JP2015233080A - 貼付装置および貼付方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着剤または粘着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良くできる信頼性の高い貼付装置および貼付方法を提供する。
【解決手段】本発明の貼付装置は、主フィルム材と保護材とを含むフィルムを搬送する搬送部と、フィルムの主フィルム材に塗布液を塗布する塗布部と、塗布液が塗布された主フィルム材を所定の長さに切断するカッター部と、フィルム貼付位置においてフィルムから保護材を剥離するとともに主フィルム材のみを塗布液を介して基板の上面に貼り付ける貼付部と、貼付部によるフィルム貼付位置の近傍、且つフィルム貼付位置における基板の上面よりも低い位置に設けられ、主フィルム材が貼り付けられた基板の上面に当接する当接ローラーと、当接ローラーと異なる位置において、主フィルム材が貼り付けられた基板の搬送方向後端の下面を吸着する吸着部と、を備える。
【選択図】図１

Description

本発明は、貼付装置および貼付方法に関する。

従来、フィルムを搬送しつつ、基板に貼り付ける貼り付け装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１１−１９２８５０号公報

ところで、従来技術においては、基板への貼り付けを行う前にフィルム材に接着材を塗布する必要があり、別途接着剤（塗布液）を塗布するための塗布装置が必要となっていた。そこで、フィルムへの接着剤の塗布工程と、接着剤を塗布したフィルムの基板への貼り付け工程とを一貫ラインで行うことで効率よく基板にフィルムを貼り付けることができる新たな技術の提供が望まれている。

本発明は、このような課題に鑑みてなされたものであり、接着剤または粘着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良くできる信頼性の高い貼付装置および貼付方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の第１態様に係る貼付装置は、主フィルム材と保護材とを含むフィルムを搬送する搬送部と、前記フィルムの前記主フィルム材に塗布液を塗布する塗布部と、前記塗布液が塗布された前記主フィルム材を所定の長さに切断するカッター部と、フィルム貼付位置において前記フィルムから前記保護材を剥離するとともに前記主フィルム材のみを前記塗布液を介して基板の上面に貼り付ける貼付部と、前記貼付部によるフィルム貼付位置の近傍、且つ前記フィルム貼付位置における前記基板の上面よりも低い位置に設けられ、前記主フィルム材が貼り付けられた前記基板の上面に当接する当接ローラーと、前記当接ローラーと異なる位置において、前記基板の搬送方向後端の下面を吸着する吸着部と、を備えることを特徴とする。

主フィルム材が基板に貼り付けられた際、例えば、保護材の剥離方向に主フィルム材とともに基板の搬送方向後端部が引っ張られ、その後、主フィルム材が保護材から分離された衝撃で跳ねるといった挙動を示すことで貼付不良や基板の破損といった不具合が生じる可能性があった。
本態様に係る構成によれば、当接ローラーが基板上面を下方に変位させた状態に押さえつつ、吸着部が当接ローラーと異なる位置において基板の搬送方向後端の下面を吸着するので、保護材が剥離方向に引っ張られた時に保護材と主フィルム材とを良好に分離させることができる。よって、基板に貼り付けられた主フィルム材が保護材に引っ張られることで基板が跳ねるのを防止できる。よって、基板の跳ねによる貼付不良や破損といった不具合の発生を防止することができる。
また、本貼付装置によれば、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、及び主フィルム材を基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良く主フィルム材を基板に貼り付けることができる。

また、上記貼付装置においては、前記貼付部は、前記搬送部の一部を構成し、前記基板を搬送する搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで前記主フィルム材を前記基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーを含み、前記フィルム貼付ローラーは、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて上昇するのが好ましい。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて下降するので、基板に対してフィルムを良好に位置合わせして貼り付けることができる。また、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて上昇するので、基板に貼り付けられた主フィルム材から保護材を容易に分離させることができる。

また、上記貼付装置においては、前記フィルム貼付ローラーは、前記基板から上昇する際、逆回転するのが好ましい。
この構成によれば、フィルムの弛みが解消されることで該フィルムに張力を付与した状態とすることができる。よって、基板に貼り付けられた主フィルム材とフィルム貼付ローラー側に残るフィルム（保護材）との間に瞬間的な引張力を生じさせることで主フィルム材と保護材とをスムーズに分離される。したがって、主フィルム材が保護材から分離される際における基板の跳ねが防止されるので、基板の搬送方向後端に対しても主フィルム材を綺麗に貼り付けることができる。

また、上記貼付装置においては、前記吸着部は、前記基板の下面に対して進退可能とされる吸着パッドを含むのが好ましい。
この構成によれば、基板を吸着しない場合に、基板から吸着バッドを退避させることができる。よって、吸着パッドが基板の搬送を損なうといった不具合の発生が防止される。

また、上記貼付装置においては、前記当接ローラーおよび前記吸着部は、前記基板の幅方向に沿ってそれぞれ配置されるのが好ましい。
この構成によれば、搬送方向後端において、基板を幅方向に亘って良好に保持することで基板の跳ねを効率良く防止することができる。

また、上記貼付装置においては、前記当接ローラーは、前記基板の幅方向における両端部に配置され、前記吸着部は、前記基板の幅方向における中央部に配置されているのがより望ましい。
このようにすれば、基板の両端部を当接ローラーが抑えるとともに、当接ローラーが配置されない中央部を吸着部が吸着するので、基板を幅方向の全域に亘って良好に保持することができる。

また、上記貼付装置においては、前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、前記搬送部は、前記フィルム貼付位置において前記主フィルム材から剥離された前記保護材を巻き取る巻取部を有し、前記巻取部による前記保護材の巻取動作に基づいて前記ロール体から巻き出した前記シート部材を前記基板に搬送するのが好ましい。
この構成によれば、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。また、巻取部が保護材を巻き取る動作により、フィルムの搬送動作を簡便且つ確実に行うことができる。

また、上記貼付装置においては、前記塗布部が前記塗布液として接着剤または粘着剤を塗布するのが好ましい。
この構成によれば、塗布部が接着剤または粘着剤を塗布するので、該接着剤または粘着剤によりフィルムと基板とを簡便に貼り付けることができる。

また、上記貼付装置においては、前記フィルムは、前記塗布部に対して水平面と交差する方向に沿って搬送されるのが好ましい。
この構成によれば、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルムに対して塗布液を塗布できるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルムに安定した膜厚の塗布液を塗布することができる。よって、塗布液の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。

また、本発明の第２態様に係る貼付方法は、主フィルム材と保護材とを含むフィルムを搬送する搬送工程と、前記フィルムの前記主フィルム材に塗布液を塗布する塗布工程と、前記塗布液が塗布された前記主フィルム材を所定の長さに切断する切断工程と、フィルム貼付位置において前記フィルムから前記保護材を剥離するとともに前記主フィルム材のみを前記塗布液を介して基板の上面に貼り付ける貼付工程と、前記フィルム貼付位置の近傍、且つ前記フィルム貼付位置における前記基板の上面よりも低い位置において、前記主フィルム材が貼り付けられた前記基板の上面に当接ローラーを当接させつつ、前記当接ローラーと異なる位置において前記基板の搬送方向後端の下面を吸着する貼付補助工程と、を備えることを特徴とする。

本態様に係る構成によれば、当接ローラーにより基板上面を下方に変位させた状態に押さえつつ、当接ローラーと異なる位置において基板の搬送方向後端の下面が吸着されるので、保護材が剥離方向に引っ張られた時に保護材と主フィルム材とを良好に分離させることができる。よって、基板に貼り付けられた主フィルム材が保護材に引っ張られることで基板が跳ねるのを防止できる。よって、基板の跳ねによる貼付不良や破損といった不具合の発生を防止することができる。
また、本貼付方法によれば、フィルムに塗布液を塗布する塗布工程、及び主フィルム材を基板に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良く主フィルム材を基板に貼り付けることができる。

また、上記貼付方法においては、前記貼付工程においては、前記搬送部の一部を構成し、前記基板を搬送する搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで前記主フィルム材を前記基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーが、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて上昇するのが好ましい。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて下降するので、基板に対してフィルムを良好に位置合わせして貼り付けることができる。また、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて上昇するので、基板に貼り付けられた主フィルム材から保護材を容易に分離させることができる。

また、上記貼付方法においては、前記貼付工程においては、前記フィルム貼付ローラーは、前記基板から上昇する際、逆回転するのが好ましい。
この構成によれば、逆回転したフィルム貼付ローラーによってフィルムの弛みが解消されることで該フィルムに張力が付与された状態となる。よって、フィルムの張力によって、基板に貼り付けられた主フィルム材はフィルム貼付ローラーに搬送されるフィルム（保護材）からスムーズに分離される。したがって、主フィルム材が保護材から分離された衝撃による基板の跳ねが防止されるので、基板の搬送方向後端に対して主フィルム材を綺麗に貼り付けることができる。

本発明によれば、接着剤の塗布及び基板への貼り付けを一貫ラインで行うことで貼り付け作業を効率良くできる信頼性の高いものを提供できる。

第一実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図。 基板当接部の周辺における要部構成を示す側面図。 基板当接部および吸着部における位置関係を示す平面構成図。 第１吸着ローラーおよび第２吸着ローラーの概略構成を示す断面図。 カッター部の概略構成を及びフィルムの積層構造を示す図。 基板当接部による作用を説明するための図。 塗布部の要部構成を示す概略図。 フィルムに対するノズル先端の動きを表した図。 回動部を有しない場合のノズル先端の動きを表した図。 塗布部の周辺構成を示す概略図。 ミスト回収機構の構成を示す概略図。 膜厚調整機構の周辺構成を示す図。 貼付装置によるフィルムの貼付工程を説明するフロー図。 第二実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。 第三実施形態に係る膜厚調整部の構成を示し、（ａ）は斜視図、（ｂ）は断面図。 第四実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。 第五実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。 第六実施形態に係るカッター部及びその周辺の概略構成図。 第七実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す図。 第七実施形態において検査部による検査方法の一例を説明するための図。

以下、図面を参照して、本発明の貼付装置に係る一実施形態について説明する。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部材の位置関係について説明する。水平面内におけるフィルムの搬送方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。本実施形態に係る貼付装置は、長尺状の保護材及び主フィルム材が貼り合わされてなるフィルムをロール状に巻回したロール体から巻き解いたフィルムを搬送しながらフィルムから保護材と主フィルム材とを分離し、主フィルム材を基板に貼り付ける装置に関するものである。

（第一実施形態）
図１は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図１に示すように、貼付装置１００は、装置筐体１０１と、基板供給部１０２と、基板搬送部１０３と、フィルム搬送部１０４と、フィルム貼付部（貼付部）１０５と、塗布部１０６と、加熱部１０７と、基板当接部１３６と、吸着部５５と、制御装置ＣＯＮＴとを備えている。

