KR101791733B1 - 첩부 장치 - Google Patents

Abstract

필름에 대한 접착제의 도포 및 필름의 기판에 대한 첩부를 일관 라인으로 실시함으로써 첩부 작업을 효율적으로 실시한다. 필름 (60) 을 반송하는 반송부 (104) 와, 필름에 도포액 (N) 을 도포하는 도포부 (106) 와, 도포액이 도포된 필름을 소정의 길이로 절단하는 커터 (48) 와, 필름을 기판 (1) 에 첩부하는 첩부부 (105) 를 구비하는 첩부 장치 (100) 에 관한 것이다.

Description

첩부 장치{ADHERING APPARATUS}

본 발명은, 첩부 장치에 관한 것이다.

본원은, 2012 년 3 월 1 일에, 일본에 출원된 일본 특허출원 2012－045702호, 일본 특허출원 2012－045703호 및 일본 특허출원 2012－045704호에 기초하여 우선권을 주장하고, 그 내용을 여기에 원용한다.

종래, 필름을 반송하면서, 기판에 첩부하는 첩부 장치가 알려져 있다 (예를 들어, 특허문헌 1 참조).

특허공보 제4568374호

그런데, 종래 기술에 있어서는, 기판에 대한 첩부를 실시하기 전에 필름재에 접착재를 도포할 필요가 있어, 별도 접착제 (도포액) 를 도포하기 위한 도포 장치가 필요하게 되어 있었다. 그래서, 필름에 대한 접착제의 도포 공정과, 접착제를 도포한 필름의 기판에 대한 첩부 공정을 일관 라인으로 실시함으로써 효율적으로 기판에 필름을 첩부할 수 있는 새로운 기술의 제공이 요망되고 있다.

본 발명은, 이와 같은 과제를 감안하여 이루어진 것으로, 접착제의 도포 및 기판에 대한 첩부를 일관 라인으로 실시함으로써 첩부 작업을 효율적으로 실시할 수 있는 첩부 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 제 1 양태에 관련된 첩부 장치는, 필름을 반송하는 반송부와, 상기 필름에 도포액을 도포하는 도포부와, 상기 도포액이 도포된 상기 필름을 소정의 길이로 절단하는 커터와, 상기 필름을 기판에 첩부하는 첩부부를 구비하는 것을 특징으로 한다.

본 양태에 관련된 첩부 장치에 의하면, 필름에 도포액을 도포하는 도포 공정, 필름을 절단하는 공정, 및 필름을 기판에 첩부하는 공정을 일관된 라인으로 실시할 수 있으므로, 효율적으로 필름을 기판에 첩부할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 필름은 장척상의 시트 부재를 권회한 롤체로 구성되고, 상기 반송부는, 상기 롤체로부터 권출함으로써 상기 시트 부재를 반송하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 롤체로부터 권출된 필름을 복수의 기판에 대해 순차 첩부할 수 있어, 첩부 공정을 보다 효율적으로 실시할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포액이 도포된 상기 필름을 가열하는 가열부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름을 가열함으로써 그 필름에 도포된 도포액을 양호하게 건조시킬 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 가열부는, 상기 필름을 단계적으로 가열하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름이 단계적으로 가열되므로, 필름에 도포된 도포액을 효율적으로 가열하여 건조시킬 수 있다. 가열부는, 예를 들어 도포액으로서 2 종류의 용제를 포함하는 것을 사용한 경우, 제 1 단계째의 가열 처리에서 그 도포액 중의 제 1 용제를 증발시키고, 제 2 단계째의 가열 처리에서 그 도포액 중의 제 2 용제를 증발시켜 도포액을 건조시키고, 양호하게 경화시킬 수 있다. 또, 복수의 가열부가 필름을 단계적으로 가열하는 구성을 채용하면, 복수의 필름을 순차 가열할 수 있다. 따라서, 이전의 필름의 건조 처리가 종료될 때까지 다음의 필름의 건조 처리를 개시할 수 없기 때문에 필름 반송을 정지 혹은 반송 속도를 낮게 할 필요가 없어지므로, 가열 처리에 필요로 하는 택트를 단축할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 도포액을 도포하는 도포 노즐과, 상기 도포 노즐로부터 비산하는 미스트를 회수하는 미스트 회수부를 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도포 노즐로부터 비산한 미스트를 회수함으로써 미스트가 비산하여 장치 내가 오염되는 것을 방지할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 미스트 회수부는, 상기 필름의 상기 도포액이 도포되는 면과 반대의 이면 및 측면을 덮도록 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름의 이면 및 측면을 덮도록 미스트 회수부가 배치되므로, 도포 노즐로부터 도포액이 도포되었을 때에 비산한 미스트를 미스트 회수부에 의해 양호하게 회수할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 필름의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 상기 도포액의 두께를 조정하는 막두께 조정부를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 막두께 조정부에 의해 필름단의 막두께가 조정되므로, 폭방향의 전 영역에 있어서 도포액의 막두께를 균일화시킬 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 반송부는, 상기 필름을 반송하는 타이밍을 조정하는 타이밍 조정부를 갖는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 타이밍 조정부에 의해 필름의 반송 타이밍을 조정함으로써, 필름을 반송한 상태인 채 커터에 의한 절단 공정 및 첩부부에 의한 필름의 첩부 공정을 실행할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 필름은, 상기 도포액이 도포되는 주필름재와, 보호재를 포함하고, 상기 첩부부는, 상기 주필름재로부터 상기 보호재를 박리함과 함께 상기 도포액을 개재하여 그 주필름재를 상기 기판에 첩부하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 기판에 첩부되는 주필름재가 보호재에 의해 보호되어 있으므로, 기판에 첩부되기 전의 주필름재에 흠이 생기는 것을 방지할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 또한, 적어도 상기 기판의 반송 방향 후단에 있어서의 상기 필름의 첩부를 보조하는 첩부 보조부를 구비하도록 해도 된다.

예를 들어 복수의 기판에 대해 연속적으로 필름의 첩부를 실시할 때, 기판의 반송 방향 후단에 있어서는 필름의 첩부가 불충분해질 가능성이 있다. 그래서, 본 구성에 의하면, 첩부 보조부가 반송 방향 후단에 있어서의 필름의 첩부를 보조하므로, 기판의 전체면에 필름을 양호하게 첩부할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 첩부부는, 상기 반송부의 일부를 구성하는 상기 기판을 반송하는 제 1 반송 롤러와, 그 제 1 반송 롤러에 대해 승강 가능하게 되고, 당해 제 1 반송 롤러와의 사이에 상기 기판 및 상기 필름을 끼움으로써 그 필름을 그 기판에 첩부하는 필름 첩부 롤러를 포함하고, 상기 첩부 보조부는, 상기 첩부부를 경유한 상기 기판을 반송하는 제 2 반송 롤러와, 그 제 2 반송 롤러와의 사이에 상기 기판 및 상기 필름을 끼우는 첩부 보조 롤러를 포함하고, 상기 필름 첩부 롤러는, 상기 반송부에 반송되는 상기 기판의 반송 방향 선단이 필름 첩부 위치에 도달하는 타이밍에 맞추어 하강하고, 상기 기판의 반송 방향 후단이 상기 필름 첩부 위치에 도달하기 전의 타이밍에서 상승하고, 상기 첩부 보조 롤러는, 적어도 상기 반송부에 반송되는 상기 기판의 반송 방향 후단에 있어서 그 기판 및 상기 필름을 상기 제 2 반송 롤러와의 사이에 끼우는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름 첩부 롤러가 기판의 반송 방향 선단이 필름 첩부 위치에 도달하는 타이밍에 맞추어 하강하므로, 기판에 대해 필름을 양호하게 위치 맞춤하여 첩부할 수 있다. 또, 기판의 반송 방향 후단이 필름 첩부 위치에 도달하기 전의 타이밍에 맞추어 상승하므로, 다음의 기판에 첩부되는 필름이 필름 첩부 롤러 및 제 1 반송 롤러 사이에 말려 들어가는 것을 방지할 수 있다. 또, 필름 첩부 롤러가 상승함으로써 필름의 첩부가 불충분해진 기판의 반송 방향 후단에서는, 첩부 보조 롤러 및 제 2 반송 롤러 사이에 필름 및 기판이 끼워짐으로써 필름의 후단의 절단 부분을 확실하게 기판에 첩부할 수 있다. 따라서, 첩부부에 의한 필름 첩부를 첩부 보조부가 양호하게 보완하는, 즉 보조할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 첩부 보조 롤러는, 상기 제 2 반송 롤러에 대해 승강 가능하게 되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 첩부 보조 롤러가 제 2 반송 롤러에 대해 승강 가능하게 되므로, 그 첩부 보조 롤러는 기판의 임의의 위치로부터 맞닿을 수 있다. 따라서, 예를 들어 기판의 반송 선단으로부터 그 기판을 제 2 반송 롤러와의 사이에 협지함으로써 필름을 기판에 확실하게 첩부할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 필름은, 상기 도포액이 도포되는 주필름재와, 보호재를 포함하고, 상기 첩부부는, 상기 주필름재로부터 상기 보호재를 박리함과 함께 상기 도포액을 개재하여 그 주필름재를 상기 기판에 첩부하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 기판에 첩부되는 주필름재가 보호재에 의해 보호되어 있으므로, 기판에 첩부되기 전의 주필름재에 흠이 생기는 것을 방지할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 커터는, 상기 기판에 첩부되는 첩부 부분과 상기 기판에 첩부되지 않는 비첩부 부분을 포함하도록 상기 필름을 절단하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 예를 들어 기판의 반송 속도, 필름 첩부 롤러의 승강 속도 등에 따라 적절히 설정된 비첩부 부분을 구비함으로써, 필름의 첩부 개시 위치와 기판의 반송 방향 선단의 위치 맞춤을 용이한 것으로 할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 반송부는, 상기 첩부부에 대해, 상기 필름의 반송 경로에 있어서의 하류측에 배치되고, 그 필름의 반송을 중계하는 중계 롤러를 포함하고, 상기 중계 롤러는, 상기 기판의 반송 방향에 있어서 상기 첩부 보조부보다 상기 첩부부에 근접하여 배치되고, 또한 상기 첩부부보다 상방에 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름 첩부 롤러를 경유한 필름은 상방으로 향해 급준하게 접어 구부러지게 되므로, 커터에 의해 커트된 주필름재만이 기판에 첩부되고, 주필름재로부터 보호재를 분리할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 필름은 장척상의 시트 부재를 권회한 롤체로 구성되고, 상기 반송부는, 상기 롤체로부터 권출함으로써 상기 시트 부재를 반송하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 롤체로부터 권출된 필름을 복수의 기판에 대해 순차 첩부할 수 있어, 첩부 공정을 보다 효율적으로 실시할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 반송부는, 상기 필름을 반송하는 타이밍을 조정하는 타이밍 조정부를 갖는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 타이밍 조정부에 의해 필름의 반송 타이밍을 조정함으로써, 필름을 반송한 상태인 채 커터에 의한 절단 공정 및 첩부부에 의한 필름의 첩부 공정을 실행할 수 있다.

본 발명의 제 2 양태에 관련된 첩부 장치는, 필름을 반송하는 반송부와, 상기 필름에 도포액을 도포하는 도포부와, 상기 도포액이 도포된 상기 필름을 기판에 첩부하는 첩부부를 구비하고, 상기 도포부는, 상기 도포액을 상기 필름에 도포하는 도포 노즐과, 상기 도포 노즐을 이동 가능하게 유지하는 본체부와, 상기 필름에 있어서의 반송 방향에 교차하는 폭방향을 따라 상기 도포 노즐을 이동시키는 이동 기구와, 상기 본체부를 회전 운동시키는 회전 운동부를 갖는 것을 특징으로 한다.

