KR20170001958A

KR20170001958A - 도포장치, 도포헤드 및 도포방법

Info

Publication number: KR20170001958A
Application number: KR1020167032618A
Authority: KR
Inventors: 타카오 마츠야마; 히데토 요시즈카
Original assignee: 가부시키가이샤 에나테크
Priority date: 2014-11-06
Filing date: 2015-10-20
Publication date: 2017-01-05
Also published as: KR101858246B1; TWI655971B; JPWO2016072250A1; CN106664802A; WO2016072250A1; TW201622832A; CN106664802B; JP6093480B2

Abstract

본 발명의 목적은, 기판의 단면(端面)을 포함하는 주연부(周緣部)에 막형성액을 얇고 또한 균일한 막 두께로 도포할 수 있어, 막 두께 변동이 적은 도막을 안정적으로 형성할 수 있는 도포장치(1)를 제공하는 것에 있으며, 기판(2)을 지지하는 지지테이블(10)과, 한 쌍의 도포헤드(21)를 구비한 도포유닛(20)과, 도포유닛(20)을 이동시키는 이동유닛(40)과, 도포헤드(21)에 막형성액(51)을 공급하는 액공급유닛(50)과, 도포헤드(21)의 간극에 기판(2)의 단부(端部)를 삽입한 상태에서, 도포헤드(21)를 기판(2)의 주연부를 따라 이동시키도록 이동유닛(20)을 제어하는 제어부(70)를 구비하고, 도포헤드(21)가, 막형성액(51)을 모으는 액류부(22a, 23a)와, 액류부(22a, 23a)를 통과시킨 기판(2)의 단부에 부착된 막형성액(51)을 박막상으로 도공하는 도공부(22c, 22d, 23c, 23d)를 장비한다.

Description

도포장치, 도포헤드 및 도포방법{COATING APPARATUS, COATING HEAD, AND COATING METHOD}

본 발명은 도포장치, 도포헤드 및 도포방법에 관한 것으로서, 보다 상세히는, 기판의 주연부(周緣部)에 액체를 도포하는 도포장치, 도포헤드 및 도포방법에 관한 것이다.

전자부품의 실장용 기판으로서 글라스에폭시 부재를 사용한 프린트기판이 일반적으로 사용되고 있다. 글라스에폭시 부재는, 유리섬유포(布)를 겹친 것에 에폭시 수지를 함침(含浸)시킨 것이다. 그렇기 때문에 글라스에폭시 부재를 절단하면, 에폭시 수지 또는 유리섬유로 이루어진 작은 진애(塵埃)가 발생한다. 이러한 미세한 진애는 기판 회로의 접촉불량이나 품위 등을 저하시킬 우려가 있다. 그렇기 때문에, 기판 절단 시에 발생한 진애는 프린트기판 제조 시에 제거해 둘 필요가 있다.

그러나, 프린트기판의 단면(端面)으로부터 진애를 제거했다 하더라도, 프린트기판의 단면 부분은 부서지기 쉽기 때문에, 붕괴되어 진애가 더더욱 발생할 우려가 있다는 문제가 있었다.

그래서 본 발명자는 앞서, 프린트기판의 단면에 막(膜)형성액을 도포하여 막을 형성함으로써, 단면 부분의 붕괴를 방지할 수 있는 도포장치를 제안했다(특허문헌1).

도 23은 본 발명자가 앞서 제안한 도포장치의 요부(要部)를 도시한 측면 단면도(斷面圖)이고, 도 24는 도포장치의 내부 기구를 도시하기 위해 케이스를 생략하여 도시한 개략 정면도이다.

케이스(101)의 반입구(101a) 및 반출구(101b)에 걸쳐, 전후 방향으로 연설되는 컨베이어(102)가 배설되어 있다. 컨베이어(102)는 지지부재(도시하지 않음)에 의해 케이스(101)에 지지되어 있다. 케이스(101)에는 복수의 조작스위치(103a)를 구비한 조작부(103)가 배설되어 있다. 조작스위치(103a)가 조작됨으로써 컨베이어(102)가 구동 및 정지된다.

