JPH05323583A - ペリクル貼り付け装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明は、異物の混入を防止しつつ確実に且つ
高い位置決め精度でペリクルをマスクに貼り付けること
ができるペリクル貼り付け装置を提供することを目的と
する。 【構成】マスク収納ケース１１、ペリクル収納ケース１
６ａ、１６ｂ、マスク及びペリクルを共通に搬送するマ
スク／ペリクル搬送機構２２、ペリクルの粘着材保護シ
ールをペリクルの対角線方向に約４５°下方へ引っ張っ
て剥離するシール剥離機構３６、保護シールが剥離され
たペリクルの位置を確認するペリクル位置確認部４２、
マスク位置決め機構４６及びマスク反転機構４８が付設
され、ペリクルをマスクに仮貼り付けする仮貼り付けス
テージ部４４、仮貼り付けされたペリクルとマスクを均
一な圧力で本貼り付けする首振りねじ５５等からなる首
振り機構５６をもつ本貼り付けステージ部５１等によっ
て構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はペリクル貼り付け装置に
関する。半導体装置の製造において使用されるレチクル
マスク又は原寸マスクや液晶表示装置の製造において使
用されるマスクには、ごみ等の異物の付着を防止するた
めに、光線透過率９９％以上の光学的に安定した高分子
薄膜、例えばニトロセルロース等からなるペリクルを貼
り付けている。

【０００２】

【従来の技術】通常のペリクルを、図１０（ａ）、
（ｂ）の斜視図及び断面図を用いて説明する。ペリクル
６１は、例えば厚さ１〜１０μｍのニトロセルロース膜
６２をアルミニウム等のフレーム６３に貼り付け、その
フレーム６３にマスクとの接着のために両面テープのよ
うな粘着材６４を取り付けたものであり、更にこの粘着
材６４を保護するための保護シール６５が貼ってある。

【０００３】このペリクル６１をマスクの防塵対策とし
てマスクへ貼り付ける方法として、従来は、ペリクル６
１の粘着材６４の保護シール６５を人間の手により剥が
した後に、図１１に示されるようなペリクル貼り付け装
置を用いて、手作業で貼り付けていた。即ち、従来のペ
リクル貼り付け装置は、ペリクル６１を設置するペリク
ルホルダ６６とマスク６７を設置するマスクホルダ６８
とから構成されている。また、ペリクルホルダ６６には
ペリクル６１の位置決めを行う位置決め用溝６９が設け
られ、マスクホルダ６８にはマスク６７の位置決めを行
う位置決め用ピン７０が設けられている。

【０００４】そしてペリクル６１を位置決め用溝６９に
合わせてペリクルホルダ６６に押し当て、またマスク６
７を位置決め用ピン７０に合わせてマスクホルダ６８に
押し当てた後、ペリクルホルダ６６とマスクホルダ６８
とを互いを重ね合わせ圧着し、ペリクル６１をマスク６
７に貼り付ける。また、ペリクル６１とマスク６７のサ
イズや形状ごとにペリクルホルダ６６とマスクホルダ６
８が準備されており、露光装置に応じてペリクル６１と
マスク６７のサイズや形状が変わると、それぞれペリク
ルホルダ６６とマスクホルダ６８を交換して貼り付けを
行っていた。

【０００５】しかし、このような従来技術では、全てを
手作業によって行なっていたため、最大の発塵源である
人間によりペリクル６１やマスク６７にゴミが付くこと
が多く、品質を悪くしていた。また、従来技術による圧
着方法では、ペリクル６１とマスク６７がそれぞれペリ
クルホルダ６６とマスクホルダ６８に固定され、自由に
動かない構造になっているため、ペリクル側とマスク側
とが平行になっていないときには圧着する力が不均一に
なった。このため、ペリクル６１がマスク６７にしっか
りと貼り付けされず、両者の間に隙間が開いてペリクル
６１を貼り付けたマスク６７の内部へ異物が混入した
り、最悪の場合には、マスク６７から貼り付けたペリク
ル６１が落下したりすることが発生していた。

【０００６】また、マスク６７にペリクル６１を貼り付
ける場合、一定の間隔をもったペリクル６１とマスク６
７とを一挙に圧着して貼り付けるため、その際の振動に
よりゴミが混入したり、強い衝撃が瞬時に加わることに
よりペリクル６１やマスク６７にキズ等のダメージを与
えたりすることもあった。更に、マスク６７上のパター
ンに影響がでないようにするために、マスク６７上の正
確な位置にペリクル６１を貼り付ける必要があるが、従
来技術ではペリクル６１とマスク６７の位置決めはそれ
ぞれ位置決め用溝６９と位置決め用ピン７０に合わせて
押し当てる程度の精度であるため、この位置決め精度の
不十分さに起因して、ペリクル６１を貼ったマスク６７
が使用できない不良品が発生することもあった。

【０００７】このように人間の手作業によるペリクル貼
り付け方法では、最大の発塵源である人間から発生する
ゴミの付着、圧着の際の不均一な圧力に起因する隙間の
発生やペリクルの剥離、圧着の際の振動によるゴミの混
入、ペリクルやマスクへのキズ等のダメージ、マスクに
貼り付けるペリクルの位置決め精度の不十分さに起因す
る不良マスクの発生等、種々の問題があった。

【０００８】こうした問題を解決するものとして、最近
では人間の手作業をなくし、全ての作業を自動化した装
置も製造され始めている。しかし、こうした自動化され
たペリクル貼り付け装置においても、ペリクルのフレー
ムに取り付けられた粘着材の保護シールを剥離する際
に、保護シールのとりしろを摘んで殆ど真下へ引っ張っ
ているため、ペリクルのフレームが歪んだり曲がったり
することがあった。また、保護シールが上手く剥がれな
いことからペリクルを汚すこともあった。

【０００９】また、ペリクル貼り付けを自動化する際、
ペリクルを搬送するペリクル用搬送系とマスクを搬送す
るマスク用搬送系とを別々に設置しているため、装置が
複雑化すると共に、駆動部が増えて発塵の影響が多くな
った、また、搬送系が増えることにより、ペリクルやマ
スクのハンドリング回数も増加するため、その分ペリク
ルやマスクを汚す原因になっている。

