JP6564846B2 - ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法 - Google Patents

Description

本発明は、ペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法に関する。

特許文献１には、ペリクルフレームが貼り付けられた基板の外周部を保持した後に、ペリクルフレームの対向辺を構成する２辺各々の外側面の複数箇所に設けられた穴のそれぞれに細棒を位置合わせして差し込むことでペリクルフレームを支持し、基板からペリクルフレームを均一に遠ざける方向に細棒に対して基板に垂直な方向の力を加えるペリクルフレーム除去方法が開示されている。

特開２０１３−１２５１２０号公報

ペリクルフレームは、ペリクル膜が貼付される面が広い薄板形状であるため、ペリクル膜が貼付される面と直交する方向（高さ方向）に歪みが発生する可能性が高い。しかしながら、特許文献１に記載の発明においては、ペリクルフレームの歪みは考慮されていない。

したがって、特許文献１に記載の発明では、ペリクルフレーム等の歪みにより、ペリクルフレームに設けた穴の位置が高さ方向にずれてしまった場合には、ペリクルフレームに設けた穴に細棒が挿入できないという不具合が生ずる可能性がある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができるペリクルフレーム把持装置及びペリクルフレーム把持方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持装置は、例えば、略中空筒状のペリクルフレームであって、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有するペリクルフレームと、前記粘着部材に貼付された保護シートと、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で前記ペリクルフレームが載置される容器本体であって、前記保護シートの一部が固定される容器本体と、前記容器本体を前記第１の面と略直交する方向である上下方向に移動させる第１の駆動部と、前記容器本体の上方に設けられた治具枠であって、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒と、前記２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材と、前記複数のペリクル把持部材毎に設けられた第２の駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置との間で前記ペリクル把持部材を略水平方向に移動させる第２の駆動部と、を有する治具枠と、前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサであって、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置にあるときには、前記ペリクル把持部材の略鉛直方向の位置である高さを連続して計測し、前記ペリクル把持部材が前記第２の位置にあるときには、前記第１の端面の高さを連続して計測する測距センサを複数有する計測部と、前記計測部により連続して計測された計測結果に基づいて前記ペリクル把持部材及び前記溝の高さを求めると共に、前記容器本体を上方へ移動させつつ前記ペリクル把持部材の高さと前記溝の高さとが略一致した場合には前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が全て前記第１の位置へ移動した場合には前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部を制御する制御部と、を備えたことを特徴とする。

本発明に係るペリクルフレーム把持装置によれば、ペリクル把持部材及びペリクルフレームの側面に形成された溝の高さを連続して取得する。容器本体を上方へ移動させ、ペリクル把持部材及び溝の高さに基づいてペリクル把持部材を溝に挿入し、ペリクル把持部材が溝に挿入されたら容器本体を下方へ移動させる。これにより、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。また、測距センサがペリクル把持部材毎に設けられることで、ペリクルフレームの把持を確実に行うことができる。

ここで、前記制御部は、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動した場合には、前記容器本体を第１の距離だけ下方へ移動させてから前記容器本体の移動を停止するように前記第１の駆動部を制御し、その後、前記第１の端面の高さが前記第１の距離だけ上方に移動したことが前記計測部から取得された場合には、前記保護シートと前記粘着部材とが剥離したと判定してもよい。これにより、作業者が介在することなく、ペリクルフレームが容器本体から剥離したことを検知することができる。

ここで、前記容器本体は、前記ペリクルフレームが載置される略矩形形状の上面を有し、前記第１の駆動部は、前記上面の第１の辺の中央近傍を移動させる第１のアクチュエータと、前記上面の前記第１の辺と略平行な第２の辺の中央より端に近い位置をそれぞれ移動させる第２のアクチュエータ及び第３のアクチュエータと、を有し、前記制御部は、前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、前記第３のアクチュエータを別々に制御してもよい。これにより、ペリクルフレームの移動を様々な形態で行うことができる。

ここで、前記制御部は、前記容器本体を上方へ移動させるときに、前記計測部が有する複数の測距センサのうちの第１の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、前記第１の測距センサと異なる第２の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、が略同一となるように前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、及び前記第３のアクチュエータを制御してもよい。これにより、ペリクルフレームに歪みがある場合等にも溝の高さを略同一にし、ペリクル把持部材を溝に挿入するのに要する時間を短縮することができる。

ここで、前記保護シートは、前記第１の辺の中央近傍で前記上面に固定され、前記制御部は、前記容器本体を下方へ移動させるときに、前記第１のアクチュエータを最初に駆動してもよい。これにより、弱い力で保護シートを粘着層から剥離することができる。

ここで、前記治具枠は、前記２本の棒の端近傍に設けられた回動軸を有し、前記２本の棒は、前記回動軸を中心に略９０度回動可能に設けられてもよい。これにより、１つのペリクルフレーム把持装置を用いて、ペリクルフレームを把持することと、ペリクルフレームをフォトマスク等に貼付することと、を行うことができる。また、測距センサがペリクル把持部材毎に設けられることで、作業者が介在することなく、ペリクルフレームがフォトマスク等に貼付されたことを検知することができる。

ここで、前記２本の棒が略水平に配置されたときに、前記２本の棒の前記回動軸が設けられていない側の端の、前記第１の端面と直交する方向の位置を位置決めする位置決め部材を有してもよい。これにより、安定して治具枠を剥離位置に保持することができる。

ここで、前記治具枠は、前記２本の棒である第１の棒及び第２の棒と、前記第１の棒及び前記第２の棒と略直交する第３の棒及び第４の棒と、を有し、前記第１の棒、前記第２の棒及び前記第３の棒は、それぞれ、長手方向と略直交する方向に移動可能に設けられてもよい。これにより、様々な大きさのペリクルフレームを把持することができる。

ここで、前記治具枠は、前記ペリクル把持部材を前記第１の端面と直交する方向に移動させる移動機構を有してもよい。これにより、ペリクル把持部材に第１の端面と直交する方向の強い力が加わった場合に、ペリクル把持部材の変形、破壊等を防止することができる。

上記課題を解決するために、本発明に係るペリクルフレーム把持方法は、例えば、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有する略中空筒状ペリクルフレームが、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で載置される容器本体であって、前記粘着部材に貼付された保護シートの一部が固定される容器本体の上方に設けられた治具枠の、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材を、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置に配置し、前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサの計測結果に基づいて、前記ペリクル把持部材の高さを求め、前記ペリクル把持部材を、前記第１の位置から、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置へ移動させ、前記容器本体が上方へ移動させつつ、前記測距センサの計測結果に基づいて前記溝の高さを求め、当該求められた前記溝の高さが前記ペリクル把持部材の高さと略一致したら前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動したら前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部を制御することを特徴とする。これにより、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。

