JP4853229B2 - はんだ印刷方法及びはんだ印刷ヘッド - Google Patents

Description

本発明は、ワーク上に載置した印刷マスク上にはんだペーストを供給することによってマスク穴にはんだペーストを充填するはんだ印刷方法およびはんだ印刷ヘッドに関する。

従来のはんだ印刷機としては、例えば図１２に示すようなものが知られている。このはんだ印刷機１１において、ワークＷは、ワーク冶具１３を介して保持され、スクリーンマスクＭは、マスク上下駆動部１５を介して保持され、印刷ヘッド１７は、ヘッド水平駆動部１９とヘッド上下駆動部２０を介して保持されている。そして、印刷パターンに合わせて穴が開けられたスクリーンマスクＭをワークＷ上に載せ、印刷ヘッド１７によりはんだペーストＰをマスクの穴に充填することによって、スクリーンの穴パターンではんだをワークに転写印刷する。

近年、半導体の高機能化、高集積化に伴い、パッケージ基板のはんだバンプを形成するはんだ印刷機においても、印刷バンプのますますの微細化が求められている。このバンプの微細化に伴いマスク穴も微細化する一方、はんだペーストも印刷だれ防止のため高粘度化してきているため、マスク穴への充填力や充填量の精度に対する要求は年々厳しくなってきている。

従来用いられていたスキージ型印刷ヘッド２１は、図１３（ａ）に示すようなもので、印刷ヘッド本体２３にスキージ２５が傾斜して装着されており、このスキージ２５とマスクＭとの間にはんだペーストＰを保持し、マスクＭ上でスキージ２５を水平方向に移動させることによって、ペーストＰをマスク穴Ｈに充填するとともに、スキージ先端でマスクＭ上のはんだペーストを見切るようにしている。しかしながら、スキージの入り込みによるはんだの掻き出しや、図１３（ｂ）に示すようにペーストがスキージの横方向に流れることによる充填圧力不足が問題となってきている。このため、近年では、均一な印圧が機械的に制御可能な密閉型印刷ヘッド３１が主流になりつつある。

この密閉型印刷ヘッド３１は、図１４に示すように、シリンダ３３内に充填されたはんだペーストＰをピストン３５で加圧するため、圧力が拡散することがなく確実にペーストをマスク穴Ｈに充填することができる。しかしながら、このような密閉型印刷ヘッド３１には、ノズル先端にはんだペーストが固着し印刷不良を引き起こすという問題がある。

はんだペーストＰは、固体のはんだ粒子３７とフラックス３９溶剤の混合物で、図１５（ａ）に示すように、はんだ粒子３７間がフラックス３９で満たされているため流動性を有している。したがって、流動性を維持していれば、ペーストＰはマスク穴Ｈに充填され、マスク除去後には印刷されたはんだペースト４１がワーク上に載置される。スキージ型ヘッドでは、ペーストのローリングによる撹拌運動が生じることによってペーストの流動性が維持されるが、密閉型ヘッド３１では、ノズル先端付近のはんだは、加圧されても微量な印刷量しか流動せず、液体のフラックス成分のみがノズルとマスクの密着面やマスクとワークの隙間から流出する。このため、図１５（ｂ）に示すように、フラックス成分を失ったはんだペーストは、はんだ粒子同士が凝集、固着する。固着したはんだペーストは加圧されても流動性が低く印刷の際マスク穴への充填が困難になり、印刷はんだの欠け４３を生じ不良の原因になる。このような状態に対して、従来のはんだ印刷機では、定期的にノズル先端の固着したペーストを廃棄する方法で対処してきたが、今後バンプ微細化に伴い、はんだペーストがより高機能化して材料コストが上昇すると考えられることから、より省資源の方法が求められていた。

