KR101749241B1

KR101749241B1 - 보호필름 부착장치

Info

Publication number: KR101749241B1
Application number: KR1020150159760A
Authority: KR
Inventors: 오정후
Original assignee: (주)아이펜
Priority date: 2015-11-13
Filing date: 2015-11-13
Publication date: 2017-06-21
Also published as: KR20170056280A

Abstract

본 발명은 디스플레이용 기판의 제조과정에서 기판의 표면에 보호필름을 부착시키는 보호필름 부착장치에 관한 것이다.
본 발명은 하부이형지가 부착된 보호필름(A)을 공급해 주는 로딩부(100)와, 상기 로딩부를 통해 공급되는 보호필름의 표면에 존재하는 이물을 제거하는 크리닝롤러(200)와, 크리닝롤러를 통과한 보호필름을 픽업하는 핸들러(300)와, 상기 핸들러에 픽업된 보호필름의 자세를 정렬시키는 얼라인부(400)와, 얼라인이 완료된 보호필름을 핸들러로부터 공급받아 하부이형지를 제거하는 하부이형지 제거부(500)와, 하부이형지가 제거된 보호필름을 하부이형지 제거부로부터 픽업하여 대기 중인 기판(C)의 상부에 일괄 부착시키는 점착성을 가진 라미네이팅롤러(600)를 구비하며; 상기 핸들러가 대기 중인 기판의 위치정보를 입력받아 크리닝롤러와 하부이형지 제거부 사이를 왕복 이동하면서 대기 중인 기판상의 단위기판(F)들과 동일한 개수와 배열로 보호필름들을 상기 하부이형지 제거부에 올려놓는 보호필름 부착장치를 제공한다.

Description

보호필름 부착장치{Apparatus for attaching protective film}

본 발명은 디스플레이용 기판의 제조과정에서 기판의 표면에 보호필름을 부착시키는 보호필름 부착장치에 관한 것이다.

최근 디스플레이 산업의 급속한 발전으로 다양한 평판디스플레이가 개발되고 있으며 이중 기존 디스플레이보다 응답속도가 빠르고 색감도 자연스럽고 전력소모가 적다는 여러 장점을 가진 AMOLED가 각광을 받고 있다.

특히 상기 AMOLED는 글라스 패널 대신 얇고 쉽게 휘어질 수 있는 플렉시블 패널을 적용할 경우 플렉시블 디스플레이의 기술을 구현할 수 있기 때문에 그 수요가 크게 늘어나는 추세이다.

이와 같은 AMOLED는 배열 형성 공정, 유기박막 증착 공정, 봉지 공정, 유기 박막이 증착된 기판과 봉지공정을 거친 기판을 서로 붙이는 합착공정, 편광필름과 같은 기능성 필름을 부착하는 공정 등 다양한 공정을 거쳐 제조되는데, 이러한 다양한 공정들 중 기판의 표면을 보호해야 할 필요가 있는 공정들은 기판의 표면에 보호필름을 부착하는 준비 공정을 반드시 거치도록 하고 있다.

종래의 보호필름 부착장치는 국내 공개특허공보 제10-2009-0026036호의 플렉시블 기판용 필름부착장치를 통해 알려져 있다.

상기 필름부착장치는 로봇유니트가 필름시트로부터 단위필름을 진공 흡착하여 떼어낸 다음 플렉시블기판측으로 이동하며, 이동과정에서 단위필름의 위치를 보정한다. 그리고 로봇유니트가 위치 보정된 단위필름을 플렉시블기판에 내려놓는 방식으로 동작된다.

그러나, 종래의 필름부착장치는 로봇유니트가 복수의 단위필름을 진공흡착한 뒤 한번에 플렉시블기판 상에 부착함으로써 생산성이 향상되는 효과는 어느 정도 기대할 수 있었으나 다음과 같은 문제점을 가진다.

첫째, 종래의 필름부착장치는 단위필름의 표면이 오염된 경우 단위필름의 표면에 달라붙은 이물이 공기 중으로 날라다니면서 작업장의 청정도를 떨어뜨릴 뿐만 아니라 플렉시블기판에 달라붙을 경우 제품의 불량도 유발시킬 수 있다.

