CN107112271A - 防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法 - Google Patents

Abstract

即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。由分别设置于防护膜把持构件的计测部连续地取得防护膜把持构件以及形成于防护膜组件(100)的侧面的槽的高度，所述防护膜把持构件在被以规定间隔保持为大致水平的两根棒(213、214)上分别各设置有多个。在使容器主体(11)向上方移动且防护膜把持构件的高度与槽的高度大致一致的情况下，将防护膜把持构件插入到槽，若防护膜把持构件被插入至槽则使容器主体(11)向下方移动。

Description

防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法

技术领域

本发明涉及防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法。

背景技术

在专利文献1中公开了一种防护膜框架去除方法：在对粘贴有防护膜框架的基板的外周部进行保持之后，使细棒相对于在构成防护膜框架的对置边的两个边各自的外侧面的多个部位设置的孔分别进行对位并将细棒插入该孔，由此来支承防护膜框架，朝向使防护膜框架均匀地远离基板的方向，对细棒施加与基板垂直的方向的力。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2013-125120号公报

发明内容

发明所要解决的课题

防护膜框架的粘贴防护膜的面为宽广的薄板形状，因此在与粘贴防护膜的面正交的方向(高度方向)上产生形变的可能性大。然而，在专利文献1所记载的发明中，未考虑防护膜框架的形变。

因此，在专利文献1所记载的发明中，在设置于防护膜框架的孔的位置因防护膜框架等的形变而在高度方向上错开的情况下，有可能产生细棒无法插入至在防护膜框架设置的孔中这一不良情况。

本发明是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于，提供即使在防护膜框架等产生了形变的情况下也无需作业者介入就能够把持防护膜框架的防护膜框架把持装置以及防护膜框架把持方法。

用于解决课题的方案

为了解决上述问题，本发明的防护膜框架把持装置的特征在于，例如具备：防护膜框架，其为大致中空筒状，所述防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面、以及形成有槽的侧面；保护片材，其粘贴于所述粘合构件；容器主体，其以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置所述防护膜框架，所述容器主体固定所述保护片材的一部分；第一驱动部，其使所述容器主体沿着与所述第一面大致正交的方向即上下方向移动；夹具框，其设置于所述容器主体的上方，所述夹具框具有：以规定间隔保持为大致水平的两根棒、在所述两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件、以及针对所述多个防护膜把持构件的每一个而设置的第二驱动部，所述第二驱动部使所述防护膜把持构件在所述防护膜把持构件插入到所述槽的第一位置与所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置之间沿着大致水平方向移动；计测部，其具有多个测距传感器，所述测距传感器在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个，在所述防护膜把持构件处于所述第一位置时，所述测距传感器连续地计测所述防护膜把持构件的大致铅垂方向的位置即高度，在所述防护膜把持构件处于所述第二位置时，所述测距传感器连续地计测所述第一端面的高度；以及控制部，其基于由所述计测部连续地计测出的计测结果来求出所述防护膜把持构件以及所述槽的高度，并且控制所述第一驱动部以及所述第二驱动部，以便在使所述容器主体向上方移动且所述防护膜把持构件的高度与所述槽的高度大致一致的情况下，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，在所述防护膜把持构件全部移动至所述第一位置的情况下，使所述容器主体向下方移动。

根据本发明的防护膜框架把持装置，连续地取得防护膜把持构件以及形成于防护膜框架的侧面的槽的高度。使容器主体向上方移动，基于防护膜把持构件以及槽的高度来将防护膜把持构件插入到槽，若防护膜把持构件被插入至槽则使容器主体向下方移动。由此，即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。另外，针对防护膜把持构件的每一个而设置测距传感器，由此能够可靠地进行防护膜框架的把持。

在此，也可以是，所述控制部在所述防护膜把持构件移动至所述第一位置的情况下，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动第一距离之后停止所述容器主体的移动，然后，在从所述计测部取得所述第一端面的高度向上方移动了所述第一距离这一情况时，所述控制部判定为所述保护片材与所述粘合构件已剥离。由此，无需作业者介入就能够检测出防护膜框架从容器主体剥离的情况。

在此，也可以是，所述容器主体具有载置所述防护膜框架的大致矩形形状的上表面，所述第一驱动部具有：第一致动器，其使所述上表面的第一边的中央附近移动；第二致动器以及第三致动器，它们使所述上表面的比与所述第一边大致平行的第二边的中央接近端部的位置分别移动，所述控制部分别控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器。由此，能够以各种实施方式进行防护膜框架的移动。

在此，也可以是，所述控制部在使所述容器主体向上方移动时，控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器，以使如下两个相对位置大致相同，即，基于由所述计测部具有的多个测距传感器中的第一测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置、和基于由与所述第一测距传感器不同的第二测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置。由此，即使在防护膜框架存在形变等的情况下也能够使槽的高度大致相同，能够缩短将防护膜把持构件插入到槽所需的时间。

在此，也可以是，所述保护片材在所述第一边的中央附近固定于所述上表面，所述控制部在使所述容器主体向下方移动时，首先驱动所述第一致动器。由此，能够以较弱的力将保护片材从粘合层剥离。

在此，也可以是，所述夹具框具有设置于所述两根棒的端部附近的转动轴，所述两根棒设置为能够以所述转动轴为中心转动大致90度。由此，能够使用一个防护膜框架把持装置来把持防护膜框架并且将防护膜框架粘贴于光掩模等。另外，通过针对防护膜把持构件的每一个而设置测距传感器，从而无需作业者介入就能够检测出防护膜框架粘贴于光掩模等的情况。

在此，也可以是，所述防护膜框架把持装置具有定位构件，该定位构件在所述两根棒大致水平配置时，对所述两根棒的未设置所述转动轴的一侧的端部的在与所述第一端面正交的方向上的位置进行定位。由此，能够稳定地将夹具框保持于剥离位置。

在此，也可以是，所述夹具框具有作为所述两根棒的第一棒及第二棒、以及与所述第一棒及所述第二棒大致正交的第三棒及第四棒，所述第一棒、所述第二棒以及所述第三棒分别设置为能够沿着与长边方向大致正交的方向移动。由此，能够把持各种大小的防护膜框架。

