CN106664802B - 涂敷装置、涂敷头及涂敷方法 - Google Patents

Abstract

本发明的目的在于提供一种能够在基板的包括端面的周向边缘部薄且以均匀膜厚涂敷膜形成液，能够稳定地形成膜厚变动少的涂膜的涂敷装置，涂敷装置1具有：支承基板2的支承台10，具有一对涂敷头21的涂敷单元20，使涂敷单元20移动的移动单元40和为涂敷头21提供膜形成液51的液体供给单元50以及控制部70，该控制部用来将基板2的端部插入涂敷头21的空隙的状态下，控制移动单元20使涂敷头21沿着基板2的周向边缘部移动；涂敷头21装备着用来积存膜形成液51的液体积存部22a、23a以及将通过液体积存部22a、23a的基板2的端部上所附着的膜形成液51涂敷加工成薄膜状的涂工部22c、22d、23c、23d。

Description

涂敷装置、涂敷头及涂敷方法

技术领域

本发明涉及一种涂敷装置、涂敷头及涂敷方法，更具体地，涉及在基板周向边缘部涂敷液体的涂敷装置、涂敷头及涂敷方法。

背景技术

一般将使用了玻璃环氧树脂部件的印刷基板作为电子部件的安装用基板使用。玻璃环氧树脂部件是在重叠的玻璃纤维布上含浸环氧树脂形成的。因此在切断玻璃环氧树脂部件时，产生由环氧树脂或者玻璃纤维组成的细微尘埃。这些细微尘埃可能引起基板回路接触不良或者质量下降等问题。因此有必要在制造印刷基板时就除去切断基板时所产生的尘埃。

但是即使从印刷基板的端面除去了尘埃，由于印刷基板的端面部分非常脆，所以还会有端面部分损坏进一步又产生尘埃的问题。

于是本发明人已经在先提出了通过在印刷基板的端面上涂敷膜形成液形成膜，从而防止端面部分损坏的涂敷装置(专利文献1)。

图23是显示了本发明人在先提出的涂敷装置的主要部分的侧视剖面图，图24图是为了显示涂敷装置内部机构而省略了框体显示的概略前视图。

横贯框体101的输入口101a以及输出口101b，配设有沿前后方向延伸的传送装置102。传送装置102由支承部件(未图示)支承在框体101上。在框体101上设置有具有复数个操作开关103a的操作部103。通过操纵操作开关103a，传送装置102被驱动和停止。

在框体101内的传送装置102的左右分别设置涂敷机构110、110。涂敷机构110固定在与框体101的后面相向配设的固定板104上，固定板104下部与滚珠螺杆机构120连接。滚珠螺杆机构120被支承部件(未图示)支承在框体101上。

涂敷机构110具备涂敷圆盘111、马达112、涂敷液供给圆盘113以及马达114。用来旋转涂敷圆盘的马达112、112被固定在水平安装于固定板104的支承部件105上，其旋转轴112a垂直向下配设。涂敷圆盘111、111沿水平方向配设，具备朝上方延伸的轴111a。在马达112的旋转轴112a上连接涂敷圆盘111的轴111a，藉由马达112的驱动使涂敷圆盘111旋转。

用来旋转涂敷液供给圆盘的马达114、114通过沿前后方向延伸的枢轴115固定于固定板104上，其旋转轴114a沿水平方向配设。涂敷液供给圆盘113、113夹着涂敷圆盘111、111，在传送装置102的相反一侧呈垂直方向配设，具有沿水平方向延伸的轴113a。涂敷液供给圆盘113的轴113a与马达114的旋转轴114a连接，藉由马达114的驱动，涂敷液供给圆盘113旋转。涂敷液供给圆盘113的轴113a位于比涂敷圆盘111的下面还下方的位置，涂敷液供给圆盘113的涂敷圆盘111一侧的上部侧面与涂敷圆盘111的周面接触。

在涂敷液供给圆盘113下方设置有用来容纳含树脂成分的膜形成液116的箱型液体供给容器117，涂敷液供给圆盘113的下端部从液体供给容器117上方插入，并浸于膜形成液116中。随着涂敷液供给圆盘113的旋转，膜形成液116从涂敷液供给圆盘113下端部向涂敷液供给圆盘113上部移动，被提供给涂敷圆盘111的外周面。

在固定板104的下端部连接滚珠螺杆机构120。滚珠螺杆机构120、120具备配置在传送装置102下方的马达121、121。马达121具有自传送装置102隔离的向左右水平方向延伸的旋转轴(未图示)，该旋转轴上连接向左右水平方向延伸的公螺纹122。另外，公螺纹122上咬合着筒状的母螺纹体123，固定板104下端中央部与母螺纹体123连接。藉由马达121、121的驱动，公螺纹122旋转，随着公螺纹122的旋转，与母螺纹体123连接的固定板104、104能够左右移动。

以下说明通过上述涂敷装置给印刷基板130的端面130a涂敷膜形成液116的涂敷方法。首先，操纵操作部103的操作开关103a，使马达121正反旋转，调整涂敷机构110、110的左右位置，使之与印刷基板130的左右宽度相吻合。然后将印刷基板130载置至搬入口101a一侧的传送装置102上，操纵操作开关103a，驱动传送装置102、马达112、112及马达114、114。

通过传送装置102将印刷基板130运送至涂敷机构110，使其左右端面130a、130a与涂敷圆盘111、111的周面111b、111b相碰接。此时附着在涂敷圆盘111、111周面111b、111b的膜形成液116被涂敷到印刷基板130的左右端面130a、130a上。接着随时印刷基板130的运送，印刷基板130左右端面130a、130a全体被膜形成液116涂敷，涂敷后，印刷基板130被从搬出口101b运出，使膜形成液116中所含的树脂成分固化。

根据上述涂敷装置，通过涂敷圆盘111、111，印刷基板130的两侧端面130a、130a上被涂敷膜形成液116，从而能够在印刷基板130的两端面130a、130a上形成涂膜。

发明要解决的问题

但在上述涂敷装置中，由于是膜形成液116通过供给圆盘113、113供给到涂敷圆盘111、111的外周面111b、111b，然后附着在涂敷圆盘111、111的外周面111b、111b的膜形成液116被涂敷到印刷基板130的端面130a、130a的构成，所以对于这些涂敷圆盘111的外周面111b的膜形成液116的供给状态容易产生偏差。

为了使相对于涂敷圆盘111的外周面111b的膜形成液116的供给状态稳定，需要将膜形成液116的粘度调整到比较高(不垂落的程度)，从而就存在难以以薄的膜厚进行均匀地涂敷的问题。

另一方面，为了应对各种电子器械的薄型化和小型化，近年来，对于厚度为数十μm至数百μm程度的薄型覆铜层压板(亦称封装基板)的需要高涨。对于这种薄型基板，仅在基板端面涂敷膜形成液是不容易的，需要能够在基板的包括端面的周向边缘部，例如涂敷成边框状之类的形态。

但是上述涂敷装置是仅在印刷基板130的端面130a涂敷膜形成液116的构成，有不能在基板的包括端面的周向边缘部薄且均匀地将膜形成液涂敷成边框状的问题。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2010/137418号

发明内容

本发明是鉴于上述课题而完成的，目的在于提供一种能够在基板的包括端面的周向边缘部以薄且均匀的膜厚涂敷膜形成液，能够稳定地形成膜厚变动小的涂膜的涂敷装置、涂敷头及涂敷方法。

为了实现上述目的，本发明涉及的涂敷装置(1)，是在基板的包括端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷装置，其特征在于，具有：支承所述基板的支承手段；包括具有能够插入所述基板端部的空隙的、相向配置的一对涂敷头的涂敷手段；移动该涂敷手段的移动手段；为所述一对涂敷头提供膜形成液的液体供给手段；在被所述支承手段支承的所述基板的端部插入所述一对涂敷头的所述空隙内的状态下，控制所述移动手段使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动的控制手段；所述一对涂敷头具备在该一对涂敷头的相对面上积存所述膜形成液的液体积存部和将通过了该液体积存部的所述基板端部上附着的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状的涂工部。

根据上述涂敷装置(1),能够在所述一对涂敷头的所述空隙内插入被所述支承手段支承的所述基板的端部的状态下，一边为所述一对涂敷头的所述液体积存部提供所述膜形成液的同时，一边使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动。即，将所述基板端部通过所述液体积存部所积存的所述膜形成液后，能够一边在所述涂工部将附着在所述基板端部的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状，一边使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动。

另外，由于是使所述基板的端部通过所述液体积存部所积存的所述膜形成液的构成，所以能够使所述膜形成液充分附着在该基板的端部，能够在所述基板的端部，毫无不均匀地附着所述膜形成液的状态后，在所述涂工部涂敷成薄膜状。

因此能够在所述基板的周向边缘部的上下面以及所述基板的端面(侧面)薄且均匀地涂敷所述膜形成液。另外，能够持续进行膜厚变动等涂膜质量偏差小的涂敷，能够精度良好地在所述基板的周向边缘部形成边框状的均质的涂膜。从而，能够防止由于所述基板端面部分的损坏引起的尘埃的发生，同时还能够通过所述涂膜强化所述基板的周向边缘部，提高所述基板的操作性，降低所述基板的不良产品的产生率。

另外，本发明涉及的涂敷装置(2)，其特征在于，在所述涂敷装置(1)中，所述涂工部具备用来抹平附着在所述基板端部的所述膜形成液的抹子部和用来刮取通过了该抹子部的附着在所述基板端部的多余的所述膜形成液的刮取部。

根据上述涂敷装置(2)，由于具备所述抹子部和所述刮取部，所以在将通过了所述液体积存部的所述基板端部上所附着的所述膜形成液涂成均一膜厚后，能够确实地刮掉附着在所述基板的多余的所述膜形成液，能够薄且均匀地涂敷所述膜形成液。

另外本发明涉及的涂敷装置(3)，其特征在于，在上述涂敷装置(1)或者(2)中，所述涂敷手段具备用来使所述一对涂敷头环转的环转转机构部。

根据上述涂敷装置(3)，由于藉由所述旋转机构部，能够使所述一对涂敷头旋转，所以比如在给矩形基板的周向边缘部涂敷膜形成液时，能够将所述一对涂敷头在所述基板的各个边时，相对于该基板端面的朝向都设定为同样朝向，从而能够使所述基板的各边都在相同状态下进行稳定的涂敷。

另外本发明涉及的涂敷装置(4)，其特征在于，在上述涂敷装置(3)中，在所述旋转机构部上装备有使所述一对涂敷头沿水平方向滑动的滑动机构部。

根据上述涂敷装置(4)，由于能够使所述一对涂敷头相对于所述旋转机构部在水平方向上滑动移动。所以能够更加高精度地进行所述一对涂敷头相对于所述基板端面的位置控制，比如在所述一对涂敷头的所述空隙内插入所述基板端部的宽度微调整等所述一对涂敷头的位置的微调整。

另外本发明涉及的涂敷装置(5)，其特征在于，在上述涂敷装置(1)或者(2)中，在所述支承手段的周围配设复数个所述涂敷手段，所述移动手段是使所述复数个涂敷手段沿着由所述支承手段所支承的基板的边移动的手段，所述控制手段是控制所述移动手段以使所述复数个涂敷手段沿着所述基板的边移动的手段。