【００１０】また、ペリクルのサイズが変わるとそのペ
リクルホルダを交換する必要があるため、その交換の際
に装置の各部を汚し、ペリクルとマスクへの汚染の原因
にもなっていた。また、装置の駆動部がペリクルやマス
クの風上や上部にあるため、駆動部からの発塵でペリク
ルやマスクを汚染していた。従って、ペリクルを貼り付
けることはマスクへの異物付着を避けることが目的であ
るにもかかわらず、自動化されたペリクル貼り付け装置
においても、ペリクルの内側にゴミを混入させないで貼
り付けるというペリクル貼り付け作業の最大の注意事項
に十分な配慮が払われていなかった。

【００１１】

【発明が解決しようとする課題】以上のように、人間の
手作業によるペリクル貼り付け方法では、最大の発塵源
である人間から発生するゴミの付着の他、ペリクルの剥
離、ペリクルやマスクへのキズ等のダメージ、マスク上
に貼り付けるペリクルの位置決め精度の不十分さに起因
する不良マスクの発生等、種々の問題があった。

【００１２】また、こうした問題を解決せんとする自動
化されたペリクル貼り付け装置においても、人間から発
生するゴミの付着は防止されるものの、ペリクルの粘着
材保護シールの剥離の際のフレームの歪みの発生、搬送
系の駆動部からの発塵やペリクルのサイズ変化に伴うペ
リクルホルダの交換の際のペリクル及びマスクの汚染
等、従来の人間の手作業によるペリクル貼り付け方法の
問題を完全に解決することはできず、また自動化された
装置に特有の問題を生じることととなった。

【００１３】従って、従来の人間の手作業によるペリク
ル貼り付け方法における異物の付着、ペリクルの剥離、
ペリクルやマスクへのキズ等のダメージ、マスク上に貼
り付けるペリクルの位置決め精度の不十分さに起因する
不良マスクの発生等の問題を解決するのみならず、自動
化されたペリクル貼り付け装置におけるペリクルフレー
ムの歪みの発生、搬送系の駆動部からの発塵やペリクル
ホルダ交換の際のペリクル及びマスクの汚染等の新たな
問題を解決することが課題となっている。

【００１４】そこで本発明は、異物の混入を防止しつつ
確実に且つ高い位置決め精度でペリクルをマスクに貼り
付けることができるペリクル貼り付け装置を提供するこ
とを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記課題は、マスクを収
納するマスク収納ケースと、前記マスク収納ケースから
前記マスクを取り出して搬送するマスク搬送部と、ペリ
クルを収納するペリクル収納ケースと、前記ペリクル収
納ケースから前記ペリクルを取り出して搬送するペリク
ル搬送部と、前記ペリクルの粘着材保護シールを剥離す
る保護シール剥離部と、前記マスク搬送部によって搬送
されてきた前記マスクと前記ペリクル搬送部によって搬
送されてきた前記保護シールが剥離された前記ペリクル
とを圧着して貼り付ける貼り付けステージ部とを有する
ペリクル貼り付け装置において、前記貼り付けステージ
部が、上部ステージと、下部ステージと、前記上部ステ
ージ及び／又は前記下部ステージに設けられ、前記上部
ステージ及び／又は前記下部ステージを揺動させる首振
り用ばねとを有し、前記上部ステージと前記下部ステー
ジとの間に、前記マスク搬送部によって搬送されてきた
前記マスクと前記ペリクル搬送部によって搬送されてき
た前記保護シールが剥離された前記ペリクルとを挟み、
所定の圧力を加えて前記マスクと前記ペリクルとを圧着
する際に、前記首振り用ばねにより前記上部ステージと
前記下部ステージとが平行になって均一な圧力が加わる
ようにすることを特徴とするペリクル貼り付け装置によ
って達成される。

【００１６】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して
搬送するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル
収納ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリク
ルを取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリク
ルの粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、
前記マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと
前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シ
ールが剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける
貼り付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置に
おいて、前記貼り付けステージ部が、前記マスク搬送部
によって搬送されてきた前記マスクを乗せ、前記マスク
上に前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保
護シールが剥離された前記ペリクルを乗せ、前記ペリク
ルに軽く圧力を加えて前記マスク上に前記ペリクルを仮
貼り付けする仮貼り付けステージ部と、前記ペリクルが
仮貼り付けされた前記マスクを上部ステージと下部ステ
ージとの間に挟み、仮貼り付けの場合よりも大きい所定
の圧力を加えて前記マスクに前記ペリクルを本貼り付け
する本貼り付けステージ部とを有することを特徴とする
ペリクル貼り付け装置によって達成される。

【００１７】また、上記のペリクル貼り付け装置におい
て、前記仮貼り付けステージ部に、一方の面に第１のペ
リクルが仮貼り付けされたマスクを反転するマスク反転
機構が付設されており、前記仮貼り付けステージ部が、
前記マスク反転機構によって反転された前記マスクの他
方の面に第２のペリクルを仮貼り付けし、前記本貼り付
けステージ部が、両面に前記第１及び第２のペリクルが
仮貼り付けされた前記マスクを前記上部ステージと前記
下部ステージとの間に挟み、所定の圧力を加えて前記マ
スク両面に前記第１及び第２のペリクルを本貼り付けす
ることを特徴とするペリクル貼り付け装置によって達成
される。

【００１８】また、上記のペリクル貼り付け装置におい
て、前記本貼り付けステージ部が、前記上部ステージ及
び／又は前記下部ステージに設けられ、前記上部ステー
ジ及び／又は前記下部ステージを揺動させる首振り用ば
ねを有し、所定の圧力を加えてマスクとペリクルとを圧
着する際に、前記首振り用ばねにより前記上部ステージ
と前記下部ステージとが平行になって均一な圧力が加わ
るようにすることを特徴とするペリクル貼り付け装置に
よって達成される。

【００１９】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して
搬送するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル
収納ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリク
ルを取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリク
ルの粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、
前記マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと
前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シ
ールが剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける
貼り付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置に
おいて、前記保護シール剥離部が、前記ペリクルの粘着
材保護シールを剥離する際に、前記ペリクルの粘着材保
護シールを前記ペリクルの対角線方向に前記ペリクルと
鋭角をなし下方へ引っ張ることを特徴とするペリクル貼
り付け装置によって達成される。

