凸部或凹部者。此處，所謂框體之多角形形狀，通常指大致四角形狀，但亦可為角部具有缺口或R部之多角形形狀。
圖1A係用以說明本實施形態之大型薄膜之框體之一形態的立體圖，圖1A及圖1D表示接著於光罩上之大型薄膜，圖1B及圖1E表示包含框體之部分放大縱剖面圖，圖1C及圖1F表示大型薄膜之框體。圖2係用以說明先前之小型薄膜之框體之一形態(例如專利文獻2之類型) 的立體圖，圖2A表示接著於光罩上之薄膜，圖2B表示包含框體之槽之部分放大縱剖面圖，圖2C表示薄膜之框體。
如圖1所示，例如大型薄膜組係由框體10、接著於框體10之上緣面3上之薄膜1、塗附於框體10之下緣面4上之黏著材2所構成。此處薄膜1經由接著劑(未圖示)而接著於框體10之上緣面3上。再者，於圖1A及圖1B中，薄膜框體10經由黏著材2而接著於光罩9上。在接著於光罩9上之前，大型薄膜具有於框體10之下緣面4上經由黏著材2而黏著有保護膜(未圖示)之構造。
關於薄膜1之材質、黏著材2之材質及形狀、接著劑之材質、保護膜之材質及形狀，可使用先前一般所使用者。
作為薄膜，可使用透明高分子膜，例如硝化纖維素、纖維素衍生物或氟聚合物。薄膜之厚度係考慮到透光率、膜強度而設定者，較好的是例如10μm以下、0.1μm以上。在將薄膜接著於框體之上緣面上時，使用例如丙烯酸樹脂接著劑、環氧樹脂接著劑、聚矽氧樹脂接著劑或者含氟聚矽氧接著劑等氟系聚合物。
作為黏著材，可使用：苯乙烯-乙烯丁烯-苯乙烯(styrene-ethylene-butylene-styrene)、苯乙烯-乙烯-丙烯-苯乙烯(styrene-ethylene-propylene-styrene)或者烯烴系等之熱熔黏著材；聚矽氧系黏著材；丙烯酸系黏著材；或者以發泡體為基材之接著膠帶。黏著材層之厚度係設定在框體厚度與黏著材厚度之合計厚度不超過已規定的膜與光罩間的距離之範圍者，較好的是例如10mm以下、0.01mm以上。
作為保護膜，可使用由聚對苯二甲酸乙二酯樹脂或聚乙烯樹脂所構成之膜。又，對應於黏著材之黏著力，亦可將脫膜劑、例如聚矽氧系脫膜劑或氟系脫膜劑塗佈於保護膜之表面。保護膜之厚度較好的是例如1mm以下、0.01mm以上。
框體10之材質只要係可保持機械強度者，則並無特別限定。可列舉例如金屬、樹脂、複合材料，更詳細而言，可列舉鋁或其合金，例如杜拉鋁(Duralumin)、鐵或鐵系合金，例如不鏽鋼、工程塑膠、纖維強化塑膠(FRP)及碳纖維強化塑膠(CFRP)。再者，考慮到因大型化而導致其自重增加，故較好的是使用輕量且具有剛性者，例如較好的是鋁或其合金。
關於框體10之製作方法，可使用先前一般所實施之製作方法。例如，可對一體物之板進行切割、切削加工。又，在隨著薄膜之大型化而難以準備一體物之板的情況下，除切割、切削加工以外，還可列舉焊接加工、成型加工(當為金屬時，進行壓鑄成型，當為樹脂時，進行射出成型)。此時較好的是，使取持搬運用的凸部或凹部成型為一體，如下所述，當為凸部時，作為裝卸自如之零件而成型，且較好的是自後部安裝。
又，於框體之表面上，亦可實施黑色鉻電鍍、黑色耐酸鋁處理、黑色塗裝等黑色化處理，以防止反射。而且，於框體之內側面上，亦亦可塗佈黏著材，以捕捉異物。
本實施形態之大型薄膜之框體10係以框體10之最長邊(以下亦稱為「長邊」。同樣地，框體之最短邊亦稱為「短邊」)之長度為1m以上的大型薄膜之框體作為對象。對於此種框體，雖然框體之邊(圖1A及圖1D之長邊之長度L，短邊之長度S)之長度較長，但框體之寬度(圖1B及圖1E之w)、高度(圖1B及圖1E之h)較小，故與小型薄膜之框體相比，不得不降低剛性。
在框體10的長邊之長度L成為1m以上時，可明顯觀察到剛性降低之傾向。於如圖2所示之先前之LSI用的小型薄膜之框體30中，長邊之長度L最多為15cm以下，短邊之長度S最多為13cm以下，且框體30之寬度w與高度h之比(w/h)=0.3~0.8。然而，於本發明之作為對象之大 型薄膜之框體中，亦有長邊之長度L為1m以上並達到2m之情形，今後，亦可能有更大型化之情形。再者，對於短邊而言，亦有短邊之長度S例如為75cm以上之情形。又，在大型薄膜之框體中的框體之寬度w與高度h之比例如(w/h)=1.5~4.0時，由於此比例值較大，故剛性下降較大，對於(w/h)=2.3~4.0之框體，剛性之下降特別大。再者，隨著更大型化，亦可能有(w/h)超過4之情形。
因此，於本發明之作為對象之大型薄膜之框體中，與先前之框體相比，在薄膜表面之法線方向上之彎曲量非常大。如此，大型薄膜之框體之彎曲方向與先前的小型薄膜之彎曲方向完全不同。進而，框體之寬度w與高度h之比(w/h)和先前的框體之(w/h)相比較大，而且由於框體之邊本身較長，故在薄膜之張力之作用下，與薄膜表面平行之方向上的彎曲量亦會變大。於本實施形態之大型薄膜之框體中，亦可利用取持搬運用的凸部或凹部，並藉由薄膜之張力而矯正框體之變形。此觀點將於以下描述。
通常，本發明之框體係與光罩形狀相似之矩形，但對應於光罩等之各種形狀，只要為多角形狀之框體，則並無特別限定。再者，於本發明中，係以長邊之長度為1m以上之框體作為對象，但亦可分別以如下框體作為對象：當框體之形狀為(1)矩形時，長邊之長度為1m以上之框體；當框體之形狀為(2)正方形時，一邊之長度為1m以上之框體；當框體之形狀為(3)多角形時，最長邊之長度為1m以上之框體。於本發明中，在滿足以下所說明之條件時，更能發揮效果，以下對其進行說明。
第一，對於上述框體係於所有邊部上分別具有取持搬運用的凹部之框體的態樣進行說明。作為該凹部，具有槽或孔。再者，於本申請案之發明中，所謂槽，係指形成於框體之外側面、內側面、上緣面或者下緣面上之凹部，且於該等面上的該凹部之開口部之周方向之長 度為該開口部之高度方向之長度的1.5倍以上者，所謂孔，係指該開口部之周方向之長度未滿該開口部之高度方向之長度的1.5倍者。
以下，對形成於框體上的取持搬運用的槽或者孔進行說明。圖3係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖3A~圖3G係取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態例。圖4係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖4A~圖4B係取持搬運用的槽或者孔自框體之上緣面被挖掘後的形態例。圖5係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖5A~圖5B係取持搬運用的槽或者孔自框體之下緣面被挖掘後的形態例。圖6係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖6A~圖6G係取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後的形態例。
如圖3所示，本實施形態之大型薄膜之框體10具有自框體之外側面5朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔7。以下，在預先沒有特別通知的情況下，對槽與孔不加以區分，均作為取持搬運用的槽或者孔7進行說明。
又，如圖4所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可具有自框體之上緣面3朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔7。又，如圖5所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可具有自框體之下緣面4朝向上方向之取持搬運用的槽或者孔7。又，如圖6所示，本實施形態之大型薄膜之框體10還可具有自框體之內側面6朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔7。
關於將取持搬運用的槽或者孔設置於框體之哪一面上，可將其設置於與取持時使用的夾具或裝置之設計相對應的位置處，將槽或者孔設置於框體之外側面上對於夾具或裝置之設計而言較佳。又，在將取持搬運用的槽或者孔設置於框體之外側面或內側面上時，較好的是 設置於離開上緣面及下緣面之位置處，以使取持時在薄膜之接著劑層或者與光罩黏著之黏著材層上多餘的力不會發揮作用。因此，更較好的是，將取持搬運用的槽或者孔設置於框體之外側面上且離開上緣面及下緣面之位置處。
