CN104081515B - 粘贴装置 - Google Patents

Abstract

通过在一条流水线上进行向薄膜涂敷粘接剂以及向基板粘贴薄膜而高效率地进行粘贴作业。粘贴装置(100)具备用于输送薄膜(60)的输送部(104)、将涂敷液(N)涂敷于薄膜的涂敷部(106)、将涂敷有涂敷液的薄膜切断为规定长度的切割器(48)以及将薄膜粘贴于基板(1)的粘贴部(105)。

Description

粘贴装置

技术领域

本发明涉及一种粘贴装置。

本申请基于2012年3月1日在日本申请的特愿2012-045702号、特愿2012-045703号以及特愿2012-045704号主张优先权，并在此引用其内容。

背景技术

以往，公知有一边输送薄膜一边将薄膜粘贴于基板的粘贴装置(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第4568374号公报

发明内容

发明要解决的课题

然而，在现有技术中，在向基板进行粘贴之前需要在薄膜材料上涂敷粘接剂，从而需要另外的用于涂敷粘接剂(涂敷液)的涂敷装置。因此，希望提供能够通过在一条流水线上进行向薄膜涂敷粘接剂的涂敷工序以及将涂敷有粘接剂的薄膜向基板粘贴的粘贴工序而高效率地将薄膜粘贴于基板的新技术。

本发明是鉴于这样的课题而完成的，其目的在于提供能够通过在一条流水线上进行粘接剂的涂敷以及向基板的粘贴而高效率地进行粘贴作业的粘贴装置。

用于解决课题的手段

为了实现上述目的，本发明的第一方案的粘贴装置的特征在于，该粘贴装置具备：输送部，其输送薄膜；涂敷部，其将涂敷液涂敷于所述薄膜；切割器，其将涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切断为规定长度；以及粘贴部，其将所述薄膜粘贴于基板。

根据本方案的粘贴装置，能够在一条流水线上进行将涂敷液涂敷于薄膜的涂敷工序、切断薄膜的工序以及将薄膜粘贴于基板的工序，因此能够高效率地将薄膜粘贴于基板。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述薄膜由卷绕长条状的片构件而成的卷筒体构成，所述输送部通过将所述片构件从所述卷筒体卷出来输送所述片构件。

根据该结构，能够将从卷筒体卷出的薄膜依次粘贴于多个基板，能够更高效地进行粘贴工序。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备对涂敷有所述涂敷液的所述薄膜进行加热的加热部。

根据该结构，能够通过加热薄膜使涂敷于该薄膜的涂敷液良好地干燥。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述加热部分级地加热所述薄膜。

根据该结构，由于薄膜被分级地加热，因此能够高效率地对涂敷于薄膜的涂敷液进行加热而使其干燥。例如在涂敷液含有两种溶剂的情况下，加热部能够在第一级的加热处理中使该涂敷液中的第一溶剂蒸发，在第二级的加热处理中使该涂敷液中的第二溶剂蒸发，从而使涂敷液干燥并良好地固化。另外，若采用多个加热部分级地加热薄膜的结构，则能够依次加热多个薄膜。由此，不需要由于在上一个薄膜的干燥处理结束之前无法开始下一个薄膜的干燥处理而使薄膜输送停止或降低输送速度，故而能够缩短加热处理所需的生产节拍。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部包括：涂敷喷嘴，其涂敷所述涂敷液；以及雾回收部，其回收从所述涂敷喷嘴飞散的雾。

根据该结构，通过回收从涂敷喷嘴飞散的雾，能够防止雾飞散而导致装置内受到污染。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述雾回收部配置为覆盖所述薄膜的与被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及侧面。

根据该结构，由于以覆盖薄膜的背面以及侧面的方式配置雾回收部，因此能够利用雾回收部良好地回收在从涂敷喷嘴涂敷涂敷液时飞散的雾。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部还包括膜厚调整部，该膜厚调整部对涂敷在所述薄膜的宽度方向上的薄膜端部处的所述涂敷液的厚度进行调整。

根据该结构，由于利用膜厚调整部能够调整薄膜端部处的膜厚，因此能够在宽度方向的整个区域使涂敷液的膜厚均匀化。

另外，在上述述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述输送部具有对输送所述薄膜的时刻进行调整的同步调整部。

根据该结构，通过利用同步调整部调整薄膜的输送时刻，能够在输送薄膜的状态下利用切割器执行切断工序以及利用粘贴部执行薄膜的粘贴工序。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述薄膜包含保护材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，所述粘贴部将所述保护材料从所述主薄膜材料剥离并且借助所述涂敷液将该主薄膜材料粘贴于所述基板。

根据该结构，由于利用保护材料保护粘贴于基板的主薄膜材料，因此能够防止对粘贴于基板前的主薄膜材料造成损伤。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，也可以是，粘贴装置还具备至少辅助所述基板的输送方向后端处的所述薄膜的粘贴的粘贴辅助部。

例如，在连续地相对于多个基板粘贴薄膜时，在基板的输送方向后端存在薄膜的粘贴不充分的可能性。因此，根据本结构，由于粘贴辅助部对输送方向后端处的薄膜的粘贴进行辅助，因此能够将薄膜良好地粘贴于基板的整面。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述粘贴部包括：第一输送辊，其构成所述输送部的一部分，用于输送所述基板；以及薄膜粘贴辊，其能够相对于该第一输送辊升降，通过将所述基板以及所述薄膜夹在该薄膜粘贴辊与该第一输送辊之间来将该薄膜粘贴于该基板，所述粘贴辅助部包括：第二输送辊，其输送通过了所述粘贴部的所述基板；以及粘贴辅助辊，在该粘贴辅助辊与该第二输送辊之间夹持所述基板以及所述薄膜，所述薄膜粘贴辊配合被所述输送部输送的所述基板的输送方向前端到达薄膜粘贴位置的时刻下降，在所述基板的输送方向后端到达所述薄膜粘贴位置之前的时刻上升，所述粘贴辅助辊至少在被所述输送部输送的所述基板的输送方向后端将该基板以及所述薄膜夹在该粘贴辅助辊与所述第二输送辊之间。

根据该结构，由于薄膜粘贴辊配合基板的输送方向前端到达薄膜粘贴位置的时刻下降，因此能够将薄膜相对于基板良好地对位地进行粘贴。另外，由于薄膜粘贴辊在基板的输送方向后端到达薄膜粘贴位置之前的时刻上升，因此能够防止粘贴于下一个基板的薄膜被卷入薄膜粘贴辊与第一输送辊之间。另外，在因薄膜粘贴辊上升而薄膜的粘贴变得不充分的基板的输送方向后端，通过将薄膜以及基板夹持在粘贴辅助辊与第二输送辊之间，能够将薄膜的后端的切断部分可靠地粘贴于基板。由此，粘贴辅助部能够良好地弥补、即辅助粘贴部所进行的薄膜粘贴。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述粘贴辅助辊能够相对于所述第二输送辊升降。

根据该结构，由于粘贴辅助辊能够相对于第二输送辊升降，因此该粘贴辅助辊能够从基板的任意位置开始进行抵接。由此，例如，能够通过从基板的输送前端将该基板夹持在该粘贴辅助辊与第二输送辊之间来将薄膜可靠地粘贴于基板。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述薄膜包括保护材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，所述粘贴部将所述保护材料从所述主薄膜材料剥离并且借助所述涂敷液将该主薄膜材料粘贴于所述基板。

根据该结构，由于利用保护材料保护粘贴于基板的主薄膜材料，因此能够防止对粘贴于基板之前的主薄膜材料造成损伤。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述切割器将所述薄膜切断为包含粘贴于所述基板的粘贴部分和未粘贴于所述基板的非粘贴部分。

根据该结构，具备根据例如基板的输送速度、薄膜粘贴辊的升降速度等适当设定的非粘贴部分，从而能够容易地使薄膜的粘贴开始位置与基板的输送方向前端的位置对位。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述输送部包括转接辊，该转接辊相对于所述粘贴部而言配置在所述薄膜的输送路径的下游侧，对该薄膜的输送进行转接，所述转接辊在所述基板的输送方向上配置于比所述粘贴辅助部靠近所述粘贴部的位置，且配置于比所述粘贴部靠上方的位置。

根据该结构，由于通过了薄膜粘贴辊的薄膜朝向上方急剧地弯折，因此，能够仅将利用切割器切割后的主薄膜材料粘贴于基板，将保护材料从主薄膜材料分离。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述薄膜由卷绕长条状的片构件而成的卷筒体构成，所述输送部通过将所述片构件从所述卷筒体卷出来输送所述片构件。

根据该结构，能够将从卷筒体卷出的薄膜依次粘贴于多个基板，能够更高效地进行粘贴工序。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述输送部具有对输送所述薄膜的时刻进行调整的同步调整部。

根据该结构，通过利用同步调整部调整薄膜的输送时刻，能够在输送薄膜的状态下利用切割器执行切断工序以及利用粘贴部执行薄膜的粘贴工序。

本发明的第二方案的粘贴装置的特征在于，该粘贴装置具备：输送部，其输送薄膜；涂敷部，其将涂敷液涂敷于所述薄膜；以及粘贴部，其将涂敷有所述涂敷液的所述薄膜粘贴于基板，所述涂敷部具有：涂敷喷嘴，其将所述涂敷液涂敷于所述薄膜；主体部，其将所述涂敷喷嘴保持为能够移动；移动机构，其使所述涂敷喷嘴沿着与所述薄膜的输送方向交叉的宽度方向移动；以及转动部，其使所述主体部转动。