둘째, 종래의 필름부착장치는 로봇유니트가 진공흡착한 단위필름을 플렉시블기판 상에 부착시키는 과정에서 단위필름과 플렉시블기판 사이의 에어가 빠져나오지 못하면서 단위필름과 플렉시블기판 사이에 기포들로 남게 된다. 이 경우, 상기 기포들에 의하여 단위필름의 접착력이 크게 떨어질 뿐 아니라 플렉시블 기판의 표면이 굴곡지게 되면서 이후에 수행될 공정을 정상적으로 수행할 수 없게 되는 심각한 문제로 이어질 수 있다.

특히, 로봇유니트가 다수의 단위필름을 한꺼번에 플렉시블기판 상에 부착시키므로 상기한 단위필름과 플렉시블기판 사이의 접착력 저하문제는 더욱 심화된다.

셋째, 종래의 필름부착장치는 로봇유니트가 진공흡착한 단위필름을 플렉시블기판상에 내려놓을 때 위치상에 변동이 있을 가능성이 매우 높기 때문에 부착 정밀성이 크게 떨어진다.

본 발명은 상기한 문제점들을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 보호필름의 표면의 손상을 방지하고 보호필름의 표면에 부착된 이물이 제거되고 보호필름과 기판 사이에 기포가 형성되지 않는 보호필름 부착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 보호필름 부착장치는 하부 이형지가 부착된 보호필름을 공급해 주는 로딩부와, 상기 로딩부를 통해 공급되는 보호필름의 표면에 존재하는 이물을 제거하는 크리닝롤러와, 크리닝롤러를 통과한 보호필름을 픽업하는 핸들러와, 상기 핸들러에 픽업된 보호필름의 자세를 정렬시키는 얼라인부와, 얼라인이 완료된 보호필름을 핸들러로부터 공급받아 하부 이형지를 제거하는 하부이형지 제거부와, 하부이형지가 제거된 보호필름을 하부이형지 제거부로부터 픽업하여 대기 중인 기판의 상부에 일괄 부착시키는 점착성을 가진 라미네이팅롤러를 구비하며; 상기 핸들러가 대기 중인 기판의 위치정보를 입력받아 크리닝롤러와 하부이형지 제거부 사이를 왕복 이동하면서 대기 중인 기판상의 단위기판들과 동일한 개수와 배열로 보호필름들을 상기 하부이형지 제거부에 올려놓는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 로딩부는 하부이형지 제거부측 방향으로 보호필름을 이동시키도록 일렬로 배치된 복수의 컨베어벨트를 구비하며, 상기 크리닝롤러는 로딩부의 컨베어벨트들 사이에 일정간격을 두고 상하로 마주하도록 배치된 상부점착롤러와 하부점착롤러로 이루어질 수 있다.

아울러, 상기 핸들러는 크리닝롤러와 하부이형지 제거부 사이를 왕복 이동하는 이송로봇과, 상기 이송로봇에 구비되어 크리닝롤러를 통과한 보호필름을 진공흡착하는 진공흡착 유닛으로 구성될 수 있다.

또한, 상기 얼라인부는 핸들러의 이송경로 상에 설치되어 하부이형지 제거부로 이동 중인 핸들러에 픽업된 보호필름을 촬영하는 카메라와, 상기 핸들러의 이송로봇에 구비되어 상기 카메라로부터 위치정보를 입력받아 진공흡착 유닛의 자세를 x, y, θ축 방향으로 미세 이동시키는 얼라인유닛으로 구성될 수 있다.

아울러, 상기 하부이형지 제거부는 컨베어벨트와 상기 컨베어벨트의 표면에 연속적으로 접착테이프를 공급하는 접착테이프 공급롤러를 구비하고, 상기 핸들러는 컨베어벨트 표면에 공급된 접착테이프 상에 대기 중인 기판에 대응되는 위치에 보호필름을 내려놓는 것일 수 있다.

한편, 상기 스테이지는 스테이지의 표면에 공급된 접착테이프를 스테이지 표면에 밀착시켜 고정시키는 진공흡착유닛을 더 구비한 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.

또한, 상기 접착테이프 공급롤러는 스테이지의 접착테이프의 입력단에 설치되어 접착테이프를 풀어주는 제1롤러와, 스테이지의 접착테이프 배출단에 설치되어 스테이지를 통과한 접착테이프를 감아주는 제2롤러와, 스테이지를 통과한 접착테이프가 제2롤러에 대하여 예각을 이루면서 감겨지도록 상기 스테이지의 접착테이프 배출단과 제2롤러 사이에 설치된 엣지롤러로 구성될 수 있다.