自框體之上緣面3朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔7除形成為於上緣面3之法線方向上被挖掘的形態以外，亦可形成為在相對於法線方向之傾斜方向上被挖掘的形態。自框體之下緣面4朝向上方向之取持搬運用的槽或者孔7除形成為於下緣面4之法線方向上被挖掘的形態以外，亦可形成為在相對於法線方向之傾斜方向上被挖掘的形態。自框體之內側面6朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔7除形成為於內側面6之法線方向上被挖掘的形態以外，亦可形成為在相對於法線方向之傾斜方向上被挖掘的形態。取持搬運用的槽或者孔7之深度係以框體之表面為基準，對於自外側面或內側面被挖掘的槽或者孔7，較好的是其深度為框體寬度之0.01~0.9倍，更好的是0.01~0.5倍，進而好的是0.01~0.3倍。又，對於自上緣面或下緣面被挖掘的槽或者孔7，較好的是其深度為框體高度之0.1~1倍(再者，1倍為貫穿之情形)，更好的是0.1~0.5倍，進而好的是0.1~0.3倍。
進而，如圖7所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可於框體之各邊部上，具有複數個取持搬運用的槽或者孔7。圖7係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖7A~圖7C係設置有複數個取持搬運用的槽或者孔之形態例。作為組合，存在如下具有2個槽或者孔之情形，即，自框體之上緣面朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之下緣面朝向上方向之取持搬運用的槽或者孔；自框體之上緣面朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之內側面朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔(例如圖7A)。又，存在如下具有2個槽或者孔之情形，即，自框體之下緣面朝向上 方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之內側面朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔(例如圖7C)。
於本實施形態之大型薄膜之框體10中，分別相對於如下取持搬運用的槽或者孔，進而亦可具有自框體之外側面朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔：自框體之上緣面朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔、自框體之下緣面朝向上方向之取持搬運用的槽或者孔、或者自框體之內側面朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔。例如，存在具有如下2個槽或者孔之情形，即，自框體之外側面朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之上緣面朝向下方向之取持搬運用的槽或者孔(例如，圖7B)；自框體之外側面朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之下緣面朝向上方向之取持搬運用的槽或者孔；自框體之外側面朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔與自框體之內側面朝向外側方向之取持搬運用的槽或者孔。
進而，亦具有如下形態：取持搬運用的槽或者孔自框體之4個表面中之3個表面被挖掘的形態、或者取持搬運用的槽或者孔自框體之所有4個表面被挖掘的形態。於框體之複數個表面上設置取持搬運用的槽或者孔，藉此能夠使取持、固定更加可靠。又，對於對框體之不同表面進行取持的2種以上之取持器具，亦存在可於同一個框體上對應之優點。
又，本實施形態之大型薄膜之框體10除具有上述取持搬運用的槽或者孔7以外，亦可具有通氣之孔(在將薄膜安裝於光罩上時，由薄膜與光罩所封閉之空間與外部進行通氣時所使用之孔)等使用於其他用途之孔或槽。為了設置此種使用於其他用途之孔或槽，更好的是，取持搬運用的凸部或凹部係部分地設置於框體邊部上之槽或孔，藉此可提高加工之自由度。
取持搬運用的槽或者孔7之剖面形狀為矩形(例如圖6A)、梯形(例 如圖4A、圖5A、圖6E)、多角形、圓形、半圓形或者橢圓形(例如圖6B)等，並無特別問題。又，如圖4A所示，例如亦可為槽之寬度或者孔之內徑沿著槽或者孔變深之方向而變小之形態。根據需要，亦可於槽或者孔之角部設置曲率R或C面。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，較好的是，取持搬運用的槽或者孔7具有於深處變寬的空間部分7a。例如為L字形狀(例如圖3C、圖4B、圖5B、圖6C及圖6G、圖7C)，T字形狀(例如圖3D、圖6D)。與不存在於深處變寬的空間部分7a之情形相比，由於可掛在取持部件上，故取持、固定會更加可靠。再者，作為於深處變寬的空間部分之形狀，如上所述，可為框體之寬度方向之剖面形狀於深處變寬者，亦可為框體之高度方向之剖面形狀於深處變寬者，還可為框體之長度方向之剖面形狀於深處變寬者。
又，較好的是，取持搬運用的槽或者孔具有於深處變窄之空間部分。於此情形時，在將比槽或者孔之入口小的取持部件插入時，該取持部件與深處變窄部分接觸而定位，藉此可一邊防止取持部件相對於槽或者孔而偏移，一邊進行取持。作為於深處變窄之空間部分之形狀，如圖3B、圖4A、圖5A所示，可為框體之寬度方向之剖面形狀於深處變窄者，亦可為框體之高度方向之剖面形狀於深處變窄者，還可為框體之長度方向之剖面形狀於深處變窄者。
作為框體之長度方向之剖面形狀於深處變窄者之例，可舉出部分地存在於邊部上之周方向之槽，且該槽之開口部之周方向之長度大於該槽之深度(稱為槽之開口部與槽之最深部之間的最短距離)的情形(參照圖12)。又，亦可舉出該槽之開口部之周方向之長度小於該槽之深度的情形。若為具有此種形狀之取持部之框體，則可於該槽中，藉由前端變窄之板狀之取持器具來定位並取持。再者，槽之開口部之周方向的長度相對於槽之深度之比較好的是0.5~30倍，更好的是2~20 倍，最好的是3~10倍。當該比值為0.5以上時，容易插入取持部件，當該比值為30以下時，取持器具難以脫落。
如圖3所示，本實施形態之大型薄膜之框體之其他形態為，自框體10之外側面5朝向內側方向、且具有於深處變寬之空間部分7a之取持搬運用的槽或者孔7之形態。此處，自框體之外側面5朝向內側方向之取持搬運用的槽或者孔7除形成為於外側面5之法線方向上被挖掘的形態以外，亦可形成為在相對於法線方向之傾斜方向上被挖掘的形態。本實施形態之大型薄膜之框體的於深處變寬之空間部分7a之形狀例如為L字形狀(例如圖3C及圖3G)、T字形狀(例如圖3D)。與不存在於深處變寬之空間部分7a之情形相比，由於可掛在取持部件上，故取持會更加可靠。
圖8與圖9係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽或孔7之配置情況而觀察薄膜之觀察方向的概略圖。如圖8A、圖8C及圖8D與圖9所示，對於取持搬運用的槽或孔7之配置而言，若所有4邊上均具有取持搬運用的凹部，則槽或孔7亦可遍及框體10之邊部全周而配置(圖8A)，還可部分地配置於框體10之邊部上(圖8C~圖8D、圖9A~圖9C)。對於部分地配置之情形，亦可對準夾具或裝置等取持部件之位置，使取持搬運用的槽或孔配置於框體之特定部位。對於部分地配置取持搬運用的槽之情形，較好的是亦配置於框體之任一邊部上。在取持薄膜之框體時，可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散，從而可抑制產生彎曲。另一方面，如下述之比較例所示，對於僅在2個對向之邊上具有取持搬運用的凸部或凹部之態樣(圖8B)，無法充分地抑制彎曲之產生。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，當取持搬運用的凹部為槽時，更好的是，該取持搬運用的凹部所占之長度相對於各邊之長度分別為10%以上，藉此可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散。進而 好的是上述比例為20%以上，最好的是30%以上。