JP2005028227A - 液体又は溶融体の塗布方法及びノズル - Google Patents

Abstract

【課題】円板形状物に塗布材料を均一に塗布する方法を提供する。
【解決手段】液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法は、液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段１２により複数のオリフィス又は溝３２ａ１〜３２ａ７を有するスロットノズル１１へ供給する工程と、異なるピッチＰ１〜Ｐ６を有する複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、スロットノズル１１の長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物５に塗布する塗布工程とを含む。
【選択図】 図２

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、単位長さ当たりの流量を故意に変化させた分布をもつスロットノズルで液体や溶融体を被塗物へ塗布する方法に係わり、特にＣＤ、ＤＶＤや次世代ＤＶＤなどの円板形状物に液体や溶融体をほぼ均一に塗布する方法に係わる。
【０００２】
【従来の技術】
深さや幅が異なる複数の凹部や溝を有した被塗物は、コンベヤにより搬送されつつ、複数の工程により塗布材料で凹部や溝を埋めて、その表面にコーティングを行ったり、多くの加圧手段とノズルなどを駆使してその表面に塗布を行ったりしていた。
一方、光ディスクなどの円板形状物の製造工程において、液体や溶融体の接着剤やコーティング剤などを円板形状物に塗布するために、塗布材料を液膜のまま施与する方法がある。このような方法として、以下が実施されている。
（ｉ）この分野の業界ではスピンコートとよばれる方法であって、円板形状物を高速で回転させ、回転している円板形状物に液体などを滴下し、遠心力により液体などをふりきりつつ塗布する方法（例えば、特許文献１参照。）。
（ｉｉ）ロールやダイと円板形状物とを相対移動させて液体などを塗布する方法（例えば、特許文献２の図５（Ａ）参照。）。
（ｉｉｉ）液体などをスプレイ機器などにより粒子化して塗布する方法（例えば、特許文献２の図４（Ａ）参照。）。
（ｉｖ）グラビアロールのセルやスクリーンの網で分割して塗布する方法。
【０００３】
また、円板形状物に塗布材料を均一に塗布するために、ノズルからの液膜の厚さを円板形状物の中心から外側へ向けて、漸次大きくなるように設定することが考えられている（前記した特許文献２の図４（Ｂ）及び図５（Ｂ）参照。）。
また、塗布材料の膜厚を円板形状物の半径方向にそろえるために、複数の小孔の口径をその小孔の開口位置に対応した円板形状物の半径に比例して順次大きくしたノズルがある（例えば、特許文献３参照。）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平７−３２８５１７号公報
【特許文献２】
特開平７−８０３８７号公報（図４（Ａ），（Ｂ）及び図５（Ａ），（Ｂ））
【特許文献３】
特開昭５９−１０９２７３号公報（図３及び図４）
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
スピンコート工法では、一般的に、回転する円板形状物の中心に近い個所に液体などを注射針から所望する量を滴下させ、液体を遠心力で液膜として移動させながら最終的に円板形状物から液体をふりとばしつつ、円板形状物の表面に液膜を形成させる。したがって、比較的薄膜を形成させることができる反面、滴下させた液体の流量の９０パーセント以上をふり飛ばしてしまうため、非常に非効率で材料コストの増大につながっていた。
【０００６】
特許文献１では、エアレスノズルなどで液体を低圧で吐出し、液膜状のカーテンを形成して、より広いパターンで円板形状物に塗布材料を塗布することにより塗着効率を高くする方法が提案されている。しかしこの方式においても遠心力を応用していることから均一な塗膜を得ようとすると効率は６０パーセントが上限であった。
【０００７】
パターンコートとしてのグラビアコートを除き、ロールによる塗布では、不必要な個所にまで、つまり全面が塗布されてしまい、塗布範囲の制限ができない。また、転写方式ゆえに、１００パーセントの転写ができず、さらに、液体の若干の粘度変化などにより転写量がばらつくことがあった。
【０００８】
スプレイ機器などにより液体を粒子にして塗布する方法は、液体の粘度が高かったり、液体の分子量が高く凝集力が高かったりする場合には、液体の粒子化が難しかった。また、液体の粒子化できたとしても、粒子の堆積により気泡を巻き込んだり、オーバースプレイやリバウンドにより円板形状物の回転装置やハンドリング装置などを汚したりする問題を抱えていた。
【０００９】
また、グラビアコートやスクリーンプリンティング方式においてシキソトロピー（揺変性）の高い液体などをコーティングする場合には、レベリング（平坦化）に問題があり、平滑な塗膜を形成することが困難であった。
【００１０】
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであり、多数のポンプなどの加圧または供給手段を用いることなく、１個又は可能な限り少数の加圧又は供給手段により、単位面積当たりの所望する流量を容易につくりだせる方法を提供することにあり、特に円板形状の光ディスクなどの製造工程で液体や溶融体を均一にコーティングすることを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
前述した課題を解決するために、本発明では次のような液体や溶融体の塗布方法とした。
すなわち、液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法において、液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段により複数のオリフィス又は溝を有するスロットノズルへ供給する工程と、（１）異なるピッチを有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、（２）該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を異なる圧力で供給することにより、（３）異なる長さを有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、又は、（４） スロットノズルの長手方向に数が異なる分布を有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、スロットノズルの長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物に塗布する塗布工程とを設けた。
【００１２】
また、本発明では次のようなノズルとした。