본 양태에 관련된 첩부 장치에 의하면, 이동 기구 및 회전 운동부에 의해 도포 노즐을 대략 8 자상으로 이동시킬 수 있으므로, 예를 들어 필름의 반송 속도 및 도포 노즐의 이동 속도를 조정함으로써 도포 노즐의 선단을 소정 방향으로 반송되는 필름의 폭방향을 따라 이동시킬 수 있다. 따라서, 도포 노즐의 선단을 필름의 폭방향 및 반송 방향의 전 영역에 걸쳐 간극 없이 이동시킴으로써, 도포액을 필름의 전체면에 걸쳐 균일하게 도포할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 도포 노즐이 상기 반송부에 의해 반송되는 상기 필름의 상기 폭방향을 따라 상대적으로 왕복 동작하도록 상기 이동 기구 및 상기 회전 운동부를 구동시키는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도포 노즐이 필름의 폭방향을 따라 상대적으로 왕복 동작하므로, 상기 서술한 바와 같이 도포 노즐의 선단을 필름의 폭방향 및 반송 방향의 전 영역에 걸쳐 간극 없이 이동시킴으로써, 도포액을 필름의 전체면에 걸쳐 균일하게 도포할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 도포 노즐이 상기 필름 상을 반송 방향을 향해 비스듬하게 횡단하도록 그 필름의 폭방향의 일단측으로부터 타단측으로 이동하고, 상기 반송 방향과 반대측으로 되접은 후, 상기 필름 상을 반송 방향을 향해 비스듬하게 횡단하도록 그 필름의 폭방향의 타단측으로부터 일단측으로 이동함과 함께 상기 반송 방향과 반대측으로 되접는 동작을 실시하도록 상기 이동 기구 및 상기 회전 운동부를 구동하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도포 노즐을 상기 서술한 바와 같이 대략 8 자상으로 이동시킬 수 있으므로, 도포 노즐의 선단이 필름의 폭방향 및 반송 방향의 전 영역에 걸쳐 간극 없이 이동함으로써 도포액을 필름의 전체면에 걸쳐 균일하게 도포할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 도포 노즐로부터 비산하는 미스트를 회수하는 미스트 회수부를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도포 노즐로부터 비산한 미스트를 회수함으로써 미스트가 비산하여 장치 내가 오염되는 것을 방지할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 미스트 회수부는, 상기 필름의 상기 도포액이 도포되는 면과 반대의 이면 및 측면을 덮도록 배치되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름의 이면 및 측면을 덮도록 미스트 회수부가 배치되므로, 도포 노즐로부터 도포액이 도포되었을 때에 비산한 미스트를 미스트 회수부에 의해 양호하게 회수할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부는, 상기 필름의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 상기 도포액의 두께를 조정하는 막두께 조정부를 추가로 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 막두께 조정부에 의해 필름단의 막두께가 조정되므로, 폭방향의 전 영역에 있어서 도포액의 막두께를 균일화시킬 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포액이 도포된 상기 필름을 소정의 길이로 절단하는 커터를 추가로 구비하고, 상기 필름은 장척상의 시트 부재를 권회한 롤체로 구성되고, 상기 반송부는, 상기 롤체로부터 권출함으로써 상기 시트 부재를 반송하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 롤체로부터 권출되어 커터에 의해 소정의 길이로 절단된 필름을 복수의 기판에 대해 순차 첩부할 수 있어, 첩부 공정을 보다 효율적으로 실시할 수 있다.

또, 상기 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포 노즐이 스프레이 노즐로 구성되는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 필름에 도포액을 스프레이 분사함으로써 효율적으로 도포액을 도포할 수 있다.

또, 상기 제 1 및 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부가 상기 도포액으로서 접착제를 도포하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 도포부가 접착제를 도포하므로, 그 접착제에 의해 필름과 기판을 간편하게 첩부할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 도포부에 의한 상기 도포액의 도포 처리에 앞서 상기 필름을 세정하는 세정부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 세정부의 세정 처리에 의해 먼지 등의 이물질이 제거된 필름에 대해 도포액을 도포할 수 있으므로, 도포액과 필름의 밀착성을 향상시킬 수 있다.

또, 상기 제 1 및 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 반송부는, 상기 도포부에 대해 상기 필름을 수평면과 교차하는 방향을 따라 반송하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 수평면과 교차하는 방향, 예를 들어 연직 방향을 따라 반송되는 필름에 대해 도포액이 도포되므로, 도포시에 비산하여 하방으로 낙하한 미스트가 부착되는 것이 방지되어, 필름에 안정적인 막두께의 도포액을 도포할 수 있다. 따라서, 도포액의 도포면에 불균일이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 가열부에서 가열된 상기 필름을 냉각시키는 냉각부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 가열부에서 가열된 필름을 냉각시켜 단시간에 소정 온도까지 내릴 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 타이밍 조정부는, 타단측을 기준으로 회전 운동 가능한 레버 부재와, 상기 레버 부재의 일단측에 형성됨과 함께 상기 필름이 감아 걸리는 롤러 부재를 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 레버 부재의 회전 운동량에 기초하여 롤러 부재에 의한 필름의 압입량을 조정함으로써 필름의 반송 타이밍을 임의로 설정할 수 있다.

또, 상기 제 1 및 제 2 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 기판에 첩부된 상기 필름을 검사하는 검사부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 검사 장치에 의해 기판에 첩부된 필름을 검사할 수 있기 때문에, 첩부 상태가 불량인 기판을 선별할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 반송부는, 상기 도포 노즐과 대향하는 위치에서 상기 필름을 유지함과 함께 상기 필름의 반송 방향에 교차하는 방향의 폭이 당해 필름의 폭보다 큰 필름 유지 롤러를 포함하고, 상기 도포부는, 도포시에 상기 필름 유지 롤러에 부착된 상기 도포액을 세정하는 롤러 세정부를 포함하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 반송부가 필름보다 넓은 폭의 필름 유지 롤러를 구비하므로, 필름을 확실하게 유지하여 반송할 수 있다. 또, 도포부가 롤러 세정부를 구비하므로, 필름 유지 롤러에 부착된 도포액을 양호하게 제거할 수 있다. 따라서, 순차 반송되는 필름이 필름 유지 롤러에 맞닿았을 때에, 필름 유지 롤러에 부착된 도포액에 의해 오염된다는 문제의 발생을 방지할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 커터는, 상기 필름의 반송 방향과 교차하는 방향에 있어서, 상기 필름의 일단측으로부터 타단측으로 향해 커터날을 이동시키면서 당해 필름을 절단하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 커터날이 필름의 일단측으로부터 타단측으로 향해 이동함으로써 필름을 간편하고 또한 확실하게 절단할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 필름을 절단한 후의 상기 커터날을 세정하는 커터날 세정부를 추가로 구비하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 커터날이 세정됨으로써 커터날에 의한 절단 성능을 유지할 수 있고, 결과적으로 커터날의 수명을 연장할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 커터 세정부는, 상기 커터날에 접촉함으로써 세정을 실시하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 간편하고 또한 확실하게 커터날을 세정할 수 있다.

또, 상기 제 1 양태에 관련된 첩부 장치에 있어서는, 상기 커터는, 상기 커터날을 회전시킴으로써 상기 필름을 절단하는 것이 바람직하다.

이 구성에 의하면, 간편하고 또한 확실하게 필름을 절단할 수 있다.

본 발명에 의하면, 접착제의 도포 및 기판에 대한 첩부를 일관 라인으로 실시함으로써 첩부 작업을 효율적으로 실시할 수 있다.

도 1 은, 제 1 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 개략 구성을 나타내는 측면도.
도 2 는, 제 1 흡착 롤러 및 제 2 흡착 롤러의 개략 구성을 나타내는 단면도.
도 3 은, 커터부의 개략 구성을 및 필름의 적층 구조를 나타내는 도면.
도 4a 는, 도포부의 주요부 구성을 나타내는 개략도.
도 4b 는, 도포부의 움직임을 설명하기 위한 도면.
도 5 는, 필름에 대한 노즐 선단의 움직임을 나타낸 도면.
도 6 은, 회전 운동부를 가지지 않는 경우의 노즐 선단의 움직임을 나타낸 도면.
도 7 은, 도포부의 주변 구성을 나타내는 개략도.
도 8 은, 미스트 회수 기구의 구성을 나타내는 개략도.
도 9a 는, 막두께 조정 기구의 주변 구성을 나타내는 도면.
도 9b 는, 막두께 조정 기구의 주변 구성을 나타내는 도면.
도 10 은, 첩부 장치에 의한 필름의 첩부 공정을 설명하는 플로우도.
도 11 은, 제 2 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 구성을 나타내는 도면.
도 12a 는, 제 3 실시 형태에 관련된 막두께 조정부의 구성을 나타내는 사시도.
도 12b 는, 제 3 실시 형태에 관련된 막두께 조정부의 구성을 나타내는 단면도.
도 13 은, 제 4 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 개략 구성을 나타내는 도면.
도 14 는, 제 5 실시 형태에 관련된 필름 유지 롤러의 주변 구성의 확대도.
도 15 는, 제 6 실시 형태에 관련된 커터부 및 그 주변의 개략 구성도.
도 16 은, 제 7 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 개략 구성을 나타내는 도면.
도 17 은, 제 7 실시 형태에 검사부에 의한 필름의 검사 방법의 설명도.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 첩부 장치에 관련된 일 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치 관계에 대해 설명한다. 수평면 내에 있어서의 필름의 반송 방향을 X 축 방향, 수평면 내에 있어서 X 축 방향과 직교하는 방향을 Y 축 방향, X 축 방향 및 Y 축 방향의 각각과 직교하는 방향 (즉 연직 방향) 을 Z 축 방향으로 한다. 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치는, 장척상의 보호재 및 주필름재가 첩합(貼合)되어 이루어지는 필름을 롤상으로 권회한 롤체로부터 감아 푼 필름을 반송하면서 필름으로부터 보호재와 주필름재를 분리하고, 주필름재를 기판에 첩부하는 장치에 관한 것이다.

(제 1 실시 형태)

도 1 은 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 개략 구성을 나타내는 측면도이다.

도 1 에 나타내는 바와 같이, 첩부 장치 (100) 는, 장치 케이싱 (101), 기판 공급부 (102), 기판 이동부 (103), 필름 반송부 (104), 필름 첩부부 (105), 첩부 보조부 (135), 도포부 (106), 및 가열부 (107) 를 구비하고 있다.

기판 공급부 (102) 는, 장치 케이싱 (101) 내에 기판 (1) 을 이동시킴으로써 공급하기 위한 것이다. 기판 공급부 (102) 는, 필름 첩부 전의 기판 (1) 을 복수 유지하는 카세트 (102a) 와, 그 카세트 (102a) 의 내부로부터 기판 (1) 을 인출 가능한 구동부 (102b) 를 가지고 있다. 카세트 (102a) 는, 내부에 유지하는 기판 (1) 을 구동부 (102b) 에 인도 가능한 위치까지 하강 가능한 구성으로 되어 있다. 이로써, 기판 공급부 (102) 는, 구동부 (102b) 에 의해 카세트 (102a) 내로부터 복수의 기판 (1) 을 순차 장치 케이싱 (101) 측으로 공급 가능하게 되어 있다.

기판 이동부 (103) 는, 기판 (1) 을 소정 위치 (필름 첩부 위치) 까지 이동시킴과 함께, 필름의 첩부 후에 기판 (1) 을 장치 케이싱 (101) 으로부터 반출하기 위한 반출 위치까지 이동시킨다. 기판 이동부 (103) 는, 제 1 기판 반송 롤러부 (30), 제 2 기판 반송 롤러부 (31), 제 3 기판 반송 롤러부 (32), 제 4 기판 반송 롤러부 (33), 및 제 5 기판 반송 롤러부 (34) 를 가지고 있다.

제 3 기판 반송 롤러부 (32) 는, 도시 생략된 구동 모터에 의해 구동되는 반송 롤러 (제 1 반송 롤러) (32a) 로 구성되는 것이다. 반송 롤러 (32a) 는 필름 반송부 (104) 에 있어서의 필름의 첩부 작업을 실시하기 위한 필름 첩부 롤러 (40) 의 사이에 기판 (1) 을 협지하는 구성으로 되어 있다. 이로써, 반송 롤러 (32a) 상의 기판 (1) 에 필름을 첩부 가능하게 되어 있다. 즉, 반송 롤러 (32a) 및 필름 첩부 롤러 (40) 는, 본 발명의 일 실시 형태에 관련된 필름 첩부부 (105) 를 구성하고 있다.

제 1 기판 반송 롤러부 (30) 는, 복수 (본 실시 형태에서는 4 개) 의 종동 롤러 (30a) 를 가지고 있다. 이로써, 제 1 기판 반송 롤러부 (30) 는, 기판 공급부 (102) 로부터 공급된 기판 (1) 을 수취하여 장치 케이싱 (101) 내로 유도하도록 되어 있다.

제 2 기판 반송 롤러부 (31) 는, 필름 첩부부 (105) 를 개재하여, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 와 대향하도록 배치되어 있다.

제 2 기판 반송 롤러부 (31) 는, 복수 (본 실시 형태에서는 3 개) 의 롤러쌍 (131) 을 가지고 있다. 각 롤러쌍 (131) 은, 하측 롤러 (31a) 및 상측 롤러 (31b) 를 가지고 있다. 기판 (1) 은, 이들 롤러 (31a, 31b) 간에 협지된 상태로 반송되도록 되어 있다.

제 4 기판 반송 롤러부 (33) 는, 필름 반송부 (104) 에서 필름이 첩부된 기판 (1) 을 수취하도록 되어 있다. 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 는, 복수 (본 실시 형태에서는 2 개) 의 롤러쌍 (133) 을 가지고 있다. 각 롤러쌍 (133) 은, 하측 롤러 (33a) 및 상측 롤러 (33b) 를 가지고 있다. 기판 (1) 은, 이들 롤러 (33a, 33b) 간에 협지된 상태로 반송되도록 되어 있다.

제 3 기판 반송 롤러부 (32) 및 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 의 사이에는, 첩부 보조부 (135) 가 배치되어 있다. 첩부 보조부 (135) 는, 반송 롤러 (제 2 반송 롤러) (135a) 와, 첩부 보조 롤러 (135b) 를 가지고 있다. 첩부 보조 롤러 (135b) 는, 반송 롤러 (135a) 에 대해 진퇴 가능하게 되어 있다.