【００２０】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して
搬送するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル
収納ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリク
ルを取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリク
ルの粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、
前記マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと
前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シ
ールが剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける
貼り付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置に
おいて、前記貼り付けステージ部に載置する前記マスク
の位置を決定し、前記保護シールが剥離された前記ペリ
クルの位置を確認し、前記マスク上に貼り付ける前記ペ
リクルの位置を制御する補正部が設けられており、前記
補正部により前記マスク上の所望の位置に前記ペリクル
を位置合わせして貼り付けることを特徴とするペリクル
貼り付け装置によって達成される。

【００２１】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して
搬送するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル
収納ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリク
ルを取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリク
ルの粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、
前記マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと
前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シ
ールが剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける
貼り付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置に
おいて、前記マスク搬送部又は前記ペリクル搬送部に、
前記マスク又は前記ペリクルのサイズを判別するセンサ
が設けられており、前記センサにより、前記マスク収納
ケース又は前記ペリクル収納ケースから取り出す際に、
所望の前記マスク又は前記ペリクルを選別して取り出す
ことを特徴とするペリクル貼り付け装置によって達成さ
れる。

【００２２】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して
搬送するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル
収納ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリク
ルを取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリク
ルの粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、
前記マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと
前記ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シ
ールが剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける
貼り付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置に
おいて、駆動部を覆う防塵カバーと、前記防塵カバー内
の空気を排気ダクトを介して強制排気する排気部とが設
けられており、前記排気部により、前記駆動部から排出
されるごみを外部に排出することを特徴とするペリクル
貼り付け装置によって達成される。

【００２３】また、マスクを収納するマスク収納ケース
と、ペリクルを収納するペリクル収納ケースと、前記マ
スク収納ケースから前記マスクを取り出し、前記ペリク
ル収納ケースから前記ペリクルを取り出し、前記マスク
又は前記ペリクルを搬送するマスク／ペリクル搬送部
と、前記ペリクルの粘着材保護シールを剥離する保護シ
ール剥離部と、前記マスク／ペリクル搬送部によって搬
送されてきた前記マスクと前記保護シールが剥離された
前記ペリクルとを圧着し貼り付ける貼り付けステージ部
とを有することを特徴とするペリクル貼り付け装置によ
って達成される。

【００２４】

【作用】本発明は、貼り付けステージ部の上部ステージ
及び／又は下部ステージに首振り用ばねが設けられ、こ
の首振り用ばねを用いて上部ステージ及び／又は下部ス
テージを揺動させることにより、マスクとペリクルとを
圧着する際に上部ステージと下部ステージとが平行にな
って均一な圧力が加わるため、マスク上へのペリクルの
貼り付けを確実にすることができ、従って両者の間に隙
間が開いてペリクルを貼り付けたマスクの内部へ異物が
混入したり、マスクから貼り付けたペリクルが落下した
りすることを防止することができる。

【００２５】また、貼り付けステージ部が仮貼り付けス
テージ部と本貼り付けステージ部とを有し、マスク上の
ペリクルに軽く圧力を加えて仮貼り付けを行った後、仮
貼り付けの場合よりも大きい所定の圧力を加えてマスク
上にペリクルの本貼り付けを行うという２段階の貼り付
けを行うことにより、圧着貼り付けの際の衝撃を緩和す
ることができるため、圧着の際の振動によりゴミの混入
や、強い衝撃によるペリクルやマスクへのキズ等のダメ
ージを防止することができる。

【００２６】また、仮貼り付けステージ部に、マスクを
反転させるマスク反転機構が付設されていることによ
り、マスク両面へのペリクルの貼り付けを同時に行うこ
とができるため、スループットを向上させることができ
る。また、保護シール剥離部が、ペリクルの粘着材保護
シールをペリクルの対角線方向にペリクルと鋭角をなし
て下方へ引っ張ることにより、保護シールをスムーズ且
つ容易に剥離することができるため、ペリクルのフレー
ムが歪んだり曲がったり、またペリクルが汚れたりする
ことを防止することができる。

【００２７】また、マスク及びペリクルの位置を確認
し、マスク上に貼り付けるペリクルの位置を制御する補
正部が設けられていることにより、マスク上の所望の位
置に高い精度をもってペリクルを貼り付けることができ
るため、マスク上に貼り付けるペリクルの位置決めの不
十分さに起因する不良マスクの発生を防止することがで
き、歩留りを向上させることができる。

【００２８】また、マスク又はペリクルのサイズを判別
するセンサが設けられていることにより、マスク又はペ
リクルの種類を判定し、所望のマスク又はペリクルを選
別して取り出すことができるため、複数種類のマスクへ
の複数種類のペリクル貼り付けが可能となって設置スペ
ースを減少させ、またマスク又はペリクルのサイズが変
わるたびにマスク又はペリクルのホルダ等を交換するこ
とが不要となってスループットを向上させ、更に冶具交
換の際に装置の各部の汚染やペリクル又はマスクへの汚
染を防止して品質を向上させることができる。

【００２９】また、ペリクル貼り付け装置の各駆動部を
覆う防塵カバーと、防塵カバー内の空気を排気ダクトを
介して強制排気する排気部とが設けられていることによ
り、駆動部から排出されるごみは外部に排出されるた
め、マスク又はペリクルにごみが付着することを防止す
ることができる。また、マスクとペリクルの搬送を一つ
のマスク／ペリクル搬送部によって行うことにより、ご
みの発生源となる駆動部を減少させて、駆動部からの発
塵を抑制するため、その分ペリクル又はマスクへの汚染
を減少させることができる。

【００３０】以上のようにして、マスクへのペリクルの
貼り付けが確実に且つ正確な位置に行われ、異物付着の
ない清浄なペリクル付きマスクを提供することが可能と
なるため、品質が向上すると共にスループットも向上す
る。

【００３１】

【実施例】以下、本発明を図示する実施例に基づいて具
体的に説明する。図１は本発明の一実施例によるペリク
ル貼り付け装置を示す平面図、図２はその正面図、図３
はその側面図である。また、図４は図１のペリクル貼り
付け装置のマスク／ペリクル搬送機構を説明するための
図、図５はそのマスク／ペリクル搬送機構のハンドに設
置されている透過型センサによってペリクルの種類を判
定する方法を説明するための図、図６（ａ）は図１のペ
リクル貼り付け装置のシール剥離機構を示す側面図、図
６（ｂ）はその平面図、図７は仮貼り付けステージ部を
説明するための図、図８及び図９はそれぞれ本貼り付け
ステージ部を説明するための図である。