基板供給部１０２は、装置筐体１０１内に基板１を移動させることで供給するためのものである。基板供給部１０２は、フィルム貼付前の基板１を複数保持するカセット１０２ａと、該カセット１０２ａの内部から基板１を引き出し可能な駆動部１０２ｂと、を有している。なお、カセット１０２ａは、内部に保持する基板１を駆動部１０２ｂに引き渡し可能な位置まで下降可能な構成となっている。これにより、基板供給部１０２は、駆動部１０２ｂによってカセット１０２ａ内から複数の基板１を順次装置筐体１０１側に供給可能となっている。なお、基板供給部１０２の構成は、カセット１０２ａから基板１を順次供給する構成に限定されず、搬送ロボットにより基板１を１枚ずつ順次装置筐体１０１側に供給する構成を採用してもよい。

基板搬送部１０３は、基板１を所定位置（フィルム貼付位置）まで移動させるとともに、フィルムの貼り付け後に基板１を装置筐体１０１から搬出するための搬出位置まで移動させる。

フィルム搬送部１０４は、基板１に対する貼付位置までフィルムを搬送するためのものである。フィルム貼付部１０５は、フィルム搬送部１０４で搬送されたフィルム６０を基板１に貼り付けるためのものである。

本実施形態において、フィルム６０は、主フィルム材６１と、保護材６２と、これら主フィルム材６１および保護材６２を貼り合せる粘着層６３とを有した長尺状から構成されている（図５参照）。フィルム貼付部１０５は、フィルム６０のうち主フィルム材６１のみを基板１の上面に貼り付ける。

塗布部１０６は、フィルム６０を基板１に接着可能とするための塗布液として接着剤または粘着剤を該基板１に対して塗布するためのものである。
加熱部１０７は、塗布部１０６で接着剤または粘着剤が塗布されたフィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤または粘着剤を硬化させるためのものである。

制御装置ＣＯＮＴは、貼付装置１００を統括的に制御する部分である。具体的に、制御装置ＣＯＮＴは、基板供給部１０２、基板搬送部１０３、フィルム搬送部１０４、フィルム貼付部１０５、塗布部１０６および加熱部１０７と電気的に接続されており、各々の動作を制御ことが可能である。

上記基板搬送部１０３は、第１基板搬送ローラー部３０、第２基板搬送ローラー部３１、第３基板搬送ローラー部３２、第４基板搬送ローラー部３３、及び第５基板搬送ローラー部３４を有している。

第１基板搬送ローラー部３０は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３０ａを有している。これにより、第１基板搬送ローラー部３０は、基板供給部１０２から供給された基板１を受け取って装置筐体１０１内へと導くようになっている。

第２基板搬送ローラー部３１は、フィルム貼付部１０５を介して、第４基板搬送ローラー部３３と対向するように配置されている。
第２基板搬送ローラー部３１は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３１を有している。各ローラー対１３１は、下側ローラー３１ａ及び上側ローラー３１ｂを有している。基板１は、これらローラー３１ａ，３１ｂ間に挟持された状態で搬送されるようになっている。

第３基板搬送ローラー部３２は、不図示の駆動モーターにより駆動される搬送ローラー（第１搬送ローラー）３２ａから構成されるものである。搬送ローラー３２ａはフィルム搬送部１０４におけるフィルムの貼付作業を行うためのフィルム貼付ローラー４０との間で基板１を挟持する構成となっている。これにより、搬送ローラー３２ａ上の基板１にフィルムを貼り付け可能となっている。すなわち、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０は、本発明に係るフィルム貼付部１０５を構成している。すなわち、フィルム貼付部１０５は、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０が当接する部分が基板１に対するフィルムの貼り付けを行うフィルム貼付位置としている。

第４基板搬送ローラー部３３は、フィルム搬送部１０４でフィルムが貼り付けられた基板１を受け取るとともに下流側へと搬送する。第４基板搬送ローラー部３３は、基板１のうちフィルムが貼り付けられていない基板端部をニップするニップ部を構成する。第４基板搬送ローラー部３３は、複数（本実施形態では３つ）のローラー対１３３を有している。各ローラー対１３３は、下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂを有している。下側ローラー３３ａは、基板１を搬送する搬送ローラーを構成するものである。また、上側ローラー３３ｂは、下側ローラー３３ａとの間で基板１の端部をニップするニップローラーを構成するものである。基板１は、これらローラー３３ａ，３３ｂ間に挟まれた状態（ニップされた状態）で搬送されるようになっている。

本実施形態において、基板当接部１３６と吸着部５５は、上記第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３との間に配置されている。

図２は基板当接部１３６の周辺における要部構成を示す側面図である。なお、図２においては、図を見易くするため、吸着部５５を省略している。
図２に示されるように、基板当接部１３６は、当接ローラー１３６ａと、バネ部材１３６ｂと、当接ローラー１３６ａを保持する保持部材１３６ｃと、を含む。当接ローラー１３６ａは、回転軸１３７を介して保持部材１３６ｃの一端側に回転可能に取り付けられている。当接ローラー１３６ａは、従動ローラー又は主動ローラーのいずれで構成されていてもよい。当接ローラー１３６ａは、例えば、ゴム等の弾性材料から構成されている。これにより、当接時に基板１の表面にダメージを与えることが防止されている。

保持部材１３６ｃは、他端側が回動軸１３８を介して不図示の筐体部に回動可能に保持されている。バネ部材１３６ｂは、保持部材１３６ｃの一端側を支持するように不図示の筐体部に取り付けられている。これにより、当接ローラー１３６ａは、バネ部材１３６ｂを介して下方に付勢された状態とされ、保持部材１３６ｃが回動軸１３８を介して回転することで少なくとも上下方向（Ｚ軸方向）に沿って変位可能とされている。

下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂは、不図示の筐体部に取り付けられている。
具体的に、上側ローラー３３ｂは、例えば、保持部材１３４を介して筐体部（不図示）に取り付けられている。上側ローラー３３ｂは、回転軸１３２を介して保持部材１３４の一端側に回転可能に取り付けられている。上側ローラー３３ｂは、従動ローラー又は主動ローラーのいずれで構成されていてもよい。上側ローラー３３ｂは、例えば、樹脂・ゴム等の弾性材料から構成されている。これにより、当接時に基板１の表面にダメージを与えることが防止されている。

保持部材１３４は、バネ部材１３４ａを介して一端側が不図示の筐体部に支持されている。また、保持部材１３４は、他端側が回動軸１３９を介して不図示の筐体部に回動可能に保持されている。これにより、上側ローラー３３ｂは、バネ部材１３４ａを介して下方に付勢された状態とされ、保持部材１３４が回動軸１３９を介して回転することで少なくとも上下方向（Ｚ軸方向）に沿って変位可能とされている。

図１に示したように、第５基板搬送ローラー部３４は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー３４ａを有している。これにより、第５基板搬送ローラー部３４は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って不図示の基板搬出用カセット内に収容するように移動させる。

本実施形態において、吸着部５５は、当接ローラー１３６ａとは異なる位置において、基板１の下面１ａ（主フィルム材６１が貼り付けられた面と反対側の面）を吸着可能である。吸着部５５は、昇降動作することで基板１の下面１ａに対して進退可能とされる。

図３は当接ローラー１３６ａおよび吸着部５５における位置関係を示す図であり、図３（ａ）は側面図であり、図３（ｂ）は平面図である。
本実施形態において、当接ローラー１３６ａおよび吸着部５５は、図３（ｂ）に示すように、基板１の幅方向（Ｙ方向）に沿ってそれぞれ配置されている。具体的に、当接ローラー１３６ａは、基板１の幅方向における両端部にそれぞれ配置されている。また、吸着部５５は、基板１の幅方向における中央部に配置されている。

図３（ａ）に示すように、吸着部５５は、吸着パッド部５６と、パッド押圧部材５７と、該パッド押圧部材５７を基板１の下面１ａに対して昇降させる駆動部５８とを含む。吸着パッド部５６は、その吸着面を基板１の下面１ａに対向させるように設けられており、当該吸着面が基板１の下面１ａに当接して吸着することで基板１を保持可能となる。吸着パッド部５６の構成材料としては、例えば、樹脂、ＳＵＳ、セラミックチャック、ゴム、ウルフ、パーフロなどの材料が挙げられる。本実施形態では、例えばパッド押圧部材５７の先端部に吸着パッド部５６が１つだけ取り付けられている。なお、吸着部５５の構造は本形態に限られることは無く、例えば、複数の吸着パッド部５６をパッド押圧部材５７に配置するようにしても良い。この場合において、複数の吸着パッド部５６は、パッド押圧部材５７の先端部に、基板１の幅方向（Ｙ方向）に沿って配置させるのが好ましい。これによれば、基板１の下面１ａを複数個所で確実に吸着保持することが可能となる。

駆動部５８は、例えば、アクチュエータ等から構成されるものである。駆動部５８は、制御装置ＣＯＮＴと電気的に接続されており、吸着部５５における基板１に対する昇降動作の駆動タイミングなどが制御される。

図２に戻り、当接ローラー１３６ａは、フィルム貼付部１０５におけるフィルム貼付位置１０５ａの近傍、且つフィルム貼付位置１０５ａにおける基板１の上面よりも低い位置に設けられている。ここで、基板１の上面とは、基板１の単体（貼り付けられた主フィルム材６１を除いた状態）のみならず、基板１に貼り付けられた主フィルム材６１の表面も含む。なお、フィルム貼付位置１０５ａの近傍とは、フィルム貼付部１０５や、該フィルム貼付部１０５にて剥離された保護材６２に接触しない位置であって、基板当接部１３６の形状（例えば、直径）に応じて適宜設定される。

また、フィルム貼付位置１０５ａとは、搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０の中心を結ぶ線上に位置するものであり、具体的には搬送ローラー３２ａ及びフィルム貼付ローラー４０間の隙間である。図２は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付位置１０５ａに到達した状態を示している。

本実施形態においては、図２に示したように、主フィルム材６１の表面を基板１の上面における高さをＨ１とし、当接ローラー１３６ａにおける最下端部の高さをＨ２とした場合、Ｈ１＞Ｈ２の条件を満たしている。なお、当接ローラー１３６ａは、保持部材１３６ｃによる回動動作により上下方向に移動可能とされているものの、保持部材１３６ｃによる回動範囲内においても上記Ｈ１＞Ｈ２の条件は満たされるものとする。本実施形態において、Ｈ１及びＨ２の高さの差は、例えば０．２ｍｍに設定した。また、当接ローラー１３６ａは、バネ部材１３６ｂの付勢力によって基板１に対して所定の押圧力を付与するようになっている。