根据本方案的粘贴装置，能够利用移动机构以及转动部使涂敷喷嘴呈大致8字状移动，因此，能够通过调整例如薄膜的输送速度以及涂敷喷嘴的移动速度来使涂敷喷嘴的前端沿着按规定方向输送的薄膜的宽度方向移动。由此，通过使涂敷喷嘴的前端在薄膜的宽度方向以及输送方向的整个区域无间隙地移动，能够将涂敷液均匀地涂敷于薄膜的整面。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部以使所述涂敷喷嘴沿着由所述输送部输送的所述薄膜的所述宽度方向相对地进行往复动作的方式驱动所述移动机构以及所述转动部。

根据该结构，由于涂敷喷嘴沿着薄膜的宽度方向相对地进行往复动作，因此，如上所述，通过使涂敷喷嘴的前端在薄膜的宽度方向以及输送方向的整个区域无间隙地移动，能够将涂敷液均匀地涂敷于薄膜的整面。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部以使所述涂敷喷嘴进行下述动作的方式驱动所述移动机构以及所述转动部，即，使所述涂敷喷嘴以在所述薄膜上朝向输送方向斜向横穿的方式从该薄膜的宽度方向的一端侧移动到另一端侧，向与所述输送方向相反的一侧折回后以在所述薄膜上朝向输送方向斜向横穿的方式从该薄膜的宽度方向的另一端侧移动到一端侧，并且向与所述输送方向相反的一侧折回。

根据该结构，能够使涂敷喷嘴以上述方式呈大致8字状移动，因此涂敷喷嘴的前端在薄膜的宽度方向以及输送方向的整个区域无间隙地移动，由此能够将涂敷液均匀地涂敷于薄膜的整面。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部还包括回收从所述涂敷喷嘴飞散的雾的雾回收部。

根据该结构，通过回收从涂敷喷嘴飞散的雾，能够防止雾飞散而导致装置内受到污染。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述雾回收部配置为覆盖所述薄膜的与被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及侧面。

根据该结构，由于以覆盖薄膜的背面以及侧面的方式配置雾回收部，因此能够利用雾回收部良好地回收在从涂敷喷嘴涂敷涂敷液时飞散的雾。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部还包括膜厚调整部，该膜厚调整部对涂敷在所述薄膜的宽度方向上的薄膜端部处的所述涂敷液的厚度进行调整。

根据该结构，由于利用膜厚调整部调整薄膜端部的膜厚，因此能够在宽度方向的整个区域使涂敷液的膜厚均匀化。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备切割器，该切割器将涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切断为规定长度，所述薄膜由卷绕长条状的片构件而成的卷筒体构成，所述输送部通过将所述片构件从所述卷筒体卷出来输送所述片构件。

根据该结构，能够将从卷筒体卷出并利用切割器切断为规定长度的薄膜依次粘贴于多个基板，能够更高效地进行粘贴工序。

另外，在上述第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷喷嘴由喷雾喷嘴构成。

根据该结构，通过向薄膜以雾状喷射涂敷液，能够高效率地涂敷涂敷液。

另外，在上述第一以及第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述涂敷部将粘接剂作为所述涂敷液进行涂敷。

根据该结构，由于涂敷部涂敷粘接剂，因此能够利用该粘接剂简单地粘贴薄膜与基板。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备清洗部，该清洗部在利用所述涂敷部进行所述涂敷液的涂敷处理之前对所述薄膜进行清洗。

根据该结构，能够相对于经由清洗部的清洗处理而除去了尘埃等异物的薄膜涂敷涂敷液，因此能够提高涂敷液与薄膜之间的紧贴性。

另外，在上述第一以及第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述输送部相对于所述涂敷部沿着与水平面交叉的方向输送所述薄膜。

根据该结构，由于相对于沿着与水平面交叉的方向、例如铅垂方向输送的薄膜涂敷涂敷液，因此能够防止涂敷时飞散而向下方落下的雾附着，能够对薄膜涂敷稳定的膜厚的涂敷液。由此，能够抑制在涂敷液的涂敷面产生不均匀。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备对由所述加热部加热了的所述薄膜进行冷却的冷却部。

根据该结构，能够将由加热部加热了的薄膜冷却而使其在短时间内降至规定温度。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述同步调整部具备：杠杆构件，其能够以另一端侧为基准进行转动；以及辊构件，其设置在所述杠杆构件的一端侧并且供所述薄膜卷挂。

根据该结构，通过根据杠杆构件的转动量调整辊构件压入薄膜的压入量，能够任意地设定薄膜的输送时刻。

另外，在上述第一以及第二方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备对粘贴于所述基板的所述薄膜进行检查的检查部。

根据该结构，由于能够利用检查装置对粘贴于基板的薄膜进行检查，因此能够挑选出粘贴状态不良的基板。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述输送部包括薄膜保持辊，该薄膜保持辊在与所述涂敷喷嘴相对的位置保持所述薄膜，并且该薄膜保持辊的与所述薄膜的输送方向交叉的方向上的宽度比该薄膜的宽度大，所述涂敷部包括对涂敷时附着于所述薄膜保持辊的所述涂敷液进行清洗的辊清洗部。

根据该结构，由于输送部具备宽度比薄膜宽的薄膜保持辊，因此能够可靠地保持并输送薄膜。另外，由于涂敷部具备辊清洗部，因此能够良好地除去附着于薄膜保持辊的涂敷液。由此，能够防止被依次输送的薄膜在抵接于薄膜保持辊时被附着于薄膜保持辊的涂敷液污染这样的不良情况的产生。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述切割器一边使切割刀刃在与所述薄膜的输送方向交叉的方向上从所述薄膜的一端侧朝向另一端侧移动一边切断该薄膜。

根据该结构，切割刀刃从薄膜的一端侧朝向另一端侧移动，由此能够简单且可靠地切断薄膜。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，该粘贴装置还具备对切断所述薄膜后的所述切割刀刃进行清洗的切割刀刃清洗部。

根据该结构，通过对切割刀刃进行清洗，能够维持切割刀刃的切断性能，结果，能够延长切割刀刃的寿命。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述切割器清洗部通过与所述切割刀刃接触来进行清洗。

根据该结构，能够简单且可靠地清洗切割刀刃。

另外，在上述第一方案的粘贴装置的基础上，优选的是，所述切割器通过使所述切割刀刃旋转来切断所述薄膜。

根据该结构，能够简单且可靠地切断薄膜。

发明效果

根据本发明，能够通过在一条流水线上进行粘接剂的涂敷以及向基板的粘贴来高效率地进行粘贴作业。

附图说明

图1是表示第一实施方式的粘贴装置的简要结构的侧视图。

图2是表示第一吸附辊以及第二吸附辊的简要结构的剖视图。

图3是表示切割部的简要结构以及薄膜的层叠结构的图。

图4A是表示涂敷部的主要部分结构的简图。

图4B是用于说明涂敷部的动作的图。

图5是表示喷嘴前端相对于薄膜的动作的图。

图6是表示不具有转动部的情况下的喷嘴前端的动作的图。

图7是表示涂敷部的周边结构的简图。

图8是表示雾回收机构的结构的简图。

图9A是表示膜厚调整机构的周边结构的图。

图9B是表示膜厚调整机构的周边结构的图。

图10是对粘贴装置所进行的薄膜的粘贴工序进行说明的流程图。

图11是表示第二实施方式的粘贴装置的结构的图。

图12A是表示第三实施方式的膜厚调整部的结构的立体图。

图12B是表示第三实施方式的膜厚调整部的结构的剖视图。

图13是表示第四实施方式的粘贴装置的简要结构的图。

图14是第五实施方式的薄膜保持辊的周边结构的放大图。

图15是第六实施方式的切割部及其周边的简要结构图。

图16是表示第七实施方式的粘贴装置的简要结构的图。

图17是第七实施方式的检查部所进行的薄膜的检查方法的说明图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的粘贴装置的一实施方式进行说明。在以下的说明中，设定XYZ正交坐标系，参照该XYZ正交坐标系对各构件的位置关系进行说明。将水平面内的薄膜的输送方向作为X轴方向，将在水平面内与X轴方向正交的方向作为Y轴方向，将分别与X轴方向以及Y轴方向正交的方向(即铅垂方向)作为Z轴方向。在本实施方式的粘贴装置中，通过将粘合长条状的保护材料以及主薄膜材料而成的薄膜卷绕成卷状而得到卷筒体，一边输送从卷筒体松卷放出的薄膜一边将保护材料与主薄膜材料从薄膜分离，并将主薄膜材料粘贴于基板。

(第一实施方式)

图1是表示本实施方式的粘贴装置的简要结构的侧视图。

如图1所示，粘贴装置100具备装置框体101、基板供给部102、基板移动部103、薄膜输送部104、薄膜粘贴部105、粘贴辅助部135、涂敷部106以及加热部107。

基板供给部102用于使基板1向装置框体101内移动而供给基板1。基板供给部102具有：盒102a，其保持多个粘贴薄膜前的基板1；以及驱动部102b，其能够从该盒102a的内部拉出基板1。盒102a形成为能够使保持于内部的基板1下降到能够交付至驱动部102b的位置的结构。由此，基板供给部102能够利用驱动部102b从盒102a内将多个基板1依次向装置框体101侧供给。

