WO2013129561A1 - 貼付装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年3月1日に、日本に出願された特願2012-045702号、特願2012-045703号及び特願2012-045704号に基づき優先権を主張し、その内容をここに援用する。
この構成によれば、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。
この構成によれば、フィルムを加熱することで該フィルムに塗布された塗布液を良好に乾燥させることができる。
この構成によれば、フィルムが段階的に加熱されるので、フィルムに塗布された塗布液を効率よく加熱して乾燥させることができる。加熱部は、例えば塗布液として2種類の溶剤を含むものを用いた場合、第1段階目の加熱処理で該塗布液中の第1溶剤を蒸発させ、第2段階目の加熱処理で該塗布液中の第2溶剤を蒸発させて塗布液を乾燥させ、良好に硬化させることができる。また、複数の加熱部がフィルムを段階的に加熱する構成を採用すれば、複数のフィルムを順次加熱することができる。よって、先のフィルムの乾燥処理が終了するまで次のフィルムの乾燥処理を開始することができないためにフィルム搬送を停止或いは搬送速度を低くする必要が無くなるので、加熱処理に要するタクトを短縮することができる。
この構成によれば、塗布ノズルから飛散したミストを回収することでミストが飛散して装置内が汚れるのを防止することができる。
この構成によれば、フィルムの裏面及び側面を覆うようにミスト回収部が配置されるので、塗布ノズルから塗布液が塗布された際に飛散したミストをミスト回収部によって良好に回収することができる。
この構成によれば、膜厚調整部によってフィルム端の膜厚が調整されるので、幅方向の全域において塗布液の膜厚を均一化させることができる。
この構成によれば、タイミング調整部によってフィルムの搬送タイミングを調整することで、フィルムを搬送した状態のままカッターによる切断工程および貼付部によるフィルムの貼付工程を実行することができる。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。
例えば複数の基板に対して連続的にフィルムの貼付を行う際、基板の搬送方向後端においてはフィルムの貼付が不十分となる可能性がある。そこで、本構成によれば、貼付補助部が搬送方向後端におけるフィルムの貼付を補助するので、基板の全面にフィルムを良好に貼り付けることができる。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーが基板の搬送方向先端がフィルム貼り付け位置に到達するタイミングに合わせて下降するので、基板に対してフィルムを良好に位置合わせして貼り付けることができる。また、基板の搬送方向後端がフィルム貼り付け位置に到達する前のタイミングに合わせて上昇するので、次の基板に貼り付けられるフィルムがフィルム貼付ローラー及び第1搬送ローラー間に巻き込まれるのを防止することができる。また、フィルム貼付ローラーが上昇することでフィルムの貼付が不十分となった基板の搬送方向後端では、貼付補助ローラー及び第2搬送ローラー間でフィルム及び基板が挟まれることでフィルムの後端の切断部分を確実に基板に貼り付けることができる。よって、貼付部によるフィルム貼付を貼付補助部が良好に補う、すなわち補助することができる。
この構成によれば、貼付補助ローラーが第2搬送ローラーに対して昇降可能とされるので、該貼付補助ローラーは基板の任意の位置から当接することができる。よって、例えば基板の搬送先端から該基板を第2搬送ローラーとの間で挟持することでフィルムを基板に確実に貼り付けることができる。
この構成によれば、基板に貼り付けられる主フィルム材が保護材によって保護されているので、基板に貼り付けられる前の主フィルム材に傷が付くのを防止することができる。
この構成によれば、例えば基板の搬送速度、フィルム貼付ローラーの昇降速度等に応じて適宜設定された非貼付部分を備えることで、フィルムの貼付開始位置と基板の搬送方向先端との位置合わせを容易なものにすることができる。
この構成によれば、フィルム貼付ローラーを経由したフィルムは上方に向かって急峻に折り曲げられることになるので、カッターによってカットされた主フィルム材のみが基板に貼り付けられ、主フィルム材から保護材を分離することができる。
この構成によれば、ロール体から巻き出されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。
この構成によれば、タイミング調整部によってフィルムの搬送タイミングを調整することで、フィルムを搬送した状態のままカッターによる切断工程および貼付部によるフィルムの貼付工程を実行することができる。