在此，也可以是，所述夹具框具有移动机构，该移动机构使所述防护膜把持构件沿着与所述第一端面正交的方向移动。由此，在对防护膜把持构件施加了与第一端面正交的方向上的较强的力的情况下，能够防止防护膜把持构件的变形、破坏等。

为了解决上述问题，本发明的防护膜框架把持方法的特征在于，例如将在夹具框的被以规定间隔保持为大致水平的两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件配置于第一位置，所述夹具框设置于容器主体的上方，大致中空筒状的防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面以及形成有槽的侧面，所述防护膜框架以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置于所述容器主体，该容器主体将被粘贴于所述粘合构件的保护片材的一部分固定，所述第一位置是使所述防护膜把持构件插入到所述槽的位置，基于在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个的测距传感器的计测结果来求出所述防护膜把持构件的高度，使所述防护膜把持构件从所述第一位置向所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置移动，在所述容器主体向上方移动的同时，基于所述测距传感器的计测结果来求出所述槽的高度，当该求出的所述槽的高度与所述防护膜把持构件的高度大致一致时，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，当所述防护膜把持构件移动至所述第一位置时，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动。由此，即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。

发明效果

根据本发明，即使在防护膜框架等产生了形变的情况下，也无需作业者介入就能够把持防护膜框架。

附图说明

图1是表示第一实施方式的防护膜框架把持装置1的概要的主视图。

图2是表示防护膜收纳容器10的详细情况的立体图。

图3是图2的A-A剖视图。

图4是表示夹具框主体21以及转动轴22的详细情况的图。

图5是说明使棒214沿着x方向移动的机构的图。

图6是说明使棒212沿着y方向移动的机构的图。

图7是表示防护膜把持机构24a的详细情况的图。

图8是表示防护膜把持机构24a未把持防护膜框架101的状态的图。

图9是表示防护膜框架把持装置1的电结构的框图。

图10是表示防护膜框架把持装置1所进行的防护膜把持处理的流程的流程图。

图11是表示上表面101a的高度随着时间的推移而如何变化的图。

图12是表示防护膜框架把持装置1所进行的防护膜粘贴处理的流程的流程图。

图13是表示防护膜框架把持装置2的夹具框主体21A的概要的立体图。

具体实施方式

以下，参照附图来详细说明本发明的实施方式。在各附图中，对同一要素标注同一附图标记，省略对重复的部分的说明。

<第一实施方式>

图1是表示第一实施方式的防护膜框架把持装置1的概要的立体图。防护膜框架把持装置1主要具有防护膜收纳容器10和设置于防护膜收纳容器10的上方(+z方向)的夹具框20。

防护膜收纳容器10主要具有容器主体11和防护膜组件100。载置于容器主体11上的防护膜组件100由夹具框20支承且可从容器主体11卸下。

图2是表示防护膜收纳容器10的详细情况的立体图。图3是图2的A-A剖视图。

防护膜组件100主要具有防护膜框架101、在防护膜框架101上张设的防护膜102、以及在防护膜框架101的下表面形成的粘合层103(参照图3)。

防护膜框架101是具有大致矩形的外周的框状(中空筒状)，由金属例如铁、铝等形成。防护膜框架101的中空部101e的大小与光掩模的大小(例如520mm×800mm～1620mm×1780mm左右)是同等程度的大小。防护膜框架101的框状的部分的宽度是数十mm左右，厚度为2mm～10mm左右。

防护膜框架101具有大致平行的上表面101a以及下表面101b。另外，在与防护膜框架101的上表面101a以及下表面101b正交的侧面101c，沿着外周面形成有槽101d。槽101d的高度以及深度为2mm左右。向槽101d插入设置于夹具框20的防护膜把持构件241(之后详细叙述)。

防护膜102是亚微米级的厚度的薄膜。防护膜102在防护膜框架101的上表面101a以覆盖防护膜框架101的中空部101e的方式张设。在防护膜框架101粘贴于光掩模基板上时，防护膜102与光掩模的图案形成面隔开规定间隔地设置。

粘合层103设置于防护膜框架101的下表面101b、即与容器主体11对置的一侧的面。粘合层103呈边框状形成于防护膜框架101的整周。另外，粘合层103设置为不从防护膜框架101伸出。在粘合层103的下表面设置有对粘合层103进行保护的防护膜衬垫104。

防护膜衬垫104的厚度为大致0.1mm左右，是与防护膜框架101的形状大致相同的框状。防护膜衬垫104例如通过向由PET等构成的基材表面涂布脱模剂而形成。防护膜衬垫104作为所谓的脱模纸而发挥功能，在从容器主体11取出防护膜组件100时被剥离。

在防护膜组件100载置于容器主体11的上表面101a时，防护膜衬垫104与容器主体11抵接。因此，粘合层103与容器主体11不抵接。

在防护膜衬垫104上，在框状的各边的中央附近分别在一个部位形成有翼片104a。翼片104a形成为从防护膜框架101的外周突出。翼片104a是用于使防护膜衬垫104的剥离变得容易的构件。

翼片104a通过例如粘接带105等而固定于容器主体11的上表面101a。由此，翼片104a即防护膜组件100固定于容器主体11。需要说明的是，翼片104a不限于固定于上表面101a，只要固定于容器主体11的某处即可。

这样构成的防护膜组件100如图2所示那样载置于容器主体11的上表面11a的上侧(+z侧)。在上表面11a的下侧(-z侧)设置有驱动构件12。

驱动构件12使容器主体11的上表面11a沿着上下(z方向)移动。驱动构件12主要具有三个致动器12a、致动器12b、致动器12c。致动器12a、致动器12b以及致动器12c具有前端能够沿着z方向移动的杆(未图示)，杆的前端分别设置于上表面11a的下侧(-z侧)。致动器12a设置于上表面11a的长边11b的附近且设置于长边11b的大致中央，致动器12b以及致动器12c设置于上表面11a的长边11c的附近且比长边11c的中央接近端部的位置。致动器12a、致动器12b以及致动器12c设置为能够分别驱动。由此，防护膜框架的移动可以通过各种方式(之后详细叙述)来进行。

返回图1的说明。夹具框20主要具有夹具框主体21、转动轴22、抵接构件23、以及防护膜把持机构24(参照图4，防护膜把持机构24包括防护膜把持机构24a～24n)。需要说明的是，在图1中，省略了防护膜把持机构24。