첩부 보조부 (135) 는, 기판 (1) 을 반송하는 반송 롤러 (135a) 에 대해 첩부 보조 롤러 (135b) 를 근접시킴으로써 그 첩부 보조 롤러 (135b) 및 반송 롤러 (135a) 간에 기판 (1) 을 사이에 끼우는 것이 가능하게 되어 있다. 첩부 보조 롤러 (135b) 를 승강시키는 구동부는, 반송 롤러 (135a) 와의 사이에서 기판 (1) 에 가압력을 부여한다. 상기 구동부는, 예를 들어 실린더나 모터 등으로 구성되고, 그 구동부를 제어함으로써 상기 가압력이 제어된다. 상기 구동부는, 기판 (1) 의 사이즈와 반송 시간에 기초하여 첩부 보조 롤러 (135b) 를 승강시키는 타이밍을 규정한다.

첩부 보조 롤러 (135b) 는, 적어도 기판 (1) 의 반송 방향 (＋X 방향) 에 있어서의 후단에 맞닿고, 후단의 에지가 통과할 때까지 그 기판 (1) 을 반송 롤러 (135a) 와의 사이에 끼운다. 첩부 보조 롤러 (135b) 는, 적어도 기판 (1) 의 반송 방향에 있어서의 후단의 시점에서 맞닿아 있으면 되고, 기판 (1) 의 맞닿음 개시 위치는 특별히 한정되지 않는다. 즉, 첩부 보조 롤러 (135b) 는, 기판 (1) 의 절반으로부터 맞닿음을 개시해도 되고, 기판 (1) 의 반송 방향 선단으로부터 맞닿음을 개시해도 된다.

이와 같이 필름 첩부부 (105) 가 필름의 반송 방향 (＋X 방향) 에 있어서의 후단의 에지부를 억제함으로써 필름의 후단의 절단 부분을 확실하게 기판 (1) 에 접착하여, 기판 (1) 의 전체면에 걸쳐 필름을 양호하게 접착할 수 있다.

제 5 기판 반송 롤러부 (34) 는, 복수 (본 실시 형태에서는 4 개) 의 종동 롤러 (34a) 를 가지고 있다. 이로써, 제 5 기판 반송 롤러부 (34) 는, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 로부터 반송된 기판 (1) 을 수취하여 도시 생략된 기판 반출용 카세트 내에 수용하도록 이동시킨다.

필름 반송부 (104) 는, 기판 (1) 에 대한 첩부 위치까지 필름을 반송하기 위한 것이다. 필름 반송부 (104) 에서 반송된 필름은, 필름 첩부부 (105) 에 의해 기판 (1) 에 첩부된다.

필름 반송부 (104) 는, 필름 조출부 (41) 와, 반송 경로 조정부 (42) 와, 필름 유지 롤러 (43) 와, 제 1 흡착 롤러 (44) 와, 커터부 (48) 와, 타이밍 조정부 (47) 와, 중계 롤러부 (45) 와, 제 2 흡착 롤러 (49) 와, 필름 첩부 롤러 (40) 와, 필름 권취부 (51) 와, 중계 롤러 (2, 3) 를 갖는다.

필름 조출부 (41) 는, 필름 (60) 을 롤상으로 권회한 롤체 (R) 를 유지함과 함께 회전하는 회전 구동부 (41a) 를 갖는다. 필름 (60) 은, 주필름재 (61) 와, 보호재 (62) 와, 이들 주필름재 (61) 및 보호재 (62) 를 첩합하는 점착층 (63) 을 가지고 있다 (도 3 참조). 이로써, 필름 반송부 (104) 는 롤체 (R) 로부터 필름 (60) 을 감아 풀음으로써 반송하도록 되어 있다.

반송 경로 조정부 (42) 는, 회전 구동부 (41a) 에 회전 운동 가능하게 장착되는 레버부 (141) 와, 레버부 (141) 의 선단에 회전 운동 가능하게 장착되어 필름 (60) 에 맞닿는 맞닿음 롤러 (142) 를 갖는다. 레버부 (141) 는, 회전 구동부 (41a) 에 롤체 (R) 와 동축 상에서 회전하도록 되어 있다.

롤체 (R) 로부터 감아 풀린 필름 (60) 은, 롤체 (R) 의 잔량에 따라 반송 경로 (반송 거리) 가 변화된다. 이와 같이 필름 (60) 의 반송 경로 (반송 거리) 가 변화되면, 필름 (60) 의 반송 속도를 일정하게 유지하기 위해서 회전 구동부 (41a) 의 구동 조건을 변경할 필요가 있다.

이것에 대해, 본 실시 형태에 관련된 필름 반송부 (104) 는, 반송 경로 조정부 (42) 가 레버부 (141) 를 소정 위치에 회전 운동시킴으로써 필름 (60) 의 반송 거리 (반송 경로) 를 변화시키도록 되어 있다. 예를 들어, 필름 반송부 (104) 는, 롤체 (R) 의 잔량이 적어지면 맞닿음 롤러 (142) 를 하강시키도록 레버부 (141) 를 회전 운동시킴으로써 롤체 (R) 의 외형이 작아짐으로써 짧아진 반송 거리를 연장할 수 있다. 이와 같이 반송 경로 조정부 (42) 에 의하면 회전 구동부 (41a) 의 구동 조건 (회전 속도) 을 변경하는 일 없이, 필름 (60) 의 반송 속도를 일정하게 유지할 수 있다.

필름 유지 롤러 (43) 는, 후술하는 제 1 흡착 롤러 (44) 와의 사이에 필름 (60) 이 대략 연직 방향 (Z 축방향) 을 따라 반송되도록 유지하기 위한 것이다. 이로써, 필름 (60) 은 연직 방향을 따라 반송되도록 되어 있다.

제 1 흡착 롤러 (44) 및 제 2 흡착 롤러 (49) 는 필름 (60) 을 흡착한 상태에서 회전함으로써 그 필름 (60) 을 정속으로 반송을 가능하게 하는 것이다. 도 2 는 제 1 흡착 롤러 (44) 및 제 2 흡착 롤러 (49) 의 개략 구성을 나타내는 단면도이다. 제 1 흡착 롤러 (44) 및 제 2 흡착 롤러 (49) 는 동일한 구성으로 구성되어 있는 점에서, 이하의 설명에서는 제 1 흡착 롤러 (44) 의 구성에 대해 설명한다.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 제 1 흡착 롤러 (44) 는, 표면에 복수의 관통공 (144a) 이 형성된 롤러 본체 (144) 와, 롤러 본체 (144) 의 내부에 형성되는 흡인부 (145) 를 갖는다. 흡인부 (145) 는 회전하는 롤러 본체 (144) 의 내면에 슬라이딩 접촉 가능한 박스형으로 이루어지는 박스체 (145a) 를 가지며, 그 박스체 (145a) 는 진공 챔버 (도시 생략) 에 접속되어 있다.

박스체 (145a) 는 롤러 본체 (144) 의 내면에 맞닿음으로써 관통공 (144a) 을 통하여 롤러 표면측의 공기를 흡인 가능하게 되어 있다. 제 1 흡착 롤러 (44) 에서는, 박스체 (145a) 의 개구부에 대향하는 영역 (A) 의 관통공 (144a) 만으로부터 공기를 흡인 가능하게 된다. 박스체 (145a) 는 고정되어 있고, 롤러 본체 (144) 만이 회전 구동한다.

이 구성에 의해, 제 1 흡착 롤러 (44) 에서는, 롤러 본체 (144) 가 소정의 회전 위치에 있어서 관통공 (144a) 으로부터 공기가 흡인되는 구성으로 되어 있다. 따라서, 제 1 흡착 롤러 (44) 는 관통공 (144a) 을 통하여 흡착된 필름 (60) 을 롤러 본체 (144) 의 회전 방향을 따라 양호하게 반송할 수 있다. 흡인부 (145) 는 롤러 본체 (144) 의 내면에 반드시 맞닿아 있을 필요는 없고, 관통공 (144a) 을 통하여 흡인 가능한 구성이면 간극이 비어 있어도 된다.

또, 제 1 흡착 롤러 (44) 는 흡착에 의해 필름 (60) 을 유지하기 때문에, 롤러 본체 (144) 와 필름 (60) 의 사이에서의 마찰이 생기는 것이 방지되어 정전기의 발생을 억제할 수 있다. 이상, 제 1 흡착 롤러 (44) 의 구성에 대해 설명했지만, 제 2 흡착 롤러 (49) 에 대해서도 동일하다.

도 3 은 커터부 (48) 의 개략 구성을 및 필름 (60) 의 적층 구조를 나타내는 도면이다.

커터부 (48) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이 필름 (60) 을 절단 (커트) 하기 위한 날 (48a) 과, 날 (48a) 에 대향 배치되는 대좌부 (48b) 를 갖는다. 커터부 (48) 는, 대좌부 (48b) 상의 필름 (60) 에 대해 날 (48a) 을 가압함으로써 필름 (60) 을 절단 가능하게 되어 있다. 구체적으로 커터부 (48) 는, 도 3 에 나타내는 바와 같이 필름 (60) 중, 주필름재 (61) 만을 절단 가능한 위치까지 날 (48a) 을 가압한다. 이로써, 필름 (60) 은 주필름재 (61) 가 소정의 길이로 커트된 상태로 점착층 (63) 에 의해 보호재 (62) 에 첩부된 상태로 되어 있다. 도 3 에 있어서는 필름 (60) 의 주필름재 (61) 상에 도포된 접착제 (N) 를 도시하고 있다.

구체적으로 커터부 (48) 는, 주필름재 (61) 를 절단할 때, 기판 (1) 에 첩부되는 첩부 부분과, 기판에 첩부되지 않는 비첩부 부분을 형성한다. 따라서, 보호재 (62) 에는, 점착층 (63) 에 의해 상기 첩부 부분을 구성하는 주필름재 (61) 와, 상기 비첩부 부분을 구성하는 주필름재 (61) 가 첩부된 상태로 되어 있다. 여기서, 첩부 부분의 길이란 기판 (1) 의 길이에 대응하는 것이다. 또, 비첩부 부분의 길이란, 어느 기판 (1) 에 대한 필름의 첩부 종료 후, 다음의 기판 (1) 에 대한 필름의 첩부를 개시하기까지 기판 (1) 이 반송되는 거리에 대응한다. 즉, 비첩부 부분의 길이는, 기판 (1) 의 반송 속도, 필름 첩부 롤러 (40) 의 승강 속도 등에 따라 적절히 설정된다. 이와 같이 첩부 부분 및 비첩부 부분을 포함하는 필름을 사용함으로써 필름 반송부 (104) 에 의해 반송되는 필름 (첩부 부분) 의 선단과, 기판 이동부 (103) 에 의해 반송되는 기판 (1) 의 반송 방향 선단과의 위치 맞춤을 용이하게 할 수 있도록 되어 있다.

여기서, 커터부 (48) 는 필름 반송부 (104) 에 의해 반송된 상태의 필름 (60) 을 커트한다. 커터부 (48) 가 필름 (60) 을 절단할 때, 필름 (60) 의 반송이 일시적으로 정지된다. 이 때, 필름 (60) 의 반송은 절단 부분 이외에 있어서 계속되고 있기 때문에, 커터부 (48) 에 의한 절단 부분과 그 이외에서 필름 (60) 의 반송 속도에 차가 생겨 버린다. 그러면 반송 속도에 편차가 생기고, 반송되는 필름 (60) 에 늘어짐이 생겨, 필름 (60) 의 반송 불량이 생겨 버린다.

이것에 대해, 본 실시 형태에 관련된 필름 반송부 (104) 는, 커터부 (48) 에 의해 절단될 때에 필름 (60) 에 생기는 반송 속도의 편차를 조정하기 위한 수단으로서 상기 타이밍 조정부 (47) 를 구비하고 있다. 타이밍 조정부 (47) 는, 필름 (60) 의 이면측에 맞닿는 맞닿음 롤러부 (147) 와, 그 맞닿음 롤러부 (147) 를 유지하는 유지부 (148) 와, 그 유지부 (148) 를 필름 (60) 의 반송 방향 (X 방향) 을 따라 이동 가능한 구동부 (149) 를 가지고 있다.

타이밍 조정부 (47) 는, 필름 (60) 이 커터부 (48) 에 의해 절단될 때, 필름 (60) 이 한 번 정지하는 부분과 다른 반송 도중의 부분에서 반송 속도를 맞추도록, 맞닿음 롤러부 (147) 를 반송 방향 상류측 (＋X 방향) 으로 이동시킨다. 이로써, 커터부 (48) 와 타이밍 조정부 (47) (맞닿음 롤러부 (147)) 의 거리가 길어지므로, 외관상의 필름 (60) 의 커터부 (48) 까지의 반송 속도를 낮게 할 수 있고, 필름 (60) 의 반송 속도를 맞춤으로써 반송 속도의 편차에서 기인하는 필름 (60) 의 늘어짐을 방지할 수 있다.

