JP5393290B2 - ウェブ加工装置及び電子装置の製造方法 - Google Patents

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Description

この発明は、例えば可撓性基板を用いた液晶表示パネル、有機EL表示パネルなどの製造に好適なウェブ加工装置及びウェブ加工装置を用いた電子装置の製造方法に関する。
従来の電子装置の製造方法としては、ガラス基板を用いる方法があり、例えば液晶表示パネル、有機EL表示パネルが作製されている。ガラス基板を用いた液晶表示素子などの電子装置は落下させるとガラスが破損したり、重量が重く、薄板化すると、生産時に割れが生じて量産性が劣るなどの欠点がある。
このため、例えばプラスチック基板を用いた電子装置が作製されており、 プラスチック基板を用い液晶表示素子を作製した場合、ガラス基板に比べ屈曲性、柔軟性が有るため、現行の枚葉方式の生産方法から、プラスチック基板のウェブを用いて、ロール・ツー・ロール方式にて生産することにより、飛躍的に製造スピードを向上させ生産効率を上げることも可能であり、電子装置の高精細化の開発も活発になってきている(特許文献1)。
例えば、液晶表示装置用などに、偏光フィルム基板と位相差フィルム基板の貼り合わせなど、二色性を有するフィルム基板と複屈折性を有するフィルム基板とを任意の角度で貼り合わせることが行われているが、従来のフィルム貼り合わせ装置は、フィルムのエッジを目視で確認するか、CCDカメラなどで検出し、これを基準にしたり、前記の両フィルムの端面を装置に突き当てたりすることにより貼り合わせ角度を制御している(例えば特許文献2,特許文献3)。
特開2006−146038号公報 特開2001−318375号公報 特開2004−148721号公報
このように、プラスチック基板として、ウェブのフィルム基板を用いた液晶表示パネル、有機EL表示パネルなどの表示装置の開発が活発に行われ、一方電子装置の高精細化も進んでいるが、フィルム基板を用いると、外力によるフィルム基板の寸法変化がガラス基板に比べて大きいため、高精細な装置では、従来のウェブを用いたウェブ加工装置では、精密な位置合わせが困難であるという問題が発生している。
この発明は、かかる実情に鑑みてなされたもので、ウェブのフィルム基板を用い、一組の基板を貼り合わせるために精度よく位置合わせを行うことが可能なウェブ加工装置及び電子装置の製造方法を提供することである。
前記課題を解決し、かつ目的を達成するために、この発明は、以下のように構成した。
請求項1に記載の発明は、ウェブを巻き出す巻き出し機構と、
前記巻き出し機構により巻き出された前記ウェブを搬送するウェブ搬送機構と、
前記搬送されるウェブを挟んで閉じる真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に前記ウェブを吸着固定する平面ステージと、
前記ウェブに設けられた位置合わせを行うためのパターンを検出して前記ウェブに対して前記平面ステージ上で位置合わせを行う位置合わせ機構と、
を備え、
前記位置合わせ機構により位置合わせを行う際に、
前記平面ステージの面と、前記真空チャンバーが前記ウェブを挟む面とが、
前記ウェブの搬送面と同一面となるように構成したことを特徴とするウェブ加工装置である。
請求項2に記載の発明は、位置合わせ後に前記平面ステージ上で前記ウェブと他の枚葉シートとの貼り合せを行う貼り合せ機構を有することを特徴とする請求項1に記載のウェブ加工装置である。
請求項3に記載の発明は、貼り合わせに用いるシール剤を前記ウェブに設けるシール剤描画機構と、
位置合わせおよび貼り合わせ後に前記シール剤を硬化するシール剤硬化機構とを有することを特徴とする請求項2に記載のウェブ加工装置である。
請求項4に記載の発明は、前記ウェブに液晶を滴下する液晶滴下機構を有する請求項3に記載のウェブ加工装置である。
請求項5に記載の発明は、前記シール剤を硬化した後に前記ウェブを切断する切断機構を有する請求項3または4に記載のウェブ加工装置である。
請求項6に記載の発明は、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のウェブ加工装置を用いて、
いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブと枚葉シートの貼り合せによって電子装置を製造することを特徴とする電子装置の製造方法である。
請求項7に記載の発明は、前記ウェブのシール剤が紫外線硬化樹脂であり、
前記シール剤硬化機構が紫外線照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法である。
請求項8に記載の発明は、前記回路が薄膜トランジスタを含むことを特徴とする請求項に記載の電子装置の製造方法である。
請求項9に記載の発明は、前記電子装置が液晶表示装置であることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法である。
請求項10に記載の発明は、位置合わせを行うためのパターンを有するウェブがカラーフィルタであることを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法である。
前記構成により、この発明は、以下のような効果を有する。
請求項1に記載の発明では、位置合わせ機構により位置合わせを行う際に、位置合 わせを行う平面ステージの面と、真空チャンバーがウェブを挟む面とが、ウェブの搬送 面と同一面となることで、ウェブに外力による寸法変化を抑えて精密な位置合わせが可 能である。
請求項2に記載の発明では、位置合わせ後に、平面ステージ上でウェブと他の枚葉シートとの貼り合せを行うことで、精密な貼り合せが可能である。
請求項3に記載の発明では、貼り合わせに用いるシール剤をウェブに設け、位置合わせおよび貼り合わせ後にシール剤を硬化することで、精密な貼り合せが可能である。
請求項4に記載の発明では、貼り合わせに用いるシール剤をウェブに設け、このシール剤で囲まれてシールされた部分のウェブに液晶を滴下することができる。
請求項5に記載の発明では、シール剤を硬化した後に、ウェブを切断することで、切断によって位置合わせおよび貼り合わせがずれることがなく、精密な貼り合せが可能である。
請求項6に記載の発明では、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のウェブ加工装置を用いて、いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブと枚葉シートの貼り合せて精密に行なうことができ、電子装置の高精細化が可能である。
請求項7に記載の発明では、ウェブのシール剤が紫外線硬化樹脂であり、シール剤硬化機構が紫外線照射して紫外線硬化樹脂を硬化し、ウェブに熱を与えて変形させることなく簡単、かつ確実に硬化させることができる。
請求項8に記載の発明では、回路が薄膜トランジスタを含むことで、ウェブを用いた電子装置を製造することができる。
請求項9に記載の発明では、電子装置が液晶表示装置であり、液晶表示装置の高精細化が可能である。
請求項10に記載の発明では、位置合わせを行うためのパターンを有するウェブがカラーフィルタであり、カラーフィルタと回路が形成されている基板の高精度な貼り合わせが可能である。
ウェブ搬送時のウェブ加工装置の概略構成図である。 貼り合わせ時のウェブ加工装置の概略構成図である。 ウェブの貼り合わせの構成を示す図である。 ウェブの加工を示す図である。 ウェブの一部の平面図である。 枚葉シートの平面図である。 比較例1の貼り合わせ時のウェブ加工装置の概略構成図である。 比較例2の貼り合わせ時のウェブ加工装置の概略構成図である。
以下、この発明のウェブ加工装置及び電子装置の製造方法の実施の形態を、図面に基づいて詳細に説明する。また、この発明の実施の形態は、発明の最も好ましい形態を示すものであり、この発明は、これに限定されない。
[実施の形態]
この実施の形態のウェブ加工装置及び電子装置の製造方法を、図1乃至図4に基づいて説明する。この実施の形態のウェブ加工装置は、巻き出し機構1と、ウェブ搬送機構2と、真空チャンバー3と、平面ステージ4と、位置合わせ機構5と、貼り合せ機構6とを備える。
巻きだし機構1では、ウェブ90がロール状に巻かれており、加工時に所定の速度で巻き出す。このウェブ90はプラスチック基板であり、図4に示すように、表面に位置合わせを行なうためのパターン11を有する。
ウェブ搬送機構2は、搬送路20に沿って配置された一対の搬送ローラ21および支持ローラ22を有し、巻き出し機構1により巻き出されたウェブ90を搬送する。搬送ローラ2は一対のローラから構成され、ウェブ90は挟んで搬送し、支持ローラ22はウェブ90を搬送時に平面状態に支持する。