なお、このような密閉型印刷ヘッドとしては、この他に特許文献１に示すようなものが知られている。

特開２００６−２６４００７

本発明は、上記問題点を解決することその課題とし、ノズル先端部にはんだペーストが固着するのを防止しうるはんだ印刷ヘッドを提供する。

上記課題を解決するため、ワーク（Ｗ）上にマスク穴（Ｈ）を有するマスク（Ｍ）を載置し、このマスク（Ｍ）上にはんだペースト（Ｐ）を供給することによって、前記マスク穴（Ｈ）に前記はんだペースト（Ｐ）を充填するはんだ印刷方法において、前記マスク（Ｍ）上面を移動するとともに移動方向前方から後方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）上面に近接する印刷用傾斜面（６９）と、その先端に形成された印刷用エッジ（６９ａ）とを有している印刷用側壁（６７）と、印刷用傾斜面の移動方向前方に、後方から前方に向かうにしたがいマスク（Ｍ）面に近接する見切り用傾斜面（７３）と、その先端に形成された見切り用エッジ（７３ａ）とを有している見切り用側壁（７１）と、前記印刷用側壁と前記見切り用側壁とを両側から挟み込む側壁（７５，９５）とによって形成される水平断面略矩形状のノズル（６５，９３）が設けられている印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を用い、前記両側壁（７５，９５）の間で前記印刷用傾斜面（６９）と前記マスク（Ｍ）とに挟まれた空間に前記はんだペースト（Ｐ）を供給し、マスク（Ｍ）上に滴下されたはんだペースト（Ｐ）が、前記印刷用側壁と前記見切り用側壁とに同時に接触せず間隙が生じているような未充填状態にし、この状態で、前記印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を前方に移動させることによって、前記両側壁（７５，９５）から前記はんだペースト（Ｐ）がはみ出すことなく、前記はんだペースト（Ｐ）を前記マスク（Ｍ）に向かって押圧して前記マスク穴（Ｈ）に充填するという手段を採用することができる。

また、上記課題を解決するため、ワーク（Ｗ）上にマスク穴（Ｈ）を有するマスク（Ｍ）を載置し、このマスク（Ｍ）上にはんだペースト（Ｐ）を供給することによって、前記マスク穴（Ｍ）に前記はんだペースト（Ｐ）を充填する印刷ヘッド（５１，９１，１０１）であって、前記マスク（Ｍ）上面を移動するとともに移動方向前方から後方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）上面に近接する印刷用傾斜面（６９）と、その先端に形成された印刷用エッジ（６９ａ）とを有している印刷用側壁（６７）と、印刷用傾斜面の移動方向前方に、後方から前方に向かうにしたがいマスク（Ｍ）面に近接する見切り用傾斜面（７３）と、その先端に形成された見切り用エッジ（７３ａ）とを有している見切り用側壁（７１）と、前記印刷用側壁と前記見切り用側壁とを両側から挟み込む側壁（７５，９５）とによって形成される水平断面略矩形状のノズル（６５，９３）を備え、前記両側壁（７５，９５）の間で前記印刷用傾斜面（６９）とマスク（Ｍ）とに挟まれた空間にはんだペースト（Ｐ）を供給し、マスク（Ｍ）上に滴下されたはんだペースト（Ｐ）が、前記印刷用側壁と前記見切り用側壁とに同時に接触せず間隙が生じているような未充填状態にし、この状態で、前記印刷ヘッドを前方に移動させることによって、前記両側壁（７５，９５）から前記はんだペースト（Ｐ）がはみ出すことなく、前記はんだペースト（Ｐ）を前記マスク（Ｍ）に向かって押圧して前記マスク穴（Ｈ）に充填するという手段を採用することができる。

このような手段によると、はんだペースト（Ｐ）は、印刷用傾斜面（６９）に沿って流動し、マスク穴（Ｈ）に入りきらなかったはんだペースト（Ｐ）は循環する。その結果、フラックスが流出したはんだペースト（Ｐ）は、残りのはんだペーストと混合撹拌されてフラックスの含有割合が正常に維持され、はんだペーストの固着を防止することができる。