이와 같이 필름 반송부 (104) 는 반송 불량을 발생시키지 않고, 필름 (60) 을 반송한 상태인 채로 커터부 (48) 에 의한 절단을 실시할 수 있다. 따라서, 커터부 (48) 에 의한 절단 작업마다 필름 (60) 의 반송을 일시 정지할 필요가 없어지므로, 필름 (60) 의 첩부에 필요로 하는 작업 시간을 단축할 수 있다.

필름 첩부 롤러 (40) 는, 상하 방향 (Z 방향) 을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 필름 첩부 롤러 (40) 는, 기판 이동부 (103) 의 반송 롤러 (32a) (제 3 기판 반송 롤러부 (32)) 상에 위치하는 기판 (1) 에 대해 필름 (60) 을 가압 가능한 위치까지 하강한다.

필름 첩부 롤러 (40) 및 반송 롤러 (32a) 는, 필름 (60) 및 기판 (1) 을 협지함으로써 필름 (60) 의 첩부를 실시한다. 이와 같이 필름 첩부 롤러 (40) 는, 필름 반송부 (104) 의 일부를 이룸과 함께 필름 첩부부 (105) 를 구성하고 있다.

필름 첩부 롤러 (40) 는, 필름 (60) 의 첩부를 실시하는 경우, 그 필름 (60) 에 있어서의 첩부 부분의 주필름재 (61) 를 기판 (1) 에 첩부한다. 필름 (60) 은 반송된 상태로 기판 (1) 에 첩부되기 때문에, 예를 들어 필름 첩부 롤러 (40) 가 기판 (1) 의 반송 방향에 있어서의 후단까지 기판 (1) 에 맞닿아 있으면, 첩부 부분에 계속해서 반송되어 오는 비첩부 부분을 반송 롤러 (32a) 의 사이에서 눌러 버린다. 그러면, 본래, 첩부되지 않고 폐기될 예정인 비첩부 부분의 주필름재 (61) 가 기판 (1) 혹은 반송 롤러 (32a) 에 첩부되어 버릴 우려가 있다.

본 실시 형태에서는, 이와 같은 문제를 방지하기 위하여, 필름 첩부 롤러 (40) 가 기판 (1) 을 반송 방향에 있어서의 후단까지 맞닿지 않는 구성을 채용하고 있다. 즉, 필름 첩부 롤러 (40) 는, 필름 (60) 의 첩부 부분에 상당하는 주필름재 (61) 의 반송 방향 선단부와 기판 (1) 의 반송 방향 선단을 일치시키는 타이밍 (즉, 주필름재 (61) 의 반송 방향 선단이 필름 첩부 위치에 도달하는 타이밍) 에서 하강하고, 맞닿음 부분이 첩부 부분에 상당하는 주필름재 (61) 의 반송 방향 후단부 (기판 (1) 의 반송 방향 후단) 에 도달하기 전의 타이밍 (즉, 주필름재 (61) 의 반송 방향 후단이 필름 첩부 위치에 도달하기 전의 타이밍) 에서 상승을 개시하도록 되어 있다. 이것에 의하면, 상기 서술한 바와 같이 필름 첩부 롤러 (40) 는, 필름 (60) 의 비첩부 부분에 있어서의 반송 롤러 (32a) 와의 사이에 끼워넣음을 방지할 수 있다. 따라서, 필름 첩부 롤러 (40) 는, 기판 (1) 에 대한 필름 (60) 의 첩부 작업마다 승강 동작을 반복하도록 되어 있다.

그런데, 필름 첩부 롤러 (40) 는, 상기 서술한 바와 같이 기판 (1) 의 반송 방향 후단에 맞닿기 보다 먼저 상승하기 때문에, 반송 방향 후단측에 있어서 필름 (60) 을 기판 (1) 에 충분히 가압할 수 없어, 필름 (60) 의 첩부가 불충분해질 우려가 있다.

이것에 대해, 본 실시 형태에서는, 상기 서술한 첩부 보조부 (135) (첩부 보조 롤러 (135b)) 를 구비한 구성으로 되어 있다. 첩부 보조 롤러 (135b) 는, 적어도 기판 (1) 의 반송 방향에 있어서의 후단에 맞닿고, 후단의 에지가 통과할 때까지 그 기판 (1) 을 반송 롤러 (135a) 와의 사이에 끼움으로써 필름 첩부 롤러 (40) 만으로는 불충분해지는 필름 (60) 의 후단의 절단 부분을 확실하게 기판 (1) 에 접착할 수 있다. 따라서, 본 실시 형태에 의하면, 기판 (1) 의 전체면에 걸쳐 필름 (60) 을 양호하게 접착하는 것이 가능하게 되어 있다.

필름 권취부 (51) 는, 필름 첩부부 (105) 에 의한 첩부 작업 후에 필름 (60) 으로부터 분리된 보호재 (62) 를 권취하기 위한 권취축 (51a) 및 그 권취축 (51a) 을 구동하는 구동부 (51b) 를 가지고 있다.

중계 롤러 (52, 53) 는, 필름 첩부 롤러 (40) 와 필름 권취부 (51) 의 사이에서 필름 (60) 의 반송을 중계하는 것이다. 중계 롤러 (52) 는 필름 첩부 롤러 (40) 에 의한 필름 첩부 위치보다 상방 (Z 방향) 에 위치하고 있다. 또, 중계 롤러 (52) 는, 기판 (1) 의 반송 방향에 있어서 첩부 보조부 (135) 보다 필름 첩부부 (105) 보다 상방에 배치된다. 이로써, 필름 첩부 롤러 (40) 를 경유한 필름 (60) 은 상방으로 향해 급준하게 접어 구부러짐으로써 후술하는 바와 같이 커트된 주필름재 (61) 만이 기판 (1) 에 첩부되고, 주필름재 (61) 로부터 보호재 (62) 가 분리되도록 되어 있다.

도포부 (106) 는, 필름 (60) 을 기판 (1) 에 접착 가능하게 하기 위한 도포액으로서 접착제 (N) 를 그 기판 (1) 에 대해 도포한다. 도포부 (106) 는, 필름 유지 롤러 (43) 에 의해 연직 방향으로 반송되는 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포한다. 도포부 (106) 가 도포되는 도포액으로서는, 적어도 가열부 (107) 에 의한 건조 후에 필름 (60) 을 기판 (1) 에 접착 가능한 정도의 점착성을 갖는 액체가 사용된다.

도포부 (106) 는, 접착제를 기판 (1) 에 대해 도포 기구 (70) 와, 미스트 회수 기구 (71) 와, 필름 (60) 에 도포되는 접착제의 두께를 조정하는 막두께 조정 기구 (72) 를 포함한다 (도 7 참조).

도 4a 는 도포 기구 (70) 의 주요부 구성을 나타내는 개략도이며, 도 4b 는 노즐 (73) 의 선단 (73a) 의 움직임을 개념적으로 나타낸 도면이다.

도 4a 에 나타내는 바와 같이 도포 기구 (70) 는, 접착제를 분사하는 노즐 (73) 과, 본체부 (74) 와, 본체부 (74) 를 X 축 둘레로 회전 운동시키는 회전 운동부 (75) 를 포함한다. 노즐 (73) 로서는, 접착제를 스프레이 분사하는 스프레이 노즐이 사용된다. 본체부 (74) 는, 노즐 (73) 을 필름 (60) 의 폭방향을 따라 이동 가능하게 하는 이동 기구 (79) 를 가지고 있다. 이동 기구 (79) 는, 노즐 (73) 의 이동을 가이드하는 가이드부 (79a) 와, 그 가이드부 (79a) 에 대해 노즐 (73) 을 이동시키는 구동력을 전달하는 구동부 (79b) 를 포함한다. 노즐 (73) 은, 부착 아암 (78) 을 개재하여 가이드부 (79a) 에 접속되어 있다.

구동부 (79b) 는, 예를 들어 랙 앤드 피니언 기구에 의해 가이드부 (79a) 측에 구동력을 전달하도록 되어 있다. 이로써, 노즐 (73) 은 동 도면 화살표 B 로 나타내는 바와 같이 필름 (60) 의 폭방향을 따라 이동 가능하게 되어 있다. 따라서, 노즐 (73) 은 필름 (60) 의 폭방향의 전 영역에 걸쳐 접착제를 분사 가능하게 되어 있다.

회전 운동부 (75) 는 모터 등으로 구성되어 있다. 본체부 (74) 는, 그 중앙부에 있어서 회전 운동부 (75) 에 장착되어 있다. 이로써, 본체부 (74) 는, 회전 운동부 (75) 에 의해 중앙부를 기준으로 요동 가능하게 되어 있다. 노즐 (73) 은 본체부 (74) 의 요동 동작과는 독립적으로 본체부 (74) 의 이동 기구 (79) 에 의해 이동 가능하게 되어 있다. 이하에서는, 설명의 편의상, 노즐 (73) 의 선단 (73a) 의 중심과 회전 운동부 (75) 의 회전 중심이 일치하고 있는 것으로 한다.

이와 같은 구성에 기초하여, 노즐 (73) 의 선단 (73a) 은, 도 4b 에 나타내는 바와 같이 회전 운동부 (75) 의 회전 중심을 기준으로 하여 대략 8 자상으로 이동한다. 구체적으로, 노즐 (73) 의 선단은, 회전 운동부 (75) 의 회전 중심 (C) 을 기준으로 하여 YZ 축을 설정하면, 제 4 사분면(象限)으로부터 제 2 사분면으로 도달하고, 원호를 그려 제 3 사분면을 거쳐 제 1 사분면으로 도달하고, 원호를 그려 제 4 사분면으로 도달한 후, 반복하여 동일한 궤적을 그리도록 이동한다. 본 설명에서는 노즐 (73) 의 선단 (73a) 이 제 2 사분면으로부터 제 3 사분면에 도달할 때 및 제 1 사분면으로부터 제 4 사분면에 도달할 때, 원호를 그려 돌아오는 경우를 예로 들었지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않는다. 예를 들어, Z 축방향을 따라 Y 축을 걸치도록 되접음으로써 제 2 사분면으로부터 제 3 사분면 및 제 1 사분면으로부터 제 4 사분면으로 이동하는 구성이어도 상관없다. 이 경우, 도포 기구 (70) 는, 회전 운동부 (75) 대신에 본체부 (74) 를 YZ 방향으로 이동시키는 이동부를 갖는다.

도 5 는 본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 가 접착제를 도포할 때의 필름 (60) 에 대한 노즐 (73) 의 선단 (73a) 의 움직임을 나타낸 도면이다. 또, 도 6 은 비교로서 회전 운동부 (75) 를 가지지 않는 도포부 (106) 가 접착제를 도포할 때의 필름 (60) 에 대한 노즐 (73) 의 선단 (73a) 의 움직임을 나타낸 도면이다. 본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 는, 상기 서술한 바와 같이 노즐 (73) 이 회전 운동부 (75) 의 회전 중심 (C) 을 기준으로 하여 대략 8 자상으로 이동하는 점에서, 필름 (60) 의 반송 속도 및 노즐 (73) 의 이동 속도를 조정하여 도 5 에 나타내는 바와 같이 노즐 (73) 의 선단을 소정 방향으로 반송되는 필름 (60) 의 표면의 폭방향을 따라 이동시킬 수 있다. 한편, 회전 운동부 (75) 를 가지지 않는 경우, 노즐 (73) 이 필름 (60) 의 폭방향으로 이동하는 동안에 그 필름 (60) 자체도 반송되어 버리기 때문에, 도 6 에 나타내는 바와 같이 노즐 (73) 의 선단 (73a) 은 필름 (60) 의 표면에 대해 지그재그로 이동한다.

이상 기술한 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 는, 회전 운동부 (75) 를 구비함으로써 노즐 (73) 의 선단 (73a) 을 필름 (60) 의 폭방향 및 반송 방향의 전 영역에 걸쳐 간극 없이 이동시킬 수 있으므로, 접착제를 필름 (60) 의 전체면에 걸쳐 균일하게 도포할 수 있다.

도 1 로 돌아와서 가열부 (107) 는, 도포부 (106) 에서 접착제가 도포된 필름 (60) 을 가열함 (베이크 처리) 으로써 접착제를 경화시키기 위한 것이다. 가열부 (107) 는, 제 1 가열부 (76) 및 제 2 가열부 (77) 를 가지고 있다. 제 1 가열부 (76) 및 제 2 가열부 (77) 의 가열 온도는, 각각 상이한 값으로 설정되어 있다.

제 1 가열부 (76) 는, 필름 (60) 에 대해 제 1 베이크 처리를 실시함으로써 접착제를 반경화시키기 위한 것이다. 제 2 가열부 (77) 는, 필름 (60) 에 대해 제 2 베이크 처리를 실시함으로써 접착제를 본 경화시키기 위한 것이다.

