JP5393290B2 - ウェブ加工装置及び電子装置の製造方法 - Google Patents
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Description
前記巻き出し機構により巻き出された前記ウェブを搬送するウェブ搬送機構と、
前記搬送されるウェブを挟んで閉じる真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に前記ウェブを吸着固定する平面ステージと、
前記ウェブに設けられた位置合わせを行うためのパターンを検出して前記ウェブに対して前記平面ステージ上で位置合わせを行う位置合わせ機構と、
を備え、
前記位置合わせ機構により位置合わせを行う際に、
前記平面ステージの面と、前記真空チャンバーが前記ウェブを挟む面とが、
前記ウェブの搬送面と同一面となるように構成したことを特徴とするウェブ加工装置である。
位置合わせおよび貼り合わせ後に前記シール剤を硬化するシール剤硬化機構とを有することを特徴とする請求項2に記載のウェブ加工装置である。
いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブと枚葉シートの貼り合せによって電子装置を製造することを特徴とする電子装置の製造方法である。
前記シール剤硬化機構が紫外線照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法である。
この実施の形態のウェブ加工装置及び電子装置の製造方法を、図1乃至図4に基づいて説明する。この実施の形態のウェブ加工装置は、巻き出し機構1と、ウェブ搬送機構2と、真空チャンバー3と、平面ステージ4と、位置合わせ機構5と、貼り合せ機構6とを備える。
(実施例1)
図5に示す幅300mm、長さ100m、厚さ0.1mmのポリエーテルスルホン(以下PESと略す)フィルム上に300mm周期で、4型サイズで画素数が320×240ピクセルのカラーフィルタを幅方向に4面、長手方向に3面形成したウェブ状のスペーサー付カラーフィルタを、図1に示す装置の巻き出し機構1から巻き出し、切断機構10の部分まで通すようにセットした。
(実施例2)
カラーフィルタとして、スペーサー無しのカラーフィルタを、TFTアレイが作られたシートの代わりにTFTアレイおよび白色有機ELが作られたシートを用い、液晶の滴下を行わず、実施例1と同様にして貼り合わせを行い、その後個片に切断することで有機EL表示装置を得た。
(比較例1)
図7に示す真空チャンバー3がウェブ90を挟む位置がウェブ90の搬送面Lより50mm低い装置を使った以外は、実施例1と同様に行い4型の液晶表示を得た。
(比較例2)
図8に示す平面ステージ4がウェブ90の搬送面Lより50mm高い位置でカラーフィルタを吸着固定する装置を用いた以外は、実施例1と同様に行い4型の液晶表示を得た。
比較例2では貼り合わせを行う平面ステージ4の高さがウェブ90の搬送面Lと異なるために搬送方向に張力が生じ、これによるウェブ90の伸びにより貼り合わせ時に良好な位置合わせができなかった。
2 ウェブ搬送機構
3 真空チャンバー
3a 上部チャンバー部
3b 上部チャンバー部
3a1、3b1 ウェブ90を挟む面
4 平面ステージ
4a 平面ステージ4の平面状の面
5 位置合わせ機構
6 貼り合せ機構
7 シール剤描画機構
8 液晶滴下機構
9 シール剤硬化機構
10 切断機構
11 パターン
20 搬送路
21 搬送ローラ
22 支持ローラ
50 シール剤描画
51 液晶
60 制御装置
61 搬送機構駆動装置
62 貼り合わせ駆動装置
90 ウェブ
91 枚葉シート
L 搬送路20の搬送面
Claims (10)
- ウェブを巻き出す巻き出し機構と、
前記巻き出し機構により巻き出された前記ウェブを搬送するウェブ搬送機構と、
前記搬送されるウェブを挟んで閉じる真空チャンバーと、
前記真空チャンバー内に前記ウェブを吸着固定する平面ステージと、
前記ウェブに設けられた位置合わせを行うためのパターンを検出して前記ウェブに対して前記平面ステージ上で位置合わせを行う位置合わせ機構と、
を備え、
前記位置合わせ機構により位置合わせを行う際に、
前記平面ステージの面と、前記真空チャンバーが前記ウェブを挟む面とが、
前記ウェブの搬送面と同一面となるように構成したことを特徴とするウェブ加工装置。 - 位置合わせ後に前記平面ステージ上で前記ウェブと他の枚葉シートとの貼り合せを行う貼り合せ機構を有することを特徴とする請求項1に記載のウェブ加工装置。
- 貼り合わせに用いるシール剤を前記ウェブに設けるシール剤描画機構と、
位置合わせおよび貼り合わせ後に前記シール剤を硬化するシール剤硬化機構とを有することを特徴とする請求項2に記載のウェブ加工装置。 - 前記ウェブに液晶を滴下する液晶滴下機構を有する請求項3に記載のウェブ加工装置。
- 前記シール剤を硬化した後に前記ウェブを切断する切断機構を有する請求項3または4に記載のウェブ加工装置。
- 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載のウェブ加工装置を用いて、
いずれか一方または両方に回路が形成されているウェブと枚葉シートの貼り合せによって電子装置を製造することを特徴とする電子装置の製造方法。 - 前記ウェブのシール剤が紫外線硬化樹脂であり、
前記シール剤硬化機構が紫外線照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化することを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法。 - 前記回路が薄膜トランジスタを含むことを特徴とする請求項6に記載の電子装置の製造方法。
- 前記電子装置が液晶表示装置であることを特徴とする請求項6乃至請求項8のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法。
- 位置合わせを行うためのパターンを有するウェブがカラーフィルタであることを特徴とする請求項6乃至請求項9のいずれか1項に記載の電子装置の製造方法。
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