すなわち、塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、複数の溝穴が形成されたシムと、取付用板部材とを有するノズルにおいて、前記シムは、前記本体と前記取付用板部材との間に配置されて、前記複数の溝穴は、前記本体の出口と連通する流路を形成しており、前記複数の溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成しており、前記シムの長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、前記複数の溝穴の互いに隣り合う溝穴の間の距離が徐々に又は段階的に短くなるようにした。ことを特徴とするノズル。
【００１３】
また、絞り穴が形成された絞り板を設けて、絞り板の長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、絞り穴が徐々に又は段階的に大きくなるようにしてもよい。複数の絞り穴が形成された絞り板を設けて、絞り板の長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、複数の絞り穴の径が徐々に又は段階的に大きくなるようにしてもよい。
【００１４】
また、複数の溝穴の長さが徐々に又は段階的に短くなるようにしてもよい。
また、異なる数の溝穴が形成された複数枚のシムを設けてもよい。
【００１５】
本発明では、前記したような方法又はノズルにより、スロットノズルからの塗布材料の流量分布を所望する流量分布にしたので、多数のポンプを使用する高価で複雑な大型の装置でしかも生産性の悪い塗布方法と異なり、廉価でシンプル、かつ小型の装置をもって生産性の高い塗布を行うことができる。すなわち、本発明によれば、液体や溶融体の高品質で生産性の高い塗布方法が得られる。
【００１６】
特に、シリコンウエハー、ＣＤ、ＤＶＤなどの円板形状の被塗物への液体や溶融体の使用効率に関しては、従来の方法つまりスピンコート工法やスプレイ工法と大きく異なり、使用効率が飛躍的に向上する。特に、次世代ＤＶＤとしてのＢｌｕｅｒａｙ Ｄｉｓｃ（登録商標）などの円板形状物のカバー層を、常温液状又は加熱溶融体紫外線硬化型材料のコーティングにより形成する場合に、本発明の方法を採用することによって、塗布材料をほぼ１００パーセントの使用効率で１００μｍの塗布膜を均一に５秒以内に被塗物上にコーティングすることができる。
【００１７】
つまり、長手方向の単位長さ当たりの塗布材料の流量を変更させる手段として、複数のオリフィスや溝の長さを変える、ピッチを変化させる、数が異なる分布にする（分布を変化させる）、複数のオリフィスや溝に供給する塗布材料の圧力を変化させることによって、または、それ以外にも各部位の温度を変えることにより液体や溶融体の粘度を変え、結果として流量をかえることができるので、粘度の低い液体や溶融体に対しても効果的である。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、本発明を、好ましい実施形態に基づき図面を参照しながら説明する。ただし、以下の実施形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に特定的な記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。
【００１９】
（装置全体の概略）
図１は、本発明の液体または溶融体の塗布方法を実施するための塗布装置１を示す図である。
【００２０】
塗布装置１は、ノズル１１と、ノズル１１へ塗布材料を供給する供給手段１２と、被塗物５を保持して回転させる保持手段１３とを有する。被塗物５は、円板形状をした物品であり、たとえば、ＣＤ、ＤＶＤ、次世代ＤＶＤ、シリコンウエハー、ハードディスクなどである。塗布材料は、液体又は溶融体などの流体であり、例えば、紫外線硬化樹脂材料などである。
【００２１】
供給手段１２は、ノズル１１へ塗布材料を供給するための自動制御弁（不図示）が設けられたガン１５を有する。ポンプ１６は、タンク１７から塗布材料をガン１５へ圧送する。ソレノイドバルブ１８は、制御装置２０からの信号に応じて空気源１９から加圧空気をガン１５の自動制御弁へ送る。自動制御弁は、通常閉じているが、ソレノイドバルブ１８が開くと空気源１９からの加圧空気により開放され、塗布材料がガン１５からノズル１１へ送られる。
【００２２】
保持手段１３は、被塗物５を真空吸着する回転盤２１と、回転盤２１に固定された回転軸２２と、回転軸２２を回転させるためのモータ２３と、回転盤２１に真空を形成するための真空ポンプ２４とを有する。
【００２３】
回転盤２１の上面には、孔又は溝が形成されている。孔又は溝は、回転軸２２内に設けられた内部通路に連通している。内部通路は、回転軸２２に封止軸受けにより取り付けられた真空継手２５を介して真空ポンプ２４に連通している。真空ポンプ２４が作動すると、回転盤２１の上面に設けられた孔又は溝に真空が形成され、被塗物５は回転盤２１に真空吸着される。
【００２４】
回転軸２２は、軸受け台２６に回転可能に支持されている。回転軸２２には、プーリ２７が取り付けられている。モータ２３の軸には、プーリ２８が取り付けられている。ベルト２９は、プーリ２７及び２８に掛け渡されている。モータ２３は、プーリ２８、ベルト２９、プーリ２７を介して回転軸２２を回転させて、回転盤２１に真空吸着されている被塗物５を図１の矢印Ｘで示す方向に回転させる。
【００２５】
（ノズル）
図２は、ノズル１１の分解図である。ノズル１１は、本体３１と、シム（薄い板部材）３２と、プレート（取付用板部材）３３とからなる。
【００２６】
本体３１は、その上部に、塗布材料の入口３５が設けられている。本体３１は、その内部に、長手方向に延在する通路３６が設けられており、通路３６の一端部の開口は、栓３７で閉じられている。入口３５は、通路３６と連通している。本体３１は、シム３２が固定される面に細長い出口３８が設けられている。出口３８は、通路３６と連通している。塗布材料は、入口３５から通路３６を通って出口３８へ流れ、出口３８から押し出される。
【００２７】
シム３２は、櫛形状に形成されて、複数の溝穴３２ａ（３２ａ１，３２ａ２，３２ａ３，３２ａ４，３２ａ５，３２ａ６，３２ａ７）を有する。隣り合う溝穴３２ａの長手方向の間隔（Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３，Ｐ４，Ｐ５，Ｐ６）は、図２の左から右へ行くに連れて段階的に狭くなるように形成されている。すなわち、複数の溝穴３２ａのピッチ（互いに隣り合う溝穴の間の距離）は、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３＞Ｐ４＞Ｐ５＞Ｐ６の関係を満たす。これによって、ノズル１１が円板形状の被塗物５に対向して設置されたときに、半径方向外側に行くに連れて溝穴３２ａの間隔が徐々に狭くなり、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量が増える。これによって、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