基板移动部103使基板1移动到规定位置(薄膜粘贴位置)，并且在粘贴薄膜后使基板1移动到用于从装置框体101搬出的搬出位置。基板移动部103具有第一基板输送辊部30、第二基板输送辊部31、第三基板输送辊部32、第四基板输送辊部33以及第五基板输送辊部34。

第三基板输送辊部32由被未图示的驱动电动机驱动的输送辊(第一输送辊)32a构成。输送辊32a形成为在与薄膜粘贴辊40之间夹持基板1的结构，该薄膜粘贴辊40用于进行薄膜输送部104中的薄膜的粘贴作业。由此，能够将薄膜粘贴于输送辊32a上的基板1。即，输送辊32a以及薄膜粘贴辊40构成本发明的一实施方式的薄膜粘贴部105。

第一基板输送辊部30具有多个(在本实施方式中为四个)从动辊30a。由此，第一基板输送辊部30接收从基板供给部102供给来的基板1并向装置框体101内导入。

第二基板输送辊部31配置为隔着薄膜粘贴部105与第四基板输送辊部33相对。

第二基板输送辊部31具有多个(在本实施方式中为三个)辊对131。各辊对131具有下侧辊31a以及上侧辊31b。基板1以夹持在这些辊31a、31b之间的状态被输送。

第四基板输送辊部33接收利用薄膜输送部104粘贴薄膜后的基板1。第四基板输送辊部33具有多个(在本实施方式中为两个)辊对133。各辊对133具有下侧辊33a以及上侧辊33b。基板1以夹持在这些辊33a、33b之间的状态被输送。

在第三基板输送辊部32以及第四基板输送辊部33之间配置有粘贴辅助部135。粘贴辅助部135具有输送辊(第二输送辊)135a和粘贴辅助辊135b。粘贴辅助辊135b能够相对于输送辊135a进退。

粘贴辅助部135能够通过使粘贴辅助辊135b靠近用于输送基板1的输送辊135a而将基板1夹在该粘贴辅助辊135b与输送辊135a之间。使粘贴辅助辊135b升降的驱动部在与输送辊135a之间对基板1施加按压力。所述驱动部例如由工作缸、电动机等构成，通过控制该驱动部来控制所述按压力。所述驱动部根据基板1的尺寸与输送时间来规定使粘贴辅助辊135b升降的时刻。

粘贴辅助辊135b至少与基板1的输送方向(+X方向)的后端抵接，将该基板1夹入粘贴辅助辊135b与输送辊135a之间直至基板1的后端的边缘通过。粘贴辅助辊135b至少在基板1的输送方向的后端的时刻抵接即可，基板1的抵接开始位置不特别限定。即，粘贴辅助辊135b可以从基板1的一半开始抵接，也可以从基板1的输送方向前端开始抵接。

这样，薄膜粘贴部105按压薄膜的输送方向(+X方向)的后端的边缘部，由此能够使薄膜的后端的切断部分可靠地粘接于基板1，能够使薄膜良好地粘接于基板1的整面。

第五基板输送辊部34具有多个(在本实施方式中为四个)从动辊34a。由此，第五基板输送辊部34以接收从第四基板输送辊部33输送来的基板1并收纳于未图示的基板搬出用盒内的方式移动。

薄膜输送部104用于将薄膜输送到粘贴于基板1的粘贴位置。由薄膜输送部104输送来的薄膜利用薄膜粘贴部105粘贴于基板1。

薄膜输送部104具有薄膜送出部41、输送路径调整部42、薄膜保持辊43、第一吸附辊44、切割部48、同步调整部47、转接辊部45、第二吸附辊49、薄膜粘贴辊40、薄膜卷取部51以及转接辊2、3。

薄膜送出部41具有保持将薄膜60卷绕为卷状而成的卷筒体R并且使该卷筒体R旋转的旋转驱动部41a。薄膜60具有主薄膜材料61、保护材料62以及将上述主薄膜材料61和保护材料62粘合在一起的粘合层63(参照图3)。由此，薄膜输送部104通过将薄膜60从卷筒体R松卷来进行输送。

输送路径调整部42具有：杠杆部141，其以能够转动的方式安装于旋转驱动部41a；以及抵接辊142，其以能够转动的方式安装于杠杆部141的前端并与薄膜60抵接。杠杆部141在旋转驱动部41a与卷筒体R在同轴上旋转。

从卷筒体R松卷放出的薄膜60的输送路径(输送距离)根据卷筒体R的余量而发生变化。这样，若薄膜60的输送路径(输送距离)发生变化，则为了将薄膜60的输送速度保持为恒定而需要改变旋转驱动部41a的驱动条件。

相对于此，本实施方式的薄膜输送部104通过输送路径调整部42使杠杆部141转动到规定位置来改变薄膜60的输送距离(输送路径)。例如，薄膜输送部104在卷筒体R的余量减少时以使抵接辊142下降的方式使杠杆部141转动，从而能够延长因卷筒体R的外形变小而缩短的输送距离。这样，根据输送路径调整部42，能够不改变旋转驱动部41a的驱动条件(旋转速度)而将薄膜60的输送速度保持为恒定。

薄膜保持辊43用于在与后述的第一吸附辊44之间将薄膜60保持为沿着大致铅垂方向(Z轴方向)输送。由此，薄膜60被沿着铅垂方向输送。

第一吸附辊44以及第二吸附辊49通过在吸附着薄膜60的状态下旋转而能够以定速输送该薄膜60。图2是表示第一吸附辊44以及第二吸附辊49的简要结构的剖视图。第一吸附辊44以及第二吸附辊49采用相同的结构，因此在以下的说明中对第一吸附辊44的结构进行说明。

如图2所示，第一吸附辊44具有在表面形成有多个贯通孔144a的辊主体144和设置在辊主体144的内部的吸引部145。吸引部145具有由能够与旋转的辊主体144的内表面滑动接触的箱状构成的箱体145a，该箱体145a连接于真空室(未图示)。

箱体145a通过与辊主体144的内表面抵接而能够经由贯通孔144a吸引辊表面侧的空气。就第一吸附辊44而言，仅能够从与箱体145a的开口部相对的区域A的贯通孔144a吸引空气。箱体145a被固定，仅辊主体144进行旋转驱动。

基于该结构，第一吸附辊44形成为辊主体144在规定的旋转位置从贯通孔144a吸引空气的结构。由此，第一吸附辊44能够沿着辊主体144的旋转方向良好地输送经由贯通孔144a吸附的薄膜60。吸引部145不需要一定抵接于辊主体144的内表面，只要是能够经由贯通孔144a进行吸引的结构，也可以隔开空隙。

另外，第一吸附辊44通过吸附来保持薄膜60，因此能够防止辊主体144与薄膜60之间产生摩擦，能够抑制静电的产生。以上，说明了第一吸附辊44的结构，第二吸附辊49也相同。

图3是表示切割部48的简要结构以及薄膜60的层叠结构的图。

如图3所示，切割部48具有用于切断(切割)薄膜60的刀刃48a和与刀刃48a相对配置的台座部48b。切割部48能够通过将刀刃48a按压于台座部48b上的薄膜60来切断薄膜60。具体而言，如图3所示，切割部48将刀刃48a按压至仅能够将薄膜60中的主薄膜材料61切断的位置。由此，薄膜60处于主薄膜材料61在被切割为规定长度的状态下利用粘合层63粘贴于保护材料62的状态。在图3中示出涂敷在薄膜60的主薄膜材料61上的粘接剂N。

具体而言，切割部48在切断主薄膜材料61时形成粘贴于基板1的粘贴部分和未粘贴于基板的非粘贴部分。因此，形成为在保护材料62上粘贴有通过粘合层63构成所述粘贴部分的主薄膜材料61和构成所述非粘贴部分的主薄膜材料61的状态。在此，粘贴部分的长度与基板1的长度对应。另外，非粘贴部分的长度与在相对于某一基板1粘贴薄膜结束后到相对于下一个基板1粘贴薄膜开始之前基板1被输送的距离对应。即，非粘贴部分的长度根据基板1的输送速度、薄膜粘贴辊40的升降速度等适当设定。这样，通过使用包含粘贴部分以及非粘贴部分的薄膜，能够容易地使利用薄膜输送部104输送的薄膜(粘贴部分)的前端与利用基板移动部103输送的基板1的输送方向前端对位。

在此，切割部48对由薄膜输送部104输送的状态下的薄膜60进行切割。在切割部48切断薄膜60时，薄膜60的输送暂时停止。此时，由于薄膜60的输送在切断部分以外的部分继续进行，因此会在切割部48切断的切断部分和除此之外的部分之间产生薄膜60的输送速度差。于是，输送速度产生偏差，被输送的薄膜60发生重叠，发生薄膜60的输送不良。

与此相对，本实施方式的薄膜输送部104具备所述同步调整部47，该所述同步调整部47作为用于调整被切割部48切断时薄膜60所产生的输送速度的偏差的部件。同步调整部47具有与薄膜60的背面侧抵接的抵接辊部147、用于保持该抵接辊部147的保持部148以及能够使该保持部148沿着薄膜60的输送方向(X方向)移动的驱动部149。