この構成によれば、塗布ノズルがフィルムの幅方向に沿って相対的に往復動作するので、上述したように塗布ノズルの先端をフィルムの幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動させることで、塗布液をフィルムの全面に亘って均一に塗布することができる。
この構成によれば、塗布ノズルを上述したように略8の字状に移動させることができるので、塗布ノズルの先端がフィルムの幅方向及び搬送方向の全域に亘って隙間なく移動することで塗布液をフィルムの全面に亘って均一に塗布することができる。
この構成によれば、塗布ノズルから飛散したミストを回収することでミストが飛散して装置内が汚れるのを防止することができる。
この構成によれば、フィルムの裏面及び側面を覆うようにミスト回収部が配置されるので、塗布ノズルから塗布液が塗布された際に飛散したミストをミスト回収部によって良好に回収することができる。
この構成によれば、膜厚調整部によってフィルム端の膜厚が調整されるので、幅方向の全域において塗布液の膜厚を均一化させることができる。
この構成によれば、ロール体から巻き出されてカッターにより所定の長さに切断されたフィルムを複数の基板に対して順次貼り付けることができ、貼り付け工程をより効率的に行うことができる。
この構成によれば、フィルムに塗布液をスプレー噴射することで効率的に塗布液を塗布することができる。
この構成によれば、塗布部が接着剤を塗布するので、該接着剤によりフィルムと基板とを簡便に貼り付けることができる。
この構成によれば、洗浄部の洗浄処理によってゴミ等の異物が除去されたフィルムに対して塗布液を塗布できるので、塗布液とフィルムとの密着性を向上させることができる。
この構成によれば、水平面と交差する方向、例えば鉛直方向に沿って搬送されるフィルムに対して塗布液が塗布されるので、塗布時に飛散して下方に落下したミストが付着することが防止され、フィルムに安定した膜厚の塗布液を塗布することができる。よって、塗布液の塗布面にムラが発生するのを抑制できる。
この構成によれば、加熱部で加熱されたフィルムを冷却して短時間で所定温度まで下げることができる。
この構成によれば、レバー部材の回動量に基づいてローラー部材によるフィルムの押し込み量を調整することでフィルムの搬送タイミングを任意に設定することができる。
この構成によれば、検査装置により基板に貼り付けられたフィルムを検査することができるので、貼付状態が不良の基板を選別することができる。
この構成によれば、搬送部がフィルムよりも広い幅のフィルム保持ローラーを備えるので、フィルムを確実に保持して搬送することができる。また、塗布部がローラー洗浄部を備えるので、フィルム保持ローラーに付着した塗布液を良好に除去することができる。よって、順次搬送されるフィルムがフィルム保持ローラーに当接した際に、フィルム保持ローラーに付着した塗布液によって汚れるといった不具合の発生を防止できる。
この構成によれば、カッター刃がフィルムの一端側から他端側に向かって移動することでフィルムを簡便且つ確実に切断することができる。
この構成によれば、カッター刃が洗浄されることでカッター刃による切断性能を維持することができ、結果的にカッター刃の寿命を延ばすことができる。
この構成によれば、簡便且つ確実にカッター刃を洗浄することができる。
この構成によれば、簡便且つ確実にフィルムを切断することができる。
図1は本実施形態に係る貼付装置の概略構成を示す側面図である。
図1に示すように、貼付装置100は、装置筐体101、基板供給部102、基板移動部103、フィルム搬送部104、フィルム貼付部105、貼付補助部135、塗布部106、及び加熱部107を備えている。
第2基板搬送ローラー部31は、複数(本実施形態では3つ)のローラー対131を有している。各ローラー対131は、下側ローラー31a及び上側ローラー31bを有している。基板1は、これらローラー31a,31b間に挟持された状態で搬送されるようになっている。
カッター部48は、図3に示すようにフィルム60を切断(カット)するための刃48aと、刃48aに対向配置される台座部48bとを有する。カッター部48は、台座部48b上のフィルム60に対して刃48aを押し付けることでフィルム60を切断可能となっている。具体的にカッター部48は、図3に示すようにフィルム60のうち、主フィルム材61のみを切断可能な位置まで刃48aを押し付ける。これにより、フィルム60は主フィルム材61が所定の長さにカットした状態で粘着層63により保護材62に貼り付けられた状態とされている。図3においてはフィルム60の主フィルム材61上に塗布された接着剤Nを図示している。