【００２８】
複数の溝穴３２ａ（３２ａ１，３２ａ２，３２ａ３，３２ａ４，３２ａ５，３２ａ６，３２ａ７）の溝幅Ｘは、それぞれほぼ同一である。また、溝長さＬも、それぞれほぼ同一である。ここで、製作上の多少の寸法の違いがあってもほぼ同一に含まれる。溝穴３２ａの数は、５乃至２００であると好ましい。
【００２９】
シム３２は、本体３１とプレート３３との間に挟まれて、ネジ３９により締結される。これによって、溝穴３２ａ（３２ａ１，３２ａ２，３２ａ３，３２ａ４，３２ａ５，３２ａ６，３２ａ７）は、複数の流路と、被塗物に対向する複数の吐出開口を構成する。本体３１の出口３８は、複数の溝穴３２ａと対向し、溝穴３２ａの上部で溝穴３２ａと連通している。複数の流路の断面積は、溝幅Ｘがほぼ同一であるため、ほぼ同一である。したがって、複数の流路を通る塗布材料の流量は、ほぼ同一となる。
【００３０】
（塗布工程）
塗布材料は、入口３５から入り、本体３１に形成された通路３６及び細長い出口３８を経由して、更に、前記した断面積が異なる複数の流路（溝穴３２ａ１，３２ａ２，３２ａ３，３２ａ４，３２ａ５，３２ａ６，３２ａ７）を経由して、リップ面４０から流出する。この方法において、粘度の比較的低い、例えば、５００ｍＰａ・ｓ以下のニュートン流体またはそれに近い挙動を示す液体や溶融体は、比較的低速で回転している被塗物に塗布される時、フロー（流動）しやすく、レベリング（平坦化）して所望する液膜を得ることができる。
【００３１】
また、この方法では、溝穴のピッチを変化させることにより、塗布材料の粘度の高低に関係なく、またニュートン流体、あるいはシキソトロピー（揺変性）などの非ニュートン流体の挙動に関係なく、所望する流量にコントロールすることができる。
【００３２】
なお、被塗物５を１回転させて塗布を終了するときには、ガン１５にはクリーンカット性が要求されるので、この分野の業界では常識になっているサックバック方式のガンを使用することが望ましい（例えば、特開平１０−１９２７６３号公報の図２及び図３を参照。）。
【００３３】
図３は、被塗物５とノズル１１との位置関係を説明するための図である。被塗物５とノズル１１との間のギャップｔは、塗布材料４１の塗膜厚さＴに対して４０乃至１１０パーセントが望ましい。流路の数が少ない場合（後述するシムの数やオリフィスの数が少ない場合も含む。）は、４０乃至７０パーセントが望ましく、通常は５０乃至９０パーセントが望ましく、被塗物の精度が悪かったり回転ぶれなどがあったりする場合は、８０乃至１１０パーセントの範囲が望ましい。
【００３４】
必要に応じて、プレート３３は、溝穴３２ａの下流側にリップ部３３ａを設けているとよい。リップ部３３ａは、吐出された塗布材料４１を平らに均す作用をする。リップ部３３ａは、剥離した塗布材料が溜まることがないように、鋭角に形成されている。
【００３５】
（塗膜表面の後処理工程）
さらに、次の後処理工程を行うことにより、塗膜表面をより平坦にすることができる。
ギャップｔが１００パーセント以下の場合は塗布動作終了後瞬時にして塗膜表面よりノズル１１を遠ざけるか、塗膜表面近くまでノズル１１を上昇させた後、被塗物５の回転を続け、それ以降を回転あたり塗膜の１乃至５パーセント望ましくは１乃至２パーセントの範囲で上昇させつつ、ノズル１１のリップ部３３ａ、又は、他の均し手段、例えば、ドクターブレード、スクレーパー、ロール、或いは細いワイヤーなどで表面精度を上げながら仕上げを行うことができる。ドクターブレード、スクレーパーやロール或いはワイヤーなどでの処理は次の工程で行っても良い。特にホットメルトなどの溶融体の場合、塗布後すぐ増粘または固化するのでその特徴を生かし、表面のみを加熱した上記手段（リップ部、ドクターブレード、スクレーパー、ロール、ワイヤー）で慣らしながら仕上げるとより効果的である。
【００３６】
図４は、ドクターブレード４３を設けたノズル１１を示す図である。ノズル１１から回転する被塗物５へ塗布材料の塗布を開始し、被塗物５を一回転したときに、塗布材料の塗布を終了する。次に、ノズル１１を矢印Ａで示す上方へ上昇させて、ノズル１１を塗布材料４１から離す。同時に、ドクターブレード４３を矢印Ｂで示す下方へ降下させて、ドクターブレード４３を塗布材料４１の塗膜表面に接触させる。この状態で、被塗物５を数回回転させることにより、塗膜表面を平坦化する。
【００３７】
なお、ドクターブレード４３は、不図示の加熱装置により、加熱されているとよい。加熱されたドクターブレード４３により、塗膜表面の盛り上がった部分を溶かしながら均すとよい。ドクターブレード４３は、スクレーパー、ナイフエッジ、ローラ、ワイヤーなどであってもよい。
【００３８】
（シムの別の実施例）
図５は、シムの変形例を示す図である。シム１０３２は、溝穴１０３２ａ１と１０３２ａ２の間のピッチＰ０は、溝穴１０３２ａ３と１０３２ａ４の間のピッチＰ０と同じである。しかしながら、溝穴１０３２ａ１と１０３２ａ２の溝穴群と、溝穴１０３２ａ３と１０３２ａ４の溝穴群との間のピッチＰ１は、溝穴１０３２ａ３と１０３２ａ４の溝穴群と、溝穴１０３２ａ５と１０３２ａ６の溝穴群との間のピッチ（互いに隣り合う溝穴群の間の距離）Ｐ２よりも大きい。すなわち、溝穴群のピッチは、Ｐ１＞Ｐ２＞Ｐ３＞Ｐ４＞Ｐ５の関係を満たす。このように、途中にピッチがほぼ同一の部分があったとしても、全体的に、図５の左から右へ行くに連れて段階的にピッチが狭くなるように形成されていれば、前記した実施例のシム３２と同様の効果を得られる。
【００３９】
以上の実施例では、多少ピッチに不規則があっても、全体的に半径方向外側に行くに連れてピッチが狭くなっていればよい。
【００４０】
（共通開口を有するシム）
図６は、共通開口を有するシム２０３２を取り付けたノズルを示す図である。本体３１及びプレート３３は、図２に示したノズル１１のものと同様であるので説明を省略する。
【００４１】
図６は、シム２０３２が本体３１に取り付けられている状態を示している。シム２０３２は、複数の溝穴２０３２ａ（２０３２ａ１，２０３２ａ２，２０３２ａ３，２０３２ａ４，２０３２ａ５，２０３２ａ６，２０３２ａ７）が設けられている。複数の溝穴２０３２ａは、一つの共通開口２０３２ｂに連通している。本体３１、シム２０３２、及びプレート３３をネジにより締結することにより、複数の溝穴２０３２ａは複数の流路を形成する。これらの複数の流路は、共通開口２０３２ｂで合流する。
【００４２】
塗布材料は、入口３５から入り、本体３１に形成された通路３６及び細長い出口３８を経由して、更に、複数の流路（溝穴２０３２ａ）を経由して、共通開口２０３２ｂで合流する。共通開口２０３２ｂで合流した塗布材料は、ミクロ的にも平均化され被塗物５に塗布される。
【００４３】
なお、本実施例においては、共通開口をシムに形成しているが、シムの下流側に凹部を形成して、複数の溝穴からの塗布材料を凹部で合流させてもよい。すなわち、塗布材料の流れ方向のシムの長さを本体及びプレートよりも短くして、本体とプレートの間に凹部としての空間を形成してもよい。あるいは、本体又はプレートに凹部を形成してもよい。また、シムの共通開口及び凹部は一つに限らず、二つ以上設けてもよい。
