CN104148232B - 涂敷装置及涂敷方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够保护线路板的包括端面的周边部，确实防止从线路板端部产生尘埃，并且能够提高线路板强度的涂敷装置，该涂敷装置1是对线路板2的包括端面的周边部涂敷液体的装置，配备有支承线路板2的支承台20；安装有涂敷滚轮22的涂敷单元20；移动涂敷单元20的移动单元40；为涂敷滚轮22的环状沟22a提供膜形成液57的液体供给单元50；控制移动单元40的控制部70，所述移动单元40在涂敷滚轮22的环状沟22a位于由支承台10支承的线路板2的周边部的状态下，使涂敷滚论22沿着线路板2的周向边缘部移动。

Description

涂敷装置及涂敷方法

技术领域

本发明涉及一种涂敷装置及涂敷方法，更具体地，涉及在线路板的周边部涂敷液体的涂敷装置及涂敷方法。

背景技术

一般将使用了玻璃环氧树脂部件的印刷线路板作为用以安装电子部件的线路板使用。玻璃环氧树脂部件是在重叠的玻璃纤维布上含浸环氧树脂形成的。因此，在切断玻璃环氧树脂部件时，产生由环氧树脂或者玻璃纤维组成的细微的尘埃。这些细微的尘埃可能引起线路板回路的接触不良和品质下降等的问题。因此，在制造印刷线路板时必须除去切断线路板时产生的尘埃。

但是，即使是从印刷线路板的端面除去了尘埃，由于印刷线路板的端面部分非常脆，所以还可能有端面部分损坏又产生尘埃的问题。

于是，本发明人已经在先提出了通过在印刷线路板上涂敷膜形成液来形成膜，从而能够防止端面部分损坏的涂敷装置（专利文献1）。

图9是显示了本发明人在先提出的涂敷装置的主要部分的侧面断面图，图10是为了显示内部机构而省略了框体的显示的涂敷装置的概略正面图。

横贯框体101的输入口101a及输出口101b，配设有沿前后方向延伸的传送装置102。传送装置102由支承部件（未图示）支承在框体101上。在框体101上设置有具有复数个操作开关103a的操作部103。通过操纵操作开关103a，可以驱动或者停止传送装置102。

在框体101内的传送装置102的左右分别设置涂敷机构110、110。涂敷机构110固定在与框体101的后面相向配设的固定板104上，固定板104的下部与滚珠丝杠机构120连结。滚珠丝杠机构120被支承部件（未图示）支承在框体101上。

涂敷机构110具有涂敷圆盘111、马达112、涂敷液体供给圆盘113以及马达114。用来旋转涂敷圆盘111的马达112、112被固定在水平安装于固定板104的支承部件105上，其旋转轴112a垂直向下配设。涂敷圆盘111、111，沿水平方向配设，具有向上下延伸的轴111a。在马达112的旋转轴112a上连结涂敷圆盘111的轴111a，通过马达112的驱动使涂敷圆盘111旋转。

用来旋转涂敷液供给圆盘113的马达114、114借助沿前后方向延伸的枢轴115与固定板104连结，其旋转轴114a水平方向配设。涂敷液供给圆盘113、113夹着涂敷圆盘111、111在传送装置102的相反一侧呈垂直方向配设，具有向水平方向延伸的轴113a。供给圆盘113的轴113a与马达114的旋转轴114a连结，通过马达114的驱动，供给圆盘113旋转。涂敷液供给圆盘113的轴113a位于比涂敷圆盘111的下面还下方的位置，涂敷液供给圆盘113的涂敷圆盘111一侧的上部侧面与涂敷圆盘111的的周面接触。

在供给圆盘113的下方设有箱形的液体供给容器117，用于收容含树脂成分的膜形成液116，供给圆盘113的下端部从上方插入液体供给容器117并浸于膜形成液116中。随着供给圆盘113的旋转，膜形成液116从涂敷液供给圆盘113的下端部向供给圆盘113的上部移动，提供给涂敷圆盘111的外周面。

在固定板104的下端面，连接有滚珠丝杠机构120。滚珠丝杠机构120具有配置在传送装置102下方的马达121、121。该马达121具有向传送装置102隔离的左右水平方向延伸的旋转轴（未图示），在该旋转轴上连结向左右水平方向延伸的公螺纹122。另外，在该公螺纹122上咬合着筒状的母螺纹体123，固定板104的下端中央部与母螺纹体123连结。通过马达121的驱动，公螺纹122旋转，随着公螺纹122的旋转，与母螺纹体123连结的固定板104能够左右移动。

以下说明通过上述涂敷装置为印刷线路板130的端面130a涂敷膜形成液116的涂敷方法。首先，操纵操作部103的操作开关103a，使马达121正反旋转，调整涂敷机构110、110的左右位置，使之与印刷线路板130的左右宽度相整合。然后，从输入口101a一侧将印刷线路板130放置在传送装置102上，操纵操作开关103a，驱动传送装置102，马达112、112及马达114、114。

通过传送装置102将印刷线路板130运送至涂敷机构110，使其左右端面130a，130a与涂敷圆盘111、111的周面111b、111b抵接。此时，附着在涂敷圆盘111的周面111b的膜形成液116就被涂敷到印刷线路板130的左右端面130a、130a上。并且随着印刷线路板130的运送，印刷线路板130的左右端面130a、130a全体被膜形成液116涂敷，涂敷后，从搬出口101b运出印刷线路板130，使膜形成液116中所含的树脂成分固化。

根据以上的涂敷装置，通过涂敷圆盘111、111，在印刷线路板130的两侧端面130a、130a上涂敷膜形成液，从而能够在印刷线路板130的两端面130a、130a上形成涂膜。