又，當必須留有餘地藉由加工而在框體上形成具有取持以外之功能之部分時，較好的是，該取持搬運用的凹部所占之長度相對於各邊之長度分別為90%以下，進而好的是80%以下，最好的是70%以下。該取持搬運用的凹部於各邊部上之配置較好的是，相對於各邊部之各中心對稱，藉此可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，當取持搬運用的凹部為孔時，其配置較好的是，於框體之任一邊部上配置複數個。在取持薄膜之框體時，可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散，從而可抑制彎曲之產生。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，取持搬運用的槽7亦可為槽之側壁之一側缺少的層削狀之槽。又，取持搬運用的孔7亦可為孔之側壁面之一側缺少的縱向切開的筒狀之孔。亦即，對取持搬運用的槽或者孔7而言，槽之側壁面或者孔之側壁面亦可構成框體10表面之一部分。作為此種形態，有如下形狀的槽或者孔：例如槽或者孔之側壁面到達框體之表面，且自框體之表面挖掘槽或者孔之側壁面所成之形狀。再者，於縱向切開的圓筒之孔中，藉由通過主軸之縱剖面所切割的橫剖面當然包含半圓之孔，而且亦包含藉由未通過主軸之縱剖面所切割之孔。該剖面形狀之例表示為例如圖3F及圖3G、圖6F及圖6G、圖7B。特別好的形態是，槽之側壁面或者孔之側壁面構成框體10之下緣面之一部分(例如圖3F及圖3G、圖6F及圖6G、圖7B)。於框體10之下緣面4上，貼附有黏著材2，下緣面4與光罩9表面之間的距離僅變寬黏著材2之厚度所相當的量，即可使取持部件容易插入，且由於可減小槽或者孔之直徑，故框體之強度降低之可能性較少。其中，在使用上述形態之框體時，必須注意在取持時不要對黏著材層或薄膜之接著部施加多餘之力。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，亦可對槽或孔與取持部件之接觸部中的槽或孔、或者取持部件之至少一者實施某種表面處理，以防止灰塵。可舉出例如用聚矽氧橡膠等緩衝材料進行包覆。
圖10係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的取持搬運用的槽7之配置情況而自框體之側面方向觀察到的概略圖。如圖10A所示，自框體之側面方向觀察，於邊方向上，取持搬運用的槽7亦可自上緣面側朝向下緣面側傾斜地配置。進而，如圖10B所示，自框體之側面方向觀察，於邊方向上，取持搬運用的槽7亦可自上緣面側朝向下緣面側、自下緣面側朝向上緣面側反覆地配置。
又，於框體之外側面上，亦可於4個角之部分上，設置如圖13所記載之貫穿於傾斜方向之孔。藉由設置此種貫穿孔，亦可貫穿於該貫穿孔內而取持棒狀之夾具。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，各個槽之寬度或孔之內徑小於設置有該等之框體的寬度W或高度h，例如當設置於上緣面3或者下緣面4上時，較好的是，槽或者孔之長度為框體寬度之0.01~1倍，更好的是0.01~0.5倍，進而好的是0.01~0.2倍。例如當設置於外側面5或者內側面6上時，較好的是，槽或者孔之長度為框體高度之0.01~1倍，更好的是0.01~0.5倍，進而好的是0.01~0.2倍。再者，當槽或者孔之深度較大時，為避免框體之剛性降低，較好的是槽之寬度或者孔之內徑較小。當設置有取持搬運用的槽或者孔7之於深處變寬的空間7a時，使變寬的空間7a之寬度或者內徑小於框體之寬度W或高度h。
取持搬運用的槽或者孔7係在對薄膜之框體進行取持(包含兩者：對接著薄膜前之框體進行取持、與對接著薄膜後之框體進行取持)時利用，且有效地利用於薄膜之處理時、將薄膜收納於收納容器時、以及自收納容器取出薄膜時。
以下，對以取持部件來取持、固定取持搬運用的槽或者孔之方 法進行說明。圖11係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時的狀況之部分放大縱剖面圖，圖11A係表示向剖面為T字形狀之取持搬運用的槽或者孔7中插入具有由塑膠等彈性體所形成之鎖定機構的取持部件16以進行取持、固定之形態，圖11B係表示向設置於框體之上緣面上的剖面為L形狀之取持搬運用的槽或者孔7中插入到具有L字形狀之掛鉤部的取持部件16以進行取持、固定之形態，圖11C係表示向設置於框體之外側面上的剖面為L字形狀、且側壁面構成框體表面之一部分的取持搬運用的槽或者孔7中插入到具有L字形狀之掛鉤部的取持部件16以進行取持、固定之形態，圖11D係表示向框體之下緣面上的剖面為梯形狀之取持搬運用的槽或者孔7中插入L字形狀之取持部件16之前端部以進行取持、固定之形態，圖11E係表示向設置於框體之內側面上的剖面為矩形之取持搬運用的槽或者孔7中插入取持部件16以進行取持、固定之形態。於圖11A~圖11E中，取持部件16可靠地取持、固定取持搬運用的槽或者孔。
於本發明中，較好的是，於上述的大型薄膜之框體之各個邊部上，分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，藉此減少框體之彎曲。更好的是，於大型薄膜之框體之各個邊部上同時取持所有取持搬運用的凸部或凹部。
又，在將薄膜自光罩上剝離時，由於在對取持搬運用的槽或者孔取持之後才可進行剝離，故剝離時，能可靠地傳送剝離力。
第二，對上述框體於所有邊部上分別具有取持搬運用的凸部之態樣進行說明。作為該凸部，有板狀者或棒狀者。另外，於本申請案之發明中，所謂板狀之凸部，係指形成於框體之外側面、內側面、上緣面或下緣面之凸部，且該等面中的該凸部之周方向長度為高度方向之長度的1.5倍以上者，所謂棒狀之凸部，係指該凸部之圓周方向之長度未滿該凸部之高度方向之長度的1.5倍者。
首先，對形成於框體之凸部(以下亦稱為「突出部」)進行說明。圖14係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖14A~圖14G係於框體之外側面上設置有突出部之形態例。圖15係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖15A~圖15D係於框體之上緣面上設置有突出部之形態例。圖16係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖16A~圖16D係於框體之下緣面上設置有突出部之形態例。圖17係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖17A~圖17G係於框體之內側面上設置有突出部之形態例。
如圖14所示，本實施形態之大型薄膜之框體10具有自框體之外側面5朝向外側方向之突出部7。又，如圖15所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可具有自框體之上緣面3朝向上方向之突出部7。又，如圖16所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可具有自框體之下緣面4朝向下方向之突出部7。又，如圖17所示，本實施形態之大型薄膜之伜體10亦可具有自框體之內側面6朝向內側方向之突出部7。
此處，自框體之外側面5朝向外側方向之突出部7除形成為向外側面5之法線方向突出之形態以外，亦可形成為向相對於法線方向傾斜之方向突出之形態。自框體之上緣面3朝向上方向之突出部除形成為向上緣面3之法線方向突出之形態以外，亦可形成為向相對於法線方向傾斜之方向突出之形態。自框體之下緣面4朝向下方向之突出部7除形成為向下緣面4之法線方向突出之形態以外，亦可形成為向相對於法線方向傾斜之方向突出之形態。自框體之內側面6朝向內側方向之突出部7除形成為向內側面6之法線方向突出之形態以外，亦可形成為向相對於法線方向傾斜之方向突出之形態。自框體之外側面朝向外側方向之突出部及自框體之內側面朝向內側方向之突出部的突出量，係以使該等突出部突出的框體之表面為基準，其長度為框體寬度之 0.1~10倍，較好的是0.1~5倍，更好的是0.1~3倍。又，自框體之上緣面朝向上方向之突出部及自框體之下緣面朝向下方向之突出部之突出量，係以使該等突出部突出之框體之表面為基準，其長度為框體寬度之0.1~10倍，較好的是0.1~5倍，更好的是0.1~3倍。
在設置有自框體之上緣面3朝向上方向之突出部7的情況及設置有自框體之下緣面4朝向下方向方向之突出部7的情況下，除取持、固定之可靠化以外，對於薄膜1之表面法線方向之彎曲，突出部7作為加強肋而發揮作用。