【００４４】
（溝穴の長さが異なるノズル）
次に、ノズルの別の実施例を説明する。図７は、溝穴の長さが異なるノズル５１の分解図である。ノズル５１は、本体６１と、シム６２と、プレート６３とからなる。
【００４５】
本体６１は、その上部に、塗布材料の入口６５が設けられている。本体３１は、その内部に、長手方向に斜めに延在する通路６６が設けられている。すなわち、通路６６は、図７の右下から左上へ延在している。通路６６の一端部の開口は、栓６７で閉じられている。入口６５は、通路６６と連通している。本体６１は、シム６２が固定される面に細長い出口６８が設けられている。出口６８は、通路６６に沿って長手方向に斜めに延在している。すなわち、細長い出口６８は、図７の左側に行くに連れて、リップ面６０からの距離が大きくなる。出口６８は、通路６６と連通している。塗布材料は、入口６５から通路６６を通って出口６８へ流れ、出口６８から押し出される。
【００４６】
シム６２は、櫛形状に形成されて、複数の溝穴６２ａ（６２ａ１，６２ａ２，６２ａ３，６２ａ４，６２ａ５，６２ａ６，６２ａ７，６２ａ８，６２ａ９，６２ａ１０）を有する。隣り合う溝穴６２ａの長さ（Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３，Ｌ４，Ｌ５，Ｌ６，Ｌ７，Ｌ８，Ｌ９，Ｌ１０）は、図７の左から右へ行くに連れて段階的に短くなるように形成されている。すなわち、複数の溝穴６２ａの長さは、Ｌ１＞Ｌ２＞Ｌ３＞Ｌ４＞Ｌ５＞Ｌ６＞Ｌ７＞Ｌ８＞Ｌ９＞Ｌ１０の関係を満たす。本体６１の出口６８は、複数の溝穴６２ａと対向し、溝穴６２ａの上部で溝穴６２ａと連通している。
【００４７】
シム６２は、本体６１とプレート６３との間に挟まれて、ネジにより締結される。これによって、溝穴６２ａ（６２ａ１，６２ａ２，６２ａ３，６２ａ４，６２ａ５，６２ａ６，６２ａ７，６２ａ８，６２ａ９，６２ａ１０）は、複数の流路を構成する。
【００４８】
複数の溝穴６２ａの幅及びピッチはほぼ一定になっているので、溝穴の長さによる圧力損失分だけ塗布材料の流量が変化することになる。塗布材料の供給量さえ十分であれば、円管におけるハーゲン・ポアズイユの流れの公式を、本実施例の矩形断面の溝穴に適用して、長手方向の所望する流量分布をあらかじめ求めることができる。
【数１】

ここで、Ｑ＝流量、μ＝粘度、Ｐ_２＝入口圧力、Ｐ_３＝出口圧力、Ｌ＝長さ、
ｄ＝内径である。
溝穴６２ａの断面積がほぼ一定であり、溝穴の入口圧力がほぼ一定であり、溝穴の出口圧力がほぼ一定であるから、溝穴の流量は、長さに反比例する。すなわち、溝穴の長さが短いほうが流量が多くなる。ノズル５１においても、比較的粘度の低い例えば１０００ｍＰａ・ｓ以下のニュートン流体の液体や溶融体が望ましい。
【００４９】
これによって、ノズル５１が円板形状の被塗物５に対して設置されたときに、半径方向外側に行くに連れて溝穴６２ａの長さが徐々に短くなり、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量が増える。これによって、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
【００５０】
なお、複数の溝穴６２ａの幅及びピッチは、製作上の多少の寸法の違いがあってもほぼ同一に含まれる。溝穴６２ａの数は、５乃至２００であると好ましい。また、ほぼ同一の長さの複数の溝穴からなる溝穴群を複数設けてもよい。この場合にも、全体的に、図７の左から右へ行くに連れて段階的に溝穴の長さが短くなるように形成されていれば、前記した実施例と同様の効果を得られる。
【００５１】
以上の実施例では、多少ノズル長さに不規則があっても、全体的に半径方向外側に行くに連れてノズル長さが短くなっていればよい。
また、溝穴の長さが異なるシムに、図６に示したような共通開口を設けてもよい。
【００５２】
（多層シムを用いたノズル）
次に、ノズルの別の実施例を説明する。図８は、複数枚のシムを重ね合わせたノズル７１の分解図である。
ノズル７１は、本体７２と、５枚のシム７３，７４，７５，７６，７７と、プレート７８とからなる。
【００５３】
本体７２は、その上部に、塗布材料の入口７９が設けられている。本体７２は、その内部に、長手方向に延在する通路８０が設けられている。通路８０の一端部の開口は、栓８１で閉じられている。入口７９は、通路８０と連通している。本体７２は、シム７３が固定される面に細長い出口８２が設けられている。出口８２は、通路８０に沿って長手方向に延在している。出口８２は、通路８０と連通している。塗布材料は、入口７９から通路８０を通って出口８２へ流れ、出口８２から押し出される。本体７２には、４つのネジ穴７２ａ，７２ｂ，７２ｃ，７２ｄと、２つの位置決めピン７２ｅ，７２ｆが設けられている。
【００５４】
シム７３は、ネジを通すための穴７３ａ，７３ｂ，７３ｃ，７３ｄが４つと、位置決めピン７２ｅ，７２ｆを通すための穴７３ｅ，７３ｆが２つ設けられている。また、シム７３には、被塗物５の塗布面の幅に応じた長手方向長さにわたって複数の溝穴７３ｇが設けられている。
【００５５】
シム７４は、ネジを通すための穴７４ａ，７４ｂ，７４ｃ，７４ｄが４つと、位置決めピン７２ｅ，７２ｆを通すための穴７４ｅ，７４ｆが２つ設けられている。また、シム７４には、本体７２の出口８２からシム７３の複数の溝穴７３ｇを通して流れてくる塗布材料をシムプレーム７５の溝穴へ送るための連通口７４ｇが設けられている。連通口７４ｇは、長手方向に延在しているが、少なくともシム７５の複数の溝穴に渡る長さを有している。連通口７４ｇは、複数の溝穴７３ｇと対向しかつ本体７２の出口８２とほぼ同じ高さ位置に配置されている。
【００５６】
シム７５は、ネジを通すための穴７５ａ，７５ｂ，７５ｃ，７５ｄが４つと、位置決めピン７２ｅ，７２ｆを通すための穴７５ｅ，７５ｆが２つ設けられている。また、シム７５には、被塗物５の塗布面の半径方向外側に対応して複数の溝穴７５ｇが設けられている。すなわち、図８において、シム７５の右側には複数の溝穴７５ｇが設けられているが、左側には溝穴が設けられておらず、シム７５の溝穴７５ｇの数は、シム７３の溝穴７３ｇの数よりも少ない。
【００５７】
シム７６は、ネジを通すための穴７６ａ，７６ｂ，７６ｃ，７６ｄが４つと、位置決めピン７２ｅ，７２ｆを通すための穴７６ｅ，７６ｆが２つ設けられている。また、シム７６には、本体７２の出口８２からシム７３の複数の溝穴７３ｇ、シム７４の連通口７４ｇ、シム７５の複数の溝穴７５ｇを通して流れてくる塗布材料をシムプレーム７７の溝穴へ送るための連通口７６ｇが設けられている。連通口７６ｇは、長手方向に延在しているが、少なくともシム７７の複数の溝穴に渡る長さを有している。連通口７６ｇは、複数の溝穴７５ｇと対向しかつ本体７２の出口８２とほぼ同じ高さ位置に配置されている。
【００５８】