但是，当印刷线路板130的厚度很薄时（特别是厚度在1mm以下时），就会有上述涂敷装置难以给线路板端面均一地涂敷膜形成液的问题。

另外，为了应对各种电子器械的薄型化和小型化，近年来厚度为数十几μm～数百μm程度的薄型的覆铜层压线路板（也称为封装线路板）的需要高涨，但是上述涂敷装置很难适用于厚度为100μm程度以下的薄型线路板。此外，由于这样的薄型线路板的强度低，在使用时需要注意。因此，不仅需要防止从线路板端面产生尘埃，还有要求提高线路板的强度的需求。对于这种需求，由于上述涂敷装置仅是在线路板的端面形成涂膜的装置，所以有难以提高覆铜层压线路板之类的薄型线路板的强度的问题。

此外，在线路板的处理工序中（例如，实施蚀刻处理和镀敷处理的工序），为了从各种液剂（蚀刻液和镀敷液等）中保护线路板，在线路板的周边部施以遮蔽处理。例如，在线路板的周边部进行粘贴框状的遮蔽胶带的作业等，但是这种方法具有所述遮蔽胶带成本高，并且由人工作业粘贴时的人工费高，作业效率低的课题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1国际公开第2010/137418号公报

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，目的在于提供一种既能保护线路板的包括端面的周边部，确实防止从线路板端部产生尘埃，又能够提高线路板的强度，并且能够实现线路板处理工序的作业性的提高和成本的降低的涂敷装置及涂敷方法。

为了达到上述目的，本发明涉及的涂敷装置（1）是对线路板的包括端面的周边部涂敷液体的涂敷装置，其特征在于，具有：支承线路板的支承手段；装有涂敷滚轮的涂敷手段，该涂敷滚轮的外周面形成有环状沟；移动所述涂敷手段的移动手段；为所述涂敷滚轮的环状沟提供含有树脂成分的膜形成液的液体供给手段；以及在所述涂敷滚轮的环状沟位于被所述支承手段支承的线路板的周边部的状态下，为使所述涂敷滚轮沿着所述线路板的周边部移动而对所述移动手段施以控制的控制手段。

根据上述涂敷装置（1），在使所述涂敷滚轮的环状沟位于所述被支承手段支承的线路板的周边部的状态下，换言之，在将线路板的端部插入该环状沟内一定的宽度的状态下，在为所述涂敷滚轮的环状沟提供所述膜形成液的同时，能够使所述涂敷滚轮一边沿着所述线路板的周边部旋转一边移动。

所以不仅能够在由所述支承手段支承的线路板的端面，而且在该线路板的周边部也能够涂敷所述膜形成液，由此在所述线路板的周边部形成涂膜。因此，能够更加可靠地防止线路板的端面部损坏，产生尘埃的现象。另外，由于所述线路板的周边部因涂膜而增强，从而能够提高该线路板的强度，不但能够进一步提高所述线路板的使用性，还能够实现在线路板处理工序中的作业性的提高和成本的降低。

另外，本发明涉及的涂敷装置（2），其特征在于，在所述涂敷装置（1）中，所述涂敷手段具有：使所述涂敷滚轮旋转的旋转机构部和使所述旋转机构部回旋转动的回旋转动机构部。

根据上述涂敷装置（2），由于通过所述回旋转动机构部能够使所述旋转机构部回旋转动，例如，在矩形形状的线路板的周边部涂敷膜形成液时，能够将所述旋转机构部相对于所述线路板的端面的朝向设定为在该线路板的各个边时都为同一方向，从而对于该线路板的各边，能够在相同的状态下进行稳定的涂敷。

此外，本发明涉及的涂敷装置（3），其特征在于，在所述涂敷装置（2）中，所述旋转机构部相对于所述回旋转动机构部以在水平方向可以移动的方式安装。

根据上述涂敷装置（3），所述旋转机构部能够相对于所述回旋转动机构部在水平方向上移动。所以能够对所述旋转机构部的位置（更具体地所述涂敷滚轮的位置）进行微调整，亦即，能够对所述涂敷滚轮的环状沟与所述线路板的端面的间隔进行微调整，从而能够更加高精度地进行所述涂敷滚轮的位置控制。

此外，本发明涉及的涂敷装置（4），其特征在于，在上述（1）～（3）中的任一个涂敷装置中，所述涂敷滚轮具有圆盘状或者圆柱状的外形，在其外周面形成有断面为コ字形状或者断面为三角形形状的环状沟。

根据上述涂敷装置（4），由于所述涂敷滚轮具有圆盘状或者圆柱状的外形，在其外周面形成有断面为コ字形状或者断面为三角形形状的环状沟，所以能够在所述线路板的周边部将所述膜形成液涂敷成框状。另外，由于所述涂敷滚轮相对于所述涂敷手段可以装卸，所以能够根据被涂敷对象的线路板的厚度，或者涂敷的膜厚和涂敷宽度等，更换所述涂敷滚轮，因此能够适应多样的需求。此外，通过所述涂敷滚轮的环状沟的深度能够调整在所述线路板的周边部的上下面的涂敷宽度。另外，通过所述环状沟插入所述线路板的端面的深度，能够调整所述线路板的周边部的上下面的涂敷宽度。

另外，本发明涉及的涂敷装置（5），其特征在于，在任上述（1）～（3）中的任一个涂敷装置中，所述涂敷滚轮具有圆锥台形状的外形，在其外周面形成有断面为三角形状或者断面为台状的环状沟。