【００３２】ペリクル貼り付け装置の一方の端に、多数
のマスクを収納するマスク収納ケース１１が設置されて
いる。このマスク収納ケース１１は、ボールねじ１２を
介してモータ１３に結合され、上下に移動できるように
なっている。また、ボールねじ１２及びモータ１３は防
塵カバー１４によって覆われており、この防塵カバー１
４内の空気は排気ダクト（図示せず）を介して強制排気
されるようになっている。更に、このマスク収納ケース
１１には、マスク収納ケース１１からマスクを取り出し
たし収納したりするマスク取出しフォーク１５が付設さ
れている。

【００３３】また、ペリクル貼り付け装置の他方の端
に、多数のペリクルを収納するペリクル収納ケース１６
ａ、１６ｂが設置されている。これら２つのペリクル収
納ケース１６ａ、１６ｂも、マスク収納ケース１１と同
様に、ボールねじ１７を介してモータ１８に結合され、
上下に移動できるようになっている。また、ボールねじ
１７及びモータ１８は防塵カバー１９によって覆われて
おり、この防塵カバー１９内の空気は排気ダクト２０を
介して強制排気されるようになっている。更に、これら
のペリクル収納ケース１６ａ、１６ｂには、ペリクル収
納ケース１６ａ、１６ｂからペリクルを取り出したし収
納したりするペリクル取出しフォーク２１ａ、２１ｂが
それぞれ付設されている。

【００３４】また、マスクとペリクルとを共通に搬送す
るマスク／ペリクル搬送機構２２が設けられている。こ
のマスク／ペリクル搬送機構２２は、図４に示されるよ
うに、ハンドルユニット２３から２本のアーム２４が伸
び、その先端にはハンド２５が取り付けられている。そ
してそのハンド２５には、マスク（図示せず）を挟む溝
２６とペリクル２７をそのペリクル溝２８に合わせて挟
む爪２９とが設けられている。また、そのハンド２５に
は、マスク又はペリクル２７のサイズを検知するための
透過型センサ３０が設置されている。

【００３５】また、ハンドルユニット２３内には２本の
アーム２４を伸縮させるモータ３１が設置され、ハンド
ルユニット２３は支柱３２を介して支持台３３に接続さ
れ、この支持台３３はモータ３４によって水平方向に移
動するようになっている。更にこのモータ３４等の周囲
の空気は排気ダクト３５を介して強制排気されるように
なっている。

【００３６】また、ペリクル収納ケース１６ａ、１６ｂ
からペリクル取出しフォーク２１ａ、２１ｂを用いてペ
リクル２７を取り出す際に、マスク／ペリクル搬送機構
２２のハンド２５に設置されている透過型センサ３０に
より、ペリクルの種類が判定されるようになっている。
即ち、図５に示されるように、マスク／ペリクル搬送機
構２２のハンド２５に設置されている透過型センサ３０
が検出するペリクルの位置Ａ、Ｂ、Ｃにより、それぞれ
３種類のペリクル２７ａ、２７ｂ、２７ｃが判別され
る。なお、マスク収納ケース１１からマスク取出しフォ
ーク１５を用いてマスクを取り出す際にも、同様にし
て、透過型センサ３０によるマスクの種類の判定がなさ
れるようになっている。

【００３７】また、ペリクル貼り付け装置には、透過型
センサ３０によって種類を判断されたペリクル２７の粘
着材に付いている保護シールを剥がすためのシール剥離
機構３６が設けられている。このシール剥離機構３６に
は、図６（ａ）、（ｂ）に示されるように、ペリクル２
７のフレーム３７に取り付けられた粘着材３８を保護す
るための保護シール３９のとりしろ３９ａを挟むはさみ
４０と、このはさみ４０をペリクル２７の対角線方向に
ペリクル２７と約４５°の角度θをなして下方へスライ
ドさせるエアーシリンダ４１が設けられている。

【００３８】また、ペリクル貼り付け装置には、マスク
／ペリクル搬送機構２２によって搬送されてきた保護シ
ール３９が剥離されたペリクル２７の位置を確認するペ
リクル位置確認部４２が設けられている。このペリクル
位置確認部４２には、図２に示されるように、ペリクル
２７のＸ方向とＹ方向の位置を確認するための複数の非
接触型センサ４３が配置されている。

【００３９】また、ペリクル貼り付け装置には、マスク
収納ケース１１からマスク取出しフォーク１５を用いて
取り出され、マスク／ペリクル搬送機構２２によって搬
送されてきたマスクを乗せ、また、このマスク上に、マ
スク／ペリクル搬送機構２２によって搬送されてきた保
護シール３９が剥離されたペリクル２７を乗せる仮貼り
付けステージ部４４が設けられている。この仮貼り付け
ステージ部４４には、図７に示されるように、仮貼り付
けステージ部４４に乗せられたマスク４５を中心方向に
スライドさせてマスク位置を決定するマスク位置決め機
構４６が付設されている。

【００４０】また、仮貼り付けステージ部４４には真空
吸着部４７が設けられ、マスク位置決め機構４６によっ
て位置決めされたマスク４５をバキュームで仮貼り付け
ステージ部４４に吸着固定するようになっている。更
に、マスク４５にペリクル２７を仮貼り付けした後、そ
のマスク４５を反転させるマスク反転機構４８も付設さ
れている。そして仮貼り付けステージ部４４はエアーシ
リンダ４９に接続され、このエアーシリンダ４９によっ
て上下方向に移動するようになっている。更にこのエア
ーシリンダ４９の周囲の空気は排気ダクト５０を介して
強制排気されるようになっている。

【００４１】また、ペリクル貼り付け装置には、マスク
４５に仮貼り付けされたペリクル２７を更に本貼り付け
する本貼り付けステージ部５１が設けられている。この
本貼り付けステージ部５１には、固定された上部ステー
ジ５２と、ペリクル２７が仮貼り付けされたマスク４５
を載置し、上部ステージ５２下方に移動する下部ステー
ジ５３とが設けらている。また、図８及び図９に示され
るように、下部ステージ５３と支持台５４との間に首振
り用ばね５５が設けられ、首振り機構５６を構成してい
る。更に、支持台５４はエアーシリンダ（図示せず）に
接続され、このエアーシリンダによって下部ステージ５
３を上下方向に移動するようになっている。