同步调整部47为了在薄膜60被切割部48切断时使薄膜60暂时停止的部分与其他输送过程中的部分的输送速度一致而使抵接辊部147向输送方向上游侧(+X方向)移动。由此，切割部48与同步调整部47(抵接辊部147)之间的距离增长，因此相当于能够降低薄膜60的到达切割部48的输送速度，通过使薄膜60的输送速度一致，能够防止输送速度的偏差引起的薄膜60的重叠。

这样，薄膜输送部104能够不产生输送不良地在输送薄膜60的状态下利用切割部48进行切断。由此，不需要每次利用切割部48进行切断作业时都使薄膜60的输送暂时停止，因此能够缩短薄膜60的粘贴所需要的作业时间。

薄膜粘贴辊40能够沿着上下方向(Z方向)移动。薄膜粘贴辊40下降至能够将薄膜60按压到位于基板移动部103的输送辊32a(第三基板输送辊部32)上的基板1的位置。

薄膜粘贴辊40以及输送辊32a通过夹持薄膜60以及基板1来进行薄膜60的粘贴。这样，薄膜粘贴辊40形成薄膜输送部104的一部分并且构成薄膜粘贴部105。

薄膜粘贴辊40在进行薄膜60的粘贴的情况下将该薄膜60的粘贴部分的主薄膜材料61粘贴于基板1。薄膜60在被输送的状态下粘贴于基板1，因此，例如若薄膜粘贴辊40一直到基板1的输送方向的后端与基板1抵接，则会将接着粘贴部分输送来的非粘贴部分按压在薄膜粘贴辊40与输送辊32a之间。于是，存在原本不应当被粘贴而应当废弃的非粘贴部分的主薄膜材料61粘贴于基板1或输送辊32a的可能。

在本实施方式中，为了防止这样的不良情况，采用薄膜粘贴辊40不是一直到基板1的输送方向的后端与基板1抵接的结构。即，薄膜粘贴辊40在使薄膜60的相当于粘贴部分的主薄膜材料61的输送方向前端部与基板1的输送方向前端对齐的时刻(即，主薄膜材料61的输送方向前端到达薄膜粘贴位置的时刻)开始下降，在抵接部分到达相当于粘贴部分的主薄膜材料61的输送方向后端部(基板1的输送方向后端)前的时刻(即，主薄膜材料61的输送方向后端到达薄膜粘贴位置前的时刻)开始上升。由此，能够防止如上所述那样将薄膜60的非粘贴部分夹入薄膜粘贴辊40与输送辊32a之间。因此，薄膜粘贴辊40在每次相对于基板1粘贴薄膜60的粘贴作业时反复进行升降动作。

然而，由于薄膜粘贴辊40如上所述在抵接于基板1的输送方向后端之前上升，因此无法在输送方向后端侧将薄膜60充分地按压于基板1，存在薄膜60的粘贴不充分的可能。

与此相对，在本实施方式中形成为具备所述粘贴辅助部135(粘贴辅助辊135b)的结构。粘贴辅助辊135b至少与基板1的输送方向的后端抵接，通过将该基板1夹入该粘贴辅助辊135b与输送辊135a之间直至基板1的后端的边缘通过，能够可靠地将仅利用薄膜粘贴辊40粘贴不充分的薄膜60的后端的切断部分粘接于基板1。因此，根据本实施方式，能够将薄膜60良好地粘接于基板1的整面。

薄膜卷取部51具有：卷取轴51a，其用于卷取由薄膜粘贴部105进行的粘贴作业后从薄膜60分离的保护材料62；以及驱动部51b，其驱动该卷取轴51a。

转接辊52、53用于在薄膜粘贴辊40与薄膜卷取部51之间转接薄膜60的输送。转接辊52位于比由薄膜粘贴辊40进行粘贴的薄膜粘贴位置靠上方(Z方向)的位置。另外，转接辊52在基板1的输送方向上配置在比粘贴辅助部135且比薄膜粘贴部105靠上方的位置。由此，经过薄膜粘贴辊40后的薄膜60朝向上方急剧地弯折，从而如后所述仅将被切割后的主薄膜材料61粘贴于基板1，保护材料62从主薄膜材料61分离。

涂敷部106相对于基板1涂敷粘接剂N，该粘接剂N作为用于将薄膜60粘接于该基板1的涂敷液。涂敷部106相对于利用薄膜保持辊43沿铅垂方向输送的薄膜60涂敷粘接剂。作为涂敷部106所涂敷的涂敷液，使用至少具有在利用加热部107进行干燥后能够将薄膜60粘接于基板1的程度的粘合性的液体。

涂敷部106包括相对于基板1涂敷粘接剂的涂敷机构70、雾回收机构71以及对涂敷于薄膜60的粘接剂的厚度进行调整的膜厚调整机构72(参照图7)。

图4A是表示涂敷机构70的主要部分结构的简图，图4B是概念性地表示喷嘴73的前端73a的动作的图。

如图4A所示，涂敷机构70包括用于喷射粘接剂的喷嘴73、主体部74以及使主体部74绕X轴转动的转动部75。作为喷嘴73，使用以雾状喷射粘接剂的喷雾喷嘴。主体部74具有能够使喷嘴73沿着薄膜60的宽度方向移动的移动机构79。移动机构79包括引导喷嘴73的移动的引导部79a以及传递使喷嘴73相对于该引导部79a移动的驱动力的驱动部79b。喷嘴73经由安装臂78连接于引导部79a。

驱动部79b例如利用齿轮齿条机构向引导部79a侧传递驱动力。由此，喷嘴73能够如该图箭头B所示沿着薄膜60的宽度方向移动。由此，喷嘴73能够向薄膜60的宽度方向的整个区域喷射粘接剂。

转动部75由电动机等构成。主体部74在其中央部安装于转动部75。由此，主体部74能够利用转动部75以中央部为基准进行摆动。喷嘴73能够相对于主体部74的摆动动作独立地利用主体部74的移动机构79进行移动。以下，为了方便说明，使喷嘴73的前端73a的中心与转动部75的旋转中心一致。

根据这样的结构，如图4B所示，喷嘴73的前端73a以转动部75的旋转中心作为基准呈大致8字状移动。具体而言，若以转动部75的旋转中心C作为基准来设定YZ轴，则喷嘴73的前端以从第四象限到第二象限描绘圆弧、并经由第三象限到第一象限描绘圆弧、到达第四象限之后反复描绘相同的轨迹的方式移动。在本说明中，列举了喷嘴73的前端73a在从第二象限到达第三象限时以及从第一象限到达第四象限时描绘出圆弧并返回的情况，但本发明不限定于此。例如，也可以采用通过以沿着Z轴方向跨越Y轴的方式折回而从第二象限向第三象限移动以及从第一象限向第四象限移动的结构。在该情况下，涂敷机构70代替转动部75而具有使主体部74在YZ方向上移动的移动部。

图5是表示本实施方式的涂敷部106涂敷粘接剂时的、喷嘴73的前端73a相对于薄膜60的动作的图。另外，图6是作为比较而表示不具有转动部75的涂敷部106涂敷粘接剂时的、喷嘴73的前端73a相对于薄膜60的动作的图。本实施方式的涂敷部106如上所述使喷嘴73以转动部75的旋转中心C为基准呈大致8字状移动，因此，能够通过调整薄膜60的输送速度以及喷嘴73的移动速度而如图5所示那样使喷嘴73的前端沿着按规定方向输送的薄膜60的表面的宽度方向移动。另一方面，在不具有转动部75的情况下，在喷嘴73沿薄膜60的宽度方向移动的期间，该薄膜60本身也被输送，因此，如图6所示，喷嘴73的前端73a相对于薄膜60的表面呈Z字形移动。

如以上所述，本实施方式的涂敷部106具备转动部75而能够使喷嘴73的前端73a在薄膜60的宽度方向上以及输送方向的整体区域无间隙地移动，因此能够将粘接剂均匀地涂敷于薄膜60的整面。

返回图1，加热部107用于通过对利用涂敷部106涂敷有粘接剂的薄膜60进行加热(干燥处理)而使粘接剂固化。加热部107具有第一加热部76以及第二加热部77。第一加热部76以及第二加热部77的加热温度分别设定为不同的值。

第一加热部76用于通过对薄膜60进行第一干燥处理而使粘接剂临时固化。第二加热部77用于通过对薄膜60进行第二干燥处理而使粘接剂完全固化。

根据这样的结构，加热部107能够通过分级地(两级)对薄膜60进行加热而使粘接剂良好地固化。在粘接剂包含多钟(例如两种)溶剂的情况下，通过由第一加热部76进行的第一干燥处理(第一级的加热处理)使粘接剂中的第一溶剂蒸发、由第二加热部77进行的第二干燥处理(第二级的加热处理)使粘接剂中的第二溶剂蒸发，能够使粘接剂干燥而良好地固化。

另外，加热部107使用第一加热部76以及第二加热部77进行一张薄膜60的加热处理，因此，不会如仅利用一个加热部进行薄膜60的加热处理那样产生在上一个薄膜60的干燥处理结束之前无法开始进行下一个薄膜60的干燥处理这样的问题。由此，能够依次将薄膜60输送到加热部107内，故而能够缩短加热处理所需要的生产节拍。