本発明によれば、ペリクルフレーム等に歪みが生じている場合にも、作業者が介在することなくペリクルフレームを把持することができる。

第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１の概略を示す正面図である。 ペリクル収納容器１０の詳細を示す斜視図である。 図２のＡ−Ａ断面図である。 治具枠本体２１及び回動軸２２の詳細を示す図である。 棒２１４をｘ方向に移動させる機構を説明する図である。 棒２１２をｙ方向に沿って移動させる機構を説明する図である。 ペリクル把持機構２４ａの詳細を示す図である。 ペリクル把持機構２４ａがペリクルフレーム１０１を把持していない状態を示す図である。 ペリクルフレーム把持装置１の電気的な構成を示すブロック図である。 ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル把持処理の流れを示すフローチャートである。 時間の経過と共に上面１０１ａの高さがどのように変化するかを示す図である。 ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル貼付処理の流れを示すフローチャートである。 ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体２１Ａの概略を示す斜視図である。

以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、重複する部分については説明を省略する。
＜第１の実施の形態＞

図１は、第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１の概略を示す斜視図である。ペリクルフレーム把持装置１は、主として、ペリクル収納容器１０と、ペリクル収納容器１０の上方（＋ｚ方向）に設けられる治具枠２０と、を有する。

ペリクル収納容器１０は、主として、容器本体１１と、ペリクル１００と、を有する。容器本体１１上に載置されたペリクル１００は、治具枠２０により支持されて、容器本体１１から外される。

図２は、ペリクル収納容器１０の詳細を示す斜視図である。図３は、図２のＡ−Ａ断面図である。

ペリクル１００は、主として、ペリクルフレーム１０１と、ペリクルフレーム１０１の上に張設されたペリクル膜１０２と、ペリクルフレーム１０１に下面に形成された粘着層１０３（図３参照）と、を有する。

ペリクルフレーム１０１は、略矩形の外周を有する枠状（中空筒状）であり、金属、例えば、鉄、アルミ等で形成される。ペリクルフレーム１０１は、中空部１０１ｅの大きさがフォトマスクの大きさ（例えば５２０ｍｍ×８００ｍｍ〜１６２０ｍｍ×１７８０ｍｍ程度）と同程度である。ペリクルフレーム１０１の枠状の部分の幅は数十ｍｍ程度であり、厚さは２ｍｍ〜１０ｍｍ程度である。

ペリクルフレーム１０１は、略平行な上面１０１ａ及び下面１０１ｂを有する。また、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａ及び下面１０１ｂに直交する側面１０１ｃには、外周面に沿って溝１０１ｄが形成される。溝１０１ｄは、高さ及び深さが２ｍｍ程度である。溝１０１ｄには、治具枠２０に設けられるペリクル把持部材２４１（後に詳述）が挿入される。

ペリクル膜１０２は、サブミクロンの厚さの薄膜である。ペリクル膜１０２は、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａに、ペリクルフレーム１０１の中空部１０１ｅを覆うように張設される。ペリクルフレーム１０１がフォトマスク基板上に貼付されると、ペリクル膜１０２は、フォトマスクのパターン形成面と所定の間隔で設けられる。

粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１の下面１０１ｂ、すなわち、容器本体１１と対向する側の面に設けられる。粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１の全周に、額縁状に形成されている。また、粘着層１０３は、ペリクルフレーム１０１からはみ出さないように設けられる。粘着層１０３の下面には、粘着層１０３を保護するペリクルライナー１０４が設けられる。

ペリクルライナー１０４は、厚みが略０．１ｍｍ程度であり、ペリクルフレーム１０１の形状と略同一の枠状である。ペリクルライナー１０４は、例えば、ＰＥＴ等からなる基材表面に、離型剤を塗布することにより形成される。ペリクルライナー１０４は、いわゆる離型紙として機能するものであり、容器本体１１からペリクル１００を取り出す際に剥離される。

ペリクル１００が容器本体１１の上面１０１ａに載置されるときには、ペリクルライナー１０４と容器本体１１とが当接する。したがって、粘着層１０３と容器本体１１とは当接しない。

ペリクルライナー１０４には、枠状の各辺の中央近傍にそれぞれ１か所、タブ１０４ａが形成される。タブ１０４ａは、ペリクルフレーム１０１の外周から突出するように形成される。タブ１０４ａは、ペリクルライナー１０４の剥離を容易にするためのものである。

タブ１０４ａは、例えば接着テープ１０５等により、容器本体１１の上面１０１ａに固定される。これにより、タブ１０４ａ、すなわちペリクル１００が容器本体１１に固定される。なお、タブ１０４ａは、上面１０１ａに限らず、容器本体１１のどこかに固定されていればよい。

このように構成されたペリクル１００は、図２に示すように、容器本体１１の上面１１ａの上側（＋ｚ側）に載置される。上面１１ａの下側（−ｚ側）には、駆動部材１２が設けられる。

駆動部材１２は、容器本体１１の上面１１ａを上下（ｚ方向）に移動させる。駆動部材１２は、主として、３つのアクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを有する。アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、先端がｚ方向に移動可能なロッド（図示せず）を有し、ロッドの先端がそれぞれ上面１１ａの下側（−ｚ側）に設けられる。アクチュエータ１２ａは、上面１１ａの長辺１１ｂの近傍かつ長辺１１ｂの略中央に設けられ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、上面１１ａの長辺１１ｃの近傍かつ長辺１１ｃの中央より端に近い位置に設けられる。アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、及びアクチュエータ１２ｃは、個々に駆動可能に設けられる。これにより、ペリクルフレームの移動を様々な形態（後に詳述）で行うことができる。

図１の説明に戻る。治具枠２０は、主として、治具枠本体２１と、回動軸２２と、当接部材２３と、ペリクル把持機構２４（図４参照、ペリクル把持機構２４はペリクル把持機構２４ａ〜２４ｎを含む）と、を有する。なお、図１では、ペリクル把持機構２４を省略している。

図４は、治具枠本体２１及び回動軸２２の詳細を示す図である。図４では、治具枠本体２１及び回動軸２２を−ｚ方向から視認した状態を示す。治具枠本体２１は、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４と、棒２１２、２１３、２１４の周囲に設けられた枠２１５と、を有する。棒２１１、２１２、２１３、２１４及び枠２１５は、金属、例えば、鉄、アルミニウム等で形成される。２本の棒２１１、２１２は、長手方向がｘ方向に沿って設けられ、２本の棒２１３、２１４は、長手方向がｙ方向に沿って設けられる。これにより、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４が枠状に組み合わされる。

棒２１１、２１２、２１３、２１４には、それぞれペリクル把持機構２４が設けられる。図４に示す例では、棒２１１、２１２には、それぞれ３個のペリクル把持機構２４（２４ａ〜２４ｃ、２４ｈ〜２４ｊ）が設けられ、棒２１３、２１４には、それぞれ４個のペリクル把持機構２４（２４ｄ〜２４ｇ、２４ｋ〜２４ｎ）が設けられる。

枠２１５は、棒２１１に両端が固定された略コの字（略Ｕ字）形状の枠状の部材であり、枠状に組み合わされた棒２１２、２１３、２１４の外側に設けられる。棒２１２、２１３、２１４は、枠２１５に対して移動可能に設けられる。

棒２１３、２１４は、棒２１１、２１２の長手方向、すなわちｘ方向に沿って移動可能に設けられる。棒２１２は、棒２１３、２１４の長手方向、すなわちｙ方向に沿って移動可能に設けられる。