图4是表示夹具框主体21以及转动轴22的详细情况的图。在图4中，示出了从-z方向视觉辨认夹具框主体21以及转动轴22的状态。夹具框主体21具有4根棒211、212、213、214和设置于棒212、213、214的周围的框215。棒211、212、213、214以及框215由金属、例如铁、铝等形成。2根棒211、212以长边方向沿着x方向的方式设置，2根棒213、214以长边方向沿着y方向的方式设置。由此，4根棒211、212、213、214组合成框状。

在棒211、212、213、214分别设置有防护膜把持机构24。在图4所示的例子中，在棒211、212分别设置有3个防护膜把持机构24(24a～24c、24h～24j)，在棒213、214分别设置有4个防护膜把持机构24(24d～24g、24k～24n)。

框215是两端固定于棒211的大致コ字(大致U字)形状的框状的构件，设置于组合成框状的棒212、213、214的外侧。棒212、213、214设置为能够相对于框215移动。

棒213、214设置为能够沿着棒211、212的长边方向、即x方向移动。棒212设置为能够沿着棒213、214的长边方向、即y方向移动。

图5是说明使棒213、214沿着x方向移动的机构的图。在图5中，以棒214为例进行说明，对于棒213，也使用与棒214同样的机构，因此省略说明。

棒214是由最宽面与xy平面大致平行的板214a和最宽面与yz平面大致平行的加强板214b组合成大致L字形状的棒状的构件，在两端设置有端部板214c。在端部板214c形成有孔214d。

棒211主要具有最宽面与xy平面大致平行的板211a、最宽面与xz平面大致平行的板211b、长边方向与板211a大致平行的大致圆筒形状的轴211c、以及用于安装轴211c的肋211d。需要说明的是，板211b不是必需的。

轴211c被插入到孔214d，通过设置于轴211c的致动器218使轴211c旋转，由此棒214沿着轴211c即x方向移动。虽然省略图示以及详细的说明，作为使棒214沿着轴211c移动的机构，可以使用已经公知的各种机构。

配线-配管引导件216具有棒216a和棒216b。棒216a与棒216b的一端通过接头(关节)连结为能够转动。伴随着棒214沿着x方向移动，棒216a与棒216b所成的角θ发生变化。需要说明的是，配线-配管引导件216不是必需的结构，能够省略。

图6是说明使棒212沿着y方向移动的机构的图。棒214具有轴214e。轴214e以长边方向与y方向大致平行的方式设置于端部板214c(在图6中省略图示)。需要说明的是，轴214e仅在图6中图示，在图5中省略了轴214e。

棒212具有棒212a和形成有供轴214e插入的孔212b的引导构件212c。

使棒212移动的移动机构217具有设置于板214a的齿条217a、设置于引导构件212c的致动器217b以及设置于致动器217b的输出轴的小齿轮217c。通过作为驱动构件的致动器217b的输出轴即小齿轮217c旋转，从而引导构件212c即棒212沿着齿条217a在y方向上移动。

需要说明的是，将棒213、214设置为能够沿着x方向移动的方式以及将棒212设置为能够沿着y方向移动的方式不限定于此，能够采用各种方式。

返回图4的说明。通过像这样棒212、213、214分别与长边方向正交地移动，从而由4根棒211、212、213、214形成的框的大小发生变化。通过将由棒211、212、213、214形成的框的大小设为能够变化，能够将由棒211、212、213、214构成的框的大小设为与各种大小的防护膜组件100(100A、100B、100C、100D以及100E)对应的大小。

防护膜组件100A例如是420mm×720mm左右的大小，防护膜组件100B例如是700mm×800mm左右的大小，防护膜组件100C例如是520mm×680mm左右的大小，防护膜组件100D例如是750mm×1300mm左右的大小，防护膜组件100E例如是1520mm×1680mm左右的大小。

使用防护膜把持机构24b、24d、24e、24m、24n对防护膜组件100A、防护膜组件100B、防护膜组件100C进行把持。使用防护膜把持机构24b、24d、24e、24f、241、24m、24n对防护膜组件100D进行把持。使用所有的防护膜把持机构24a～24n对防护膜组件100E进行把持。这样，通过在棒211、212、213、214分别设置多个防护膜把持机构24，能够把持各种大小的防护膜组件100(100A、100B、100C、100D以及100E)。

图7是表示防护膜把持机构24的详细情况的图。在图7中，以防护膜把持机构24a为例进行说明，但防护膜把持机构24b～24n是与防护膜把持机构24a相同的结构，因此省略说明。图7图示出了防护膜把持机构24把持着防护膜框架101的状态，另外在图7中省略了容器主体11。

防护膜把持机构24a具有插入于槽101d的防护膜把持构件241a、保持防护膜把持构件241a的保持部242a、以及将保持部242a安装于棒211的基座243a。

防护膜把持构件241a由金属制的板材形成。本实施方式中的防护膜把持构件241a通过对板材弯折两次而形成，但板材也可以不弯折。需要说明的是，防护膜把持构件241a不限定于板状的构件，也可以使用例如棒状的构件来形成。

在保持部242a设置有驱动构件44。驱动构件44具有致动器44b，该致动器44b具有前端沿着与棒211的长边方向(x方向)大致正交的方向(y方向)移动的(参照图7箭头)杆44a。防护膜把持构件241a与杆44a连结。由此，防护膜把持构件241a沿着水平方向(沿着xy平面)且沿着与棒211正交的方向移动。

防护膜把持构件241a通过驱动构件44而在插入位置与退避位置(参照图7中的虚线)之间沿着术平方向移动，所述插入位置是使防护膜把持构件241a插入到槽101d的位置，所述退避位置是防护膜把持构件241a未插入到槽101d且防护膜把持构件241a与防护膜框架101不干涉的位置。

防护膜把持构件241a的前端被由树脂(例如超高分子量聚乙烯)形成的片材等所覆盖。由此，在防护膜把持构件241a插入到槽101d时，能够防止防护膜把持构件241、防护膜框架101被切削而产生尘埃。