上記課題を解決するため、前記印刷用傾斜面（６９）の移動方向前方に、後方から前方に向かうにしたがいマスク（Ｍ）面に近接する見切り用傾斜面（７３）を設け、前方に移動する際に、前記印刷用傾斜面（６９）によってはんだペースト（Ｐ）を前記マスク穴（Ｍ）に充填するとともに、後方に移動する際に、前記見切り用傾斜面（７３）によってマスク（Ｍ）面上に残存しているはんだペースト（Ｐ）を見切るという手段を採用することができる。このような手段によれば、はんだ見切り工程においても、上記手段と同様に、はんだペースト（Ｐ）が見切り用傾斜面（７３）に沿って流動し循環する。その結果、フラックスが流出したはんだペースト（Ｐ）は、残りのはんだペーストと混合撹拌されてフラックスの含有割合が正常に維持され、はんだペーストの固着を防止することができる。

上記課題を解決するため、前記印刷用傾斜面（６９）と前記見切り用傾斜面（７３）との間にはんだペースト（Ｐ）を供給するペースト供給装置（５７）を備え、前記印刷用傾斜面（６９）、前記見切り用傾斜面（７３）、ペースト供給装置（５７）を前記移動方向に移動させるための駆動装置（５５）を備えたという手段を採用することができる。したがって、ペーストを所定の位置に正確に供給することができ、また、印刷ヘッドを容易かつ正確に移動することができる。

上記課題を解決するため、前方に移動する際には、前記印刷用傾斜面（６９）の印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記見切り用傾斜面（７３）の見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させ、後方に移動する際には、前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させるように、前後方向に揺動可能になされているという手段を採用することができる。したがって、印刷工程時に見切り用エッジ（７３ａ）に、見切り工程時に印刷用エッジ（６９ａ）にはんだペーストが付着するのを防止することができる。したがって、次工程においてエッジに付着したはんだがマスクに再付着することを防止することができ、印刷不良の発生を防止することができる。

上記課題を解決するため、前方に移動する際には、前記印刷用傾斜面（６９）の印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記見切り用傾斜面（７３）の見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させ、後方に移動する際には、前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させるように、前記印刷用傾斜面（６９）と前記見切り用傾斜面（７３）とを上下動可能に配設したという手段を採用することができる。したがって、往路の印刷工程時に見切り用エッジ（７３ａ）に、復路の見切り工程時に印刷用エッジ（６９ａ）にはんだペーストが付着するのを防止することができ、付着したはんだペーストの洗浄作業を不要にすることができる。

上記課題を解決するため、前記印刷用傾斜面（６９）は、前記マスク（Ｍ）面に対して１５°から３０°になされ、前記見切り用傾斜面（７３）は、前記マスク（Ｍ）に対して４５°から６０°になされているという手段を採用することができる。したがって、前記印刷用傾斜面（６９）については、マスク穴（Ｈ）に対する押圧力を効果的に生じさせるとともにペーストの循環を促進することができ、前記見切り用傾斜面（７３）については、はんだペーストの見切りを効果的に行うとともにペーストの循環を促すことができる。

なお、上記各手段に付した括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示す一例である。

以下、本発明の実施の形態について、図１ないし図１１を参照して説明する。

図１の（ａ）、（ｂ）は、本発明の第１の実施の形態を示す図である。これらの図において、符号５１ははんだ印刷ヘッドを示す。このはんだ印刷ヘッド５１は、フレーム５３を有している。このフレーム５３には、油圧シリンダからなる往復駆動装置５５が連結されており、フレーム５３を水平方向に往復動するようになっている。フレーム５３の上側には、ペースト供給装置５７が設けられている。このペースト供給装置５７は、エア供給部５９から供給される空気圧によって作動するエアシリンダ６１と、このエアシリンダ６１によって駆動されるペースト供給シリンダ６３とを有している。ペースト供給シリンダ６３には、はんだペーストＰが充填されており、エアシリンダ部６３によって駆動されるピストンによって後述するノズル内に押し出されるようになっている。