根据上述涂敷装置（5），由于所述涂敷滚轮具有圆锥台形状的外形，在其外表面形成有断面为三角形状或者断面为台形状的环状沟，所以能够改变在所述线路板的周边部的上下面的所述膜形成液的涂敷宽度。例如，能够应对只需在所述线路板的端面和周边部的下面一侧形成由所述膜形成液涂膜的情形，或者要求使所述线路板的周边部的下面一侧的涂敷宽度比上面一侧的涂敷宽度宽的情形等，能够增加涂敷形态的变化。另外，由于是所述涂敷滚轮相对于所述涂敷手段可以脱卸的构成，所以能够根据被涂敷对象的线路板的厚度或者涂敷膜厚和涂敷宽度等更换所述涂敷滚轮，能够适应多样化的需求。

此外本发明涉及的涂敷装置（6），其特征在于，在上述（1）～（5）中的任一涂敷装置中，所述液体供给手段具有：向所述涂敷滚轮的环状沟喷出所述膜形成液的喷嘴部；从液体收容部向所述喷嘴部提供所述膜形成液的供给手段；接受从所述喷嘴部向所述涂敷滚轮的环状沟喷出的所述膜形成液的液体接受部；将该液体接受部接受的所述膜形成液转运到所述液体收容部的转运手段。

根据上述涂敷装置（6），所述膜形成液直接从所述喷嘴部向所述涂敷滚轮的环状沟喷出，所以即使是所述涂敷滚轮在旋转时，也能将所述膜形成液稳定地提供给所述环状沟，从而能够在所述环状沟中充满所述膜形成液的状态下进行涂敷。另外，从所述喷嘴部向所述环状沟喷出的，从该环状沟流下来的膜形成液在所述液体接受部被接住，由所述转运手段转运至所述液体收容部，所以能够循环使用所述膜形成液，从而能够无浪费地使用所述膜形成液。

此外，本发明涉及的涂敷装置（7），其特征在于，在上述（1）～（6）中的任一涂敷装置中，具备干燥涂敷于所述线路板的周边部的所述膜形成液的干燥手段。

根据上述涂敷装置（7），通过干燥手段，能够在所述膜形成液涂敷后立刻使所述膜形成液干燥，所以能够提高之后的作业性，并且能够使防止所述膜形成液剥离等的涂敷不良的效果得以提高。

此外，本发明涉及的涂敷方法（1），是在线路板的包含端面的周边部涂敷膜形成液的涂敷方法，其特征在于，具有在将外周面形成有环状沟的涂敷滚轮的所述环状沟位于所述线路板的周边部的状态下，通过一边旋转所述滚轮，一边为该涂敷滚轮的环状沟提供所述膜形成液，同时沿着所述线路板的周边部移动所述涂敷滚轮，为所述线路板的周边部涂敷所述膜形成液的涂敷工序。

根据上述涂敷方法(1),在将所述涂敷滚轮的环状沟位于所述线路板的周边部的状态下，换言之，在将所述线路板的端部插入所述环状沟内一定宽度的状态下，一边使所述涂敷滚轮旋转，一边向该涂敷滚轮的环状沟内提供所述膜形成液，同时沿着所述线路板的周边部移动所述涂敷滚轮，由此，不仅能够在所述线路板的端面，而且能够在该线路板的上下面的周边部也涂敷所述膜形成液，从而能够在所述线路板的周边部形成涂膜。

因此，所述线路板的周边部由于涂膜而得以增强，不仅能够可靠地防止由于该线路板的端面部分的损坏而发生尘埃的现象，还能够提高该线路板的强度，从而更进一步提高所述线路板的使用性。另外，通过所述涂膜能够保护所述线路板的周边部，从而能够实现线路板处理工序的作业性的提高和成本的降低。

此外，本发明涉及的涂敷方法（2），其特征在于，在上述涂敷方法（1）中，对提供给所述涂敷滚轮的环状沟的所述膜形成液中，从所述环状沟流下来的所述膜形成液进行回收，并将该回收的膜形成液提供给所述涂敷滚轮的环状沟。

根据上述涂敷方法（2），由于对提供给所述涂敷滚轮的环状沟的所述膜形成液中，从所述环状沟流下来的所述膜形成液进行回收，并将该回收的膜形成液提供给所述涂敷滚轮的环状沟，所以能够循环使用所述膜形成液，能够无浪费地使用所述膜形成液。

另外，本发明涉及的涂敷方法（3），其特征在于，在上述涂敷方法（1）或者（2）中，所述涂敷工序是使固化后的膜厚成为20μm～150μm来涂敷所述膜形成液的工序。

根据所述涂敷方法（3），由于所述涂敷工序是使固化后的膜厚成为200μm～150μm来涂敷所述膜形成液的，所以即使是厚度为数十μm到数百μm的薄型的线路板，也能够在线路板的周边部形成薄的膜厚的涂膜。

此外，本发明涉及的涂敷方法（4），其特征在于，在上述(1)～（3）中的任一涂敷方法中，具有干燥涂敷在所述线路板的周边部的膜形成液的干燥工序。

根据上述涂敷方法（4），由于具有干燥涂敷在所述线路板的周边部的所述膜形成液的干燥工序，所以能够在所述膜形成液的涂敷后立刻使所述膜形成液干燥，能够提高之后的作业性，并且能够使防止所述膜形成液的剥落等涂敷不良的效果得以提高。

附图说明

图1是为了显示本发明的实施方式涉及的涂敷装置的主要部件，省略了框体显示的概略侧面图。

图2是为了显示实施方式涉及的涂敷装置的涂敷单元周边的主要部件，省略了框体显示的概略正面图。

图3是显示了构成实施方式涉及的涂敷装置的涂敷单元的构造的概略正面图。

图4是用来说明液体喷出用具相对于实施方式涉及的涂敷装置的涂敷滚轮的设置状态的图，（a）是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是（a）的沿b-b线的断面图。