棒211、212、213、214的高度(z方向上的位置，以下相同)存在数毫米～数十毫米左右的差。因此，优选通过分别改变基座243(243a～243n)的高度来将防护膜把持构件241(241a～241n)的前端的高度设为大致相同。需要说明的是，将防护膜把持构件241(241a～241n)的前端的高度设为大致相同的方法不限定于此，例如也可以通过分别改变保持部242(242a～242n)的高度来将防护膜把持构件241(241a～241n)的前端的高度设为大致相同。

在防护膜把持机构24分别设置有对应的计测部25。计测部25(25a～25n)在防护膜把持机构24(24a～24n)分别各设置有1个。具体而言，在防护膜把持机构24a设置有计测部25a，同样在防护膜把持机构24b设置有计测部25b。并且，在防护膜把持机构24n设置有计测部25n。计测部25b～25n与计测部25a的结构相同，因此省略说明。

计测部25a主要具有超声波传感器251a和反射板252a。超声波传感器251a是将超声波朝向对象物发送并接收其反射波、并基于信号发送与反射波接收的时间间隔来测定到达目标物为止的距离的测距传感器。在本实施方式中，超声波传感器251a使用分辨能力为约0.2μm的传感器。超声波传感器251a已经公知，因此省略详细的说明。

反射板252a对从超声波传感器251a发送的超声波进行反射。超声波传感器251a将超声波向与棒211的长边方向正交的方向(+y方向)发送。因此，通过将反射板252a设为在yz平面上斜45度，从而从超声波传感器251a发送的超声波被向下(-z方向)反射(参照图7中的双点划线)。

需要说明的是，在本实施方式中，超声波传感器251a以及反射板252a设置于保持部242a，但设置超声波传感器251a以及反射板252a的位置不限定于此。例如，超声波传感器251a以及反射板252a也可以设置于基座243a，也可以设置于棒211。

图8图示出了防护膜把持机构24未把持防护膜框架101的状态。在图8中，以实线表示防护膜把持构件241位于退避位置的情况，以虚线表示防护膜把持构件241位于插入位置的情况。需要说明的是，在图8中，与图7同样，省略了容器主体11。

防护膜102(在图8中省略图示)由对超声波进行反射的原料形成。因此，在防护膜把持构件241位于退避位置的情况(参照图8中的实线)下，防护膜把持构件241不与防护膜框架101干涉(xy平面上的位置不重叠)，因此从超声波传感器251a发送的超声波被防护膜102朝+z方向反射，且被反射板252a将朝向改变为-y方向并被超声波传感器251a接收。

防护膜102为亚微米级的厚度，因此防护膜102的高度与防护膜框架101的上表面101a的高度大致相同。因此，超声波传感器251a能够计测出超声波传感器251a与上表面101a的距离、即上表面101a的高度。

与此相对，如图8的虚线所示，在防护膜把持构件241处于插入位置的情况下，从超声波传感器251a发送的超声波在到达防护膜102之前被防护膜把持构件241遮挡。其结果是，从超声波传感器251a发送的超声波被防护膜把持构件241朝+z方向反射，且被反射板252a将朝向改变为-y方向并被超声波传感器251a接收。由此，超声波传感器251a能够计测超声波传感器251a与防护膜把持构件241的距离、即防护膜把持构件241的高度。

需要说明的是，在本实施方式中，为了求出防护膜框架101的上表面101a的高度或防护膜把持构件241的高度，计测部25具有超声波传感器251，但用于求出距离的传感器不限定于超声波传感器251。作为测距传感器，计测部25也可以采用使用光来求出距离的光学式传感器、涡电流式的传感器。作为光学式传感器，例如可以采用使用激光的激光位移传感器、三角测距式光学传感器。不过，防护膜102具有良好地反射超声波的性质，因此作为测距传感器优选使用超声波传感器。

另外，在本实施方式中设置有反射板252，但也可以不使用反射板252。在该情况下，将超声波传感器251设置为超声波朝下(-z方向)向反射板252的位置发送即可。

另外，除了本实施方式以外，也可以追加使反射板252大致沿着xy平面移动的(参照图8中的点划线箭头)机构(反射板移动机构)。反射板移动机构例如可以使用与使防护膜把持构件241移动的机构同样的机构。

反射板移动机构设置为，能够将反射板252移动至反射板252的xy平面上的位置与防护膜框架101的xy平面上的位置不重叠的位置(参照图8长虚线)。由此，能够使用激光束等来检查从容器主体11取出的防护膜组件100。

需要说明的是，在反射板252的位置设置超声波传感器251的情况下，优选追加与反射板移动机构同样的机构，即、使超声波传感器251移动至与防护膜框架101的xy平面上的位置不重叠的位置的机构。

返回图4的说明。在棒211上，沿着棒211的长边方向(x方向)设置有转动轴22。夹具框主体21能够以转动轴22为中心在剥离位置与粘贴位置之间转动大致90度，所述剥离位置是使由棒211以及框215形成的面成为大致水平(与xy平面大致平行)的位置，所述粘贴位置是使由棒211以及框215形成的面成为大致铅垂(与xz平面大致平行)的位置。需要说明的是，在图4中，图示出了夹具框主体21处于剥离位置的状态。

在夹具框主体21位于剥离位置的情况下，棒211、212、213、214设置为分别大致水平，即长边方向大致水平。在夹具框主体21位于剥离位置的情况下，框215的下表面(图1中的-z侧的面)215a(参照图4)与抵接构件23(参照图1)抵接。这样，通过在多个位置(转动轴22以及抵接构件23)支承(双支承)夹具框主体21，能够稳定地将夹具框主体21保持在剥离位置。

图9是表示防护膜框架把持装置1的电结构的框图。防护膜框架把持装置1具有CPU(Central Processing Unit)151、RAM(Random Access Memory)152、ROM(Read OnlyMemory)153、输入输出接口(I/F)154、通信接口(I/F)155、以及媒介接口(I/F)156，它们与驱动构件12、驱动构件44、计测部25等彼此连接。

CPU151基于保存于RAM152、ROM153的程序进行动作，进行各部分的控制。从计测部25、驱动构件12、驱动构件44向CPU151输入信号。从CPU151输出的信号被输出至驱动构件12、驱动构件44。

RAM152是易失性存储器。ROM153是存储有各种控制程序等的非易失性存储器。CPU151基于保存于RAM152、ROM153的程序进行动作，进行各部分的控制。另外，ROM153保存在防护膜框架把持装置1的起动时CPU151所执行的引导程序、取决于防护膜框架把持装置1的硬件的程序等。另外，RAM152保存CPU151所执行的程序以及CPU151所使用的数据等。