フレーム５３の下側には、図２の（ａ）、（ｂ）に示すような水平断面略矩形状のノズル６５が設けられている。このノズル６５は、ペースト充填工程における進行方向後側に印刷用側壁６７を有している。この印刷用側壁６７の下端には、ペースト充填工程における進行方向の前側から後側にいくにしたがいマスク面に接近する印刷用傾斜面６９を有しており、その先端には印刷用エッジ６９ａが形成されている。そして、この印刷用傾斜面６９の傾斜角度Ａは、マスクに印圧をかけるためマスク面に対して１５°から３０°になされている。また、このノズル６５は、ペースト充填工程における進行方向前側に見切り用側壁７１を有している。この見切り用側壁７１の下端には、ペースト充填工程における進行方向の後側から前側にいくにしたがいマスク面に接近する見切り用傾斜面７３を有しており、その先端には見切り用エッジ７３ａが形成されている。そして、この見切り用傾斜面７３は、マスク上に残存したペーストをマスク上で剪断するため、マスク面に対する角度Ｂは４５°から６０°になされている。

これら印刷用側壁６７と見切り用側壁７１の移動方向の両側には、これら印刷用側壁６７の両端と見切り用側壁７１の両端とを連結したノズル側壁７５がそれぞれ設けられている。そして、これらノズル側壁の下端の側壁エッジ７７は、印刷用エッジ６９ａや見切り用エッジ７３ａと同じ高さ位置に形成されている。

一方、ワーク載置台７９の上にはワークＷが載置されており、このワークＷの上面にはマスクＭが載置されている。

そして、ノズル６５は、その印刷用エッジ６９ａ、見切り用エッジ７３ａ、側壁エッジ７７をマスクＭ上面に接触させながら水平方向に移動するようになっている。

このようなはんだ印刷ヘッド５１を用いてワーク上にはんだ印刷を行う工程について説明する。

まず、図３に示すように、はんだ印刷ヘッド５１をマスクＭの印刷パターンがない端部Ｍａに位置せしめ、ペースト供給装置５７を作動させる。そして、はんだペーストＰをマスクＭの印刷用側壁６７、見切り用側壁７１、ノズル側壁７５で囲われたスペースに落下させて供給する。この際のペーストの供給は、図３に示すように、マスクＭ上に滴下されたペーストが印刷用側壁６７と見切り用側壁７１に同時に接触せず間隙が生じているような未充填状態にする。

次に、図４に示すように往復駆動装置５５を駆動させ、はんだ印刷ヘッド５１をマスクＭ上を移動させる。すると、印刷用傾斜面６９とマスクＭとの間のはんだペーストＰは、印刷用傾斜面６９によって印圧８１が加えられ、はんだペーストＰにマスク穴への押圧力８３が加えられ、マスク穴Ｈに充填される（印刷工程）。

次いで、図５に示すように、はんだ印刷ヘッド５１をマスクＭ上で反対方向に移動させる。すると、マスクＭ上のはんだペーストＰは、見切り用傾斜面７３に押されて水平方向に移動するとともに、マスク穴Ｈに充填されたはんだペーストＰはマスク厚みで見切られる（見切り工程）。この動作を繰り返すことによって、はんだ印刷を実施する。印刷を繰り返すとはんだペーストＰが消費されていくため、図３に示すように、定期的にペースト供給装置５７ではんだペーストＰを供給する。

ここで、上述のように、はんだペーストＰを供給する際には、図３に示すように、マスクＭ上に滴下されたはんだペーストＰが、印刷用側壁６７と見切り用側壁７１に同時に接触しないようにする。このようにすると、図４に示す印刷工程において、ノズル内部のはんだペーストは、印刷用傾斜面６９とノズル側壁７５で拘束されながらも、見切り用側壁７１側には接触しておらず解放されている。このため、はんだペーストＰは、印刷用傾斜面６９に沿って流動８５を行い、マスク穴Ｈに入りきらなかったはんだペーストＰは循環する。その結果、フラックスが流出したはんだペーストＰは、循環流動により残りのはんだペーストと混合撹拌される。したがって、はんだペーストＰのフラックスの含有割合は正常に維持され、はんだペーストの固着を防止することができる。見切り工程の場合も同様であり、これによって固着はんだの廃棄が不要となり、生産性および省資源化が促進される。

例えば、微細化ワークに対応した小型印刷機では、ノズル内に固着したはんだペーストを２０回印刷毎に自動廃棄動作を行い、１５ｇのはんだペーストで８０枚の印刷が限界であった。しかし、本願の方法を採用することによって、廃棄動作は不要になり、同じ１５ｇのはんだペーストで約４００枚以上の印刷が可能になった。