另一方面，在設置有自框體之外側面5朝向外側方向之突出部7的情況及設置有自框體之內側面6朝向內側方向之突出部7的情況下，除取持、固定之可靠化以外，對於展開薄膜1時框體在與薄膜1之表面平行方向上的張力之作用下向中央方向產生之彎曲，突出部7作為加強肋而發揮作用。
進而，如圖18所示，本實施形態之大型薄膜之框體10亦可於框體上具有複數個突出部7。圖18係表示本實施形態之大型薄膜之框體之各種形態例的部分放大縱剖面圖，圖18A~圖18G係設置有複數個突出部之形態例。作為組合，存在如下具有2個突出部之情形，即，自框體之外側面朝向外側方向之突出部與自框體之上緣面朝向上方向之突出部；自框體之外側面朝向外側方向之突出部與自框體之下緣面朝向下方向之突出部；以及自框體之外側面朝向外側方向之突出部與自框體之內側面朝向內側方向之突出部。又，存在如下具有2個突出部之情形，即，自框體之上緣面朝向上方向之突出部與自框體之下緣面朝向下方向之突出部；以及自框體之上緣面朝向上方向之突出部與自框體之內側面朝向內側方向之突出部。進而存在如下具有2個突出部之情形，即，自框體之下緣面朝向下方向之突出部與自框體之內側面朝向內側方向之突出部。進而，還具有於框體之4個表面中之3個表面 上設置有突出部之形態或者於框體之所有4個表面上設置有突出部之形態。於框體之複數個表面上設置突出部，從而取持、固定會更加可靠，且可增加框體之加強方向。又，對於對框體之不同表面進行取持的2種以上之取持器具，亦存在可於同一個框體上對應之優點。
突出部7之剖面形狀為矩形(例如圖14A及圖14B、圖15A、圖16A、圖17A及圖17B)、梯形(例如圖14F、圖15D、圖16A、圖17F)、多角形、圓形、半圓形(例如圖15B、圖15C)或者橢圓形(例如圖14G、圖17G)等，並無特別問題。根據需要，亦可於角上設置曲率R或C面。
圖19與圖20係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖。如圖19A、圖19C及圖19D與圖20所示，對於突出部7之配置而言，若於所有4邊上均具有取持搬運用的凸部，則突出部7亦可遍及框體10之邊部全周而配置(圖19A)，還可部分地配置於框體10之邊部上(圖19C~圖19D、圖20A~圖20E)。對於部分地配置之情形，亦可根據：處理被貼附之光罩時的取持、固定位置；光罩之對準標記位置；以及將光罩設置於曝光機上時的取持、固定位置，將突出部配置於框體之特定部位。當部分地配置突出部時，較好的是亦配置於框體之任一邊部上。對於框體之彎曲，該突出部成為強度加強之部分。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，當取持搬運用的凸部為板狀時，更好的是該取持搬運用的凸部所占之長度相對於各邊之長度分別為10%以上，藉此可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散。進而好的是20%以上，最好的是30%以上。又，當必須留有餘地藉由加工而在框體上形成具有取持以外之功能之部分時，較好的是，該取持搬運用的凸部所占之長度相對於各邊之長度分別為90%以下。進而好的是80%以下，最好的是70%以下。該取持搬運用的凸部於各邊部上之 配置較好的是，相對於各邊部之各中心對稱，藉此可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，當取持搬運用的凸部為棒狀時，其配置較好的是，於框體之任一邊部上亦配置複數個。在取持薄膜之框體時，可使因自重而產生之負重之偏向均勻分散，從而可抑制彎曲之產生。
圖10係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的突出部之配置情況而自框體之側面方向觀察到的概略圖。如圖10A所示，自框體之側面方向觀察，於邊方向上，亦可使突出部自上緣面側朝向下緣面側傾斜地配置。進而，如圖10B所示，自框體之側面方向觀察，於邊方向上，亦可使突出部自上緣面側朝向下緣面側、自下緣面側朝向上緣面側反覆地配置。
圖21係將設置於大型薄膜之框體上的突出部裝卸自如地固定於框體邊部上之形態時的部分放大縱剖面圖，圖21A表示以螺釘擰緊，圖21B表示以耦合器固定，圖21C表示以彈性體固定，圖21D表示以夾入方式而固定。如圖21所示，於本實施形態之大型薄膜之框體中，較好的是，框體10之突出部7裝卸自如地固定於框體10之邊部上。在貼附於剛性比薄膜之框體高的光罩上之後，由於薄膜之框體之剛性不成問題，故亦可卸下用於提高剛性或固定、取持之突出部。藉此，亦可避開來自光罩處理時之取持、固定位置及將光罩設置於曝光機時之取持、固定位置的制約。
又，在將薄膜自光罩上剝離時，亦可安裝突出部。藉此，可謀求提高薄膜之框體之剛性，且由於可取持、固定突出部，故在剝離時，能可靠地傳送剝離力。
對於裝卸方法而言，只要為可裝卸之機械性固定方法，則可為任何方法。如圖21所示，可列舉例如螺釘、耦合器、彈性體之插入、 夾入等。為防止灰塵，較好的是，對接觸部實施某種表面處理。可列舉例如用聚矽氧橡膠等緩衝材料進行包覆。當突出部為可裝卸時，突出部亦可用剛性高於框體之原材料而形成。在將突出部安裝於框體之外側面或者內側面上時，用以安裝突出部之孔或者槽之大小(內徑)為框體高度之0.01~1倍，較好的是0.01~0.5倍，更好的是0.01~0.2倍。又，在將突出部安裝於框體之上緣面或者下緣面上時，用以安裝突出部之孔或者槽之大小(內徑)為框體寬度之0.01~1倍，較好的是0.01~0.5倍，更好的是0.01~0.2倍。為避免框體之剛性降低，較好的是孔或者槽較小。
如圖19或圖20所示，於本實施形態之大型薄膜之框體中，較好的是，例如框體10之突出部之形狀為板狀。板之厚度薄於設置有該板之框體之寬度W或者高度h，例如，較好的是厚度為突出部7之突出量之0.01倍以上，更好的是0.1倍以上。當使突出部7為鉤形時，鉤狀之彎曲的前端部7a亦可大於設置有板之框體之寬度W或者高度h。此處，如圖20(c)所示，當突出部7為板狀時，亦可使突出部之突出量自框體之四角部至邊之中央部連續地變大。藉此，剛性弱的邊部中央附近之剛性得到加強，從而框體之四角部之剛性與邊部之剛性成為均一。
如圖22所示，於本實施形態之大型薄膜之框體中，例如亦可使框體20之突出部7之形狀為棒狀。圖22係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體之其他形態(突出部為棒狀)的立體圖，圖22A係表示接著於光罩上之大型薄膜，圖22B係表示大型薄膜之框體。棒狀之突出部7之剖面形狀為矩形、梯形、多角形、圓形、橢圓形等，並無特別問題。根據需要，亦可於角上設置曲率R或C面。突出部7亦可設置於框體20之上緣面、下緣面、外側面或內側面之任一者上。圖22係於外側面上設置有突出部之形態例。例如在將棒設置於上緣面3或者下緣面4 上時，棒之徑之長度較好的是框體寬度之0.1~2倍，更好的是0.1~0.5倍。例如在將棒設置於外側面5或者內側面6上時，棒之徑之長度較好的是框體高度之0.1~3倍，更好的是0.1~1倍。圖23係為了說明本實施形態之大型薄膜之框體上的棒狀之突出部之配置情況而觀察薄膜之觀察方向之概略圖，圖23A與圖22之形態相同，其係於短邊及長邊上分別設置有3個突出部之情形，圖23B係於短邊及長邊上分別設置有1個突出部、且於4角上分別設置有1個突出部之情形，圖23C係使圖23A中每一邊上之突出部一體化後之情形。於圖23C中，由於3個棒狀突出部7成一體化，故除可預見強度之提昇以外，於卸下時作業性亦較佳。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，較好的是突出部之前端形成為鉤形狀。例如L字形狀(例如圖14C及圖14E、圖15C、圖16D、圖17C及圖17E)、T字形狀(例如圖14D、圖17D)。與無鉤之情形相比，由於可掛在取持部件上，故取持、固定會更加可靠。