图7是表示涂敷部106的周边结构的简图。图8是表示雾回收机构71的结构的简图。雾回收机构71用于回收由涂敷机构70的喷嘴73涂敷粘接剂时产生的雾。

如图7所示，雾回收机构71具有主体部80、雾清洗部81以及清洗液循环部82。主体部80构成利用涂敷部106进行粘接剂涂敷处理的处理室。主体部80设置有用于将由薄膜输送部104输送的薄膜60搬入到内部或者从内部搬出的开口部80a。

如图8所示，雾清洗部81以覆盖薄膜60的与被涂敷粘接剂的面相反的背面60a以及侧面60b的方式设置在主体部80内。如图7所示，雾清洗部81具有用于贮存清洗液W的清洗液贮存部83、供从该清洗液贮存部83溢出的清洗液W流动的清洗部84、以及清洗液接收部85。在图7中，为了使附图易懂，而仅图示了配置在薄膜60的背面60a侧的雾清洗部81，但如图8所示，在薄膜60的侧面60b侧也配置有雾清洗部81。配置在薄膜60的侧面60b侧的雾清洗部81也具有与背面60a侧的雾清洗部81相同的结构。

清洗部84由沿着薄膜60的输送方向(Z方向)延伸的刷构件构成，形成为清洗液沿着该刷构件的表面向下方流动的结构。清洗液接收部85作为用于收纳沿着清洗部84向下方流动的清洗液的容器而发挥功能。

在清洗液接收部85的下方设置有使清洗液W连通到主体部80内的连通部85a，清洗液接收部85内的清洗液经由该连通部85a向主体部80的底部89流入。清洗液循环部82利用泵P的驱动力使积存在主体部80的底部89的清洗液经由连通部89a向清洗部84的清洗液贮存部83循环。清洗液循环部82具有过滤器F，使清洗液经由该过滤器F而循环。由此，能够除去清洗后清洗液中所含有的异物而能再利用清洗液。

根据本实施方式的涂敷部106，由于能够利用雾回收机构71回收从喷嘴73相对于薄膜60涂敷粘接剂时产生的雾，因此能够防止发生因雾附着而导致粘贴装置100内受到污染这样的不良情况。

膜厚调整机构72以使涂敷在薄膜60的宽度方向上的薄膜端部的粘接剂的厚度均匀的方式进行调整。图9A以及图9B是表示膜厚调整机构72的周边结构的图，该图9A是立体图，该图9B是剖视图。

如图9A、图9B所示，膜厚调整机构72具备设置在薄膜60的薄膜端部附近的传动辊90、驱动辊91、从动辊92以及架设在该传动辊90、驱动辊91和从动辊92上的带93。带93由与薄膜60相同材质的聚酰亚胺构成。

传动辊90与朝向铅垂方向输送薄膜60的薄膜保持辊43同轴地旋转。传动辊90的外径设定为架设在该传动辊90上的带93的表面与架设在薄膜保持辊43上的薄膜60的表面处于大致相同高度的大小。另外，涂敷部106被对位为喷嘴73的前端在带93的表面与薄膜60的表面处于大致相同高度的区域相对于薄膜60的表面涂敷粘接剂。

在此，在没有在薄膜60的薄膜端部设置膜厚调整机构72的带93的情况下，在粘接剂的飞散条件发生变化的薄膜端部，粘接剂的膜厚变薄。由此，在薄膜60的宽度方向上，存在粘接剂的膜厚产生偏差的可能。

与此相对，根据本实施方式，膜厚调整机构72的带93的表面位于与喷嘴73所对置的薄膜60的薄膜端部的表面大致相同的高度，因此能够使粘接剂的飞散条件在薄膜端部与薄膜中央部一致。由此，能够通过使薄膜60的宽度方向上的粘接剂的成膜条件一致而以均匀的膜厚涂敷粘接剂。

然而，在使用本实施方式的喷嘴73这样的喷雾喷嘴的情况下的涂敷面可能产生不均匀。

与此相对，在本实施方式中，采用从喷嘴73相对于沿着铅垂方向(Z方向)输送的薄膜60涂敷粘接剂的结构。

若以前端73a的开口端与薄膜60的表面对置的状态配置喷嘴73与薄膜60，则即使薄膜60不一定沿着铅垂方向被输送，也能够获得所述的不均匀抑制效果。即，薄膜60只要沿着与水平面交叉的方向被输送即可。这样，若薄膜60在与水平面交叉的方向上被输送、即以相对于水平面倾斜的状态被输送，则喷嘴73的前端73a与薄膜60的表面处于在水平方向上始终离开规定距离的状态，因此能够抑制所述粘接剂的涂敷面上的不均匀的产生。

由此，由于喷嘴73的前端与薄膜60的表面处于在水平方向上离开规定距离的状态，因此，从喷嘴73涂敷的粘接剂的粒子中的、粒子较粗(颗粒大)的粘接剂在到达薄膜60的表面前落下，不会被涂敷到薄膜60上。另一方面，从喷嘴73涂敷的粘接剂的粒子中的、粒子较细(颗粒小)的粘接剂到达配置在与喷嘴73的前端离开规定距离的位置的薄膜60的表面，而被涂敷到薄膜60上。由此，能够在薄膜60上涂敷含有均匀的粒子的粘接剂，因此能够抑制在粘接剂的涂敷面上产生所述的不均匀的情况。

也可以设置对附着于带93的表面的粘接剂进行清洗的清洗装置。作为清洗装置的结构，向带93喷射清洗液的结构或者使带93浸于清洗液贮存部的结构均可。由此，能够将带93的表面始终保持为干净的状态，因此能够长期高精度地进行薄膜60的薄膜端部处的粘接剂的成膜条件的调整。

接着，对本实施方式的粘贴装置100的动作、即将薄膜60粘贴于基板1的动作进行说明。

图10是对粘贴装置100所进行的薄膜60的粘贴工序进行说明的流程图。

首先，在粘贴装置100中将卷筒体R安装于薄膜送出部41(步骤S1)。

在安装卷筒体R后，粘贴装置100的薄膜输送部104进行驱动，而进行薄膜60的卷出(步骤S2)。具体而言，薄膜输送部104驱动薄膜送出部41以及薄膜卷取部51旋转而沿着规定方向输送薄膜60。

粘贴装置100以配合薄膜输送部104对薄膜60的输送的方式驱动涂敷部106，进行粘接剂的涂敷(步骤S3)。具体而言，涂敷部106如上所述使喷嘴73一边以转动部75的旋转中心为基准呈大致8字状移动一边相对于由薄膜输送部104输送的薄膜60涂敷粘接剂。涂敷部106利用移动机构79使喷嘴73移动，并且利用转动部75使保持喷嘴73的主体部74绕X轴转动，从而能够使喷嘴73的前端在薄膜60的宽度方向以及输送方向上的整个区域无间隙地移动(参照图5)。由此，能够将粘接剂均匀地涂敷于薄膜60的宽度方向上的整面。

然而，在相对于薄膜60涂敷粘接剂时，在薄膜60的宽度方向的薄膜端部，粘接剂的飞散条件发生变化，因此薄膜端部处的粘接剂的厚度比中央部的粘接剂的厚度薄。与此相对，本实施方式的涂敷部106在从喷嘴73相对于薄膜60涂敷粘接剂时使膜厚调整机构72发挥功能，以将涂敷于薄膜60的宽度方向上的薄膜端部的粘接剂的厚度调整均匀。

具体而言，膜厚调整机构72与用于输送薄膜60的薄膜保持辊43的旋转同步地使传动辊90旋转。此时，架设于传动辊90的表面的带93的表面与架设于薄膜保持辊43的薄膜60的表面处于相同的高度。

由此，在薄膜端部附近，带93的表面位于与薄膜60的表面相同的高度，因此能够实质性地使薄膜端部处的粘接剂的飞散条件与中央部的粘接剂的飞散条件一致。

由此，从喷嘴73涂敷的粘接剂的飞散条件在薄膜60的薄膜端部也不会发生变化，粘接剂的成膜条件在薄膜60的宽度方向上稳定，从而能够以均匀的条件涂敷粘接剂。

在从喷嘴73向薄膜60涂敷粘接剂时，雾从喷嘴73向周围飞散。与此相对，在本实施方式的涂敷部106中，能够利用雾回收机构71回收雾。具体而言，从喷嘴73飞散的雾被以覆盖薄膜60的背面60a以及侧面60b的方式设置的雾清洗部81(雾回收机构71)的清洗部84捕捉。

清洗部84如上所述形成为清洗液沿着刷构件的表面向下方流动的结构，因此，被捕捉到的雾与清洗液一起被向下方排出。由此，被捕捉到的雾不会积蓄在清洗部84，能够稳定地回收雾。

回收了雾的清洗液从清洗液接收部85向主体部80的底部流入，在利用清洗液循环部82的过滤器F除去异物后再次向清洗部84循环。

另外，在本实施方式中，从喷嘴73相对于沿着铅垂方向(Z方向)被输送的薄膜60涂敷粘接剂，因此，能够防止从喷嘴73涂敷的粘接剂的粒子中的、粒子较粗(颗粒大)的粘接剂被涂敷到薄膜60上，能够仅将粒子细(颗粒小)的粘接剂涂敷于薄膜60。这样，被涂敷的粘接剂含有均匀的粒子，因此，成为在抑制了产生不均匀的状态下进行涂敷。该粘接剂的表面的不均匀较少，因此，在后续工序中进行的向基板1进行粘贴的情况下也能够防止主薄膜材料61的平面度降低这样的不良情况的产生。