図６及び図７は、本発明の第２の実施の形態を示す図である。このはんだ印刷ヘッド９１は、図１に示すはんだ印刷ヘッド５１をヘッドの移動方向に前後に傾斜できるようにしたもので、はんだ印刷ヘッド５１と基本的に同一構成の部分につては、同一符号を付してその説明を省略している。

はんだ印刷ヘッド９１のノズル９３においては、印刷用側壁６７と見切り用側壁７１ははんだ印刷ヘッド５１と基本的に同様の構成になっているが、これら印刷用側壁６７と見切り用側壁７１のそれぞれの両側端を連結するノズル側壁９５の形状が異なる。すなわち、ノズル側壁９５は、その下端縁が、印刷用エッジ６９ａと見切り用エッジ７３ａを結ぶ線を底辺とした三角形状に突出して形成されており、印刷用エッジ６９ａ側に形成された印刷側下縁９７と見切り用エッジ７３ａ側に形成された見切り側下縁９９とを有している。そして、このノズル側壁９５はおおむね将棋の駒を倒置した形状になされている。

このようなはんだ印刷ヘッド９１を用いてワーク上にはんだ印刷を行う工程について説明する。

まず、図６に示すように、印刷ヘッド９１を、その印刷用エッジ６９ａと印刷側下縁９７がマスクＭに接触し、見切り用エッジ７３ａがマスクＭから離間している状態に位置せしめる。

次に、図７（ｄ）に示すように、はんだペーストＰをマスクＭ上で印刷用側壁６７とノズル側壁９５とで囲まれたスペースに落下させる。

次いで、図７（ａ）に示すように、印刷ヘッド９１を、その印刷用エッジ６９ａ、印刷側下縁９７がマスクＭに接触している状態のまま移動させる。すると、印刷用傾斜面６９とマスクＭとの間のはんだペーストＰは、印刷用傾斜面６９によって押圧されマスク穴Ｈに充填される（印刷工程）。この際、見切り用エッジ７３ａはマスク面Ｍから上方に離間しているから、見切り用エッジ７３ａの進行方向前面にはんだペーストが付着することはない。

その後、図７（ｂ）に示すように、印刷ヘッド９１を前方へ揺動させ、その見切り用エッジ７３ａと見切り側下縁９９がマスクＭに接触し、印刷用エッジ６９ａがマスクＭから離間している状態に位置せしめる。

次に、図７（ｃ）に示すように、印刷ヘッド９１を、その見切り用エッジ７３ａ、見切り側下縁９９がマスクＭに接触している状態のまま反対方向に移動させる。すると、マスクＭ上のはんだペーストＰは、見切り用傾斜面７３に押されて水平方向に移動するとともに、マスク穴Ｈに充填されたはんだペーストＰはマスク厚みで見切られる（見切り工程）。この際、印刷用エッジ６９ａはマスク面Ｍから上方に離間しているから、印刷用エッジ６９ａの進行方向前面にはんだペーストが付着することはない。

そして、図７（ｄ）に示すように、再度はんだペーストＰをマスクＭ上に供給して、印刷を引き続きおこなう。

このように、この印刷ヘッド９１にあっては、ノズル側壁９５は、その下端縁が、印刷用エッジ６９ａと見切り用エッジ７３ａを結ぶ線を底辺とした三角形状に突出して形成され、印刷用エッジ６９ａ側に形成された印刷側下縁９７と見切り用エッジ７３ａ側に形成された見切り側下縁９９とを有しており、往路の印刷工程では、印刷ヘッド９１を、その印刷用エッジ６９ａと印刷側下縁９７がマスクＭに接触し、見切り用エッジ７３ａがマスクＭから離間している状態で移動させ、復路の見切り工程では、印刷ヘッド９１を、その見切り用エッジ７３ａ、見切り側下縁９９がマスクＭに接触し、印刷用エッジ６９ａがマスクＭから離間している状態のまま反対方向に移動させているから、印刷工程時に見切り用エッジ７３ａに、見切り工程時に印刷用エッジ６９ａにはんだペーストが付着するのを防止することができる。したがって、次工程においてエッジに付着したはんだがマスクに再付着することを防止することができ、印刷不良の発生を防止することができる。また、付着したはんだペーストの洗浄作業が不要となり、コスト削減を図ることができる。