根据上述涂敷装置(5)，能够利用所述复数个涂敷手段对所述基板的周向边缘部进行涂敷，能够大幅地缩短涂敷所述基板的全部周边的时间，能够提高涂敷工序的效率。

另外本发明涉及的涂敷装置(6)，其特征在于，在上述涂敷装置(5)中，所述移动手段具备复数个能够在所述基板的边方向和与该边方向交叉的方向的2个方向上移动的2轴直线移动机构。

根据上述涂敷装置(6)，通过所述2轴直线移动机构使所述各涂敷手段在2轴方向移动，从而能够以稳定的操作，反复涂敷所述基板各个边。

另外本发明的涂敷装置(7)，其特征在于，在上述任一涂敷装置(1)～(6)中，具备容纳所述膜形成液的液体容纳部、配设于所述一对涂敷头下方的液体接受部以及将该液体接受部所接受的所述膜形成液移送至所述液体容纳部的移送手段。

根据上述涂敷装置(7)，自所述一对涂敷头漏下的所述膜形成液能够在所述液体接受部被接住，被所述移送手段移送至所述液体容纳部，所以能够循环反复使用所述膜形成液，能够毫无浪费地使用所述膜形成液。

另外本发明涉及的涂敷装置(8)，其特征在于，在上述任一涂敷装置(1)～(7)中，还具备涂敷头用保护具，所述涂敷头用保护具具备与所述一对涂敷头的所述空隙相碰接的垫部、配设于该垫部下方的液体接受部以及支承所述垫部和所述液体接受部的支承部，所述涂敷头用保护具设置在所述一对涂敷头的退避位置。

根据上述涂敷装置(8)，在所述一对涂敷头退避至指定的退避位置时，所述一对涂敷头的所述空隙部分能够与所述涂敷头用保护具的所述垫部相碰接。因此，能够防止在所述空隙部分上产生所述膜形成液的干燥或者由于该干燥引起的液体堵塞的发生，能够在不发生所述膜形成液的干燥或者液体堵塞的良好状态下持续进行对所述基板的涂敷。

另外本发明涉及的涂敷装置(9)，其特征在于，在上述任一涂敷装置(1)～(8)中，具备用来干燥涂敷于所述基板的周向边缘部的所述膜形成液的干燥手段。

根据上述涂敷装置(9),通过所述干燥手段，能够在涂敷所述膜形成液后立即使所述膜形成液干燥，能够提高随后的作业性，另外能够提高防止所述膜形成液剥离等涂敷不良的效果。

另外本发明涉及的涂敷装置(10)，其特征在于，在上述任一涂敷装置(1)～(9)中，具备将被所述支承手段支承前的基板进行位置配置到指定位置的位置确定手段，以及将被该位置确定手段所确定位置的基板移载到所述支承手段，然后将被所述膜形成液涂敷了的基板从所述支承手段移送的基板移载手段。

根据上述涂敷装置(10)，由于是在所述位置确定手段进行所述基板的位置确定后，利用所述基板移载手段将该基板移载至所述支承手段的，所以被移载至所述支承手段的基板的位置精度高，能够进行所述膜形成液的涂敷宽度无偏差的精度高的涂敷。

另外本发明的涂敷装置(11)，其特征在于，在上述涂敷装置(10)中，所述基板移载手段具备第1基板保持部和第2基板保持部，通过所述第1基板保持部与所述第2基板保持部，能够并行进行将所述基板朝所述支承手段移载的动作和将所述基板从所述支承手段移送的动作。

根据上述涂敷装置(11)，由于能够同时进行将涂敷前的基板向所述支承手段移载的动作和将涂敷后的基板从所述支承手段移送的动作，所以能够提高基板的运送效率。

另外本发明涉及的涂敷头(1)，是用来给基板的包含端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷头，其特征在于，具备：具有能够插入所述基板端部的空隙的、相向配置的上侧头与下侧头；所述上侧头具备在与所述下侧头的相对面形成的上侧液体积存部、用来为该上侧液体积存部提供膜形成液的液体供给路以及与该上侧液体积存部并列设置的上侧抹子部和与该上侧抹子部并列设置的上侧刮取部；所述下侧头具备与所述上侧液体积存部相对的地方形成的下侧液体积存部和与该下侧液体积存部并列设置的下侧抹子部以及与该下侧抹子部并列设置的下侧刮取部。

根据上述涂敷头(1)，从所述液体供给路为所述上侧液体积存部提供所述膜形成液，从而能够形成在所述上侧液体积存部与所述下侧液体积存部积存所述膜形成液的状态。然后在所述上侧头与所述下侧头的所述空隙中插入所述基板端部，通过使所述基板的端部通过所述上侧液体积存部与所述下侧液体积存部中所积存的所述膜形成液，能够毫无不均匀地充分地在所述基板的端部附着所述膜形成液。

然后在所述上侧抹子部与所述下侧抹子部，抹平附着在所述基板端部的所述膜形成液，涂成均一膜厚，然后在所述上侧刮取部与所述下侧刮取部，能够将附着在所述基板的多余的所述膜形成液刮掉，能够形成膜厚变动等少的薄膜状的涂膜。

因此能够在所述基板的周向边缘部的上下面以及所述基板的端面(侧面)薄且均匀地涂敷所述膜形成液，能够在所述基板的周向边缘部精度良好地形成边框状的均质的涂膜。

另外本发明涉及的涂敷头(2),其特征在于，在上述涂敷头(1)中，在所述上侧抹子部以及所述下侧抹子部的抹子面上形成复数个微小的沟。

根据上述涂敷头(2)，由于在所述上侧抹子部以及/或者所述下侧抹子部的抹子面上形成有复数个微小沟，所以由于所述膜形成液的表面张力，所述膜形成液能够容易地在所述抹子面上展开，从而能够容易地稳定地形成薄且均匀的膜厚。

另外本发明涉及的涂敷头(3)，其特征在于，在上述涂敷头(1)或者(2)中，所述上侧抹子部以可以装卸于所述上侧头的方式构成，所述下侧抹子部以可以装卸于所述下侧头的方式构成。

根据上述涂敷头(3)，可以根据需要在所述上侧头以及所述下侧头上分别装卸所述上侧抹子部以及所述下侧抹子部。另外，能够安装与涂膜的膜厚等相适应的所述上侧抹子部以及所述下侧抹子部，能够精度良好地进行膜厚调整，另外，能够容易地进行维护。

另外本发明涉及的涂敷头(4)，其特征在于，在上述任一涂敷头(1)～(3)中，所述上侧头具备固定于所述下侧头的固定部件和相对于该固定部件以在上下方向上可以位置调整的方式安装的移动部件，所述上侧液体积存部形成在所述移动部件上，所述上侧抹子部与所述上侧刮取部设置在所述移动部件上。

根据上述涂敷头(4)，因为是相对于所述固定部件能够在上下方向移动所述移动部件，进行位置调整的方式安装的，所以可以根据所涂敷的基板的厚度与形成的涂膜的膜厚，任意调整所述移动部件的高度位置，能够针对各种各样厚度的基板，进行各种各样膜厚的涂敷。

另外本发明涉及的涂敷头(5)，其特征在于，在上述任一涂敷头(1)～(3)中，所述上侧头具备固定于所述下侧头的固定部件和相对于该固定部件以在上下方向可以进行位置调整的方式安装的2个移动部件，所述上侧液体积存部形成于所述固定部件上，在与所述上侧液体积存部并列设置的一个移动部件上设置有所述上侧抹子部，在与所述一个移动部件并列设置的另一个移动部件上设置有所述上侧刮取部。

根据上述涂敷头(5)，由于能够相对于所述固定部件，以在上下方向上移动进行位置调整的方式分别安装所述一个移动部件与所述另一个移动部件，所以可以根据所涂敷的基板的厚度或者形成的涂膜的厚度，分别调整装备有所述上侧抹子部的所述一个移动部件与装有所述上侧刮取部的所述另一个移动部件的高度位置，能够相对于各种各样厚度的基板，进行各种各样膜厚的涂敷。

另外本发明涉及的涂敷头(6)，其特征在于，在上述任一涂敷头(1)～(3)中，所述上侧头具备固定于所述下侧头的固定部件和相对于该固定部件以在上下方向可以位置调整的方式安装的移动部件，该移动部件在被施加势力手段施以向下方势力的状态下安装于所述固定部件上，所述上侧液体积存部、所述上侧抹子部与所述上侧刮取部，设置在所述移动部件上。

根据上述涂敷头(6)，由于能够相对于所述固定部件，以在上下方向上可以调整位置的方式安装所述移动部件，所以能够根据所涂敷的基板的厚度或者形成的涂膜的厚度，任意调整所述移动部件的高度位置，从而能够相对于各种厚度的基板，进行各种膜厚的涂敷。进而由于所述移动部件被所述施加势力手段以向下方被施加势力的状态下安装于所述固定部件上的，所以能够使所述上侧头与所述下侧头的空隙尺寸保持为一定宽度，只要是在该空隙尺寸范围内，即使基板的厚度不同，也能够进行适当的涂敷。

另外本发明的涉及的涂敷头(7)，其特征在于，在上述涂敷头(6)中，所述移动部件具有第1的部件与第的2部件，所述第1的部件是相对于所述固定部件以在上下方向上能够调整位置的方式安装的，所述第2的部件由所述施加势力手段在朝下方被施加势力的状态下安装在所述第1的部件上，所述上侧液体积存部、所述上侧抹子部以及所述上侧刮取部设置在所述第2的部件上。

根据上述涂敷头(7)，通过所述第1的部件能够容易地进行相对于所述固定部件的上下方向的安装位置的调整，另外，由于能够在仅使所述基板端部所插入的所述第2的部件被施加朝下的势力的状态下安装的，所以通过设置于所述第2的部件上的所述上侧抹子部与所述上侧刮取部，能够对厚度不同的基板也薄且均匀地涂敷所述膜形成液。

另外本发明涉及的涂敷头(8)，其特征在于，在上述任一涂敷头(1)～(7)中，所述上侧头具备排出所述膜形成液的液体排出路。

根据上述涂敷头(8)，能够将提供给所述上侧液体积存部的多余的所述膜形成液由所述液体排出路适当地排出，从而能够防止从所述上侧头与所述下侧头的所述空隙部分有不要的液体垂下等。

另外本发明涉及的涂敷方法(1)，是在基板的包括端面的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷方法，其特征在于，具有：在具有可以插入所述基板端部的空隙的相向配置的一对涂敷头的所述空隙内，插入所述基板端部的工序；为在所述一对涂敷头的相对面上所形成的液体积存部提供所述膜形成液的同时，使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动，在该基板的周向边缘部形成涂膜的涂敷工序；该涂敷工序具备在与所述液体积存部并列设置的涂工部，将通过所述液体积存部的所述基板上所附着的所述膜形成液涂敷成薄膜状的工序。

根据上述涂敷方法(1)，能够在所述基板的周向边缘部的上下面以及所述基板端面薄且均匀地涂敷所述膜形成液，能够在所述基板的周向边缘部精度良好地形成边框状的涂膜。因此，能够防止由于所述基板端面部分的损坏所引起的尘埃的发生，同时能够藉由涂膜使所述基板得以强化，能够提高所述基板的操作性。