한편, 상기 라미네이팅롤러의 접착력은 하부 이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 강한 것이 바람직하다.

또한, 상기 보호필름의 상면에는 상부 이형지가 더 부착되고, 상기 라미네이팅롤러의 접착력은 하부 이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 강하면서 상부 이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 약한 것이 바람직하다.

아울러, 상기 라미네이팅롤러의 표면은 겔패드로 제작되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 핸들러는 복수로 구성되고 각각 독립적으로 제어 가능한 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성된 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.

첫째, 본 발명은 로딩부를 통해 공급되는 보호필름의 표면에 존재하는 이물을 크리닝롤러가 제거해 주므로 보호필름상에 부착된 이물들로 인한 기판의 오염을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한 본 발명은 핸들러가 보호필름을 대기 중인 기판상의 단위기판들과 동일한 개수와 패턴으로 하부이형지 제거부로 이송시키고, 라미네이팅롤러가 하부이형지 제거부에 놓여진 보호필름에 일괄적으로 접촉하여 표면에 보호필름들을 모두 부착한 상태로 대기 중인 기판상에서 회전하여 단위기판들의 표면에 순차적으로 접촉하면서 보호필름들을 일괄적으로 부착시켜 주므로 생산속도가 크게 향상될 뿐만 아니라 보호필름과 기판 사이에 기포가 발생되지 않아 기판과의 접착력이 매우 우수하여 이후에 수행될 공정을 원활하게 수행할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명은 라미네이팅롤러가 회전하면서 라미네이팅롤러의 표면에 부착된 보호필름을 대기 중인 기판상에 부착시켜 주므로 보호필름이 부착되는 과정에서 보호필름의 위치가 변동되지 않아 부착 정밀성이 매우 뛰어난 효과가 있다.

또한, 본 발명은 대기 중인 기판상의 단위기판들의 개수와 배열이 달라져도 장비를 세팅하지 않고 각 핸들러에 이송좌표만 변경하여 즉각적인 대응이 가능하므로 생산속도가 크게 향상되고 사용상의 편리함이 매우 높다.

도 1은 본 발명의 보호필름 부착장치의 측면도.
도 2는 본 발명의 보호필름 부착장치의 평면도.
도 3은 본 발명을 구성하는 크리닝롤러를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 보호필름 부착장치의 측면도로서, 핸들러가 하부이형지 제거부로 이동한 상태를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명을 구성하는 하부이형지 제거부를 나타내는 도면.
도 6은 본 발명의 보호필름 부착장치의 측면도로서, 라미네이팅롤러가 하부이형지 제거부로 이동한 상태를 나타내는 도면.
도 7은 본 발명을 구성하는 라미네이팅롤러에 보호필름이 부착되는 상태를 나타내는 도면.
도 8은 본 발명을 구성하는 하부이형지 제거부의 다른 실시예를 나타내는 도면.
도 9는 본 발명을 구성하는 하부이형지 제거부의 또 다른 실시예를 나타내는 도면.
도 10은 본 발명의 보호필름 부착장치의 측면도로서, 라미네이팅롤러가 대기중인 기판측으로 이동한 상태를 나타내는 도면.
도 11는 본 발명을 구성하는 라미네이팅롤러에 부착된 보호필름이 기판의 상부에 부착되는 상태를 나타내는 도면.
도 12는 본 발명의 다른 실시예로서, 상부 이형지가 부착된 보호필름이 하부이형지 제거부에서 라미네이팅롤러에 부착되는 상태를 나타내는 도면.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 바람직한 실시예에 대한 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 본 발명의 일 실시예를 도면을 참조하여 상세히 설명함에 있어, 동일한 구성에 대해서는 동일한 부호를 사용하며, 명료성을 위하여 가능한 중복되지 않게 상이한 부분만을 주로 설명한다.

도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명은 로딩부(100)와, 크리닝롤러(200)와, 핸들러(300)와, 얼라인부(400)와, 하부이형지 제거부(500)와, 라미네이팅롤러(600)로 크게 구성된다.