図８ないし図１１は、本発明の第３の実施の形態を示す図である。このはんだ印刷ヘッド１０１は、図１に示すはんだ印刷ヘッド５１において、印刷用側壁６７、見切り用側壁７１をそれぞれ上下動可能にしたもので、はんだ印刷ヘッド５１と基本的に同一構成の部分については、同一符号を付してその説明を省略している。

はんだ印刷ヘッド１０１においては、印刷用側壁６７には印刷側側壁駆動装置１０５が連結され、見切り側側壁７１には、見切り側側壁駆動装置１０７が連結され、印刷用側壁６７、見切り側側壁７１をそれぞれ独立に上下動できるようになっている。

まず、図８に示すように、印刷ヘッド１０１の印刷用側壁６７を印刷用エッジ６９ａがマスクＭに接触するように下降位置にし設定し、見切り用側壁７１を見切り用エッジ７３ａがマスクＭから離間するように上昇位置に設定する。

次に、図８に示すように、はんだペーストＰをマスクＭ上で印刷用側壁６７とノズル側壁７５とで囲まれたスペースに落下させる。

次いで、図９に示すように、印刷ヘッド１０１を、その印刷用エッジ６９ａ、側壁エッジ７７がマスクＭに接触している状態のまま移動させる。すると、印刷用傾斜面６９とマスクＭとの間のはんだペーストＰは、印刷用傾斜面６９によって押圧されマスク穴Ｈに充填される（印刷工程）。この際、見切り用エッジ７３ａはマスクＭの上面から上方に離間しているから、見切り用エッジ７３ａの進行方向前面にはんだペーストが付着することはない。

その後、図１０に示すように、印刷側側壁駆動装置１０５と見切り側側壁駆動装置１０７をそれぞれ作動させ、印刷ヘッド１０１の印刷用側壁６７を印刷用エッジ６９ａがマスクＭから離間するように上昇位置にし設定し、見切り用側壁７１を見切り用エッジ７３ａがマスクＭに接触するように下降位置に設定する。

次に、図１１に示すように、はんだ印刷ヘッド１０１を、その見切り用エッジ７３ａ、側壁エッジ７７マスクＭに接触している状態のまま反対方向に移動させる。すると、マスクＭ上のはんだペーストＰは、見切り用傾斜面７３に押されて水平方向に移動するとともに、マスク穴Ｈに充填されたはんだペーストＰはマスク厚みで見切られる（見切り工程）。この際、印刷用エッジ６９ａはマスクＭの上面から上方に離間しているから、印刷用エッジ６９ａの進行方向前面にはんだペーストが付着することはない。

このように、このはんだ印刷ヘッド１０１にあっては、印刷用側壁６７には印刷側側壁駆動装置１０５が連結され、見切り側側壁７１には、見切り側側壁駆動装置１０７が連結され、印刷用側壁６７、見切り側側壁７１をそれぞれ独立に上下動できるようにし、往路の印刷工程では、印刷用エッジ６９ａと側壁エッジ７７がマスクＭに接触し、見切り用エッジ７３ａが上昇位置にありマスクＭから離間している状態で移動させ、復路の見切り工程では、見切り用エッジ７３ａと側壁エッジ７７がマスクＭに接触し、印刷用エッジ６９ａが上昇位置にありマスクＭから離間している状態のまま反対方向に移動させているから、往路の印刷工程時に見切り用エッジ７３ａに、復路の見切り工程時に印刷用エッジ６９ａにはんだペーストが付着するのを防止することができ、付着したはんだペーストの洗浄作業を不要にすることができる。

