TWI523700B - 塗敷裝置及塗敷方法 - Google Patents

Description

塗敷裝置及塗敷方法

本發明有關一種塗敷裝置及塗敷方法，更具體地，有關在線路板的周邊部塗敷液體的塗敷裝置及塗敷方法。

一般將使用了玻璃環氧樹脂部件的印刷線路板作為電子部件安裝用的線路板使用。玻璃環氧樹脂部件是在重疊的玻璃纖維布上含浸環氧樹脂形成的。因此，在切斷玻璃環氧樹脂部件時，產生由環氧樹脂或者玻璃纖維組成的細微的塵埃。這些細微的塵埃可能引起線路板回路的接觸不良和品質下降等的問題。因此，在製造印刷線路板時必須除去切斷線路板時產生的塵埃。

但是，即使是從印刷線路板的端面除去了塵埃，由於印刷線路板之端面部分非常脆，所以還可能有端面部分損壞又產生塵埃的問題。

於是，本發明人已經在先提出了藉由在印刷線路板上塗敷膜形成液來形成膜，從而能夠防止端面部分損壞的塗敷裝置(專利文獻1)。

第9圖係顯示了本發明人在先提出的塗敷裝置的主要部分的側面剖面圖，第10圖係為了顯示內部機構而省略了框體的顯示的塗敷裝置的概略前視圖。

橫貫框體101的輸入口101a及輸出口101b，配設有沿前後方向延伸的傳送裝置102。傳送裝置102由支承部件(未圖示)支承在框體101上。在框體101上設置有具有複數個操作開關103a的操作部103。藉由操縱操作開關103a，可以驅動或者停止傳送裝置102。

在框體101內的傳送裝置102的左右分別設置塗敷機構110、110。塗敷機構110固定在與框體101的後面相向配設的固定板104上，固定板104的下部與滾珠螺桿機構120連結。滾珠螺桿機構120被支承部件(未圖示)支承在框架101上。

塗敷機構110具有塗敷圓盤111、馬達112、塗敷液體供給圓盤113以及馬達114。用來旋轉塗敷圓盤111的馬達112、112被固定在水平安裝於固定板104的支承部件105上，其旋轉軸112a垂直向下配設。塗敷圓盤111、111，沿水平方向配設，具有向上下延伸的軸111a。在馬達112的旋轉軸112a上連結塗敷圓盤111的軸111a，藉由馬達112的驅動使塗敷圓盤111旋轉。

用來旋轉塗敷液供給圓盤113的馬達114、114透過沿前後方向延伸的樞軸115與固定板104連結，其旋轉軸114a水平方向配設。塗敷液供給圓盤113、113夾著塗敷圓盤111、111在傳送裝置102的相反一側呈垂直方向配設，具有朝水平方向延伸的軸113a。供給圓盤113的軸113a與馬達114的旋轉軸114a連結，藉由馬達114的驅動，供給圓盤113旋轉。塗敷液供給圓盤113之軸113a位於比塗敷圓盤111的下面還下方的位置，塗敷液供給圓盤113的塗敷圓盤111一側之上部側面與塗敷圓盤111的周面接觸。

在供給圓盤113的下方設有箱形的液體供給容器117，用於收容含樹脂成分的膜形成液116，供給圓盤113的下端部從上方插入液體供給容器117並浸於膜形成液116中。隨著供給圓盤113的旋轉，膜形成液116從塗敷液供給圓盤113的下端部向供給圓盤113的上部移動，提供給塗敷圓盤111的外周面。

在固定板104的下端面，連接有滾珠螺桿機構120。滾珠螺桿機構120具有配置在傳送裝置102下方的馬達121、121。該馬達121具有向傳送裝置102隔離的左右水平方向延伸的旋轉軸(未圖示)，在該旋轉軸上連結朝左右水平方向延伸的公螺紋122。另外，在該公螺紋122上咬合著筒狀的母螺紋體123，固定板104的下端中央部與母螺紋體123連結。藉由馬達121的驅動，公螺紋122旋轉，隨著公螺紋122的旋轉，與母螺紋體123連結的固定板104能夠左右移動。

以下說明藉由前述塗敷裝置為印刷線路板130的端面130a塗敷膜形成液116的塗敷方法。首先，操縱操作部103的操作開關103a，使馬達121正反旋轉，調整塗敷機構110、110的左右位置，使之與印刷線路板130的左右寬度相整合。然後，從輸入口101a一側將印刷線路板130放置在傳送裝置102上，操縱操作開關103a，驅動傳送裝置102，馬達112、112及馬達114、114。

藉由傳送裝置102將印刷線路板130運送到塗敷機構110，使其左右端面130a，130a與塗敷圓盤111、111的周面111b、111b抵接。此時，附著在塗敷圓盤111的周面111b的膜形成液116就被塗敷到印刷線路板130的左右端面130a、130a上。 並且隨著印刷線路板130的運送，印刷線路板130的左右端面130a、130a全體被膜形成液116塗敷，塗敷後，從輸出口101b運出印刷線路板130，使膜形成液116中所含的樹脂成分固化。

根據以上之塗敷裝置，藉由塗敷圓盤111、111，在印刷線路板130的兩側端面130a、130a上塗敷膜形成液，從而能夠在印刷線路板130的兩端面130a、130a上形成塗膜。

但是，當印刷線路板130的厚度很薄時(特別是厚度在1mm以下時)，就會有前述塗敷裝置難以給線路板端面均一地塗敷膜形成液的問題。

另外，為了應對各種電子機器的薄型化和小型化，近年來厚度為數十幾μm至數百μm程度的薄型的覆銅積層線路板(也稱為封裝線路板)的需要高漲，但是前述塗敷裝置很難適用於厚度為100μm程度以下之薄型線路板。此外，由於這樣的薄型線路板的強度低，在使用時需要註意。因此，不僅需要防止從線路板端面產生塵埃，還有要求提高線路板的強度的需求。對於這種需求，由於前述塗敷裝置僅是在線路板的端面形成塗膜的裝置，所以有難以提高覆銅積層線路板之類的薄型線路板的強度的問題。

此外，在線路板的處理工序中(例如，實施蝕刻處理和鍍覆處理的工序)，為了從各種液劑(蝕刻液和鍍覆液等)中保護線路板，在線路板的周邊部施以遮蔽處理。例如，在線路板的周邊部進行黏貼框狀的遮蔽膠帶的作業等，但是這種方法具有前述遮蔽膠帶成本高，並且由人工作業黏貼時的人工費高，作業效率低的課題。

