JP4841967B2 - フラックス膜形成装置及びフラックス転写装置 - Google Patents
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Description
102…フラックステーブル上面(基準面)
104…成膜用凹部
106…成膜用凹部底面
108…フラックス膜
110…フラックス容器
111…フラックス容器内フラックス
112…フラックス容器前部
114…フラックス容器側面部
116…フラックス容器後部
Claims (3)
- 基準面にフラックスの膜厚とほぼ同じ深さの成膜用凹部が設けられたフラックステーブルの前記成膜用凹部上を、底面が開口したフラックス容器を相対的に水平移動させることにより、前記成膜用凹部内にフラックスを満たすようにされたフラックス膜形成装置において、
前記フラックス容器と前記フラックステーブルは前記フラックス容器が前記成膜用凹部における前記水平移動の方向の一方の側の終端部の近傍に位置する待機位置と他方の側の終端部の近傍に位置するフラックス転写位置との間で相対的に往復可能であり、
前記成膜用凹部は前記水平移動の方向に対して垂直な方向の幅が一定であり、
前記フラックス容器の底面の開口部は前記水平移動の方向に対して垂直な方向の幅が前記成膜用凹部の幅より広く、
前記フラックス容器の周壁部のうち、前記水平移動の方向の一方の側の部分であって前記成膜用凹部の上に存在する部分は下端が前記成膜用凹部の幅で前記成膜用凹部の底面にほぼ接するように前記周壁部の他の部分よりも下方に突出しており、前記周壁部の前記他の部分の下端の高さは前記基準面と同じ高さであり、
前記フラックス容器と前記フラックステーブルが前記フラックス転写位置から前記待機位置へ相対的に水平移動することによって前記成膜用凹部内のフラックスが前記フラックス容器内に回収されるように構成されていることを特徴とするフラックス膜形成装置。 - 前記成膜用凹部は前記フラックス転写位置の前記フラックス容器が位置する側の前記終端部が前記フラックステーブルの端面まで延長され、前記待機位置の前記フラックス容器が位置する側の前記終端部は前記待機位置の前記フラックス容器の周壁部の内側に位置するように前記フラックステーブルの端面から離間して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフラックス膜形成装置。
- 請求項1又は2に記載のフラックス膜形成装置を備えたことを特徴とするフラックス転写装置。
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