另外本发明涉及的涂敷方法(2)，其特征在于，在上述涂敷方法(1)中，使用复数个所述涂敷头同时并行涂敷所述基板的各边。

根据上述涂敷方法(2)，由于是利用复数个所述涂敷头同时并行涂敷所述基板的各边，所以能够大幅地缩短涂敷所述基板全部周边的时间，能够提高所述涂敷工序的效率。

附图说明

图1是为了显示本发明的实施方式(1)涉及的涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的侧视图。

图2是为了显示实施方式(1)涉及的涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的前视图。

图3是图2中从箭头A方向观看的涂敷头的前视图。

图4是图3中沿IV-IV线的剖面图。

图5是图3中沿V-V线的剖面图。

图6是上侧头的分解底面图。

图7是图3中沿VI I-VI I线的剖面图。

图8是实施方式(1)涉及的涂敷装置的涂敷头退避至涂敷头用保护具的位置时的平面图。

图9是图8中从箭头C方向观看的涂敷头用保护具的主视图。

图10是是用来说明实施方式(1)涉及的涂敷装置的涂敷头动作的平面图。

图11是显示使用实施方式(1)涉及的涂敷装置所涂敷的基板的周向边缘部附近的图，(a)是部分斜视图，(b)是(a)中沿b-b线的剖视图。

图12是显示构成另外的实施方式涉及的涂敷头的上侧头的构造的图，(a)是底面图，(b)是平面图。

图13为了显示实施方式(2)涉及的涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的平面图。

图14是为了显示实施方式(2)涉及的涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的侧视图。

图15是图14中从箭头A1方向观看的涂敷头的主视图。

图16是是图15中沿XVI-XVI线的剖视图。

图17是图15中沿XVI I-XVI I线的剖视图。

图18是图15中沿XVI I I-XVI I I线的剖视图。

图19是上侧头的分解底面图。

图20是上侧头的分解主视图。

图21是图15中沿XXI-XXI的剖面图。

图22是用来说明实施方式(2)涉及的涂敷装置的涂敷头动作的平面图。

图23是以往的涂敷装置的概略侧视图。

图24是为了显示以往的涂敷装置的内部结构，而省略了框体所显示的概略主视图。

具体实施方式

以下基于附图，说明本发明涉及的涂敷装置、涂敷头以及涂敷方法的实施方式。是1为了显示实施方式(1)涉及的涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的侧视图，图2是为了显示涂敷装置的内部构造而省略了框体所显示的正视图。

涂敷装置1包括支承基板2的支承台10、具备由上侧头22与下侧头23组成的一对涂敷头21的涂敷单元20以及使涂敷单元20移动的移动单元40而构成。

另外在涂敷装置1上装备有给一对涂敷头21提供含有树脂成分的膜形成液51的液体供给单元50、用来干燥涂敷于基板2上的膜形成液51的干燥炉60、对装置各部分的驱动进行控制的控制部70以及操作部80。

支承台10配设在与基板2的运送方向平行配设的运送导轨12之间。运送轨道12通过线性机构等，以能够在固定导轨11上滑动移动的方式构成，固定导轨11与基板2的运送方向平行配设。支承台10被升降机构13以可以升降的方式支承，升降机构13安装在支承部件14上，支承部件14设置在固定导轨11之间。固定导轨11固定于未图示的框体上。

运送导轨12在固定导轨11上滑动移动，则载置于运送导轨12上的基板2被运送到支承台10上方，接下来升降机构13运行，则位于运送导轨12的上面的下方的支承台10上升，基板2在被支承在支承台10上的状态下，上升到指定的涂敷位置。另外，涂敷后，升降机构13运行，支承台10下降，基板2被载置至运送轨道12上。

另外在支承台10上设有吸着机构(未图示)，能够使基板2吸着在支承台10的上面。作为吸着机构可以采用在支承台10上设置复数个空气吸气孔，这些空气吸气孔通过气管与真空泵连接的构成等。

移动单元40由使涂敷单元20在2轴(XY轴)方向水平移动的2轴(XY轴)直线运动机构构成，包括固定于未图示的框体的X轴气缸41、一端侧以能够滑动移动的方式与X轴气缸41连接的Y轴气缸42、使Y轴气缸42滑动移动的Y轴滑块43以及支承Y轴气缸42的另一端一侧的支承引导部44而构成。在Y轴滑块43上安装有涂敷单元20。支承引导部44固定于未图示的框体上。Y轴气缸42以及Y轴滑块43的运行由控制部70控制。

涂敷单元20包括环转机构部30以及一对涂敷头21而构成。环转机构部30包括与Y轴滑块43连接的连接部件31、安装于连接部件31上的旋转环转马达32、与向垂直方向延伸的环转马达32的旋转轴32a连接的旋转轴部33以及一端与旋转轴部33连接的环转臂34而构成，能够以环转马达32的旋转轴32a为中心使一对涂敷头21环转。

旋转轴部33包括旋转轴33a以及以可以旋转的方式支承旋转轴33a的滚轴轴承(未图示)而构成，旋转轴33a的上端一侧与环转马达32的旋转轴32a连接，旋转轴33a的下端一侧与环转臂34连接。

环转臂34具备在水平方向上延伸设置的腕部34a，在腕部34a的下面中间部设有滑动机构35，该滑动机构35是用来使一对涂敷头21在腕部34a的较长一方的方向(水平方向)滑动移动的。滑动机构35由电动式直线移动引导机构等构成，在滑动机构35上安装有用来安装一对涂敷头21的连接部件36。

另外用来检测环转臂34的环转停止位置的探测器(例如コ字型光敏探测器)(未图示)以90度的间隔配设在旋转轴部33的周围，环转臂34环转90度，则设置在环转臂34上的遮光板(未图示)就会遮住所述探测器的受光部，从而检测出停止位置而构成。

接着就构成涂敷单元20的一对涂敷头21进行说明。图3是图2中从箭头A方向观看一对涂敷头21的正视图，图4是沿图3中IV-IV线的剖面图。图5是图3中沿V-V线的剖面图，显示上侧头底面(与下侧头的相对面)，图6是上侧头的分解底面图。另外，图7是图3中沿VI I-VI I线的剖面图，显示下侧头的上面(与上侧头的相对面)。另外，图中的箭头B显示涂敷头21的移动方向。

涂敷头21包括具有能够插入基板2端部的空隙的上下相向配置的上侧头22和下侧头23而构成。在涂敷头21的下面配设有固定在下侧头23上的液体接受部24。涂敷头21以及液体接受部24由具有耐腐蚀性的不锈钢等金属材料形成。另外，涂敷头21表面(至少在膜形成液的流路面)上，被施以陶瓷加工等表面加工。

如图5，图6所示，上侧头22包括固定于下侧头23的固定部件22A和相对于固定部件22A以在上下方向上可以移动的方式固定的移动部件22B而构成。能够插入基板2端部的空隙形成于上侧头22的移动部件22B与下侧头23之间，固定部件22A与下侧头23的相对面相邻接被固定。

在移动部件22B的底面上并列设置有倾斜引导部22a、上侧液体积存部22b、上侧抹子部件(抹子部)22c和上侧刮刀部(刮取部)22d(互相紧挨着设置)。固定部件22A的底面上形成有上侧液体积存部22b、从上侧液体积存部22b通到固定部件22A背面的液体排出沟22e、用来使固定于下侧头23上的螺栓部件(未图示)通过的通孔22f。

另外在固定部件22A的背面形成有提供膜形成液51的接口22g的安装孔22h，安装孔22h与内部形成的液体供给路22i连接，液体供给路22i与形成于移动部件22B的上侧液体积存部22b上的注入孔22j相连接，从而形成膜形成液51被提供给上侧液体积存部22b的构成。

倾斜引导部22a是为了容易在上侧头22与下侧头23的空隙内引导基板2的端部而设置的，形成为相对于水平面倾斜30度左右的构造。

与倾斜引导部22a并列设置的上侧液体积存部22b横跨移动部件22B与固定部件22A，即，从移动部件22B的正面一侧端部起至固定部件22A的中央附近，形成为近似矩形的浅沟状。

在上侧液体积存部22b上形成的注入孔22j，能够由未图示的螺丝部件分别盖上盖子，当在基板2端部所涂敷的液膜的宽度较窄时(3mm～5mm时)，靠近固定部件22A的注入孔22j盖上盖子(未图示)，当给基板2端部所涂敷的液体膜的宽度较宽时(5mm～10mm时)，能够在2个注入孔22j上都不盖盖子的状态下使用，从而能够根据基板2端部所涂敷的液体膜的宽度，调整注入量和注入位置。

在移动部件22B的上侧液体积存部22b的旁边形成有凹部22k，在凹部22k的靠近上侧液体积存部22b的位置配设上侧抹子部件22c，形成凹部22k的后端的壁部作为上侧刮刀部22d起作用的构成。

上侧抹子部件22c与上侧液体积存部22b并列设置，具有将附着在基板2的膜形成液51进行紧贴且涂成均一膜厚的功能，在平面看为近似正方形的板状金属部件上形成抹子面22l和螺栓22m的安装孔22n，通过螺栓22m以可以装卸的方式固定在移动部件22B的凹部22k上。

在抹子面22l上，在与涂敷头21的移动方向B相平行的方向上形成有复数个微小沟(例如截面为V字状的沟)。微小沟的间隔与深度可以根据所使用的膜形成液51的粘度等特性或者膜厚等进行适当设定。例如，在形成10μm～50μm程度的涂膜时，优选使用沟的中心间隔设定为0.2mm～0.3mm程度，沟的深度设定为0.05mm～0.1mm程度。

上侧刮刀部22d具有刮掉通过上侧抹子部件22c的基板2上所附着的多余的膜形成液51的作用，形成使凹部22k的后端壁部相对于与涂敷头21(移动部件22B)的正面垂直相交的面，向后方一侧倾斜一定角度θ₁(例如30度前后)的状态。由于该倾斜，能够使从基板2端部上面刮掉的膜形成液51刮到基板2的端面一侧，能够控制膜形成液51的涂敷宽度为一定值。另外，为使构成上侧刮刀部22d的刀部的高度比上侧液体积存部22b的堤部分上面还低100μm程度(为使空隙宽)，所述刀部被施以削刮加工。另外，所述刀部的高度能够根据涂膜厚度进行设定。

液体排出沟22e形成为从上侧液体积存部22b的固定部件22A一侧端部起通过固定部件22A的背面，提供给上侧液体积存部22b的多余的膜形成液51自液体排出沟22e排出至外部。

另外如图3所示，在上侧头22的移动部件22B的正面，在2个地方，形成纵方向长的长孔22o，在与长孔22o相对面的固定部件22A的侧面，分别形成螺孔(未图示)，移动部件22B由螺栓22p固定在固定部件22A上。通过长孔22o，能够使移动部件22B相对于固定部件22A，在上下方向上移动，为了形成与所涂敷的基板2的厚度相适应的空隙，能够上下微调整移动部件22B的固定位置。