상기 로딩부(100)는 보호필름(A)을 한 장씩 토출시키는 보호필름 배출기(110)와 상기 보호필름 배출기(110)로부터 배출된 보호필름(A)이 놓여지는 컨베어벨트(120)를 구비한다. 보호필름(A)의 저면에는 하부이형지(B)가 부착되어 있다. 상기 컨베어벨트(120)는 복수로 구비되며 하부이형지 제거부(500)측 방향으로 일렬로 배치된다. 상기 컨베어벨트(120)는 상에 놓여진 보호필름(A)을 하부이형지 제거부(500) 방향으로 이동시킨다.

상기 크리닝롤러(200)는 서로 마주하는 상부점착롤러(210)와 하부점착롤러(220)로 구성된다. 상기 크리닝롤러(200)는 컨베어벨트(120)의 사이에 설치되어 컨베어벨트(120)들의 사이를 통과하는 보호필름(A)의 표면(보호필름(A)의 상면과 하부이형지(B)의 저면)에 존재하는 이물을 제거한다. 즉, 보호필름(A)의 상면은 상부점착롤러(210)에 지속적으로 접촉되면서 이물이 제거되며 보호필름(A)의 저면(하부이형지(B)의 저면)은 하부점착롤러(220)에 지속적으로 접촉되면서 이물이 제거되는 것이다. 그리고 이물이 제거되는 과정에서 하부이형지(B)가 박리되지 않도록 하부이형지(B)와 보호필름(A) 사이의 접착력이 하부이형지(B)와 하부점착롤러(220) 사이의 접착력 보다 강해야 함은 물론이다.

이와 같이 보호필름(A)은 로딩이 되자마자 곧바로 크리닝롤러(200)에 의하여 표면에 달라붙은 이물이 모두 제거되므로 작업장의 청정도를 저하시키지 않으면서 부착될 기판(C)도 오염시키지 않는다.

크리닝롤러(200)를 통과한 보호필름(A)은 컨베어벨트(120)를 따라 하부이형지 제거부(500)측 방향으로 이송되는데 이송 과정에서 핸들러(300)에 의하여 픽업된다.

상기 핸들러(300)는 크리닝롤러(200)와 하부이형지 제거부(500) 사이를 왕복 이동하는 이송로봇(310)과, 상기 이송로봇(310)에 구비되어 크리닝롤러(200)를 통과한 보호필름(A)을 진공흡착하는 진공흡착 유닛(320)으로 구성된다. 상기 핸들러(300)에 의해 픽업된 보호필름(A)은 하부이형지 제거부(500)로 이송되는 과정에서 얼라인부(400)를 통해 자세가 정렬된다.

상기 얼라인부(400)는 핸들러(300)의 이송경로 상에 설치된 카메라(410)와 상기 핸들러(300)의 이송로봇(310)에 구비된 얼라인 유닛(미도시)과 얼라인 유닛의 동작을 제어하는 제어부로 구성된다. 상기 얼라인 유닛은 x축 얼라인 유닛과 y축 얼라인 유닛과 θ축 얼라인 유닛으로 이루어져 정밀한 자세보정이 가능하다.

그리고 핸들러(300)가 보호필름(A)을 픽업하여 하부이형지 제거부(500)로 이송하면, 카메라(410)가 상부를 지나는 핸들러(300)에 픽업된 보호필름(A)을 촬영한다. 그리고, 상기 제어부는 카메라(410)로부터 전송되는 보호필름(A)의 위치정보를 분석하여 보정량을 계산한 다음 해당되는 x축 얼라인 유닛과 y축 얼라인 유닛과 θ축 얼라인 유닛의 동작을 제어하여 x, y, θ축 방향으로 보호필름(A)을 미세 이동시켜 기준위치로 정렬시킨다.

도 4에 도시된 바와 같이 상기 핸들러(300)는 얼라인이 완료된 보호필름(A)을 하부이형지 제거부(500)로 이송하며, 대기 중인 기판(C)의 단위기판(F)에 대한 위치정보를 입력받아 상기 단위기판(F)에 대응되는 위치에 보호필름(A)을 내려놓는다. 따라서, 하부이형지 제거부(500)에는 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)들과 동일한 개수와 배열로 보호필름(A)들이 놓여지게 된다.