【００４２】即ち、上部ステージ５２と下部ステージ５
３との間に、その上面及び下面にペリクル２７の仮貼り
付けがなされたマスク４５を挟む場合、首振り用ばね５
５を有する首振り機構５６によって下部ステージ５３が
揺動され、上部ステージ５２と下部ステージ５３が平行
になり、上部ステージ５２と下部ステージ５３との間に
挟まれたペリクル２７に均一な圧力が加わるようになっ
ている。

【００４３】また、上部ステージ５２と下部ステージ５
３の相対する面には、ペリクル２７及びマスク４５の種
類が変わる場合にも対応できるように、ペリクル２７及
びマスク４５のサイズに応じた複数の段差が設けられて
いる。更に、図示はしないが、下部ステージ５３を上下
方向に移動するエアーシリンダの周囲の空気が排気ダク
トを介して強制排気されるようになっているのは、仮貼
り付けステージ部４４の場合と同様である。

【００４４】また、図示はしないが、このペリクル貼り
付け装置全体の上部には、ＨＥＰＡフィルタ（High Eff
iciency Particulate Air-filter）等のクリーンユニッ
トが設置されており、常に清浄な空気が上から下へと流
れるようになっている。これにより、マスク４５又はペ
リクル２７へのごみの付着が防止されている。次に、動
作を説明する。

【００４５】マスク取出しフォーク１５を用いて、多数
のマスクを収納するマスク収納ケース１１から所定の種
類のマスクを取り出しす。このとき、マスク／ペリクル
搬送機構２２の２本のアーム２４の先端に取り付けられ
ているハンド２５に設置されている透過型センサ３０が
そマスクの種類を判定し選別する。そしてこの選別され
たマスク、例えばマスク４５をマスク／ペリクル搬送機
構２２によって搬送し、仮貼り付けステージ部４４上に
乗せる。そしてこの貼り付けステージ部４４上に乗せた
マスク４５を、マスク位置決め機構４６に接触させて機
械的に中心方向にスライドさせ、所定のマスク位置に設
置した後、真空吸着部４７によって仮貼り付けステージ
部４４に吸着固定する。

【００４６】次いで、マスク４５の場合と同様にして、
ペリクル取出しフォーク２１ａ、２１ｂを用いて、多数
のペリクルを収納するペリクル収納ケース１６ａ、１６
ｂから所定のペリクルを取り出す。このとき、マスク／
ペリクル搬送機構２２のハンド２５に設置されている透
過型センサ３０が、露光装置に応じて要求される所定の
ペリクルの種類を判定する。即ち、マスク／ペリクル搬
送機構２２を左から右へ移動しながら透過型センサ３０
がＡの位置でペリクルを検出したときはペリクル２７ａ
であり、同様に、Ｂの位置で検出したときはペリクル２
７ｂであり、Ｃの位置で検出したときはペリクル２７ｃ
である。

【００４７】こうして選別されたペリクル、例えばペリ
クル２７をマスク／ペリクル搬送機構２２によってシー
ル剥離機構３６に搬送する。このシール剥離機構３６に
おいては、ペリクル２７のフレーム３７に取り付けられ
た粘着材３８を保護するための保護シール３９のとりし
ろ３９ａをはさみ４０で挟んだ後、エアーシリンダ４１
によってペリクル２７の対角線方向にペリクル２７と約
４５°の角度をもって下方へ引っ張る。こうしてペリク
ル２７の粘着材３８から保護シール３９を剥離する。こ
のとき、保護シール３９を下方へ引っ張る角度がペリク
ル２７の対角線方向に約４５°であるため、ペリクル２
７のフレーム３７に無理な力も加わらず、フレーム３７
に歪みや曲がりが生じることはない。そして剥離が終了
したら、はさみ４０は保護シール３９を離して、保護シ
ール３９を下へ落とす。

【００４８】次いで、保護シール３９が剥離されたペリ
クル２７をマスク／ペリクル搬送機構２２によってペリ
クル位置確認部４２に搬送する。このペリクル位置確認
部４２において、複数の非接触型センサ４３により、ペ
リクル２７のＸ方向とＹ方向の位置を確認する。次い
で、Ｘ方向とＹ方向の位置を確認したペリクル２７をマ
スク／ペリクル搬送機構２２によって仮貼り付けステー
ジ部４４に搬送する。そしてマスク／ペリクル搬送機構
２２の位置をズラして、ペリクル２７の位置を所定の貼
り付け位置に補正した後、既に仮貼り付けステージ部４
４上に吸着固定されているマスク４５上にペリクル２７
をゆっくりと乗せる。この貼り付け位置の補正により、
マスク４５上の所望の位置に貼り付け精度０．１ｍｍ以
下の高い精度をもってペリクル２７を貼り付けることが
できる。

【００４９】そしてこのペリクル２７がマスク反転の際
に落ちない程度に、マスク／ペリクル搬送機構２２によ
って軽く押さえる。例えば、マスク／ペリクル搬送機構
２２を規定面より０．５ｍｍ程度下方まで下ろす。こう
してペリクル２７のマスク４５への仮貼り付けを終了す
る。マスク４５の片方の面だけにペリクル２７を貼り付
ける場合は、この後直ちに本貼り付けの工程へ移行すれ
ばよい。また、マスク４５の反対の面にもペリクルを貼
り付ける場合には、真空吸着部４７によるマスク４５の
仮貼り付けステージ部４４への真空吸着を解除し、エア
ーシリンダ４９を用いて仮貼り付けステージ部４４を下
方へ移動させた後、片面だけにペリクル２７が仮貼り付
けされたマスク４５をマスク反転機構４８を用いて反転
させ、再び仮貼り付けステージ部４４を上方へ移動させ
て元の位置へ戻し、先程と同様にして、マスク位置決め
機構４６によりマスク位置を決定し、真空吸着部４７に
よって吸着固定する。

【００５０】そして再び、ペリクル収納ケース１６ａ、
１６ｂから２枚目のペリクル２７を取り出し、ハンド２
５に設置されている透過型センサ３０によってペリクル
の種類を確認した後、シール剥離機構３６において保護
シール３９を剥離し、ペリクル位置確認部４２において
Ｘ方向とＹ方向の位置を確認し、所定の貼り付け位置に
補正した後に、マスク４５上にゆっくりと乗せる。こう
してマスク４５の反対面にもペリクル２７の仮貼り付け
を行う。

