JP7246082B2 - 封止装置および貼り合わせ基板の封止方法 - Google Patents
封止装置および貼り合わせ基板の封止方法 Download PDFInfo
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Description
12-搬送部
14-加熱チャンバ
16-封止チャンバ
30-固定ステージ
32-搬送ステージ
50-液晶パネル
60-端面加熱ヒータ
64-端面塗布装置
88-溝部
Claims (3)
- 端面において内側に凹んだ溝部を有する貼り合わせ基板の端面に封止剤を塗布する封止装置であって、
前記貼り合わせ基板の端面を加熱する端面加熱ユニットを有する加熱部と、
前記加熱部にて加熱された前記貼り合わせ基板の端面に封止剤を塗布する塗布ユニットを有する封止部と、
前記加熱部および前記封止部に沿って前記貼り合わせ基板を搬送する搬送部と、
を備え、
前記加熱部は、前記貼り合わせ基板の加熱領域の温度が45~80℃になるように加熱することを特徴とする封止装置。 - 前記封止部は、前記貼り合わせ基板の各辺に対応する複数の塗布ユニットを有しており、前記複数の塗布ユニットが前記封止剤を同時に塗布することを特徴とする請求項1に記載の封止装置。
- 端面において内側に凹んだ溝部を有する貼り合わせ基板の端面に封止剤を塗布する封止方法であって、
前記貼り合わせ基板の端面を加熱する加熱ステップと、
加熱された前記貼り合わせ基板の端面に封止剤を塗布する封止ステップと、
を含み、
前記加熱ステップでは、前記貼り合わせ基板の加熱領域の温度が45~80℃になるように加熱することを特徴とする貼り合わせ基板の封止方法。
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