如图7所示，在下侧头23的上面，并列设置倾斜引导部23a、下侧液体积存部23b、下侧抹子部23c、下侧刮刀部23d，另外，还形成有安装孔23e，是用来固定通过上侧头22的通孔22f的螺栓(未图示)的。进而，在下侧头23上面，竖立设置吊设部件23g，是用来将涂敷头21吊设于支承部25的，在下侧头23的背面，形成用来安装液体接受部24的安装孔23h和液体排出沟23f。在棒状的吊设部件23g的上部形成有用来安装连接螺栓26的螺孔23i。

倾斜引导部23a是为了在上侧头22与下侧头23的空隙间方便引导基板2端部而设置的，为相对于水平面呈倾斜30度左右的构造。

与倾斜引导部23a并列设置的下侧液体积存部23b，自下侧头23的正面侧端部起到中央附近形成为近似矩形的浅的沟形状，在与上侧液体积存部22b相向的位置形成为同样的大小。

与下侧头23的下侧液体积存部23b邻接形成孔部23j，在孔部23j的靠下侧液体积存部23b的地方配设有下侧抹子部23c，孔部23j的后端的壁部作为下侧刮刀部23d起作用。

下侧抹子部件23c与下侧液体积存部23b并列设置，具有使附着在基板2上的膜形成液51紧贴涂成均一膜厚的作用，在细板状金属部件上形成抹子面23k和螺栓23l的安装孔23m，藉由螺栓23l以可以装卸的方式固定在下侧头23的上面所形成的凹部23n上。

在抹子面23k上，在与涂敷头21的移动方向B平行的方向上形成有复数个的微小沟(例如截面为V字状的沟)。微小沟的间隔和深度可以根据所使用的膜形成液51的粘度等的特性或者膜厚等适当调整。例如，在形成10μm～50μm程度的涂膜时，优选使用沟的中心间隔设定为0.2～0.3mm程度，沟的深度设定为0.05mm～0.1mm程度。

下侧刮刀部23d具有刮掉通过了下侧液体积存部23b以及下侧抹子部件23c的基板2上所附着的多余的膜形成液51的功能，形成为孔部23j的后端壁部相对于与涂敷头21(下侧头23)正面垂直相交的面，向后方一侧倾斜指定角度θ₂(例如30度前后)的状态。由于该倾斜，能够将从基板2端部下面刮掉的膜形成液51刮到基板2的端面一侧，从孔部23j流入液体接受部24，能够将涂敷液51的涂敷宽度控制为一定值。另外，为了使构成下侧刮刀部23d的刀部的高度，比下侧液体积存部23b的堤部分上面还低100μm程度(为使空隙宽)，对所述刀部进行削刮加工。另外，所述刀部的高度能够根据涂膜的厚度进行设定。

液体排出沟23f形成于下侧头23的背面近似中央处，从上侧头22的液体排出沟22e排出的膜形成液51通过液体排出沟23f流入下方的液体接受部24。

液体接受部24具备平面看为矩形的接受盘24a和自接受盘24a的一侧面起向上方延伸设置的安装板24b，安装板24b的上部藉由未图示的螺栓安装于下侧头23背面的安装孔23h。接受盘24a底面所形成的回收口24c通过接口24d与管55连接。为使回收口24c一侧朝下，将接受盘24a以略微倾斜的状态安装在下侧头23上。

另外在涂敷头21的退避位置(图10的A位置)上，设置有涂敷头用保护具27。图8是显示在使涂敷头21退避至涂敷头用保护具27位置时的状态的平面图，图9是图8中从C方向观看的部分主视图。

涂敷头用保护具27包括在涂敷装置1内的未图示的台部上所设置的台座27a、在台座27a上竖立设置的侧面近似L字形状的带状板27b和安装于带状板27b上部的垫单元27c而构成。在台座27a的底面，设有未图示的磁石，通过该磁石固定于所述台部。

垫单元27c包括安装于带状板27b的带状板安装部27d、自安装部27d的一侧边上部朝平面看为倾斜方向延伸设置的延设片27e、在安装部27d的上部以及延设片27e上各自安装的垫保持部27f、被各垫保持部27f所保持的垫部件27g以及配设在安装部27d的下端的平面看为矩形的接受盘形状的液体接受部27h而构成。

安装部27d上端部与延设片27e所成的角度θ₃设置为与涂敷头21正面(通过基板的面)与刮刀部(22d、23d)所成的角θ₄大致相同，垫部件27g与涂敷头21正面的空隙部分以及刮刀部(22d、23d)的空隙部分相碰接。

垫保持部27f的开口部形成为近似コ字形。垫部件27g由海绵等具有吸收液体性能的多孔质体构成，以可以装卸的方式嵌入于垫保持部27f。垫部件27g为近似长方体形状，所以通过改变嵌入垫保持部27f的面，能够将垫部件27g侧面的4个面作为与涂敷头21相碰接的面。

液体供给单元50包括容纳膜形成液51的液体容纳部52、从液体容纳部52通过管54为涂敷头21提供膜形成液51的电动泵53、以及将液体接受部24所接受的膜形成液51通过管55进行移送(回收)到液体容纳部52的电动泵56而构成。藉由液体供给单元50，液体容纳部52的膜形成液51通过泵53以及管54，被提供给涂敷头21的上侧头22，液体接受部24所接受的膜形成液51通过管55以及泵56被回收到液体容纳部52。

膜形成液51可以使用在基板处理工序(蚀刻工序或者镀敷工序等)中具有不剥离的特性(对于酸以及/或者碱的耐性)，对基板表面的附着性等优异的由复数种树脂成分混合的的液剂，例如相对于水性溶媒的溶剂，含有水性聚氨酯树脂、水性苯乙烯树脂以及水性增粘剂的涂层剂等，根据目的用途所调制的液剂。另外，根据所涂敷的膜厚，调整合适的涂敷膜形成液51的粘度，例如在使膜厚薄时，优选降低粘度。

另外如图1所示，在涂敷单元20后方设有干燥炉60。由涂敷单元20所涂敷的基板2被放置到运送导轨12上，运送至干燥炉60内，经过指定的干燥时间后，从干燥炉60中运出。

干燥炉60的内壁面配设有隔热材料61，在干燥炉60内以井字形配设棒状的翅片加热器62，在干燥炉60内的内侧面上，环周边设有供给配管63，在该供给配管63上以一定间隔形成有用来将空气送入干燥炉60内的供给孔(未图示)。供给配管63与干燥炉60外部的空气泵64相连。

控制部70具有进行运送导轨12的滑动移动控制、移动单元40的XY轴直线移动控制、涂敷单元20的环转·滑动移动控制、通过升降机构13的支承台10的升降控制、吸附控制、液体供给单元50的泵53、56的驱动控制以及干燥炉60的温度控制等对涂敷装置1的各个部件进行控制的机能，包括微型多用计算机、驱动线路、记忆部以及电源部等(都未图示)而构成。另外，控制部70可以由1个或者复数个控制单元构成。

另外控制部70具有驱动控制移动单元40和涂敷单元20的各个部件，从而在一对涂敷头21(上侧头22与下侧头23)的空隙内插入被支承台10支承的基板2端部的状态下，使一对涂敷头21沿着基板2的周向边缘部移动的作用。

操作部80具备液晶操作面板81，安装于框体(未图示)上。通过液晶操作面板81，能够进行涂敷装置1各个部件的运行条件的设定、各个部件的运行指示、运行模式(手动、自动等)切换等各种操作。通过操作面板81所输入的操作信号或者设定信号被传送到控制部70等。

例如在操作部80，能够进行通过移动单元40的XY轴直线移动机构而引起的涂敷单元20的水平移动速度、通过液体供给单元50的泵53引起的膜形成液51的输送速度等运行条件的设定、通过干燥炉60的翅状加热器62的炉内温度设定或者干燥时间设定等。

以下说明使用实施方式(1)涉及的涂敷装置1，为基板2的周向边缘部涂敷膜形成液51的涂敷方法。另外，虽然对被涂敷对象是使用矩形的薄形(数十μm～数百μm)的覆铜层压基板的情况进行说明，但是被涂敷对象并不限定为此，还可以将铝基板等各种基板作为被涂敷对象。另外，使用实施方式(1)涉及的涂敷装置1的涂敷方法可以被采用作为基板制造工序的一个工序。

首先进行一对涂敷头21(上侧头22与下侧头23)的空隙的调整以及设定。即，在考虑被涂敷对象的基板2的厚度、涂膜厚度等因素后决定空隙尺寸(例如基板厚+10μm)，将与该空隙尺寸相对应的空隙量规(未图示)夹在上侧头22的移动部件22B与下侧头23之间，用螺栓22p将移动部件22B固定在固定部件22A上。然后拔出所述空隙量规，结束涂敷头21的空隙的调整及设定，用连接螺栓26将涂敷头21安装到支承部25上。

然后在被移动到搬入一侧的运送导轨12的指定位置上载置基板2，操纵操作部80，使运送导轨12在涂敷单元20一侧滑动移动。

运送导轨12移动，在基板2被运送到支承台10上方的位置时，运送导轨12的移动停止；接着升降机构13运行，支承台10上升，基板2被支承在支承台10上，进而支承台10上升到指定位置(涂敷单元20的一对涂敷头21的空隙的高度的位置)。另外，吸附机构(未图示)也运行，基板2以被吸附的状态被支承在支承台10上。

接下来的涂敷工序是，保持基板2的端部插入在一对涂敷头21的空隙的状态，在为一对涂敷头21的液体积存部(上侧液体积存部22b与下侧液体积存部23b)提供膜形成液51的同时，使一对涂敷头21沿着基板2的4个边的周向边缘部移动的工序。

图10是用来说明使用一对涂敷头21对基板2的周向边缘部进行涂敷的涂敷工序的图。图中虚线显示一对涂敷头21的移动轨迹。

涂敷头21在指定的退避位置A的位置上，被调整为涂敷头21的前进方向与基板2端面(右边2a)的朝向一致。

首先使移动单元40的Y轴气缸42沿着X轴气缸41向a方向移动，由此一对涂敷头21向a方向移动，在图10所示的基板2的右边2a的周向边缘部涂敷膜形成液51。

即，驱动泵53，在给上侧头22的液体供给路22i提供膜形成液51的同时，将基板右边2a的端部插入一对涂敷头21的空隙，在上侧液体积存部22b与下侧液体积存部23b内装满膜形成液51的状态下，移动一对涂敷头21。另外，在涂敷时，为了使基板2端部不会从一对涂敷头21的空隙中出来，对一对涂敷头21的位置进行控制。

一对涂敷头21到达B位置(基板2的角部前方)时，设在涂敷单元20的环转臂34上的滑动机构35运行，使一对涂敷头21朝离开基板2的方向(d方向)滑动移动数mm程度，一对涂敷头21从基板2离开，结束基板右边2a的涂敷。另外，在B位置使一对涂敷头21从基板2离开是为了防止对基板角部重复2次涂敷膜形成液51，也可以在B位置，不使一对涂敷头21从基板2离开，而涂敷基板右边2a全体。

然后驱动移动单元40的Y轴气缸42以及Y轴滑块43，将一对涂敷头21移动至C位置后，将被滑动机构35滑动移动的一对涂敷头21返回到原来的位置，驱动环转机构部30的环转马达32，将环转臂34向左环转90度，使基板2的端面(上边2b)的朝向与一对涂敷头21的前进方向一致。