케이스(101) 내의 컨베이어(102) 좌우에 도포기구(110, 110)가 각각 배설되어 있다. 도포기구(110)는 케이스(101) 후면에 대향 배치된 고정판(104)에 고정되고, 고정판(104) 하부가 볼나사기구(120)에 연결되어 있다. 볼나사기구(120)는 지지부재(도시하지 않음)에 의해 케이스(101)에 지지되어 있다.

도포기구(110)는, 도포원반(111), 모터(112), 도포액공급원반(113), 및 모터(114)를 구비하고 있다. 도포원반회전용 모터(112, 112)는, 고정판(104)에 수평으로 설치된 지지부재(105)에 고정되고, 그 회전축(112a)은 연직 하향으로 배설되어 있다. 도포원반(111, 111)은, 수평 방향으로 배설되고, 상방으로 연설되는 축(111a)을 구비하고 있다. 모터(112)의 회전축(112a)에 도포원반(111)의 축(111a)이 연결되어, 모터(112)의 구동에 의해 도포원반(111)이 회전하도록 되어 있다.

도포액공급원반회전용 모터(114, 114)는, 전후 방향으로 연설되는 추축(樞軸)(115)을 통해 고정판(104)에 고정되고, 그 회전축(114a)이 수평 방향으로 배설되어 있다. 도포액공급원반(113, 113)은, 도포원반(111, 111)을 협지(挾持)하여 컨베이어(102) 반대측에, 연직 방향으로 배설되고, 수평 방향으로 연설되는 축(113a)을 구비하고 있다. 모터(114)의 회전축(114a)에 도포액공급원반(113)의 축(113a)이 연결되고, 모터(114)의 구동에 의해, 도포액공급원반(113)이 회전하도록 되어 있다. 도포액공급원반(113)의 축(113a)은 도포원반(111)의 하면보다도 하방에 위치하고, 도포액공급원반(113)의 도포원반(111) 측 상부 측면은, 도포원반(111)의 주면(周面)에 접하고 있다.

도포액공급원반(113)의 하방에는, 수지 성분을 포함한 막형성액(116)을 수용하는 상자 모양의 액공급용기(117)가 배설되고, 도포액공급원반(113)의 하단부가, 액공급용기(117)의 상방으로부터 삽입되어 막형성액(116)에 담가져 있다. 도포액공급원반(113)의 회전에 따라, 도포액공급원반(113)의 하단부로부터 도포액공급원반(113)의 상부에 막형성액(116)이 이동하여, 도포원반(111)의 외주면에 공급되도록 되어 있다.

고정판(104)의 하단부에는, 볼나사기구(120)가 접속되어 있다. 볼나사기구(120, 120)는, 컨베이어(102)의 하방에 배치된 모터(121, 121)를 구비하고 있다. 모터(121)는, 컨베이어(102)로부터 이격하는 좌우 수평방향으로 연설되는 회전축(도시하지 않음)을 구비하고 있으며, 해당 회전축에는 좌우 수평방향으로 연설되는 수나사(122)가 연결되어 있다. 또한 수나사(122)에는 통 형상(筒狀)의 암나사체(123)가 감합되고, 암나사체(123)에 고정판(104)의 하단 중앙부가 연결되어 있다. 모터(121, 121)의 구동에 의해, 수나사(122)가 회전하고, 수나사(122)의 회전에 따라 암나사체(123)에 연결된 고정판(104, 104)이 좌우로 이동 가능하게 되어 있다.

상기한 도포장치에 의한 프린트기판(130)의 단면(130a)에 막형성액(116)의 도포방법에 대해 설명한다. 우선, 조작부(103)의 조작스위치(103a)를 조작하여, 모터(121)를 정역회전시켜서, 프린트기판(130)의 좌우 폭에 정합하도록, 도포기구(110, 110)의 좌우 위치를 조정한다. 이어서, 반입구(101a) 측의 컨베이어(102)에 프린트기판(130)을 재치(載置; 올려놓음)하고, 조작스위치(103a)를 조작하여, 컨베이어(102), 모터(112, 112) 및 모터(114, 114)를 구동시킨다.