薄膜输送部104将利用涂敷部106涂敷有粘接剂的薄膜60向加热部107输送并对薄膜60进行加热(干燥处理)，由此使粘接剂固化(步骤S4、S5)。具体而言，加热部107首先利用第一加热部76对薄膜60进行第一(1st)干燥处理(步骤S4)。接着，加热部107利用第二加热部77对薄膜60进行第二(2nd)干燥处理(步骤S5)。第一加热部76以及第二加热部77的加热温度根据粘接剂的种类、膜厚等条件适当改变。

这样，在本实施方式中，加热部107使用第一加热部76以及第二加热部77进行一张薄膜60的加热处理，因此能够依次将薄膜60输送到加热部107内，能够缩短加热处理所需要的生产节拍。

薄膜输送部104将利用加热部107进行加热处理后的薄膜60向切割部48输送，对薄膜60进行切割(步骤S6)。如图3所示，切割部48相对于台座部48b上的薄膜60按压刀刃48a，仅将薄膜60中的主薄膜材料61切断。利用切割部48进行切割后的薄膜60成为以主薄膜材料61被切断为规定长度的状态利用粘合层63粘贴于保护材料62的状态。

具体而言，切割部48如上所述以包含粘贴部分以及非粘贴部分的方式仅切断主薄膜材料61。

在此，在进行薄膜60的切断时，薄膜60的输送暂时停止。另一方面，薄膜60在切断部分以外继续被薄膜输送部104输送。因此，通过切割部48使薄膜60的输送速度产生差异，由于输送速度的偏差导致薄膜60重叠，结果导致发生输送不良。

与此相对，在本实施方式中，同步调整部47对在薄膜60的切断时产生的输送速度的偏差进行调整。同步调整部47在薄膜60被切断的时刻使抵接辊部147向输送方向上游侧(+X方向)移动。于是，切割部48与同步调整部47(抵接辊部147)之间的距离增长，相当于趋近切割部48的薄膜60的输送速度降低。由此，通过使薄膜60的输送速度一致而能够防止薄膜60产生重叠。

由此，薄膜输送部104能够不发生薄膜60的输送不良地在输送状态下利用切割部48良好地切断薄膜60。另外，薄膜输送部104不需要每次利用切割部48进行切断作业都使薄膜60的输送暂时停止，因此能够缩短薄膜60的粘贴所需要的作业时间。

接着，进行切割后的薄膜60的粘贴工序。粘贴装置100在进行薄膜60的粘贴之前从基板供给部102的盒102a内拉出基板1，利用基板移动部103开始输送基板1(步骤S7、S8)。

基板移动部103使基板1移动至薄膜粘贴部105。薄膜粘贴部105相对于由基板移动部103输送的基板1粘贴薄膜60(步骤S9)。基板移动部103将基板1的输送速度控制为，使基板1的输送方向前端到达薄膜粘贴部105的时刻与由薄膜输送部104输送的薄膜60的粘贴部分到达薄膜粘贴部105的时刻同步。

具体而言，基板1经过第一基板输送辊部30以及第二基板输送辊部31而被向第三基板输送辊部32(输送辊32a)输送。薄膜输送部104配合基板1到达第三基板输送辊部32的时刻使薄膜粘贴辊40下降。由此，薄膜粘贴辊40开始相对于位于基板移动部103的输送辊32a(第三基板输送辊部32)上的基板1按压薄膜60(粘贴部分)。

薄膜粘贴辊40将薄膜60的粘贴部分的主薄膜材料61粘贴于基板1。薄膜60经由切割部48所进行的切断工序而成为以主薄膜材料61被切断为规定长度(粘贴部分或者非粘贴部分)的状态利用粘合层63粘贴于保护材料62的状态。

具体而言，如上所述，薄膜粘贴辊40在薄膜60的相当于粘贴部分的主薄膜材料61的输送方向前端部与基板1的输送方向前端对齐的时刻下降。粘贴部分的主薄膜材料61与基板1一起被夹持在薄膜粘贴辊40与输送辊32a之间，主薄膜材料61借助粘接剂N粘接于基板1。

经过薄膜粘贴辊40后的薄膜60经由转接辊52、53而被薄膜卷取部51卷取。在此，转接辊52位于比由薄膜粘贴辊40进行粘贴的薄膜粘贴位置靠上方(Z方向)的位置，因此薄膜60经过薄膜粘贴辊40而朝向上方急剧地弯折。

由此，在转接辊52的作用下向上方弯折的薄膜60，仅主薄膜材料61借助粘接剂N留在基板1上，仅保护材料62被向转接辊52侧输出，由此主薄膜材料61与保护材料62分离(步骤S10)。从薄膜60分离的保护材料62借助转接辊52、53卷取于薄膜卷取部51(步骤S11)。

利用薄膜粘贴部105粘贴了主薄膜材料61的粘贴部分的基板1被向第四基板输送辊部33输送。在此，为了防止非粘贴部分夹入薄膜粘贴辊40与输送辊32a之间，而如上所述地使薄膜粘贴辊40在与基板1的输送方向后端抵接之前上升，因此输送方向后端侧的薄膜60相对于基板1的按压不足，薄膜60的粘贴不充分。

在本实施方式中，在第四基板输送辊部33中，将基板1夹在粘贴辅助部135(粘贴辅助辊135b)与输送辊135a之间一直到该基板1的输送方向的后端的边缘通过，由此能够将粘贴不充分的薄膜60的后端的切断部分可靠地粘接于基板1。因此，能够将薄膜60良好地粘接于基板1的整面。

粘贴有主薄膜材料61的基板1经过辊对133以及第五基板输送辊部34而向未图示的基板搬出用盒内收纳(步骤S12)。

粘贴装置100反复进行上述的步骤S1～步骤S12的薄膜粘贴处理工序SS1，一直到相对于基板供给部102内的规定张数的基板1粘贴主薄膜材料61(薄膜60)的作业结束(步骤S13)。根据以上内容，粘贴装置100能够相对于规定张数的基板1良好地粘贴薄膜60。

本发明不限定于上述实施方式，能够在不脱离发明主旨的范围内适当变更。例如，在上述实施方式中，列举了在薄膜送出部41以及薄膜卷取部51均设置驱动部的情况为例，但也可以采用如下结构：仅在薄膜卷取部51设置驱动部，使薄膜卷取部51主动旋转，由此卷取自从动旋转的薄膜送出部41松卷放出的薄膜60。

另外，在上述实施方式中，列举了加热部107以两级对薄膜60进行加热的情况为例，但也可以以一级或三级以上对薄膜60进行加热。

(第二实施方式)

接下来，对第二实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化或省略其说明。

图11是表示第二实施方式的粘贴装置的结构的图。在粘贴装置100中，如图11所示，也可以在装置框体101内配置多个离子发生器110。由此，通过去除因薄膜60的输送而产生的静电，能够防止静电引起的薄膜60的粘贴等这样的不良情况的产生，薄膜60能够被良好地输送并向基板1粘贴。

另外，如图11所示，也可以在加热部107的薄膜60的输送方向下游侧设置冷却部108。由此，能够将利用加热部107加热后的薄膜60冷却而使其在短时间内下降至规定温度。由此，能够缩短薄膜60的输送路径，薄膜输送部104小型化，从而能够实现粘贴装置100本身的小型化。

(第三实施方式)

接下来，对第三实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化或省略其说明。

在上述实施方式中，作为膜厚调整机构72，例示了将带93的表面设定为与薄膜60的表面大致相同高度的情况，但在本实施方式中，不使用带93而采用使传动辊90的表面与薄膜60的表面的高度一致的结构。在该情况下，作为传动辊90的材质，优选使用表面粗糙度低的例如SUS、树脂、铝等，由此，能够良好地调整薄膜60的薄膜端部处的粘接剂的成膜条件而使粘接剂整齐。

图12A以及图12B是表示第三实施方式的膜厚调整部的结构的图，该图A是立体图，该图B是剖视图。在本实施方式中，如图12A、图12B所示，采用传动辊95的旋转轴与薄膜保持辊43一体形成、传动辊95与薄膜保持辊43一体地旋转的结构。

在本实施方式中，如图12A、图12B所示，与薄膜保持辊43一体地形成的传动辊95构成膜厚调整部。传动辊95与薄膜保持辊43同轴地旋转。传动辊95的表面95a设定为与薄膜60的表面处于相同高度。即，传动辊95构成为外径比保持薄膜60的薄膜保持辊43大薄膜60的厚度。

然而，在从喷嘴73相对于薄膜60涂敷粘接剂时，从喷嘴73飞散的雾附着于传动辊95。在本变形例中，配置与传动辊95的表面抵接的刮板构件96。刮板构件96抵接于传动辊95的、比和薄膜60抵接的抵接部分靠旋转方向下游侧的表面。作为刮板构件96的材料，优选使用橡胶、树脂等，由此，能够不损伤传动辊95而良好地刮除附着于该传动辊95的雾。由此，刮板构件96能够刮除从喷嘴73飞散并附着于传动辊95的表面的雾。刮板构件96所刮除的雾可以回收到在图7所示的雾回收机构71的主体部80的底部89贮存的清洗液W中，也可以另外设置回收机构。