CPU151经由输入输出接口154而控制键盘、鼠标等输入输出装置161。通信接口155经由网络162从其他设备接收数据并将该数据向CPU151发送，并且将CPU151所生成的数据经由网络162向其他设备发送。

媒介接口156读取保存于存储介质163的程序或数据，并将该程序或数据保存于RAM152。需要说明的是，存储介质163例如是IC卡、SD卡、DVD等。

需要说明的是，实现各功能的程序例如被从存储介质163读出，并经由RAM152而安装于防护膜框架把持装置1，并由CPU151执行。

CPU151具有基于输入信号来控制防护膜框架把持装置1的各部分的控制部151a的功能。控制部151a通过执行CPU151所读入的规定程序来构建。控制部151a基于从计测部25取得的信号来控制驱动构件12以及驱动构件44。关于控制部151a所进行的处理，之后进行详细叙述。

图9所示的防护膜框架把持装置1的结构是在说明本实施方式的特征时说明的主要结构，并不排除例如通常的信息处理装置所具备的结构。图9所示的功能结构为了容易理解防护膜框架把持装置1的结构而进行了分类，构成要素的分类的方式、名称不限定于图9所记载的方式。防护膜框架把持装置1的结构也可以根据处理内容而分类为更多的构成要素，也可以是一个构成要素执行多个构成要素的处理。

说明这样构成的防护膜框架把持装置1的作用。图10是表示防护膜框架把持装置1所进行的防护膜把持处理的流程的流程图。以下的处理主要由控制部151a执行。

首先，控制部151a基于从计测部25取得的信号，来确认防护膜收纳容器10位于初始位置(图1所示的位置)即夹具框主体21位于防护膜组件100的上方的状态(初始状态)(步骤S101)。

在该初始状态下，防护膜把持构件241位于退避位置。因此，从超声波传感器251a发送的超声波被防护膜102朝+z方向反射，且被反射板252a将朝向改变为-y方向并被超声波传感器251a接收。另外，夹具框主体21的高度即防护膜把持构件241的高度基本不变，该信息预先保存于ROM153。因此，控制部151a能够基于从计测部25取得的信号和保存于ROM153的防护膜把持构件241的高度的信息，来判定为防护膜组件100的高度比夹具框主体21的高度低，即防护膜收纳容器10处于初始状态。

在本实施方式中，计测部25为计测部25a～25n这14个计测部。控制部151a从超声波传感器251a～251n依次发送超声波，并从超声波传感器251a～251n依次取得计测结果。控制部151a在从全部的超声波传感器251取得计测结果后经过了规定时间，然后再次从超声波传感器251a～251n依次发送超声波。规定时间例如与从超声波传感器251发送的超声波被处于初始位置的防护膜框架101反射并被超声波传感器251接收为止所需的时间大致相同(包括比其长微小时间的情况)。这样，从超声波传感器251a～251n依次发送超声波且通过超声波传感器251a～251n依次取得计测结果为止所需的时间为大致20毫秒左右。因此，控制部151a能够大致实时地从计测部25取得测定值。

接着，在初始状态下，控制部151a控制驱动构件44而使防护膜把持构件241移动至插入位置，并确认防护膜把持构件241的实际位置(步骤S102)。

详细说明步骤S102的处理。控制部151a通过对致动器44b进行驱动而使杆44a沿着与棒211、212、213、214正交的方向移动，来使与杆44a连结的防护膜把持构件241从退避位置向插入位置移动。在当前阶段，夹具框主体21位于容器主体11的上方，因此在防护膜把持构件241移动至插入位置时，从超声波传感器251a发送的超声波被防护膜把持构件241朝+z方向反射且被反射板252a将朝向改变为-y方向并被超声波传感器251a接收。由此，计测部25计测防护膜把持构件241的高度，控制部151a取得该高度。

超声波传感器251a与反射板252a的距离为已知，该值被预先设定，并被存储于ROM153。因此，控制部151a基于计测部25对防护膜把持构件241的高度进行计测而得的结果和存储于ROM153的超声波传感器251a与反射板252a的距离，来求出防护膜把持构件241的高度。

控制部151a在求出防护膜把持构件241的高度后，控制驱动构件44而使防护膜把持构件241从插入位置移动至退避位置。由此，步骤S102的处理结束。

然后，控制部151a一边控制驱动构件12而使容器主体11(防护膜收纳容器10)向上方(+z方向)移动，一边连续求出防护膜组件100的槽101d的高度(步骤S103)。

由于计测部25连续地进行检测，因此在该状态下，计测部25连续地计测防护膜组件100的上表面101a的高度，控制部151a连续地取得该高度。

在ROM153中保存有关于防护膜组件100的上表面101a与槽101d的高度差的信息(在此，其值例如为3mm)。控制部151a能够基于从计测部25取得的信号、保存于ROM153的关于上表面101a与槽101d的高度差的信息、以及存储于ROM153的超声波传感器251a与反射板252a的距离，来连续(实时)地求出槽101d的高度。

需要说明的是，控制部151a在步骤S103中使容器主体11向上方(+z方向)移动时，也可以分别驱动致动器12a、致动器12b、致动器12c，以使由计测部25a～25n测定出的上表面101a的高度大致一致。例如，在容器主体11、防护膜框架101发生了形变的情况下，在载置于容器主体11的状态下上表面101a的高度不固定，但通过分别驱动致动器12a、致动器12b、致动器12c，从而即使在防护膜框架101存在形变的情况等下，也能够使上表面101a即槽101d的高度大致固定。由此，能够缩短之后详细叙述的将防护膜把持构件241插入到槽101d的步骤(步骤S105)所需的时间，并且能够抑制防护膜把持构件241对防护膜框施加的力和形变。需要说明的是，步骤S103也可以与步骤S101同时进行。

控制部151a判定通过步骤S103求出的槽101d的高度与通过步骤S102求出的防护膜把持构件241的高度是否一致(步骤S104)。控制部151a针对每个防护膜把持构件241进行步骤S104的处理。