【００５１】次いで、真空吸着部４７による真空吸着を
解除した後、マスク／ペリクル搬送機構２２によって両
面にペリクル２７が仮貼り付けされたマスク４５を本貼
り付けステージ部５１に搬送する。そしてこの本貼り付
けステージ部５１において、この両面にペリクル２７が
仮貼り付けされたマスク４５を下部ステージ５３上に載
置した後、上部ステージ５２下方に移動させる。そして
エアーシリンダを用いて下部ステージ５３をゆっくりと
上昇させて、両面にペリクル２７が仮貼り付けされたマ
スク４５を上部ステージ５２と下部ステージ５３との間
に挟み、例えば圧力５ｋｇ／ｃｍ² 、時間６０〜１２０
秒の条件で圧着する。

【００５２】このとき、上部ステージ５２は固定されて
いるが、下部ステージ５３と支持台５４との間に首振り
用ばね５５を設けた首振り機構５６により、下部ステー
ジ５３を揺動することができる。従って、上部ステージ
５２と下部ステージ５３とは平行に保たれ、マスク４５
両面のペリクル２７には均一な圧力が加わる。こうして
マスク４５両面にペリクル２７がしっかりと本貼り付け
され、両者の間に隙間が開いてペリクル２７を貼り付け
たマスク４５内部へ異物が混入したり、マスク４５から
貼り付けたペリクル２７が剥離したりすることはなくな
る。

【００５３】次いで、両面にペリクル２７が本貼り付け
されたマスク４５をマスク／ペリクル搬送機構２２によ
ってマスク収納ケース１１に搬送する。そしてマスク取
出しフォーク１５を用いて、このマスク４５をマスク収
納ケース１１に収納する。このように本実施例によれ
ば、本貼り付けステージ部５１の下部ステージ５３に首
振り用ばね５５が設けられて首振り機構５６が構成され
ていることにより、マスク４５とペリクル２７とを圧着
する際に、下部ステージ５３を揺動させて上部ステージ
５２と下部ステージ５３とが平行になって均一な圧力が
加わるため、マスク４５上へのペリクル２７の貼り付け
を確実にすることができ、従って両者の間に隙間が開い
てペリクル２７を貼り付けたマスク４５の内部へ異物が
混入したり、マスク４５から貼り付けたペリクル２７が
剥離したりすることを防止することができる。

【００５４】また、仮貼り付けステージ部４４におい
て、マスク４５上にペリクル２７を乗せ、マスク／ペリ
クル搬送機構２２を用いて、このペリクル２７がマスク
反転の際に落ちない程度に軽く押さえて仮貼り付けを行
い、続いて、本貼り付けステージ部５１において、仮貼
り付けの場合よりも大きい圧力を加えてマスク４５上に
ペリクル２７の本貼り付けを行うという２段階の貼り付
けを行うことにより、圧着貼り付けの際の衝撃を緩和す
ることができるため、圧着の際の振動によりゴミの混入
や強い衝撃によるペリクル２７やマスク４５へのキズ等
のダメージを防止することができる。

【００５５】また、仮貼り付けステージ部４４に、マス
ク４５を反転させるマスク反転機構４８が付設されてい
ることにより、マスク４５両面上にペリクル２７の貼り
付けを同時に行うことができるため、スループットを向
上させることができる。また、保護シール剥離部３６
が、ペリクル２７の粘着材３８の保護シール３９をペリ
クル２７の対角線方向にペリクル２７と約４５°の角度
θをもって下方へ引っ張って保護シール３９を剥離する
ため、保護シール３９をスムーズ且つ容易に剥離するこ
とができる。従って、ペリクル２７のフレーム３７が歪
んだり曲がったりペリクル２７を汚したりすることを防
止することができる。

【００５６】また、仮貼り付けステージ部４４に付設さ
れマスク位置決め機構４６により、仮貼り付けステージ
部４４に乗せられたマスク４５のマスク位置が決定さ
れ、また、ペリクル位置確認部４２により、保護シール
３９が剥離されたペリクル２７のＸ方向とＹ方向の位置
が確認され、更にこのペリクル２７をマスク／ペリクル
搬送機構２２によって仮貼り付けステージ部４４に搬送
した後、マスク／ペリクル搬送機構２２の位置を補正し
て、ペリクル２７をマスク４５上の貼り付け位置に載置
することにより、マスク４５上の所望の位置に貼り付け
精度０．１ｍｍ以下の高い精度をもってペリクル２７を
貼り付けることができる。従って、貼り付け精度の不十
分さに起因する不良マスクの発生を防止することがで
き、歩留りを向上させることができる。

【００５７】また、マスク／ペリクル搬送機構２２のハ
ンド２５に設置されている透過型センサ３０により、マ
スク４５又はペリクル２７のサイズが判別されることに
より、所望の種類のマスク４５又はペリクル２７を選別
して取り出すことができる。従って、複数種類のマスク
４５への複数種類のペリクル２７の貼り付けが可能とな
るため、設置スペースを減少させることができる。ま
た、マスク４５又はペリクル２７のサイズが変わるたび
にマスク４５又はペリクル２７のホルダ等を交換するこ
とが不要となるため、スループットを向上させることが
できる。更に、冶具交換の際に装置の各部の汚染やペリ
クル２７又はマスク４５への汚染を防止することができ
るため、品質を向上させることができる。

【００５８】また、ペリクル貼り付け装置の駆動部をな
すモータ１３、１８及びエアーシリンダ４９等には防塵
カバー１４、１９等が設けられ、防塵カバー１４、１９
内の空気は排気ダクト２０、５０等を介して強制排気さ
れている。また、モータ３４等の周囲の空気も排気ダク
ト３５等を介して強制排気されている。従って、こうし
た駆動部から排出されるごみは外部に排出され、マスク
４５又はペリクル２７へのごみの付着は防止される。

【００５９】また、図２及び図３から明らかなように、
マスク４５又はペリクル２７の真上には、エアーシリン
ダ、モータ、その他摩擦が起きる箇所等の稼働部がな
く、更にこのペリクル貼り付け装置全体の上部には、Ｈ
ＥＰＡフィルタ等のクリーンユニットが設置され、常に
清浄な空気が上から下へと流れているため、マスク４５
又はペリクル２７へのごみの付着を防止することができ
る。