また、当接ローラー１３６ａは、フィルム貼付後の基板１をニップするニップローラーを構成する上側ローラー３３ｂ（ローラー対１３３）よりも鉛直方向下側に配置されている。本実施形態においては、図２に示したように、上側ローラー３３ｂにおける最下端部の高さをＨ３とした場合、Ｈ３＞Ｈ２の条件を満たしている。なお、上側ローラー３３ｂは、保持部材１３４による回動動作により上下方向に移動可能とされているものの、保持部材１３４による回動範囲内においても上記Ｈ３＞Ｈ２の条件は満たされるものとする。また、上側ローラー３３ｂは、複数（本実施形態では３つ）設けられているが、いずれも同じ高さに配置されているものとする。また、上記高さＨ１および高さＨ３における大小関係は、上記２つの条件（Ｈ１＞Ｈ２、およびＨ３＞Ｈ２）を満たしていれば限定されない。すなわち、本実施形態では、便宜上、Ｈ１及びＨ３を同じ高さとして説明するが、Ｈ１＞Ｈ３あるいはＨ１＜Ｈ３のいずれの条件を満たしていてもよい。

このような構成に基づき、基板当接部１３６の当接ローラー１３６ａは、後述のようにフィルム貼付部１０５において主フィルム材６１が貼り付けられた基板１の側端部に当接可能とされている。当接ローラー１３６ａに当接した基板１は、下方に撓むことで当接ローラー１３６ａの下方へと入り込み、その上面が当接ローラー１３６ａに当接することで押圧された状態とされる。

上記フィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１と、フィルム巻取部５１と、中継ローラー５２，５３と、搬送経路調整部４２と、フィルム保持ローラー４３と、第１吸着ローラー４４と、カッター部４８と、タイミング調整部４７と、中継ローラー部４５と、第２吸着ローラー４９と、上記フィルム貼付ローラー４０と、を有する。

フィルム繰出部４１は、フィルム６０をロール状に巻回したロール体Ｒを保持するとともに回転する回転駆動部４１ａを有する。フィルム６０は、搬送方向と交差する方向におけるフィルム幅が基板１の幅に対応している。ここで、基板１の幅に対応するとは、フィルム６０及び基板１の幅が実質的に同一である場合のみならず、フィルム６０の幅が基板１の幅よりも若干広い或いは若干狭い場合も含む。これにより、フィルム搬送部１０４はロール体Ｒからフィルム６０を巻き解くことで搬送するようになっている。

フィルム巻取部５１は、フィルム貼付部１０５による貼付作業後にフィルム６０から分離された保護材６２を巻き取るための巻取軸５１ａ及び該巻取軸５１ａを駆動する駆動部５１ｂを有している。

中継ローラー５２，５３は、フィルム貼付ローラー４０とフィルム巻取部５１との間でフィルム６０の搬送を中継するものである。中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼付位置１０５ａ（図２参照）よりも上方（Ｚ方向）に位置している。また、中継ローラー５２は、基板１の搬送方向において基板当接部１３６よりもフィルム貼付部１０５よりも上方に配置される。これにより、フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は上方に向かって急峻に折り曲げられることで後述するようにカットされた主フィルム材６１のみが基板１に貼り付けられ、主フィルム材６１から保護材６２が剥離されて分離されるようになっている。

搬送経路調整部４２は、回転駆動部４１ａに回動可能に取り付けられるレバー部１４１と、レバー部１４１の先端に回動可能に取り付けられてフィルム６０に当接する当接ローラー１４２と、を有する。レバー部１４１は、回転駆動部４１ａにロール体Ｒと同軸上で回転するようになっている。

ロール体Ｒから巻き解かれたフィルム６０は、ロール体Ｒの残量に応じて搬送経路（搬送距離）が変化する。このようにフィルム６０の搬送経路（搬送距離）が変化すると、フィルム６０の搬送速度を一定に保つために回転駆動部４１ａの駆動条件を変更する必要がある。

これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、搬送経路調整部４２がレバー部１４１を所定位置に回動させることでフィルム６０の搬送距離（搬送経路）を変化させるようにしている。例えば、フィルム搬送部１０４は、ロール体Ｒの残量が少なくなると当接ローラー１４２を下降させるようにレバー部１４１を回動させることでロール体Ｒの外形が小さくなることで短くなった搬送距離を延ばすことができる。このように搬送経路調整部４２によれば回転駆動部４１ａの駆動条件（回転速度）を変更することなく、フィルム６０の搬送速度を一定に保つことができる。なお、自重で下がった当接ローラー１４２によってフィルム６０の搬送経路（搬送距離）を変化させるようにしてもよい。この場合、当接ローラー１４２の近傍に設けた不図示のセンサにより該当接ローラー１４２の下がり量を測定し、該測定値に基づいて回転駆動部４１ａによるロール体Ｒの回転速度を変更すればよい。

フィルム保持ローラー４３は、後述する第１吸着ローラー４４との間でフィルム６０が略鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿って搬送されるように保持するためのものである。これにより、フィルム６０は鉛直方向に沿って搬送されるようになっている。

第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９はフィルム６０を吸着した状態で回転することで該フィルム６０を定速で搬送を可能とするものである。図４は第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９の概略構成を示す断面図である。なお、第１吸着ローラー４４および第２吸着ローラー４９は同一の構成を有していることから、以下の説明では第１吸着ローラー４４の構成について説明する。

図４に示されるように、第１吸着ローラー４４は、表面に複数の貫通孔１４４ａが形成されたローラー本体１４４と、ローラー本体１４４の内部に設けられる吸引部１４５と、を有する。吸引部１４５は回転するローラー本体１４４の内面に摺接可能な箱状からなる箱体１４５ａを有し、該箱体１４５ａはブロワ（不図示）に接続されている。

箱体１４５ａはローラー本体１４４の内面に当接することで貫通孔１４４ａを介してローラー表面側の空気を吸引可能となっている。第１吸着ローラー４４では、箱体１４５ａの開口部に対向する領域Ａの貫通孔１４４ａのみから空気を吸引可能となる。箱体１４５ａは固定されており、ローラー本体１４４のみが回転駆動する。

この構成により、第１吸着ローラー４４では、ローラー本体１４４が所定の回転位置において貫通孔１４４ａから空気が吸引される構成とされている。よって、第１吸着ローラー４４は貫通孔１４４ａを介して吸着したフィルム６０をローラー本体１４４の回転方向に沿って良好に搬送することができる。なお、吸引部１４５はローラー本体１４４の内面に必ずしも当接している必要はなく、貫通孔１４４ａを介して吸引可能な構成であれば隙間が空いていてもよい。

また、第１吸着ローラー４４は吸着によりフィルム６０を保持するため、ローラー本体１４４とフィルム６０との間での摩擦が生じることが防止され、静電気の発生を抑制することができる。以上、第１吸着ローラー４４の構成について説明したが、第２吸着ローラー４９についても同様である。

図５はカッター部４８の概略構成を及びフィルム６０の積層構造を示す図である。
図５に示すように、本実施形態に係るカッター部４８は、フィルム６０を切断（カット）するための回転刃（カッター刃）１６１と、回転刃１６１に対向配置されるフィルム支持部１６２と、回転刃１６１を洗浄する刃洗浄部（カッター刃洗浄部）１６３と、を有する。

回転刃１６１は、円盤状のカッター刃から構成されており、不図示のガイド部材によりフィルム６０の幅方向（図５に示される右方向から左方向）に沿って移動しながら、前記フィルム６０を切断する。回転刃１６１は、フィルム６０の切断を行う場合、例えば、図５に示す−方向（時計回り方向）に回転している。フィルム支持部１６２は、回転刃１６１との間でフィルム６０を保持するためのものである。カッター部４８は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さに応じて、回転刃１６１をフィルム６０の厚さ方向（Ｘ方向）に移動させることでフィルム支持部１６２と回転刃１６１との間の間隔を調整する。これにより、カッター部４８は、フィルム６０のうち主フィルム材６１のみを切断することが可能となる。なお、カッター部４８は、フィルム６０（主フィルム材６１）の厚さや材質等の条件に応じて、回転刃１６１の回転速度や移動速度を任意に設定可能である。

刃洗浄部１６３は、フィルム支持部１６２とは対向しない位置であり、且つ、カッター部４８の待機位置に配置されている。ここで、カッター部４８の待機位置とは、フィルム６０の切断を行う前の回転刃１６１が待機する位置であり、フィルム６０の一端側（図５に示される右側の端部）から他端側（図５に示される左側の端部）へ移動した回転刃１６１が折り返して一端側に戻ってきた後に最終的に帰還する位置をいう。なお、回転刃１６１は、フィルム６０を切断して他端側に戻る場合、例えば、図５に示す＋方向（反時計回り方向）に回転している。なお、本説明では、回転刃１６１がフィルム６０の切断時に−方向（時計回り方向）に回転し、他端側に戻る場合に＋方向（反時計回り方向）に回転する場合を例に挙げたが、これに限定されず、反対に、回転刃１６１が切断時に＋方向に回転し、他端側に戻る場合に−方向に回転するようにしてもよい。あるいは、回転刃１６１の回転方向が−方向或いは＋方向のいずれか一方に固定されていてもよい。

このようにカッター部４８は、待機位置に配置された刃洗浄部１６３を備えることで、フィルム６０を切断することで回転刃１６１に付着した粘着層６３を洗浄することが可能とされている。

刃洗浄部１６３は、回転刃１６１の先端に摺接するスポンジ部材１６３ａと、前記スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を供給する洗浄液供給部１６３ｂとを含む。スポンジ部材１６３ａは、回転刃１６１の先端を収容可能なスリット１６３ｓが形成されている。洗浄液供給部１６３ｂは、スポンジ部材１６３ａに対して洗浄液を含浸させるためのものであり、スポンジ部材１６３ａにおける回転刃１６１の洗浄性を維持するためのものである。

このような構成に基づき、カッター部４８は、図５に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能である。そのため、カッター部４８による切断後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。なお、図５においてはフィルム６０の主フィルム材６１上に塗布された接着剤Ｎを図示している。

具体的にカッター部４８は、主フィルム材６１を切断する際、基板１に貼り付けられる貼付部分と、基板に貼り付けられない非貼付部分とを形成する。したがって、保護材６２には、粘着層６３により上記貼付部分を構成する主フィルム材６１と、上記非貼付部分を構成する主フィルム材６１とが貼り付けられた状態とされている。ここで、貼付部分の長さとは基板１の長さに対応するものである。また、非貼付部分の長さとは、ある基板１に対するフィルムの貼付終了後、次の基板１に対するフィルムの貼付を開始するまでに基板１が搬送される距離に対応する。すなわち、非貼付部分の長さは、基板１の搬送速度、フィルム貼付ローラー４０の昇降速度等に応じて適宜設定される。このように貼付部分及び非貼付部分を含むフィルムを用いることでフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム（貼付部分）の先端と、基板搬送部１０３によって搬送される基板１の搬送方向先端との位置合わせを容易にできるようにしている。