於本實施形態之大型薄膜之框體中，在將薄膜貼附於光罩上時，亦可將框體之突出部形成為與光罩之外周側面相連。或者，於本實施形態之大型薄膜之框體中，在將薄膜貼附於光罩上時，亦可框體之突出部形成為與形成於光罩上之槽相連。圖24係包含設置於大型薄膜之框體上之突出部的部分放大縱剖面圖，圖24A係表示突出部為L字形狀、且前端之彎曲的邊部與光罩相連之形態，圖24B係表示突出部為L字形狀、且前端紮進設置於光罩上之槽內的形態。如圖24A所示，當相對於下緣面4之垂直方向的L字狀突出部之前端部7a比黏著材2之下緣面更突出時，L字狀突出部之前端部7a以與光罩9之外側面大致相連之方式而配置。或者如圖24B所示，當必須於比光罩9之外側面更靠近內側來配置相對於下緣面4之垂直方向的L字狀突出部之前端部7a時，亦可將光罩9之表面挖入成為與前端部7a相同之形狀。對於 圖24A及圖24B之任一情形，在將薄膜貼附於光罩上時，均可發揮使薄膜之位置對準簡易化、提高薄膜之貼附位置之精度的效果。
進而，於本實施形態之大型薄膜之框體中，在將薄膜貼附於光罩上時，框體之突出部亦可形成為與形成於光罩之外周側面及光罩上之槽相連。例如，形成為如下形態：使框體之突出部之左右任一者與光罩之外周側面相連，並且使另一者與形成於光罩上之槽相連。或者形成為如下形態：使框體之突出部為F字形狀，且使其前端側之彎曲的部分與光罩之外周側面相連，並且使近前側之彎曲的部分與形成於光罩上之槽相連。如此，在將薄膜貼附於光罩上時，在可發揮使薄膜之位置對準簡易化、提高薄膜之貼附位置之精度的效果之範圍內，亦可對形態進行變形。
圖25係在設置於大型薄膜之框體上的突出部上組合其他零件來固定大型薄膜時的部分放大縱剖面圖。如圖25所示，於本實施形態之大型薄膜之框體中，在將薄膜貼附於光罩9上時，較好的是以如下方式而形成：將框體之突出部7與其他零件15組合，以將框體10物理性固定於光罩9上。藉此，可將薄膜可靠地設置於光罩上，從而防止脫落等。作為將其他零件15安裝於框體之突出部7上之方法，可使用螺釘擰緊、耦合器、利用有彈性體之嵌合及夾入等各種固定方法。
突出部亦利用於取持、固定，且在薄膜之處理時、將薄膜收納於收納容器時、將薄膜自收納容器取出時可有效地利用。以下對藉由取持部件來取持、固定突出部之方法進行說明。圖26係用以說明藉由取持部件來取持、固定本實施形態之大型薄膜之框體時之狀況的部分放大縱剖面圖，圖26A係表示取持、固定有剖面為矩形之突出部之形態，圖26B係表示取持、固定有設置於框體之外側面上且剖面為L字狀之突出部的形態，圖26C係表示取持、固定有設置於框體之上緣面上且剖面為L字狀之突出部的形態，圖26D係表示取持、固定有設置 於框體之內側面上的2個矩形狀之突出部之形態。於圖26A及圖26C中，取持部件16可靠地取持、固定突出部。於圖26B中，突出部之L字狀之前端部(鉤部分)藉由掛在取持部件16上而被可靠地取持、固定。又，於圖26D中，掛在取持部件16上而將2個矩形狀之突出部之間可靠地取持、固定。對於以上所說明的框體於所有邊部上分別具有取持搬運用的凹部之態樣、以及框體於所有邊部上分別具有取持搬運用的凸部之態樣，當然亦可於一個框體中將取持搬運用的凹部與凸部組合而使用。在重視空間效率的情況下，較好的是凹部，在重視框體之加強效果的情況下，較好的是凸部，但於上述各種態樣之範圍內，亦可根據取持器具之設計而進行設計。
在取持本發明之大型薄膜之框體時，較好的是，於框體之各邊部上分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，更好的是，於框體之各邊部上分別同時取持至少2處以上之取持搬運用的凸部或凹部，最好的是，於框體之各邊部上同時取持所有取持搬運用的凸部或凹部。
於接著有薄膜之框體上，藉由薄膜之欲收縮之張力而於內側方向上受到被拉伸之應力。於本實施形態中，在取持搬運用的槽或者孔自框體之內側面被挖掘後之形態下，可經由插入到取持搬運用的槽或者孔中之取持部件而對框體之邊部施加外側之應力。藉此，可矯正由上述應力所產生之框體之少許彎曲。進而，於以下任一形態下，即，取持搬運用的槽或者孔自框體之上緣面被挖掘後的形態、取持搬運用的槽或者孔自框體之下緣面被挖掘後的形態、或取持搬運用的槽或者孔自框體之外側面被挖掘後的形態下，例如於槽或者孔之內部設置變寬的空間部分，且於取持部件之插入之前端部上設置鎖定機構，藉此可矯正框體受到薄膜之影響而向內側之變形。同樣地，對於形成於框體上之凸部，藉由取持凸部而可矯正框體受到薄膜之影響而向內側方 向之變形。再者，矯正上述框體向內側之變形之方法，除適用於矯正由於薄膜之收縮張力而產生的向內側之變形以外，當然亦適用於矯正由於框體之自重或膜張力以外之外力而產生的變形。
當矯正大型薄膜之框體形狀時，較好的是，於上述大型薄膜之框體之各邊部上分別同時取持至少1處以上之取持搬運用的凸部或凹部，且對上述大型薄膜之框體之至少1處施加應力，藉此減少該框體之變形。
[實施例]
本發明者等使用具有如上所述之構成的本發明之大型薄膜之框體進行了實驗，結果獲得如下實施例中顯示之好結果。
[實施例1]
準備長邊之長度為1600mm、短邊之長度為1400mm、寬度為14mm、高度為6mm之四邊形的鋁合金製之框體。於各邊之外側面之高度為3mm之位置處，以各邊之中央及離各邊之兩端為250mm之3點為中心，對框體之所有4邊中各邊的3個部位進行切削加工，以形成開口部之周方向之長度為200mm、開口部之高度為1.5mm、槽之深度為3mm之槽。
將表面塗佈有丙烯酸系黏著劑之聚乙烯發泡體基材(厚度為1mm)作為黏著材層而貼附於框體之下緣面上。其次，分別將與上述框體之框形狀相同的保護膜，即於長邊之中央部尺寸為寬度10mm×長度900mm之按壓片、於短邊之中央部尺寸為寬度10mm×長度750mm之按壓片、及於四角之頂點以頂點為中心且半徑為10mm之按壓片設置成向框體之外側方向露出(參照圖27)，且將表面塗佈有聚矽氧系脫膜劑之聚對苯二甲酸乙二酯樹脂製的保護膜積層於該黏著材層上。
將以此種方式所獲得的附保護膜之大型薄膜之框體搭載於利用ABS樹脂材真空成形之收納容器之托盤上，將上述8個部位的按壓片 經由接著膠帶(膠帶尺寸：長邊15mm×940mm、短邊15mm×790mm、四角15mm×60mm)黏著固定於托盤上。
[實施例2]
長邊之長度為1800mm、短邊之長度為1600mm、寬度為16mm，除此以外，準備與上述實施例1相同之框體，且以與實施例1相同之方式將該框體固定於托盤上。
[實施例3]
長邊之長度為2000mm、短邊之長度為1800mm、寬度為18mm，除此以外，準備與上述實施例1相同之框體，且以與實施例1相同之方式將該框體固定於托盤上。
[實施例4]
以各邊之中央及離各邊之兩端150mm之3點為中心，於框體之外側面上框體之所有4邊中各邊的3個部位上，形成開口部之直徑為3mm、深度為3mm之圓形孔，除此以外，準備與上述實施例2相同之框體，且以與實施例1相同之方式將該框體固定於托盤上。
[比較例1]
遍及短邊之外側面之全周而形成開口部之高度為1.5mm、槽之深度為3mm之槽，且長邊上未形成取持部，除此以外，準備與上述實施例2相同之框體，且以與實施例1相同之方式將該框體固定於托盤上。
[實施例5]
於長邊之中央及離兩端150mm之位置處，於框體之外側面3個部位上形成開口部之直徑為3mm、深度為3mm之圓形之孔，且於短邊之中央，於框體之外側面1個部位上形成開口部之直徑為3mm、深度為3mm之圓形之孔，除此以外，準備與上述實施例2相同之框體，且以與實施例1相同之方式將該框體固定於托盤上。
於以下表1中顯示有關於上述實施例1~5、比較例1之評價結果。
薄膜框體之可靠的取持評價係以黏著固定於托盤之前的框體所進行。於實施例1~3中，準備12套具有由強化塑膠製作而成之寬度為100mm、厚度為0.75mm之板形狀之取持構件的夾具作為取持構件，將該取持部件插入到框體之各邊中所有取持搬運用的槽內並同時取持，將框體水平舉起。又，於比較例1中，將相同之夾具插入到以兩短邊之中央及離該兩短邊之兩端為250mm之共計6點為中心的6個部位，並將框體水平舉起。又，於實施例4~5中，準備由強化塑膠製作而成之直徑為2mm之棒作為取持部件，將該取持部件插入到框體之各邊中所有取持搬運用的孔內，同時取持，且將框體水平舉起。水平舉起後，於水平狀態下，以1秒鐘1次之比例，使框體以300mm之高度上下5次，對於所有取持部件未自所有取持搬運用的槽或孔中脫落之情形，以「○」表示，對於一部分取持部件自對應的一部分取持搬運用的槽或孔中脫落之情形，以「△」表示，對於所有取持部件均自所有取持搬運用的槽或孔中脫落，且薄膜框體掉落之情形，以「×」表示。