図５は、棒２１３、２１４をｘ方向に移動させる機構を説明する図である。図５では、棒２１４を例に説明するが、棒２１３についても、棒２１４と同様の機構を用いるため、説明を省略する。

棒２１４は、最も広い面がｘｙ平面と略平行な板２１４ａと、最も広い面がｙｚ平面と略平行な補強板２１４ｂと、が略Ｌ字形状に組み合わされた棒状の部材であり、両端には端部板２１４ｃが設けられる。端部板２１４ｃには、穴２１４ｄが形成されている。

棒２１１は、主として、最も広い面がｘｙ平面と略平行な板２１１ａと、最も広い面がｘｚ平面と略平行な板２１１ｂと、長手方向が板２１１ａと略平行な略円筒形状の軸２１１ｃと、軸２１１ｃを取り付けるリブ２１１ｄと、を有する。なお、板２１１ｂは必須ではない。

軸２１１ｃは穴２１４ｄに挿入され、軸２１１ｃに設けられたアクチュエータ２１８により軸２１１ｃが回転されることで、棒２１４が軸２１１ｃに沿って、すなわちｘ方向に移動する。図示及び詳細な説明は省略するが、軸２１１ｃに沿って棒２１４を移動させる機構としては、すでに公知の様々な機構を用いることができる。

配線・配管ガイド２１６は、棒２１６ａと、棒２１６ｂと、を有する。棒２１６ａと、棒２１６ｂとは、一端がジョイント（関節）により回動可能に連結されている。棒２１４がｘ方向に移動するのに伴い、棒２１６ａと、棒２１６ｂとの成す角θが変化する。なお、配線・配管ガイド２１６は必須の構成ではなく、省略が可能である。

図６は、棒２１２をｙ方向に沿って移動させる機構を説明する図である。棒２１４は、軸２１４ｅを有する。軸２１４ｅは、長手方向がｙ方向と略平行となるように、端部板２１４ｃ（図６では図示省略）に設けられる。なお、軸２１４ｅは図６においてのみ図示し、図５では軸２１４ｅを省略している。

棒２１２は、棒２１２ａと、軸２１４ｅが挿入される孔２１２ｂが形成されるガイド部材２１２ｃと、を有する。

棒２１２を移動させる移動機構２１７は、板２１４ａに設けられたラック２１７ａと、ガイド部材２１２ｃに設けられるアクチュエータ２１７ｂと、アクチュエータ２１７ｂの出力軸に設けられたピニオン２１７ｃと、を有する。駆動部材であるアクチュエータ２１７ｂの出力軸、すなわちピニオン２１７ｃが回転することで、ガイド部材２１２ｃ、すなわち棒２１２がラック２１７ａに沿ってｙ方向に移動する。

なお、棒２１３、２１４をｘ方向に沿って移動可能に設ける形態、及び棒２１２をｙ方向に沿って移動可能に設ける形態は、これに限られず、様々な形態を取り得る。

図４の説明に戻る。このように棒２１２、２１３、２１４がそれぞれ、長手方向に直交して移動することで、４本の棒２１１、２１２、２１３、２１４により形成される枠の大きさが変化する。棒２１１、２１２、２１３、２１４により形成される枠の大きさを変化可能とすることで、棒２１１、２１２、２１３、２１４により構成される枠の大きさを、様々な大きさのペリクル１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ及び１００Ｅ）に対応した大きさとすることができる。

ペリクル１００Ａは、例えば４２０ｍｍ×７２０ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｂは、例えば７００ｍｍ×８００ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｃは、例えば５２０ｍｍ×６８０ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｄは、例えば７５０ｍｍ×１３００ｍｍ程度の大きさであり、ペリクル１００Ｅは、例えば１５２０ｍｍ×１６８０ｍｍ程度の大きさである。

ペリクル１００Ａ、ペリクル１００Ｂ、ペリクル１００Ｃに対しては、ペリクル把持機構２４ｂ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｍ、２４ｎを用いて把持を行う。ペリクル１００Ｄに対しては、ペリクル把持機構２４ｂ、２４ｄ、２４ｅ、２４ｆ、２４ｌ、２４ｍ、２４ｎを用いて把持を行う。ペリクル１００Ｅに対しては、全てのペリクル把持機構２４ａ〜２４ｎを用いて把持を行う。このように、棒２１１、２１２、２１３、２１４のそれぞれに複数のペリクル把持機構２４を設けることで、様々な大きさのペリクル１００（１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ及び１００Ｅ）を把持することができる。

図７は、ペリクル把持機構２４の詳細を示す図である。図７においてはペリクル把持機構２４ａを例に説明するが、ペリクル把持機構２４ｂ〜２４ｎは、ペリクル把持機構２４ａと同一の構成であるため、説明を省略する。図７は、ペリクル把持機構２４がペリクルフレーム１０１を把持した状態を図示しているまた、図７では、容器本体１１を省略している。

ペリクル把持機構２４ａは、溝１０１ｄに挿入されるペリクル把持部材２４１ａと、ペリクル把持部材２４１ａを保持する保持部２４２ａと、保持部２４２ａを棒２１１に取り付ける土台２４３ａと、を有する。

ペリクル把持部材２４１ａは、金属製の板材により形成される。本実施の形態におけるペリクル把持部材２４１ａは、板材を２回折り曲げて形成されるが、板材は折り曲げなくてもよい。なお、ペリクル把持部材２４１ａは、板状の部材に限らず、例えば棒状の部材を用いて形成してもよい。

保持部２４２ａには、駆動部材４４が設けられる。駆動部材４４は、棒２１１の長手方向（ｘ方向）と略直交する方向（ｙ方向）に先端が移動する（図７矢印参照）ロッド４４ａを有するアクチュエータ４４ｂを有する。ペリクル把持部材２４１ａは、ロッド４４ａに連結されている。これにより、ペリクル把持部材２４１ａは、水平方向（ｘｙ平面に沿って）に、かつ棒２１１に直交する方向に移動される。

ペリクル把持部材２４１ａは、駆動部材４４により、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入される挿入位置と、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入されず、ペリクル把持部材２４１ａがペリクルフレーム１０１と干渉しない退避位置（図７点線参照）と、の間で水平方向に移動される。

ペリクル把持部材２４１ａの先端は、樹脂（例えば、超高分子量ポリエチレン）で形成されたシート等により覆われる。これにより、ペリクル把持部材２４１ａが溝１０１ｄに挿入されたときに、ペリクル把持部材２４１やペリクルフレーム１０１が削れて塵埃が発生することが防止される。

棒２１１、２１２、２１３、２１４の高さ（ｚ方向の位置、以下同じ）は、数ミリ〜数十ミリ程度の差がある。したがって、土台２４３（２４３ａ〜２４３ｎ）の高さをそれぞれ変えることで、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ〜２４１ｎ）の先端の高さを略同一にすることが望ましい。なお、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ〜２４１ｎ）の先端の高さを略同一にする方法はこれに限られず、例えば、保持部２４２（２４２ａ〜２４２ｎ）の高さをそれぞれ変えることで、ペリクル把持部材２４１（２４１ａ〜２４１ｎ）の先端の高さを略同一にしてもよい。