巻き出し機構1と真空チャンバー3との間には、貼り合わせに用いるシール剤をウェブ90に設けるシール剤描画機構7と、ウェブ90に液晶を滴下する液晶滴下機構8が配置されている。
シール剤描画機構7では、図4(a)に示すように、シール剤によってウェブ90の貼り合わせ面にシール剤描画50を設ける。シール剤描画50は、複数個の表示装置の電気により作動する部位をそれぞれその外部全体を囲むように付与しているが、さらに複数個の表示装置の電気により作動する部位の外部全体を囲むように付与してもよい。シール剤描画50は、それぞれ外部全体を囲むものに限らず、外部の一部を囲むように付与してもよい。この実施の形態では、ディスペンサーを用いて、シリンジに入れた液状のシール剤を、ディスペンサーの開口部からを吐出させて塗布して設ける。このディスペンサーは、開口部列の幅方向、各位置の開口部の吐出量のバラツキが小さいものを用い、シリンジに入れた液状のシール剤を押し出しながら塗布することで、シール剤を簡単かつ確実に付与することができる。
シール剤描画50は、シール剤としては、紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂、光硬化性樹脂などにより構成されるが、紫外線硬化樹脂がウェブ90に熱を与えて変形させることなく簡単、かつ確実に硬化させることができ好ましい。シール剤描画50は、ウェブ90に幅に塗布され、ウェブ90のギャップおよび面内のずれを防止するとともに、液晶の漏洩を防止する。シール剤描画50は一部に液晶を充填するための液晶注入口(図示せず)が設けられる。
液晶滴下機構8では、図4(b)に示すように、シール剤描画50に対応してウェブ90に液晶51を滴下する。貼り合わせに用いるシール剤をウェブ90に設け、このシール剤で囲まれてシールされた部分のウェブ90に液晶51を滴下することができる。この実施の形態では、液晶51を設けることで液晶表示装置として示しているが、回路が薄膜トランジスタを含む電子装置、カラーフィルタなどの電子装置である。
表示装置としては、液晶表示装置、有機EL表示装置、電気泳動式表示装置などでもよい。液晶表示装置は、その省電力、軽量、薄型等といった特徴を有し、一般的な液晶表示装置としては、入射側の偏光板と出射側の偏光板の基板と、電気により作動する部位の液晶とを有するものが代表的である。有機EL表示装置は、液晶表示装置と比べ、高速応答速度、広視野角、自発光素子特有の視認性の良さ、また駆動可能な温度範囲が広いなどのディスプレイとして有利な特性を数多く有する。この有機EL表示装置は、基板上に形成された各画素内に、基板側から下部電極、電気により作動する部位の有機EL層、および上部電極が積層された構成を備え、有機EL層に電流を流すことによって発光する有機ELからの光を、少なくとも電極のうち一方の電極(透光性の導電膜)を通して認識するようになっている。電気泳動式表示装置は、電気泳動現象を利用した表示装置の一つとして、マイクロカプセル型電気泳動方式が実用化されている。この方式の表示装置は、透明溶媒が満たされた電気により作動する部位のマイクロカプセル中に正、負に帯電した白い粒子と黒い粒子を入れ、外部電圧の印加によってそれぞれの粒子を表示面に引き上げて画像を形成するものである。
真空チャンバー3は、下部チャンバー部3aと、上部チャンバー部3bを備え、搬送されるウェブ90を挟んで閉じる構成である。この下部チャンバー部3aと上部チャンバー部3bは、それぞれがウェブ90を挟む面3a1、3b1を有し、下部チャンバー部3aは、搬送路20の搬送面Lに対して下方位置に配置され、上部チャンバー部3bは、搬送路20の搬送面Lに対して上方位置に配置されている。下部チャンバー部3aと上部チャンバー部3bは、貼り合わせ時に挟む面3a1,3b1を当接させて閉じ内部を真空状態にし、ウェブ90を搬送させる時に挟む面3a1,3b1を離間させて搬送する。
真空チャンバー3は、その内部に平面ステージ4と、位置合わせ機構5と、貼り合せ機構6とを備える。平面ステージ4は、平面状の面4aにウェブ90を吸着固定し、ウェブ90を平面状態に保持する。ウェブ90を吸着固定する構成としては、平面状の面4aに吸着孔4bを多数形成し、この吸着孔4bに連通した減圧装置4cの真空ポンプを駆動して平面状の面4aにウェブ10を吸着固定する。