又，薄膜框體之彎曲防止評價係以經由保護膜而黏著固定於水平放置之托盤上的框體所進行，於實施例1~3中，準備12套具有由強化塑膠製作而成之寬度為100mm、厚度為0.75mm之板形狀之取持構件的夾具作為取持構件，將該取持部件插入到框體之各邊中所有取持搬運用的槽內並同時取持，且將框體水平舉起。又，於比較例1中，將相同之夾具插入到以兩短邊之中央及離該兩短邊之兩端為250mm之共計6點為中心的6個部位，並將框體水平舉起。又，於實施例4~5中，準備由強化塑膠製作而成之直徑為2mm之棒作為取持部件，將該取持部件插入到框體之各邊中所有取持搬運用的孔中，同時取持，且將框體水平舉起。舉起速度設為每秒1cm，對於保護膜與黏著材之 界面即將完全被剝離前的薄膜框體之邊之彎曲量未滿10mm之情形，以「◎」表示，對於10mm以上且未滿15mm之情形，以「○」表示，對於15mm以上且未滿20mm之情形，以「△」表示(在實用上沒有問題之下限級別)，對於20mm以上之情形，以「×」表示(在實用上有問題之級別)。
1‧‧‧薄膜
7‧‧‧槽或者孔
9‧‧‧光罩
10‧‧‧框體
L‧‧‧長邊之長度
S‧‧‧短邊之長度

Claims (9)

  1. 一種大型薄膜之框體之取持方法，其係具有由複數個邊所構成之多角形形狀之框體、且上述框體之最長邊之長度為1.4m以上、2.0m以下者，其可具備接著於該框體之上緣面之薄膜、及塗附於該框體之下緣面之黏著材，其中，上述框體在其所有邊部上，分別具有取持用的凸部或凹部，且上述取持用的凸部或凹部係位於框體之外側面上且離開上緣面及下緣面之位置處，於該框體之所有邊部上分別取持至少1處以上之取持用的凸部或凹部。
  2. 如請求項1之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為槽或者孔。
  3. 如請求項2之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為具有於深處變寬之空間部分的槽或者孔。
  4. 如請求項2之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為具有於深處變窄之空間部分的槽或者孔。
  5. 如請求項1至4中任一項之大型薄膜之框體之取持方法，其中對取持用的凸部或凹部而言，於框體之各邊上，該取持用的凸部或凹部所占之長度相對於各邊之長度為10%以上。
  6. 如請求項5之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為遍及框體之所有邊部全周而設置之槽。
  7. 如請求項5之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為部分地設置於框體之邊部之槽。
  8. 如請求項1至4中任一項之大型薄膜之框體之取持方法，其中取持用的凸部或凹部為：各以複數個設置於框體之所有邊部之孔。
  9. 如請求項1之大型薄膜之框體之取持方法，其為，於大型薄膜之框體之所有邊部上，取持所有取持用的凸部或凹部。
TW104105935A 2007-07-06 2008-07-04 大型薄膜之框體之取持方法 TWI641904B (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007179041 2007-07-06
JP2007-179041 2007-07-06
JP2007179054 2007-07-06
JP2007-179054 2007-07-06

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TW201523125A true TW201523125A (zh) 2015-06-16
TWI641904B TWI641904B (zh) 2018-11-21

Family

ID=40228472

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW104105935A TWI641904B (zh) 2007-07-06 2008-07-04 大型薄膜之框體之取持方法
TW097125456A TWI498671B (zh) 2007-07-06 2008-07-04 大型薄膜之框體及該框體之取持方法

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW097125456A TWI498671B (zh) 2007-07-06 2008-07-04 大型薄膜之框體及該框體之取持方法

Country Status (5)

Country Link
JP (2) JP2010102357A (zh)
KR (2) KR101264571B1 (zh)
CN (2) CN102681334B (zh)
TW (2) TWI641904B (zh)
WO (1) WO2009008294A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI742367B (zh) * 2018-08-14 2021-10-11 台灣積體電路製造股份有限公司 光微影方法、晶圓處理方法及工件固持裝置

Families Citing this family (52)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5051840B2 (ja) * 2007-11-22 2012-10-17 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器内にペリクルを保管する方法
JP5134436B2 (ja) * 2008-05-27 2013-01-30 信越化学工業株式会社 リソグラフィ用ペリクル
JP4886070B2 (ja) * 2008-09-12 2012-02-29 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の使用方法
JP5411596B2 (ja) * 2009-06-24 2014-02-12 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル
JP5411595B2 (ja) * 2009-06-24 2014-02-12 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びリソグラフィ用ペリクル
JP2011034020A (ja) * 2009-08-06 2011-02-17 Shin-Etsu Chemical Co Ltd ペリクル収納容器
US8685598B2 (en) 2009-10-07 2014-04-01 Mitsui Chemicals, Inc. Pellicle and mask adhesive therefor
JP4879308B2 (ja) * 2009-10-29 2012-02-22 信越化学工業株式会社 ペリクル剥離用冶具および剥離方法
JP4951051B2 (ja) * 2009-10-30 2012-06-13 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びペリクル
JP5731147B2 (ja) * 2010-09-01 2015-06-10 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクル用枠体及びペリクル
JP5579545B2 (ja) * 2010-09-03 2014-08-27 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法
JP2012093595A (ja) * 2010-10-28 2012-05-17 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレームおよびペリクル
JP5649134B2 (ja) * 2011-02-08 2015-01-07 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム
JP5722760B2 (ja) * 2011-02-08 2015-05-27 信越化学工業株式会社 ペリクル製造用キット
JP5663376B2 (ja) * 2011-04-04 2015-02-04 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム、その製造方法、及びペリクル