図4Aに示されるように塗布機構70は、接着剤を噴射するノズル73と、本体部74と、本体部74をX軸回りで回動させる回動部75とを含む。ノズル73としては、接着剤をスプレー噴射するスプレーノズルが用いられる。本体部74は、ノズル73をフィルム60の幅方向に沿って移動可能とする移動機構79を有している。移動機構79は、ノズル73の移動をガイドするガイド部79aと、該ガイド部79aに対してノズル73を移動させる駆動力を伝達する駆動部79bとを含む。ノズル73は、取付アーム78を介してガイド部79aに接続されている。
これに対し、本実施形態においては、鉛直方向(Z方向)に沿って搬送されるフィルム60に対してノズル73から接着剤を塗布する構成を採用している。
初めに貼付装置100ではフィルム繰出部41にロール体Rが取り付けられる(ステップS1)。
ロール体Rが取り付けられた後、貼付装置100はフィルム搬送部104が駆動し、フィルム60の巻出しを行う(ステップS2)。具体的にフィルム搬送部104は、フィルム繰出部41及びフィルム巻取部51を回転駆動させ、フィルム60を所定方向に沿って搬送する。
ここで、フィルム60の切断時、フィルム60の搬送が一時的に停止される。一方、フィルム60は、切断部分以外においてフィルム搬送部104による搬送が継続されている。そのため、カッター部48を介してフィルム60の搬送速度に差が生じ、搬送速度のバラツキに起因してフィルム60がダブつくことで結果的に搬送不良が生じてしまう。
次に、第二実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図11は第二実施形態に係る貼付装置の構成を示す図である。貼付装置100においては、図11に示すように装置筐体101内に複数のイオナイザー110を配置するようにしてもよい。これによれば、フィルム60の搬送によって生じる静電気を除電することで静電気によるフィルム60の貼り付き等といった不具合の発生が防止され、フィルム60が良好に搬送されて基板1への貼付を行うことができる。
次に、第三実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
次に、第四実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図13に示すように、本実施形態に係る貼付装置100Aは、搬送経路調整部42と同様の構成を採用したタイミング調整部247を備えている。
また、本実施形態では、タイミング調整部247がレバー部材242を回動させるという簡便な方式を採用するので、装置全体の小型化及び低コスト化を図ることも可能となる。
次に、第五実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図14に示すように、本実施形態においては、フィルム保持ローラー43に付着した接着剤を洗浄するローラー洗浄部150を備えている。
次に、第六実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図15に示すように、本実施形態に係るカッター部160は、フィルム60を切断(カット)するための回転刃(カッター刃)161と、回転刃161に対向配置されるフィルム支持部162と、回転刃161を洗浄する刃洗浄部(カッター刃洗浄部)163と、を有する。
また、本実施形態に係るカッター部160は、スポンジ部材163aに接触した状態で回転刃161を回転駆動させるので、該回転刃161の先端に付着した粘着層63を確実に洗浄して除去することができる。
次に、第七実施形態について説明する。以下の説明において、上述の実施形態と同一又は同等の構成部分については同一の符号を付し、その説明を簡略若しくは省略する。
図16に示すように、本実施形態に係る貼付装置100Bは、基板1に貼り付けられたフィルムを検査する検査部170を備えている。検査部170は、第4基板搬送ローラー部33と、第5基板搬送ローラー部34との間に配置される。
図17に示すように、検査部170は、主フィルム材61が貼り付けられた基板1の四隅を撮像部172により撮像し、撮像した画像Gを判定部173に送信する。判定部173は、撮像部172から送信された画像Gについて、基板1および主フィルム材61の角部を構成するそれぞれの縁辺部間の距離D1、D2を算出する。
Claims (36)
- フィルムを搬送する搬送部と、
前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、
前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターと、
前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、