만일, 핸들러(300)를 독립적으로 제어되는 복수로 구성하면 다수의 보호필름(A)을 신속하고 정확하게 하부이형지 제거부(500)로 이송시킬 수 있을 뿐만 아니라, 제작 사양의 변경으로 인하여 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)의 개수와 배열이 변경되더라도 변경되는 각 보호필름(A)들의 이송좌표들을 각 핸들러(300)에 재입력해 주기만 하면 되므로 신속하고 용이한 대처가 가능해진다.

도 5에 도시된 바와 같이, 하부이형지 제거부(500)는 스테이지(510)와 상기 스테이지(510)의 표면에 연속적으로 접착테이프(D)를 공급하는 접착테이프 공급롤러(520)로 구성된다. 상기 접착테이프 공급롤러(520)는 스테이지(510)의 접착테이프(D)의 입력단에 설치되어 접착테이프(D)를 풀어주는 제1롤러(521)와 스테이지(510)의 접착테이프(D) 배출단에 설치되어 스테이지(510)를 통과한 접착테이프(D)를 감아주는 제2롤러(522)로 구성된다. 상기 접착테이프(D)는 상부에 이형지(D1)가 부착된 상태로 접착테이프 공급롤러(520)에 감겨져 스테이지(510)로 진입하게 되는데, 상기 스테이지(510)의 입구에는 접착테이프(D)의 상부에 접착된 이형지(D1)를 제거해 주는 이형지 제거롤러(530)가 구비되어 있다.

라미네이팅롤러(600)는 점착성을 가진 롤러로서, 하부이형지 제거부(500)와 대기 중인 기판(C)의 사이를 왕복 이동하면서 하부이형지 제거부(500)의 보호필름(A)들을 픽업한 후 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)의 표면에 일괄적으로 부착시킨다. 상기 라미네이팅롤러(600)의 접착력은 하부이형지(B)와 보호필름(A) 사이의 접착력 보다 강해야 한다.

상기 라미네이팅롤러(600)의 표면은 겔패드로 제작되는 것이 바람직하다. 겔패드는 액체와 고체의 중간 형태인 겔 성질을 이용한 것으로서, 주성분이 폴리우레탄이며 기존 테이프의 경우 표면에 접착성분을 코팅하는 것과 달리 물질 자체가 점착성을 갖고 있기 때문에 취급이 매우 용이하고 요구되는 적절한 접착력을 쉽게 얻을 수 있다.

따라서, 핸들러(300)가 로딩부(100)와 하부이형지 제거부(500) 사이를 여러 번 왕복 이동하면서 스테이지(510)의 표면에 공급된 접착테이프(D) 상에 보호필름(A)들을 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)들과 동일한 개수와 배열로 모두 내려놓으면, 도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 라미네이팅롤러(600)가 하부이형지 제거부(500)로 이동하여 하부이형지 제거부(500)의 스테이지(510)의 접착테이프(D)에 놓여진 모든 보호필름(A)들의 상면에 일괄적으로 접촉한다.

그리고 라미네이팅롤러(600)가 시계방향으로 회전하면서 자연스럽게 후방(화살표 방향)으로 이동하면, 하부이형지(B)는 스테이지(510)의 접착테이프(D)에 접착되는 동시에 상대적으로 강한 라미네이팅롤러(600)의 접착력으로 인하여 보호필름(A)으로부터 박리된다. 따라서, 모든 보호필름(A)들은 하부이형지(B)가 제거된 상태로 라미네이팅롤러(600)의 표면에 일괄적으로 부착된다.

한편, 도 8은 본 발명을 구성하는 하부이형지 제거부(500)의 다른 실시예를 나타내는 도면으로서, 도시된 바와 같이, 상기 스테이지(510)는 스테이지(510)의 표면에 공급된 접착테이프(D)를 스테이지(510) 표면에 밀착시켜 고정시키는 진공흡착유닛(511)을 더 구비할 수 있다. 이 경우, 라미네이팅롤러(600)에 의하여 하부이형지(B)가 제거될 때 진공흡착유닛(511)에 의하여 접착테이프(D)가 스테이지(510)상에서 유동되지 않아 하부이형지(B)의 제거가 원활하고 정밀하게 이루어질 수 있게 된다. 상기 스테이지(510)의 표면에는 진공흡착유닛(511)과 연통되는 다수의 흡착공이 형성되어야 함은 물론이다.