然后驱动移动单元40的Y轴气缸42以及Y轴滑块43，将一对涂敷头21调到D位置，使Y轴滑块43沿着Y轴气缸42在b方向移动，从而使一对涂敷头21朝b方向移动，以与基板右边2a同样的动作在基板上边2b的周向边缘部涂敷膜形成液51。

一对涂敷头21到达E位置(基板2的角部前方)，与在上述B位置时的动作同样地，使设在涂敷单元20的环转臂34上的滑动机构35运行，将一对涂敷头21在离开基板2的方向上滑动移动数mm，一对涂敷头21从基板2离开，结束基板上边2b的涂敷。

然后驱动移动单元40使一对涂敷头21移动至F位置后，用滑动机构35使被滑动移动了的一对涂敷头21回到原来的位置，驱动环转机构部30的环转马达32，将环转臂34向左环转90度，使基板2的端面(左边2c)的朝向与一对涂敷头21的前进方向一致。

然后驱动移动单元40，将一对涂敷头21调到G位置，通过使Y轴气缸42沿着X轴气缸41在c方向上移动，使一对涂敷头21在c方向移动，与基板上边2b同样的动作，在基板左边2c的周向边缘部涂敷膜形成液51。

一对涂敷头21到达H位置(基板2的角部前方)，与上述B位置时的动作同样地，使设在涂敷单元20的环转臂34上的滑动机构35运行，使一对涂敷头21朝离开基板2的方向滑动移动数mm程度，使一对涂敷头21从基板2离开，结束基板左边2c的涂敷。

然后驱动移动单元40，将一对涂敷头21移动至I位置后，用滑动机构35使被滑动移动了的一对涂敷头21回到原来的位置，驱动环转机构部30的环转马达32，将环转臂34向左环转90度，使基板2的端面(下边2d)的朝向与涂敷头21的前进方向一致。

然后驱动移动单元40，将一对涂敷头21调到J位置，通过使Y轴滑块43沿着Y轴气缸42在d方向上移动，使一对涂敷头21在d方向移动，与基板左边2c同样的动作，在基板下边2d的周向边缘部涂敷膜形成液51。

一对涂敷头21到达K位置(基板2的角部前方)，则与在上述B位置时同样的动作，使设在涂敷单元20的环转臂34上的滑动机构35运行，将一对涂敷头21向离开基板2的方向滑动移动数mm程度，一对涂敷头21从基板2离开，结束基板下边2d的涂敷，然后驱动移动单元40，将一对涂敷头21移动至L位置后，将被滑动机构35所滑动移动的涂敷头21返回到原来的位置，结束基板2的4个边的涂敷作业。

接着驱动涂敷单元20的环转马达32，环转涂敷头21，使基板2的端面(右边2a)的朝向与涂敷头21的前进方向一致，驱动移动单元40的Y轴气缸42以及Y轴滑块43，将一对涂敷头21调到A位置。

在A位置上设置有涂敷头用保护具27。涂敷头用保护具27的垫部件27g与涂敷头21的正面(基板2所通过的面)以及刮刀部22d、23d的空隙碰接，能够防止液体从所述空隙漏出以及干燥。

上述涂敷工序结束后，接着进行干燥工序。首先涂敷结束后，升降机构13运行，支承台10向下降下，基板2被载置到运送导轨12上。然后运送导轨12向干燥炉60的方向滑动移动，基板2被运送到设定为指定温度的干燥炉60内。指定的干燥时间经过后，运送导轨12移动，基板2从干燥炉60搬出，结束干燥工序。

图11是显示使用实施方式1涉及的涂敷装置1涂敷的基板2的周向边缘部附近的图，(a)是部分斜视图，(b)是(a)中沿b-b线的剖面图。

在基板2的周向边缘部，由树脂成分构成的涂膜51a形成为边框状(端面及上下面)。通过一对涂敷头21的空隙的设定、上侧抹子部件22c以及下侧抹子部件23c的抹子面的沟形状、上侧刮刀部22d以及下侧刮刀部23d的刀部的高度位置、一对涂敷头21的移动速度、膜形成液51的粘度等的调整，能够控制涂膜51a的干燥后的膜厚在10μm～60μm程度。另外，上下面的涂敷宽度能够通过一对涂敷头21与基板2的端部的重叠宽度进行调整，可以在1mm～10mm程度内调整。

根据上述实施方式(1)涉及的涂敷装置1，能够在一对涂敷头21的空隙内插入由支承台10支承的基板2端部的状态下，一边为一对涂敷头21的液体积存部22b、23b提供膜形成液51，一边使一对涂敷头21沿着基板2的周向边缘部移动。即，在基板2端部通过液体积存部22b、23b所积存的膜形成液51后，能够利用涂工部的抹子部件22c、23c以及刮刀部22d、23d，将基板2端部所附着的膜形成液51涂敷加工成薄膜状，同时使一对涂敷头21沿着基板2的周向边缘部移动。

另外由于是基板2端部通过积存于液体积存部22b、23b的膜形成液51的构成，所以不受由于泵53的脉动等引起的供给量变动的影响，能够使膜形成液51充分附着在基板2的端部，能够在基板2的端部无不均匀地附着膜形成液51的状态下，通过抹子部件22c、23c，平整成薄且均匀的膜厚后，在刮刀部22d、23d，将附着的多余的膜形成液刮掉。

因此能够在基板2的周向边缘部的上下面以及基板2的端面(侧面)薄且均匀地涂敷膜形成液51。另外，能够持续进行膜厚变动等的涂膜质量的偏差少的涂敷，能够在基板2的周向边缘部精度良好地形成边框状的均质的涂膜。因此能够防止基板2端面部分的损坏所引起的尘埃的发生，同时能够通过涂膜强化基板2的周向边缘部，能够提高后面工序中基板2的使用性，降低基板2的不良品的发生率。

另外通过使用对酸或者碱具有耐性的膜形成液51，能够实现基板处理工序(蚀刻工序和镀敷工序等)的作业性的提升和成本的降低。例如通过使用具有镀敷耐性的膜形成液51，能够防止在基板2的周向边缘部的镀敷的附着，能够进行基板周向边缘部的遮蔽，能够实现遮蔽作业效率的提高。

另外根据涂敷装置1，因为通过环转机构部30能够使一对涂敷头21环转，所以在为矩形的基板2的周向边缘部涂敷膜形成液51时，能够使一对涂敷头21相对于基板2端面的朝向设定为在基板2的各边时都是相同的朝向，由此能够使基板2的各边都在同样状态下进行稳定的涂敷。

另外通过滑动机构35能够使一对涂敷头21相对于环转机构部30在水平方向上滑动移动。因此，一对涂敷头21的位置的微调整，例如插入一对涂敷头21的空隙的基板2端部的宽度的微调整等、一对涂敷头21相对于基板2的端面的位置控制能够更加高精度地进行。

另外由于在涂敷头21的下方设有液体接受部24，所以从涂敷头21漏出的膜形成液51在液体接受部24被接住，在接受盘24a所积存的膜形成液51通过管55被液体容纳部52回收，所以能够循环反复使用膜形成液51，能够毫无浪费地使用膜形成液51。

另外由于在一对涂敷头21的退避位置设置涂敷头用保护具27，所以在退避位置，能够使一对涂敷头21的空隙部分与涂敷头用保护具27的垫部件27g碰接。所以能够防止在一对涂敷头21的空隙部分发生膜形成液51的干燥或者液体堵塞，能够持续进行为基板2的涂敷。

另外由于涂敷装置1具备干燥炉60，所以通过干燥炉60，能够在涂敷膜形成液51后，立即干燥膜形成液51，能够提高随后的作业性，还能提高防止膜形成液51的剥离等涂敷不良发生的效果。另外，能够适用于涂敷装置1的被涂敷对象的基板的种类没有特别限定，由厚度为数百μm～数十μm程度的薄板状或者膜状的各种材质构成的基板都可以非常合适的适用。

另外在实施方式(1)涉及的涂敷装置1中，关于移动单元40由包括X轴气缸41、Y轴气缸42、Y轴滑块43以及支持引导部44的2轴(XY轴)直线移动机构构成的形态进行了说明，但移动单元40的形态不限定为此形态，在另外的实施方式涉及的涂敷装置中还可以采用例如具备XY轴机器人式直线移动机构或者多关节式机器人机构等各种移动单元(移动手段)。

另外根据上述实施方式(1)涉及的涂敷方法，在基板制造工序中，能够在基板2的周向边缘部的上下面以及所述基板的端面(侧面)薄且均匀地涂敷膜形成液51，能够精度良好地在基板2的周向边缘部形成边框状的涂膜。因此，在基板制造工序中能够防止由于基板2的端面部分的损坏而引起的尘埃的发生，同时还能够藉助涂膜增强基板2的周向边缘部，能够提高后面工序中的基板2的操作性，能够降低基板的不良品发生率。

另外在上述实施方式(1)涉及的涂敷头21中，是上侧头22的移动部件22B相对于固定部件22A以上下方向可以移动的方式构成的，但上侧头22的构成不限定于此状态，还可以是移动部件22B固着于固定部件22A的构成。另外，还可以采用图12所示的构造。

图12是显示构成另外的实施方式涉及的涂敷头的上侧头22C的构造的图，(a)是底面图，(b)是平面图。另外，对于与上述实施方式(1)涉及的涂敷头21的上侧头22具有相同功能的构成部件付以相同符号，此处省略对其说明。

另外的实施方式涉及的涂敷头的上侧头22C包括固定部件22D以及2个移动部件22E、22F而构成，是相对于固定部件22D，使2个移动部件22E、22F能够分别在上下方向上移动而固定的构成。

固定部件22D的底面上形成有倾斜引导部22a和上侧液体积存部22b，在与固定部件22D的上侧液体积存部22b并列设置的一个移动部件22E的底面形成有上侧抹子部22q，在与移动部件22E并列设置的另一个移动部件22F的底面上形成有上侧刮刀部22r。

形成有上侧抹子部22q的移动部件22E被螺栓22s以在上下方向上可以移动的方式固定于固定部件22D上，形成有上侧刮刀部22r的移动部件22F被螺栓22t以在上下方向上可以移动的方式固定在移动部件22E上。在与上侧头22C相对应的下侧头上，可以采用与上述下侧头23同样的构成。

根据上述另外的实施方式的涂敷头，由于上侧头22C具备固定部件22D以及2个移动部件22E、22F，所以能够将具有上侧抹子部22q的移动部件22E与具有上侧刮刀部22r的移动部件22F各自以在上下方向上可以移动的方式固定于固定部件22D上。因此能够根据所涂敷的基板2的厚度和涂膜的厚度，分别调整移动部件22E与移动部件22F的高度位置，能够针对各种厚度的基板进行各种膜厚的涂敷。

另外在上述实施方式(1)涉及的涂敷头21中，上侧头22与下侧头23的空隙是根据所涂敷的基板事先固定好的，但在其他实施方式中，还可以采用空隙开闭式机构，该空隙开闭式机构是通过操作部80在控制部70内输入所涂敷基板的厚度等条件，在涂敷头21上设置使上侧头22的移动部件22B升降的机构，与往基板2的插入时间相配合，为了在上侧头22与下侧头23的间形成指定的空隙(与输入值基板的厚度相适应的空隙)而机械地上下移动上侧头22的移动部件22B，形成所述空隙。