ここで、カッター部４８はフィルム搬送部１０４によって搬送された状態のフィルム６０をカットする。カッター部４８がフィルム６０を切断する際、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。このとき、フィルム６０の搬送は切断部分以外において継続されているため、カッター部４８による切断部分とそれ以外とでフィルム６０の搬送速度に差が生じてしまう。すると搬送速度にバラツキが生じ、搬送されるフィルム６０にダブつきが生じ、フィルム６０の搬送不良が生じてしまう。

これに対し、本実施形態に係るフィルム搬送部１０４は、カッター部４８により切断される際にフィルム６０に生じる搬送速度のバラツキを調整するための手段として上記タイミング調整部４７を備えている。

タイミング調整部４７は、フィルム６０の一面側（裏面側）に当接するとともに所定方向に搬送する搬送ローラー（ローラー部材）２４１と、他端側に搬送ローラー２４１を保持するレバー部材２４２と、一端側を基準としてレバー部材２４２を回動動作させる回動部２４０と、を有する。搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回転可能に保持されている。

本実施形態において、タイミング調整部４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、回動部２４０によりレバー部材２４２を時計回りに回動させることでレバー部材２４２の他端側に設けられた搬送ローラー２４１を円弧状に移動させる。このとき、搬送ローラー２４１がフィルム６０の一面側を押し込むことでフィルム６０に所定の張力を付与することができる。また、搬送ローラー２４１は、レバー部材２４２に対して回動可能とされるので、搬送ローラー２４１フィルム６０の搬送に伴って回転する。よって、搬送ローラー２４１は、フィルム６０の搬送を妨げることが防止される。

このようにフィルム搬送部１０４は搬送不良を生じさせることなく、フィルム６０を搬送した状態のままでカッター部４８による切断を行うことができる。よって、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮することができる。

本実施形態において、フィルム貼付ローラー４０は、上下方向（Ｚ方向）に沿って移動可能とされている。具体的に、フィルム貼付ローラー４０は、制御装置ＣＯＮＴに電気的に接続された駆動機構（不図示）により上下方向に昇降可能とされている。

フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａは、フィルム６０及び基板１を挟持することでフィルム６０の貼付を行う。このようにフィルム貼付ローラー４０は、フィルム搬送部１０４の一部をなすとともにフィルム貼付部１０５を構成している。

本実施形態において、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向先端がフィルム貼付位置１０５ａに到達するタイミング）に合わせて基板１にフィルム６０を押し付け可能な位置まで下降する。
また、フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向後端部（基板１の搬送方向後端）に到達したタイミング（すなわち、主フィルム材６１の搬送方向後端がフィルム貼付位置１０５ａに到達したタイミング）に合わせて上昇する。このようにして、制御装置ＣＯＮＴが駆動機構を駆動させることにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板１に対するフィルム６０の貼付作業毎に昇降動作を繰り返すようになっている。

ところで、本実施形態において、フィルム貼付部１０５は、フィルム６０から保護材６２を分離して、主フィルム材６１のみを基板１に貼り付けている。このとき、カッター部４８により所定の長さに切断された主フィルム材６１は、粘着層６３により保護材６２に良好に保持された状態となっているものの、フィルム貼付部１０５による押圧力と、フィルム巻取部５１による保護材６２の引張力とにより基板１に貼り付けられた状態とされ、保護材６２のみを剥離することができる。

このようにして、基板１には、搬送方向先端側から後端側に向かって主フィルム材６１のみが貼り付けられていく。しかしながら、基板１は、搬送方向後端部がフィルム貼付位置１０５ａを通過すると、フィルム貼付部１０５（フィルム貼付ローラー４０及び搬送ローラー３２ａ）によるニップ力が働かなくなる。このとき、基板１の搬送方向後端部に貼り付けられた主フィルム材６１は、カッター部４８によって切断されているものの、上記ニップ力が働かないため、粘着層６３による粘着力に打ち勝つことができず、基板１の搬送方向後端部が保護材６２とともに上方に僅かに持ち上げられてしまうおそれがある。このとき、主フィルム材６１が保護材６２から分離された衝撃で基板１が跳ねるといった挙動を示すおそれがある。なお、主フィルム材６１は、カッター部４８によって切断されているものの、例えばハーフカットの深さが十分ではなく完全に切断されていない場合やハーフカットの深さが十分で完全に切断されていたとしても粘着層６３の粘着力が必要以上に強い場合などは、基板１の上方への持ち上がり量が増大してしまい、基板１の跳ねも大きくなってしまう。このように基板１に跳ねが生じると、振動によって基板１や該基板１を搬送する第５基板搬送ローラー部３４の構成部材が破損したり、振動によって基板１の搬送方向後端において主フィルム材６１が剥がれることで貼付不良が生じるおそれもある。

これに対し、本実施形態に係る貼付装置１００は、第３基板搬送ローラー部３２及び第４基板搬送ローラー部３３間に基板当接部１３６（当接ローラー１３６ａ）および吸着部５５を配置した構造を採用している。図６は、基板当接部１３６による作用を説明するための図である。なお、図６においては、図を見易くするため、当接ローラー１３６ａ及び上側ローラー３３ｂの周辺構成の図示を簡略化している。すなわち、バネ部材１３６ｂ、１３４ａ、及び保持部材１３６ｃ、１３４の図示を省略している。

フィルム貼付部１０５のフィルム貼付位置１０５ａを経由した基板１は、図６（ａ）に示すように、搬送方向先端側の側面が基板当接部１３６の当接ローラー１３６ａに当接する。本実施形態において、当接ローラー１３６ａは、基板１の上面よりも低い位置に配置されている。基板１は、フィルム貼付部１０５の搬送ローラー３２ａによって下流側に搬送されると、図６（ｂ）に示すように下方に撓んで当接ローラー１３６ａの下に入り込む。本実施形態において、当接ローラー１３６ａは、バネ部材１３６ｂにより上方向に変位することで基板１を下方へとスムーズに導く。

基板１は、上面が当接ローラー１３６ａにより押さえられた状態で下流側へと搬送され、図６（ｃ）に示すように、搬送方向先端側の側面がフィルム貼付後の基板１をニップするニップローラーを構成する下側ローラー３３ａに当接する。本実施形態において、上側ローラー３３ｂの最下端部は、基板１の上面よりも低い位置に配置され、上側ローラー３３ｂに対向配置される下側ローラー３３ａの最上端部は、基板１の上面よりも高い位置に配置されている。

この場合、基板１は、フィルム貼付部１０５の搬送ローラー３２ａによって下流側に搬送されると、上方に撓んで下側ローラー３３ａに乗り上げ、該下側ローラー３３ａと上側ローラー３３ｂとの隙間に入り込む。これより、基板１は、図６（ｄ）に示すように、搬送方向先端側の端部が下側ローラー３３ａ及び上側ローラー３３ｂ（第４基板搬送ローラー部３３）にニップ（挟持）される。

基板１は、第４基板搬送ローラー部３３でニップされて搬送されることで、図６（ｅ）に示すように、搬送方向後端側の端部がフィルム貼付位置１０５ａへと到達する。
本実施形態において、制御装置ＣＯＮＴは、基板１の搬送方向後端側の端部がフィルム貼付位置１０５ａに到達するタイミングに合わせて、駆動部５８によりパッド押圧部材５７を上方に移動し、基板１の搬送方向後端の下面１ａを吸着パッド部５６で吸着保持する。なお、制御装置ＣＯＮＴは、吸着パッド部５６が下面１ａに接触しない程度の高さで待機させ、上記タイミングに合わせて吸着パッド部５６を下面１ａに当接させるようにしてもよい。

また、制御装置ＣＯＮＴは、基板１の搬送方向後端側の端部がフィルム貼付位置１０５ａに到達するタイミングに合わせて、駆動機構（不図示）によりフィルム貼付ローラー４０を上方に移動させつつ、該フィルム貼付ローラー４０を逆回転させる。ここで、フィルム貼付ローラー４０を逆回転させるとは、主フィルム材６１を基板１に貼り付ける際の回転方向と逆方向に回転した状態とすることをいう。なお、フィルム貼付ローラー４０は、垂直方向（Ｚ方向）に上昇してもよいし、基板１の搬送方向に向かうように手前方向に向かって上昇してもよい。フィルム貼付ローラー４０の上方への移動量は、例えば、数ミリ程度に設定される。

本実施形態において、制御装置ＣＯＮＴは、吸着部５５（吸着パッド部５６）における基板１の下面１ａに対する上昇動作と、フィルム貼付ローラー４０の基板１の上面からの上昇動作とを同時に行うように制御するようにしている。具体的に、吸着部５５は、フィルム貼付ローラー４０が基板１から離間する直前のタイミングに同期して該基板１を吸着する。吸着パッド部５６は、初期位置から上昇して基板１の下面１ａを吸着した状態で該基板１とともに搬送方向に少し移動する。このように吸着パッド部５６は、基板１の搬送に追従して移動するため、貼付動作中における基板１の搬送を妨げることが防止される。なお、吸着部５５（吸着パッド部５６）は基板１とともに搬送方向に移動しているため、基板１から離間する際に、下方に移動するとともに初期位置まで戻る。

本実施形態によれば、基板１の搬送方向後端部がフィルム貼付位置１０５ａを通過した後にフィルム貼付部１０５によるニップ力が働かなくなった場合においても、基板１は、当接ローラー１３６ａにより両端部の上面が押さえられるとともに、吸着部５５により下面１ａの中央部が吸着により保持されたものとなる。よって、基板１は、幅方向の全域に亘って良好に保持されたものとなるので、基板１の搬送方向後端部がフィルム巻取部５１に巻き取られる保護材６２とともに上方に持ち上げられてしまうことが防止される。

また、フィルム貼付ローラー４０が上方に移動することで、基板１に貼り付けられた主フィルム材６１を、フィルム貼付ローラー４０に搬送される保護材６２から良好に分離することができる。

さらに、上方に移動する際にフィルム貼付ローラー４０が逆回転するので、フィルム６０の弛みが解消されることで該フィルム６０に張力を付与した状態とすることができる。よって、基板１に貼り付けられた主フィルム材６１とフィルム貼付ローラー４０側に残るフィルム６０（保護材６２）との間に瞬間的な引張力を生じさせることで主フィルム材６１と保護材６２とがスムーズに分離される。 したがって、主フィルム材６１が保護材６２から分離される際における基板１の跳ねが防止されるので、基板１の跳ねによる不具合（基板１の破損や貼付不良）の発生を防止できる。すなわち、基板１の搬送方向の全域に亘って主フィルム材６１を綺麗に貼り付けることができる。

なお、主フィルム材６１は、カッター部４８によって切断されているものの、例えばハーフカットの深さが十分ではなく完全に切断されていない場合やハーフカットの深さが十分で完全に切断されていたとしても粘着層６３の粘着力が必要以上に強い場合、基板１の搬送方向後端の上方への持ち上がり量が増大する可能性がある。本実施形態によれば、上記当接ローラー１３６ａおよび吸着部５５によって基板１の搬送方向後端の幅方向において確実に保持できるので、上述のように基板１の持ち上がり量が増大するケースにおいて特に顕著な効果を得ることができる。