컨베이어(102)에 의해 프린트기판(130)은 도포기구(110)까지 반송되고, 도포원반(111, 111)의 주면(111b, 111b)에 좌우단면(130a, 130a)이 접촉한다. 이때 도포원반(111, 111)의 주면(111b, 111b)에 부착되어 있는 막형성액(116)이 프린트기판(130)의 좌우단면(130a, 130a)에 도포된다. 그리고 프린트기판(130)의 반송에 따라, 프린트기판(130)의 좌우단면(130a, 130a) 전체에 막형성액(116)이 도포되고, 도포 후에 반출구(101b)로부터 프린트기판(130)이 반출되어, 막형성액(116)에 포함된 수지 성분을 경화시킨다.

상기 도포장치에 의하면, 도포원반(111, 111)에 의해 프린트기판(130)의 좌우단면(130a, 130a)에 막형성액(116)이 도포되어, 프린트기판(130)의 좌우단면(130a, 130a)에 도막(塗膜)을 형성하는 것이 가능해졌다.

국제공개 제2 010/137418호

그렇지만, 상기 도포장치에서는, 막형성액(116)이 공급원반(113, 113)을 통해 도포원반(111, 111)의 외주면(111b, 111b)에 공급되고, 도포원반(111, 111)의 외주면(111b, 111b)에 부착되어 있는 막형성액(116)이 프린트기판(130)의 단면(端面)(130a, 130a)에 도포되는 구성이기 때문에, 이러한 도포원반(111)의 외주면(111b)에 대한 막형성액(116)의 공급 상태에 편차가 발생하기 쉽다.

도포원반(111)의 외주면(111b)에 대한 막형성액(116)의 공급 상태를 안정시키기 위해서는 막형성액(116)의 점도를 비교적 높게(흘러내리지 않을 정도) 조정할 필요가 있어서, 막 두께(膜厚)를 얇고 또한 균일하게 도포하는 것이 어렵다는 과제가 있었다.

한편, 각종 전자기기의 박형화나 소형화에 대응하기 위해, 근년에 두께가 수십 μm~수백 μm 정도의 박형 동장(銅張)적층기판(패키지 기판이라고도 함)의 수요가 높아지고 있다.

이러한 박형 기판에 대해서는, 막형성액을 기판 단면에만 도포하는 것은 쉽지 않고, 기판의 단면을 포함한 주연부(周緣部)에, 예를 들어, 액연(額緣; 액자) 형상으로 도포하는 것과 같은 형태가 바람직할 것으로 생각된다.

그렇지만 상기 도포장치로는, 프린트기판(130)의 단면(130a)에만 막형성액(116)을 도포하는 구성으로 되어 있어, 기판의 단면을 포함한 주연부에 막형성액을 액연 형상으로 얇고 균일하게 도포할 수 없다는 과제가 있었다.

본 발명은 상기 과제를 감안하여 이루어진 것으로서, 기판의 단면(端面)을 포함한 주연부(周緣部)에 막형성액을 얇고 또한 균일한 막 두께(膜厚)로 도포할 수 있어, 막 두께 변동이 적은 도막을 안정하게 형성할 수 있는 도포장치, 도포헤드 및 도포방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.