图5是用来说明实施方式涉及的涂敷装置的涂敷滚轮的动作的平面图。

图6是显示了使用实施方式涉及的涂敷装置涂敷的线路板的周边部附近的图，（a）是部分斜视图，（b）是（a）中的沿b-b线的断面图。

图7是显示了使用另一实施方式涉及的涂敷滚轮涂敷线路板的周边部时的状态的图，（a）是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是（a）的沿b-b线的断面图，（c）是涂敷后的线路板的周边部附近的断面图。

图8是显示了使用又一实施方式涉及的涂敷滚轮涂敷线路板的周边部时的状态的图，（a）是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是（a）的沿b-b线的断面图，（c）是涂敷后的线路板的周边部附近的断面图。

图9是以往的涂敷装置的概略侧面图。

图10是为了显示以往的涂敷装置的内部机构，而省略了框体显示的概略正面图。

具体实施方式

以下根据图示说明本发明涉及的涂敷装置及涂敷方法。图1是为了显示实施方式涉及的涂敷装置的主要部件而省略了框体显示的概略侧面图，图2是为了显示涂敷装置的涂敷单元周边的主要部件而省略了框架显示的概略正面图。

涂敷装置1包括支承线路板2的支承台10，安装有涂敷滚轮22的涂敷单元20，以及使涂敷单元20移动的移动单元40而构成。此外，在涂敷装置1上配置有为涂敷滚轮22的环状沟22a提供含有树脂成分的膜形成液57的液体供给单元50，进行在线路板2上涂敷的膜形成液57的干燥的干燥炉60，控制装置各个部分的驱动的控制部70以及操作部80。

支撑台10配设在与线路板2的运送方向平行配设的运送轨道12之间。运送轨道12通过线性机构等能够在线路板2的运送方向平行配设的固定轨道11上滑动移动。支承台10由升降机构13可以升降地支承，升降机构13安装在设置于固定轨道11之间的支承部件14上。固定轨道11固定在框体上(未图示)。

运送轨道12在固定轨道11上滑动移动，置于运送轨道12上的线路板2被运送到支承台10上，接着升降机构13动作，支承台10从运送轨道12的下方开始上升，线路板2被支承在支承台10上，在该状态下，支承台10上升至所定的涂敷位置。另外，涂敷作业结束时，升降机构13动作，支承台10下降，线路板2被放置到运送轨道12上。

另外，在支承台10上设有吸着机构（未图示），能够使线路板2吸着在支承台10的上面。作为吸着机构，可以采用在支承台10上设置复数个空气吸气孔，通过空气管将真空泵与这些空气吸气孔连结的构成等。

移动单元40由能够在2个轴（X轴Y轴）方向水平移动涂敷单元20的2轴（XY轴）直动机构构成，包括固定在框体（未图示）的X轴筒体41、一端侧以可以滑动移动方式与X轴筒体41连结的Y轴筒体42、能够在Y轴筒体42上滑动移动的Y轴滑块43，以及支承Y轴筒体42的另一端侧的支承引导44而构成。涂敷单元20安装在Y轴滑块43上。支承引导44固定在框体（未图示）上。Y轴筒体42及Y轴滑块43的动作由控制部70控制。

涂敷单元20包括旋转机构部21及回旋转动机构部23而构成。图3是显示构成涂敷装置1的涂敷单元20的构造的概略正面图。旋转机构部21能够使涂敷滚轮22旋转。回旋转动机构部23能够使旋转机构部21以回旋转动马达25的旋转轴25a为中心回旋转动。

旋转机构部23包括与Y轴滑块43连结的连结部件24，安装在连结部件24上的回旋转动马达25，与向垂直方向延伸的回旋转动马达25的旋转轴25a连结的旋转轴部26及与旋转轴部26连结的回旋转动臂27而构成。

旋转轴部26包括旋转轴26a及以可以旋转方式支承旋转轴26a的滚珠轴承（未图示）而构成，旋转轴26a的上端一侧与回旋转动马达25的旋转轴25a连结，下端一侧与回旋转动臂27连结。

旋转臂27具有沿水平方向延伸设置的腕部27a，在腕部27a的下面中间部，设有用来使旋转机构部21沿着腕部27a的较长的方向（水平方向）滑动移动的滑动机构28。在滑动机构28上，安装有用来与旋转机构部21连结的连结部件29。在滑动机构28上，可以采用电动式的直动引导机构等。

另外，用来检出回旋转动臂27的回旋转动停止位置的传感器（例如コ字形光敏传感器）（未图示）以90度的间隔配设在旋转轴部26的周围，将旋转臂27旋转90度，在旋转臂27设置的遮光板（未图示）遮住所述传感器的受光部，从而能够检出停止位置。

旋转机构部21包括旋转马达30，与向垂直方向延伸的旋转马达30的旋转轴30a连结的第1滑轮31，一端卷挂在该第1滑轮31的传送带32，卷挂在该传送带32的另一端的第2滑轮33，与该第2滑轮33连结的旋转轴部34，以及向垂直方向延伸的旋转轴部34的旋转轴34a连结的涂敷滚轮22而构成，这些部件组装在安装板35上。

另外，旋转机构部21的旋转轴部34安装在连结部件29上，旋转机构部21通过连结部件29与回旋转动臂27的滑动机构28连结。旋转轴部34包括旋转轴34a以及以可以旋转的方式支承旋转轴34a的滚轴轴承（未图示）而构成。旋转马达30的旋转力通过第1滑轮31，传送带32，第2滑轮33及旋转轴部34传输给涂敷滚轮22。