位置合わせ機構5は、例えばCCDカメラ5aを有し、ウェブ90に設けられた位置合わせを行うためのパターン11を検出し、このパターン11の検出情報を制御装置60に送る。制御装置60は、パターン11の検出情報に基づき搬送機構駆動装置61、貼り合わせ機構駆動装置62、真空チャンバー駆動装置63を制御する。
搬送機構駆動装置61は、モータ、センサ等で構成され、巻き出し機構1及びウェブ搬送機構2を駆動し、所定のタイミング、所定の速度でウェブ90を所定量搬送する。貼り合わせ駆動装置62は、貼り合せ機構6を昇降させる昇降装置、昇降などの位置を検出するセンサなどで構成され、貼り合せ機構6を駆動し、貼り合せ機構6は、静電チャック6aにより枚葉シート91を吸着してセットする。真空チャンバー駆動装置63は、真空チャンバー3を昇降させる昇降装置、昇降などの位置を検出するセンサ、真空チャンバー3内を真空状態にする真空ポンプ等で構成される。
液晶51を滴下した部分が真空チャンバー3に進んだ時点でウェブ90の搬送を一時停止し、搬送面Lまで平面ステージ4を上昇させ、静電チャック6aにより枚葉シート91をウェブ90の液晶51を滴下した部分に位置決めし、ウェブ90に対して平面ステージ4上で位置合わせ後に、真空チャンバー駆動装置63の真空ポンプを駆動して真空チャンバー3の内部を真空状態にし、平面ステージ4上でウェブ90と他の枚葉シート91との貼り合せを行う。
この位置合わせ機構5により位置合わせを行う際には、図2及び図3に示すように、平面ステージ4の平面状の面4aと、真空チャンバー3の下部チャンバー部3aと上部チャンバー部3bのウェブ90を挟む面3a1、3b1とが、ウェブ90の搬送面Lと同一面となるように構成している。この構成は、下部チャンバー部3aと平面ステージ4とは別体であり、下部チャンバー部3aと平面ステージ4はウェブ90の搬送面Lに対して別々に上下動するようにし、平面ステージ4の平面状の面4aと、下部チャンバー部3aのウェブ90を挟む面3a1とが同一面になるようになっている。また、上部チャンバー部3aと貼り合せ機構6とは別体であり、上部チャンバー部3aと貼り合せ機構6のウェブ90の搬送面Lに対して別々に上下動するようにし、貼り合せ機構6の貼り合せ面6aと、上部チャンバー部3bのウェブ90を挟む面3b1とが同一面となるようになっている。
また、例えば下部チャンバー部3aと平面ステージ4とを一体に固定し、下部チャンバー部3aと平面ステージ4はウェブ90の搬送面Lに対して一体に上下動するようにし、平面ステージ4の平面状の面4aと、下部チャンバー部3aのウェブ90を挟む面3a1とが同一面となるようにしてもよい。
このように、位置合わせ機構6により位置合わせを行う際に、位置合わせを行う平 面ステージ4の平面状の面4aと、真空チャンバー6の下部チャンバー部3aと上部チ ャンバー部3bのウェブ90を挟む面3a1、3b1とが、ウェブ90の搬送面Lと同一 面となることで、ウェブ90に外力による寸法変化を抑えて精密な位置合わせが可能で ある。また、位置合わせ後に、平面ステージ4上でウェブ90と他の枚葉シート91と の貼り合せを行うことで、精密な貼り合せが可能である。
真空チャンバー3の後段には、シール剤硬化機構9と、切断機構10が順に配置されている。シール剤硬化機構9は、位置合わせおよび貼り合わせ後にシール剤を硬化する。貼り合わせに用いるシール剤をウェブ90に設け、位置合わせおよび貼り合わせ後にシール剤を硬化することで、精密な貼り合せが可能である。ウェブ90のシール剤は、紫外線硬化樹脂であり、シール剤硬化機構9が紫外線照射して紫外線硬化樹脂を硬化する。ウェブ90のシール剤が紫外線硬化樹脂であり、シール剤硬化機構が紫外線照射して紫外線硬化樹脂を硬化し、ウェブ90に熱を与えて変形させることなく簡単、かつ確実に硬化させることができる。
切断機構10は、シール剤を硬化した後にウェブ90を切断する。このように、シール剤を硬化した後に、ウェブ90を切断することで、切断によって位置合わせおよび貼り合わせがずれることがなく、精密な貼り合せが可能である。切断機構10は、切断装置(ダイシングソー)を用いており、この切断によって、いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブ90と枚葉シート91の貼り合せによって電子装置を製造する。このウェブ90と枚葉シート91の少なくともいづれかの回路が薄膜トランジスタを含む電子装置であるが、これに限定されない。