[專利文獻1]公報國際公開第2010/137418號公報

本發明是鑒於前述課題而完成的，其目的在於提供一種既能保護線路板的包括端面的周邊部，確實防止從線路板端部產生塵埃，又能夠提高線路板的強度，並且能夠實現線路板處理工序的作業性的提高和成本的降低的塗敷裝置及塗敷方法。

為了達到上述目的，本發明之塗敷裝置(1)係對線路板的包括端面的周邊部塗敷液體的塗敷裝置，其中，具有：支承線路板的支承手段；安裝有塗敷滾輪的塗敷手段，該塗敷滾輪的外周面形成有環狀溝；移動前述塗敷手段的移動手段；為前述塗敷滾輪的環狀溝提供含有樹脂成分的膜形成液之液體供給手段；以及在前述塗敷滾輪的環狀溝位於被前述支承手段支承的線路板的周邊部的狀態下，為使前述塗敷滾輪沿著前述線路板的周邊部移動而對前述移動手段施以控制的控制手段。

根據前述塗敷裝置(1)，在使前述塗敷滾輪的環狀溝位於前述被支承手段支承的線路板的周邊部的狀態下，換言之，在將線路板的端部插進該環狀溝內一定的寬度的狀態下，在為前述塗敷滾輪的環狀溝提供前述膜形成液的同時，能夠使前述塗敷滾輪一邊沿著前述線路板的周邊部旋轉一邊移動。

所以不僅能夠在由前述支承手段支承的線路板的端面，而且在該線路板的周邊部也能夠塗敷前述膜形成液，由此在前述線路板的周邊部形成塗膜。因此，能夠更加可靠地防止線路板的端面部損壞，產生塵埃的現象。另外，由於前述線路板的周 邊部因塗膜而增強，從而能夠提高該線路板的強度，不但能夠進一步提高前述線路板的使用性，還能夠實現在線路板處理工序中的作業性的提高和成本的降低。

另外，本發明之塗敷裝置(2)，其中，在前述塗敷裝置(1)中，前述塗敷手段具有：使前述塗敷滾輪旋轉的旋轉機構部和使前述旋轉機構部迴旋轉動的迴旋轉動機構部。

根據前述塗敷裝置(2)，由於藉由前述迴旋轉動機構部能夠使前述旋轉機構部迴旋轉動，例如，在矩形形狀的線路板的周邊部塗敷膜形成液時，能夠將前述旋轉機構部相對於前述線路板的端面的朝向設定為在該線路板的各邊時都為同一方向，從而對於該線路板的各邊，能夠在相同的狀態下進行穩定的塗敷。

此外，本發明之塗敷裝置(3)，其中，在前述塗敷裝置(2)中，前述旋轉機構部相對於前述迴旋轉動機構部以在水平方向可以移動的方式安裝。

根據前述塗敷裝置(3)，前述旋轉機構部相對於前述迴旋轉動機構部能夠在水平方向上移動。所以能夠對前述旋轉機構部的位置(更具體地前述塗敷滾輪的位置)進行微調整，亦即，能夠對前述塗敷滾輪的環狀溝與前述線路板的端面的間隔進行微調整，從而能夠更加高精度地進行前述塗敷滾輪的位置控制。

此外，本發明之塗敷裝置(4)，其中，在前述(1)至(3)中任一塗敷裝置中，前述塗敷滾輪具有圓盤狀或者圓柱狀之外形，在其外周面形成有剖面為字形狀或者剖面為三角形形狀之環狀溝。

根據前述塗敷裝置(4)，由於前述塗敷滾輪具有圓盤 狀或者圓柱狀之外形，在其外周面形成有剖面為字形狀或者剖面為三角形形狀之環狀溝，所以能夠在前述線路板的周邊部將前述膜形成液塗敷成框狀。另外，由於前述塗敷滾輪相對於前述塗敷手段可以裝卸，所以能夠根據被塗敷對象之線路板的厚度，或者塗敷的膜厚和塗敷寬度等，更換前述塗敷滾輪，因此能夠適應多樣的需求。此外，藉由前述塗敷滾輪的環狀溝的深度能夠調整在前述線路板的周邊部的上下面的塗敷寬度。另外，藉由前述環狀溝插入前述線路板之端面的深度，能夠調整前述線路板的周邊部之上下面的塗敷寬度。

另外，本發明之塗敷裝置(5)，其中，在前述(1)至(3)中的任一個塗敷裝置中，前述塗敷滾輪具有截頭圓錐形的外形，在其外周面形成有剖面為三角形狀或者剖面為梯形的環狀溝。

根據前述塗敷裝置(5)，由於前述塗敷滾輪具有截頭圓錐形的外形，在其外表面形成有剖面為三角形狀或者剖面為梯形的環狀溝，所以能夠改變在前述線路板的周邊部的上下面的前述膜形成液的塗敷寬度。例如，能夠應對只需在前述線路板的端面和周邊部的下面一側形成由前述膜形成液塗膜的情形，或者要求使前述線路板的周邊部的下面一側的塗敷寬度比上面一側的塗敷寬度寬的情形等，能夠增加塗敷形態的變化。另外，由於是前述塗敷滾輪相對於前述塗敷手段可以脫卸的構成，所以能夠根據被塗敷對象的線路板的厚度或者塗敷膜厚和塗敷寬度等更換前述塗敷滾輪，能夠適應多樣化的需求。

此外本發明有關之塗敷裝置(6)，其中，在前述(1)至(5)中的任一塗敷裝置中，前述液體供給手段具有：為前述塗敷滾 輪的環狀溝噴出前述膜形成液之噴嘴部；從液體收容部向前述噴嘴部提供前述膜形成液之供給手段；接受從前述噴嘴部向前述塗敷滾輪的環狀溝噴出的前述膜形成液之液體接受部；將該液體接受部接受的前述膜形成液轉運到前述液體收容部之轉運手段。

根據前述塗敷裝置(6)，前述膜形成液直接從前述噴嘴部向前述塗敷滾輪的環狀溝噴出，所以即使係前述塗敷滾輪在旋轉時，也能穩定地將前述膜形成液提供給前述環狀溝，從而能夠在前述環狀溝中充滿前述膜形成液的狀態下進行塗敷。另外，從前述噴嘴部向前述環狀溝噴出的，從該環狀溝流下來的膜形成液在前述液體接受部被接住，由前述轉運手段轉運至前述液體收容部，所以能夠循環使用前述膜形成液，從而能夠無浪費地使用前述膜形成液。