另外，回旋转动马达25的驱动时机，旋转马达30的旋转速度和驱动时机等由控制部70控制。

涂敷滚轮22具有圆柱状的外形，在其外周面形成有断面为コ字形状的环状沟22a，形成有与旋转轴部34的旋转轴34a连结的轴承孔22b（参照图4）。另外，将涂敷滚轮22设计为直径20mm～50mm程度，高度10mm～30mm程度是优选的。此外，事先预备复数个环状沟22a的形状（沟的高度和深度等）不同的涂敷滚轮22，由此能够根据被涂敷对象的线路板2的厚度和膜形成液57的涂敷宽度和膜厚等条件，适当选择合适形状的涂敷滚轮22，安装到旋转轴34a使用。

液体供给单元50包括为涂敷滚轮22的环状沟22a喷出膜形成液57的喷嘴部51，从液体收容部52向喷嘴部51提供膜形成液57的电动式的供给泵53，接受从喷嘴部51向涂敷滚轮22的环状沟22a喷出的膜形成液57的液体接受部54，将液体接受部54所接受的膜形成液57转运至液体收容部52的管道泵（转运泵）55而构成。

液体收容部52与供给泵53，供给泵53与喷嘴部51，以及液体接受部54与液体收容部52，分别用管56连结，在连结液体接受部54与液体收容部52的管56上装有管道泵55。

膜形成液57由具有在线路板处理工序（蚀刻工序和镀敷工序等）中不能剥离的特性（耐酸碱性），对线路板表面的附着性等优异的复数的树脂成分混合的液体构成。另外，根据涂敷的膜形成液57的膜厚，适当调整粘度。例如，使膜厚薄的情况时，优选降低膜形成液57的粘度。

图4是用来说明使用实施方式涉及的涂敷装置1涂敷线路板2的周边部时的涂敷滚轮22与喷嘴部51的配置状态的图，（a）是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是（a）中沿b-b线的断面图。

喷嘴部51固定在安装于旋转机构部21的旋转轴部34的侧面的安装板上（未图示）。喷嘴部51具有近似长方体的外形，与涂敷滚轮22的外周面相对的侧面51a形成为与涂敷滚轮22的外形同样的圆弧状，由此喷嘴部51的圆弧状的侧面51a能够相辅相乘地与涂敷滚轮22的外周面相嵌合。在不对涂敷滚轮22的旋转产生妨碍的程度内，配置喷嘴部51使喷嘴部51的圆弧状的侧面51a与涂敷滚轮22的外周面较近接触。

另外，在喷嘴部51的上面，形成有连结管56的连结部51b，该管56与供给泵53相连接，从连结部51b形成断面为近似L字形状的液流路51c，液流路51c的出口形成在圆弧状的侧面51a上。液流路51c在水平方向的流路宽度比垂直方向的流路宽度窄，以使在侧面51a的液流路出口处的喷出压力高。

此外，如图3所示液体接受部54，具有平面看为矩形的接受盘54a和从接受盘的一个侧面向上方延伸设置的安装板54b，安装板54b的上部安装在旋转机构部21的旋转轴部34上。在接受盘54a的底面形成的排出口处通过管接口58连接管56。

管泵55是用来将液体接受部54所接受的膜形成液57转运到液体收容部52的泵。管泵55的设置位置没有特别限定，但是为了不给涂敷单元20的移动造成障碍，优选安装在比如，连结板24的上部附近等。

另外，如图1所示，在涂敷单元20的后方设有干燥炉60。由涂敷单元20涂敷的线路板2在置于运送轨道12上面的状态下，被运送到干燥炉60内，经过一定的干燥时间后，从干燥炉60内运出。

干燥炉60的内壁面配设有断热材61，在干燥炉60内呈井字形配设棒状的翅片加热器62，在干燥炉60内的内侧面，在周边设置有供给配管63，在该供给配管63上以每隔一定间隔形成的用来将空气送入干燥炉60内的供给孔（未图示）。供给配管63与干燥炉60外部的空气泵64连接。

控制部70具有运送轨道12的滑动移动控制，移动单元40的XY轴直动控制，涂敷单元20的旋转·回旋转动控制·滑动移动控制，通过升降机构13的支承台10的升降控制、吸附控制，液体供给单元50的供给泵53的驱动控制，以及干燥炉60的温度控制等对涂敷装置1的各个部分实行控制的机能；包括微型计算机、驱动程序回路、记忆部及电源部等（都未图示）而构成。另外，控制部70可以由一个或者复数个的控制单元构成。

此外，控制部70具有将涂敷滚轮22的环状沟22a置于由支承台10支承的线路板2的周边部的状态下，驱动控制移动单元40和涂敷单元20的各个部分以使涂敷滚轮22沿着线路板2的周边部移动的功能。

操作部80具有液晶操作面板81，安装在框体上（未图示）。通过液晶操作面板80，能够进行涂敷装置1的各个部分的动作条件的设定、各个部分的动作指示、动作模式（手动，自动等）的切换等的各种操作。通过操作面板81输入的操作信号和设定信号被输送给控制部70等。

例如，通过移动单元40的XY轴直动机构的涂敷单元20的水平移动速度，涂敷单元20的旋转马达30的旋转速度，通过液体供给单元50的供给泵53的膜形成液57的输送速度等的动作条件的设定，通过干燥炉60的翅片加热器62的炉内温度设定和干燥时间设定等都能够在操作部进行。

其次，对使用实施方式涉及的涂敷装置1，给线路板2的周边部涂敷膜形成液57的涂敷方法进行说明。另外，对使用矩形形状的薄型的覆铜层压线路板作为被涂敷对象的情形进行说明。