在槽101d的高度与防护膜把持构件241的高度未一致的情况下(在步骤S104中为否)，控制部151a使处理返回至步骤S103。

在槽101d的高度与防护膜把持构件241的高度一致(在步骤S104中为是)的情况下，控制部151a控制驱动构件44而使防护膜把持构件241从退避位置向插入位置移动并将防护膜把持构件241插入到槽101d(步骤S105)。控制部151a针对每个防护膜把持机构24来进行步骤S105的处理。由此，能够可靠地将防护膜把持构件241插入到槽101d。

控制部151a判定是否全部的防护膜把持构件241已插入到槽101d(步骤S106)。在全部的防护膜把持构件241未插入到槽101d的情况下(在步骤S106中为否)，控制部151a使处理返回至步骤S103。

在全部的防护膜把持构件241插入到槽101d(在步骤S106中为是)的情况下，控制部151a一边控制驱动构件12而使容器主体11(防护膜收纳容器10)向下方(-z方向)移动，一边连续地求出防护膜组件100的上表面101a的高度(步骤S107)。

在步骤S107中使容器主体11向下方移动时，也可以首先使致动器12b、致动器12c的驱动停止并仅驱动致动器12a，使上表面101a的借助致动器12a而移动的区域及其附近的高度比上表面101a的其他部分的高度低规定高度。

如图2以及图3所述，致动器12a的xy平面上的位置与4个翼片104a中的一个翼片104a或将该翼片104a固定于容器主体11的粘接带105的xy平面上的位置重叠。即，致动器12a所驱动的上表面11a的xy平面上的位置与防护膜把持机构24b的防护膜把持构件241b插入到槽101d的位置、即计测部25b对防护膜组件100的上表面101a的高度进行测定的位置大致一致。

因此，控制部151a以使由计测部25b测定出的上表面101a的高度比由其他计测部25例如计测部25e～25m测定出的高度的平均值低规定高度的方式，在步骤S107中首先仅驱动致动器12a。

其结果是，能够使力集中于处于如下位置的翼片104a的根部104b(参照图2、3)，该位置是与致动器12a所驱动的上表面11a的xy平面上的位置重叠的位置，从而创造出防护膜衬垫104从粘合层103剥离的开端。因此，能够以较弱的力将防护膜衬垫104从粘合层103剥离。

然后，控制部151a判定粘贴于容器主体11的防护膜衬垫104是否已从容器主体11剥离(步骤S108)。

图11是表示控制部151a如何使容器主体11(防护膜收纳容器10)移动、即上表面101a的高度随着时间的推移而如何变化的图。在图11中，纵轴表示反射板252与上表面101a的距离D(参照图8)，横轴表示时间t。由于计测部25连续地进行检测，因此控制部151a基于从计测部25取得的信号，来连续地求出反射板252与上表面101a的距离D。

t＝0时是步骤S103开始时，防护膜收纳容器10即防护膜组件100位于初始位置，此时的反射板252与上表面101a的距离D为i。距离i是50mm左右。

t＝t1时是全部的防护膜把持构件241已被插入到槽101d(在步骤S106中为是)时，将此时的反射板252与上表面101a的距离D设为a。由于在步骤S103中容器主体11向上进行了移动，因此距离a比距离i小。此时，防护膜收纳容器10的加重全部由防护膜把持构件241支承。

在t1＜t＜t5时，控制部151a进行使容器主体11向下方移动的处理(步骤S107)。以下，详细说明步骤S107中的反射板252与上表面101a的距离D同时间t的关系。

如图3所示，在防护膜组件100的侧面101c的位置与粘接带105的位置之间存在间隙α。因此，即使控制部151a使容器主体11移动到下方，在处于间隙α的防护膜衬垫104支撑的期间(t1≤t≤t2)，反射板252与上表面101a的距离D也仍为a而不变化。需要说明的是，t＝t2时是处于间隙α的防护膜衬垫104支撑结束时。

在保持这样的状态下控制部151a使容器主体11持续向下方移动(t2＜t＜t3)时，伴随控制部151a使容器主体11向下方移动，反射板252与上表面101a的距离D逐渐变大。

控制部151a在反射板252与上表面101a的距离D成为a+Δa(t＝t3)的情况下，停止使容器主体11向下方移动，将反射板252与上表面101a的距离D保持为a+Δa。Δa预先设定为任意的值。

在ROM153中保存有与Δa相关的信息(在此为数值)。控制部151a基于从计测部25取得的信号和保存于ROM153的与Δa相关的信息，在反射板252与上表面101a的距离D成为a+Δa的位置处，停止使容器主体11向下方移动。

t3≤t＜t4的期间是防护膜衬垫104从粘合层103逐渐剥离的状态。在防护膜衬垫104从容器主体11剥离结束(t＝t4)时，反射板252与上表面101a的距离D从a+Δa返回至a(t＝t5)。需要说明的是，在图11中，为了说明，t4与t5稍微分离，但实际上是极短的时间，可以说t4与t5为大致相同的时机。

控制部151a从计测部25连续地取得信号，连续地求出反射板252与上表面101a的距离D。因此，控制部151a在反射板252与上表面101a的距离D未从a+Δa成为a的情况下(t＜t5)，判定为粘贴于容器主体11的防护膜衬垫104未从容器主体11剥离(在步骤S108中为否)，在反射板252与上表面101a的距离D从a+Δa成为a的情况下(t＝t5)，判定为粘贴于容器主体11的防护膜衬垫104已从容器主体11剥离(在步骤S108中为是)。通过这样基于反射板252与上表面101a的距离D来进行处理，无需作业者介入就能够判定防护膜衬垫104是否从粘合层103剥离。

返回图10的说明。控制部151a在粘贴于容器主体11的防护膜衬垫104未从粘合层103剥离(在步骤S108中为否)的情况下，使处理返回至步骤S107。控制部151a在粘贴于容器主体11的防护膜衬垫104已从粘合层103剥离(在步骤S108中为是)的情况下，结束防护膜把持处理。

图12是表示防护膜框架把持装置1所进行的防护膜粘贴处理的流程的流程图。防护膜粘贴处理在防护膜把持处理之后进行。以下的处理主要通过控制部151a来进行。

控制部151a驱动未图示的驱动部，使夹具框主体21以转动轴22为中心转动大致90度，从而使夹具框主体21从剥离位置向粘贴位置移动(步骤S201)。由于夹具框主体21把持着防护膜组件100，因此防护膜组件100也与夹具框主体21一起转动大致90度。