또한, 도 9는 본 발명을 구성하는 하부이형지 제거부(500)의 또 다른 실시예를 나타내는 도면으로서, 도시된 바와 같이, 상기 접착테이프 공급롤러(520)는 스테이지(510)의 접착테이프 배출단과 제2롤러(522) 사이에 설치된 엣지롤러(523)를 더 구비하는 것이 바람직하다. 상기 엣지롤러(523)는 스테이지(510)를 통과한 접착테이프(D)를 제2롤러(522)에 대하여 예각을 이루면서 감겨질 수 있도록 유도한다. 이를 감안할 때 상기 엣지롤러(523)의 직경은 작을수록 유리하다.

이 경우, 보호필름(A)이 하부이형지(B)보다 상대적으로 두꺼우므로 두께가 상대적으로 얇은 하부이형지(B)는 엣지롤러(523)에 감기면서 제2롤러(522)측으로 이동하는 반면 상대적으로 두꺼운 보호필름(A)은 엣지롤러(523)에 감기지 않게 된다.

따라서, 하부이형지(B)는 엣지롤러(523)를 경유하는 과정에서 보호필름(A)으로부터 자연스럽게 박리되므로 엣지롤러(523)에 인접한 스테이지(510)의 접착테이프 배출단에 라미네이팅롤러(600)를 위치시켜 하부이형지(B)를 제거한다면 보다 용이하게 하부이형지(B)를 제거할 수 있게 된다. 이 경우 라미네이팅롤러(600)는 제자리에서만 회전하게 되며 후방(화살표 방향)으로 이동하지 않는다.

도 10에 도시된 바와 같이, 라미네이팅롤러(600)는 보호필름(A)들의 부착이 완료되면 대기 중인 기판(C)의 상부로 이동한 후에 하강하여 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)들과 접촉한다.

그리고 라미네이팅롤러(600)가 반시계 방향으로 회전하면서 전방으로 이동하면 도 11에 도시된 바와 같이, 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)들과 동일한 개수와 배열로 라미네이팅롤러(600)의 표면에 부착된 보호필름(A)들이 단위기판(F)들의 상부에 일괄적으로 부착된다.

따라서, 본 발명은 단위기판(F)들의 표면에 보호필름(A)들을 일괄적으로 부착시킴으로써 생산성을 크게 향상시킬 수 있으며 대기 중인 기판(C)상의 단위기판(F)들의 개수와 배열이 달라져도 즉각적으로 대응할 수 있게 된다.

특히 본 발명은 라미네이팅롤러(600)가 회전하면서 보호필름(A)을 순차적으로 단위기판(F)에 부착시켜 주므로 보호필름(A)과 단위기판(F) 사이에 기포가 형성되지 않아 부착 신뢰도와 정밀성이 매우 우수하다.

한편, 본 발명의 다른 실시예로서, 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 보호필름(A)의 상면에 보호필름(A)의 표면을 보호하기 위한 상부이형지(E)가 더 부착될 수가 있다. 이 경우, 상부이형지(E)의 접착력은 라미네이팅롤러(600)의 접착력 보다 강해야 한다.

따라서, 하부이형지 제거부(500)로 이동한 라미네이팅롤러(600)와 상부이형지(E)가 접촉되면 라미네이팅롤러(600)의 접착력보다 상대적으로 강한 보호필름(A)과의 접착력으로 인하여 상부이형지(E)는 보호필름(A)으로부터 박리되지 않는다. 결국, 라미네이팅롤러(600)의 표면에는 하부이형지(B)만 제거된 상태로 상부이형지(E)와 보호필름(A)이 부착되며, 이 상태로 대기 중인 기판(C)의 상부에 부착된다. 상부이형지(E)는 이후 별도의 제거공정을 거쳐 제거된다.

이와 같이 본 발명은 보호필름(A)의 상면을 보호하는 상부이형지(E)가 더 부착된 경우에 있어서도 별도의 세팅과정 없이 대기 중인 기판(C)상에 보호필름(A)을 정확하게 부착시킬 수가 있다.

이와 같이, 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상술하였으나 본 발명은 전술한 실시예에 한정되지 않으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진자가 본 발명의 사상을 벗어나지 않고 변형 가능하며, 이러한 변형은 본 발명의 권리범위에 속할 것이다.