此外，本發明之塗敷裝置(7)，其中，在前述(1)至(6)中的任一塗敷裝置中，具備乾燥塗敷於前述線路板的周邊部的前述膜形成液之乾燥手段。

根據前述塗敷裝置(7)，藉由乾燥手段，能夠在前述膜形成液塗敷後立刻使前述膜形成液乾燥，所以能夠提高之後的作業性，並且能夠提高防止前述膜形成液剝離等塗敷不良的效果。

此外，本發明之塗敷方法(1)，係在線路板的包含端面的周邊部塗敷膜形成液之塗敷方法，其中，具有藉由將外周面形成有環狀溝之塗敷滾輪的前述環狀溝位於前述線路板之周邊部的狀態下，一邊旋轉前述滾輪，一邊為該塗敷滾輪之環狀溝提供前述膜形成液，同時沿著前述線路板之周邊部移動前述塗敷滾輪，為前述線路板之周邊部塗敷前述膜形成液之塗敷工序。

根據前述塗敷方法(1)，在將前述塗敷滾輪之環狀溝位於前述線路板之周邊部的狀態下，換言之，在將前述線路板之端部插入前述環狀溝內一定寬度的狀態下，一邊使前述塗敷滾輪旋轉，一邊向該塗敷滾輪的環狀溝內提供前述膜形成液，同時沿著前述線路板之周邊部移動前述塗敷滾輪，由此，不僅能夠在前述線路板的端面，而且能夠在該線路板之上下面的周邊部也塗敷前述膜形成液，從而能夠在前述線路板的周邊部形成塗膜。

因此，前述線路板之周邊部由於塗膜而得以增強，不僅能夠可靠地防止由於該線路板的端面部分的損壞而發生塵埃的現象，還能夠提高該線路板的強度，從而更進一步提高前述線路板的使用性。另外，藉由前述塗膜能夠保護前述線路板的周邊部，從而能夠實現線路板處理工序的作業性的提高和成本的降低。

此外，本發明之塗敷方法(2)，其中，在前述塗敷方法(1)中，對提供給前述塗敷滾輪之環狀溝的前述膜形成液中，從前述環狀溝流下的前述膜形成液進行回收，並將該回收的膜形成液提供給前述塗敷滾輪的環狀溝。

根據前述塗敷方法(2)，由於對提供給前述塗敷滾輪的環狀溝的前述膜形成液中，從前述環狀溝流下之前述膜形成液進行回收，並將該回收的膜形成液提供給前述塗敷滾輪之環狀溝，所以能夠循環使用前述膜形成液，能夠無浪費地使用前述膜形成液。

另外，本發明之塗敷方法(3)，其中，在前述塗敷方法(1)或者(2)中，前述塗敷工序係使固化後的膜厚成為20μm至150μm來塗敷前述膜形成液者。

根據前述塗敷方法(3)，由於前述塗敷工序係使固化後的膜厚成為200μm至150μm來塗敷前述膜形成液者，所以即使係厚度為數十μm到數百μm的薄型的線路板，也能夠在線路板的周邊部形成薄的膜厚的塗膜。

此外，本發明之塗敷方法(4)，其中，在前述(1)至(3)中的任一塗敷方法中，具有乾燥塗敷在前述線路板之周邊部的膜形成液的乾燥工序。

根據前述塗敷方法(4)，由於具有乾燥塗敷在前述線路板之周邊部的前述膜形成液的乾燥工序，所以能夠在前述膜形成液的塗敷後立刻使前述膜形成液乾燥，能夠提高之後的作業性，並且能夠提高防止前述膜形成液的剝落等塗敷不良的效果。

1‧‧‧塗敷裝置

2‧‧‧線路板

2a‧‧‧線路板右邊

2b‧‧‧線路板上邊

2c‧‧‧線路板左邊

2d‧‧‧線路板下邊

10‧‧‧支承臺

11‧‧‧固定導軌

12‧‧‧運送導軌

13‧‧‧升降機構

14‧‧‧支承部件

20‧‧‧塗敷單元

21‧‧‧旋轉機構部

22、22A、22B‧‧‧塗敷滾輪

22a、22c、22d‧‧‧環狀溝

22b‧‧‧軸承孔

23‧‧‧迴旋轉動機構部

24、29‧‧‧連結部件

25‧‧‧迴旋轉動馬達

25a、26a、30a、34a‧‧‧旋轉軸

26、34‧‧‧旋轉軸部

27‧‧‧迴旋轉動臂

27a‧‧‧腕部

28‧‧‧滑動機構

30‧‧‧旋轉馬達

31‧‧‧第1滑輪

32‧‧‧傳送帶

33‧‧‧第2滑輪

35‧‧‧安裝板

40‧‧‧移動單元

41‧‧‧X軸筒體

42‧‧‧Y軸筒體

43‧‧‧Y軸滑塊

44‧‧‧支承引導

50‧‧‧液體供給單元

51、51A、51B‧‧‧噴嘴部

51a‧‧‧側面

51b‧‧‧連結部

51c‧‧‧液流路

51d、51e‧‧‧圓錐面

52‧‧‧液體供給部

53‧‧‧供給泵

54‧‧‧接受液體部

54a‧‧‧接受盤

54b‧‧‧安裝板

55‧‧‧管道泵(轉運泵)

56‧‧‧管

57、116‧‧‧膜形成液

57a‧‧‧塗膜

58‧‧‧管接口

60‧‧‧乾燥爐

61‧‧‧斷熱材

62‧‧‧翅片加熱器

63‧‧‧供給配管

64‧‧‧空氣泵

70‧‧‧控制部

80‧‧‧操作部

81‧‧‧液晶操作面板

101‧‧‧框體

101a‧‧‧輸入口

101b‧‧‧輸出口

102‧‧‧傳送裝置

103‧‧‧操作部

103a‧‧‧操作開關

104‧‧‧固定板

105‧‧‧支承部件

110‧‧‧塗敷機構

111‧‧‧塗敷圓盤

111a、113a‧‧‧軸

111b‧‧‧周面

112、114、121‧‧‧馬達

112a、114a‧‧‧旋轉軸

113‧‧‧塗敷液體供給圓盤

115‧‧‧樞軸

117‧‧‧液體供給容器

120‧‧‧滾珠螺桿機構

123‧‧‧母螺紋體

130‧‧‧印刷線路板

130a‧‧‧端面

第1圖係為了顯示本發明的實施形態之塗敷裝置的主要部件，省略了框體顯示的概略側視圖。

第2圖係為了顯示實施形態之塗敷裝置的塗敷單元周邊的主要部件，省略了框體顯示的概略前視圖。

第3圖係顯示了構成實施形態之塗敷裝置的塗敷單元的構造的概略前視圖。

第4圖係用來說明液體噴出用具相對於實施形態之塗敷裝置的塗敷滾輪的設置狀態的圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係(a)的沿b-b線的剖面圖。