図１に戻って、上記塗布部１０６は、フィルム保持ローラー４３によって鉛直方向に搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する。なお、塗布部１０６が塗布する塗布液としては、少なくとも加熱部１０７による乾燥後にフィルム６０を基板１に接着可能な程度の粘着性を有する液体が用いられる。

塗布部１０６は、接着剤または粘着剤を基板１に対して塗布機構７０と、ミスト回収機構７１と、フィルム６０に塗布される接着剤または粘着剤の厚みを調整する膜厚調整機構７２と、を含む（図１０参照）。

図７（ａ）は塗布機構７０の要部構成を示す概略図であり、図７（ｂ）はノズル７３の先端７３ａの動きを概念的に示した図である。
図７（ａ）に示されるように塗布機構７０は、接着剤または粘着剤を噴射するノズル７３と、本体部７４と、本体部７４をＸ軸回りで回動させる回動部７５とを含む。ノズル７３としては、接着剤または粘着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部７４は、ノズル７３をフィルム６０の幅方向に沿って移動可能とする移動機構７９を有している。移動機構７９は、ノズル７３の移動をガイドするガイド部７９ａと、該ガイド部７９ａに対してノズル７３を移動させる駆動力を伝達する駆動部７９ｂとを含む。ノズル７３は、取付アーム７８を介してガイド部７９ａに接続されている。

駆動部７９ｂは、例えばラックアンドピニオン機構によりガイド部７９ａ側に駆動力を伝達するようになっている。これにより、ノズル７３は同図矢印Ｂで示されるようにフィルム６０の幅方向に沿って移動可能となっている。よって、ノズル７３はフィルム６０の幅方向の全域に亘って接着剤または粘着剤を噴射可能となっている。

回動部７５はモーター等から構成されている。本体部７４は、その中央部において回動部７５に取り付けられている。これにより、本体部７４は、回動部７５により中央部を基準に揺動可能とされている。ノズル７３は本体部７４の揺動動作とは独立して本体部７４の移動機構７９によって移動可能とされている。なお、以下では、説明の便宜上、ノズル７３の先端７３ａの中心と回動部７５の回転中心とが一致しているものとする。

このような構成に基づき、ノズル７３の先端７３ａは、図７（ｂ）に示すように回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動する。具体的に、ノズル７３の先端は、回動部７５の回転中心Ｃを基準としてＹＺ軸を設定すると、第４象限から第２象限へと至り、円弧を描いて第３象限を経て第１象限へと至り、円弧を描いて第４象限へと至った後、繰り返し同じ軌跡を描くように移動する。なお、本説明ではノズル７３の先端７３ａが第２象限から第３象限に至る際および第１象限から第４象限に至る際、円弧を描いて戻る場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されない。例えば、Ｚ軸方向に沿ってＹ軸を跨ぐように折り返すことで第２象限から第３象限および第１象限から第４象限へと移動する構成であっても構わない。この場合、塗布機構７０は、回動部７５の代わりに本体部７４をＹＺ方向に移動させる移動部を有する。

図８は本実施形態に係る塗布部１０６が接着剤または粘着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。また、図９は比較として回動部７５を有しない塗布部１０６が接着剤または粘着剤を塗布する際のフィルム６０に対するノズル７３の先端７３ａの動きを表した図である。本実施形態に係る塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心Ｃを基準として略８の字状に移動することから、フィルム６０の搬送速度及びノズル７３の移動速度を調整して図８に示すようにノズル７３の先端を所定方向に搬送されるフィルム６０の表面の幅方向に沿って移動させることができる。一方、回動部７５を有しない場合、ノズル７３がフィルム６０の幅方向に移動する間に該フィルム６０自体も搬送されてしまうため、図９に示すようにノズル７３の先端７３ａはフィルム６０の表面に対してジグザグに移動する。

以上述べたように、本実施形態に係る塗布部１０６は、回動部７５を備えることでノズル７３の先端７３ａをフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができるので、接着剤または粘着剤をフィルム６０の全面に亘って均一に塗布することができる。

図１に戻って、上記加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を有している。第１加熱部７６及び第２加熱部７７の加熱温度は、それぞれ異なる値に設定されている。

第１加熱部７６は、フィルム６０に対して第１ベーク処理を行うことで接着剤または粘着剤を仮硬化させるためのものである。第２加熱部７７は、フィルム６０に対して第２ベーク処理を行うことで接着剤または粘着剤を本硬化させるためのものである。

このような構成に基づき、加熱部１０７はフィルム６０を段階的（２段階）に加熱することで接着剤または粘着剤を良好に硬化させることができるようになっている。なお、接着剤または粘着剤が複数（例えば、２種類）の溶剤を含む場合、第１加熱部７６による第１ベーク処理（第１段階目の加熱処理）で接着剤または粘着剤中の第１溶剤を蒸発させ、第２加熱部７７による第２ベーク処理（第２段階目の加熱処理）で接着剤または粘着剤中の第２溶剤を蒸発させて接着剤または粘着剤を乾燥させ、良好に硬化させることができる。

また、加熱部１０７は、第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、１つの加熱部のみでフィルム６０の加熱処理を行う構成のように先のフィルム６０の乾燥処理が終了するまで次のフィルム６０の乾燥処理を開始することができないといった問題が生じることが無い。よって、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。

図１０は塗布部１０６の周辺構成を示す概略図である。図１１はミスト回収機構７１の構成を示す概略図である。ミスト回収機構７１は塗布機構７０のノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布する際に生じるミストを回収するためのものである。

ミスト回収機構７１は、図１０に示すように本体部８０と、ミスト洗浄部８１と、洗浄液循環部８２と、を有している。本体部８０は、塗布部１０６による塗布処理が行われる処理チャンバーを構成している。本体部８０は、フィルム搬送部１０４により搬送されるフィルム６０を内部に搬入或いは内部から搬出させるための開口部８０ａが設けられている。

図１１に示されるように、ミスト洗浄部８１はフィルム６０における接着剤または粘着剤が塗布される面と反対の裏面６０ａ、及び側面６０ｂを覆うように本体部８０内に設置される。ミスト洗浄部８１は、図１０に示したように洗浄液Ｗを貯留する洗浄液貯留部８３と、該洗浄液貯留部８３から溢れ出した洗浄液Ｗが流れる洗浄部８４と、洗浄液受け部８５と、を有している。なお、図１０においては、図を見やすくするため、フィルム６０の裏面６０ａ側に配置されたミスト洗浄部８１のみを図示しているものの、フィルム６０の側面６０ｂ側にも図１１に示したようにミスト洗浄部８１は配置されている。フィルム６０の側面６０ｂ側に配置されるミスト洗浄部８１についても、裏面６０ａ側のミスト洗浄部８１と同一の構成を有している。

洗浄部８４はフィルム６０の搬送方向（Ｚ方向）に沿って延びるブラシ部材から構成され、該ブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっている。洗浄液受け部８５は、洗浄部８４を伝って流れた下方へと流れた洗浄液を受ける容器として機能するものである。

洗浄液受け部８５の下方には、洗浄液Ｗを本体部８０内に連通させる連通部８５ａが設けられ、該連通部８５ａを介して洗浄液受け部８５内の洗浄液が本体部８０の底部８９へと流れ込むようになっている。洗浄液循環部８２は、本体部８０の底部８９に溜まった洗浄液を連通部８９ａを介し、ポンプＰの駆動力によって洗浄部８４の洗浄液貯留部８３に循環させるものである。洗浄液循環部８２はフィルターＦを有しており、該フィルターＦを介して洗浄液を循環させる。これにより、洗浄後に洗浄液に含まれる異物を除去することで洗浄液を再利用することができる。

本実施形態に係る塗布部１０６によれば、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際に生じたミストをミスト回収機構７１により回収できるので、ミストが付着することで貼付装置１００内が汚れるといった不具合の発生を防止できる。

膜厚調整機構７２は、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みが均一になるように調整するものである。図１２は膜厚調整機構７２の周辺構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。

図１２（ａ），（ｂ）に示すように膜厚調整機構７２は、フィルム６０のフィルム端の近傍に設置されるダミーローラー９０と、駆動ローラー９１と、従動ローラー９２と、該ダミーローラー９０、駆動ローラー９１、及び従動ローラー９２に架け渡されるベルト９３と、を備えている。ベルト９３は、フィルム６０と同じ材質であるポリイミドから構成されている。

ダミーローラー９０は、鉛直方向に向けてフィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９０の外径は、該ダミーローラー９０に掛け渡されたベルト９３の表面がフィルム保持ローラー４３に掛け渡されるフィルム６０の表面と略同じ高さとなる大きさに設定されている。また、塗布部１０６は、ベルト９３の表面とフィルム６０の表面が略同じ高さとなる領域において、ノズル７３の先端がフィルム６０の表面に対して接着剤または粘着剤を塗布するように位置合わせされている。

ここで、フィルム６０のフィルム端に膜厚調整機構７２のベルト９３が設けられていない場合、接着剤または粘着剤の飛散条件が変化するフィルム端において接着剤または粘着剤の膜厚が薄くなってしまう。これにより、フィルム６０の幅方向において接着剤または粘着剤の膜厚にバラつきが生じてしまうおそれがある。

これに対し、本実施形態によれば、ノズル７３が対向するフィルム６０のフィルム端の表面と略同じ高さに膜厚調整機構７２のベルト９３の表面が位置するので、接着剤または粘着剤の飛散条件をフィルム端とフィルム中央部とで合わせることができる。よって、フィルム６０の幅方向における接着剤または粘着剤の成膜条件を揃えることで接着剤または粘着剤を均一な膜厚で塗布することが可能となっている。

ところで、本実施形態に係るノズル７３のようなスプレーノズルを用いた場合の塗布面にはムラが生じることがある。
これに対し、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布する構成を採用している。

なお、先端７３ａの開口端がフィルム６０の表面に対向した状態となるようにノズル７３とフィルム６０とが配置されていれば、フィルム６０が必ずしも鉛直方向に沿って搬送されていなくても上述したムラ抑制効果を得ることができる。すなわち、フィルム６０は水平面と交差する方向に沿って搬送されていればよい。このようにフィルム６０が水平面と交差する方向、すなわち水平面に対して傾いた状態に搬送されていれば、ノズル７３の先端７３ａとフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ常に離間した状態となるので、上述した接着剤または粘着剤の塗布面におけるムラの発生を抑制できる。

これによれば、ノズル７３の先端とフィルム６０の表面とは水平方向に所定距離だけ離間した状態とされるので、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）はフィルム６０の表面に到達する前に落下し、フィルム６０に塗布されることがない。一方、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）はノズル７３の先端から所定距離離間した位置に配置されるフィルム６０の表面に到達し、フィルム６０に塗布されることとなる。よって、フィルム６０に均一な粒子を含んだ接着剤または粘着剤を塗布することができるので、接着剤または粘着剤の塗布面に上述したようなムラが発生するのを抑制できる。