ペリクル把持機構２４のそれぞれには、対応する計測部２５が設けられる。計測部２５（２５ａ〜２５ｎ）は、ペリクル把持機構２４（２４ａ〜２４ｎ）にそれぞれ１個ずつ設けられる。具体的には、ペリクル把持機構２４ａには、計測部２５ａが設けられ、同様にペリクル把持機構２４ｂには、計測部２５ｂが設けられる。そして、ペリクル把持機構２４ｎには、計測部２５ｎが設けられる。計測部２５ｂ〜２５ｎは、計測部２５ａの構成と同様であるため、説明を省略する。

計測部２５ａは、主として、超音波センサ２５１ａと、反射板２５２ａと、を有する。 超音波センサ２５１ａは、超音波を対象物に向けて発信してその反射波を受信し、信号発信と反射波受信との時間間隔に基づいて、目標物までの距離を測定する測距センサである。本実施の形態では、超音波センサ２５１ａは、分解能が約０．２μｍのものを使用する。超音波センサ２５１ａは、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。

反射板２５２ａは、超音波センサ２５１ａから発信された超音波を反射する。超音波センサ２５１ａは、超音波を棒２１１の長手方向と直交する方向（＋ｙ方向）に発信する。したがって、反射板２５２ａをｙｚ平面上で斜め４５度に設けることで、超音波センサ２５１ａから発信された超音波が下（−ｚ方向）に向かうように反射される（図７における２点鎖線参照）。

なお、本実施の形態では、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａは、保持部２４２ａに設けられるが、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａが設けられる位置はこれに限られない。例えば、超音波センサ２５１ａ及び反射板２５２ａは、土台２４３ａに設けられてもよいし、棒２１１に設けられてもよい。

図８は、ペリクル把持機構２４がペリクルフレーム１０１を把持していない状態を図示している。図８においては、ペリクル把持部材２４１が退避位置の位置する場合を実線で示し、ペリクル把持部材２４１が挿入位置の位置する場合を点線で示す。なお、図８では、図７と同様に、容器本体１１を省略している。

ペリクル膜１０２（図８では図示省略）は、超音波を反射する素材で形成される。したがって、ペリクル把持部材２４１が退避位置に位置する場合（図８における実線参照）には、ペリクル把持部材２４１がペリクルフレーム１０１と干渉しない（ｘｙ平面における位置が重ならない）ため、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで−ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。

ペリクル膜１０２はサブミクロンの厚さであるため、ペリクル膜１０２の高さはペリクルフレーム１０１の上面１０１ａの高さと略同一である。したがって、超音波センサ２５１ａは、超音波センサ２５１ａと上面１０１ａとの距離、すなわち上面１０１ａの高さを計測することができる。

それに対し、図８の点線で示すように、ペリクル把持部材２４１が挿入位置にある場合には、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２に当たる前にペリクル把持部材２４１で遮られる。その結果、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル把持部材２４１で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで−ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。これにより、超音波センサ２５１ａは、超音波センサ２５１ａとペリクル把持部材２４１との距離、すなわちペリクル把持部材２４１の高さを計測することができる。

なお、本実施の形態では、ペリクルフレーム１０１の上面１０１ａの高さ、又はペリクル把持部材２４１の高さを求めるために、計測部２５が超音波センサ２５１を有したが、距離を求めるためのセンサは超音波センサ２５１に限られない。測距センサとして、計測部２５が光を用いて距離を求める光学式センサや、渦電流式のセンサを用いてもよい。光学式センサとしては、例えば、レーザを用いるレーザ変位センサや、三角測距式光学センサを用いることができる。ただし、ペリクル膜１０２が良好に超音波を反射する性質を有するため、測距センサとして超音波センサを用いることが望ましい。

また、本実施の形態では、反射板２５２を設けたが、反射板２５２を用いなくてもよい。この場合には、超音波センサ２５１を、反射板２５２の位置に、超音波が下向き（−ｚ方向）に発信されるように設ければよい。

また、本実施の形態に加えて、反射板２５２をｘｙ平面に略沿って移動させる（図８における鎖線矢印参照）機構（反射板移動機構）を追加してもよい。反射板移動機構は、例えば、ペリクル把持部材２４１を移動させる機構と同様の機構を用いることができる。

反射板移動機構は、反射板２５２を、ｘｙ平面における位置が、ペリクルフレーム１０１のｘｙ平面における位置と重ならないような位置（図８長点線参照）まで移動可能に設ける。これにより、容器本体１１から取り出したペリクル１００を、レーザービーム等を用いて検査することができる。

なお、反射板２５２の位置に超音波センサ２５１を設ける場合には、反射板移動機構と同様の機構、すなわち超音波センサ２５１をペリクルフレーム１０１のｘｙ平面における位置と重ならないような位置まで移動させる機構を追加することが望ましい。

図４の説明に戻る。棒２１１には、棒２１１の長手方向（ｘ方向）に沿って、回動軸２２が設けられる。治具枠本体２１は、回動軸２２を中心に、棒２１１及び枠２１５により形成される面が略水平（ｘｙ平面と略平行）となる剥離位置と、棒２１１及び枠２１５により形成される面が略鉛直（ｘｚ平面と略平行）となる貼付位置との間で、略９０度回動可能である。なお、図４では、治具枠本体２１が剥離位置にある状態を図示している。

治具枠本体２１が剥離位置に位置する場合には、棒２１１、２１２、２１３、２１４は、それぞれ略水平、すなわち長手方向が略水平に設けられる。治具枠本体２１が剥離位置に位置する場合には、枠２１５の下面（図１における−ｚ側の面）２１５ａ（図４参照）が当接部材２３（図１参照）に当接する。このように、治具枠本体２１を複数の位置（回動軸２２及び当接部材２３）で支える（両持ち）ことで、安定して治具枠本体２１を剥離位置に保持することができる。

図９は、ペリクルフレーム把持装置１の電気的な構成を示すブロック図である。ペリクルフレーム把持装置１は、ＣＰＵ（Ｃｅｎｔｒａｌ Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ Ｕｎｉｔ）１５１と、ＲＡＭ（Ｒａｎｄｏｍ Ａｃｃｅｓｓ Ｍｅｍｏｒｙ）１５２と、ＲＯＭ（Ｒｅａｄ Ｏｎｌｙ Ｍｅｍｏｒｙ）１５３と、入出力インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５４と、通信インターフェース（Ｉ／Ｆ）１５５と、メディアインターフェース（Ｉ／Ｆ）１５６と、を有し、これらは駆動部材１２、駆動部材４４、計測部２５等と互いに接続されている。

ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。ＣＰＵ１５１には、計測部２５、駆動部材１２、駆動部材４４から信号が入力される。ＣＰＵ１５１から出力された信号は、駆動部材１２、駆動部材４４に出力される。