第5圖係用來說明實施形態之塗敷裝置的塗敷滾輪的動作的俯視圖。

第6圖係顯示了使用實施形態之塗敷裝置塗敷的線路板的周邊部附近的圖，(a)係部分斜視圖，(b)係(a)中的沿b-b線的剖面圖。

第7圖係顯示了使用另一實施形態之塗敷滾輪塗敷線路板的周邊部時的狀態的圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係(a)的沿b-b線的剖面圖，(c)係塗敷後的線路板的周邊部附近的剖面圖。

第8圖係顯示了使用又一實施形態之塗敷滾輪塗敷線路板的周邊部時的狀態的圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係(a)的沿b-b線的剖面圖，(c)係塗敷後的線路板的周邊部附近的剖面圖。

第9圖係以往的塗敷裝置的概略側視圖。

第10圖係為了顯示以往的塗敷裝置的內部機構，而省略了框體顯示的概略前視圖。

以下根據圖示說明本發明之塗敷裝置及塗敷方法。第1圖係為了顯示實施方式之塗敷裝置的主要部件而省略了框體顯示的概略側視圖，第2圖係為了顯示塗敷裝置的塗敷單元周邊的主要部件而省略了框架顯示的概略前視圖。

塗敷裝置1包括支承線路板2之支承臺10，安裝有塗敷滾輪22之塗敷單元20，以及使塗敷單元20移動之移動單元40而構成。此外，在塗敷裝置1上配置有為塗敷滾輪22之環狀溝22a提供含有樹脂成分的膜形成液57的液體供給單元50，進行在線路板2上塗敷的膜形成液57的乾燥的乾燥爐60，控制裝置各個部分驅動之控制部70以及操作部80。

支承臺10配設在與線路板2的運送方向平行配設的運送軌道12之間。運送軌道12藉由線性機構等能夠在線路板2的運送方向平行配設的固定軌道11上滑動移動。支承臺10由升降機構13可以升降地支承，升降機構13安裝在設置於固定軌道11之間的支承部件14上。固定軌道11固定在框體上(未圖示)。

運送軌道12在固定軌道11上滑動移動，置於運送軌道12上的線路板2被運送到支承臺10上，接著升降機構13動作，支承臺10從運送軌道12的下方開始上升，線路板2被支承在支承臺10上，在該狀態下，支承臺10上升至所定的塗敷位置。另外，塗敷作業結束時，升降機構13動作，支承臺10下降，線路板2被放置到運送軌道12上。

另外，在支承臺10上設有吸著機構(未圖示)，能夠使線路板2吸著在支承臺10的上面。作為吸著機構，可以採用在支承臺10上設置複數個空氣吸氣孔，藉由空氣管將真空泵與該等空氣吸氣孔連結的構成等。

移動單元40由能夠在2個軸(X軸Y軸)方向水平移動塗敷單元20之2軸(XY軸)直動機構構成，包括固定在框體(未圖示)的X軸筒體41、一端側以可以滑動移動方式與X軸筒體41連結的Y軸筒體42、能夠在Y軸筒體42上滑動移動的Y軸滑塊43，以及支承Y軸筒體42的另一端側的支承引導44而構成。塗敷單元20安裝在Y軸滑塊43上。支承引導44固定在框體(未圖示)上。Y軸筒體42及Y軸滑塊43的動作由控制部70控制。

塗敷單元20包括旋轉機構部21及迴旋轉動機構部23而構成。圖3是顯示構成塗敷裝置1的塗敷單元20的構造的概 略前視圖。旋轉機構部21能夠使塗敷滾輪22旋轉。迴旋轉動機構部23能夠使旋轉機構部21以迴旋轉動馬達25的旋轉軸25a為中心迴旋轉動。

旋轉機構部23包括與Y軸滑塊43連結之連結部件24，安裝在連結部件24上之迴旋轉動馬達25，與向垂直方向延伸之迴旋轉動馬達25的旋轉軸25a連結的旋轉軸部26及與旋轉軸部26連結的迴旋轉動臂27而構成。

旋轉軸部26包括旋轉軸26a及以可以旋轉方式支承旋轉軸26a的滾珠軸承(未圖示)而構成，旋轉軸26a的上端一側與迴旋轉動馬達25的旋轉軸25a連結，下端一側與迴旋轉動臂27連結。

旋轉臂27具有沿水平方向延伸設置的腕部27a，在腕部27a的下面中間部，設有用來使旋轉機構部21沿著腕部27a的較長的方向(水平方向)滑動移動的滑動機構28。在滑動機構28上，安裝有用來與旋轉機構部21連結之連結部件29。在滑動機構28上，可以採用電動式之直動引導機構等。

另外，用來檢出迴旋轉動臂27的迴旋轉動停止位置之傳感器(例如字形光敏傳感器)(未圖示)以90度的間隔配設在旋轉軸部26的周圍，將旋轉臂27旋轉90度，在旋轉臂27設置的遮光板(未圖示)遮住前述傳感器的受光部，從而能夠檢出停止位置。

旋轉機構部21包括旋轉馬達30，與向垂直方向延伸的旋轉馬達30的旋轉軸30a連結的第1滑輪31，一端卷掛在該第1滑輪31的傳送帶32，卷掛在該傳送帶32之另一端的第2滑 輪33，與該第2滑輪33連結的旋轉軸部34，以及向垂直方向延伸的旋轉軸部34的旋轉軸34a連結的塗敷滾輪22而構成，該等部件組裝在安裝板35上。

另外，旋轉機構部21的旋轉軸部34安裝在連結部件29上，旋轉機構部21透過連結部件29與迴旋轉動臂27的滑動機構28連結。旋轉軸部34包括旋轉軸34a以及以可以旋轉的方式支承旋轉軸34a的滾軸軸承(未圖示)而構成。旋轉馬達30的旋轉力透過第1滑輪31，傳送帶32，第2滑輪33及旋轉軸部34傳輸給塗敷滾輪22。