상기 목적을 달성하기 위해 본 발명에 따른 도포장치(1)는, 기판의 단면을 포함한 주연부에 액체를 도포하는 도포장치에 있어서, 상기 기판을 지지하는 지지수단과, 상기 기판의 단부(端部)를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치된 한 쌍의 도포헤드를 구비한 도포수단과, 해당 도포수단을 이동시키는 이동수단과, 상기 한 쌍의 도포헤드에 막형성액을 공급하는 액공급수단과, 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에, 상기 지지수단에 지지된 상기 기판의 단부를 삽입한 상태에서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시키도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단을 구비하고, 상기 한 쌍의 도포헤드가, 해당 한 쌍의 도포헤드의 대향면에, 상기 막형성액을 모으는 액류부(液溜部)와, 해당 액류부를 통과시킨 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 박막상(薄膜狀)으로 도공(塗工)하는 도공부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(1)에 의하면, 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에, 상기 지지수단으로 지지된 상기 기판의 단부를 삽입한 상태에서, 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 액류부에 상기 막형성액을 공급하면서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시킬 수 있다. 즉, 상기 액류부에 모아진 상기 막형성액에 상기 기판의 단부를 통과시킨 후, 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 상기 도공부에서 박막상으로 도공하면서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시킬 수 있다.

또한, 상기 액류부에 모아진 상기 막형성액에 상기 기판의 단부를 통과시키도록 구성되어 있기 때문에, 해당 기판의 단부에 상기 막형성액을 충분히 부착시킬 수 있어, 상기 기판의 단부에 상기 막형성액을 균일하게 부착시킨 상태로 한 후, 상기 도공부에서 박막상으로 도공할 수 있다.