シム７７は、ネジを通すための穴７７ａ，７７ｂ，７７ｃ，７７ｄが４つと、位置決めピン７２ｅ，７２ｆを通すための穴７７ｅ，７７ｆが２つ設けられている。また、シム７７は、被塗物５の塗布面の半径方向外側に対応して複数の溝穴７７ｇが設けられている。すなわち、図８において、シム７７の右側には複数の溝穴７７ｇが設けられているが、左側には溝穴が設けられておらず、シム７７の溝穴７７ｇの数は、シム７５の溝穴７５ｇの数よりも少ない。
【００５９】
シム７４と７６の連通口７４ｇ及び７６ｇは、それぞれ溝穴７５ｇと７７ｇに渡る長さを有していれば十分であるが、取り付けを容易にするために同じ長さに形成されている。
【００６０】
プレート７８は、ネジを通すための穴７８ａ，７８ｂ，７８ｃ，７８ｄが４つ設けられており、位置決めピン７２ｅ，７２ｆが嵌合する２つの穴（不図示）が設けられている。
【００６１】
シム７３，７４，７５，７６，７７は、本体７２とプレート７８との間に挟まれて、ネジにより締結される。これによって、シム７３は、本体７１とシム７４との間に挟まれて、複数の溝穴７３ｇのそれぞれが、吐出開口を有する流路を形成する。また、シム７５は、シム７４とシム７６の間に挟まれて、複数の溝穴７５ｇのそれぞれが、吐出開口を有する流路を形成する。また、シム７７は、シム７６とプレート７８の間に挟まれて、複数の溝穴７７ｇのそれぞれが、吐出開口を有する流路を形成する。
【００６２】
図９は、ノズル７１の底面図である。図９の右側、すなわち矢印Ｃで示す半径方向外側に行くに連れて溝穴の数が増えている。これによって、ノズル７１が円板形状の被塗物５と対向して設置されたときに、半径方向外側に行くに連れて溝穴の数が増え、ゆえに、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量が増える。これによって、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
【００６３】
複数の溝穴７３ｇ、７５ｇ、７７ｇの幅及びピッチは、ほぼ同一に形成されている。製作上の多少の寸法の違いは、ほぼ同一に含まれる。溝穴７３ｇの数は、５乃至２００であると好ましい。なお、複数の溝穴７３ｇ、７５ｇ、７７ｇの幅及びピッチは、同一でなくてもよい。
【００６４】
また、シムの数は、２枚乃至５０枚、望ましくは、３枚乃至１０枚である。流量分布を細かく制御するためにシムを５０枚程度まで増やすことができる。経済面と精度の妥協できる範囲として３枚乃至１０枚のシムで、所望する流量分布を得ることができる。
【００６５】
なお、本実施例においては、吐出開口を形成する溝穴が設けられたシム（溝穴付シム）７３，７５，７７と、溝穴付シムの間に設けられて塗布材料を通すための連通口が設けられたシム（連通口付シム）７４，７６との組み合わせを示しているが、連通口付シム（板部材）を除いて溝穴付シムのみを重ねたノズルとしてもよい。
また、溝穴付シム７３，７５，７７に、図６に示したような共通開口を設けてもよい。
【００６６】
（多層シムを用いたノズルにおけるシムの別の実施例）
次の実施例は、溝穴の幅及びピッチが異なっているシムを重ね合わせたノズルを示す。
【００６７】
図１０は、重ね合わされた９枚のシムの断面図である。溝穴がわかりやすいように断面で示した。溝穴付シム９１，９３，９５，９７，９９と連通口付シム９２，９４，９６，９８が互い違いに重ね合わされている。溝穴付シム９１，９３，９５，９７，９９の溝穴の幅及びピッチは必ずしも同一ではなく、異なっている。
【００６８】
円板形状の被塗物５に均一に塗布材料を付与するためには、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量を多くする必要がある。その流量割合は、中心からの距離をｒとすると、中心からの距離ｒにおける半径方向単位幅の環形状部分の面積が２πｒとなるので、中心からの距離に比例して流量を増大する必要がある。そのため、溝穴の幅及びピッチを調整することにより、中心からの距離に比例した流量に近似させることができる可能性がある。
【００６９】
本発明においては、図１０の矢印Ｃで示す方向、半径方向外側に行くに連れて溝穴の数を増やして流量を多くすることを目的としている。しかしながら、図１０に示すように、位置ａの溝穴の数は１、位置ｂの溝穴の数は１、位置ｃの溝穴の数は２、位置ｄの溝穴の数は１、位置ｅの溝穴の数は３、位置ｆの溝穴の数は３、位置ｇの溝穴の数は４、位置ｈの溝穴の数は３、位置ｉの溝穴の数は５、位置ｊの溝穴の数は３であり、多少溝穴の数が前後しても、全体的に半径方向外側に行くに連れて溝穴の数が増えていれば、本発明の範囲に入るものである。
【００７０】
（多層シムを用いたノズルの別の実施例）
図１１は、図９に示したノズル７１の断面図である。塗布材料は、通路８０から出口８２を通り、さらに、溝穴７３ｇ、連通口７４ｇ、溝穴７５ｇ、連通口７６ｇを介して、溝穴７７ｇへ至る。しかしながら、圧力損失が大きい場合には、十分な量の塗布材料が溝穴７７ｇまで至らないこともある。
【００７１】
そこで、本実施例においては、シム７３〜７７を貫通する通路を設けて、本体７２からプレート７８へ塗布材料を供給することにより、溝穴７７ｇへ十分な量の塗布材料を供給する。
【００７２】
図１２は、別の実施例の多層シムを用いたノズル１７１の断面図である。本体１７２には、出口１８２から長手方向に延長した延長穴１８２ａが設けられている。シム１７３，１７４，１７５，１７６，１７７には、それぞれ貫通孔１７３ｈ，１７４ｈ，１７５ｈ，１７６ｈ，１７７ｈが設けられている。貫通孔１７３ｈ，１７４ｈ，１７５ｈ，１７６ｈ，１７７ｈは、一直線に整列している。貫通孔１７３ｈは、延長穴１８２ａと連通する。プレート１７８には、長手方向に延在する通路１７８ｇが設けられている。通路１７８ｇは、シム１７７の貫通孔１７７ｈ及び３つの溝穴１７７ｇと連通している。
【００７３】
この構成により、本体１７２の出口１８２から延長穴１８２ａ、貫通孔１７３ｈ，１７４ｈ，１７５ｈ，１７６ｈ，１７７ｈ、通路１７８ｇを介して、最も遠くに配置されている溝穴１７７ｇへ塗布材料を十分に供給することができる。延長穴１８２ａ、貫通孔１７３ｈ，１７４ｈ，１７５ｈ，１７６ｈ，１７７ｈ、及び通路１７８ｇは、圧力損失を余り生じないように十分大きな断面積を有する。このように、迂回路を設けたことにより、本体から離れているシムの溝穴へも塗布材料を十分に供給することができる。
【００７４】
（複数のオリフィスを用いたノズル）
本発明では、シムの代わりに、径と長さを揃えた注射針などを所望する流量分布にしたがって組み付けたオリフィス集合体を使用することもできる。
【００７５】
図１３は、複数の注射針を組み込んだブロックを用いたノズル１１１の分解図である。ノズル１１１は、本体１２１と、オリフィスブロック１２２と、プレート１２３とからなる。本実施例においては、プレート１２３は、省略することができる。
【００７６】