ＲＡＭ１５２は、揮発性メモリである。ＲＯＭ１５３は、各種制御プログラム等が記憶されている不揮発性メモリである。ＣＰＵ１５１は、ＲＡＭ１５２、ＲＯＭ１５３に格納されたプログラムに基づいて動作し、各部の制御を行う。また、ＲＯＭ１５３は、ペリクルフレーム把持装置１の起動時にＣＰＵ１５１が行うブートプログラムや、ペリクルフレーム把持装置１のハードウェアに依存するプログラムなどを格納する。また、ＲＡＭ１５２は、ＣＰＵ１５１が実行するプログラム及びＣＰＵ１５１が使用するデータなどを格納する。

ＣＰＵ１５１は、入出力インターフェース１５４を介して、キーボードやマウス等の入出力装置１６１を制御する。通信インターフェース１５５は、ネットワーク１６２を介して他の機器からデータを受信してＣＰＵ１５１に送信すると共に、ＣＰＵ１５１が生成したデータを、ネットワーク１６２を介して他の機器に送信する。

メディアインターフェース１５６は、記憶媒体１６３に格納されたプログラム又はデータを読み取り、ＲＡＭ１５２に格納する。なお、記憶媒体１６３は、例えば、ＩＣカード、ＳＤカード、ＤＶＤ等である。

なお、各機能を実現するプログラムは、例えば、記憶媒体１６３から読み出されて、ＲＡＭ１５２を介してペリクルフレーム把持装置１にインストールされ、ＣＰＵ１５１によって実行される。

ＣＰＵ１５１は、入力信号に基づいてペリクルフレーム把持装置１の各部を制御する制御部１５１ａの機能を有する。制御部１５１ａは、ＣＰＵ１５１が読み込んだ所定のプログラムを実行することにより構築される。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、駆動部材１２及び駆動部材４４を制御する。制御部１５１ａが行う処理については、後に詳述する。

図９に示すペリクルフレーム把持装置１の構成は、本実施形態の特徴を説明するにあたって主要構成を説明したのであって、例えば一般的な情報処理装置が備える構成を排除するものではない。図９に示す機能構成は、ペリクルフレーム把持装置１の構成を理解しやすくするために分類したものであり、構成要素の分類の仕方や名称は図９に記載の形態に限定されない。ペリクルフレーム把持装置１の構成は、処理内容に応じてさらに多くの構成要素に分類してもよいし、１つの構成要素が複数の構成要素の処理を実行してもよい。

このように構成されたペリクルフレーム把持装置１の作用について説明する。図１０は、ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル把持処理の流れを示すフローチャートである。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。

まず、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、ペリクル収納容器１０が初期位置（図１に示す位置）に位置する、すなわち治具枠本体２１がペリクル１００の上方に位置する状態（初期状態）であることを確認する（ステップＳ１０１）。

この初期状態では、ペリクル把持部材２４１は退避位置に位置している。したがって、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル膜１０２で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで−ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。また、治具枠本体２１の高さ、すなわちペリクル把持部材２４１の高さは基本的に不変であり、この情報はあらかじめＲＯＭ１５３に格納されている。そのため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたペリクル把持部材２４１の高さの情報に基づいて、ペリクル１００の高さが治具枠本体２１の高さより低い、すなわちペリクル収納容器１０が初期状態にあると判定することができる。

本実施の形態では、計測部２５は計測部２５ａ〜２５ｎの１４個である。制御部１５１ａは、超音波センサ２５１ａ〜２５１ｎから順次超音波を発信し、超音波センサ２５１ａ〜２５１ｎから順次計測結果を取得する。制御部１５１ａは、全ての超音波センサ２５１から計測結果を取得してから、所定の時間だけ経過した後で、再度超音波センサ２５１ａ〜２５１ｎから順次超音波を発信する。所定の時間は、例えば、超音波センサ２５１から発信された超音波が、初期位置にあるペリクルフレーム１０１で反射して、超音波センサ２５１で受信されるまでに要する時間と略同一（微小時間だけ長い場合を含む）である。このようにすると、超音波センサ２５１ａ〜２５１ｎから順次超音波を発信し、超音波センサ２５１ａ〜２５１ｎで順次計測結果を取得するまでに要する時間は、略２０ミリ秒程度である。したがって、制御部１５１ａは、計測部２５からほぼリアルタイムで測定値を取得することができる。

次に、初期状態において、制御部１５１ａは、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を挿入位置に移動させて、ペリクル把持部材２４１の実際の位置を確認する（ステップＳ１０２）。

ステップＳ１０２の処理を詳細に説明する。制御部１５１ａは、アクチュエータ４４ｂを駆動してロッド４４ａを棒２１１、２１２、２１３、２１４と直交する方向に移動させることで、ロッド４４ａに連結されたペリクル把持部材２４１を退避位置から挿入位置へ移動させる。現段階では、治具枠本体２１が容器本体１１の上方に位置するため、ペリクル把持部材２４１が挿入位置に移動すると、超音波センサ２５１ａから発信された超音波は、ペリクル把持部材２４１で＋ｚ方向に反射し、反射板２５２ａで−ｙ方向に向きを変えて、超音波センサ２５１ａで受信される。これにより、計測部２５がペリクル把持部材２４１の高さを計測し、制御部１５１ａはこれを取得する。

超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離は既知であり、この値はあらかじめ設定され、ＲＯＭ１５３に記憶されている。したがって、制御部１５１ａは、計測部２５がペリクル把持部材２４１の高さを計測した結果と、ＲＯＭ１５３に記憶された超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離と、に基づいて、ペリクル把持部材２４１の高さを求める。

制御部１５１ａは、ペリクル把持部材２４１の高さが求められたら、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を挿入位置から退避位置に移動させる。これにより、ステップＳ１０２の処理が終了する。

その後、制御部１５１ａは、駆動部材１２を制御して容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を上方（＋ｚ方向）へ移動させながら、ペリクル１００の溝１０１ｄの高さを連続して求める（ステップＳ１０３）。

計測部２５は連続して検出を行っているため、この状態では、計測部２５は、ペリクル１００の上面１０１ａの高さを連続して計測しており、制御部１５１ａはこれを連続して取得する。

ＲＯＭ１５３には、ペリクル１００の上面１０１ａと溝１０１ｄとの高さの差に関する情報（ここでは、値、例えば３ｍｍ）が格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納された上面１０１ａと溝１０１ｄの高さとの高さの差に関する情報と、ＲＯＭ１５３に記憶された超音波センサ２５１ａと反射板２５２ａとの距離とに基づいて、溝１０１ｄの高さを連続して（リアルタイムで）求めることができる。

なお、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３において容器本体１１を上方（＋ｚ方向）へ移動させる時に、計測部２５ａ〜２５ｎで測定された上面１０１ａの高さが略一致するように、アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを別々に駆動するようにしてもよい。例えば、容器本体１１やペリクルフレーム１０１が歪んでいる場合には、容器本体１１に載置された状態において上面１０１ａの高さが一定ではないが、アクチュエータ１２ａ、アクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃを別々に駆動することで、ペリクルフレーム１０１に歪みがある場合等にも、上面１０１ａすなわち溝１０１ｄの高さを略一定にすることができる。これにより、後に詳述するペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入するステップ（ステップＳ１０５）に要する時間を短縮するとともに、ペリクル把持材２４１がペリクル枠に加える力と歪みを抑制することができる。なお、ステップＳ１０３は、ステップＳ１０１と同時に行ってもよい。