图13是为了显示实施方式(2)涉及的涂敷装置内部构造而省略了框体所显示的平面图，图14是为了显示涂敷装置内部机构而省略了框体所显示的侧视图。另外，对与图1～9所显示的实施方式(1)涉及的涂敷装置具有相同功能的构成部件付以相同符号，此处省略对其的说明。

在实施方式(1)的涂敷装置1中，对配设有一个涂敷单元20的形态，即对使用一个涂敷单元20基板2的4边进行涂敷的形态进行了说明。实施方式(2)涉及的涂敷装置1A中，配设有复数个涂敷单元，具体地是4台涂敷单元20A、20B、20C、20D配设于支承台10A的周围，形成基板2的4个边被4台涂敷单元20A、20B、20C、20D同时并行涂敷的形态。

涂敷装置1A具备位置确定部90、涂敷部200以及干燥部600。

位置确定部90是为了在将基板2移动载置至涂敷部200的支承台10A上的前一步，进行基板2的位置确定而设置的。位置确定部90具备将基板2运送到指定位置的传送部91和对运送到指定位置的基板2进行位置确定(位置调整)的位置确定引导部92。

在位置确定部90的基板2的位置确定工序中，在传送部91将基板2运送(搬入)至指定位置后，通过在传送部91的滚轮91a之间以可以升降的方式配设的基板提起部91b，使基板2处于暂且从滚轮91a提起的状态。然后，将在传送部91的两侧所设置的位置确定引导部92朝夹住基板2的方向移动，在位置确定引导部92将基板2夹住，将基板2配置到指定位置，结束。在位置确定引导部92的内侧面配设有不会划伤基板2的用来把持基板2的部件。

由位置确定部90确定了位置的基板2通过具备复数个吸着保持具305的基板移载部300，被从位置确定部90移载至支承台10A，基板2以被吸着保持在吸着保持具305上的状态，被载置到支承台10A上。

涂敷部200具备支承基板2的支承台10A、配设于支承台10A周围的4台涂敷单元20A、20B、20C、20D和分别使涂敷单元20A、20B、20C、20D沿着支承台10A的边移动的4台移动单元40A、40B、40C、40D。在各涂敷单元20A、20B、20C、20D上装备有具有上侧头22G以及下侧头23A的一对涂敷头21A。

另外，在涂敷部200上，装备有为涂敷单元20A、20B、20C、20D各涂敷头21A提供含树脂成分的膜形成液51的液体供给单元50A、50B、50C、50D。

干燥部600具备运送从涂敷部200移送过来的基板2的传送部12A以及对被涂敷到基板2的膜形成液51进行干燥的干燥炉60A。干燥炉60A具备与图1所示的干燥炉60相同的功能。在传送部12A上，例如采用薄板条传送，将基板2放在薄板条(板子)上时，使基板2的周向边缘部不接触薄板条来设定各薄板条的宽度和间隔。

另外，涂敷装置1A具备对位置确定部90、涂敷部200、基板移载部300、干燥部600等装置各部的驱动进行控制的控制部70A，以及用来操作各个部件的操作部80A。

基板移载部300具有将基板2从位置确定部90移载到涂敷部200以及从涂敷部200移送至干燥部900的功能。基板移载部300具备第1的基板保持部301、第2的基板保持部302、使第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302在基板运送方向上往复移动的水平移动机构303、使第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302在垂直方向上往复移动的垂直移动机构304。另外，在第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302上配设用来吸着保持基板2的吸着保持具305。吸着保持具305由吸着喷嘴等构成，通过未图示的空气管与真空泵连接。

第1的基板保持部301以及第2的基板保持部302是通过水平移动机构303以及垂直移动机构304，并行进行将基板2从位置确定部90向支承台10A移载的动作以及将基板2从支承台10A向干燥部600移送的动作而构成的。

接着说明涂敷部200的构成。支承台10A被支柱4支承在台部3上。移动单元40A、40B、40C、40D以围着支承台10A的样态配设。移动单元40A、40B、40C、40D由使涂敷单元20A、20B、20C、20D在2轴(XY轴)方向上水平移动的2轴(XY轴)直线移动机构构成。

移动单元40A、40B、40C、40D分别具备与支承台10A的边相平行配设的X轴气缸46、滑动移动X轴气缸46的X轴滑块47、安装于X轴滑块47上的Y轴气缸48以及滑动移动Y轴气缸48的Y轴滑块49。在移动单元40A、40B、40C、40D的Y轴滑块49上分别安装涂敷单元20A、20B、20C、20D。X轴滑块47以及Y轴滑块49的动作由控制部70A控制。

涂敷单元20A、20B、20C、20D分别具备安装于Y轴滑块49的涂敷头安装部件37以及安装于涂敷头安装部件37上的涂敷头21A。

接着，就分别设置于涂敷单元20A、20B、20C、20D上的涂敷头21A进行说明。图是15图14中从箭头A1方向观看时的涂敷头21A的正面图，图16是图15中沿XVI-XVI线的剖面图，图17是图15中沿XVI I-XVI I线的剖面图。图18是图15中沿XVI I I-XVI I I线的剖面图，显示上侧头的底面(与下侧头的相对面)，图19是上侧头的分解底面图。图20是上侧头的分解正视图。另外，图21，是图15中沿XXI-XXI线的剖面图，显示下侧头的上面(与上侧头的相对面)。另外，图15、图21所示的箭头B1，显示了涂敷头21A的移动方向。

一对涂敷头21A包括具有能够插入基板2端部的空隙的上下互相相向设置的上侧头22G与下侧头23A而构成。涂敷头21A的下方配设有液体接受部24A。涂敷头21A以及液体接受部24A由具有耐腐蚀性的不锈钢等金属材料形成。另外，下侧头23A以及液体接受部24A的构成，与图7所示的下侧头23以及液体接受部24大致相同，对具有相同机能的构成部件付以相同符号，此处省略对其说明。

另外，在涂敷头21A的表面(至少是膜形成液的流路面)上，被施以陶瓷加工等表面加工。通过该表面加工，能够提高防止膜形成液51在涂敷时向涂敷头21A粘附的效果，另外涂敷后，能够容易地进行从涂敷头21A上剥离膜形成液51以及洗净作业，能够提高维护性。

上侧头22G如图18、19、20所示，包括固定于下侧头23A的固定部件22H以及相对于固定部件22H，以能够在上下方向上进行位置调整(滑动移动)的方式安装的移动部件22I而构成。

移动部件22I具备第1的部件22J与第2的部件22K。第1的部件22J以相对于固定部件22H以能够在上下方向上进行位置调整(滑动移动)的方式安装。第2的部件22K以被作为施加势力手段的片簧部件28e(参照第16图)施加向下方向(按压)势力的状态，安装于第1的部件22J上。第1的部件22J与第2的部件22K之间配设近似凹形形状的垫圈部件(金属板)22L。

第2的部件22K的底面上并列设置有倾斜引导部28a、上侧液体积存部28b、上侧抹子部件(抹子部)28c以及上侧刀片部(刮取部)28d。在形成有上侧刮刀部28d的一侧，延伸设置有由片簧部件28e所施加势力(按压)的按压部28f。在按压部28f的平面(上面)上，设有被片簧部件28e所按压的突起部28g(参照图16)。突起部28g由螺丝部件构成，可以通过螺丝所螺入的量进行突起部28g的高度调整。通过突起部28g的高度调整，能够调整片簧部件28e的按压力，能够调整上侧头22G与下侧头23A之间的空隙。

第1的部件22J的底面形成有上侧液体积存部28h和用来使吊设部件23g通过的通孔28i，在通孔28i所形成的一侧延设(弯曲形成)有片簧安装部28j。片簧部件28e的一端部通过螺丝部件28k(参照图16)安装在片簧安装部28j的平面(上面)，片簧部件28e的另一端，是以按压第2的部件22k的按压部28f的突起部28g的形式构成的。片簧部件28e的弹簧乘数考虑上侧头22G与下侧头23A的空隙、基板2的厚度、涂膜的厚度等，为得到所希望的涂膜而适宜设定。

在固定部件22H的底面大致中央部，从固定部件22H的正面一侧起通过背面一侧，形成液体排出沟28l，在固定部件22H的两端部形成通孔28m。螺栓28n插在通孔28m上，藉由螺栓28n，固定部件22H固定于下侧头23A上。

如图20所示，在固定部件22H的正面大致中央部，形成有凹部28p，在该凹部28p上配置有用来将膜形成液51提供给第2的部件22K的管状连接部件28o(参照图17)。在固定部件的正面(与第1的部件22J的相对面)上，在上下方向形成凸部28q，在凸部28q的高度方向中央部形成螺栓孔29a，另外，在横跨凹部28p一侧的正面上部形成有螺栓孔29b。

在第1的部件22J的正面大致中央部，形成有配置了连接部件28o的凹部28r。另外，在第1的部件22J的背面(与固定部件22H的相对面)上形成有与固定部件22H的凸部28q相配合的沟部28s。在沟部28s的高度方向中央部，纵向长的长孔29c形成于与固定部件22H的螺栓孔29a相对面的位置。在长孔29c的上面形成螺栓安装孔29d，另外，在横跨凹部28r的一侧的上部，纵向长的长孔29e形成于与固定部件22H的螺栓孔29b相对面的位置。

在第2的部件22K的背面一侧形成有插入部28t，连接部件28o顶端部插在该插入部28t中。插入部28t与在第2的部件22K内部所形成的液体供给路28u连接，液体供给路28u与在上侧液体积存部28b上所形成的注入孔28v相连。通过液体供给路28u以及注入孔28v，膜形成液51被供给到上侧液体积存部28b中。

另外，在第2的部件22K的正面上，在与第1的部件22J的长孔29c相对面的位置形成有纵向长的长孔29f，该长孔29f位于倾斜引导部28a的上方，上侧抹子部件28c的上方所形成的纵向长的长孔29h形成在第1的部件22J的长孔29e的相对面的位置。另外，在长孔29f上，螺栓安装孔29g形成在与第1的部件22J的螺栓安装孔29d相对面的位置。

在垫圈部件22L的正面左右2个地方，在与第1的部件22J的长孔29c、29e相对面的位置上形成有螺栓插通孔29i、29j。

第2的部件22K的倾斜引导部28a是为了在上侧头22G与下侧头23A的空隙内容易引导基板2的端部而设置的，为相对于水平面向下方倾斜30度左右的构造。

与倾斜引导部28a并列设置的上侧液体积存部28b形成为浅的沟状，与第1的部件22J的上侧液体积存部28h相连接。在上侧液体积存部28b上形成的注入孔22v可以用未图示的螺丝部件将其单独地盖上盖子。在基板2的端部所涂敷的液膜宽度窄的时候(3mm～5mm)，靠近第1的部件22J的注入孔22v盖上盖子(未图示)，在基板2的端部涂敷的液膜的宽度宽的时候(5mm～10mm)，2个注入孔22v可以不盖盖子使用。通过该构造，可以根据基板2端部所涂敷的液膜的宽度，调整注入量与注入位置。