另外，迴旋轉動馬達25的驅動時機，旋轉馬達30的旋轉速度和驅動時機等由控制部70控制。

塗敷滾輪22具有圓柱狀的外形，在其外周面形成有剖面為字形狀的環狀溝22a，形成有與旋轉軸部34的旋轉軸34a連結的軸承孔22b(參照第4圖)。另外，將塗敷滾輪22設計為直徑20mm至50mm程度，高度10mm至30mm程度係較佳的。此外，事先預備複數個環狀溝22a的形狀(溝的高度和深度等)不同之塗敷滾輪22，由此能夠根據被塗敷對象的線路板2的厚度和膜形成液57的塗敷寬度和膜厚等條件，適當選擇合適形狀的塗敷滾輪22，安裝到旋轉軸34a使用。

液體供給單元50包括向塗敷滾輪22之環狀溝22a噴出膜形成液57之噴嘴部51，從液體收容部52向噴嘴部51提供膜形成液57之電動式供給泵53，接受從噴嘴部51向塗敷滾輪22之環狀溝22a噴出的膜形成液57之液體接受部54，將液體接受部54所接受的膜形成液57轉運至液體收容部52之管道泵(轉運泵)55 而構成。

液體收容部52與供給泵53，供給泵53與噴嘴部51，以及液體接受部54與液體收容部52，分別用管56連結，在連結液體接受部54與液體收容部52的管56上裝有管道泵55。

膜形成液57由具有在線路板處理工序(蝕刻工序和鍍覆工序等)中不能剝離的特性(耐酸鹼性)，由對線路板表面的附著性等優異的複數的樹脂成分混合之液體構成。另外，根據膜形成液57的塗敷膜厚，適當調整黏度。例如，使膜厚薄的情況時，較佳為降低膜形成液57的黏度。

第4圖係用來說明使用實施形態之塗敷裝置1塗敷線路板2之周邊部時的塗敷滾輪22與噴嘴部51的配置狀態之圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係(a)中沿b-b線之剖面圖。

噴嘴部51固定在安裝於旋轉機構部21的旋轉軸部34的側面的安裝板上(未圖示)。噴嘴部51具有近似長方體的外形，與塗敷滾輪22的外周面相對之側面51a形成為與塗敷滾輪22的外形同樣的圓弧狀，由此噴嘴部51的圓弧狀的側面51a能夠相輔相成地與塗敷滾輪22的外周面相嵌合。在不對塗敷滾輪22的旋轉產生妨礙的程度內，使噴嘴部51的圓弧狀的側面51a與塗敷滾輪22的外周面較近接觸地配置噴嘴部51。

另外，在噴嘴部51的上面，形成有連結管56之連結部51b，管56與供給泵53相連接，從連結部51b形成剖面為近似L字形狀的液流路51c，液流路51c的出口形成在圓弧狀的側面51a上。液流路51c在水平方向的流路寬度比垂直方向的流路寬度 窄，以使在側面51a的液流路出口處的噴出壓力高。

此外，如第3圖所示液體接受部54，具有平面看為矩形的接受盤54a和從接受盤的一個側面向上方延伸設置的安裝板54b，安裝板54b的上部安裝在旋轉機構部21的旋轉軸部34上。在接受盤54a的底面形成的排出口處藉由管接口58連接管56。

管道泵55係用來將液體接受部54所接受的膜形成液57轉運到液體收容部52的泵。管道泵55的設置位置沒有特別限定，但是為了不給塗敷單元20的移動造成障礙，較佳為安裝在例如，連結板24的上部附近等。

另外，如第1圖所示，在塗敷單元20的後方設有乾燥爐60。由塗敷單元20塗敷的線路板2在置於運送軌道12上面的狀態下，被運送到乾燥爐60內，經過一定的乾燥時間後，從乾燥爐60內運出。

乾燥爐60的內壁面配設有斷熱材61，在乾燥爐60內呈井字形配設棒狀的翅片加熱器62，在乾燥爐60內的內側面，在周邊設置有供給配管63，在該供給配管63上以每隔一定間隔形成的用來將空氣送入乾燥爐60內的供給孔(未圖示)。供給配管63與乾燥爐60外部的空氣泵64連接。

控制部70具有運送軌道12的滑動移動控制，移動單元40的XY軸直動控制，塗敷單元20的旋轉．迴旋轉動．滑動移動控制，藉由升降機構13進行的支承臺10的升降控制、吸附控制，液體供給單元50的供給泵53的驅動控制，以及乾燥爐60的溫度控制等對塗敷裝置1的各個部分實行控制的機能；包括微電腦、驅動電路、記憶部及電源部等(都未圖示)而構成。另外， 控制部70可以由一個或者複數個的控制單元構成。

此外，控制部70具有在將塗敷滾輪22的環狀溝22a置於由支承臺10支承的線路板2的周邊部的狀態下，驅動控制移動單元40和塗敷單元20的各個部分以使塗敷滾輪22沿著線路板2之周邊部移動的功能。

操作部80具有液晶操作面板81，安裝在框體上(未圖示)。透過液晶操作面板81，能夠進行塗敷裝置1之各個部分的動作條件的設定、各個部分的動作指示、動作模式(手動，自動等)的切換等各種操作。由操作面板81輸入的操作信號和設定信號被輸送給控制部70等。

例如，藉由移動單元40進行的XY軸直動機構的塗敷單元20的水平移動速度，塗敷單元20的旋轉馬達30的旋轉速度，藉由液體供給單元50進行的供給泵53的膜形成液57的輸送速度等動作條件的設定，藉由乾燥爐60的翅片加熱器62進行的爐內溫度設定和乾燥時間設定等都能夠在操作部80進行。

其次，對使用實施形態之塗敷裝置1，為線路板2的周邊部塗敷膜形成液57的塗敷方法進行說明。另外，對使用矩形形狀的薄型的覆銅積層線路板作為被塗敷對象的情形進行說明。

首先，將線路板2置於被移至輸入一側的運送軌道12上的一定位置，操縱操作部80，使運送軌道12向塗敷單元20一側滑動移動。

運送軌道12移動，將線路板2運送到支承臺10的上面的位置時，停止運送軌道12的移動，接著升降機構13開始 動作，支承臺10向上升，線路板2被支承臺10支承，支承臺10進一步上升至一定的位置(在塗敷單元20上安裝的塗敷滾輪22的環狀溝22a的高度的位置)。另外，吸附機構(未圖示)也動作，線路板2以被吸附的狀態支承在支承臺10上。