本発明の第１の実施の形態であるはんだ印刷ヘッドを示す図であって、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその断面図。 図１に示すはんだ印刷ヘッドのノズルを示す図であって、（ａ）はその斜視図、（ｂ）はその断面図。 図１に示すはんだ印刷ヘッドにおいて、はんだペーストを供給している状態を示す断面図。 図１に示すはんだ印刷ヘッドにおいて往路の印刷工程を示す断面図。 図１に示すはんだ印刷ヘッドにおいて復路の見切り工程を示す断面図。 本発明の第２の実施の形態であるはんだ印刷ヘッドを示す斜視図。 図６に示すはんだ印刷ヘッドの印刷工程を（ａ）から（ｄ）に順を追って説明した図。 本発明の第３の実施の形態であるはんだ印刷ヘッドを示す断面図。 図８に示すはんだ印刷ヘッドにおいて往路の印刷工程を示す断面図。 図８に示すはんだ印刷ヘッドにおいて往路の印刷工程後、印刷用側壁を上昇させ見切り用側壁を下降させる状態を示す断面図。 図８に示すはんだ印刷ヘッドにおいて、復路の見切り工程を示す断面図。 従来のはんだ印刷機を示す図。 スキージを用いたはんだ印刷を示す概略図であって、（ａ）はその側面図、（ｂ）はその平面図。 密閉型印刷ヘッド示す断面図。 密閉型印刷ヘッド内部のペーストの状態を示す図であって、（ａ）は固着していない状態を示す図、（ｂ）は固着した後の状態を示す図。

符号の説明

Ｗ ワーク
Ｍ マスク
Ｈ マスク穴
５１ はんだ印刷ヘッド
５５ 往復動駆動装置
５７ ペースト供給装置
６７ 印刷用側壁
６９ 印刷用傾斜面
６９ａ 印刷用エッジ
７１ 見切り用側壁
７３ 見切り用傾斜面
７３ａ 見切り用エッジ
７５ ノズル側壁
７７ 側壁エッジ
９１ はんだ印刷ヘッド
１０１ はんだ印刷ヘッド

Claims (7)