이와 같은 구성에 기초하여, 가열부 (107) 는 필름 (60) 을 단계적 (2 단계) 으로 가열함으로써 접착제를 양호하게 경화시킬 수 있도록 되어 있다. 접착제가 복수 (예를 들어, 2 종류) 의 용제를 포함하는 경우, 제 1 가열부 (76) 에 의한 제 1 베이크 처리 (제 1 단계째의 가열 처리) 에서 접착제 중의 제 1 용제를 증발시키고, 제 2 가열부 (77) 에 의한 제 2 베이크 처리 (제 2 단계째의 가열 처리) 에서 접착제 중의 제 2 용제를 증발시켜 접착제를 건조시켜, 양호하게 경화시킬 수 있다.

또, 가열부 (107) 는, 제 1 가열부 (76) 및 제 2 가열부 (77) 를 이용하여 1 매의 필름 (60) 의 가열 처리를 실시하므로, 1 개의 가열부만으로 필름 (60) 의 가열 처리를 실시하는 구성과 같이 이전의 필름 (60) 의 건조 처리가 종료될 때까지 다음의 필름 (60) 의 건조 처리를 개시할 수 없다는 문제가 생기는 경우가 없다. 따라서, 순차 가열부 (107) 내에 필름 (60) 을 반송할 수 있기 때문에, 가열 처리에 필요로 하는 택트를 단축할 수 있다.

도 7 은 도포부 (106) 의 주변 구성을 나타내는 개략도이다. 도 8 은 미스트 회수 기구 (71) 의 구성을 나타내는 개략도이다. 미스트 회수 기구 (71) 는 도포 기구 (70) 의 노즐 (73) 로부터 접착제를 도포할 때에 생기는 미스트를 회수하기 위한 것이다.

미스트 회수 기구 (71) 는, 도 7 에 나타내는 바와 같이 본체부 (80) 와, 미스트 세정부 (81) 와, 세정액 순환부 (82) 를 가지고 있다. 본체부 (80) 는, 도포부 (106) 에 의한 접착제 도포 처리가 실시되는 처리 챔버를 구성하고 있다. 본체부 (80) 는, 필름 반송부 (104) 에 의해 반송되는 필름 (60) 을 내부에 반입 혹은 내부로부터 반출시키기 위한 개구부 (80a) 가 형성되어 있다.

도 8 에 나타내는 바와 같이, 미스트 세정부 (81) 는 필름 (60) 에 있어서의 접착제가 도포되는 면과 반대의 이면 (60a), 및 측면 (60b) 을 덮도록 본체부 (80) 내에 설치된다. 미스트 세정부 (81) 는, 도 7 에 나타낸 바와 같이 세정액 (W) 을 저류하는 세정액 저류부 (83) 와, 그 세정액 저류부 (83) 로부터 넘쳐 나온 세정액 (W) 이 흐르는 세정부 (84) 와 세정액 받이부 (85) 를 가지고 있다. 도 7 에 있어서는, 도면을 보기 쉽게 하기 위해, 필름 (60) 의 이면 (60a) 측에 배치된 미스트 세정부 (81) 만을 도시하고 있지만, 필름 (60) 의 측면 (60b) 측에도 도 8 에 나타낸 바와 같이 미스트 세정부 (81) 는 배치되어 있다. 필름 (60) 의 측면 (60b) 측에 배치되는 미스트 세정부 (81) 에 대해서도, 이면 (60a) 측의 미스트 세정부 (81) 와 동일한 구성을 가지고 있다.

세정부 (84) 는 필름 (60) 의 반송 방향 (Z 방향) 을 따라 연장되는 브러쉬 부재로 구성되고, 그 브러쉬 부재의 표면을 따라 하방으로 세정액이 흐르는 구성으로 되어 있다. 세정액 받이부 (85) 는, 세정부 (84) 를 따라 흐른 하방으로 흐른 세정액을 수용하는 용기로서 기능하는 것이다.

세정액 받이부 (85) 의 하방에는, 세정액 (W) 을 본체부 (80) 내에 연통시키는 연통부 (85a) 가 형성되고, 그 연통부 (85a) 를 통하여 세정액 받이부 (85) 내의 세정액이 본체부 (80) 의 저부 (89) 로 흘러 들어가게 되어 있다. 세정액 순환부 (82) 는, 본체부 (80) 의 저부 (89) 에 모인 세정액을 연통부 (89a) 를 통하여, 펌프 (P) 의 구동력에 의해 세정부 (84) 의 세정액 저류부 (83) 에 순환시키는 것이다. 세정액 순환부 (82) 는 필터 (F) 를 가지고 있고, 그 필터 (F) 를 통하여 세정액을 순환시킨다. 이로써, 세정 후에 세정액에 포함되는 이물질을 제거함으로써 세정액을 재이용할 수 있다.

본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 에 의하면, 노즐 (73) 로부터 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포할 때에 생긴 미스트를 미스트 회수 기구 (71) 에 의해 회수할 수 있으므로, 미스트가 부착됨으로써 첩부 장치 (100) 내가 오염되는 문제의 발생을 방지할 수 있다.

막두께 조정 기구 (72) 는, 필름 (60) 의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 접착제의 두께가 균일하게 되도록 조정하는 것이다. 도 9a 및 9b 는 막두께 조정 기구 (72) 의 주변 구성을 나타내는 도면이며, 동 도면 9a 는 사시도이며, 동 도면 9b 는 단면도이다.

도 9a, b 에 나타내는 바와 같이 막두께 조정 기구 (72) 는, 필름 (60) 의 필름단의 근방에 설치되는 더미 롤러 (90) 와, 구동 롤러 (91) 와, 종동 롤러 (92) 와, 그 더미 롤러 (90), 구동 롤러 (91), 및 종동 롤러 (92) 에 걸쳐지는 벨트 (93) 를 구비하고 있다. 벨트 (93) 는, 필름 (60) 과 동일한 재질인 폴리이미드로 구성되어 있다.

더미 롤러 (90) 는, 연직 방향을 향하여 필름 (60) 을 반송하는 필름 유지 롤러 (43) 와 동축으로 회전한다. 더미 롤러 (90) 의 외경은, 그 더미 롤러 (90) 에 걸쳐진 벨트 (93) 의 표면이 필름 유지 롤러 (43) 에 걸쳐지는 필름 (60) 의 표면과 대략 동일한 높이가 되는 크기로 설정되어 있다. 또, 도포부 (106) 는, 벨트 (93) 의 표면과 필름 (60) 의 표면이 대략 동일한 높이가 되는 영역에 있어서, 노즐 (73) 의 선단이 필름 (60) 의 표면에 대해 접착제를 도포하도록 위치 맞춤되어 있다.

여기서, 필름 (60) 의 필름단에 막두께 조정 기구 (72) 의 벨트 (93) 가 설치되어 있지 않은 경우, 접착제의 비산 조건이 변화되는 필름단에 있어서 접착제의 막두께가 얇아져 버린다. 이로써, 필름 (60) 의 폭방향에 있어서 접착제의 막두께에 불균일이 생겨 버릴 우려가 있다.

이것에 대해, 본 실시 형태에 의하면, 노즐 (73) 이 대향하는 필름 (60) 의 필름단의 표면과 대략 동일한 높이에 막두께 조정 기구 (72) 의 벨트 (93) 의 표면이 위치하므로, 접착제의 비산 조건을 필름단과 필름 중앙부에서 맞출 수 있다. 따라서, 필름 (60) 의 폭방향에 있어서의 접착제의 성막 조건을 일치시킴으로써 접착제를 균일한 막두께로 도포하는 것이 가능하게 되어 있다.

그런데, 본 실시 형태에 관련된 노즐 (73) 과 같은 스프레이 노즐을 사용한 경우의 도포면에는 불균일이 생기는 경우가 있다.

이것에 대해, 본 실시 형태에 있어서는, 연직 방향 (Z 방향) 을 따라 반송되는 필름 (60) 에 대해 노즐 (73) 로부터 접착제를 도포하는 구성을 채용하고 있다.

선단 (73a) 의 개구단이 필름 (60) 의 표면에 대향한 상태가 되도록 노즐 (73) 과 필름 (60) 이 배치되어 있으면, 필름 (60) 이 반드시 연직 방향을 따라 반송되고 있지 않아도 상기 서술한 불균일 억제 효과를 얻을 수 있다. 즉, 필름 (60) 은 수평면과 교차하는 방향을 따라 반송되고 있으면 된다. 이와 같이 필름 (60) 이 수평면과 교차하는 방향, 즉 수평면에 대해 기울어진 상태로 반송되고 있으면, 노즐 (73) 의 선단 (73a) 과 필름 (60) 의 표면은 수평 방향으로 소정 거리만큼 항상 이간된 상태가 되므로, 상기 서술한 접착제의 도포면에 있어서의 불균일의 발생을 억제할 수 있다.

이것에 의하면, 노즐 (73) 의 선단과 필름 (60) 의 표면은 수평 방향으로 소정 거리만큼 이간된 상태가 되므로, 노즐 (73) 로부터 도포된 접착제의 입자 중, 입자가 굵은 것 (알갱이가 큰 것) 은 필름 (60) 의 표면에 도달하기 전에 낙하하여, 필름 (60) 에 도포되는 일이 없다. 한편, 노즐 (73) 로부터 도포된 접착제의 입자 중, 입자가 미세한 것 (알갱이가 작은 것) 은 노즐 (73) 의 선단으로부터 소정 거리 이간된 위치에 배치되는 필름 (60) 의 표면에 도달하여, 필름 (60) 에 도포되게 된다. 따라서, 필름 (60) 에 균일한 입자를 포함한 접착제를 도포할 수 있기 때문에, 접착제의 도포면에 상기 서술한 바와 같은 불균일이 발생하는 것을 억제할 수 있다.

벨트 (93) 의 표면에 부착된 접착제를 세정하는 세정 장치를 설치해도 된다. 세정 장치의 구성으로서는, 벨트 (93) 에 세정액을 분사하는 구성, 혹은 벨트 (93) 를 세정액 저류부에 딥시키는 구성 중 어느 것이어도 된다. 이것에 의하면, 벨트 (93) 의 표면을 항상 깨끗한 상태로 유지할 수 있으므로, 필름 (60) 의 필름단에 있어서의 접착제의 성막 조건의 조정을 장기에 걸쳐 정밀도 좋게 실시할 수 있다.

계속해서, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치 (100) 의 동작으로서, 필름 (60) 을 기판 (1) 에 첩부하는 동작에 대해 설명한다.

도 10 은 첩부 장치 (100) 에 의한 필름 (60) 의 첩부 공정을 설명하는 플로우도이다.

처음에 첩부 장치 (100) 에서는 필름 조출부 (41) 에 롤체 (R) 가 장착된다 (단계 S1).

롤체 (R) 가 장착된 후, 첩부 장치 (100) 는 필름 반송부 (104) 가 구동하여, 필름 (60) 의 권출을 실시한다 (단계 S2). 구체적으로 필름 반송부 (104) 는, 필름 조출부 (41) 및 필름 권취부 (51) 를 회전 구동시켜, 필름 (60) 을 소정 방향을 따라 반송한다.

첩부 장치 (100) 는, 필름 반송부 (104) 에 의한 필름 (60) 의 반송에 맞추어, 도포부 (106) 를 구동하여, 접착제의 도포를 실시한다 (단계 S3). 구체적으로 도포부 (106) 는, 상기 서술한 바와 같이 노즐 (73) 이 회전 운동부 (75) 의 회전 중심을 기준으로 하여 대략 8 자상으로 이동하면서 필름 반송부 (104) 에 의해 반송되는 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포한다. 도포부 (106) 는, 노즐 (73) 을 이동 기구 (79) 에 의해 이동시키면서, 회전 운동부 (75) 에 의해 노즐 (73) 을 유지하는 본체부 (74) 를 X 축 둘레로 회전 운동시킴으로써 노즐 (73) 의 선단을 필름 (60) 의 폭방향 및 반송 방향의 전 영역에 걸쳐 간극 없이 이동시킬 수 있다 (도 5 참조). 따라서, 접착제를 필름 (60) 의 폭방향에 걸친 전체면에 균일하게 도포할 수 있다.

그런데, 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포할 때, 필름 (60) 의 폭방향의 필름단에서는 접착제의 비산 조건이 변화되기 때문에, 필름단에 있어서의 접착제의 두께가 중앙부에 비해 얇아져 버린다. 이에 대하여, 본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 는 노즐 (73) 로부터 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포할 때, 막두께 조정 기구 (72) 를 기능시켜 필름 (60) 의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 접착제의 두께가 균일하게 되도록 조정한다.

구체적으로 막두께 조정 기구 (72) 는, 필름 (60) 을 반송하는 필름 유지 롤러 (43) 의 회전과 동기시켜 더미 롤러 (90) 를 회전시킨다. 이 때, 더미 롤러 (90) 의 표면에 걸쳐진 벨트 (93) 의 표면과 필름 유지 롤러 (43) 에 걸쳐진 필름 (60) 의 표면이 동일한 높이로 되어 있다.

이것에 의하면, 필름단 근방에 있어서 필름 (60) 의 표면과 동일한 높이에 벨트 (93) 의 표면이 위치하므로, 실질적으로 필름단에 있어서의 접착제의 비산 조건을 중앙부에 맞출 수 있다.