首先，将线路板2置于被移至搬入一侧的运送轨道12上的一定位置，操纵操作部80，使运送轨道12向涂敷单元20一侧滑动移动。

运送轨道12移动，将线路板2运送到支承台10的上面的位置时，停止运送轨道12的移动，接着升降机构13开始动作，支承台10向上升，线路板2被支承台10支承，支承台10进一步上升至一定的位置（在涂敷单元20上安装的涂敷滚轮22的环状沟22a的高度的位置）。另外，吸附机构（未图示）也动作，线路板2以被吸附的状态支承在支承台10上。

接下来的涂敷工序是将涂敷滚轮22的环状沟22a置于线路板2的周边部的状态下，一边使涂敷滚轮22旋转，一边给涂敷滚轮22的环状沟22a提供膜形成液57，同时沿着线路板2的4边的周边部移动涂敷滚轮22的工序。

图5是用来说明使用涂敷滚轮22涂敷线路板2的周边部的工序的图。图中的虚线显示的是涂敷滚轮22的移动轨迹。

首先，驱动移动单元40的Y轴筒体42及Y轴滑块43，将涂敷滚轮22放置到A的位置。另外，为使喷嘴部51位于涂敷滚轮22的行进方向的前边，驱动涂敷单元20的回旋转动马达25，使旋转机构部21旋转。

然后，通过沿着X轴筒体41向a方向移动Y轴筒体42，使涂敷滚轮22向a方向移动，在图5中的线路板2的右边2a的周边部涂敷膜形成液57。

即，将涂敷滚轮22的环状沟22a置于线路板右边2a的周边部的状态下，更具体地，如图4所示，在将线路板2的端面插进环状沟22a一定的宽度(涂敷宽度)的状态下，一边驱动旋转马达30使涂敷滚轮22旋转，一边驱动供给泵53，从喷嘴部51给涂敷滚轮22的环状沟22a供给膜形成液，同时使其移动。并且，在涂敷时，控制涂敷滚轮22的位置，使线路板2的端部不与环状沟22a的内壁接触。

涂敷滚轮22到达B位置（线路板2的角部前）时，使设在涂敷单元20的回旋转动臂27上的滑动机构28动作，在使涂敷滚论22从线路板离开的方向（d）方向上，数mm程度滑动移动旋转机构部21，将涂敷滚轮22从线路板2移离开，结束线路板右边2a的涂敷。另外，在B位置使涂敷滚轮22移离线路板2是为了防止对线路板角部施以2次膜形成液的涂敷，防止在线路板角部的膜形成液57的膜厚过厚。

然后，驱动移动单元40将涂敷滚轮22移动至C位置后，将被滑动机构28滑动移动的旋转机构部21复原到原来的位置，驱动回旋转动机构部23的回旋转动马达25，将旋转机构部21向左旋回90度，使喷嘴部51位于涂敷滚轮22的下一个行进方向的前面一侧。

然后，驱动移动单元40将涂敷滚轮22置于D位置，通过将Y轴滑块43沿着Y轴筒体42向b方向移动，使涂敷滚轮22向b方向移动，通过与线路板右边2a同样的动作在线路板上边2b的周边部涂敷膜形成液57。

当涂敷滚轮22到达E位置（线路板2的角部前）时，与上述在B位置的动作同样，使设在涂敷单元20的回旋转动臂27的滑动机构28动作，在将涂敷滚论22从线路板2移离开的方向上数mm程度地滑动移动旋转机构部21，从而使涂敷滚轮22从线路板2移离开，结束线路板上边2b的涂敷。

然后，驱动移动单元40将涂敷滚轮移动至F的位置，将被滑动机构28滑动移动的旋转机构部21复原到原来的位置，驱动回旋转动机构部23的回旋转动马达25，将旋转机构部21向左旋转90度，使喷嘴部51位于涂敷滚轮22的下一个行进方向的前面一侧。

然后，驱动移动单元40，将涂敷滚论22置于G位置，通过将Y轴筒体42沿着X轴筒体向C方向移动，使涂敷滚轮22向C方向移动，与线路板上边2b同样的动作，在线路板左边2c的周边部涂敷膜形成液57。

涂敷滚轮22到达H位置（线路板2的角部前）时，与上述在B位置的动作同样地，使设在涂敷单元20的回旋转动臂27的滑动机构28动作，在将涂敷滚论22从线路板2移离开的方向上数mm程度地滑动移动旋转机构部21，由此将涂敷滚轮22从线路板2移开，结束线路板左边2c的涂敷。

然后，驱动移动单元40，使涂敷滚论22移动到I位置后，将被滑动机构28滑动移动的旋转机构部21复原到原来的位置，驱动回旋转动机构部23的回旋转动马达25，将旋转机构部21向左旋回90度，由此使喷嘴部51位于涂敷滚轮22的下一个行进方向的前面。

然后，驱动移动单元40将涂敷滚轮22置于J位置，通过将Y轴滑块沿着Y轴筒体42向d方向移动，使涂敷滚论22向d方向移动，通过与线路板2c同样的动作在线路板下边2d的周边部涂敷膜形成液57。

涂敷滚轮22到达K位置（线路板2的角部前）时，与上述在B位置的动作同样地，使设在涂敷单元20的回旋转动臂27上的滑动机构28动作，在将涂敷滚论22从线路板2移离开的方向上，数mm程度地滑动移动旋转机构部21，由此将涂敷滚轮22从线路板2移开，结束线路板2下边2d的涂敷，之后，在将涂敷滚论22移动到L位置后，将被滑动机构28滑动移动的旋转机构21复原到原来的位置，结束线路板2的4个边的涂敷作业。

上述的涂敷工序结束后，接下来进行干燥工序。首先，涂敷结束后，通过升降机构13的动作，支承台10向下下降，线路板2被放置到运送轨道12上。然后，运送轨道12向干燥炉60的方向滑动移动，线路板2被运送到设定为一定温度的干燥炉60内。经过一定的干燥时间，运送轨道12移动，线路板从干燥炉60运出，干燥工序结束。