由此，仅利用传动辊95构成本发明的膜厚调整部，能够减少部件数量，能够实现成本降低。另外，由于传动辊95与薄膜保持辊43一体地旋转，因此能够使上述传动辊90以及薄膜保持辊43的驱动部共用，能够实现成本降低。

(第四实施方式)

接下来，对第四实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化或省略其说明。

在上述第一实施方式中，作为同步调整部47，例示了通过使抵接辊部147向薄膜60的输送方向上游侧(+X方向)移动而与薄膜60抵接来调整薄膜60的输送速度的结构，但本发明不限定于此。

图13是表示本实施方式的粘贴装置100A的简要结构的图。

如图13所示，本实施方式的粘贴装置100A具备采用与输送路径调整部42相同的结构的同步调整部247。

同步调整部247具有与薄膜60的一面侧(背面侧)抵接并且在规定方向上进行输送的输送辊(辊构件)241、在另一端侧保持输送辊241的杠杆构件242、以及以一端侧为基准而使杠杆构件242进行转动动作的转动部240。输送辊241被保持为能够相对于杠杆构件242旋转。

在本实施方式中，为了使薄膜60被切割部48切断时薄膜60暂时停止的部分的输送速度与其他输送过程中的部分的输送速度相同，同步调整部247利用转动部240使杠杆构件242顺时针转动，从而使设置在杠杆构件242的另一端侧的输送辊241呈圆弧状移动。此时，输送辊241压入薄膜60的一面侧，从而能够对薄膜60施加规定的张力。另外，输送辊241能够相对于杠杆构件242转动，因此输送辊241伴随着薄膜60的输送而旋转。由此，能防止输送辊241阻碍薄膜60的输送。

根据本实施方式，同步调整部247通过自由地调整利用输送辊241对薄膜60施加的张力，并且改变该薄膜60的输送路径，能够延长薄膜60的切割部48与同步调整部247(输送辊241)之间的距离。由此，相当于能够降低薄膜60的到达切割部48的输送速度，通过在整体上调整薄膜60的输送速度，能够防止薄膜60因输送速度的偏差而产生重叠的情况。

另外，在本实施方式中，由于采用同步调整部247使杠杆构件242转动这样简单的方式，因此还能够实现装置整体的小型化以及低成本化。

(第五实施方式)

接下来，对第五实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化或省略其说明。

在上述第一实施方式中说明了具备膜厚调整机构72而使涂敷在薄膜60的宽度方向上的薄膜端部处的粘接剂的厚度均匀的情况，但本发明并不局限于此，也可以不具有膜厚调整机构72。

图14是作为本实施方式的粘贴装置的主要部分结构的薄膜保持辊43的周边结构的放大图。

如图14所示，在本实施方式中，具备用于清洗附着于薄膜保持辊43的粘接剂的辊清洗部150。

在本实施方式中，薄膜保持辊43的与薄膜60的输送方向交叉的方向上的宽度比薄膜60的宽度大。因此，薄膜保持辊43在从喷嘴73涂敷粘接剂时对薄膜60的整面进行保持，从而防止在粘接剂的涂敷面产生褶皱、松弛。由此，在薄膜60上均匀地涂敷粘接剂。

另一方面，薄膜保持辊43的宽度比薄膜60的宽度大，因此在保持薄膜60时成为两端部暴露出的状态。因此，从喷嘴73涂敷的粘接剂的一部分也附着于薄膜保持辊43。与此相对，在本实施方式中，采用具备用于清洗附着于薄膜保持辊43的粘接剂的上述辊清洗部150的结构。

辊清洗部150包括：清洗液涂敷部150a，其至少向薄膜保持辊43的附着有粘接剂的部分涂敷清洗液；以及刮板构件150b，其与涂敷有清洗液的薄膜保持辊43的表面43a滑动接触。

清洗液涂敷部150a例如由喷雾喷嘴等构成，配置为从薄膜60的不与粘接剂的涂敷面相对的方向涂敷清洗液。在本实施方式中，清洗液涂敷部150a与薄膜60的输送方向平行地配置，从上方相对于薄膜保持辊43涂敷清洗液。由此，防止在薄膜60的粘接剂的涂敷区域附着有清洗液这样的不良情况的发生。

刮板构件150b与薄膜保持辊43的表面43a中的、至少附着有清洗液的部分滑动接触。在本实施方式中，刮板构件150b具有与薄膜保持辊43相同的宽度，能够一并擦拭薄膜保持辊43的整个表面43a。刮板构件150b也可以采用仅擦拭薄膜保持辊43的表面43a中的附着有清洗液的端部的结构，在该情况下，只要准备两个刮板构件150b，使该两个刮板构件150b与薄膜保持辊43的两端部的表面43a滑动接触即可。

刮板构件150b抵接于薄膜保持辊43的、比和薄膜60抵接的抵接部分靠旋转方向下游侧的表面43a。作为刮板构件150b的材料，优选使用橡胶、树脂等，由此，能够不损伤薄膜保持辊43地良好地刮除附着于该薄膜保持辊43的粘接剂以及清洗液。

如上所述，根据本实施方式，即便是采用不具有膜厚调整机构72的结构的粘贴装置，由于具备辊清洗部150，因此也能够良好地除去附着于薄膜保持辊43的粘接剂。由此，能够防止因附着于薄膜保持辊43的粘接剂而导致装置内部被污染这样的不良情况的发生。

(第六实施方式)

接下来，对第六实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化或省略其说明。

在上述第一实施方式中，列举了切割部48通过将刀刃48a按压于薄膜60而一并切断主薄膜材料61的情况为例，但本发明并不局限于此，切割部也可以采用其它结构。

图15是表示本实施方式的粘贴装置的主要部分结构的切割部及其周边的简要结构的图。

如图15所示，本实施方式的切割部160具有用于切断(切割)薄膜60的旋转刀刃(切割刀刃)161、与旋转刀刃161相对配置的薄膜支承部162以及用于清洗旋转刀刃161的刀刃清洗部(切割刀刃清洗部)163。

旋转刀刃161由圆盘状的切割刀刃构成，一边利用未图示的引导构件使旋转刀刃161沿着薄膜60的宽度方向(图15所示的从右方向朝左方向)移动一边切断所述薄膜60。旋转刀刃161在进行薄膜60的切断的情况下，例如向图15所示的一方向(顺时针方向)旋转。薄膜支承部162用于在与旋转刀刃161之间保持薄膜60。切割部160根据薄膜60(主薄膜材料61)的厚度相应地使旋转刀刃161在薄膜60的厚度方向(X方向)上移动，从而调整薄膜支承部162与旋转刀刃161之间的间隔。由此，切割部160能够仅切断薄膜60中的主薄膜材料61。切割部160能够根据薄膜60(主薄膜材料61)的厚度、材质等条件任意地设定旋转刀刃161的旋转速度、移动速度。

刀刃清洗部163配置在不与薄膜支承部162相对的位置，且是切割部160的待机位置。在此，切割部160的待机位置是指进行薄膜60的切断之前的旋转刀刃161进行待机的位置，是从薄膜60的一端侧(图15所示的右侧的端部)向另一端侧(图15所示的左侧的端部)移动后的旋转刀刃161折回并返回到一端侧后最终返回的位置。旋转刀刃161在切断薄膜60并退回到另一端侧的情况下，例如向图15所示的+方向(逆时针方向)旋转。在本说明中，列举了旋转刀刃161在切断薄膜60时向方向(顺时针方向)旋转、在返回到另一端侧的情况下向+方向(逆时针方向)旋转的情况为例，但并不局限于此，相反，也可以是旋转刀刃161在切断时向+方向旋转、在返回到另一端侧的情况下向一方向旋转。或者，旋转刀刃161的旋转方向也可以固定为方向或+方向中的任一方。

这样，切割部160通过具备配置在待机位置的刀刃清洗部163，能够清洗因切断薄膜60而附着于旋转刀刃161的粘合层63。

刀刃清洗部163包括与旋转刀刃161的前端滑动接触的海绵构件163a和相对于该海绵构件163a供给清洗液的清洗液供给部163b。海绵构件163a形成有能够收纳旋转刀刃161的前端的狭缝163s。清洗液供给部163b用于使清洗液浸入海绵构件163a，用于维持海绵构件163a的对旋转刀刃161进行清洗的清洗性。

如以上所述，根据本实施方式，旋转刀刃161从薄膜60的一端侧朝向另一端侧移动而能够简单且可靠地切断薄膜60。另外，通过采用旋转刀刃161，能够简单且可靠地切断薄膜60。另外，由于具备刀刃清洗部163，因此能够通过清洗旋转刀刃161来维持旋转刀刃161的切断性能，结果，能够延长旋转刀刃161的寿命。

另外，本实施方式的切割部160在与海绵构件163a接触的状态下驱动旋转刀刃161进行旋转，因此能够可靠地清洗并除去附着在该旋转刀刃161的前端的粘合层63。

在本实施方式中，列举了切割部160具备旋转刀刃161的情况为例，但切割刀刃不必一定采用旋转式，也可以采用通过使不进行旋转的刀刃在薄膜60的宽度方向上移动来切断薄膜60(主薄膜材料61)的结构。

(第七实施方式)