JP5618888B2 (ja) * 2011-04-04 2014-11-05 信越化学工業株式会社 ペリクル及びペリクル膜の製造方法
JP5940283B2 (ja) * 2011-11-04 2016-06-29 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP2013195950A (ja) * 2012-03-22 2013-09-30 Toppan Printing Co Ltd ベルクル及びフォトマスク
JP5795747B2 (ja) * 2012-04-04 2015-10-14 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びペリクル
KR101699635B1 (ko) * 2012-08-02 2017-01-24 미쓰이 가가쿠 가부시키가이샤 펠리클
JP5864399B2 (ja) * 2012-10-22 2016-02-17 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
JP5984187B2 (ja) * 2013-04-22 2016-09-06 信越化学工業株式会社 ペリクルとフォトマスクのアセンブリ
CN105408087B (zh) * 2013-06-21 2017-05-31 丰田自动车株式会社 板材的端部的处理方法、板材的制造方法、板材的端部的处理装置以及板材
JP6389353B2 (ja) * 2013-08-15 2018-09-12 旭化成株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
KR101918687B1 (ko) 2014-01-28 2018-11-14 삼성전자주식회사 펠리클
WO2015166927A1 (ja) * 2014-05-02 2015-11-05 三井化学株式会社 ペリクル枠、ペリクル及びその製造方法、露光原版及びその製造方法、露光装置、並びに半導体装置の製造方法
DE102014111995B4 (de) * 2014-08-21 2022-10-13 Infineon Technologies Ag Verfahren zum ergreifen, zum bewegen und zum elektrischen testen eines halbleitermoduls
WO2016043301A1 (ja) 2014-09-19 2016-03-24 三井化学株式会社 ペリクル、ペリクルの製造方法及びペリクルを用いた露光方法
SG11201701805QA (en) * 2014-09-19 2017-04-27 Mitsui Chemicals Inc Pellicle, production method thereof, exposure method
JP6304884B2 (ja) 2014-09-22 2018-04-04 信越化学工業株式会社 ペリクルの貼り付け方法
KR20230146669A (ko) 2014-11-17 2023-10-19 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 마스크 조립체
KR102082784B1 (ko) * 2014-12-11 2020-03-02 삼성디스플레이 주식회사 마스크 프레임 조립체, 그 제조 방법 및 유기 발광 표시 장치의 제조 방법
JP6347741B2 (ja) * 2014-12-25 2018-06-27 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP6519190B2 (ja) * 2015-01-16 2019-05-29 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠
JP2016139103A (ja) * 2015-01-29 2016-08-04 日本軽金属株式会社 ペリクル用支持枠
JP6564846B2 (ja) * 2015-02-19 2019-08-21 株式会社ブイ・テクノロジー ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法
JP6376601B2 (ja) * 2015-05-18 2018-08-22 信越化学工業株式会社 ペリクル支持手段及びこれを用いたペリクル支持装置とペリクル装着方法
US11320731B2 (en) 2015-12-14 2022-05-03 Asml Netherlands B.V. Membrane for EUV lithography
WO2017102378A1 (en) * 2015-12-14 2017-06-22 Asml Netherlands B.V. A membrane assembly
JP6559585B2 (ja) * 2016-01-25 2019-08-14 日本特殊陶業株式会社 ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法
JP6604651B2 (ja) * 2016-02-22 2019-11-13 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
JP6526588B2 (ja) * 2016-03-10 2019-06-05 日本特殊陶業株式会社 ペリクル枠およびペリクル枠の製造方法
JP6532428B2 (ja) * 2016-05-26 2019-06-19 信越化学工業株式会社 ペリクル
JP7017900B2 (ja) * 2016-11-11 2022-02-09 旭化成株式会社 ペリクル構造体、ペリクル収納体及び固定方法
JP6706575B2 (ja) * 2016-12-22 2020-06-10 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム及びこれを用いたペリクル
JP7357432B2 (ja) 2017-10-10 2023-10-06 信越化学工業株式会社 Ｅｕｖ用ペリクルフレーム、ペリクル、ペリクル付露光原版、露光方法、及び半導体の製造方法
US11314163B2 (en) 2017-10-27 2022-04-26 Asml Netherlands B.V. Pellicle frame and pellicle assembly
JP6899759B2 (ja) * 2017-12-12 2021-07-07 日本軽金属株式会社 Ｆｐｄ（フラットパネルディスプレイ）用ペリクル枠体及びその製造方法
EP3764161A4 (en) * 2018-03-05 2021-12-01 Mitsui Chemicals, Inc. PELLICLE, EXPOSURE MASTER, EXPOSURE DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR COMPONENT
JP7103252B2 (ja) 2019-02-01 2022-07-20 信越化学工業株式会社 ペリクルフレーム、ペリクル、マスク粘着剤付ペリクルフレーム、ペリクル付露光原版、露光方法及び半導体の製造方法
JP7347789B2 (ja) * 2019-07-09 2023-09-20 三井化学株式会社 ペリクル枠体及びペリクル
TW202129404A (zh) * 2020-01-21 2021-08-01 日商信越化學工業股份有限公司 防護薄膜框架、防護薄膜、帶防護薄膜的曝光原版及曝光方法、以及半導體或液晶顯示器的製造方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4833051A (en) * 1984-08-20 1989-05-23 Nippon Kogaku K.K. Protective device for photographic masks
JP2595993B2 (ja) * 1987-10-09 1997-04-02 株式会社ニコン 露光用原板作成装置及び方法
JP3242693B2 (ja) * 1992-05-15 2001-12-25 富士通株式会社 ペリクル貼り付け装置