接下來的塗敷工序是將塗敷滾輪22之環狀溝22a置於線路板2的周邊部的狀態下，一邊使塗敷滾輪22旋轉，一邊為塗敷滾輪22之環狀溝22a提供膜形成液57，同時沿著線路板2的4邊周邊部移動塗敷滾輪22的工序。

第5圖係用來說明使用塗敷滾輪22塗敷線路板2之周邊部的工序的圖。圖中的虛線顯示的係塗敷滾輪22的移動軌跡。

首先，驅動移動單元40的Y軸筒體42及Y軸滑塊43，將塗敷滾輪22放置到A的位置。另外，為使噴嘴部51位於塗敷滾輪22的行進方向的前邊，驅動塗敷單元20的迴旋轉動馬達25，使旋轉機構部21旋轉。

然後，藉由沿著X軸筒體41向a方向移動Y軸筒體42，使塗敷滾輪22向a方向移動，在第5圖中的線路板2的右邊2a的周邊部塗敷膜形成液57。

即，將塗敷滾輪22之環狀溝22a置於線路板右邊2a的周邊部的狀態下，更具體地，如第4圖所示，在將線路板2的端面插進環狀溝22a一定的寬度(塗敷寬度)的狀態下，一邊驅動旋轉馬達30使塗敷滾輪22旋轉，一邊驅動供給泵53，從噴嘴部51給塗敷滾輪22的環狀溝22a提供膜形成液，同時使其移動。並且，在塗敷時，控制塗敷滾輪22的位置，使線路板的端部不與環狀溝 22a的內壁接觸。

塗敷滾輪22到達B位置(線路板2的角部前)時，使設在塗敷單元20的迴旋轉動臂27上的滑動機構28動作，在使塗敷滾輪22從線路板離開的方向(d)方向上，數mm程度滑動移動旋轉機構部21，將塗敷滾輪22從線路板2移離開，結束線路板右邊2a之塗敷。另外，在B位置使塗敷滾輪22移離線路板2係為了防止對線路板角部施以2次膜形成液的塗敷，防止在線路板角部的膜形成液57的膜厚過厚。

然後，驅動移動單元40將塗敷滾輪22移動至C位置後，將被滑動機構28滑動移動的旋轉機構部21復原到原來的位置，驅動迴旋轉動機構部23的迴旋轉動馬達25，將旋轉機構部21向左迴旋轉動90度，使噴嘴部51位於塗敷滾輪22的下一個行進方向的前面一側。

然後，驅動移動單元40將塗敷滾輪22置於D位置，藉由將Y軸滑塊43沿著Y軸筒體42向b方向移動，使塗敷滾輪22向b方向移動，藉由與線路板右邊2a同樣的動作在線路板上邊2b的周邊部塗敷膜形成液57。

當塗敷滾輪22到達E位置(線路板2的角部前)時，與前述在B位置的動作同樣，使設在塗敷單元20的迴旋轉動臂27的滑動機構28動作，在將塗敷滾輪22從線路板2移離開的方向上數mm程度地滑動移動旋轉機構部21，從而使塗敷滾輪22從線路板2移離開，結束線路板上邊2b的塗敷。

然後，驅動移動單元40將塗敷滾輪移動至F的位置，將被滑動機構28滑動移動的旋轉機構部21復原到原來的位 置，驅動迴旋轉動機構部23的迴旋轉動馬達25，將旋轉機構部21向左旋轉90度，使噴嘴部51位於塗敷滾輪22的下一個行進方向的前面一側。

然後，驅動移動單元40，將塗敷滾輪22置於G位置，藉由將Y軸筒體42沿著X軸筒體向C方向移動，使塗敷滾輪22向C方向移動，與線路板上邊2b同樣的動作，在線路板左邊2c的周邊部塗敷膜形成液57。

塗敷滾輪22到達H位置(線路板2的角部前)時，與前述在B位置的動作同樣地，使設在塗敷單元20的迴旋轉動臂27的滑動機構28動作，在將塗敷滾輪22從線路板2移離開的方向上數mm程度地滑動移動旋轉機構部21，由此將塗敷滾輪22從線路板2移開，結束線路板左邊2c的塗敷。

然後，驅動移動單元40，使塗敷滾輪22移動到I位置後，將被滑動機構28滑動移動的旋轉機構部21復原到原來的位置，驅動迴旋轉動機構部23的迴旋轉動馬達25，將旋轉機構部21向左迴旋轉動90度，由此使噴嘴部51位於塗敷滾輪22的下一個行進方向的前面。

然後，驅動移動單元40將塗敷滾輪22置於J位置，藉由將Y軸滑塊沿著Y軸筒體42向d方向移動，使塗敷滾輪22向d方向移動，藉由與線路板2c同樣的動作在線路板下邊2d的周邊部塗敷膜形成液57。

塗敷滾輪22到達K位置(線路板2的角部前)時，與前述在B位置的動作同樣地，使設在塗敷單元20的迴旋轉動臂27上的滑動機構28動作，在將塗敷滾輪22從線路板2移離開的 方向上，數mm程度地滑動移動旋轉機構部21，由此將塗敷滾輪22從線路板2移開，結束線路板2下邊2d的塗敷，之後，在將塗敷滾輪22移動到L位置後，將被滑動機構28滑動移動的旋轉機構21復原到原來的位置，結束線路板2的4個邊的塗敷作業。

前述的塗敷工序結束後，接下來進行乾燥工序。首先，塗敷結束後，藉由升降機構13的動作，支承臺10向下下降，線路板2被放置到運送軌道12上。然後，運送軌道12向乾燥爐60的方向滑動移動，線路板2被運送到設定為一定溫度的乾燥爐60內。經過一定的乾燥時間，運送軌道12移動，線路板從乾燥爐60運出，乾燥工序結束。

第6圖係顯示使用實施形態之塗敷裝置1塗敷的線路板2的周邊部附近的圖，(a)係部分斜視圖，(b)係沿b-b線的剖面圖。在線路板2的周邊部，由樹脂成分組成的塗膜57a形成邊框狀(端面及上下面)。藉由調整塗敷滾輪22之移動速度、塗敷滾輪22之旋轉速度、膜形成液57之輸送速度、膜形成液57之黏度等，能夠將塗膜57a的膜厚控制在20μm至150μm的厚度。另外，塗成150μm以上的膜厚也係可能的。另外，上下面的塗敷寬度能夠在1mm至10mm的程度內調整。