制御部１５１ａは、ステップＳ１０３で求められた溝１０１ｄの高さが、ステップＳ１０２で求められたペリクル把持部材２４１の高さと一致したか否かを判定する（ステップＳ１０４）。制御部１５１ａは、ペリクル把持部材２４１毎に、ステップＳ１０４の処理を行う。

溝１０１ｄの高さがペリクル把持部材２４１の高さと一致していない場合（ステップＳ１０４でＮＯ）は、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３に処理を戻す。

溝１０１ｄの高さがペリクル把持部材２４１の高さと一致した（ステップＳ１０４でＹＥＳ）場合には、制御部１５１ａは、駆動部材４４を制御してペリクル把持部材２４１を退避位置から挿入位置へ移動させて、ペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入する（ステップＳ１０５）。制御部１５１ａは、ステップＳ１０５の処理を、ペリクル把持機構２４毎に行う。これにより、確実にペリクル把持部材２４１を溝１０１ｄに挿入することができる。

制御部１５１ａは、全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入されたか否かを判定する（ステップＳ１０６）。全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入されていない場合（ステップＳ１０６でＮＯ）は、制御部１５１ａは、ステップＳ１０３に処理を戻す。

全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入された（ステップＳ１０６でＹＥＳ）場合には、制御部１５１ａは、駆動部材１２を制御して容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を下方（−ｚ方向）に移動させながら、ペリクル１００の上面１０１ａの高さを連続して求める（ステップＳ１０７）。

ステップＳ１０７において容器本体１１を下方に移動させるときに、最初にアクチュエータ１２ｂ、アクチュエータ１２ｃの駆動を止めてアクチュエータ１２ａのみを駆動し、上面１０１ａのアクチュエータ１２ａにより移動される領域及びその近傍の高さを、上面１０１ａの他の部分の高さより所定の高さだけ低くしてもよい。

図２及び図３に示すように、アクチュエータ１２ａのｘｙ平面上の位置は、４つのタブ１０４ａのうちの１つのタブ１０４ａ、又はこのタブ１０４ａを容器本体１１に固定する接着テープ１０５とｘｙ平面上の位置が重なっている。すなわち、アクチュエータ１２ａが駆動する上面１１ａのｘｙ平面上の位置は、ペリクル把持機構２４ｂのペリクル把持部材２４１ｂが溝１０１ｄに挿入される位置、すなわち計測部２５ｂがペリクル１００の上面１０１ａの高さを測定する位置と略一致している。

したがって、制御部１５１ａは、計測部２５ｂにより測定された上面１０１ａの高さが、他の計測部２５、例えば計測部２５ｅ〜２５ｍにより測定された高さの平均値より所定の高さだけ低くなるように、ステップＳ１０７の最初にアクチュエータ１２ａのみを駆動する。

その結果、アクチュエータ１２ａが駆動する上面１１ａのｘｙ平面上の位置と重なる位置にあるタブ１０４ａの根元１０４ｂ（図２、３参照）に力を集中させ、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離するきっかけを作ることができる。したがって、弱い力でペリクルライナー１０４を粘着層１０３から剥離することができる。

そして、制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離したか否かを判定する（ステップＳ１０８）。

図１１は、制御部１５１ａがどのように容器本体１１（ペリクル収納容器１０）を移動させるか、すなわち時間の経過と共に上面１０１ａの高さがどのように変化するかを示す図である。図１１において、縦軸は反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄ（図８参照）を示し、横軸は時間ｔを示す。計測部２５は連続して検出を行っているため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。

ｔ＝０の時は、ステップＳ１０３を開始する時であり、ペリクル収納容器１０、すなわちペリクル１００は初期位置に位置し、この時の反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄはｉである。距離ｉは、５０ｍｍ程度である。

ｔ＝ｔ１の時は、全てのペリクル把持部材２４１が溝１０１ｄに挿入された（ステップＳ１０６でＹＥＳ）時であり、このときの反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄをａとする。ステップＳ１０３で容器本体１１が上に移動しているため、距離ａは距離ｉより小さい。このときには、ペリクル収納容器１０の加重はすべてペリクル把持部材２４１で支えている。

ｔ１＜ｔ＜ｔ５では、制御部１５１ａは、容器本体１１を下方に移動させる処理（ステップＳ１０７）を行っている。以下、ステップＳ１０７における反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄと時間ｔとの関係について、詳細に説明する。

図３に示すように、ペリクル１００の側面１０１ｃの位置と、接着テープ１０５の位置との間には、隙間αが存在する。したがって、制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させたとしても、隙間αにあるペリクルライナー１０４が突っ張るまでの間（ｔ１≦ｔ≦ｔ２）、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄはａのまま変化しない。なお、ｔ＝ｔ２の時は、隙間αにあるペリクルライナー１０４が突っ張り終わった時である。

そのまま制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させ続ける（ｔ２＜ｔ＜ｔ３）と、制御部１５１ａが容器本体１１を下方に移動させるのに伴い、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄは徐々に大きくなる。

制御部１５１ａは、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａとなった（ｔ＝ｔ３）場合には、容器本体１１を下方に移動させるのを停止し、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄをａ＋Δａに保つ。Δａは、あらかじめ任意の値を設定しておく。

ＲＯＭ１５３には、Δａに関する情報（ここでは、値）が格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたΔａに関する情報とに基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａとなった位置で容器本体１１を下方に移動させるのを停止させる。

ｔ３≦ｔ＜ｔ４の間は、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から徐々に剥離している状態である。ペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離し終わる（ｔ＝ｔ４）と、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａに戻る（ｔ＝ｔ５）。なお、図１１では、説明のため、ｔ４とｔ５とが少し離れているが、実際にはごく短い時間であり、ｔ４とｔ５は略同一のタイミングであるといってよい。

制御部１５１ａは、計測部２５から連続して信号を取得しており、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。したがって、制御部１５１ａは、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａになっていない場合（ｔ＜ｔ５）は、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離していないと判定し（ステップＳ１０８でＮＯ）、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａ＋Δａからａになった場合（ｔ＝ｔ５）は、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が容器本体１１から剥離したと判定する（ステップＳ１０８でＹＥＳ）。このように反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄに基づいて処理を行うことで、作業者が介在することなく、ペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離したか否かを判定することができる。

図１０の説明に戻る。制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離していない（ステップＳ１０８でＮＯ）場合には、ステップＳ１０７へ処理を戻す。制御部１５１ａは、容器本体１１に貼付されたペリクルライナー１０４が粘着層１０３から剥離した（ステップＳ１０８でＹＥＳ）場合には、ペリクル把持処理を終了する。

図１２は、ペリクルフレーム把持装置１が行うペリクル貼付処理の流れを示すフローチャートである。ペリクル貼付処理は、ペリクル把持処理の後で行われる。以下の処理は、主として制御部１５１ａによって行われる。