オリフィスブロック１２２は、複数の注射針１２４を所望の流量分布にしたがってブロック本体１２２ａに組み込んでいる。図１３の矢印Ｃで示す半径方向外側に行くに連れて、注射針１２４の数が増えている。これによって、ノズル１１１の注射針１２４の吐出開口が円板形状の被塗物５に対向して設置されたときに、半径方向外側に行くに連れて注射針１２４の数が徐々に増えるので、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量が増える。これによって、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
オリフィスブロック１２２は、ネジ穴１２２ｂと位置決めピン１２２ｃとが設けられている。
【００７７】
本体１２１は、その上部に、塗布材料の入口１２５が設けられている。本体１２１は、その内部に、塗布材料室１２６が設けられている。また、本体１２１は、ネジ穴１２１ａと１２１ｂを有する。入口１２５は、塗布材料室１２６と連通している。塗布材料室１２６は、オリフィスブロック１２２の複数の注射針１２４の全てと連通している。塗布材料室１２６は、塗布材料のプレナムとなり、塗布材料の圧力が均一になるような十分な広さを有する。
本体１２１とオリフィスブロック１２２は、ネジ穴１２１ａと１２２ｂとにネジを通して締結される。
【００７８】
塗布材料は、入口１２５から塗布材料室１２６を通って複数の注射針１２４から吐出される。
【００７９】
プレート１２３は、リップ部１２３ａが設けられている。また、プレート１２３は、ネジ穴１２３ｂと位置決め穴（不図示）が設けられている。プレート１２３は、位置決め穴（不図示）にオリフィスブロック１２２の位置決めピン１２２ｃを挿入して、ネジ穴１２３ｂと本体１２１のネジ穴１２１ｂにネジを通して、本体１２１及びオリフィスブロック１２２に対して固定される。
【００８０】
本実施例においては、注射針１２４の長さ及び内径は同一に設定されており、注射針１２４の配置分布により、所望の流量分布を得ている。しかしながら、所望の流量分布を得るために、異なる長さの注射針を使用したり、異なる内径の注射針を使用することもできる。異なる長さの注射針を使用する場合には、オリフィスブロックの吐出開口が設けられている側に小室を設ける。
本実施例においては、注射針を使用しているが、ブロックにドリルなどで直接複数の穴をあけてもよい。
【００８１】
（複数のポンプを用いて液圧を変化させる方法）
次に、複数のポンプを使用して、液圧を変化させる方法を説明する。
図１４は、複数のポンプに接続されるノズル１３０の分解図である。ノズル１３０は、本体１３１と、シム１３２と、プレート１３３とからなる。
【００８２】
本体１３１は、その上部に、３つの塗布材料の入口１３４，１３５，１３６が設けられている。本体１３１は、シム１３２が固定される面に３つの細長い出口１３７、１３８、１３９が設けられている。入口１３４，１３５，１３６は、本体１３１の内部に形成されたそれぞれの通路（不図示）を介して、出口１３７、１３８、１３９に連通している。
入口１３４，１３５，１３６は、それぞれ別々のポンプ１４１，１４２，１４３に接続されている。ポンプ１４１，１４２，１４３は、塗布材料のタンク１４４に接続されている。
【００８３】
ポンプ１４１，１４２，１４３からの流量を変えることにより、本体１３１の出口１３７、１３８、１３９から押し出される塗布材料の圧力を調整することができる。出口１３７は、シム１３２の３つの溝穴１３２ａと連通している。出口１３８は、シム１３２の３つの溝穴１３２ｂと連通している。出口１３９は、シム１３２の３つの溝穴１３２ｃと連通している。出口１３７、１３８、１３９における塗布材料の流量をそれぞれＱ１、Ｑ２、Ｑ３としたときに、矢印Ｃで示す半径方向外側の流量が大きくなるように、Ｑ１＜Ｑ２＜Ｑ３の関係を満たすように、ポンプ１４１，１４２，１４３からの流量を調整する。これによって、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
【００８４】
（絞り板を用いて液圧を変化させる方法）
次に、絞り板を用いて、液圧を変化させる方法を説明する。
図１５は、絞り板１５４を有するノズル１５０の分解図である。ノズル１５０は、本体１５１と、シム１５２と、プレート１５３と、絞り板１５４とからなる。
【００８５】
本体１５１は、その上部に、塗布材料の入口１５５が設けられている。本体１５１は、シム１５２が固定される面に出口１５６が設けられている。入口１５５は、本体１５１の内部に形成された通路（不図示）を介して、出口１５６に連通している。出口１５６の周囲には、絞り板１５４が嵌め込まれる凹部１５７が形成されている。
【００８６】
絞り板１５４には、複数の絞り穴１５４ａ（１５４ａ１，１５４ａ２，１５４ａ３，１５４ａ４，１５４ａ５，１５４ａ６，１５４ａ７，１５４ａ８，１５４ａ９）が形成されている。絞り穴１５４ａの内径は、矢印Ｃで示す半径方向外側に行くに連れて大きくなっている。すなわち、絞り穴１５４ａ１，１５４ａ２，１５４ａ３，１５４ａ４，１５４ａ５，１５４ａ６，１５４ａ７，１５４ａ８，１５４ａ９の内径をそれぞれｄ１，ｄ２，ｄ３，ｄ４，ｄ５，ｄ６，ｄ７，ｄ８，ｄ９とすると、ｄ１＜ｄ２＜ｄ３＜ｄ４＜ｄ５＜ｄ６＜ｄ７＜ｄ８＜ｄ９の関係が成り立つ。これによって、半径方向外側に行くに連れて塗布材料の流量が増えるので、円板形状の被塗物５に塗布材料をほぼ均一な膜厚で塗布することができる。
【００８７】
シム１５２は、櫛形状に形成されて、複数の溝穴１５２ａ（１５２ａ１，１５２ａ２，１５２ａ３，１５２ａ４，１５２ａ５，１５２ａ６，１５２ａ７，１５２ａ８，１５２ａ９）を有する。複数の溝穴１５２ａの溝幅Ｘは、それぞれほぼ同一である。また、複数の溝穴１５２ａの溝長さＬも、それぞれほぼ同一である。複数の溝穴１５２ａ１，１５２ａ２，１５２ａ３，１５２ａ４，１５２ａ５，１５２ａ６，１５２ａ７，１５２ａ８，１５２ａ９は、絞り板１５４の複数の絞り穴１５４ａ１，１５４ａ２，１５４ａ３，１５４ａ４，１５４ａ５，１５４ａ６，１５４ａ７，１５４ａ８，１５４ａ９とそれぞれ対向している。絞り穴１５４ａの数と溝穴１５２ａの数は、それぞれ５乃至２００であると好ましい。数を増やせばより精度よく流量を調整することができる。
【００８８】
なお、絞り板は、図１６に示すように、長手方向に面積が変化する開口を設けてもよい。絞り板１６０には、矢印Ｃで示す半径方向外側に行くに連れて、縦方向長さが変化する開口１６０ａが設けられている。この絞り板１６０を溝穴付シムと本体の出口との間に挟んで配置することにより、半径方向に液圧を変化させることができる。開口１６０ａの傾斜部分が異なる絞り板を複数枚準備しておけば、絞り板を変更することにより、所望の流量分布を得ることができる。
【００８９】
以上の実施例においては、円板形状の被塗物を一回転させることにより、一つのノズルだけで被塗物に塗布材料を均一に塗布することができた。本発明は、以上の実施例に限定されるものではなく、例えば、円板形状の被塗物の直径の長さに渡る一つのノズルを設けてもよい。この場合には、一つのノズルにおいて、中心に対して左右対称の流量分布になるように、溝穴やオリフィスの数、溝穴のピッチを設定する。これにより、円板形状の被塗物を半回転させるだけで被塗物に塗布材料を均一に塗布することができる。