【００６０】また、マスク４５とペリクル２７の搬送を
１つのマスク／ペリクル搬送機構２１により行っている
ため、ごみの発生源となる駆動部を減少させて、駆動部
からの発塵を抑制することができる。従って、その分、
ペリクル２７又はマスク４５への汚染を減少させること
ができる。なお、上記実施例において、マスク位置決め
機構４６は、マスク４５に接触して機械的に中心方向に
スライドさせる方法を採用しているが、ペリクル２７の
位置確認を行なっているペリクル位置確認部４２のよう
に、非接触型のセンサ感知による位置決め方法を採用し
てもよい。むしろ、非接触によるマスク位置決め機構の
方が発塵等の問題も解決し易い利点がある。

【００６１】また、本貼り付けステージ部５１の首振り
機構５６においては、下部ステージ５３に首振り用ばね
５５を設けているが、この首振り用ばね５５を上部ステ
ージ５２に設けてもよいし、またその両方に設けてもよ
い。また、シール剥離機構３６においては、ペリクル２
７の粘着材３８を保護する保護シール３９をペリクル２
７の対角線方向にペリクル２７と約４５°の角度θをも
って下方へ引っ張るようになっているが、この角度θは
４５°に限定されず、９０°以下の鋭角であればよい。
但し、保護シール３９を引っ張る方向が９０°、即ち真
下方向では剥がれ難く、また４５°以下の鋭角になると
保護シール３９の反りによりペリクル２７にゴミを付け
ることもある。従って、約４５°方向が最も剥離し易
く、ゴミ発生の問題を生じることないため、角度θは４
５°を中心とする一定範囲に設定することが望ましい。

【００６２】また、１つのマスク収納ケース１１と２つ
のペリクル収納ケース２１ａ、２１ｂが設置されている
が、必要とされるマスク及びペリクルの数、種類等に応
じて増設することが可能であるのはいうまでもない。

【００６３】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、ペリクル
貼り付け装置において、貼り付けステージ部の上部ステ
ージ及び／又は下部ステージに首振り用ばねが設けら
れ、この首振り用ばねを用いて上部ステージ及び／又は
下部ステージを揺動させることにより、マスクとペリク
ルとを圧着する際に上部ステージと下部ステージとが平
行になって均一な圧力が加わるため、マスク上へのペリ
クルの貼り付けを確実にすることができる。

【００６４】また、貼り付けステージ部が、マスク上の
ペリクルに軽く圧力を加えて仮貼り付けを行う仮貼り付
けステージ部と、仮貼り付けの場合よりも大きい所定の
圧力を加えてマスク上にペリクルの本貼り付けを行う本
貼り付けステージ部とを有し、２段階に分けて貼り付け
を行うことにより、圧着貼り付けの際の衝撃を緩和する
ことができる。

【００６５】また、仮貼り付けステージ部に、マスクを
反転させるマスク反転機構が付設されていることによ
り、マスク両面上にペリクルの貼り付けを同時に行うこ
とができる。また、保護シール剥離部が、ペリクルの粘
着材保護シールをペリクルの対角線方向にペリクルと鋭
角に下方へ引っ張ることにより、保護シールをスムーズ
且つ容易に剥離することができる。

【００６６】また、マスク及びペリクルの位置を確認
し、マスク上に貼り付けるペリクルの位置を補正する補
正手段が設けられていることにより、マスク上の所望の
位置に高い精度をもってペリクルを貼り付けることがで
きる。また、マスク又はペリクルのサイズを判別するセ
ンサが設けられていることにより、マスク又はペリクル
の種類を判定し、複数種類のマスク又はペリクルの中か
ら所望のマスク又はペリクルを選別して取り出すことが
できる。

【００６７】また、ペリクル貼り付け装置の各駆動部を
覆う防塵カバーと、防塵カバー内の空気を排気ダクトを
介して強制排気する排気手段とが設けられていることに
より、前記駆動部から排出されるごみを外部に排出し
て、マスク又はペリクルにごみが付着しないようにする
ことができる。更に、マスクとペリクルの搬送を一つの
マスク／ペリクル搬送手段によって行うことにより、ご
みの発生源となる駆動部を減少させて、駆動部からの発
塵を抑制することができる。

【００６８】このようにして、マスクへのペリクルの貼
り付けを確実に且つ高精度に行い、異物付着のない清浄
なペリクル付きマスクを提供することが可能となるた
め、品質、歩留り及びスループットの向上を実現するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるペリクル貼り付け装置
を示す平面図である。

【図２】図１のペリクル貼り付け装置を示す正面図であ
る。

【図３】図１のペリクル貼り付け装置を示す側面図であ
る。

【図４】図１のペリクル貼り付け装置のマスク／ペリク
ル搬送機構を説明するための図である。

【図５】図１のペリクル貼り付け装置のマスク／ペリク
ル搬送機構に設置されている透過型センサによってペリ
クルの種類を判定する方法を説明するための図である。

【図６】図１のペリクル貼り付け装置のシール剥離機構
を説明するための図である。

【図７】図１のペリクル貼り付け装置の仮貼り付けステ
ージ部を説明するための図である。

【図８】図１のペリクル貼り付け装置の本貼り付けステ
ージ部を説明するための正面図である。

【図９】図１のペリクル貼り付け装置の本貼り付けステ
ージ部を説明するための側面図である。

【図１０】ペリクルを示す図である。

【図１１】従来のペリクル貼り付け装置を説明するため
の図である。

【符号の説明】

１１…マスク収納ケース １２、１７…ボールねじ １３、１８…モータ １４、１９…防塵カバー １５…マスク取出しフォーク １６ａ、１６ｂ…ペリクル収納ケース ２０、３５、５０…排気ダクト ２１ａ、２１ｂ…ペリクル取出しフォーク ２２…マスク／ペリクル搬送機構 ２３…ハンドルユニット ２４…アーム ２５…ハンド ２６…溝 ２７、２７ａ、２７ｂ、２７ｃ…ペリクル ２８…ペリクル溝 ２９…爪 ３０…透過型センサ ３１、３４…モータ ３２…支柱 ３３…支持台 ３６…シール剥離機構 ３７…フレーム ３８…粘着材 ３９…保護シール ３９ａ…とりしろ ４０…はさみ ４１、４９…エアーシリンダ ４２…ペリクル位置確認部 ４３…非接触型センサ ４４…仮貼り付けステージ部 ４５…マスク ４６…マスク位置決め機構 ４７…真空吸着部 ４８…マスク反転機構 ５１…本貼り付けステージ部 ５２…上部ステージ ５３…下部ステージ ５４…支持台 ５５…首振り用ばね ６１…ペリクル ６２…ニトロセルロース膜 ５３…フレーム ６４…粘着材 ６５…保護シール ６６…ペリクルホルダ ６７…マスク ６８…マスクホルダ ６９…位置決め用溝 ７０…位置決め用ピン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 道和 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 (72)発明者 門井 剛史 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内 (72)発明者 佐藤 泰之 岡山県井原市木之子町6186番地 タツモ株 式会社内