1. ワーク（Ｗ）上にマスク穴（Ｈ）を有するマスク（Ｍ）を載置し、このマスク（Ｍ）上にはんだペースト（Ｐ）を供給することによって、前記マスク穴（Ｈ）に前記はんだペースト（Ｐ）を充填するはんだ印刷方法において、
   前記マスク（Ｍ）上面を移動するとともに移動方向前方から後方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）上面に近接する印刷用傾斜面（６９）と、その先端に形成された印刷用エッジ（６９ａ）とを有している、ペースト充填工程における進行方向後側に設けられた印刷用側壁（６７）と、
   前記印刷用傾斜面（６９）の移動方向前方に、後方から前方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）面に近接する、前記印刷用傾斜面（６９）の前記マスク（Ｍ）上面に対する傾きよりも大きな、前記マスク（Ｍ）上面に対する傾きをもつ見切り用傾斜面（７３）と、その先端に形成された見切り用エッジ（７３ａ）とを有している、ペースト充填工程における進行方向前側に設けられた見切り用側壁（７１）と、
   前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）とを両側から挟み込む側壁（７５，９５）と、
   によって形成される水平断面略矩形状のノズル（６５，９３）が設けられている印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を用い、
   前記印刷用側壁（６７）、前記見切り用側壁（７１）及び前記両側壁（７５，９５）で囲われた空間に前記はんだペースト（Ｐ）を供給し、前記マスク（Ｍ）上に滴下された前記はんだペースト（Ｐ）が、前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）とに同時に接触せず間隙が生じているような未充填状態にし、この状態で、前記印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を前方に移動させることによって、前記両側壁（７５，９５）から前記はんだペースト（Ｐ）がはみ出すことなく、前記印刷用傾斜面（６９）によって印圧が加えられ、前記はんだペースト（Ｐ）を前記マスク（Ｍ）に向かって押圧して前記マスク穴（Ｈ）に充填し、また
   前記印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を後方に移動させることによって、前記マスク（Ｍ）上に残存している前記はんだペースト（Ｐ）を前記見切り用傾斜面（７３）によって見切り、
   この動作を繰り返すことによって、はんだ印刷することを特徴とするはんだ印刷方法。
2. 前記印刷用傾斜面（６９）は、前記マスク（Ｍ）上面に対して１５°から３０°になされ、前記見切り用傾斜面（７３）は、前記マスク（Ｍ）上面に対して４５°から６０°になされていることを特徴とする請求項１に記載のはんだ印刷方法。
3. ワーク（Ｗ）上にマスク穴（Ｈ）を有するマスク（Ｍ）を載置し、このマスク（Ｍ）上にはんだペースト（Ｐ）を供給することによって、前記マスク穴（Ｍ）に前記はんだペースト（Ｐ）を充填する印刷ヘッド（５１，９１，１０１）であって、前記印刷ヘッドが、
   前記マスク（Ｍ）上面を移動するとともに移動方向前方から後方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）上面に近接する印刷用傾斜面（６９）と、その先端に形成された印刷用エッジ（６９ａ）とを有している、ペースト充填工程における進行方向後側に設けられた印刷用側壁（６７）と、
   前記印刷用傾斜面（６９）の移動方向前方に、後方から前方に向かうにしたがい前記マスク（Ｍ）面に近接する、前記印刷用傾斜面（６９）の前記マスク（Ｍ）上面に対する傾きよりも大きな、前記マスク（Ｍ）上面に対する傾きをもつ見切り用傾斜面（７３）と、その先端に形成された見切り用エッジ（７３ａ）とを有している、ペースト充填工程における進行方向前側に設けられた見切り用側壁（７１）と、
   前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）とを両側から挟み込む側壁（７５，９５）と、
   によって形成される水平断面略矩形状のノズル（６５，９３）を備えていて、
   前記印刷用側壁（６７）、前記見切り用側壁（７１）及び前記両側壁（７５，９５）で囲われた空間に前記はんだペースト（Ｐ）を供給し、前記マスク（Ｍ）上に滴下された前記はんだペースト（Ｐ）が、前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）とに同時に接触せず間隙が生じているような未充填状態にし、この状態で、前記印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を前方に移動させることによって、前記両側壁（７５，９５）から前記はんだペースト（Ｐ）がはみ出すことなく、前記印刷用傾斜面（６９）によって印圧が加えられ、前記はんだペースト（Ｐ）を前記マスク（Ｍ）に向かって押圧して前記マスク穴（Ｈ）に充填し、また
   前記印刷ヘッド（５１，９１，１０１）を後方に移動させることによって、前記マスク（Ｍ）上に残存している前記はんだペースト（Ｐ）を前記見切り用傾斜面（７３）によって見切ることを特徴とするはんだ印刷ヘッド。
4. 前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）との間にはんだペースト（Ｐ）を供給するペースト供給装置（５７）を備え、前記印刷用傾斜面（６９）、前記見切り用傾斜面（７３）、ペースト供給装置（５７）を前記移動方向に移動させるための駆動装置（５５）を備えたことを特徴とする請求項３に記載のはんだ印刷ヘッド。
5. 前方に移動する際には、前記印刷用傾斜面（６９）の前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記見切り用傾斜面（７３）の前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させ、後方に移動する際には、前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させるように、前記印刷ヘッドが、前後方向に揺動可能になされていることを特徴とする請求項３又は４に記載のはんだ印刷ヘッド。
6. 前方に移動する際には、前記印刷用傾斜面（６９）の前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記見切り用傾斜面（７３）の前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させ、後方に移動する際には、前記見切り用エッジ（７３ａ）を前記マスク（Ｍ）に接触させるとともに前記印刷用エッジ（６９ａ）を前記マスク（Ｍ）から離間させるように、前記印刷用側壁（６７）と前記見切り用側壁（７１）とを上下動可能に配設したことを特徴とする請求項３又は４に記載のはんだ印刷ヘッド。
7. 前記印刷用傾斜面（６９）は、前記マスク（Ｍ）上面に対して１５°から３０°になされ、前記見切り用傾斜面（７３）は、前記マスク（Ｍ）上面に対して４５°から６０°になされていることを特徴とする請求項３〜６のいずれか一項に記載のはんだ印刷ヘッド。

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