따라서, 노즐 (73) 로부터 도포된 접착제는 필름 (60) 의 필름단에 있어서도 접착제의 비산 조건이 변화되는 일이 없고, 접착제의 성막 조건이 필름 (60) 의 폭방향에서 안정됨으로써 접착제를 균일한 조건으로 도포할 수 있다.

노즐 (73) 로부터 필름 (60) 에 접착제를 도포할 때, 노즐 (73) 로부터 미스트가 주위에 비산해 버린다. 이에 대하여 본 실시 형태에 관련된 도포부 (106) 에서는, 미스트 회수 기구 (71) 에 의해 미스트를 회수할 수 있다. 구체적으로 노즐 (73) 로부터 비산한 미스트는, 필름 (60) 의 이면 (60a) 및 측면 (60b) 을 덮도록 형성된 미스트 세정부 (81) (미스트 회수 기구 (71)) 의 세정부 (84) 에 의해 포착된다.

세정부 (84) 는 상기 서술한 바와 같이 브러쉬 부재의 표면을 따라 하방으로 세정액이 흐르는 구성으로 되어 있기 때문에, 포착된 미스트는 세정액과 함께 하방으로 배출된다. 이것에 의하면, 포착된 미스트가 세정부 (84) 에 축적되어 버리는 일이 없이, 안정적으로 미스트를 회수할 수 있다.

미스트를 회수한 세정액은 세정액 받이부 (85) 로부터 본체부 (80) 의 저부로 흘러들고, 세정액 순환부 (82) 의 필터 (F) 에서 이물질이 제거된 후, 세정부 (84) 에 재차 순환된다.

또, 본 실시 형태에 있어서는, 연직 방향 (Z 방향) 을 따라 반송되는 필름 (60) 에 대해 노즐 (73) 로부터 접착제를 도포하므로, 노즐 (73) 로부터 도포된 접착제의 입자 중, 입자가 굵은 것 (알갱이가 큰 것) 이 필름 (60) 에 도포되는 것을 방지하고, 입자가 미세한 것 (알갱이가 작은 것) 만을 필름 (60) 에 도포할 수 있다. 이와 같이 하여 도포된 접착제는 균일한 입자를 포함하므로, 불균일의 발생이 억제된 상태로 도포된 것이 된다. 이 접착제는 표면의 불균일이 적기 때문에, 후공정에서 실시되는 기판 (1) 에 첩부된 경우여도 주필름재 (61) 의 평면도를 저하시키는 문제의 발생을 방지할 수 있다.

필름 반송부 (104) 는, 도포부 (106) 에 의해 접착제가 도포된 필름 (60) 을 가열부 (107) 에 반송하고, 필름 (60) 을 가열함 (베이크 처리) 으로써 접착제를 경화시킨다 (단계 S4, S5). 구체적으로 가열부 (107) 는, 먼저 제 1 가열부 (76) 에 의해 필름 (60) 에 대해 제 1 (1st) 베이크 처리를 실시한다 (단계 S4). 계속해서, 가열부 (107) 는, 제 2 가열부 (77) 에 의해 필름 (60) 에 대해 제 2 (2nd) 베이크 처리를 실시한다 (단계 S5). 제 1 가열부 (76) 및 제 2 가열부 (77) 에 있어서의 가열 온도는, 접착제의 종류, 막두께 등의 조건에 따라 적절히 변경된다.

이와 같이 본 실시 형태에서는, 가열부 (107) 가 제 1 가열부 (76) 및 제 2 가열부 (77) 를 이용하여 1 매의 필름 (60) 의 가열 처리를 실시하므로, 순차 가열부 (107) 내에 필름 (60) 을 반송할 수 있고, 가열 처리에 필요로 하는 택트를 단축할 수 있다.

필름 반송부 (104) 는, 가열부 (107) 에 의한 가열 처리 후의 필름 (60) 을 커터부 (48) 로 반송하여, 필름 (60) 을 커트한다 (단계 S6). 커터부 (48) 는, 도 3 에 나타낸 바와 같이 대좌부 (48b) 상의 필름 (60) 에 대해 날 (48a) 을 가압하고, 필름 (60) 중, 주필름재 (61) 만을 절단한다. 커터부 (48) 에 의한 커트 후의 필름 (60) 은, 주필름재 (61) 가 소정의 길이로 절단된 상태에서 점착층 (63) 에 의해 보호재 (62) 에 첩부된 상태가 된다.

구체적으로 커터부 (48) 는, 상기 서술한 바와 같이 첩부 부분 및 비첩부 부분을 포함하도록 주필름재 (61) 만을 절단한다.

여기서, 필름 (60) 의 절단시, 필름 (60) 의 반송이 일시적으로 정지된다. 한편, 필름 (60) 은, 절단 부분 이외에 있어서 필름 반송부 (104) 에 의한 반송이 계속되고 있다. 그 때문에, 커터부 (48) 를 개재하여 필름 (60) 의 반송 속도에 차가 생기고, 반송 속도의 편차에서 기인하여 필름 (60) 이 늘어짐으로써 결과적으로 반송 불량이 생겨 버린다.

이것에 대해, 본 실시 형태에서는, 타이밍 조정부 (47) 가 필름 (60) 의 절단시에 생기는 반송 속도의 편차를 조정한다. 타이밍 조정부 (47) 는, 필름 (60) 이 절단되는 타이밍에 맞추어 맞닿음 롤러부 (147) 를 반송 방향 상류측 (＋X 방향) 으로 이동시킨다. 그러면, 커터부 (48) 와 타이밍 조정부 (47) (맞닿음 롤러부 (147)) 의 거리가 길어지고, 커터부 (48) 를 향하는 필름 (60) 의 외관상의 반송 속도가 낮아진다. 따라서, 필름 (60) 의 반송 속도를 맞춤으로써 필름 (60) 에 늘어짐이 생기는 것을 방지할 수 있다.

따라서, 필름 반송부 (104) 는 필름 (60) 의 반송 불량을 발생시키지 않고, 반송 상태인 채로 필름 (60) 을 커터부 (48) 에 의해 양호하게 절단할 수 있다. 또, 필름 반송부 (104) 는, 커터부 (48) 에 의한 절단 작업마다 필름 (60) 의 반송을 일시 정지할 필요가 없어지므로, 필름 (60) 의 첩부에 필요로 하는 작업 시간을 단축할 수 있다.

계속해서, 커트한 필름 (60) 의 첩부 공정을 실시한다. 첩부 장치 (100) 는, 필름 (60) 의 첩부를 실시하는데 앞서, 기판 공급부 (102) 의 카세트 (102a) 내로부터 인출하고, 기판 이동부 (103) 에 의해 기판 (1) 의 반송을 개시한다 (단계 S7, S8).

기판 이동부 (103) 는, 기판 (1) 을 필름 첩부부 (105) 까지 이동시킨다. 필름 첩부부 (105) 는, 기판 이동부 (103) 에 의해 반송되는 기판 (1) 에 대해 필름 (60) 의 첩부를 실시한다 (단계 S9). 기판 이동부 (103) 는, 기판 (1) 의 반송 방향 선단이 필름 첩부부 (105) 에 도달하는 타이밍을, 필름 반송부 (104) 에 반송되는 필름 (60) 의 첩부 부분이 필름 첩부부 (105) 에 도달하는 동기시키도록 기판 (1) 의 반송 속도를 제어한다.

구체적으로 기판 (1) 은, 제 1 기판 반송 롤러부 (30) 및 제 2 기판 반송 롤러부 (31) 를 거쳐, 제 3 기판 반송 롤러부 (32) (반송 롤러 (32a)) 로 반송된다. 필름 반송부 (104) 는, 제 3 기판 반송 롤러부 (32) 에 기판 (1) 이 도달하는 타이밍에 맞추어 필름 첩부 롤러 (40) 를 하강시킨다. 이로써, 필름 첩부 롤러 (40) 는, 기판 이동부 (103) 의 반송 롤러 (32a) (제 3 기판 반송 롤러부 (32)) 상에 위치하는 기판 (1) 에 대해 필름 (60) (첩부 부분) 의 가압을 개시한다.

필름 첩부 롤러 (40) 는, 필름 (60) 에 있어서의 첩부 부분의 주필름재 (61) 를 기판 (1) 에 첩부한다. 필름 (60) 은 커터부 (48) 에 의한 절단 공정에 의해, 주필름재 (61) 가 소정의 길이 (첩부 부분 또는 비첩부 부분) 로 절단된 상태로 점착층 (63) 에 의해 보호재 (62) 에 첩부된 상태로 되어 있다.

구체적으로 필름 첩부 롤러 (40) 는, 상기 서술한 바와 같이 필름 (60) 의 첩부 부분에 상당하는 주필름재 (61) 의 반송 방향 선단부와 기판 (1) 의 반송 방향 선단을 일치시키는 타이밍에서 하강한다. 첩부 부분의 주필름재 (61) 는, 필름 첩부 롤러 (40) 와 반송 롤러 (32a) 의 사이에 기판 (1) 과 함께 협지되고, 주필름재 (61) 가 접착제 (N) 를 개재하여 기판 (1) 에 접착된다.

필름 첩부 롤러 (40) 를 경유한 필름 (60) 은 중계 롤러 (52, 53) 를 경유하여 필름 권취부 (51) 에 의해 권취된다. 여기서, 중계 롤러 (52) 는 필름 첩부 롤러 (40) 에 의한 필름 첩부 위치보다 상방 (Z 방향) 에 위치하고 있기 때문에, 필름 (60) 은 필름 첩부 롤러 (40) 를 거쳐 상방으로 향해 급준하게 접어 구부러진다.

따라서, 중계 롤러 (52) 에 의해 상방으로 접어 구부러진 필름 (60) 은, 주필름재 (61) 만이 접착제 (N) 를 개재하여 기판 (1) 에 남고, 보호재 (62) 만이 중계 롤러 (52) 측으로 반송됨으로써 주필름재 (61) 와 보호재 (62) 가 분리된다 (단계 S10). 필름 (60) 으로부터 분리된 보호재 (62) 는, 중계 롤러 (52, 53) 를 개재하여 필름 권취부 (51) 에 권취된다 (단계 S11).

필름 첩부부 (105) 에 의해 주필름재 (61) 의 첩부 부분이 첩부된 기판 (1) 은, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 로 반송된다. 여기서, 필름 첩부 롤러 (40) 는, 비첩부 부분에 있어서의 반송 롤러 (32a) 와의 사이에 끼워넣음을 방지하기 위해, 상기 서술한 바와 같이 기판 (1) 의 반송 방향 후단에 맞닿기 전에 상승하고 있는 점에서, 반송 방향 후단측에 있어서의 필름 (60) 의 기판 (1) 에 대한 가압이 부족하고, 필름 (60) 의 첩부가 불충분해지고 있다.

본 실시 형태에서는, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 에 있어서, 첩부 보조부 (135) (첩부 보조 롤러 (135b)) 가 기판 (1) 의 반송 방향에 있어서의 후단의 에지가 통과할 때까지 그 기판 (1) 을 반송 롤러 (135a) 와의 사이에 끼움으로써 첩부가 불충분하게 되어 있는 필름 (60) 의 후단의 절단 부분을 확실하게 기판 (1) 에 접착한다. 따라서, 기판 (1) 의 전체면에 걸쳐 필름 (60) 을 양호하게 접착할 수 있다.

주필름재 (61) 가 첩부된 기판 (1) 은 롤러쌍 (133) 및 제 5 기판 반송 롤러부 (34) 를 거쳐 도시 생략된 기판 반출용 카세트 내로 수용된다 (단계 S12).

첩부 장치 (100) 는 기판 공급부 (102) 내의 소정 매수의 기판 (1) 에 대해 주필름재 (61) (필름 (60)) 의 첩부가 종료될 때까지, 상기 서술한 단계 S1 내지 단계 S12 에 관련된 필름 첩부 처리 공정 SS1 을 반복한다 (단계 S13). 이상에 의해, 첩부 장치 (100) 는 소정 매수의 기판 (1) 에 대해 필름 (60) 을 양호하게 첩부할 수 있다.

본 발명은, 상기 서술한 실시 형태로 한정되는 일은 없고, 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 적절히 변경이 가능하다. 예를 들어, 상기 실시 형태에서는, 필름 조출부 (41) 및 필름 권취부 (51) 의 어느 것에도 구동부를 형성하는 경우를 예로 들었지만, 필름 권취부 (51) 에만 구동부를 형성하고, 필름 권취부 (51) 를 주동하여 회전시킴으로써 종동 회전하는 필름 조출부 (41) 로부터 감아 푼 필름 (60) 을 권취하는 구성으로 해도 된다.

또, 상기 실시 형태에서는, 가열부 (107) 가 필름 (60) 을 2 단계에서 가열하는 경우를 예로 들었지만, 필름 (60) 을 1 단계 혹은 3 단계 이상에서 가열하도록 해도 된다.