(実施例1)
図5に示す幅300mm、長さ100m、厚さ0.1mmのポリエーテルスルホン(以下PESと略す)フィルム上に300mm周期で、4型サイズで画素数が320×240ピクセルのカラーフィルタを幅方向に4面、長手方向に3面形成したウェブ状のスペーサー付カラーフィルタを、図1に示す装置の巻き出し機構1から巻き出し、切断機構10の部分まで通すようにセットした。
シール剤描画機構7により各4型カラーフィルタの周囲にUV硬化型のシール剤を塗布し、続いて液晶滴下機構8により所定量の液晶を滴下した。
一方、図6に示す300mm×300mm、厚さ0.1mmのPESフィルム上にカラーフィルタと向かい合わせてパターンが一致するようにTFTアレイが作られたシートを、図1に示す装置の枚葉シート91と貼り合わせを行う貼り合せ機構6の部分に静電チャック6aにより吸着してセットした。
液晶を滴下した部分が真空チャンバー3に進んだ時点でウェブ90の搬送を一時停止し、ウェブ状カラーフィルタの搬送面Lまで平面ステージ4を上昇させ、静電チャック6aによりカラーフィルタを吸着固定した。
続いて、ウェブ90のカラーフィルタが形成されていない部分を挟んで真空チャンバー3を閉じ、真空ポンプにより真空チャンバー3内を排気した。このとき、真空チャンバー3がウェブ90を挟む位置は平面ステージ4と同様にウェブ90の搬送面Lと同一とした。
真空チャンバー3内を排気した後、位置合わせ機構5により枚葉シート91と貼り合わせを行う貼り合せ機構6の位置を微調整し、カラーフィルタとTFTアレイのずれが最少となるようにして枚葉シート91と貼り合わせを行う貼り合せ機構6を下げて貼り合わせを行った。
この状態で、平面ステージ4に組み込んだUVスポット照射装置によりシール剤を塗布した部分の一部に紫外線1J/cm2を照射し、カラーフィルタとTFTアレイの位置関係を固定した。
次に、真空チャンバー3を大気圧に戻して開き、ウェブ90を搬送してシール硬化機構9の部分でシール剤塗布部全体に紫外線を1J/cm2照射してシール剤を硬化した。続いて、切断機構10で300mm×300mmに切断した。更に、これをxyステージを有する切断装置にセットし、個片に切断した後に偏光板を貼り、4型の液晶表示装置を得た。
この液晶表示装置を顕微鏡により観察したところ、TFT基板側の配線およびトランジスタ部分がカラーフィルタ側のブラックマトリックスの下からずれて出ている部分は見られず、良好に位置合わせがなされていた。
(実施例2)
カラーフィルタとして、スペーサー無しのカラーフィルタを、TFTアレイが作られたシートの代わりにTFTアレイおよび白色有機ELが作られたシートを用い、液晶の滴下を行わず、実施例1と同様にして貼り合わせを行い、その後個片に切断することで有機EL表示装置を得た。
この有機EL表示装置を顕微鏡により観察したところTFT基板側の配線およびトランジスタ部分がカラーフィルタ側のブラックマトリックスの下からずれて出ている部分は見られず、良好に位置合わせがなされていた。
(比較例1)
図7に示す真空チャンバー3がウェブ90を挟む位置がウェブ90の搬送面Lより50mm低い装置を使った以外は、実施例1と同様に行い4型の液晶表示を得た。
位置合わせ時に、平面ステージ4の平面状の面4aがウェブ90の搬送面Lと同一面となっているが、真空チャンバー3の下部チャンバー部3aと上部チャンバー部3bのウェブ90を挟む面3a1、3b1がウェブ90の搬送面Lと同一面となっておらず、下方位置にずれている。
この液晶表示装置を顕微鏡により観察したところ、TFT基板側の配線およびトランジスタ部分がカラーフィルタ側のブラックマトリックスの下からずれて出ている部分が見られ、不良を発生した。
(比較例2)
図8に示す平面ステージ4がウェブ90の搬送面Lより50mm高い位置でカラーフィルタを吸着固定する装置を用いた以外は、実施例1と同様に行い4型の液晶表示を得た。
位置合わせ時に、真空チャンバー3の下部チャンバー部3aと上部チャンバー部3bのウェブ90を挟む面3a1、3b1がウェブ90の搬送面Lと同一面となっているが、平面ステージ4の平面状の面4aがウェブ90の搬送面Lと同一面となっておらず、上方位置にずれている。