另外，在前述實施形態中，對使用外形為圓柱狀的塗敷滾輪的情形進行了說明，但是塗敷滾輪22的形狀並不限定為圓柱狀。在其他實施形態中，可以適用具有近似截頭圓錐形的外形，在外周面形成有剖面為三角形或者剖面為梯形的環狀溝的塗敷滾輪。

第7圖係顯示了使用其他的實施形態之塗敷滾輪塗 敷線路板的周邊部時的狀態的圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係在(a)中沿b-b線的剖面圖，(c)係塗敷後的線路板的周邊部附近的剖面圖。

第7圖所示的塗敷滾輪22A，具有近似截頭圓錐形的外形，在其外周面形成有剖面為三角形形狀的環狀溝22c。噴嘴部51A的與塗敷滾輪22A的圓錐狀的外周面相向的面51d形成為與塗敷滾輪22A的圓錐狀的外周面相輔相成地嵌合的圓錐面狀，從而能夠使噴嘴部51A的相輔相成的圓錐面51d大略與塗敷滾輪22A的圓錐狀的外周面相配合。另外，如第7圖(c)所示，在使用塗敷滾輪22A的情形時，能夠只在線路板2的端面和下面形成塗膜57a。

第8圖係顯示了使用又一個實施形態之塗敷滾輪塗敷線路板的周邊部時的狀態的圖，(a)係塗敷滾輪附近的擴大俯視圖，(b)係(a)中的沿b-b線的剖面圖，(c)係塗敷後的線路板的周邊部附近的剖面圖。

第8圖所示的塗敷滾輪22B，具有近似截頭圓錐形的外形，在其外周面形成有剖面為梯形的環狀溝22d。圓錐的傾斜角度設定為比第7圖的塗敷滾輪22A還大。噴嘴部51B的與塗敷滾輪22B的圓錐狀的外周面相向的面51e形成為與能夠塗敷滾輪22B的圓錐狀的外周面相輔相成嵌合圓錐面狀，由此能夠使噴嘴部51B的相輔相成的圓錐面51e大致與塗敷滾輪22B的圓錐狀的外周面相配合。另外，如第8圖所示，在使用滾輪22B的情形下，不但能夠在線路板2的端面及上下面的周邊部將塗膜57a形成為框狀，而且也能夠使下面的塗敷寬度比上面的塗敷寬度大。

根據前述實施形態之塗敷裝置1，在塗敷滾輪22的環狀溝22a置於被支承臺10支承的線路板2的周邊部的狀態下，能夠在為塗敷滾輪22的環狀溝22a提供膜形成液57的同時，一邊沿著線路板2的周邊部旋轉塗敷滾輪22一邊使之移動。

因此，不僅係被支承臺10支承的線路板2的端面，而且線路板2的周邊部也能夠被膜形成液57塗敷，形成塗膜57a。所以，能夠藉由塗膜57a保護線路板2的包括端面在內的周邊部，不僅能夠可靠地防止線路板2的端面部分的損壞引起的塵埃的發生，而且線路板2的周邊部因塗膜而增強，線路板2的強度得以提高。

另外，藉由使用具有耐酸和耐鹼性的膜形成液57，能夠實現線路板處理工序(蝕刻工序和鍍覆工序等)的作業性的提高和成本的降低。例如，藉由使用具有耐鍍覆性的膜形成液57，能夠防止在線路板2的周邊部鍍覆的附著，能夠進行線路板周邊部的遮蔽，實現遮蔽的作業效率的提高。

此外，根據塗敷裝置1，由於藉由迴旋轉動機構部23能夠使旋轉機構部21迴旋轉動，所以在矩形的線路板2周邊部塗敷膜形成液57時，能夠將旋轉機構部21相對於線路板2的端面的朝向設定為在線路板2的各邊時都為相同的方向，從而能夠使線路板2的各邊都在相同的狀態下進行穩定的塗敷。

另外，藉由滑動機構28能夠使旋轉機構部21相對於迴旋轉動機構部23在水平方向移動。因此，能夠進行旋轉機構部21的位置(塗敷滾輪22的位置)的微調整，亦即能夠進行塗敷滾輪22的環狀溝22a與線路板2的端面的間隔的微調整，從而能夠 進行更加高精度的塗敷滾輪22的位置控制，並且能夠防止在線路板角部的膜形成液57的2次塗敷。

另外，由於塗敷滾輪22具有圓盤狀或者圓柱狀的外形，在其外周面形成截面為字形的環狀溝22a，所以能夠在線路板2的周邊部將膜形成液塗敷成邊框狀。另外，由於塗敷滾輪22是以可以裝卸的方式安裝於旋轉軸26的，所以能夠根據被塗敷對象的線路板2的厚度，塗敷膜厚和塗敷寬度等，將塗敷滾輪22更換為塗敷滾輪22A、22B等，從而能夠適應多樣化的需求。

另外，能夠藉由塗敷滾輪22的環狀溝22a的深度來調整線路板2的周邊部的上下面的塗敷寬度。而且，藉由在使環狀溝22a置於線路板2的周圍端部時，環狀溝22a相對於線路班端面的插進深度，能夠調整在線路板2的周邊部的上下面的塗敷寬度。

另外，由於塗敷裝置1具有液體供給單元50，所以能夠從噴嘴部51向塗敷滾輪22的環狀溝22a直接噴出膜形成液57，即使塗敷滾輪22在旋轉時，也能在環狀溝22a內充滿膜形成液57。另外，從噴嘴部51給環狀溝22a噴出的膜形成液57中，從環狀溝22a流下來的部分在液體接受部54被接住，由管道泵55運送到液體收容部52，所以能夠循環使用膜形成液57，能夠毫無浪費地使用膜形成液57。

另外，由於塗敷裝置1具備乾燥爐60，所以藉由乾燥爐60，在膜形成液57塗敷後，立即使膜形成液57乾燥，能夠提高其後的作業性，並且能夠提高膜形成液57的剝離等的塗敷不良的防止效果。

另外，塗敷裝置1所能夠對應的被塗敷對象的線路板的種類沒有特殊限定。例如，能夠適用於印刷線路板、封裝線路板、金屬線路板(鋁線路板等)或者玻璃線路板等的厚度為數mm至數十μm程度的薄板狀或者膜狀的由各種材質構成的線路板