接下来，对第七实施方式进行说明。在以下的说明中，对与上述实施方式相同或者等同的结构部分标注相同的附图标记，简化并省略其说明。

图16是表示本实施方式的粘贴装置100B的简要结构的图。

如图16所示，本实施方式的粘贴装置100B具备检测粘贴于基板1的薄膜的检查部170。检查部170配置在第四基板输送辊部33与第五基板输送辊部34之间。

检查部170包括基板输送辊部171、拍摄粘贴于基板1的薄膜(主薄膜材料61)的拍摄部172、以及根据拍摄部172的拍摄结果判断检查结果的判断部173。

基板输送辊部171具有多个(在本实施方式中为四个)从动辊171a。由此，基板输送辊部171以接收从第四基板输送辊部33输送来的基板1并交接至第五基板输送辊部34的方式移动。

拍摄部172例如由CCD传感器等构成。该CCD传感器包含排列成矩阵状的多个像素。CCD传感器的各像素例如包括光电二极管等受光元件和薄膜晶体管等开关元件。

判断部173用于根据拍摄部172所拍摄的图像来判断粘贴于基板1的薄膜的状态。判断部173可以由运算电路等硬件构成，也可以利用程序等软件来实现。

图17是用于说明检查部170对薄膜(主薄膜材料61)进行检查的检查方法的一例的图。

如图17所示，检查部170利用拍摄部172拍摄粘贴有主薄膜材料61的基板1的四角，将拍摄到的图像G发送到判断部173。判断部173关于从拍摄部172发送来的图像G计算出构成基板1及主薄膜材料61的角部的各个缘边部之间的距离D1、D2。

判断部173对计算出的距离D1、D2与预先存储的阈值进行比较，在阈值与距离D1、D2之差分别为规定值以上的情况下，判断为主薄膜材料61相对于基板1以弯曲的状态被粘贴，判断基板1为不良品。另一方面，判断部173对计算出的距离D1、D2与所述阈值进行比较，在阈值与距离D1、D2之差分别低于规定值的情况下，判断为主薄膜材料61被良好地粘贴于基板1，判断基板1为良品。

这样，根据本实施方式，由于具备检查部170，因此能够判断薄膜(主薄膜材料61)相对于基板1的粘贴状态，从而能够容易地判断基板1为良品或不良品。由此，能够提供能挑选出薄膜的粘贴状态不是良好的不良品的基板1而预先排除的粘贴装置100B。在本说明中，列举了利用拍摄部172拍摄基板1的四角的情况为例，但并不局限于此，也可以仅拍摄基板1的四角中的任意两个。

工业上的可利用性

根据本发明，通过在一条流水线上进行粘接剂的涂敷以及向基板的粘贴，能够高效率地进行粘贴作业，因此在工业方面极其有用。

附图标记说明

1…基板；N…粘接剂；R…卷筒体；47…同步调整部；60…薄膜；60a…背面；60b…侧面；61…主薄膜材料；62…保护材料；72…膜厚调整机构(膜厚调整部)；73…喷嘴；84…清洗部；100…粘贴装置；106…涂敷部；107…加热部；108…冷却部；160…切割部；161…旋转刀刃；163…刀刃清洗部；170…检查部；240…转动部；241…输送辊(辊构件)；242…杠杆构件；247…同步调整部。

Claims (27)

1.一种粘贴装置，其特征在于，该粘贴装置具备：

输送部，其输送薄膜；

涂敷部，其将涂敷液涂敷于所述薄膜；

切割器，其将涂敷有所述涂敷液的所述薄膜切断为规定长度；

粘贴部，其将所述薄膜粘贴于基板；以及

粘贴辅助部，其至少辅助所述基板的输送方向后端处的所述薄膜的粘贴。

2.根据权利要求1所述的粘贴装置，其特征在于，

所述薄膜由卷绕长条状的片构件而成的卷筒体构成，

所述输送部通过将所述片构件从所述卷筒体卷出来输送所述片构件。

3.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

该粘贴装置还具备对涂敷有所述涂敷液的所述薄膜进行加热的加热部。

4.根据权利要求3所述的粘贴装置，其特征在于，

所述加热部分级地对所述薄膜进行加热。

5.根据权利要求1所述的粘贴装置，其特征在于，

所述涂敷部包括：涂敷喷嘴，其涂敷所述涂敷液；以及雾回收部，其回收从所述涂敷喷嘴飞散的雾。

6.根据权利要求5所述的粘贴装置，其特征在于，

所述雾回收部配置为覆盖所述薄膜的与被涂敷所述涂敷液的面相反的背面以及侧面。

7.根据权利要求5或6所述的粘贴装置，其特征在于，

所述涂敷部还包括膜厚调整部，该膜厚调整部对涂敷在所述薄膜的宽度方向上的薄膜端部处的所述涂敷液的厚度进行调整。

8.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

所述输送部具有对输送所述薄膜的时刻进行调整的同步调整部。

9.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

所述薄膜包含保护材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，

所述粘贴部将所述保护材料从所述主薄膜材料剥离并且借助所述涂敷液将所述主薄膜材料粘贴于所述基板。

10.根据权利要求1所述的粘贴装置，其特征在于，

所述粘贴部包括：第一输送辊，其构成所述输送部的一部分，用于输送所述基板；以及薄膜粘贴辊，其能够相对于该第一输送辊升降，通过将所述基板以及所述薄膜夹在该薄膜粘贴辊与该第一输送辊之间来将该薄膜粘贴于该基板，

所述粘贴辅助部包括：第二输送辊，其输送通过了所述粘贴部的所述基板；以及粘贴辅助辊，在该粘贴辅助辊与该第二输送辊之间夹持所述基板以及所述薄膜，

所述薄膜粘贴辊配合被所述输送部输送的所述基板的输送方向前端到达薄膜粘贴位置的时刻下降，在所述基板的输送方向后端到达所述薄膜粘贴位置之前的时刻上升，

所述粘贴辅助辊至少在被所述输送部输送的所述基板的输送方向后端将该基板以及所述薄膜夹在该粘贴辅助辊与所述第二输送辊之间。

11.根据权利要求10所述的粘贴装置，其特征在于，

所述粘贴辅助辊能够相对于所述第二输送辊升降。

12.根据权利要求10或11所述的粘贴装置，其特征在于，

所述薄膜包括保护材料和被涂敷所述涂敷液的主薄膜材料，

所述粘贴部将所述保护材料从所述主薄膜材料剥离并且借助所述涂敷液将该主薄膜材料粘贴于所述基板。

13.根据权利要求12所述的粘贴装置，其特征在于，

所述切割器将所述薄膜切断为包含粘贴于所述基板的粘贴部分和未粘贴于所述基板的非粘贴部分。

14.根据权利要求12所述的粘贴装置，其特征在于，

所述输送部包括转接辊，该转接辊相对于所述粘贴部而言配置在所述薄膜的输送路径的下游侧，对该薄膜的输送进行转接，

所述转接辊在所述基板的输送方向上配置于比所述粘贴辅助部靠近所述粘贴部的位置，且配置于比所述粘贴部靠上方的位置。

15.根据权利要求10或11所述的粘贴装置，其特征在于，

所述薄膜由卷绕长条状的片构件而成的卷筒体构成，

所述输送部通过将所述片构件从所述卷筒体卷出来输送所述片构件。

16.根据权利要求10或11所述的粘贴装置，其特征在于，

所述输送部具有对输送所述薄膜的时刻进行调整的同步调整部。

17.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

所述涂敷部将粘接剂作为所述涂敷液进行涂敷。

18.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

该粘贴装置还具备清洗部，该清洗部在利用所述涂敷部进行所述涂敷液的涂敷处理之前对所述薄膜进行清洗。

19.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

所述输送部相对于所述涂敷部沿着与水平面交叉的方向输送所述薄膜。

20.根据权利要求3所述的粘贴装置，其特征在于，

该粘贴装置还具备对由所述加热部加热了的所述薄膜进行冷却的冷却部。

21.根据权利要求8所述的粘贴装置，其特征在于，

所述同步调整部具备：杠杆构件，其能够以另一端侧为基准进行转动；以及辊构件，其设置在所述杠杆构件的一端侧并且供所述薄膜卷挂。

22.根据权利要求1或2所述的粘贴装置，其特征在于，

该粘贴装置还具备对粘贴于所述基板的所述薄膜进行检查的检查部。

23.根据权利要求5或6所述的粘贴装置，其特征在于，

所述输送部包括薄膜保持辊，该薄膜保持辊在与所述涂敷喷嘴相对的位置保持所述薄膜，并且该薄膜保持辊的与所述薄膜的输送方向交叉的方向上的宽度比该薄膜的宽度大，

所述涂敷部包括对涂敷时附着于所述薄膜保持辊的所述涂敷液进行清洗的辊清洗部。

24.根据权利要求1所述的粘贴装置，其特征在于，

所述切割器一边使切割刀刃在与所述薄膜的输送方向交叉的方向上从所述薄膜的一端侧朝向另一端侧移动一边切断该薄膜。

25.根据权利要求24所述的粘贴装置，其特征在于，

该粘贴装置还具备对切断所述薄膜后的所述切割刀刃进行清洗的切割刀刃清洗部。

26.根据权利要求25所述的粘贴装置，其特征在于，

所述切割器清洗部通过与所述切割刀刃接触来进行清洗。

27.根据权利要求24～26中任一项所述的粘贴装置，其特征在于，

所述切割器通过使所述切割刀刃旋转来切断所述薄膜。