を備えることを特徴とする貼付装置。 - 前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、
前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送することを特徴とする請求項1に記載の貼付装置。 - 前記塗布液が塗布された前記フィルムを加熱する加熱部をさらに備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の貼付装置。
- 前記加熱部は、前記フィルムを段階的に加熱することを特徴とする請求項3に記載の貼付装置。
- 前記塗布部は、前記塗布液を塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルから飛散するミストを回収するミスト回収部とを含むことを特徴とする請求項1~4のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記ミスト回収部は、前記フィルムの前記塗布液が塗布される面と反対の裏面及び側面を覆うように配置されることを特徴とする請求項5に記載の貼付装置。
- 前記塗布部は、前記フィルムの幅方向におけるフィルム端に塗布される前記塗布液の厚みを調整する膜厚調整部をさらに含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の貼付装置。
- 前記搬送部は、前記フィルムを搬送するタイミングを調整するタイミング調整部を有することを特徴とする請求項1~7のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して前記主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項1~8のいずれか一項に記載の貼付装置。 - さらに、少なくとも前記基板の搬送方向後端における前記フィルムの貼付を補助する貼付補助部と、を備えることを特徴とする請求項1に記載の貼付装置。
- 前記貼付部は、前記搬送部の一部を構成する前記基板を搬送する第1搬送ローラーと、該第1搬送ローラーに対して昇降可能とされ、当該第1搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟むことで該フィルムを該基板に貼り付けるフィルム貼付ローラーとを含み、
前記貼付補助部は、前記貼付部を経由した前記基板を搬送する第2搬送ローラーと、該第2搬送ローラーとの間で前記基板及び前記フィルムを挟む貼付補助ローラーとを含み、
前記フィルム貼付ローラーは、前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向先端がフィルム貼付位置に到達するタイミングに合わせて下降し、前記基板の搬送方向後端が前記フィルム貼付位置に到達する前のタイミングで上昇し、
前記貼付補助ローラーは、少なくとも前記搬送部に搬送される前記基板の搬送方向後端において該基板及び前記フィルムを前記第2搬送ローラーとの間で挟むことを特徴とする請求項10に記載の貼付装置。 - 前記貼付補助ローラーは、前記第2搬送ローラーに対して昇降可能とされることを特徴とする請求項11に記載の貼付装置。
- 前記フィルムは、前記塗布液が塗布される主フィルム材と、保護材とを含み、
前記貼付部は、前記主フィルム材から前記保護材を剥離するとともに前記塗布液を介して該主フィルム材を前記基板に貼り付けることを特徴とする請求項10~12のいずれか一項に記載の貼付装置。 - 前記カッターは、前記基板に貼り付けられる貼付部分と前記基板に貼り付けられない非貼付部分とを含むように前記フィルムを切断することを特徴とする請求項13に記載の貼付装置。
- 前記搬送部は、前記貼付部に対し、前記フィルムの搬送経路における下流側に配置され、該フィルムの搬送を中継する中継ローラーを含み、
前記中継ローラーは、前記基板の搬送方向において前記貼付補助部よりも前記貼付部に近接して配置され、且つ前記貼付部よりも上方に配置されることを特徴とする請求項13又は14に記載の貼付装置。 - 前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、
前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送することを特徴とする請求項10~15のいずれか一項に記載の貼付装置。 - 前記搬送部は、前記フィルムを搬送するタイミングを調整するタイミング調整部を有することを特徴とする請求項10~16のいずれか一項に記載の貼付装置。
- フィルムを搬送する搬送部と、
前記フィルムに塗布液を塗布する塗布部と、
前記塗布液が塗布された前記フィルムを基板に貼り付ける貼付部と、を備え、