步骤S201是图11中的t6≤t≤t7时。在使夹具框主体21从剥离位置开始转动时，重力的朝向和与防护膜组件100的上表面101a正交的朝向所成的角度开始变化，因此反射板252与上表面101a的距离D从a起微弱地变小。然后，在夹具框主体21位于粘贴位置时(t＝t7)，重力的朝向与防护膜组件100的上表面101a大致平行，因此反射板252与上表面101a的距离D变为b(b＜a)。

返回图12的说明。接着，控制部151a使用未图示的检查部来检查夹具框主体21所把持的防护膜组件100(步骤S202)。检查部具有发送激光束等的发送部，采用已经公知的各种方法来检查防护膜组件100。在防护膜框架把持装置1具有反射板移动机构的情况下，在步骤S202中，控制部151a使反射板252移动至不与防护膜框架101重叠的位置。

若通过检查处理(步骤S202)而能够确认到防护膜组件100不存在异常(在附着有异物的情况下通过鼓风去除)，则控制部151a使用未图示的移动部来使处于粘贴位置的夹具框主体21向载置有光掩模的装置内平行移动(步骤S203)。然后，进行光掩模与防护膜组件100的对位(对准)(步骤S204)。

在对准(步骤S204)之后，接着控制部151a将防护膜组件100粘贴于光掩模(步骤S205)。由于防护膜衬垫104已被从防护膜组件100剥离，因此设置于防护膜框架101的下表面101b的粘合层103露出。因此，通过将防护膜组件100按压于光掩模而借助粘合层103将防护膜组件100粘贴于光掩模。

在图11中，在t8≤t≤t10的期间，控制部151a进行步骤S205的处理。首先，控制部151a使用未图示的移动部而在载置有光掩模的装置内使夹具框主体21平行移动，使防护膜组件100接近光掩模。于是，防护膜组件100与光掩模抵接(t＝t9)。

控制部151a在保持这样的状态下使防护膜组件100向接近光掩模的方向移动。然而，由于防护膜组件100与光掩模已抵接，因此在防护膜组件100被按压于光掩模的同时，反射板252与上表面101a的距离D从b起微弱地变小(t9＜t＜t10)。

计测部25设置于夹具框主体21，因此控制部151a基于从计测部25取得的信号而连续地求出反射板252与上表面101a的距离D。

而且，控制部151a在基于从计测部25取得的信号求出的反射板252与上表面101a的距离D从b减小了Δb(t＝t10)的情况下，结束将防护膜组件100粘贴于光掩模的处理(步骤S205)。

Δb预先设定为任意的值。与Δb相关的信息(在此为数值)被保存于ROM153。控制部151a基于从计测部25取得的信号和ROM153所保存的与Δb相关的信息，在反射板252与上表面101a的距离D成为b-Δb的位置处停止防护膜组件100的平行移动。需要说明的是，控制部151a按每个计测部25来进行该处理。由此，无需作业者介入就能够将防护膜组件100粘贴于光掩模。

根据本实施方式，无需作业者介入就能够从容器主体11剥离防护膜组件100并把持防护膜框架101。尤其是，通过针对每个防护膜把持机构24来设置计测部25，从而即使在存在防护膜组件100的变形等的情况下，也无需作业者介入就能够使用防护膜把持机构24来把持防护膜框架101。

另外，根据本实施方式，计测部25连续地计测防护膜框架101的高度，因此无需作业者介入就能够判定为防护膜组件100已从容器主体11剥离。

需要说明的是，在本实施方式中，防护膜把持构件241能够在退避位置与插入位置之间移动，但也可以在上下方向(z方向)上移动。例如，在防护膜把持构件241与杆44a的连结部设置能够沿着z方向弹性变形的弹性构件、且向防护膜把持构件241施加了-z方向的力的情况下，弹性构件发生变形而使防护膜把持构件241朝-z方向移动，在-z方向的力被去除时，弹性构件恢复为原来的形状而使防护膜把持构件241朝+z方向移动即可。由此，在对防护膜把持构件241施加了上下方向上的较强的力的情况下，能够防止防护膜把持构件241的变形、破坏等。

<第二实施方式>

第一实施方式是棒212、213、214进行平行移动而能够与多个大小的防护膜组件对应的实施方式，但并非必须能够与多个大小的防护膜组件对应。

第二实施方式是使结构更加简单的实施方式。以下，说明第二实施方式的防护膜框架把持装置2。需要说明的是，第一实施方式的防护膜框架把持装置1与防护膜框架把持装置2的差异仅是夹具框主体，因此关于防护膜框架把持装置2，仅对夹具框主体进行说明。另外，在防护膜框架把持装置2的夹具框主体的说明中，对与防护膜框架把持装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。

图13是表示防护膜框架把持装置2的夹具框主体21A的概要的立体图。夹具框主体21A主要具有棒211A、棒213A以及棒214A。棒213A以及棒214A以从棒211A突出的方式固定于棒211A。棒213A以及棒214A的长边方向与棒211A的长边方向大致正交。在棒213A设置有防护膜把持机构24d、24e以及计测部25d、25e(在图13中未图示)，在棒214A设置有防护膜把持机构24m、24n以及计测部25m、25n(在图13中未图示)。

根据本实施方式，能够以更加简单的结构提供无需作业者介入就能够从容器主体11剥离防护膜组件100并把持防护膜框架101的防护膜框架把持装置。

以上，参照附图而详细叙述了本发明的实施方式，但具体的结构并不限定于本实施方式，也包括不脱离本发明的主旨的范围内的设计变更等。本领域技术人员能够适当变更、追加、变换实施方式的各要素等。

另外，在本发明中，“大致”不仅指严格相同的情况，也包括不丧失同一性的程度的误差、变形的概念。例如，大致平行不限于严格平行的情况，也包括例如几度左右的误差的概念。另外，在只表述为例如平行、正交等的情况下，不仅指严格平行、正交等的情况，也包括大致平行、大致正交等的情况。另外，在本发明中，“附近”是指包括成为基准的位置的附近的一定范围(可以任意设定)的区域。例如，在记载为A附近这一情况下，是指A附近的一定范围的区域且表示可以包含A也可以不包含A的概念。