(제 2 실시 형태)

다음으로, 제 2 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

도 11 은 제 2 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 구성을 나타내는 도면이다. 첩부 장치 (100) 에 있어서는, 도 11 에 나타내는 바와 같이 장치 케이싱 (101) 내에 복수의 이오나이저 (110) 를 배치하도록 해도 된다. 이것에 의하면, 필름 (60) 의 반송에 의해 생기는 정전기를 제전함으로써 정전기에 의한 필름 (60) 의 첩부 등과 같은 문제의 발생이 방지되어, 필름 (60) 이 양호하게 반송되어 기판 (1) 에 대한 첩부를 실시할 수 있다.

또, 도 11 에 나타내는 바와 같이 가열부 (107) 의 필름 (60) 의 반송 방향 하류측에 냉각부 (108) 를 형성하도록 해도 상관없다. 이것에 의하면, 가열부 (107) 에서 가열된 필름 (60) 을 냉각시켜 단시간에 소정 온도까지 내릴 수 있다. 따라서, 필름 (60) 의 반송 경로를 짧게 할 수 있어, 필름 반송부 (104) 가 소형화되어 첩부 장치 (100) 자체의 소형화를 실현할 수 있다.

(제 3 실시 형태)

다음으로, 제 3 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

상기 실시 형태에 있어서는, 막두께 조정 기구 (72) 로서, 벨트 (93) 의 표면을 필름 (60) 의 표면과 대략 동일한 높이로 설정한 것을 예시했지만, 본 실시 형태에서는, 벨트 (93) 를 사용하지 않고 더미 롤러 (90) 의 표면과 필름 (60) 의 표면의 높이를 일치시키는 구성을 채용하고 있다. 이 경우, 더미 롤러 (90) 의 재질로서는, 표면 조도가 낮은, 예를 들어 SUS, 수지, 알루미늄 등을 사용하는 것이 바람직하고, 이것에 의하면 접착제를 필름 (60) 의 필름단에 있어서의 접착제의 성막 조건을 양호하게 조정하여 맞출 수 있다.

도 12a 및 12b 는 제 3 실시 형태에 관련된 막두께 조정부의 구성을 나타내는 도면이며, 동 도면 a 는 사시도이며, 동 도면 b 는 단면도이다. 본 실시 형태에 있어서는, 도 12a, b 에 나타내는 바와 같이 더미 롤러 (95) 의 회전축을 필름 유지 롤러 (43) 에 일체 형성하고, 더미 롤러 (95) 와 필름 유지 롤러 (43) 가 일체로 회전하는 구성을 채용한다.

본 실시 형태에 있어서는, 도 12a, b 에 나타내는 바와 같이 필름 유지 롤러 (43) 와 일체로 형성된 더미 롤러 (95) 가 막두께 조정부를 구성한다. 더미 롤러 (95) 는, 필름 유지 롤러 (43) 와 동축으로 회전한다. 더미 롤러 (95) 는, 표면 (95a) 이 필름 (60) 의 표면과 동일한 높이로 설정되어 있다. 즉, 더미 롤러 (95) 는, 필름 (60) 을 유지하는 필름 유지 롤러 (43) 보다 필름 (60) 의 두께분만큼 외경이 크게 구성되어 있다.

그런데, 노즐 (73) 로부터 필름 (60) 에 대해 접착제를 도포할 때, 노즐 (73) 로부터 비산한 미스트가 더미 롤러 (95) 에 부착되어 버린다. 본 변형예에서는, 더미 롤러 (95) 의 표면에 맞닿는 스퀴지 부재 (96) 를 배치하고 있다. 스퀴지 부재 (96) 는, 더미 롤러 (95) 에 있어서의 필름 (60) 과의 맞닿음 부분보다 회전 방향에 있어서의 하류측의 표면에 맞닿는다. 스퀴지 부재 (96) 의 재료로서는, 고무, 수지 등을 사용하는 것이 바람직하고, 이것에 의하면 더미 롤러 (95) 에 흠을 내는 일 없이, 그 더미 롤러 (95) 에 부착된 미스트를 양호하게 긁어낼 수 있다. 이로써, 스퀴지 부재 (96) 는, 노즐 (73) 로부터 비산하여 더미 롤러 (95) 의 표면에 부착된 미스트를 긁어낼 수 있다. 스퀴지 부재 (96) 가 긁어낸 미스트는 도 7 에 나타낸 미스트 회수 기구 (71) 에 있어서의 본체부 (80) 의 저부 (89) 에 저류되어 있는 세정액 (W) 에 회수시켜도 되고, 별도 회수 기구를 형성하도록 해도 된다.

이것에 의하면, 더미 롤러 (95) 만으로 본 발명의 막두께 조정부가 구성되어 부품 점수를 적게 할 수 있어, 비용 저감을 도모할 수 있다. 또, 더미 롤러 (95) 와 필름 유지 롤러 (43) 가 일체로 회전하기 때문에, 이들 더미 롤러 (90) 및 필름 유지 롤러 (43) 에 있어서의 구동부를 공통화할 수 있어, 비용 저감을 도모할 수 있다.

(제 4 실시 형태)

다음으로, 제 4 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

상기 제 1 실시 형태에서는, 타이밍 조정부 (47) 로서, 맞닿음 롤러부 (147) 를 필름 (60) 의 반송 방향 상류측 (＋X 방향) 으로 이동시킴으로써 필름 (60) 에 맞닿게 함으로써 필름 (60) 의 반송 속도를 조정하는 구성을 예시했지만, 본 발명은 이것으로 한정되는 일은 없다.

도 13 은, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치 (100A) 의 개략 구성을 나타내는 도면이다.

도 13 에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치 (100A) 는, 반송 경로 조정부 (42) 와 동일한 구성을 채용한 타이밍 조정부 (247) 를 구비하고 있다.

타이밍 조정부 (247) 는, 필름 (60) 의 일면측 (이면측) 에 맞닿음과 함께 소정 방향으로 반송하는 반송 롤러 (롤러 부재) (241) 와, 타단측에 반송 롤러 (241) 를 유지하는 레버 부재 (242) 와, 일단측을 기준으로서 레버 부재 (242) 를 회전 운동 동작시키는 회전 운동부 (240) 를 갖는다. 반송 롤러 (241) 는, 레버 부재 (242) 에 대해 회전 가능하게 유지되어 있다.

본 실시 형태에 있어서, 타이밍 조정부 (247) 는, 필름 (60) 이 커터부 (48) 에 의해 절단될 때, 필름 (60) 이 한 번 정지하는 부분과 다른 반송 도중의 부분에서 반송 속도를 맞추도록, 회전 운동부 (240) 에 의해 레버 부재 (242) 를 시계 방향으로 회전 운동시킴으로써 레버 부재 (242) 의 타단측에 형성된 반송 롤러 (241) 를 원호상으로 이동시킨다. 이 때, 반송 롤러 (241) 가 필름 (60) 의 일면측을 밀어넣음으로써 필름 (60) 에 소정의 장력을 부여할 수 있다. 또, 반송 롤러 (241) 는, 레버 부재 (242) 에 대해 회전 운동 가능하게 되므로, 반송 롤러 (241) 필름 (60) 의 반송에 수반하여 회전한다. 따라서, 반송 롤러 (241) 는, 필름 (60) 의 반송을 방해하는 것이 방지된다.

본 실시 형태에 의하면, 타이밍 조정부 (247) 는, 반송 롤러 (241) 에 의해 필름 (60) 에 부여하는 장력을 자유롭게 조정함과 함께 그 필름 (60) 의 반송 경로를 변경하여, 필름 (60) 에 있어서의 커터부 (48) 와 타이밍 조정부 (247) (반송 롤러 (241)) 의 거리를 연장할 수 있다. 따라서, 필름 (60) 에 있어서의 커터부 (48) 까지의 외관상의 반송 속도를 낮게 할 수 있고, 필름 (60) 의 반송 속도를 전체로 조정함으로써 반송 속도의 편차에서 기인하여 필름 (60) 에 늘어짐이 생기는 것을 방지할 수 있다.

또, 본 실시 형태에서는, 타이밍 조정부 (247) 가 레버 부재 (242) 를 회전 운동시킨다는 간편한 방식을 채용하므로, 장치 전체의 소형화 및 저비용화를 도모하는 것도 가능해진다.

(제 5 실시 형태)

다음으로, 제 5 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

상기 제 1 실시 형태에 있어서는 막두께 조정 기구 (72) 를 구비함으로써, 필름 (60) 의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 접착제의 두께를 균일하게 하는 경우를 설명했지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 막두께 조정 기구 (72) 를 가지지 않아도 된다.

도 14 는, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 주요부 구성으로서 필름 유지 롤러 (43) 의 주변 구성의 확대도이다.

도 14 에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 필름 유지 롤러 (43) 에 부착된 접착제를 세정하는 롤러 세정부 (150) 를 구비하고 있다.

본 실시 형태에 있어서, 필름 유지 롤러 (43) 는, 필름 (60) 의 반송 방향에 교차하는 방향에 있어서의 폭이 필름 (60) 의 폭보다 커져 있다. 그 때문에, 필름 유지 롤러 (43) 는, 접착제가 노즐 (73) 로부터 도포될 때, 필름 (60) 의 전체면을 유지함으로써 접착제의 도포면에 주름이나 느슨해짐이 생기는 것을 방지한다. 따라서, 필름 (60) 에는, 접착제가 불균일없이 도포되게 된다.

한편, 필름 유지 롤러 (43) 는, 필름 (60) 보다 폭이 크기 때문에, 필름 (60) 을 유지했을 때에 양단부가 노출된 상태가 된다. 그 때문에, 노즐 (73) 로부터 도포된 접착제의 일부가 필름 유지 롤러 (43) 에도 부착되어 버린다. 이것에 대해, 본 실시 형태에 있어서는, 필름 유지 롤러 (43) 에 부착된 접착제를 세정하는 상기 롤러 세정부 (150) 를 구비한 구조를 채용하고 있다.

롤러 세정부 (150) 는, 필름 유지 롤러 (43) 에 있어서의 접착제가 부착된 부분에 적어도 세정액을 도포하는 세정액 도포부 (150a) 와, 세정액이 도포된 필름 유지 롤러 (43) 의 표면 (43a) 에 슬라이딩 접촉하는 스퀴지 부재 (150b) 를 포함한다.

세정액 도포부 (150a) 는, 예를 들어, 스프레이 노즐 등으로 구성되고, 필름 (60) 에 있어서의 접착제의 도포면에 대향하지 않는 방향으로부터 세정액을 도포하도록 배치된다. 본 실시 형태에 있어서, 세정액 도포부 (150a) 는, 필름 (60) 의 반송 방향과 평행하게 배치되고, 필름 유지 롤러 (43) 에 대해 상방으로부터 세정액을 도포한다. 이로써, 필름 (60) 에 있어서의 접착제의 도포 영역에 세정액이 부착되는 문제의 발생을 방지하고 있다.

스퀴지 부재 (150b) 는, 필름 유지 롤러 (43) 의 표면 (43a) 중, 적어도 세정액이 부착된 부분을 슬라이딩 접촉한다. 본 실시 형태에 있어서, 스퀴지 부재 (150b) 는, 필름 유지 롤러 (43) 와 동일한 폭을 가지고 있고, 필름 유지 롤러 (43) 의 표면 (43a) 의 전체면을 일괄적으로 불식하는 것이 가능하게 되어 있다. 스퀴지 부재 (150b) 는, 필름 유지 롤러 (43) 의 표면 (43a) 중 세정액이 부착되는 단부만을 불식하는 구성을 채용해도 되고, 이 경우, 2 개의 스퀴지 부재 (150b) 를 준비하고, 필름 유지 롤러 (43) 의 양단부의 표면 (43a) 에 슬라이딩 접촉시키도록 하면 된다.

스퀴지 부재 (150b) 는, 필름 유지 롤러 (43) 에 있어서의 필름 (60) 과의 맞닿음 부분보다 회전 방향에 있어서의 하류측의 표면 (43a) 에 맞닿는다. 스퀴지 부재 (150b) 의 재료로서는, 고무, 수지 등을 사용하는 것이 바람직하고, 이것에 의하면 필름 유지 롤러 (43) 에 흠을 생기게 하지 않고, 그 필름 유지 롤러 (43) 에 부착된 접착제 및 세정액을 양호하게 긁어낼 수 있다.

이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 막두께 조정 기구 (72) 를 갖지 않는 구성을 채용한 첩부 장치여도, 롤러 세정부 (150) 를 구비하므로, 필름 유지 롤러 (43) 에 부착된 접착제를 양호하게 제거할 수 있다. 따라서, 필름 유지 롤러 (43) 에 부착된 접착제에 의해, 장치 내부가 오염되는 문제의 발생을 방지할 수 있다.

(제 6 실시 형태)

다음으로, 제 6 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

상기 제 1 실시 형태에 있어서는, 커터부 (48) 가 날 (48a) 을 필름 (60) 에 가압함으로써 주필름재 (61) 를 일괄적으로 절단하는 경우를 예로 들었지만, 본 발명은 이것으로 한정되지 않고, 커터부로서 다른 구성을 채용해도 된다.