따라서, 상기 기판의 주연부 상하면 및 상기 기판의 단면(측면)에 상기 막형성액을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 막 두께 변동 등의 도막 품질에 편차가 적은 도포를 계속해서 할 수 있어, 상기 기판의 주연부에 액연 형상의 균일한 도막을 정밀도가 좋게 형성할 수 있다. 따라서, 상기 기판의 단면 부분의 붕괴로 인한 진애의 발생을 방지할 수 있는 동시에 상기 기판의 주연부를 상기 도막에 의해 보강할 수 있어, 상기 기판의 취급성을 향상시킬 수 있고, 상기 기판의 불량품 발생률을 저하시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(2)는, 상기 도포장치(1)에 있어서, 상기 도공부가, 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 고르는 흙손(trowel)부와, 해당 흙손부를 통과시킨 상기 기판의 단부에 부착된 여분의 상기 막형성액을 제거하는 제거부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(2)에 의하면, 상기 흙손부와 상기 제거부를 구비하고 있기 때문에, 상기 액류부를 통과시킨 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 균일한 막 두께로 도포한 후, 상기 기판에 부착된 여분의 상기 막형성액을 확실하게 제거할 수 있어, 상기 막형성액을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(3)는, 상기 도포장치(1) 또는 (2)에 있어서, 상기 도포수단이, 상기 한 쌍의 도포헤드를 선회시키기 위한 선회기구부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(3)에 의하면, 상기 선회기구부에 의해 상기 한 쌍의 도포헤드를 선회시킬 수 있기 때문에, 예를 들어 구형(矩形) 기판의 주연부에 막형성액을 도포할 경우, 해당 기판의 단면에 대한 상기 한 쌍의 도포헤드의 방향을 상기 기판의 각 변(邊) 모두 동일한 방향으로 설정할 수 있어, 상기 기판의 각 변 모두 동일한 상태에서 안정적인 도포를 실행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(4)는, 상기 도포장치(3)에 있어서, 상기 선회기구부에, 상기 한 쌍의 도포헤드를 수평 방향으로 슬라이드시키는 슬라이드기구부가 장비되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(4)에 의하면, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 선회기구부에 대해 수평 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있다. 따라서, 상기 한 쌍의 도포헤드 위치의 미세조정, 예를 들어, 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에 삽입하는 상기 기판 단부 폭의 미세조정 등, 상기 기판의 단면에 대한 상기 한 쌍의 도포헤드의 위치 제어를 더욱 고정도(高精度)로 실행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(5)는, 상기 도포장치(1) 또는 (2)에 있어서, 상기 도포수단이, 상기 지지수단 주위에 복수 배치되고, 상기 이동수단이, 상기 지지수단에 지지된 기판의 변을 따라 상기 복수의 도포수단을 이동시키는 것이며, 상기 제어수단이, 상기 복수의 도포수단을 상기 기판의 변을 따라 이동시키도록 상기 이동수단을 제어하는 것이라는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(5)에 의하면, 상기 기판의 주연부를 상기 복수의 도포수단으로 도포하는 것이 가능하게 되어, 상기 기판 전주(全周)를 도포하는 시간을 대폭적으로 단축할 수 있고, 도포 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(6)는, 상기 도포장치(5)에 있어서, 상기 이동수단이, 상기 기판의 변 방향과, 해당 변 방향과 교차하는 방향과의 2방향으로 이동 가능한 복수의 2축 직동기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(6)에 의하면, 상기 2축 직동기구에 의해 상기 각 도포수단을 2축 방향으로 이동시킴으로써 상기 기판의 각 변을 안정된 동작으로 반복해서 도포할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(7)는, 상기 도포장치(1)~(6) 중 어느 하나에 있어서, 상기 막형성액이 수용되는 액수용부와, 상기 한 쌍의 도포헤드 하방에 배설되는 액받이부와, 해당 액받이부에서 받은 상기 막형성액을 상기 액수용부에 이송하는 이송 수단을 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(7)에 의하면, 상기 한 쌍의 도포헤드로부터 누설된 상기 막형성액이 상기 액받이부에서 받아들여지고, 상기 이송 수단에 의해 상기 액수용부로 이송되기 때문에, 상기 막형성액을 순환시켜 반복해서 사용할 수 있어, 상기 막형성액을 낭비없이 사용할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(8)는, 상기 도포장치(1)~(7) 중 어느 하나에 있어서, 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에 접촉시키는 패드부와, 해당 패드부의 하방에 배설되는 액받이부와, 상기 패드부 및 상기 액받이부를 지지하는 지지부를 구비하고 있는 도포헤드용 보호구(保護具)를 더욱더 구비하고, 해당 도포헤드용 보호구가, 상기 한 쌍의 도포헤드의 퇴피(退避) 위치에 설치되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(8)에 의하면, 상기 한 쌍의 도포헤드를 소정의 퇴피위치에 퇴피시키고 있을 때, 상기 도포헤드용 보호구의 상기 패드부에 상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극 부분을 접촉시킬 수 있다. 따라서, 상기 간극 부분에 상기 막형성액의 건조나, 해당 건조에 의한 액막힘이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 상기 막형성액의 건조나 액막힘이 없는 양호한 상태로 상기 기판으로의 도포를 계속해서 수행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(9)는, 상기 도포장치(1)~(8) 중 어느 하나에 있어서, 상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막형성액을 건조시키는 건조 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(9)에 의하면, 상기 건조 수단에 의해, 상기 막형성액을 도포한 후 바로 상기 막형성액을 건조시킬 수 있어, 그 후의 작업성을 향상시킬 수 있으며, 또한 상기 막형성액의 벗겨짐 등의 도포 불량을 방지하는 효과를 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(10)는, 상기 도포장치(1)~(9) 중 어느 하나에 있어서, 상기 지지수단에 지지되기 전의 기판을 소정의 위치에 위치결정 배치하는 위치결정수단과, 해당 위치결정수단으로 위치결정된 기판을 상기 지지수단에 이재(移載; 옮겨 실음)하고, 상기 막형성액이 도포된 기판을 상기 지지수단으로부터 이송하는 기판이재수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(10)에 의하면, 상기 위치결정수단에 의해 상기 기판의 위치결정을 실행한 후, 해당 기판을 상기 기판이재수단으로 상기 지지수단에 이재하기 때문에, 상기 지지수단에 이재되는 기판의 위치 정밀도가 높아져, 상기 막형성액의 도포 폭에 편차가 없는 정밀도가 높은 도포를 실행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포장치(11)는, 상기 도포장치(10)에 있어서, 상기 기판이재수단이, 제1 기판지지부와 제2 기판지지부를 구비하고, 상기 제1 기판지지부와 상기 제2 기판지지부에 의해, 상기 기판을 상기 지지수단으로 이재하는 동작과, 상기 기판을 상기 지지수단으로부터 이송하는 동작이 병행해서 실행되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포장치(11)에 의하면, 도포 전의 기판을 상기 지지수단에 이재하는 동작과, 도포 후의 기판을 상기 지지수단으로부터 이송하는 동작을 동시에 실행하기 때문에, 기판의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(1)는, 기판의 단면을 포함한 주연부에 액체를 도포하기 위한 도포헤드에 있어서, 상기 기판의 단부를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치되는 상측 헤드와 하측 헤드를 구비하고, 상기 상측 헤드가, 상기 하측 헤드와의 대향면에 형성된 상측 액류부와, 해당 상측 액류부에 막형성액을 공급하기 위한 액공급로와, 해당 상측 액류부에 병설된 상측 흙손부와, 해당 상측 흙손부에 병설된 상측 제거부를 구비하고, 상기 하측 헤드가, 상기 상측 액류부와 대향하는 개소(箇所; 부위)에 형성된 하측 액류부와, 해당 하측 액류부에 병설된 하측 흙손부와, 해당 하측 흙손부에 병설된 하측 제거부를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(1)에 의하면, 상기 액공급로로부터 상기 상측 액류부에 상기 막형성액을 공급하고, 상기 상측 액류부와 상기 하측 액류부에 상기 막형성액을 모아둔 상태로 할 수 있다. 그리고, 상기 상측 헤드와 상기 하측 헤드와의 상기 간극에 상기 기판의 단부를 삽입하고, 상기 상측 액류부와 상기 하측 액류부에 모아둔 상기 막형성액에 상기 기판의 단부를 통과시킴으로써, 상기 기판의 단부에 상기 막형성액을 균일하게 충분히 부착시킬 수 있다.