また、以上の実施例においては、円板形状の被塗物を回転させているが、被塗物を固定してノズルを回転させてもよい。あるいは、被塗物とノズルの両方を相対的に回転させてもよい。
【００９０】
さらに、本発明は、上記のように円板形状の被塗物を回転させて均一の厚みに塗布する場合に限らず、平板状、ウェブ状の被塗物に対しても、ノズルと被塗物を相対移動させ、ノズルの単位長さ当たりの流量を変化させて塗布材料を吐出させることにより該被塗物の部位により吐出流量分布を異ならせて、即ち部位により塗布厚みを異ならせて塗布する場合にも適用することができる。
【００９１】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば、所望の流量分布で塗布材料を塗布することができる。特に、本発明によれば、円板形状の被塗物に塗布材料をほぼ均一に塗布することができる。
【００９２】
本発明は、以上の実施形態に限定されるものではなく、その特徴事項から逸脱することなく、他のいろいろな形態で実施することができる。そのため、前述の実施の形態はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は、特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、何ら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、すべて本発明の範囲内のものである。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液体または溶融体の塗布方法を実施するための塗布装置１を示す図。
【図２】ノズル１１の分解図。
【図３】被塗物５とノズル１１との位置関係を説明するための図。
【図４】ドクターブレード４３を設けたノズル１１を示す図。
【図５】シムの変形例を示す図。
【図６】共通開口を有するシム２０３２を取り付けたノズルを示す図。
【図７】溝穴の長さが異なるノズル５１の分解図。
【図８】複数枚のシムを重ね合わせたノズル７１の分解図。
【図９】ノズル７１の底面図。
【図１０】重ね合わされた９枚のシムの断面図。
【図１１】図９に示したノズル７１の断面図。
【図１２】別の実施例の多層シムを用いたノズル１７１の断面図。
【図１３】複数の注射針を組み込んだブロックを用いたノズル１１１の分解図。
【図１４】複数のポンプに接続されるノズル１３０の分解図。
【図１５】絞り板１５４を有するノズル１５０の分解図。
【図１６】絞り板の別の実施例を示す図。
【符号の説明】
５ 被塗物
１１，５１，７１，１７１，１１１ ノズル
１２ 供給手段
３１、６１，７２，１２１ 本体
３２，６２，７３，７５，７７ シム
９１，９３，９５，９７，９９，２０３２ シム
３２ａ，６２ａ，７３ｇ，７５ｇ，７７ｇ 溝穴
３３，６３，７８，１２３ プレート
３３ａ リップ部
３５ 入口
３８ 出口
４３ ドクターブレード
７４，７６，９２，９４，９６，９８ 連通口付シム
７４ｇ、７６ｇ 連通口
１２２ オリフィスブロック
１２４ 注射針
１２６ 塗布材料室
１５４，１６０ 絞り板
２０３２ｂ 共通開口

Claims (30)

1. 液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法であって、
   液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段により複数のオリフィス又は溝を有するスロットノズルへ供給する工程と、
   異なるピッチを有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、スロットノズルの長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、
   液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物に塗布する塗布工程とを含む方法。
2. 液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法であって、
   液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段により複数のオリフィス又は溝を有するスロットノズルへ供給する工程と、
   該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を異なる圧力で供給することにより、スロットノズルの長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、
   液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物に塗布する塗布工程とを含む方法。
3. 複数のオリフィス又は溝のそれぞれは、長さ及び断面積がほぼ等しいことを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
4. 液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法であって、
   液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段により複数のオリフィス又は溝を有するスロットノズルへ供給する工程と、
   異なる長さを有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、スロットノズルの長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、
   液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物に塗布する塗布工程とを含む方法。
5. 液体又は溶融体を被塗物に塗布する方法であって、
   液体又は溶融体を少なくとも１つの加圧供給手段により複数のオリフィス又は溝を有するスロットノズルへ供給する工程と、
   スロットノズルの長手方向に数が異なる分布を有する該複数のオリフィス又は溝に液体又は溶融体を通すことにより、スロットノズルの長手方向の単位長さ当たりの液体又は溶融体の流量を変化させる工程と、
   液体又は溶融体をスロットノズルから被塗物に塗布する塗布工程とを含む方法。
6. 被塗物は円板形状物であり、円板形状物の中心からの距離をｒとすると、中心からの距離ｒにおける円板形状物の半径方向単位幅の環形状部分の面積に比例して、中心からの距離ｒにおける前記複数のオリフィス又は溝の半径方向単位幅の総断面積が増大していることを特徴とする請求項５に記載の方法。
7. 被塗物は円板形状物であり、円板形状物の中心からの距離をｒとすると、中心からの距離ｒにおける円板形状物の半径方向単位幅の環形状部分の面積にしたがって、中心からの距離ｒにおける前記複数のオリフィス又は溝の半径方向単位幅の総断面積が段階的に増大していることを特徴とする請求項５に記載の方法。
8. 複数のオリフィス又は溝の下流側の少なくとも一つの凹部において複数のオリフィス又は溝からの液体又は溶融体の複数の流れを合流させる工程を含むことを特徴とする請求項１乃至７に記載の方法。