この液晶表示装置を顕微鏡により観察したところ、TFT基板側の配線およびトランジスタ部分がカラーフィルタ側のブラックマトリックスの下からずれて出ている部分が見られ、不良を発生した。
実施例1および実施例2では、この発明の装置を用いて電子装置を製造した結果、良好に位置合わせがなされた不良のない電子装置を得ることができた。
比較例1では、真空チャンバー3が、ウェブ90を挟む面がウェブ90の搬送面Lと異なるために搬送方向に張力が生じ、これによるウェブ90の伸びにより貼り合わせ時に良好な位置合わせができなかった。
比較例2では貼り合わせを行う平面ステージ4の高さがウェブ90の搬送面Lと異なるために搬送方向に張力が生じ、これによるウェブ90の伸びにより貼り合わせ時に良好な位置合わせができなかった。
この発明は、例えば可撓性基板を用いた液晶表示パネル、有機EL表示パネルなどの製造に好適なウェブ加工装置及びウェブ加工装置を用いた電子装置の製造方法に適用可能であり、ウェブのフィルム基板を用い、一組の基板を貼り合わせるために精度よく位置合わせを行うことが可能である。
1 巻き出し機構
2 ウェブ搬送機構
3 真空チャンバー
3a 上部チャンバー部
3b 上部チャンバー部
3a1、3b1 ウェブ90を挟む面
4 平面ステージ
4a 平面ステージ4の平面状の面
5 位置合わせ機構
6 貼り合せ機構
7 シール剤描画機構
8 液晶滴下機構
9 シール剤硬化機構
10 切断機構
11 パターン
20 搬送路
21 搬送ローラ
22 支持ローラ
50 シール剤描画
51 液晶
60 制御装置
61 搬送機構駆動装置
62 貼り合わせ駆動装置
90 ウェブ
91 枚葉シート
L 搬送路20の搬送面

Claims (10)

  1. ウェブを巻き出す巻き出し機構と、
    前記巻き出し機構により巻き出された前記ウェブを搬送するウェブ搬送機構と、
    前記搬送されるウェブを挟んで閉じる真空チャンバーと、
    前記真空チャンバー内に前記ウェブを吸着固定する平面ステージと、
    前記ウェブに設けられた位置合わせを行うためのパターンを検出して前記ウェブに対して前記平面ステージ上で位置合わせを行う位置合わせ機構と、
    を備え、
    前記位置合わせ機構により位置合わせを行う際に、
    前記平面ステージの面と、前記真空チャンバーが前記ウェブを挟む面とが、
    前記ウェブの搬送面と同一面となるように構成したことを特徴とするウェブ加工装置。
  2. 位置合わせ後に前記平面ステージ上で前記ウェブと他の枚葉シートとの貼り合せを行う貼り合せ機構を有することを特徴とする請求項1に記載のウェブ加工装置。
  3. 貼り合わせに用いるシール剤を前記ウェブに設けるシール剤描画機構と、
    位置合わせおよび貼り合わせ後に前記シール剤を硬化するシール剤硬化機構とを有することを特徴とする請求項2に記載のウェブ加工装置。
  4. 前記ウェブに液晶を滴下する液晶滴下機構を有する請求項3に記載のウェブ加工装置。
  5. 前記シール剤を硬化した後に前記ウェブを切断する切断機構を有する請求項3または4に記載のウェブ加工装置。
  6. 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のウェブ加工装置を用いて、
    いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブと枚葉シートの貼り合せによって電子装置を製造することを特徴とする電子装置の製造方法。
  7. 前記ウェブのシール剤が紫外線硬化樹脂であり、
    前記シール剤硬化機構が紫外線照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法。
  8. 前記回路が薄膜トランジスタを含むことを特徴とする請求項に記載の電子装置の製造方法。
  9. 前記電子装置が液晶表示装置であることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法。
  10. 位置合わせを行うためのパターンを有するウェブがカラーフィルタであることを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法。
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