100...로딩부 120...컨베어벨트
200...크리닝롤러 210...상부점착롤러
220...하부점착롤러 300...핸들러
310...이송로봇 320...진공흡착 유닛
400...얼라인부 410...카메라
500...하부이형지 제거부 510...스테이지
511...진공흡착유닛 520...접착테이프 공급롤러
521...제1롤러 522...제2롤러
523...엣지롤러 600...라미네이팅롤러
A...보호필름 B...하부이형지
C...기판 D...접착테이프
E...상부이형지 F...단위기판

Claims

하부이형지가 부착된 보호필름을 공급해 주는 로딩부와, 상기 로딩부를 통해 공급되는 보호필름의 표면에 존재하는 이물을 제거하는 크리닝롤러와, 상기 크리닝롤러를 통과한 보호필름을 픽업하는 핸들러와, 상기 핸들러에 픽업된 보호필름의 자세를 정렬시키는 얼라인부와, 얼라인이 완료된 보호필름들을 핸들러로부터 공급받아 하부이형지를 제거하는 하부이형지 제거부와, 하부이형지가 제거된 보호필름들을 하부이형지 제거부로부터 픽업하여 대기 중인 기판의 상부에 일괄 부착시키는 점착성을 가진 라미네이팅롤러를 구비하며;
상기 핸들러가 대기 중인 기판의 위치정보를 입력받아 크리닝롤러와 하부이형지 제거부 사이를 왕복 이동하면서 대기 중인 기판상의 단위기판들과 동일한 개수와 배열로 보호필름들을 상기 하부이형지 제거부에 하나씩 올려놓는 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 로딩부는 하부이형지 제거부측 방향으로 보호필름을 이동시키도록 일렬로 배치된 복수의 컨베어벨트를 구비하며,
상기 크리닝롤러는 로딩부의 컨베어벨트들 사이에 일정간격을 두고 상하로 마주하도록 배치된 상부점착롤러와 하부점착롤러로 이루어진 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 핸들러는
크리닝롤러와 하부이형지 제거부 사이를 왕복 이동하는 이송로봇과,
상기 이송로봇에 구비되어 크리닝롤러를 통과한 보호필름을 진공흡착하는 진공흡착 유닛으로 구성된 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 얼라인부는
핸들러의 이송경로 상에 설치되어 하부이형지 제거부로 이동 중인 핸들러에 픽업된 보호필름을 촬영하는 카메라와,
상기 핸들러의 이송로봇에 구비되어 상기 카메라로부터 위치정보를 입력받아 진공흡착 유닛의 자세를 x, y, θ축 방향으로 미세 이동시키는 얼라인유닛으로 구성된 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 하부이형지 제거부는 스테이지와, 상기 스테이지의 표면에 연속적으로 접착테이프를 공급하는 접착테이프 공급롤러를 구비하고,
상기 핸들러는 스테이지 표면에 공급된 접착테이프 상에 대기 중인 기판에 대응되는 위치에 보호필름을 내려놓는 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 5항에 있어서,
상기 스테이지는 스테이지의 표면에 공급된 접착테이프를 스테이지 표면에 밀착시켜 고정시키는 진공흡착유닛을 더 구비한 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 5항 또는 제 6항에 있어서,
상기 접착테이프 공급롤러는
스테이지의 접착테이프의 입력단에 설치되어 접착테이프를 풀어주는 제1롤러와,
스테이지의 접착테이프 배출단에 설치되어 스테이지를 통과한 접착테이프를 감아주는 제2롤러와,
스테이지를 통과한 접착테이프가 제2롤러에 대하여 예각을 이루면서 감겨지도록 상기 스테이지의 접착테이프 배출단과 제2롤러 사이에 설치된 엣지롤러로 구성된 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 라미네이팅롤러의 접착력은 하부이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 강한 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 보호필름의 상면에는 상부이형지가 더 부착되고,
상기 라미네이팅롤러의 접착력은 하부이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 강하면서 상부이형지와 보호필름 사이의 접착력 보다 약한 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 라미네이팅롤러의 표면은 겔패드로 제작된 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.
제 1항에 있어서,
상기 핸들러는 복수로 구성되고 각각 독립적으로 제어 가능한 것을 특징으로 하는 보호필름 부착장치.