附图标记说明

1、2：防护膜框架把持装置；

10：防护膜收纳容器；

11：容器主体；

11a：上表面；

12：驱动构件；

12a、12b、12c：致动器；

20：夹具框；

21、21A：夹具框主体；

22：转动轴；

23：抵接构件；

24：防护膜把持机构；

25：计测部；

44：驱动构件；

44a：杆；

44b：致动器；

100、100A、100B、100C、100D、100E：防护膜组件；

101：防护膜框架；

101a：上表面；

101b：下表面；

101c：侧面；

101d：槽；

101e：中空部；

102：防护膜；

103：粘合层；

104：防护膜衬垫；

104a：翼片；

104b：根部；

105：粘接带；

151：CPU；

151a：控制部；

152：RAM；

153：ROM；

154：输入输出接口；

155：通信接口；

156：媒介接口；

157：存储介质；

211、211A：棒；

211a、211b：板；

211c：轴；

211d：肋；

212：棒；

212a：棒；

212b：孔；

212c：引导构件；

213、213A：棒；

214、214A：棒；

214a：板；

214b：加强板；

214c：端部板；

214d：孔；

214e：轴；

215：框；

216：加强部；

216a、216b：棒；

217：移动机构；

217a：齿条；

217b：致动器；

217c：小齿轮；

218：致动器；

241：防护膜把持构件；

242：保持部；

243：基座；

243a：基座；

251：超声波传感器；

252：反射板。

Claims (10)

1.一种防护膜框架把持装置，其特征在于，具备：

防护膜框架，其为大致中空筒状，所述防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面、以及形成有槽的侧面；

保护片材，其粘贴于所述粘合构件；

容器主体，其以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置所述防护膜框架，所述容器主体固定所述保护片材的一部分；

第一驱动部，其使所述容器主体沿着与所述第一面大致正交的方向即上下方向移动；

夹具框，其设置于所述容器主体的上方，所述夹具框具有：以规定间隔保持为大致水平的两根棒、在所述两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件、以及针对所述多个防护膜把持构件的每一个而设置的第二驱动部，所述第二驱动部使所述防护膜把持构件在所述防护膜把持构件插入到所述槽的第一位置与所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置之间沿着大致水平方向移动；

计测部，其具有多个测距传感器，所述测距传感器在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个，在所述防护膜把持构件处于所述第一位置时，所述测距传感器连续地计测所述防护膜把持构件的大致铅垂方向的位置即高度，在所述防护膜把持构件处于所述第二位置时，所述测距传感器连续地计测所述第一端面的高度；以及

控制部，其基于由所述计测部连续地计测出的计测结果来求出所述防护膜把持构件以及所述槽的高度，并且控制所述第一驱动部以及所述第二驱动部，以便在使所述容器主体向上方移动且所述防护膜把持构件的高度与所述槽的高度大致一致的情况下，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，在所述防护膜把持构件全部移动至所述第一位置的情况下，使所述容器主体向下方移动。

2.根据权利要求1所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述控制部在所述防护膜把持构件移动至所述第一位置的情况下，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动第一距离之后停止所述容器主体的移动，

然后，在从所述计测部取得所述第一端面的高度向上方移动了所述第一距离这一情况时，所述控制部判定为所述保护片材与所述粘合构件已剥离。

3.根据权利要求1所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述容器主体具有载置所述防护膜框架的大致矩形形状的上表面，

所述第一驱动部具有：第一致动器，其使所述上表面的第一边的中央附近移动；第二致动器以及第三致动器，它们使所述上表面的比与所述第一边大致平行的第二边的中央接近端部的位置分别移动，

所述控制部分别控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器。

4.根据权利要求3所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述控制部在使所述容器主体向上方移动时，控制所述第一致动器、所述第二致动器以及所述第三致动器，以使如下两个相对位置大致相同，即，基于由所述计测部具有的多个测距传感器中的第一测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置、和基于由与所述第一测距传感器不同的第二测距传感器计测出的结果而求出的所述防护膜把持构件与所述槽的相对位置。

5.根据权利要求3或4所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述保护片材在所述第一边的中央附近固定于所述上表面，

所述控制部在使所述容器主体向下方移动时，首先驱动所述第一致动器。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述夹具框具有设置于所述两根棒的端部附近的转动轴，

所述两根棒设置为能够以所述转动轴为中心转动大致90度。

7.根据权利要求6所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述防护膜框架把持装置具有定位构件，该定位构件在所述两根棒大致水平配置时，对所述两根棒的未设置所述转动轴的一侧的端部的在与所述第一端面正交的方向上的位置进行定位。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述夹具框具有作为所述两根棒的第一棒及第二棒、以及与所述第一棒及所述第二棒大致正交的第三棒及第四棒，

所述第一棒、所述第二棒以及所述第三棒分别设置为能够沿着与长边方向大致正交的方向移动。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的防护膜框架把持装置，其特征在于，

所述夹具框具有移动机构，该移动机构使所述防护膜把持构件沿着与所述第一端面正交的方向移动。

10.一种防护膜框架把持方法，其特征在于，

将在夹具框的被以规定间隔保持为大致水平的两根棒上分别各设置多个的多个防护膜把持构件配置于第一位置，所述夹具框设置于容器主体的上方，大致中空筒状的防护膜框架具有：设置覆盖中空部的防护膜的第一端面、设置粘合构件的与所述第一端面大致平行的第二端面以及形成有槽的侧面，所述防护膜框架以所述第一面大致水平朝上且所述第二面大致水平朝下的状态载置于所述容器主体，该容器主体将被粘贴于所述粘合构件的保护片材的一部分固定，所述第一位置是使所述防护膜把持构件插入到所述槽的位置，

基于在所述多个防护膜把持构件上分别各设置有一个的测距传感器的计测结果来求出所述防护膜把持构件的高度，

使所述防护膜把持构件从所述第一位置向所述防护膜把持构件未插入到所述槽的第二位置移动，

在所述容器主体向上方移动的同时，基于所述测距传感器的计测结果来求出所述槽的高度，当该求出的所述槽的高度与所述防护膜把持构件的高度大致一致时，使所述防护膜把持构件从所述第二位置向所述第一位置移动，

当所述防护膜把持构件移动至所述第一位置时，控制所述第一驱动部，以使所述容器主体向下方移动。