JPH095982A (ja) * 1995-06-17 1997-01-10 Mitsui Petrochem Ind Ltd マスク保護装置の剥離方法
JPH09106066A (ja) * 1995-10-09 1997-04-22 Nikon Corp ペリクルライナーの剥離方法
JPH1048811A (ja) * 1996-08-07 1998-02-20 Mitsui Petrochem Ind Ltd マスク保護装置とペリクル枠
JP4007752B2 (ja) * 1999-07-30 2007-11-14 旭化成エレクトロニクス株式会社 大型ペリクル用枠体及び大型ペリクル
JP2002131892A (ja) * 2000-10-27 2002-05-09 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクルの剥離方法及びその装置
US6524754B2 (en) * 2001-01-22 2003-02-25 Photronics, Inc. Fused silica pellicle
JP2003222990A (ja) * 2001-11-21 2003-08-08 Asahi Glass Co Ltd ペリクルのフォトマスクへの装着構造
US7205074B2 (en) * 2002-12-31 2007-04-17 Intel Corporation Venting of pellicle cavity for a mask
JP2004240010A (ja) * 2003-02-04 2004-08-26 Asahi Kasei Electronics Co Ltd ペリクルの収納方法
JP4030888B2 (ja) * 2003-02-05 2008-01-09 Ｓｍｋ株式会社 モジュール用ソケット
JP4330377B2 (ja) * 2003-05-15 2009-09-16 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクルの組立方法及び大型ペリクルの組立装置
JP4497845B2 (ja) * 2003-06-04 2010-07-07 旭化成イーマテリアルズ株式会社 大型ペリクルの収納方法
JP2005202011A (ja) * 2004-01-14 2005-07-28 Mitsui Chemicals Inc ペリクル
JP2005308901A (ja) * 2004-04-19 2005-11-04 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレーム及びそれを用いたフォトリソグラフィー用ペリクル
JP2005326634A (ja) * 2004-05-14 2005-11-24 Mitsui Chemicals Inc ペリクルの収納方法
JP2006146064A (ja) * 2004-11-24 2006-06-08 Asahi Kasei Electronics Co Ltd 大型ペリクル剥離用仮枠
JP4391435B2 (ja) * 2005-03-22 2009-12-24 信越化学工業株式会社 ペリクル収納容器
US20060246234A1 (en) * 2005-04-20 2006-11-02 Yazaki Corporation Photomask assembly incorporating a metal/scavenger pellicle frame
JP2006301525A (ja) * 2005-04-25 2006-11-02 Shin Etsu Chem Co Ltd ペリクルフレーム
JP2006323178A (ja) * 2005-05-19 2006-11-30 Shin Etsu Chem Co Ltd リソグラフィ用ペリクル及びその製造方法
JP4677632B2 (ja) * 2005-07-08 2011-04-27 レーザーテック株式会社 ペリクルライナー又はペリクルの剥離装置、剥離方法及びパターン基板の製造方法
JP2008083166A (ja) * 2006-09-26 2008-04-10 Toppan Printing Co Ltd ペリクルフレーム
JP5052106B2 (ja) * 2006-11-22 2012-10-17 旭化成イーマテリアルズ株式会社 ペリクルの収納方法

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI742367B (zh) * 2018-08-14 2021-10-11 台灣積體電路製造股份有限公司 光微影方法、晶圓處理方法及工件固持裝置
US11187997B2 (en) 2018-08-14 2021-11-30 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Photolithography apparatus and method for handling wafer

Also Published As

Publication number Publication date
KR101191055B1 (ko) 2012-10-15
CN102681334B (zh) 2015-09-30
TWI498671B (zh) 2015-09-01
JP5792274B2 (ja) 2015-10-07
TW200919081A (en) 2009-05-01
CN101689018A (zh) 2010-03-31
TWI641904B (zh) 2018-11-21
KR101264571B1 (ko) 2013-05-14
WO2009008294A1 (ja) 2009-01-15
CN102681334A (zh) 2012-09-19
KR20100028040A (ko) 2010-03-11
CN101689018B (zh) 2013-03-20
JP2010102357A (ja) 2010-05-06
KR20120074334A (ko) 2012-07-05
JP2014098913A (ja) 2014-05-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI641904B (zh) 大型薄膜之框體之取持方法
JP5310982B2 (ja) メタルマスク用保持具
TWI356797B (zh)
JP5854511B2 (ja) ペリクルおよびペリクルの貼付け方法
KR101743299B1 (ko) 리소그래피용 펠리클 및 그 제조 방법
JP2006301525A (ja) ペリクルフレーム
JP6376601B2 (ja) ペリクル支持手段及びこれを用いたペリクル支持装置とペリクル装着方法
US8582077B2 (en) Pellicle, mounting method therefor, pellicle-equipped mask, and mask
KR101450683B1 (ko) 펠리클 수납 용기
JP6304884B2 (ja) ペリクルの貼り付け方法
JP2011095593A (ja) ペリクルフレーム及びペリクル
JP2008257208A (ja) 大型ペリクルの保護フィルム及び大型ペリクルの収納方法
CN104204943B (zh) 表膜构件和表膜构件框体以及表膜构件的制造方法
JP6156998B2 (ja) ペリクル
JP2014167627A (ja) 収納容器からの大型ペリクルの取出し方法
TW201435483A (zh) 微影用防塵薄膜組件
KR20170098700A (ko) 펠리클 수납 용기
JP4664746B2 (ja) リソグラフィ用大型ペリクル収納体
KR102666696B1 (ko) 펠리클 및 그 장착 방법
JP2011197125A (ja) 大型ペリクル
JP7347789B2 (ja) ペリクル枠体及びペリクル
JP2007047254A (ja) ペリクル用収納容器
JP6975702B2 (ja) ペリクルフレームおよびペリクル
JP2012058267A (ja) 大型ペリクル用枠体、大型ペリクル及び大型ペリクル用枠体の製造方法