制御部１５１ａは、図示しない駆動部を駆動して、回動軸２２を中心に治具枠本体２１を略９０度回動させて、治具枠本体２１を剥離位置から貼付位置へ移動させる（ステップＳ２０１）。治具枠本体２１はペリクル１００を把持しているため、治具枠本体２１と一緒にペリクル１００も略９０度回動している。

ステップＳ２０１は、図１１におけるｔ６≦ｔ≦ｔ７の時である。治具枠本体２１を剥離位置から回動し始めると、重力の向きと、ペリクル１００の上面１０１ａと直交する向きとがなす角度が変化し始めるため、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがａから少しずつ小さくなる。そして、治具枠本体２１が貼付位置に位置すると（ｔ＝ｔ７）、重力の向きと、ペリクル１００の上面１０１ａとが略平行となるため、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂ（ｂ＜ａ）となる。

図１２の説明に戻る。次に、制御部１５１ａは、図示しない検査部を用いて、治具枠本体２１に把持されたペリクル１００を検査する（ステップＳ２０２）。検査部は、レーザービーム等を発信する発信部を有し、すでに公知の様々な方法を用いてペリクル１００を検査する。ペリクルフレーム把持装置１が反射板移動機構を有する場合には、ステップＳ２０２において、制御部１５１ａは、ペリクルフレーム１０１と重ならない位置まで反射板２５２を移動させる。

検査処理（ステップＳ２０２）によりペリクル１００に異常がないことが確認できたら、（異物が付着している場合はエアブローで除去する）、制御部１５１ａは、図示しない移動部を用いて、貼付位置にある治具枠本体２１を、フォトマスクが載置されている装置内へ平行移動させる（ステップＳ２０３）。そして、フォトマスクとペリクル１００との位置あわせ（アライメント）を行う（ステップＳ２０４）。

アライメント（ステップＳ２０４）の次に、制御部１５１ａは、ペリクル１００をフォトマスクに貼付する（ステップＳ２０５）。ペリクル１００からペリクルライナー１０４が剥離されているため、ペリクルフレーム１０１の下面１０１ｂに設けられた粘着層１０３が露出している。したがって、ペリクル１００をフォトマスクに押圧することで、粘着層１０３によりペリクル１００がフォトマスクに貼り付けられる。

図１１において、ｔ８≦ｔ≦ｔ１０の間は、制御部１５１ａがステップＳ２０５の処理を行っている。まず、制御部１５１ａは、図示しない移動部を用いて、フォトマスクが載置されている装置内で治具枠本体２１を平行移動させて、ペリクル１００をフォトマスクに近づける。すると、ペリクル１００とフォトマスクとが当接する（ｔ＝ｔ９）。

制御部１５１ａは、そのままペリクル１００をフォトマスクに近づける方向へ移動させる。しかしながら、ペリクル１００とフォトマスクとが当接しているため、ペリクル１００がフォトマスクに押圧されつつ、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂから少しずつ小さくなる（ｔ９＜ｔ＜ｔ１０）。

計測部２５は治具枠本体２１に設けられているため、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄを連続して求めている。

そして、制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号に基づいて求められた反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄが、ｂからΔｂだけ小さくなった（ｔ＝ｔ１０）場合には、ペリクル１００をフォトマスクに貼付する処理（ステップＳ２０５）を終了する。

Δｂは、あらかじめ任意の値に設定しておく。Δｂに関する情報（ここでは、値）は、ＲＯＭ１５３に格納されている。制御部１５１ａは、計測部２５から取得した信号と、ＲＯＭ１５３に格納されたΔｂに関する情報とに基づいて、反射板２５２と上面１０１ａとの距離Ｄがｂ−Δｂとなった位置でペリクル１００の平行移動を停止する。なお、制御部１５１ａは、計測部２５毎にこの処理を行う。これにより、作業者が介在することなく、ペリクル１００をフォトマスクに貼付することができる。

本実施の形態によれば、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００を剥離して、ペリクルフレーム１０１を把持することができる。特に、ペリクル把持機構２４毎に計測部２５を設けることで、ペリクル１００の変形等がある場合にも、作業者が介在することなく、ペリクル把持機構２４を用いてペリクルフレーム１０１を把持することができる。

また、本実施の形態によれば、計測部２５が連続してペリクルフレーム１０１の高さを計測するため、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００が剥離されたと判定することができる。

なお、本実施の形態では、ペリクル把持部材２４１は、退避位置と挿入位置との間で移動可能であるが、さらに上下方向（ｚ方向）に移動可能であってもよい。例えば、ペリクル把持部材２４１とロッド４４ａとの連結部に、ｚ方向に弾性変形が可能な弾性部材を設け、ペリクル把持部材２４１に−ｚ方向の力が加わった場合には、弾性部材が変形してペリクル把持部材２４１が−ｚ方向に移動し、−ｚ方向の力が除去されると、弾性部材が元の形状に戻ることによりペリクル把持部材２４１が＋ｚ方向に移動するようにすればよい。これにより、ペリクル把持部材２４１に上下方向の強い力が加わった場合に、ペリクル把持部材２４１の変形、破壊等を防止することができる。

＜第２の実施の形態＞
第１の実施の形態は、棒２１２、２１３、２１４が平行移動することで複数の大きさのペリクルに対応可能な形態であるが、複数の大きさのペリクルに対応できることは必須ではない。

第２の実施の形態は、構成をより簡単にした形態である。以下、第２の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置２について説明する。なお、第１の実施の形態に係るペリクルフレーム把持装置１と、ペリクルフレーム把持装置２との差異は、治具枠本体のみであるため、ペリクルフレーム把持装置２については治具枠本体についてのみ説明する。また、ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体の説明において、ペリクルフレーム把持装置１と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。

図１３は、ペリクルフレーム把持装置２の治具枠本体２１Ａの概略を示す斜視図である。治具枠本体２１Ａは、主として、棒２１１Ａと、棒２１３Ａと、棒２１４Ａと、を有する。棒２１３Ａ及び棒２１４Ａは、棒２１１Ａから突出するように棒２１１Ａに固定される。棒２１３Ａ及び棒２１４Ａの長手方向は、棒２１１Ａの長手方向と略直交する。棒２１３Ａには、ペリクル把持機構２４ｄ、２４ｅ及び計測部２５ｄ、２５ｅ（図１３では図示せず）が設けられ、棒２１４Ａには、ペリクル把持機構２４ｍ、２４ｎ及び計測部２５ｍ、２５ｎ（図１３では図示せず）が設けられる。

本実施の形態によれば、より簡単な構成で、作業者が介在することなく、容器本体１１からペリクル１００を剥離して、ペリクルフレーム１０１を把持するペリクルフレーム把持装置を提供することができる。

以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。当業者であれば、実施形態の各要素を、適宜、変更、追加、変換等することが可能である。

また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略平行とは、厳密に平行の場合には限られず、例えば数度程度の誤差を含む概念である。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、基準となる位置の近くのある範囲（任意に定めることができる）の領域を含むことを意味する。例えば、Ａの近傍という場合に、Ａの近くのある範囲の領域であって、Ａを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。