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 前記貼り付けステージ部が、上部ステージと、下部ステ
   ージと、前記上部ステージ及び／又は前記下部ステージ
   に設けられ、前記上部ステージ及び／又は前記下部ステ
   ージを揺動させる首振り用ばねとを有し、 前記上部ステージと前記下部ステージとの間に、前記マ
   スク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記ペ
   リクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シールが
   剥離された前記ペリクルとを挟み、所定の圧力を加えて
   前記マスクと前記ペリクルとを圧着する際に、前記首振
   り用ばねにより前記上部ステージと前記下部ステージと
   が平行になって均一な圧力が加わるようにすることを特
   徴とするペリクル貼り付け装置。
2. 【請求項２】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 前記貼り付けステージ部が、前記マスク搬送部によって
   搬送されてきた前記マスクを乗せ、前記マスク上に前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルを乗せ、前記ペリクルに軽く
   圧力を加えて前記マスク上に前記ペリクルを仮貼り付け
   する仮貼り付けステージ部と、 前記ペリクルが仮貼り付けされた前記マスクを上部ステ
   ージと下部ステージとの間に挟み、仮貼り付けの場合よ
   りも大きい所定の圧力を加えて前記マスクに前記ペリク
   ルを本貼り付けする本貼り付けステージ部とを有するこ
   とを特徴とするペリクル貼り付け装置。
3. 【請求項３】 請求項２記載のペリクル貼り付け装置に
   おいて、 前記仮貼り付けステージ部に、一方の面に第１のペリク
   ルが仮貼り付けされたマスクを反転するマスク反転機構
   が付設されており、 前記仮貼り付けステージ部が、前記マスク反転機構によ
   って反転された前記マスクの他方の面に第２のペリクル
   を仮貼り付けし、 前記本貼り付けステージ部が、両面に前記第１及び第２
   のペリクルが仮貼り付けされた前記マスクを前記上部ス
   テージと前記下部ステージとの間に挟み、所定の圧力を
   加えて前記マスク両面に前記第１及び第２のペリクルを
   本貼り付けすることを特徴とするペリクル貼り付け装
   置。
4. 【請求項４】 請求項２又は３記載のペリクル貼り付け
   装置において、 前記本貼り付けステージ部が、前記上部ステージ及び／
   又は前記下部ステージに設けられ、前記上部ステージ及
   び／又は前記下部ステージを揺動させる首振り用ばねを
   有し、 所定の圧力を加えてマスクとペリクルとを圧着する際
   に、前記首振り用ばねにより前記上部ステージと前記下
   部ステージとが平行になって均一な圧力が加わるように
   することを特徴とするペリクル貼り付け装置。
5. 【請求項５】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 前記保護シール剥離部が、前記ペリクルの粘着材保護シ
   ールを剥離する際に、前記ペリクルの粘着材保護シール
   を前記ペリクルの対角線方向に前記ペリクルと鋭角をな
   し下方へ引っ張ることを特徴とするペリクル貼り付け装
   置。
6. 【請求項６】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 前記貼り付けステージ部に載置する前記マスクの位置を
   決定し、前記保護シールが剥離された前記ペリクルの位
   置を確認し、前記マスク上に貼り付ける前記ペリクルの
   位置を制御する補正部が設けられており、 前記補正部により前記マスク上の所望の位置に前記ペリ
   クルを位置合わせして貼り付けることを特徴とするペリ
   クル貼り付け装置。
7. 【請求項７】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 前記マスク搬送部又は前記ペリクル搬送部に、前記マス
   ク又は前記ペリクルのサイズを判別するセンサが設けら
   れており、 前記センサにより、前記マスク収納ケース又は前記ペリ
   クル収納ケースから取り出す際に、所望の前記マスク又
   は前記ペリクルを選別して取り出すことを特徴とするペ
   リクル貼り付け装置。
8. 【請求項８】 マスクを収納するマスク収納ケースと、
   前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出して搬送
   するマスク搬送部と、ペリクルを収納するペリクル収納
   ケースと、前記ペリクル収納ケースから前記ペリクルを
   取り出して搬送するペリクル搬送部と、前記ペリクルの
   粘着材保護シールを剥離する保護シール剥離部と、前記
   マスク搬送部によって搬送されてきた前記マスクと前記
   ペリクル搬送部によって搬送されてきた前記保護シール
   が剥離された前記ペリクルとを圧着して貼り付ける貼り
   付けステージ部とを有するペリクル貼り付け装置におい
   て、 駆動部を覆う防塵カバーと、前記防塵カバー内の空気を
   排気ダクトを介して強制排気する排気部とが設けられて
   おり、 前記排気部により、前記駆動部から排出されるごみを外
   部に排出することを特徴とするペリクル貼り付け装置。
9. 【請求項９】 マスクを収納するマスク収納ケースと、 ペリクルを収納するペリクル収納ケースと、 前記マスク収納ケースから前記マスクを取り出し、前記
   ペリクル収納ケースから前記ペリクルを取り出し、前記
   マスク又は前記ペリクルを搬送するマスク／ペリクル搬
   送部と、 前記ペリクルの粘着材保護シールを剥離する保護シール
   剥離部と、 前記マスク／ペリクル搬送部によって搬送されてきた前
   記マスクと前記保護シールが剥離された前記ペリクルと
   を圧着し貼り付ける貼り付けステージ部とを有すること
   を特徴とするペリクル貼り付け装置。