1‧‧‧塗敷裝置

2‧‧‧線路板

10‧‧‧支承臺

11‧‧‧固定導軌

12‧‧‧運送導軌

13‧‧‧升降機構

14‧‧‧支承部件

20‧‧‧塗敷單元

21‧‧‧旋轉機構部

22‧‧‧塗敷滾輪

22a‧‧‧環狀溝

23‧‧‧迴旋轉動機構部

40‧‧‧移動單元

41‧‧‧X軸筒體

42‧‧‧Y軸筒體

43‧‧‧Y軸滑塊

44‧‧‧支承引導

50‧‧‧液體供給單元

51‧‧‧噴嘴部

52‧‧‧液體供給部

53‧‧‧供給泵

54‧‧‧液體接受部

55‧‧‧管道泵(轉運泵)

56‧‧‧管

57‧‧‧膜形成液

60‧‧‧乾燥爐

61‧‧‧斷熱材

62‧‧‧翅片加熱器

63‧‧‧供給配管

64‧‧‧空氣泵

70‧‧‧控制部

80‧‧‧操作部

81‧‧‧液晶操作面板

Claims (13)

1. 一種塗敷裝置，用於在線路板的包括端面的周邊部塗敷液體，係具有：支承線路板的支承手段；安裝有塗敷滾輪的塗敷手段，前述塗敷滾輪的外周面上形成有環狀溝；移動該塗敷手段的移動手段；為前述塗敷滾輪的環狀溝提供含有樹脂成分的膜形成液之液體供給手段；控制前述移動手段的控制手段，用來在前述塗敷滾輪的環狀溝置於被前述支承手段支承的線路板的周邊部的狀態下，使該塗敷滾輪沿著前述線路板的周邊部移動；其中，前述液體供給手段具有：向前述塗敷滾輪的環狀溝噴出前述膜形成液的噴嘴部；從液體收容部向前述噴嘴部供給前述膜形成液的供給手段；接受從前述噴嘴部向前述塗敷滾輪的環狀溝噴出的前述膜形成液的液體接受部；將該液體接受部所接受的前述膜形成液轉運到前述液體收容部的轉運手段。
2. 如申請專利範圍第1項所述之塗敷裝置，其中，前述塗敷手段具有：使前述塗敷滾輪旋轉的旋轉機構部；使該旋轉機構部迴旋轉動的迴旋轉動機構部。
3. 如申請專利範圍第2項所述之塗敷裝置，其中，前述旋轉機構部相對於前述迴旋轉動機構部以能夠沿水平方向移動的方式安裝。
4. 一種塗敷裝置，用於在線路板的包括端面以及下面或上下面的周邊部塗敷液體，係具有：支承線路板的支承手段；安裝有塗敷滾輪的塗敷手段，前述塗敷滾輪的外周面上形成有環狀溝；移動該塗敷手段的移動手段；為前述塗敷滾輪的環狀溝供給含有樹脂成分的膜形成液之液體供給手段；控制前述移動手段的控制手段，用來在前述塗敷滾輪的環狀溝置於被前述支承手段支承的線路板的周邊部的狀態下，使該塗敷滾輪沿著前述線路板的周邊部移動；其中，前述塗敷手段具有：使前述塗敷滾輪旋轉的旋轉機構部；使該旋轉機構部迴旋轉動的迴旋轉動機構部。
5. 如申請專利範圍第4項所述之塗敷裝置，其中，前述旋轉機構部相對於前述迴旋轉動機構部以能夠沿水平方向移動的方式安裝。
6. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之塗敷裝置，其中，前述塗敷滾輪具有圓盤狀或者圓柱狀的外形，在其外周面形成剖面為字形狀或者剖面為三角形狀的環狀溝。
7. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之塗敷裝置，其中， 前述塗敷滾輪具有截頭圓錐形的外形，在其外周面形成剖面為三角形形狀或者剖面為臺形狀的環狀溝。
8. 如申請專利範圍第1至5項中任一項所述之塗敷裝置，其中，具有用來乾燥在前述線路板的周邊部塗敷的前述膜形成液的乾燥手段。
9. 一種為線路板的包括端面的周邊部塗敷膜形成液的塗敷方法，係具有：藉由將外周面形成有環狀溝的塗敷滾輪之前述環狀溝置於前述線路板的周邊部的狀態下，一邊旋轉前述塗敷滾輪，一邊對該塗敷滾輪的環狀溝供給前述膜形成液，同時沿著前述線路板的周邊部移動前述塗敷滾輪的方法，為前述線路板的周邊部塗敷前述膜形成液的塗敷工序，其中，包括對供給至前述塗敷滾輪的環狀溝的前述膜形成液中，從前述環狀溝流下來的前述膜形成液進行回收，並將該回收的膜形成液供給至前述塗敷滾輪的環狀溝的工序。
10. 一種為線路板的包括端面以及下面或上下面的周邊部塗敷膜形成液的塗敷方法，係具有：在將外周面形成有環狀溝的塗敷滾輪之前述環狀溝置於前述線路板的周邊部的狀態下，藉由旋轉機構部，一邊旋轉前述塗敷滾輪，一邊對該塗敷滾輪的環狀溝供給前述膜形成液，同時沿著前述線路板的周邊部移動前述塗敷滾輪的方法，為前述線路板的周邊部塗敷前述膜形成液的塗敷工序，其中，前述塗敷工序係控制迴旋轉動機構部，該迴旋轉動機構部係於將前述塗敷滾輪從前述線路板的一邊移動至其他邊時，以供給前述膜形成液至前述塗敷滾輪的環狀溝之噴嘴部的朝向 係與前述線路板之各個邊的端面成為相同朝向之方式，使前述塗敷滾輪之旋轉機構部迴旋轉動。
11. 如申請專利範圍第10項所述之塗敷方法，其中，包括對提供給前述塗敷滾輪的環狀溝的前述膜形成液中，從前述環狀溝流下來的前述膜形成液進行回收，並將該回收的膜形成液提供給前述塗敷滾輪的環狀溝的工序。
12. 如申請專利範圍第9至11項中任一項所述之塗敷方法，其中，前述塗敷工序是使固化後的膜厚為20μm至150μm來進行前述膜形成液的塗敷的工序。
13. 如申請專利範圍第9至11項中任一項所述之塗敷方法，其中，包括對前述線路板的周邊部塗敷之前述膜形成液進行乾燥的乾燥工序。