１、２：ペリクルフレーム把持装置
１０：ペリクル収納容器
１１：容器本体
１１ａ：上面
１２：駆動部材
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ：アクチュエータ
２０：治具枠
２１、２１Ａ：治具枠本体
２２：回動軸
２３：当接部材
２４：ペリクル把持機構
２５：計測部
４４：駆動部材
４４ａ：ロッド
４４ｂ：アクチュエータ
１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ、１００Ｄ、１００Ｅ：ペリクル
１０１：ペリクルフレーム
１０１ａ：上面
１０１ｂ：下面
１０１ｃ：側面
１０１ｄ：溝
１０１ｅ：中空部
１０２：ペリクル膜
１０３：粘着層
１０４：ペリクルライナー
１０４ａ：タブ
１０４ｂ：根元
１０５：接着テープ
１５１：ＣＰＵ
１５１ａ：制御部
１５２：ＲＡＭ
１５３：ＲＯＭ
１５４：入出力インターフェース
１５５：通信インターフェース
１５６：メディアインターフェース
１５７：記憶媒体
２１１、２１１Ａ：棒
２１１ａ、２１１ｂ：板
２１１ｃ：軸
２１１ｄ：リブ
２１２：棒
２１２ａ：棒
２１２ｂ：孔
２１２ｃ：ガイド部材
２１３、２１３Ａ：棒
２１４、２１４Ａ：棒
２１４ａ：板
２１４ｂ：補強板
２１４ｃ：端部板
２１４ｄ：穴
２１４ｅ：軸
２１５：枠
２１６：補強部
２１６ａ、２１６ｂ：棒
２１７：移動機構
２１７ａ：ラック
２１７ｂ：アクチュエータ
２１７ｃ：ピニオン
２１８：アクチュエータ
２４１：ペリクル把持部材
２４２：保持部
２４３：土台
２４３ａ：土台
２５１：超音波センサ
２５２：反射板

Claims (10)

1. 略中空筒状のペリクルフレームであって、中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有するペリクルフレームと、
   前記粘着部材に貼付された保護シートと、
   前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で前記ペリクルフレームが載置される容器本体であって、前記保護シートの一部が固定される容器本体と、
   前記容器本体を前記第１の面と略直交する方向である上下方向に移動させる第１の駆動部と、
   前記容器本体の上方に設けられた治具枠であって、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒と、前記２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材と、前記複数のペリクル把持部材毎に設けられた第２の駆動部であって、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置と、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置との間で前記ペリクル把持部材を略水平方向に移動させる第２の駆動部と、を有する治具枠と、
   前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサであって、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置にあるときには、前記ペリクル把持部材の略鉛直方向の位置である高さを連続して計測し、前記ペリクル把持部材が前記第２の位置にあるときには、前記第１の端面の高さを連続して計測する測距センサを複数有する計測部と、
   前記計測部により連続して計測された計測結果に基づいて前記ペリクル把持部材及び前記溝の高さを求めると共に、前記容器本体を上方へ移動させつつ前記ペリクル把持部材の高さと前記溝の高さとが略一致した場合には前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、前記ペリクル把持部材が全て前記第１の位置へ移動した場合には前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部及び前記第２の駆動部を制御する制御部と、
   を備えたことを特徴とするペリクルフレーム把持装置。
2. 前記制御部は、前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動した場合には、前記容器本体を第１の距離だけ下方へ移動させてから前記容器本体の移動を停止するように前記第１の駆動部を制御し、その後、前記第１の端面の高さが前記第１の距離だけ上方に移動したことが前記計測部から取得された場合には、前記保護シートと前記粘着部材とが剥離したと判定することを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
3. 前記容器本体は、前記ペリクルフレームが載置される略矩形形状の上面を有し、
   前記第１の駆動部は、前記上面の第１の辺の中央近傍を移動させる第１のアクチュエータと、前記上面の前記第１の辺と略平行な第２の辺の中央より端に近い位置をそれぞれ移動させる第２のアクチュエータ及び第３のアクチュエータと、を有し、
   前記制御部は、前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、前記第３のアクチュエータを別々に制御することを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム把持装置。
4. 前記制御部は、前記容器本体を上方へ移動させるときに、前記計測部が有する複数の測距センサのうちの第１の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、前記第１の測距センサと異なる第２の測距センサで計測された結果に基づいて求められた前記ペリクル把持部材と前記溝との相対位置と、が略同一となるように前記第１のアクチュエータ、前記第２のアクチュエータ、及び前記第３のアクチュエータを制御することを特徴とする請求項３に記載のペリクルフレーム把持装置。
5. 前記保護シートは、前記第１の辺の中央近傍で前記上面に固定され、
   前記制御部は、前記容器本体を下方へ移動させるときに、前記第１のアクチュエータを最初に駆動することを特徴とする請求項３又は４に記載のペリクルフレーム把持装置。
6. 前記治具枠は、前記２本の棒の端近傍に設けられた回動軸を有し、
   前記２本の棒は、前記回動軸を中心に略９０度回動可能に設けられることを特徴とする請求項１から５のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
7. 前記２本の棒が略水平に配置されたときに、前記２本の棒の前記回動軸が設けられていない側の端の、前記第１の端面と直交する方向の位置を位置決めする位置決め部材を有することを特徴とする請求項６に記載のペリクルフレーム把持装置。
8. 前記治具枠は、前記２本の棒である第１の棒及び第２の棒と、前記第１の棒及び前記第２の棒と略直交する第３の棒及び第４の棒と、を有し、
   前記第１の棒、前記第２の棒及び前記第３の棒は、それぞれ、長手方向と略直交する方向に移動可能に設けられることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
9. 前記治具枠は、前記ペリクル把持部材を前記第１の端面と直交する方向に移動させる移動機構を有することを特徴とする請求項１から７のいずれか１項に記載のペリクルフレーム把持装置。
10. 中空部を覆うペリクル膜が設けられる第１の端面と、粘着部材が設けられる前記第１の端面と略平行な第２の端面と、溝が形成される側面と、を有する略中空筒状ペリクルフレームが、前記第１の面が略水平上向き、前記第２の面が略水平下向きの状態で載置される容器本体であって、前記粘着部材に貼付された保護シートの一部が固定される容器本体の上方に設けられた治具枠の、所定の間隔で略水平に保持される２本の棒のそれぞれに複数ずつ設けられる複数のペリクル把持部材を、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入される第１の位置に配置し、
    前記複数のペリクル把持部材のそれぞれに各１個設けられた測距センサの計測結果に基づいて、前記ペリクル把持部材の高さを求め、
    前記ペリクル把持部材を、前記第１の位置から、前記ペリクル把持部材が前記溝に挿入されない第２の位置へ移動させ、
    前記容器本体が上方へ移動させつつ、前記測距センサの計測結果に基づいて前記溝の高さを求め、当該求められた前記溝の高さが前記ペリクル把持部材の高さと略一致したら前記ペリクル把持部材を前記第２の位置から前記第１の位置へ移動させ、
    前記ペリクル把持部材が前記第１の位置へ移動したら前記容器本体を下方へ移動させるように前記第１の駆動部を制御する
    ことを特徴とするペリクルフレーム把持方法。
    

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