なお、ベルト９３の表面に付着した接着剤または粘着剤を洗浄する洗浄装置を設けてもよい。洗浄装置の構成としては、ベルト９３に洗浄液を噴射する構成、或いはベルト９３を洗浄液貯留部にディップさせる構成のいずれであってもよい。これによれば、ベルト９３の表面を常に綺麗な状態に保持することができるので、フィルム６０のフィルム端における接着剤または粘着剤の成膜条件の調整を長期に亘って精度良く行うことができる。

続いて、本実施形態に係る貼付装置１００の動作として、フィルム６０を基板１に貼り付ける動作について説明する。

図１３は貼付装置１００によるフィルム６０の貼付工程を説明するフロー図である。
初めに貼付装置１００ではフィルム繰出部４１にロール体Ｒが取り付けられる（ステップＳ１）。
ロール体Ｒが取り付けられた後、貼付装置１００はフィルム搬送部１０４が駆動し、フィルム６０の巻出しを行う（ステップＳ２）。具体的にフィルム搬送部１０４は、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１を回転駆動させ、フィルム６０を所定方向に沿って搬送する。

貼付装置１００は、フィルム搬送部１０４によるフィルム６０の搬送に合わせて、塗布部１０６を駆動し、接着剤または粘着剤の塗布を行う（ステップＳ３）。具体的に塗布部１０６は、上述のようにノズル７３が回動部７５の回転中心を基準として略８の字状に移動しながらフィルム搬送部１０４によって搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する。塗布部１０６は、ノズル７３を移動機構７９によって移動させつつ、回動部７５によってノズル７３を保持する本体部７４をＸ軸回りに回動させることでノズル７３の先端をフィルム６０の幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることができる（図８参照）。よって、接着剤または粘着剤をフィルム６０の幅方向に亘る全面に均一に塗布することができる。

ところで、フィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、フィルム６０の幅方向のフィルム端では接着剤または粘着剤の飛散条件が変化するため、フィルム端における接着剤または粘着剤の厚みが中央部に比べて薄くなってしまう。これに対して、本実施形態に係る塗布部１０６はノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、膜厚調整機構７２を機能させてフィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みが均一になるように調整する。

具体的に膜厚調整機構７２は、フィルム６０を搬送するフィルム保持ローラー４３の回転と同期させてダミーローラー９０を回転させる。このとき、ダミーローラー９０の表面に掛け渡されたベルト９３の表面とフィルム保持ローラー４３に掛け渡されたフィルム６０の表面とが同じ高さとなっている。

これによれば、フィルム端近傍においてフィルム６０の表面と同じ高さにベルト９３の表面が位置するので、実質的にフィルム端における接着剤または粘着剤の飛散条件を中央部に合わせることができる。

よって、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤はフィルム６０のフィルム端においても接着剤または粘着剤の飛散条件が変化することがなく、接着剤または粘着剤の成膜条件がフィルム６０の幅方向で安定することで接着剤または粘着剤を均一な条件で塗布することができる。

ノズル７３からフィルム６０に接着剤または粘着剤を塗布する際、ノズル７３からミストが周囲に飛散してしまう。これに対して本実施形態に係る塗布部１０６では、ミスト回収機構７１によりミストを回収することができる。具体的にノズル７３から飛散したミストは、フィルム６０の裏面６０ａ及び側面６０ｂを覆うように設けられたミスト洗浄部８１（ミスト回収機構７１）の洗浄部８４によって捕捉される。

洗浄部８４は上述したようにブラシ部材の表面を伝って下方へと洗浄液が流れる構成となっているため、捕捉されたミストは洗浄液とともに下方に排出される。これによれば、捕捉したミストが洗浄部８４に蓄積してしまうといったことがなく、安定的にミストを回収することができる。

ミストを回収した洗浄液は洗浄液受け部８５から本体部８０の底部へと流れ込み、洗浄液循環部８２のフィルターＦで異物が除去された後、洗浄部８４に再度循環される。

また、本実施形態においては、鉛直方向（Ｚ方向）に沿って搬送されるフィルム６０に対してノズル７３から接着剤または粘着剤を塗布するので、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の粒子のうち、粒子が荒いもの（粒の大きいもの）がフィルム６０に塗布されるのを防止し、粒子が細かいもの（粒の小さいもの）のみをフィルム６０に塗布することができる。このようにして塗布された接着剤または粘着剤は均一な粒子を含むので、ムラの発生が抑制された状態で塗布されたものとなる。この接着剤または粘着剤は表面のムラが少ないため、後工程で行われる基板１に貼り付けられた場合であっても主フィルム材６１の平面度を低下させるといった不具合の発生を防止できる。

フィルム搬送部１０４は、塗布部１０６によって接着剤または粘着剤が塗布されたフィルム６０を加熱部１０７へと搬送し、フィルム６０を加熱する（ベーク処理）ことで接着剤または粘着剤を硬化させる。具体的に加熱部１０７は、まず第１加熱部７６によってフィルム６０に対して第１（１ｓｔ）ベーク処理を行う（ステップＳ４）。続いて、加熱部１０７は、第２加熱部７７によってフィルム６０に対して第２（２ｎｄ）ベーク処理を行う（ステップＳ５）。第１加熱部７６及び第２加熱部７７における加熱温度は、接着剤または粘着剤の種類、膜厚等の条件により適宜変更される。

このように本実施形態では、加熱部１０７が第１加熱部７６及び第２加熱部７７を用いて１枚のフィルム６０の加熱処理を行うので、順次加熱部１０７内にフィルム６０を搬送することができ、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。

フィルム搬送部１０４は、加熱部１０７による加熱処理後のフィルム６０をカッター部４８へと搬送し、フィルム６０をカットする（ステップＳ６）。カッター部４８は、図５に示したようにフィルム支持部１６２上のフィルム６０に対して回転刃１６１を押し付け、フィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８によるカット後のフィルム６０は、主フィルム材６１が所定の長さに切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となる。

具体的にカッター部４８は、上述のように貼付部分及び非貼付部分を含むように主フィルム材６１のみを切断する。カッター部４８は、回転刃１６１がフィルム６０の一端側から他端側に向かって移動することでフィルム６０を簡便且つ確実に切断することができる。また、回転刃１６１を採用することで簡便且つ確実にフィルム６０を切断することができる。また、刃洗浄部１６３を備えるので、回転刃１６１が洗浄されることで回転刃１６１による切断性能を維持することができ、結果的に回転刃１６１の寿命を延ばすことができる。
また、本実施形態に係るカッター部４８は、スポンジ部材１６３ａに接触した状態で回転刃１６１を回転駆動させるので、前記回転刃１６１の先端に付着した粘着層６３を確実に洗浄して除去することができる。

なお、本実施形態では、カッター部４８が回転刃１６１を備える場合を例に挙げたが、カッター刃は必ずしも回転方式を採用する必要は無く、回転しない刃をフィルム６０の幅方向に移動させることでフィルム６０（主フィルム材６１）を切断する構成を採用してもよい。

ところで、フィルム６０の切断時、フィルム６０の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム６０は、切断部分以外においてフィルム搬送部１０４による搬送が継続されている。そのため、カッター部４８を介してフィルム６０の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。

これに対し、本実施形態では、タイミング調整部４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整する。タイミング調整部４７は、搬送ローラー２４１によりフィルム６０に付与する張力を自在に調整するとともに該フィルム６０の搬送経路を変更し、フィルム６０におけるカッター部４８とタイミング調整部４７（搬送ローラー２４１）との距離を延ばすことができる。よって、フィルム６０におけるカッター部４８までの見掛け上の搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を全体で調整することで搬送速度のバラツキに起因してフィルム６０にダブつきが生じるのを防止することができる。また、本実施形態では、タイミング調整部４７がレバー部材２４２を回動させるという簡便な方式を採用するので、装置全体の小型化及び低コスト化を図ることも可能となる。

よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。

続いて、カットしたフィルム６０の貼付工程を行う。貼付装置１００は、フィルム６０の貼付を行うに先立ち、基板供給部１０２のカセット１０２ａ内から引き出し、基板搬送部１０３によって基板１の搬送を開始する（ステップＳ７，Ｓ８）。

基板搬送部１０３は、基板１をフィルム貼付部１０５まで移動させる。フィルム貼付部１０５は、基板搬送部１０３によって搬送される基板１に対してフィルム６０の貼付を行う（ステップＳ９）。なお、基板搬送部１０３は、基板１の搬送方向先端がフィルム貼付部１０５に到達するタイミングを、フィルム搬送部１０４に搬送されるフィルム６０の貼付部分がフィルム貼付部１０５に到達する同期させるように基板１の搬送速度を制御する。

具体的に基板１は、第１基板搬送ローラー部３０及び第２基板搬送ローラー部３１を経て、第３基板搬送ローラー部３２（搬送ローラー３２ａ）へと搬送される。フィルム搬送部１０４は、第３基板搬送ローラー部３２に基板１が到達するタイミングに合わせてフィルム貼付ローラー４０を下降させる。これにより、フィルム貼付ローラー４０は、基板搬送部１０３の搬送ローラー３２ａ（第３基板搬送ローラー部３２）上に位置する基板１に対してフィルム６０（貼付部分）の押し付けを開始する。

フィルム貼付ローラー４０は、フィルム６０における貼付部分の主フィルム材６１を基板１に貼り付ける。フィルム６０はカッター部４８による切断工程によって、主フィルム材６１が所定の長さ（貼付部分又は非貼付部分）に切断された状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態となっている。

具体的にフィルム貼付ローラー４０は、上述のようにフィルム６０の貼付部分に相当する主フィルム材６１の搬送方向先端部と基板１の搬送方向先端とを一致させるタイミングで下降する。貼付部分の主フィルム材６１は、フィルム貼付ローラー４０と搬送ローラー３２ａとの間で基板１とともに挟持され、主フィルム材６１が接着剤Ｎを介して基板１に接着される。

フィルム貼付ローラー４０を経由したフィルム６０は中継ローラー５２、５３を経由してフィルム巻取部５１によって巻き取られる。ここで、中継ローラー５２はフィルム貼付ローラー４０によるフィルム貼付位置よりも上方（Ｚ方向）に位置しているため、フィルム６０はフィルム貼付ローラー４０を経て上方に向かって急峻に折り曲げられる。

よって、中継ローラー５２により上方に折り曲げられたフィルム６０は、主フィルム材６１のみが接着剤Ｎを介して基板１に残り、保護材６２のみが中継ローラー５２側に搬送されることで主フィルム材６１と保護材６２とが分離される（ステップＳ１０）。フィルム６０から分離された保護材６２は、中継ローラー５２，５３を介してフィルム巻取部５１に巻き取られる（ステップＳ１１）。