도 15 는, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치의 주요부 구성인 커터부 및 그 주변의 개략 구성을 나타내는 도면이다.

도 15 에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 커터부 (160) 는, 필름 (60) 을 절단 (커트) 하기 위한 회전날 (커터날) (161) 과, 회전날 (161) 에 대향 배치되는 필름 지지부 (162) 와, 회전날 (161) 을 세정하는 날 세정부 (커터날 세정부) (163) 를 갖는다.

회전날 (161) 은, 원반상의 커터날로 구성되어 있고, 도시 생략된 가이드 부재에 의해 필름 (60) 의 폭방향 (도 15 에 나타내는 우방향으로부터 좌방향) 을 따라 이동하면서, 상기 필름 (60) 을 절단한다. 회전날 (161) 은, 필름 (60) 의 절단을 실시하는 경우, 예를 들어, 도 15 에 나타내는 일방향 (시계 회전 방향) 으로 회전하고 있다. 필름 지지부 (162) 는, 회전날 (161) 과의 사이에서 필름 (60) 을 유지하기 위한 것이다. 커터부 (160) 는, 필름 (60) (주필름재 (61)) 의 두께에 따라, 회전날 (161) 을 필름 (60) 의 두께 방향 (X 방향) 으로 이동시킴으로써 필름 지지부 (162) 와 회전날 (161) 사이의 간격을 조정한다. 이로써, 커터부 (160) 는, 필름 (60) 중 주필름재 (61) 만을 절단하는 것이 가능해진다. 커터부 (160) 는, 필름 (60) (주필름재 (61)) 의 두께나 재질 등의 조건에 따라, 회전날 (161) 의 회전 속도나 이동 속도를 임의로 설정 가능하다.

날 세정부 (163) 는, 필름 지지부 (162) 와는 대향하지 않는 위치이며, 또한, 커터부 (160) 의 대기 위치에 배치되어 있다. 여기서, 커터부 (160) 의 대기 위치란, 필름 (60) 의 절단을 실시하기 전의 회전날 (161) 이 대기하는 위치이며, 필름 (60) 의 일단측 (도 15 에 나타내는 우측의 단부) 으로부터 타단측 (도 15 에 나타내는 좌측의 단부) 으로 이동한 회전날 (161) 이 되접혀 일단측으로 돌아온 후에 최종적으로 귀환하는 위치를 말한다. 회전날 (161) 은, 필름 (60) 을 절단하여 타단측으로 돌아가는 경우, 예를 들어, 도 15 에 나타내는 ＋ 방향 (반시계 회전 방향) 으로 회전하고 있다. 본 설명에서는, 회전날 (161) 이 필름 (60) 의 절단시에 일방향 (시계 회전 방향) 으로 회전하고, 타단측으로 돌아가는 경우에 ＋ 방향 (반시계 회전 방향) 으로 회전하는 경우를 예로 들었지만, 이것으로 한정되지 않고, 반대로, 회전날 (161) 이 절단시에 ＋ 방향으로 회전하고, 타단측으로 돌아가는 경우에 일방향으로 회전하도록 해도 된다. 혹은, 회전날 (161) 의 회전 방향이 - 방향 혹은 ＋ 방향 중 어느 일방으로 고정되어 있어도 된다.

이와 같이 커터부 (160) 는, 대기 위치에 배치된 날 세정부 (163) 를 구비함으로써, 필름 (60) 을 절단함으로써 회전날 (161) 에 부착된 점착층 (63) 을 세정하는 것이 가능하게 되어 있다.

날 세정부 (163) 는, 회전날 (161) 의 선단에 슬라이딩 접촉하는 스펀지 부재 (163a) 와, 그 스펀지 부재 (163a) 에 대해 세정액을 공급하는 세정액 공급부 (163b) 를 포함한다. 스펀지 부재 (163a) 는, 회전날 (161) 의 선단을 수용 가능한 슬릿 (163s) 이 형성되어 있다. 세정액 공급부 (163b) 는, 스펀지 부재 (163a) 에 대해 세정액을 함침시키기 위한 것이며, 스펀지 부재 (163a) 에 있어서의 회전날 (161) 의 세정성을 유지하기 위한 것이다.

이상 기술한 바와 같이, 본 실시 형태에 의하면, 회전날 (161) 이 필름 (60) 의 일단측으로부터 타단측으로 향해 이동함으로써 필름 (60) 을 간편하고 또한 확실하게 절단할 수 있다. 또, 회전날 (161) 을 채용함으로써 간편하고 또한 확실하게 필름 (60) 을 절단할 수 있다. 또, 날 세정부 (163) 를 구비하므로, 회전날 (161) 이 세정됨으로써 회전날 (161) 에 의한 절단 성능을 유지할 수 있고, 결과적으로 회전날 (161) 의 수명을 연장할 수 있다.

또, 본 실시 형태에 관련된 커터부 (160) 는, 스펀지 부재 (163a) 에 접촉한 상태로 회전날 (161) 을 회전 구동시키므로, 그 회전날 (161) 의 선단에 부착된 점착층 (63) 을 확실하게 세정하여 제거할 수 있다.

본 실시 형태에서는, 커터부 (160) 가 회전날 (161) 을 구비하는 경우를 예로 들었지만, 커터날은 반드시 회전 방식을 채용할 필요는 없고, 회전하지 않는 날을 필름 (60) 의 폭방향으로 이동시킴으로써 필름 (60) (주필름재 (61)) 을 절단하는 구성을 채용해도 된다.

(제 7 실시 형태)

다음으로, 제 7 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상기 서술한 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 부여하고, 그 설명을 간략 혹은 생략한다.

도 16 은, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치 (100B) 의 개략 구성을 나타내는 도면이다.

도 16 에 나타내는 바와 같이, 본 실시 형태에 관련된 첩부 장치 (100B) 는, 기판 (1) 에 첩부된 필름을 검사하는 검사부 (170) 를 구비하고 있다. 검사부 (170) 는, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 와 제 5 기판 반송 롤러부 (34) 의 사이에 배치된다.

검사부 (170) 는, 기판 반송 롤러부 (171) 와, 기판 (1) 에 첩부된 필름 (주필름재 (61)) 을 촬상하는 촬상부 (172) 와, 촬상부 (172) 에 의한 촬상 결과에 기초하여 검사 결과를 판정하는 판정부 (173) 를 포함한다.

기판 반송 롤러부 (171) 는, 복수 (본 실시 형태에서는 4 개) 의 종동 롤러 (171a) 를 가지고 있다. 이로써, 기판 반송 롤러부 (171) 는, 제 4 기판 반송 롤러부 (33) 로부터 반송된 기판 (1) 을 수취하여, 제 5 기판 반송 롤러부 (34) 에 주고 받도록 이동시킨다.

촬상부 (172) 는, 예를 들어, CCD 센서 등에 의해 구성된다. 이 CCD 센서는, 매트릭스상으로 배열된 복수의 화소를 포함하고 있다. CCD 센서의 각 화소는, 예를 들어 포토 다이오드 등의 수광 소자와, 박막 트랜지스터 등의 스위칭 소자를 포함한다.

판정부 (173) 는, 촬상부 (172) 가 촬상한 화상에 기초하여, 기판 (1) 에 첩부된 필름 상태를 판정하기 위한 것이다. 판정부 (173) 는, 연산 회로 등의 하드웨어에 의해 구성되어 있어도 되고, 프로그램 등의 소프트웨어에 의해 실현되어 있어도 된다.

도 17 은, 검사부 (170) 에 의한 필름 (주필름재 (61)) 의 검사 방법의 일례를 설명하기 위한 도면이다.

도 17 에 나타내는 바와 같이, 검사부 (170) 는, 주필름재 (61) 가 첩부된 기판 (1) 의 네 귀퉁이를 촬상부 (172) 에 의해 촬상하고, 촬상한 화상 (G) 을 판정부 (173) 에 송신한다. 판정부 (173) 는, 촬상부 (172) 로부터 송신된 화상 (G) 에 대해, 기판 (1) 및 주필름재 (61) 의 각부(角部)를 구성하는 각각의 가장자리부간의 거리 (D1, D2) 를 산출한다.

판정부 (173) 는, 산출한 거리 (D1, D2) 와 미리 기억해 둔 임계값을 비교하고, 임계값과 거리 (D1, D2) 의 차가 각각 소정치 이상이 되는 경우에 주필름재 (61) 가 기판 (1) 에 대해 구부러진 상태로 첩부된 것이라고 판단하여, 기판 (1) 을 불량품으로서 판정한다. 한편, 판정부 (173) 는, 산출한 거리 (D1, D2) 와 상기 임계값을 비교하고, 임계값과 거리 (D1, D2) 의 차가 각각 소정치 미만이 되는 경우에 주필름재 (61) 가 기판 (1) 에 대해 양호하게 첩부된 것이라고 판단하여, 기판 (1) 을 우량품으로서 판정한다.

이와 같이 본 실시 형태에 의하면, 검사부 (170) 를 구비하므로, 기판 (1) 에 대한 필름 (주필름재 (61)) 의 첩부 상태를 판정할 수 있기 때문에, 기판 (1) 의 우량품 혹은 불량품의 판정을 용이하게 실시할 수 있다. 따라서, 필름의 첩부 상태가 양호하지 않은 불량품의 기판 (1) 을 선별하여, 미리 배제하는 것이 가능한 첩부 장치 (100B) 를 제공할 수 있다. 본 설명에서는, 기판 (1) 의 네 귀퉁이를 촬상부 (172) 에 의해 촬상하는 경우를 예로 들었지만, 이것으로 한정되지 않고, 기판 (1) 의 네 귀퉁이 중 어느 2 개만을 촬상하도록 해도 된다.

산업상 이용가능성

본 발명에 의하면, 접착제의 도포 및 기판에 대한 첩부를 일관 라인으로 실시함으로써 첩부 작업을 효율적으로 실시할 수 있기 때문에, 산업상 매우 유용하다.

1 : 기판
N : 접착제
R : 롤체
47 : 타이밍 조정부
60 : 필름
60a : 이면
60b : 측면
61 : 주필름재
62 : 보호재
72 : 막두께 조정 기구 (막두께 조정부)
73 : 노즐
84 : 세정부
100 : 첩부 장치
106 : 도포부
107 : 가열부
108 : 냉각부
160 : 커터부
161 : 회전날
163 : 날 세정부
170 : 검사부
240 : 회전 운동부
241 : 반송 롤러 (롤러 부재)
242 : 레버 부재
247 : 타이밍 조정부

Claims (36)

1. 필름을 반송하는 반송부와,
   상기 필름에 도포액을 도포하는 도포부와,
   상기 도포액이 도포된 상기 필름을 소정의 길이로 절단하는 커터와,
   상기 필름을 기판에 첩부하는 첩부부와,
   적어도 상기 기판의 반송 방향 후단에 있어서의 상기 필름의 첩부를 보조하는 첩부 보조부와,
   상기 도포액이 도포된 상기 필름을 단계적으로 가열하는 가열부를 구비하고,
   상기 커터는, 상기 필름의 반송 방향과 교차하는 방향에 있어서, 상기 필름의 일단측으로부터 타단측으로 향해 커터날을 이동시키면서 당해 필름을 절단하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
2. 제 1 항에 있어서,
   상기 필름은 장척상의 시트 부재를 권회한 롤체로 구성되고,
   상기 반송부는, 상기 롤체로부터 권출함으로써 상기 시트 부재를 반송하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
3. 제 1 항에 있어서,
   상기 도포부는, 상기 도포액을 도포하는 도포 노즐과, 상기 도포 노즐로부터 비산하는 미스트를 회수하는 미스트 회수부를 포함하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
4. 제 3 항에 있어서,
   상기 도포부는, 상기 필름의 폭방향에 있어서의 필름단에 도포되는 상기 도포액의 두께를 조정하는 막두께 조정부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
5. 제 1 항에 있어서,
   상기 반송부는, 상기 필름을 반송하는 타이밍을 조정하는 타이밍 조정부를 갖는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
6. 제 1 항에 있어서,
   상기 필름은, 상기 도포액이 도포되는 주필름재와, 보호재를 포함하고,
   상기 첩부부는, 상기 주필름재로부터 상기 보호재를 박리함과 함께 상기 도포액을 개재하여 상기 주필름재를 상기 기판에 첩부하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
7. 제 1 항에 있어서,
   상기 도포부가 상기 도포액으로서 접착제를 도포하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
8. 제 1 항에 있어서,
   상기 도포부에 의한 상기 도포액의 도포 처리에 앞서 상기 필름을 세정하는 세정부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
9. 제 1 항에 있어서,
   상기 반송부는, 상기 도포부에 대해 상기 필름을 수평면과 교차하는 방향을 따라 반송하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
10. 제 1 항에 있어서,
    상기 가열부에서 가열된 상기 필름을 냉각시키는 냉각부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
11. 제 1 항에 있어서,
    상기 기판에 첩부된 상기 필름을 검사하는 검사부를 추가로 구비하는 것을 특징으로 하는 첩부 장치.
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