第2的部件22K的上侧液体积存部28b的旁边形成有凹部28w，在凹部28w的靠近上侧液体积存部28b上配设上侧抹子部件28c，凹部28w的后端的壁部作为上侧刮刀部28d发挥作用。

上侧抹子部件28c与上侧液体积存部28b并列设置，具有将附着于基板2的膜形成液51紧贴，涂敷成均一膜厚的机能，在平面看近似正方形的板状金属部件上形成抹子面28x和螺栓28y的安装孔28z，通过螺栓28y以可以脱卸的方式，安装于第2的部件22K的凹部28w上。抹子面28x形成为平坦面，能够适用在与涂敷头21A的移动方向B1相平行的方向上形成有复数个微小沟(例如截面为V字状的沟)的情形。

上侧刮刀部28d具有刮掉通过了上侧抹子部件28c的基板2上所附着的多余的膜形成液51的机能，成为使凹部28w的后端壁部相对于与涂敷头21A(第2部件22K)的正面垂直相交的面，向后方一侧倾斜指定角度θ₁(例如30度左右)的状态。另外，为使构成上侧刮刀28d的刀部的高度，比上侧液体积存部28b的堤部分的上面还低100μm程度(使空隙变大)，对所述刀部进行削刮加工。另外，所述刀部的高度可以根据涂膜的厚度进行设定。

上述的上侧头22G的各个部件的组成构造是第2的部件22K通过螺栓29k以藉助轴可以旋转的方式支承在第1的部件22J上，第1的部件22J通过螺栓29l、29m固定于固定部件22H的构成。

第2的部件22K安装于第1的部件22J的步骤是从正面一侧将螺栓29k(例如具备头部、圆柱状腰部和顶端螺丝部的外螺丝式脱料螺栓)插入第2的部件22K的螺栓安装孔29g，将螺栓29k的顶端螺丝部拧进到第1的部件22J的螺栓安装孔29d。

将第1的部件22J安装于固定部件22H的步骤是在第2的部件22K与第1的部件22J的间(第1的部件22J的正面一侧)配设垫圈部件22L，将螺栓291通过第2的部件22K的长孔29f、垫圈部件22L的通孔29i以及第1的部件22J的长孔29c，使固定部件22H的凸部28q与第1的部件22J的沟部28s相吻合的状态下，轻轻地将螺栓29l的先端部拧进固定部件22H的螺栓孔29a。接着使螺栓29m通过第2的部件22K的长孔29h、垫圈部件22L的通孔29j以及第1的部件22J的长孔29e，将螺栓29m的顶端部轻轻地拧进固定部件22H的螺栓孔29b。

接着确定第1的部件22J(移动部件22I)的相对于固定部件22H的安装位置(另外位置调整量受长孔29c、29e的长度限制)，位置确定后，进一步拧入螺栓29l、29m，将第1的部件22J(移动部件22I)固定于固定部件22H。通过设定垫圈部件22L，能够在用螺栓29l、29m将第1的部件22J固定于固定部件22H时，防止第1的部件22J的位置偏移。

根据上述的上侧头22G的组成构造，通过第1的部件22J的长孔29c、29e，能够使移动部件22I(第1的部件22J以及第2的部件22K)相对于固定部件22H在上下方向上移动，能够进行上侧头22G与下侧头23A的空隙调整。

另外第2的部件22K由螺栓29k被轴以可以旋转的方式支承于第1的部件22J上(以可以来回转动的方式被轴支承)，螺栓29l、29m的头部分别位于长孔29f、29h的上部，按压部28f通过片簧部件28e成为被向下方施以势力的状态(换言之，即第2的部件22K的下端面从上侧液体积存部28b朝着上侧刮刀部28d稍微向下方倾斜的状态)。

因此以螺栓29k为支点，在长孔29f、29h所限制的范围内，能够使第2的部件22K抵抗片簧部件28e的增势力(向上方)来回转动，所以能够使上侧头22G与下侧头23A的空隙尺寸保持为一定宽度，能够对应厚度不同的基板。

下侧头23A如图21所示，在上面并列设置倾斜引导部23a、下侧液体积存部23b、下侧抹子部件23c以及下侧刮刀部23d。另外，在下侧头23A的上面，形成有安装孔23e，该安装孔23e是用来固定通过了固定部件22H的通孔28m的螺栓28n的，进而在下侧头23A上面，竖立设置有用来在安装部件37上吊设涂敷头21A的吊设部件23g。另外，在下侧头23A的背面形成用来安装液体接受部24A的安装孔23h和液体排出沟23f。在棒状的吊设部件23g的上部，形成用来安装连接螺栓26(参照图14)的螺孔23i。

液体接受部24A具备平面看为矩形的接受盘24a以及从接受盘24a的一侧面起向上方延伸设置的安装板24b，安装板24b的上部通过未图示的螺栓等安装于下侧头23A背面的安装孔23h上。在接受盘24a的底面所形成的回收口24c上，通过接口24d与管55连接。接受盘24a以回收口24c一侧向下，略微倾斜的状态安装于下侧头23上。

另外在各涂敷头21A的退避位置上，分别配置涂敷头用保护具27A。涂敷头用保护具27A的主要部件与图8、9所示的形式大致相同，所以这里省略对其说明，涂敷头用保护具27A通过升降机构27i(参照图14)，在涂敷时下降到支承台10A的下方，退避时上升至涂敷头21A的位置，垫子单元27c的垫部件27g与涂敷头21A的正面的空隙部分以及刮刀部分(28d、23d)的空隙部分相碰接。

液体供给单元50A、50B、50C、50D包括容纳膜形成液51的液体容纳部52、从液体容纳部52通过管54为各涂敷头21A提供膜形成液51的电动式泵53以及将各液体接受部24A所接受的膜形成液51通过管55移送(回收)到液体容纳部的电动式泵56而构成。通过液体供给单元50A、50B、50C、50D，液体容纳部52的膜形成液51藉由泵53以及管54被供给到各涂敷头21A的上侧头22G，各液体接受部24A所接受的膜形成液51藉由管55以及泵56被回收至液体容纳部52。

另外由各涂敷单元20A、20B、20C、20D所涂敷的基板2，藉由基板移载部300被移送至传送部12A上，然后被运送到干燥炉60A内，经过指定的干燥时间后，从干燥炉60A运出。干燥炉60A可以采用与干燥炉60相同构成。

控制部70A具有位置确定部90的运送·位置确定控制、藉由基板移载部300的基板2的移载控制、移动单元40A、40B、40C、40D的XY轴直线动作控制、液体供给单元50A、50B、50C、50D的泵53、56的驱动控制以及干燥炉60A的温度控制等对涂敷装置1A各个部分进行控制的功能，包括微型计算机、驱动线路、记忆部以及电源部等(均未图示)而构成。另外，控制部70A可以由一个或者复数个控制单元(例如搬入·位置确定控制用、涂敷部控制用、干燥炉用等)构成。

另外控制部70A具有驱动控制移动单元40A、40B、40C、40D，使各涂敷头21A在各涂敷头21A(上侧头22G与下侧头23A)的空隙内分别插入被支承台10A所支承的基板2的4个边的状态下，沿着基板2的周向边缘部移动的功能。

操作部80A具备液晶操作面板81，安装于框体(未图示)上。通过液晶操作面板81，能够进行涂敷装置1A的各个部件的动作条件的设定、各个部件的动作指示、动作模式(手动·自动等)切换等各种操作。由操作面板81所输入的操作信号和设定信号被发送至控制部70A等。

例如在操作部80A，能够进行通过移动单元40A、40B、40C、40D的XY轴直线移动机构的涂敷单元20A、20B、20C、20D的水平移动速度、通过液体供给单元50A、50B、50C、50D的各个泵53的膜形成液51的输送速度等运行条件的设定、干燥炉60A的翅状加热器62的炉内温度设定以及干燥时间设定等。

接着说明使用实施方式(2)涉及的涂敷装置1A对基板2的周向边缘部涂敷膜形成液51的涂敷方法。另外，作为被涂敷对象，是就使用矩形的薄形(数十μm～数百μm)覆铜层压板的情形进行了说明，但被涂敷对象不限定于此，还可以是铝基板、玻璃基板等各种基板作为被涂敷对象。另外，使用实施方式(2)涉及的涂敷装置1A的涂敷方法，可以作为基板制造工序的一个工序(内部工序)而使用。

首先，进行涂敷头21A(一对上侧头22G与下侧头23A)的空隙的调整与设定。即，考虑被涂敷对象的基板2的厚度、涂膜厚度等后决定空隙尺寸(例如基板厚+10～500μm)，将与该空隙尺寸相对应的空隙量规(未图示)夹在上侧头22G的移动部件22I(第2的部件22K)与下侧头23A的间，用螺栓29I、29m将第1的部件22J固定于固定部件22H上。然后拔掉所述空隙量规，结束涂敷头21A的空隙的调整与设定，用连接螺栓26将涂敷头21A安装在安装部件37上。由于上侧头22G的按压部28f被片簧部件28e付以向下的势力(按压)，所以上侧头22G的第2的部件22K的下端面成为，自上侧液体积存部28b起朝上侧刮刀部28d略微向下倾斜的状态。

在基板搬入工序中，首先用位置确定部90的传送部91将基板2运送到指定位置，使基板提起部91b运行(上升)，将滚轮91a上的基板2暂且提起后，位置确定引导部92运行，以轻轻地夹着基板2侧面的方式进行位置确定，然后，基板提起部91b运行(下降)，将基板2载置于滚轮91a上。接着基板移载部300的垂直移动机构304运行，以吸附保持具305吸附基板2的状态向上方提起，水平移动机构303运行，水平移动到支承台10A的上方后，垂直移动机构304运行，基板2保持被吸附保持具305吸附保持的状态，被载置到支承台10A的上方。

接下来的涂敷工序是保持基板2端部插入涂敷头21A的空隙的状态下，一边为4台涂敷头21A的液体积存部(上侧液体积存部28b、28h与下侧液体积存部23b)提供膜形成液51一边使4台涂敷头21A沿着基板2各边的周向边缘部移动的工序。

图22是用来说明用4台涂敷头21A对基板2的周向边缘部进行涂敷的涂敷工序的模式图。图中的虚线显示各涂敷头21A的移动轨迹。由于是使任一个涂敷头21A都进行同样的动作而进行控制的，所以这里对设置在涂敷单元20A上的涂敷头21A的动作进行说明。

在指定的退避位置的A位置上，调整涂敷头21A，使基板2的端面(右边2a)的朝向与涂敷头21A的前进方向一致。

首先，驱动移动单元40A的X轴滑块47，使Y轴气缸48沿着X轴气缸46在a方向上移动，由此使涂敷头21A向a方向移动，为图22的基板2右边2a的周向边缘部涂敷膜形成液51。

即，驱动泵53，在一边为上侧头22G的液体供给路28u提供膜形成液51，一边将基板右边2a端部插入涂敷头21A的空隙，在上侧液体积存部28b与下侧液体积存部23b内充满膜形成液51的状态下，水平移动涂敷头21A。另外，在涂敷时，控制涂敷头21A的位置，使得基板2的端部不会从涂敷头21A的空隙超出来。另外，在驱动X轴滑块47时，进行控制以驱动升降机构27i，使涂敷头用保护具27A下降。