前記塗布部は、前記塗布液を前記フィルムに塗布する塗布ノズルと、前記塗布ノズルを移動可能に保持する本体部と、前記フィルムにおける搬送方向に交差する幅方向に沿って前記塗布ノズルを移動させる移動機構と、前記本体部を回動させる回動部と、を有することを特徴とする貼付装置。 - 前記塗布部は、前記塗布ノズルが前記搬送部により搬送される前記フィルムの前記幅方向に沿って相対的に往復動作するように前記移動機構及び前記回動部を駆動させることを特徴とする請求項18に記載の貼付装置。
- 前記塗布部は、前記塗布ノズルが前記フィルム上を搬送方向に向かって斜めに横切るように該フィルムの幅方向の一端側から他端側に移動し、前記搬送方向と反対側に折り返した後、前記フィルム上を搬送方向に向かって斜めに横切るように該フィルムの幅方向の他端側から一端側に移動するとともに前記搬送方向と反対側に折り返す動作を行うように前記移動機構及び前記回動部を駆動することを特徴とする請求項19に記載の貼付装置。
- 前記塗布部は、前記塗布ノズルから飛散するミストを回収するミスト回収部をさらに含むことを特徴とする請求項18~20のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記ミスト回収部は、前記フィルムの前記塗布液が塗布される面と反対の裏面及び側面を覆うように配置されることを特徴とする請求項21に記載の貼付装置。
- 前記塗布部は、前記フィルムの幅方向におけるフィルム端に塗布される前記塗布液の厚みを調整する膜厚調整部をさらに含むことを特徴とする請求項18~22のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記塗布液が塗布された前記フィルムを所定の長さに切断するカッターをさらに備え、
前記フィルムは長尺状のシート部材を巻回したロール体から構成され、
前記搬送部は、前記ロール体から巻き出すことで前記シート部材を搬送することを特徴とする請求項18~23のいずれか一項に記載の貼付装置。 - 前記塗布ノズルがスプレーノズルから構成されることを特徴とする請求項18~24のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記塗布部が前記塗布液として接着剤を塗布することを特徴とする請求項1~25のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記塗布部による前記塗布液の塗布処理に先んじて前記フィルムを洗浄する洗浄部をさらに備えることを特徴とする請求項1~9及び26のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記搬送部は、前記塗布部に対して前記フィルムを水平面と交差する方向に沿って搬送することを特徴とする請求項1~27のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記加熱部で加熱された前記フィルムを冷却する冷却部をさらに備えることを特徴とする請求項3又は4に記載の貼付装置。
- 前記タイミング調整部は、他端側を基準に回動可能なレバー部材と、前記レバー部材の一端側に設けられるとともに前記フィルムが巻き掛けられるローラー部材と、を備えることを特徴とする請求項8に記載の貼付装置。
- 前記基板に貼り付けられた前記フィルムを検査する検査部をさらに備えることを特徴とする請求項1~30のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記搬送部は、前記塗布ノズルと対向する位置で前記フィルムを保持するとともに前記フィルムの搬送方向に交差する方向の幅が当該フィルムの幅よりも大きいフィルム保持ローラーを含み、
前記塗布部は、塗布時に前記フィルム保持ローラーに付着した前記塗布液を洗浄するローラー洗浄部を含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の貼付装置。 - 前記カッターは、前記フィルムの搬送方向と交差する方向において、前記フィルムの一端側から他端側に向かってカッター刃を移動させながら当該フィルムを切断することを特徴とする請求項1~17、29、30、32のいずれか一項に記載の貼付装置。
- 前記フィルムを切断後の前記カッター刃を洗浄するカッター刃洗浄部をさらに備えることを特徴とする請求項33に記載の貼付装置。
- 前記カッター洗浄部は、前記カッター刃に接触することで洗浄を行うことを特徴とする請求項34に記載の貼付装置。
- 前記カッターは、前記カッター刃を回転式させることで前記フィルムを切断することを特徴とする請求項33~35のいずれか一項に記載の貼付装置。
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