本実施形態では、上述のように基板１の搬送方向後端部がフィルム貼付位置１０５ａを通過することで該フィルム貼付部１０５によるニップ力が働かなくなった場合であっても、フィルム貼付位置１０５ａの近傍且つフィルム貼付位置１０５ａにおける基板１の上面よりも低い位置に設けられた基板当接部１３６により基板１を下方に撓ませるように上面を押さえつつ、吸着部５５により基板１の下面１ａを吸着保持することができる。

これにより、幅方向の全域に亘って基板１を良好に保持できるので、基板１の搬送方向後端部がフィルム巻取部５１に巻き取られる保護材６２とともに上方に持ち上がることを防止できる。また、上述のように、基板１の搬送方向後端部がフィルム貼付位置１０５ａを通過するタイミングに合わせて、フィルム貼付ローラー４０が上方に移動しつつ逆回転することで基板１の跳ねによる不具合（基板１の破損や貼付不良）の発生を防止できる。

フィルム貼付部１０５によって主フィルム材６１の貼付部分が貼り付けられた基板１は、第４基板搬送ローラー部３３、第５基板搬送ローラー部３４へと順に搬送された後、不図示の基板搬出用カセット内へと収容される（ステップＳ１２）。

貼付装置１００は基板供給部１０２内の所定枚数の基板１に対して主フィルム材６１（フィルム６０）の貼付が終了するまで、上述したステップＳ１乃至ステップＳ１２に係るフィルム貼付処理工程ＳＳ１を繰り返す（ステップＳ１３）。以上により、貼付装置１００は所定枚数の基板１に対してフィルム６０を良好に貼り付けることができる。

以上述べたように本実施形態によれば、フィルム６０に接着剤または粘着剤を塗布する塗布工程、フィルム６０を切断する工程、及びフィルム６０を基板１に貼り付ける工程を一貫したラインで行うことができるので、効率良くフィルム６０を基板１に貼り付けることができる。また、位置補正機構１１１が基板１に対するフィルム６０の幅方向における相対位置、すなわち位置ずれを補正するため、基板１とフィルム６０とを精度良く貼り付けることができる。また、本実施形態では、基板当接部１３６および吸着部５５を備えることで基板１の跳ねによる破損および貼付不良が防止された信頼性の高い貼付装置１００を提供できる。

また、貼付装置１００において、上記基板当接部１３６が当接ローラー１３６ａを主体に構成されるので、当接時に基板１の表面にダメージを与えることが防止される。また、当接ローラー１３６ａが回転することで基板１の搬送を妨げることが防止される。

また、貼付装置１００において、基板当接部１３６は、バネ部材１３６ｂにより少なくとも上下方向に変位可能とされているので、基板１と基板当接部１３６とが接触した際、基板当接部１３６がバネ部材１３６ｂにより上方向に変位して退避することで基板当接部１３６の下方に基板１をスムーズに導くことができる。よって、基板当接部１３６により基板１の搬送が妨げられるといった不具合の発生を防止できる。

また、貼付装置１００において、基板当接部１３６は、ニップローラーを構成する上側ローラー３３ｂよりも鉛直方向下側に配置されるので、基板１の搬送方向前端側がニップされた状態において、搬送方向後端側が基板当接部１３６に当接した際に下方に撓んだ状態とすることができる。よって、基板当接部１３６が基板１の搬送方向後端部を確実に抑えることで基板１が跳ねるのをより確実に防止できる。

また、貼付装置１００は、接着剤または粘着剤を塗布したフィルム６０を所定の長さに切断するので、フィルム６０として長尺状のロール体Ｒから巻き出したものを使用できる。よって、フィルム６０を貼り付ける対象となる基板１として種々の大きさのものを使用する事ができ、汎用性の高い貼付装置となる。また、ロール体Ｒから巻き出されたフィルム６０を複数の基板１に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程を効率的に行うことができる。

また、貼付装置１００においては、フィルム巻取部５１が保護材６２を巻き取る動作により、フィルム６０の搬送動作を簡便且つ確実に行うことができる。

また、貼付装置１００は、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルム６０に対して接着剤または粘着剤が塗布されるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルム６０に安定した膜厚の接着剤または粘着剤を塗布することができる。よって、接着剤または粘着剤の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。よって、基板１とフィルムとの接着性を向上させることができる。

なお、本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、発明の趣旨を逸脱しない範囲内において適宜変更が可能である。例えば、上記実施形態においては、基板１の搬送方向後端がフィルム貼付位置１０５ａに到達したタイミングで、フィルム貼付ローラー４０を上昇させるとともに逆回転させる場合を例に挙げたが、上昇動作および逆回転動作のいずれか一方のみを行う構成としても良い。
また、上記実施形態においては、フィルム繰出部４１及びフィルム巻取部５１のいずれにも駆動部を設ける場合を例に挙げたが、フィルム巻取部５１のみに駆動部を設け、フィルム巻取部５１を主動して回転させることで従動回転するフィルム繰出部４１から巻き解いたフィルム６０を巻き取る構成としてもよい。

また、上記実施形態では、加熱部１０７がフィルム６０を２段階で加熱する場合を例に挙げたが、フィルム６０を１段階或いは３段階以上で加熱するようにしてもよい。

（第二実施形態）
次に、第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図１４は第二実施形態に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置１００Ａにおいては、図１４に示すように装置筐体１０１内に複数のイオナイザー１１０を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム６０の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム６０の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム６０が良好に搬送されて基板１への貼付を行うことができる。

また、図１４に示すように加熱部１０７のフィルム６０の搬送方向下流側に冷却部１０８を設けるようにしても構わない。これによれば、加熱部１０７で加熱されたフィルム６０を冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。よって、フィルム６０の搬送経路を短くすることができ、フィルム搬送部１０４が小型化されて貼付装置１００自体の小型化を実現できる。

（第三実施形態）
次に、第三実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

上記実施形態においては、膜厚調整機構７２として、ベルト９３の表面をフィルム６０の表面と略同じ高さに設定したものを例示したが、本実施形態では、ベルト９３を用いずにダミーローラー９０の表面とフィルム６０の表面との高さを一致させる構成を採用している。この場合、ダミーローラー９０の材質としては、表面粗さの低い、例えばＳＵＳ、樹脂、アルミニウム等を用いるのが好ましく、これによれば接着剤または粘着剤をフィルム６０のフィルム端における接着剤または粘着剤の成膜条件を良好に調整して整えることができる。

図１５は第三実施形態に係る膜厚調整部の構成を示す図であり、同図（ａ）は斜視図であり、同図（ｂ）は断面図である。本実施形態においては、図１５（ａ）、（ｂ）に示すようにダミーローラー９５の回転軸をフィルム保持ローラー４３に一体形成し、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転する構成を採用する。

本実施形態においては、図１５（ａ）、（ｂ）に示すようにフィルム保持ローラー４３と一体に形成されたダミーローラー９５が膜厚調整部を構成する。ダミーローラー９５は、フィルム保持ローラー４３と同軸で回転する。ダミーローラー９５は、表面９５ａがフィルム６０の表面と同じ高さに設定されている。すなわち、ダミーローラー９５は、フィルム６０を保持するフィルム保持ローラー４３よりもフィルム６０の厚み分だけ外径が大きく構成されている。

ところで、ノズル７３からフィルム６０に対して接着剤または粘着剤を塗布する際、ノズル７３から飛散したミストがダミーローラー９５に付着してしまう。本変形例では、ダミーローラー９５の表面に当接するスキージ部材９６を配置している。スキージ部材９６は、ダミーローラー９５におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面に当接する。スキージ部材９６の材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればダミーローラー９５に傷をつけることなく、前記ダミーローラー９５に付着したミストを良好に掻き取ることができる。これにより、スキージ部材９６は、ノズル７３から飛散してダミーローラー９５の表面に付着したミストを掻き取ることができる。スキージ部材９６が掻き取ったミストは図１０に示したミスト回収機構７１における本体部８０の底部８９に貯留されている洗浄液Ｗに回収させてもよいし、別途回収機構を設けるようにしてもよい。

これによれば、ダミーローラー９５のみで本発明の膜厚調整部が構成されて部品点数を少なくすることができ、コスト低減を図ることができる。また、ダミーローラー９５とフィルム保持ローラー４３とが一体に回転するため、これらダミーローラー９０およびフィルム保持ローラー４３における駆動部を共通化することができ、コスト低減を図ることができる。

（第四実施形態）
次に、第四実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

上記第一実施形態では、タイミング調整部４７として、搬送ローラー２４１によりフィルム６０に付与する張力を自在に調整するとともに該フィルム６０の搬送経路を変更する構成を例示したが、本発明はこれに限定されることはない。

図１６は、本実施形態に係る貼付装置１００Ｂの概略構成を示す図である。
図１６に示すように、本実施形態に係る貼付装置１００Ｂは、搬送経路調整部４２と同様の構成を採用したタイミング調整部２４７を備えている。

タイミング調整部２４７は、フィルム６０の裏面側に当接する当接ローラー部１４７と、該当接ローラー部１４７を保持する保持部１４８と、該保持部１４８をフィルム６０の搬送方向（Ｘ方向）に沿って移動可能な駆動部１４９と、を有している。

タイミング調整部２４７は、フィルム６０がカッター部４８により切断される際、フィルム６０が一度停止する部分と他の搬送途中の部分とで搬送速度を合わせるべく、当接ローラー部１４７を搬送方向上流側（＋Ｘ方向）に移動させる。これにより、カッター部４８とタイミング調整部４７（当接ローラー部１４７）との距離が長くなるので、見掛け上のフィルム６０のカッター部４８までの搬送速度を低くすることができ、フィルム６０の搬送速度を合わせることで搬送速度のバラツキに起因するフィルム６０のダブつきを防止することができる。

本実施形態においても、タイミング調整部２４７がフィルム６０の切断時に生じる搬送速度のバラツキを調整するので、フィルム６０の搬送速度を合わせることでフィルム６０にダブつきが生じるのを防止できる。
よって、フィルム搬送部１０４はフィルム６０の搬送不良を生じさせることなく、搬送状態のままでフィルム６０をカッター部４８によって良好に切断することができる。また、フィルム搬送部１０４は、カッター部４８による切断作業ごとにフィルム６０の搬送を一時停止する必要が無くなるので、フィルム６０の貼付に要する作業時間を短縮できる。

（第五実施形態）
次に、第五実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

上記第一実施形態においては膜厚調整機構７２を備えることで、フィルム６０の幅方向におけるフィルム端に塗布される接着剤または粘着剤の厚みを均一にする場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、膜厚調整機構７２を有していなくてもよい。

図１７は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成としてフィルム保持ローラー４３の周辺構成の拡大図である。
図１７に示すように、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を洗浄するローラー洗浄部１５０を備えている。