图6是显示使用实施方式涉及的涂敷装置1涂敷的线路板2的周边部附近的图，（a）是部分斜视图，（b）是沿b-b线的断面图。在线路板2的周边部，由树脂成分组成的涂膜57a形成边框状（端面及上下面）。通过调整涂敷滚轮22的移动速度、涂敷滚轮22的旋转速度、膜形成液57的输送速度、膜形成液57的粘度等，能够将涂膜57a的膜厚控制在20μm～150μm的厚度。另外，涂成150μm以上的膜厚也是可能的。另外，上下面的涂敷宽度能够在1mm～10mm的程度内调整。

另外，在上述实施方式中，对使用外形为圆柱状的涂敷滚轮的情形进行了说明，但是涂敷滚轮22的形状并不限定为圆柱状。在其他实施方式中，可以适用具有近似圆锥台形状的外形，在外周面形成有断面为三角形或者断面为台形状的环状沟的涂敷滚轮。

图7是显示了使用其他的实施方式涉及的涂敷滚轮涂敷线路板的周边部时的状态的图，（a）是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是在（a）中沿b-b线的断面图，（c）是涂敷后的线路板的周边部附近的断面图。

图7所示的涂敷滚轮22A，具有近似圆锥台形状的外形，在其外周面形成有断面为三角形形状的环状沟22c。喷嘴部51A的与涂敷滚轮22A的圆锥状的外周面相向的面51d形成为与涂敷滚轮22A的圆锥状的外周面相辅相成地嵌合的圆锥面状，从而能够使喷嘴部51A的相辅相成地圆锥面51d大略适合涂敷滚轮22A的圆锥状的外周面。另外，如图7（c）所示，在使用涂敷滚轮22A的情形时，能够只在线路板2的端面和下面形成涂膜57a。

图8是显示了使用又一个实施方式涉及的涂敷滚轮涂敷线路板的周边部时的状态的图，(a)是涂敷滚轮附近的扩大平面图，（b）是（a）中的沿b-b线的断面图，（c）是涂敷后的线路板的周边部附近的断面图。

图8所示的涂敷滚轮22B，具有近似圆锥台形状的外形，在其外周面形成有断面为台形的环状沟22d。圆锥的倾斜角度设定为比图7的涂敷滚轮22A还大。喷嘴部51B的与涂敷滚轮22B的圆锥状的外周面相向的面51e形成为与能够涂敷滚轮22B的圆锥状的外周面相辅相成地配合的圆锥面状，由此能够使喷嘴部51B的相辅相成的圆锥面51e大致适合涂敷滚轮22B的圆锥状的外周面。另外，如图（8）所示，在使用滚轮22B的情形下，不但能够在线路板2的端面及上下面的周边部将涂膜57a形成为框状，而且也能够使下面的涂敷宽度比上面的涂敷宽度大。

根据上述实施方式涉及的涂敷装置1，在涂敷滚轮22的环状沟22a置于被支承台10支承的线路板2的周边部的状态下，能够在给涂敷滚轮22的环状沟22a提供膜形成液57的同时，一边沿着线路板2的周边部旋转涂敷滚轮22一边使之移动。

因此，不仅是被支承台10支承的线路板2的端面，而且线路板2的周边部也能够被膜形成液57涂敷，形成涂膜57a。所以，能够通过涂膜57a保护线路板2的包括端面在内的周边部，不仅能够可靠地防止线路板2的端面部分的损坏引起的尘埃的发生，而且线路板2的周边部因涂膜而增强，线路板2的强度得以提高。

另外，通过使用具有耐酸和耐碱性的膜形成液57，能够实现线路板处理工序（蚀刻工序和镀敷工序等）的作业性的提高和成本的降低。例如，通过使用具有耐镀敷性的膜形成液57，能够防止在线路板2的周边部镀敷的附着，能够进行线路板周边部的遮蔽，实现遮蔽的作业效率的提高。

此外，根据涂敷装置1，由于通过回旋转动机构部23能够使旋转机构部21回旋转动，所以在矩形的线路板2周边部涂敷膜形成液57时，能够将旋转机构部21相对于线路板2的端面的朝向设定为在线路板2的各边时都为相同的方向，从而能够使线路板2的各边都在相同的状态下进行稳定的涂敷。

另外，通过滑动机构28能够使旋转机构部21相对于回旋转动机构部23在水平方向移动。因此，能够进行旋转机构部21的位置（涂敷滚轮22的位置）的微调整，亦即能够进行涂敷滚轮22的环状沟22a与线路板2的端面的间隔的微调整，从而能够进行更加高精度的涂敷滚轮22的位置控制，并且能够防止在线路板角部的膜形成液57的2次涂敷。

另外，由于涂敷滚轮22具有圆盘状或者圆柱状的外形，在其外周面形成截面为コ字形的环状沟22a，所以能够在线路板2的周边部将膜形成液涂敷成边框状。另外，由于涂敷滚轮22是以可以装卸的方式安装于旋转轴26的，所以能够根据被涂敷对象的线路板2的厚度，涂敷膜厚和涂敷宽度等，将涂敷滚轮22更换为涂敷滚论22A、22B等，从而能够适应多样化的需求。

另外，能够通过涂敷滚轮22的环状沟22a的深度来调整线路板2的周边部的上下面的涂敷宽度。而且，通过在使环状沟22a置于线路板2的周围端部时，环状沟22a相对于线路班端面的插进深度，能够调整在线路板2的周边部的上下面的涂敷宽度。