涂敷头21A到达B位置(基板2的角部通过的位置)，则移动单元40A的Y轴滑块49运行，使涂敷头21A在离开基板2的方向(d方向)滑动移动到C位置。

然后，驱动移动单元40A的X轴滑块47，使涂敷头21A滑动移动至D位置后，驱动Y轴滑块49使涂敷单元20A滑动移动至退避位置(A位置)。在涂敷单元20A移动到退避位置前，驱动升降机构27i，进行使涂敷头用保护具27A上升的控制，则涂敷单元20A到达退避位置时，垫部件27g与涂敷头21A相碰接。

在涂敷单元20A对基板右边2a进行涂敷作业的同时，并行地进行移动单元40A、40B、40C、40D等各部的驱动控制来进行通过涂敷单元20B对基板上边2b的涂敷作业，通过涂敷单元20C对基板左边2c的涂敷作业以及通过涂敷单元20D对基板下边2d的涂敷作业。

在上述涂敷工序中，对基板2的4个边的涂敷作业结束后，接着进行干燥工序。

涂敷结束后，保持基板2被基板移载部300的吸附保持具305所吸附的状态，将基板2提起，使其水平移动至传送部12A的上方后，将其移载至传送部12A。然后，由传送部12A将基板2运送到干燥炉60A内。经过指定的干燥时间后，基板2从干燥炉60A搬出，结束干燥工序。在基板2的周向边缘部，由树脂成分构成的涂膜形成为边框状(端面及上下面)。

根据上述实施方式(2)涉及的涂敷装置1A，能够利用4台涂敷头21A同时并行地对基板2的4个边进行涂敷，所以能够缩短涂敷时间。因此，能够在基板制造生产线中以线内的方式导入，能够维持高的生产效率。另外，由于在基板2的周向边缘部形成有涂膜，所以能够提高随后的基板加工工序的操作性，另外还能够降低不良产品的发生，通过使用涂敷装置1A，能够减低基板的制造成本。

另外根据实施方式(2)的涂敷头21A，上侧头22G包含固定部件22H、第1的部件22J以及第2的部件22K而构成，通过第1的部件22J的长孔29c、29e，能够使移动部件22I(第1的部件22J以及第2的部件22K)相对于固定部件22H在上下方向上移动(位置调整)，能够容易地进行上侧头22G与下侧头23A的空隙的调整。另外，根据上侧头22G的组成构造，能够以螺栓29k为支点，在长孔29f、29h所限制的范围内，使第2的部件22K对抗片簧部件28e的附加的势力(在向上方向)来回转动，所以能够使上侧头22G与下侧头23A的空隙尺寸保持在一定宽度，能够应对厚度不同的基板。

以上就本发明的实施方式进行了说明，但是本发明不限定为上述实施方式，在不脱离本发明的要旨的范围内，可以对本发明的实施方式施以各种变形或者变更，该变形或者变更也包括在本发明的技术范围内。另外，本发明实施方式所记载的作用以及效果只不过是列举了由本发明所产生的最合适的作用以及效果而以，本发明的作用以及效果不限定为本发明的实施方式所记载的范围内。

产业上的利用可能性

本发明可以在印刷基板、金属基板、包装基板、玻璃基板等使用各种基板的电子器械产业等领域被广泛应用。

符号说明

1、1A 涂敷装置

10、10A 支承台

11 固定导轨

12 运送导轨

13 升降机构

20、20A、20B、20C、20D 涂敷单元

21、21A 涂敷头

22、22C、22G 上侧头

22A、22D、22H 固定部件

22B、22E、22F、22I 移动部件

22a、28a 倾斜引导部

22b、28b、28h 上侧液体积存部

22c、28c 上侧抹子部件

22d、28d 上侧刮刀部

23、23A 下侧头

23a 倾斜引导部

23b 下侧液体积存部

23c 下侧抹子部件

23d 下侧刮刀部

24、24A 液体接受部

30 环转机构部

40、40A、40B、40C、40D 移动单元

41、46 X轴气缸

42、48 Y轴气缸

47 X轴滑块

43、49 Y轴滑块

50、50A、50B、50C、50D 液体供给单元

51 膜形成液

52 液体容纳部

53、56 泵

54、55 管

60、60A 干燥炉

70、70A 控制部

80、80A 操作部

90 确定位置部

300 基板移载部

Claims (21)

1.一种为基板的包括端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷装置，其特征在于，包括：

支承所述基板的支承手段，和

涂敷手段，所述涂敷手段具备相向配置的一对涂敷头，所述一对涂敷头具有能够插入所述基板端部的空隙，和

移动所述涂敷手段的移动手段，和

为所述一对涂敷头提供膜形成液的液体供给手段，和

在所述一对涂敷头的所述空隙内插入由所述支承手段支承的所述基板端部的状态下，控制所述移动手段使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动的控制手段；

所述一对涂敷头具备：

在所述一对涂敷头的相对面上的用来积存所述膜形成液的液体积存部，以及将通过了所述液体积存部的所述基板端面上附着的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状的涂工部。

2.根据权利要求1所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂工部具备抹子部以及刮取部，所述抹子部用来抹平附着在所述基板的端部的所述膜形成液、所述刮取部用来刮掉通过了所述抹子部的所述基板端部上附着的多余的所述膜形成液。

3.根据权利要求1或者2所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷手段具备用来使所述一对涂敷头环转的环转机构部。

4.根据权利要求3所述的涂敷装置，其特征在于，在所述环转机构部上装备使所述一对涂敷头沿水平方向滑动的滑动机构部。

5.根据权利要求1或者2所述的涂敷装置，其特征在于，在所述支承手段周围配设复数个所述涂敷手段，

所述移动手段是用来使所述复数个涂敷手段沿着被所述支承手段支承的基板的边移动的机构；

所述控制手段是用来控制所述移动手段以使所述复数个涂敷手段沿着所述基板的边移动的机构。

6.根据权利要求5所述的涂敷装置，其特征在于，所述移动手段具备复数个可以在所述基板的边方向和与该边方向交叉的方向的2个方向上移动的2轴直线移动机构。

7.根据权利要求1、2、4或者6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷装置具有容纳所述膜形成液的液体容纳部和配设于所述一对涂敷头下方的液体接受部，以及将所述液体接受部接受的所述膜形成液移送至所述液体容纳部的移送手段。

8.根据权利要求1、2、4或者6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷装置还具有涂敷头用保护具，所述涂敷头用保护具具备与所述一对涂敷头的所述空隙相碰接的垫部、配设在所述垫部下方的液体接受部以及支承所述垫部与所述液体接受部的支承部；

所述涂敷头用保护具设置在所述一对涂敷头的退避位置。

9.根据权利要求1、2、4或者6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷装置具备用来干燥涂敷在所述基板的周向边缘部的所述膜形成液的干燥手段。

10.根据权利要求1、2、4或者6中任一项所述的涂敷装置，其特征在于，所述涂敷装置具备：

位置确定手段，其用来将被所述支承手段支承前的所述基板进行位置确定配置到指定位置；

基板移载手段，其用来将被所述位置确定手段确定了位置的基板移载到所述支承手段，以及将涂敷了所述膜形成液的基板从所述支承手段移送。

11.根据权利要求10所述的涂敷装置，其特征在于，所述基板移载手段具备第1的基板保持部和第2的基板保持部；

通过所述第1的基板保持部和所述第2的基板保持部，形成能够并列进行将所述基板向所述支承手段移载的动作和将所述基板从所述支承手段移送的动作的构成。

12.一种涂敷头，是用来为基板的包括端面的周向边缘部涂敷液体的涂敷头，其特征在于，具备相向配置的上侧头和下侧头，所述上侧头与所述下侧头具有能够插入所述基板端部的空隙；

所述上侧头具备：

在与所述下侧头的相对面上形成的上侧液体积存部、和

用来为所述上侧液体积存部提供膜形成液的液体供给路、和

与所述上侧液体积存部并列设置的上侧抹子部，和

与所述上侧抹子部并列设置的上侧刮取部；

所述下侧头具备：

在与所述上侧液体积存部相向的地方所形成的下侧液体积存部、和

与所述下侧液体积存部并列设置的下侧抹子部，和

与所述下侧抹子部并列设置的下侧刮取部。

13.根据权利要求12所述的涂敷头，其特征在于，在所述上侧抹子部以及/或者所述下侧抹子部的抹子面上形成有复数个的微小沟。

14.根据权利要求12或者13所述的涂敷头，其特征在于，所述上侧抹子部以可以装卸于所述上侧头的方式构成，所述下侧抹子部以可以装卸于所述下侧头的方式构成。

15.根据权利要求12或者13所述的涂敷头，其特征在于，所述上侧头具备：

固定在所述下侧头的固定部件，和

相对于所述固定部件以能够在上下方向进行位置调整的方式安装的移动部件；

所述上侧液体积存部形成在所述移动部件上；

所述上侧抹子部与所述上侧刮取部设置在所述移动部件上。

16.根据权利要求12或者13所述的涂敷头，其特征在于，所述上侧头具备：

固定在所述下侧头的固定部件，和

2个相对于所述固定部件以能够在上下方向进行位置调整的方式安装的移动部件；

所述上侧液体积存部形成于所述固定部件上；

在与所述上侧液体积存部并列设置的一个移动部件上设有所述上侧抹子部，在与所述一个移动部件并列设置的另一个移动部件上设有所述上侧刮取部。

17.根据权利要求12或者13所述的涂敷头，其特征在于，所述上侧头具备：

固定于所述下侧头上的固定部件，和

相对 于所述固定部件以在上下方向上能够进行位置调整的方式安装的移动部件；

所述移动部件，在被施加势力手段施以向下方的势力的状态下，安装于所述固定部件上；

所述上侧液体积存部和所述上侧抹子部以及所述上侧刮取部设置于所述移动部件上。

18.根据权利要求17所述的涂敷头，其特征在于，所述移动部件具备：

第1的部件和第2的部件；

所述第1的部件以相对于所述固定部件能够在上下方向进行位置调整的方式安装；

所述第2的部件是在被所述施加势力手段施以向下方的势力的状态下，安装在所述第1的部件上；

所述上侧液体积存部、所述上侧抹子部以及所述上侧刮取部设置于所述第2的部件上。

19.根据权利要求12或者13所述的涂敷头，其特征在于，所述上侧头具备排出所述膜形成液的液体排出路。

20.一种涂敷方法，是在基板的包括端面的周向边缘部涂敷膜形成液的涂敷方法，其特征在于，包括：

在具有能够插入所述基板端部的空隙的相向配置的一对涂敷头的所述空隙内，插入所述基板端部的工序；

在为所述一对涂敷头的相对面上形成的液体积存部提供所述膜形成液的同时，使所述一对涂敷头沿着所述基板的周向边缘部移动，在所述基板的周向边缘部形成涂膜的涂敷工序；

所述涂敷工序包括在与所述液体积存部并列设置的涂工部，将通过所述液体积存部的所述基板上附着的所述膜形成液涂敷加工成薄膜状的工序。

21.根据权利要求20所述的涂敷方法，其特征在于，使用复数个所述涂敷头同时并行涂敷所述基板的各边。