本実施形態において、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０の搬送方向に交差する方向における幅がフィルム６０の幅よりも大きくなっている。そのため、フィルム保持ローラー４３は、接着剤または粘着剤がノズル７３から塗布される際、フィルム６０の全面を保持することで接着剤または粘着剤の塗布面にしわや弛みが生じることを防止する。よって、フィルム６０には、接着剤または粘着剤がムラなく塗布されるようになる。

一方、フィルム保持ローラー４３は、フィルム６０よりも幅が大きいため、フィルム６０を保持した際に両端部が露出した状態となる。そのため、ノズル７３から塗布された接着剤または粘着剤の一部がフィルム保持ローラー４３にも付着してしまう。これに対し、本実施形態においては、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を洗浄する上記ローラー洗浄部１５０を備えた構造を採用している。

ローラー洗浄部１５０は、フィルム保持ローラー４３における接着剤または粘着剤が付着した部分に少なくとも洗浄液を塗布する洗浄液塗布部１５０ａと、洗浄液が塗布されたフィルム保持ローラー４３の表面４３ａに摺接するスキージ部材１５０ｂとを含む。

洗浄液塗布部１５０ａは、例えば、スプレーノズル等から構成され、フィルム６０における接着剤または粘着剤の塗布面に対向しない方向から洗浄液を塗布するように配置される。本実施形態において、洗浄液塗布部１５０ａは、フィルム６０の搬送方向と平行に配置され、フィルム保持ローラー４３に対して上方から洗浄液を塗布する。これにより、フィルム６０における接着剤または粘着剤の塗布領域に洗浄液が付着するといった不具合の発生を防止している。

スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち、少なくとも洗浄液が付着した部分を摺接する。本実施形態において、スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３と同じ幅を有しており、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａの全面を一括的に払拭することが可能とされている。なお、スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３の表面４３ａのうち洗浄液が付着する端部のみを払拭する構成を採用してもよく、この場合、２つのスキージ部材１５０ｂを用意し、フィルム保持ローラー４３の両端部の表面４３ａに摺接させるようにすればよい。

スキージ部材１５０ｂは、フィルム保持ローラー４３におけるフィルム６０との当接部分よりも回転方向における下流側の表面４３ａに当接する。スキージ部材１５０ｂの材料としては、ゴム、樹脂等を用いるのが好ましく、これによればフィルム保持ローラー４３に傷をつけることなく、前記フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤および洗浄液を良好に掻き取ることができる。

以上のように、本実施形態によれば、膜厚調整機構７２を有さない構成を採用した貼付装置であっても、ローラー洗浄部１５０を備えるので、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤を良好に除去することができる。よって、フィルム保持ローラー４３に付着した接着剤または粘着剤により、装置内部が汚染されるといった不具合の発生を防止することができる。

（第六実施形態）
次に、第六実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

上記第一実施形態においては、カッター部４８が回転刃１６１によって主フィルム材６１を幅方向に沿って切断する場合を例に挙げたが、本発明はこれに限定されず、カッター部として別の構成を採用してもよい。

図１８は、本実施形態に係る貼付装置の要部構成であるカッター部およびその周辺の概略構成を示す図である。
カッター部１６０は、図１８に示すようにフィルム６０を切断（カット）するための刃４８ａと、刃４８ａに対向配置される台座部４８ｂとを有する。カッター部１６０は、台座部４８ｂ上のフィルム６０に対して刃４８ａを押し付けることでフィルム６０を切断可能となっている。具体的にカッター部４８は、図１８に示すようにフィルム６０のうち、主フィルム材６１のみを切断可能な位置まで刃４８ａを押し付ける。これにより、フィルム６０は主フィルム材６１が所定の長さにカットした状態で粘着層６３により保護材６２に貼り付けられた状態とすることができる。

以上述べたように、本実施形態によれば、カッター部１６０が刃４８ａをフィルム６０の幅方向の全体に亘って刃４８ａを押し付けることで該フィルム６０を一括的に簡便且つ確実に切断することができる。

（第七実施形態）
次に、第七実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。

図１９は、本実施形態に係る貼付装置１００Ｃの概略構成を示す図である。
図１９に示すように、本実施形態に係る貼付装置１００Ｃは、基板１に貼り付けられたフィルムを検査する検査部１７０を備えている。検査部１７０は、第４基板搬送ローラー部３３と、第５基板搬送ローラー部３４との間に配置される。

検査部１７０は、基板搬送ローラー部１７１と、基板１に貼り付けられたフィルム（主フィルム材６１）を撮像する撮像部１７２と、撮像部１７２による撮像結果に基づいて検査結果を判定する判定部１７３と、を含む。

基板搬送ローラー部１７１は、複数（本実施形態では４つ）の従動ローラー１７１ａを有している。これにより、基板搬送ローラー部１７１は、第４基板搬送ローラー部３３から搬送された基板１を受け取って、第５基板搬送ローラー部３４に受け渡すように移動させる。

撮像部１７２は、例えば、ＣＣＤセンサ等によって構成される。このＣＣＤセンサは、マトリクス状に配列された複数の画素を含んでいる。ＣＣＤセンサの各画素は、例えばフォトダイオード等の受光素子と、薄膜トランジスター等のスイッチング素子とを含む。

判定部１７３は、撮像部１７２が撮像した画像に基づいて、基板１に貼り付けられたフィルムの状態を判定するためのものである。判定部１７３は、演算回路等のハードウエアーにより構成されていてもよいし、プログラム等のソフトウエアーによって実現されていてもよい。

図２０は、検査部１７０によるフィルム（主フィルム材６１）の検査方法の一例を説明するための図である。
図２０に示すように、検査部１７０は、主フィルム材６１が貼り付けられた基板１の四隅を撮像部１７２により撮像し、撮像した画像Ｇを判定部１７３に送信する。判定部１７３は、撮像部１７２から送信された画像Ｇについて、基板１および主フィルム材６１の角部を構成するそれぞれの縁辺部間の距離Ｄ１、Ｄ２を算出する。

判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２とあらかじめ記憶しておいた閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値以上となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して曲がった状態に貼り付けられたものと判断し、基板１を不良品として判定する。一方、判定部１７３は、算出した距離Ｄ１、Ｄ２と上記閾値とを比較し、閾値と距離Ｄ１、Ｄ２との差がそれぞれ所定値未満となる場合に主フィルム材６１が基板１に対して良好に貼り付けられたものと判断し、基板１を良品として判定する。

このように本実施形態によれば、検査部１７０を備えるので、基板１に対するフィルム（主フィルム材６１）の貼付状態を判定することができるので、基板１の良品或いは不良品の判定を容易に行う事ができる。よって、フィルムの貼付状態が良好でない不良品の基板１を選別して、予め排除することが可能な貼付装置１００Ｂを提供することができる。なお、本説明では、基板１の四隅を撮像部１７２により撮像する場合を例に挙げたが、これに限定されず、基板１の四隅のいずれか２個のみを撮像するようにしてもよい。

１…基板、１ａ…下面、Ｒ…ロール体、Ｎ…接着剤、ＣＯＮＴ…制御装置、４８、１６０…カッター部、５５…吸着部、５６…吸着パッド部、６０…フィルム、６１…主フィルム材、６２…保護材、１００、１００Ａ、１００Ｂ、１００Ｃ…貼付装置、１０４…フィルム搬送部、１０５…フィルム貼付部、１０５ａ…フィルム貼付位置、１０６…塗布部、１３６ａ…当接ローラー、Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３…高さ。

Claims (12)

1. 主フィルム材と保護材とを含むフィルムを搬送する搬送部と、
   前記フィルムの前記主フィルム材に塗布液を塗布する塗布部と、
   前記塗布液が塗布された前記主フィルム材を所定の長さに切断するカッター部と、
   フィルム貼付位置において前記フィルムから前記保護材を剥離するとともに前記主フィルム材のみを前記塗布液を介して基板の上面に貼り付ける貼付部と、
   前記貼付部によるフィルム貼付位置の近傍、且つ前記フィルム貼付位置における前記基板の上面よりも低い位置に設けられ、前記主フィルム材が貼り付けられた前記基板の上面に当接する当接ローラーと、
   前記当接ローラーと異なる位置において、前記基板の搬送方向後端の下面を吸着する吸着部と、
   を備えることを特徴とする貼付装置。
2. 前記貼付部は、前記搬送部の一部を構成し、前記基板を搬送する搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで前記主フィルム材を前記基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーを含み、
   前記フィルム貼付ローラーは、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて上昇することを特徴とする請求項１に記載の貼付装置。
3. 前記フィルム貼付ローラーは、前記基板から上昇する際、逆回転する
   ことを特徴とする請求項２に記載の貼付装置。
4. 前記吸着部は、前記基板の下面に対して進退可能とされる吸着パッドを含む
   ことを特徴とする請求項１〜３のいずれか一項に記載の貼付装置。
5. 前記当接ローラーおよび前記吸着部は、前記基板の幅方向に沿ってそれぞれ配置される
   ことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載の貼付装置。
6. 前記当接ローラーは、前記基板の幅方向における両端部に配置され、
   前記吸着部は、前記基板の幅方向における中央部に配置されていることを特徴とする請求項５に記載の貼付装置。
7. 前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、
   前記搬送部は、前記フィルム貼付位置において前記主フィルム材から剥離された前記保護材を巻き取る巻取部を有し、前記巻取部による前記保護材の巻取動作に基づいて前記ロール体から巻き出した前記シート部材を前記基板に搬送することを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載の貼付装置。
8. 前記塗布部が前記塗布液として接着剤または粘着剤を塗布することを特徴とする請求項１〜７のいずれか一項に記載の貼付装置。
9. 前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載の貼付装置。
10. 主フィルム材と保護材とを含むフィルムを搬送する搬送工程と、
    前記フィルムの前記主フィルム材に塗布液を塗布する塗布工程と、
    前記塗布液が塗布された前記主フィルム材を所定の長さに切断する切断工程と、
    フィルム貼付位置において前記フィルムから前記保護材を剥離するとともに前記主フィルム材のみを前記塗布液を介して基板の上面に貼り付ける貼付工程と、
    前記フィルム貼付位置の近傍、且つ前記フィルム貼付位置における前記基板の上面よりも低い位置において、前記主フィルム材が貼り付けられた前記基板の上面に当接ローラーを当接させつつ、前記当接ローラーと異なる位置において前記基板の搬送方向後端の下面を吸着する貼付補助工程と、
    を備えることを特徴とする貼付方法。
11. 前記貼付工程においては、前記搬送部の一部を構成し、前記基板を搬送する搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで前記主フィルム材を前記基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーが、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて上昇することを特徴とする請求項１０に記載の貼付方法。
12. 前記貼付工程においては、前記フィルム貼付ローラーは、前記基板から上昇する際、逆回転することを特徴とする請求項１０又は１１に記載の貼付方法。

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