9. スロットノズルと被塗物との間の距離を、被塗物上に塗布される液体又は溶融体の膜厚さの４０パーセント乃至１１０パーセントに設定する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至８に記載の方法。
10. 被塗物は円板形状物であり、前記塗布工程は、円板形状物とスロットノズルとの少なくともいずれか一方を回転させながら、液体又は溶融体をスロットノズルから円板形状物に塗布する工程を含むことを特徴とする請求項１乃至９に記載の方法。
11. 液体又は溶融体は、反応硬化する材料であることを特徴とする請求項１乃至１０に記載の方法。
12. 前記反応硬化する材料は、光硬化する材料であることを特徴とする請求項１１に記載の方法。
13. 複数のオリフィス又は溝の数は、５乃至２００であることを特徴とする請求項１乃至１２に記載の方法。
14. スロットノズルは、複数の溝が形成されたシムを含むことを特徴とする請求項１乃至１３に記載の方法。
15. スロットノズルは、複数の溝が形成された複数枚のシムを含んでいることを特徴とする請求項１乃至１３に記載の方法。
16. 前記シムが櫛形状に形成されていることを特徴とする請求項１４又は１５に記載の方法。
17. スロットノズルは、複数のオリフィスが形成されたブロックを含むことを特徴とする請求項１乃至１３に記載の方法。
18. 前記被塗物は、光ディスクであることを特徴とする請求項１乃至１７に記載の方法。
19. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、
    複数の溝穴が形成されたシムと、
    取付用板部材とを有し、
    前記シムは、前記本体と前記取付用板部材との間に配置されて、前記複数の溝穴は、前記本体の出口と連通する流路を形成しており、
    前記複数の溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成しており、
    前記シムの長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、前記複数の溝穴の互いに隣り合う溝穴の間の距離が徐々に又は段階的に短くなっていることを特徴とするノズル。
20. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、
    絞り穴が形成された絞り板と、
    複数の溝穴が形成されたシムと、
    取付用板部材とを有し、
    前記絞り板は、前記本体と前記シムとの間に配置されて、前記絞り穴は、前記本体の出口と連通しており、
    前記シムは、前記絞り板と前記取付用板部材との間に配置されて、前記複数の溝穴は、前記絞り穴と連通する流路を形成しており、
    前記複数の溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成しており、
    前記絞り板の長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、前記絞り穴が徐々に又は段階的に大きくなっていることを特徴とするノズル。
21. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、
    複数の絞り穴が形成された絞り板と、
    複数の溝穴が形成されたシムと、
    取付用板部材とを有し、
    前記絞り板は、前記本体と前記シムとの間に配置されて、前記絞り穴は、前記本体の出口と連通しており、
    前記シムは、前記絞り板と前記取付用板部材との間に配置されて、前記複数の溝穴は、前記絞り穴と連通する流路を形成しており、
    前記複数の溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成しており、
    前記絞り板の長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、前記複数の絞り穴の径が徐々に又は段階的に大きくなっていることを特徴とするノズル。
22. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、
    複数の溝穴が形成されたシムと、
    取付用板部材とを有し、
    前記シムは、前記本体と前記取付用板部材との間に配置されて、前記複数の溝穴は、前記本体の出口と連通する流路を形成しており、
    前記複数の溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成しており、
    前記シムの長手方向一端部から他端部へ行くに連れて、前記複数の溝穴の長さが徐々に又は段階的に短くなっていることを特徴とするノズル。
23. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す出口とを有する本体と、
    異なる数の溝穴が形成された複数枚のシムと、
    取付用板部材とを有し、
    前記複数枚のシムは、前記本体と前記取付用板部材との間に配置されて、前記溝穴は、前記本体の出口と連通する流路を形成しており、
    前記溝穴は、前記シムの一側部で開放して、吐出開口を形成していることを特徴とするノズル。
24. 前記複数枚のシムの互いに隣接するシムの間に、前記互いに隣接するシムの前記溝穴を連通する連通口を有する板部材が配置されていることを特徴とする請求項２３に記載のノズル。
25. 前記取付用板部材は、前記取付用板部材に隣接するシムの溝穴と連通する通路が設けられており、前記複数枚のシム及び板部材は、それぞれ貫通孔が設けられており、前記貫通孔は、前記本体の出口と前記取付用板部材の前記通路とを連結する迂回路を形成していることを特徴とする請求項２４に記載のノズル。
26. 前記取付用板部材は、前記吐出開口から吐出された塗布材料を均すためのリップ部が設けられていることを特徴とする請求項１９乃至２５に記載のノズル。
27. 前記シムは、前記複数の溝穴の前記吐出開口と連通する共通開口が形成されていることを特徴とする請求項１９乃至２６に記載のノズル。
28. さらに、被塗物に塗布された塗布材料を均すための均し手段が設けられていることを特徴とする請求項１９乃至２７に記載のノズル。
29. 塗布材料を受ける入口と塗布材料を押し出す塗布材料室とを有する本体と、
    一端部で前記塗布材料室と連通し他端部で吐出開口を形成している複数のオリフィスが設けられたブロックとを有し、
    前記ブロックの長手方向の一端部から他端部へ行くに連れてオリフィスの数が徐々に又は段階的に増大していることを特徴とするノズル。
30. さらに、前記吐出開口から吐出された塗布材料を均すためのリップ部が設けられている取付用板部材を有していることを特徴とする請求項２９に記載のノズル。

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