另外，由于涂敷装置1具有液体供给单元50，所以能够从喷嘴部51向涂敷滚轮22的环状沟22a直接喷出膜形成液57，即使涂敷滚轮22在旋转时，也能在环状沟22a内充满膜形成液57。另外，从喷嘴部51给环状沟22a喷出的膜形成液57中，从环状沟22a流下来的部分在液体接受部54被接住，由管泵55运送到液体收容部52，所以能够循环使用膜形成液57，能够毫无浪费地使用膜形成液57。

另外，由于涂敷装置1具备干燥炉60，所以通过干燥炉，在膜形成液57涂敷后，立即使膜形成液57干燥，能够提高其后的作业性，并且能够提高膜形成液57的剥离等的涂敷不良的防止效果。

另外，涂敷装置1所能够对应的被涂敷对象的线路板的种类没有特殊限定。例如，能够适用于印刷线路板、封装线路板、金属线路板（铝线路板等）或者玻璃线路板等的厚度为数mm～数十μm程度的薄板状或者膜状的由各种材质构成的线路板

符号说明

1 涂敷装置

10 支承台

11 固定导轨

12 运送导轨

13 升降机构

20 涂敷单元

21 旋转机构部

22、22A、22B 涂敷滚轮

23 回旋转动机构部

40 移动单元

41 X轴筒体

42 Y轴筒体

43 Y轴滑块

50 液体供给单元

51 喷嘴部

52 液体供给部

53 供给泵

54 接受液体部

55 转运泵

56 膜形成液

60 干燥炉

70 控制部

80 操作部

Claims (11)

1.一种涂敷装置，用于在线路板的包括端面的周边部涂敷液体，其特征在于，具有：

支承线路板的支承手段，

安装有涂敷滚轮的涂敷手段，所述涂敷滚轮的外周面上形成有环状沟，

移动该涂敷手段的移动手段，

为所述涂敷滚轮的环状沟提供含有树脂成分的膜形成液的液体供给手段，

在所述涂敷滚轮的环状沟位于被所述支承手段支承的线路板的周边部的状态下，为使所述涂敷滚轮沿着所述线路板的周边部移动而对所述移动手段施以控制的控制手段；

所述涂敷手段包括具有使所述涂敷滚轮旋转驱动的旋转驱动手段的旋转机构部、具有使所述旋转机构部回旋转动的回旋转动臂的回旋转动机构部以及使所述旋转机构部在所述回旋转动臂的较长方向上滑动移动的滑动机构。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，

所述回旋转动机构部具有与所述移动手段连结的连结部件以及安装在所述连结部件上的使所述回旋转动臂回旋转动的回旋转动驱动手段；

所述旋转机构部具有第1滑轮与旋转轴连结的所述旋转驱动手段、一端与所述涂敷滚轮连结而另一端与第2滑轮连结的旋转轴部以及卷挂在所述第1滑轮与所述第2滑轮的传送带部件。

3.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷手段还具有检出所述回旋转动臂的回旋转动停止位置的检出手段。

4.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷滚轮具有圆盘状或者圆柱状的外形，在其外周面形成断面为コ字形状或者断面为三角形状的环状沟。

5.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷滚轮具有圆锥台形状的外形，在其外周面形成断面为三角形形状或者断面为台形状的环状沟。

6.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的涂敷装置，其特征在于，所述液体供给手段具有：

向所述涂敷滚轮的环状沟喷出所述膜形成液的喷嘴部，

从液体收容部向所述喷嘴部提供所述膜形成液的供给手段，

接受从所述喷嘴部向所述涂敷滚轮的环状沟喷出的所述膜形成液的液体接受部，

将该液体接受部所接受的所述膜形成液转运到所述液体收容部的转运手段；

所述喷嘴部的所述膜形成液的喷出面形成与所述涂敷滚轮的具有环状沟的侧面相同的圆弧状。

7.根据权利要求1～3中任一权利要求所述的涂敷装置，其特征在于，具有用以干燥涂敷在所述线路板周边部的所述膜形成液的干燥手段。

8.一种为线路板的包括端面的周边部涂敷膜形成液的涂敷方法，其特征在于，具有：将外周面形成有环状沟的涂敷滚轮的所述环状沟置于所述线路板的周边部的状态下，通过一边旋转所述涂敷滚轮，一边为该涂敷滚轮的环状沟提供所述膜形成液，同时沿着所述线路板的周边部移动所述涂敷滚轮，为所述线路板的周边部涂敷所述膜形成液的涂敷工序；

在所述涂敷工序中，在使所述涂敷滚轮沿着所述线路板的周边部移动时，在所述线路板的角部前，将所述涂敷滚轮在离开所述线路板的方向上滑动移动而使所述涂敷滚轮从所述线路板暂时避开，通过使所述旋转机构部回旋转动的回旋转动机构部而使所述旋转机构部回旋转动，所述旋转机构部具有使所述涂敷滚轮旋转驱动的旋转驱动手段，由此进行控制以使为所述涂敷滚轮的环状沟提供所述膜形成液的喷嘴部的朝向在所述线路板的各个边时相对于所述线路板的各边的端面都是相同的朝向。

9.根据权利要求8所述的涂敷方法，其特征在于，包括对提供给所述涂敷滚轮的环状沟的所述膜形成液中，从所述环状沟流下来的所述膜形成液进行回收，并将该回收的膜形成液提供给所述涂敷滚轮的环状沟的工序。

10.根据权利要求8或者权利要求9所述的涂敷方法，其特征在于，所述涂敷工序是使固化后的膜厚为20μm～150μm来涂敷所述膜形成液的工序。

11.根据权利要求8或者权利要求9所述的涂敷方法，其特征在于，包括对所述线路板的周边部涂敷的所述膜形成液进行干燥的干燥工序。