그 후, 상기 상측 흙손부와 상기 하측 흙손부로, 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 고르게 하여 균일한 막 두께로 도포하고, 그 후, 상기 상측 제거부와 상기 하측 제거부로, 상기 기판에 부착된 여분의 상기 막형성액을 제거할 수 있어, 막 두께 변동 등이 적은 박막상의 도막을 형성할 수 있다.

따라서, 상기 기판의 주연부 상하면 및 상기 기판의 단면(측면)에 상기 막형성액을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있어, 상기 기판의 주연부에 액연 형상의 균질한 도막을 정밀도 좋게 형성할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(2)는, 상기 도포헤드(1)에 있어서, 상기 상측 흙손부 및/또는 상기 하측 흙손부의 흙손면에 복수의 미소(微小) 홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(2)에 의하면, 상기 상측 흙손부 및/또는 상기 하측 흙손부의 흙손면에 복수의 미소 홈이 형성되어 있기 때문에, 상기 막형성액의 표면 장력에 의해 상기 흙손면에 상기 막형성액이 퍼지기 쉬워, 얇고 균일한 막 두께를 안정적으로 형성하는 것이 용이하게 된다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(3)는, 상기 도포헤드(1) 또는 (2)에 있어서, 상기 상측 흙손부가 상기 상측 헤드에 착탈 가능하게 구성되고, 상기 하측 흙손부가 상기 하측 헤드에 착탈 가능하게 구성되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(3)에 의하면, 필요에 따라, 상기 상측 흙손부 및 상기 하측 흙손부를 상기 상측 헤드 및 상기 하측 헤드에 각각 착탈시킬 수 있다. 또한, 도막의 막 두께 등에 대응한 상기 상측 흙손부 및 상기 하측 흙손부를 장착할 수 있어, 막 두께 조정을 정밀도 좋게 실행할 수 있으며, 또한 유지보수를 용이하게 실행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(4)는, 상기 도포헤드(1)~(3) 중 어느 하나에 있어서, 상기 상측 헤드가, 상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와, 해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 이동부재를 구비하고, 상기 상측 액류부가 상기 이동부재에 형성되고, 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 이동부재에 배설되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(4)에 의하면, 상기 고정부재에 대해 상기 이동부재를 상하 방향으로 이동시켜 위치 조정을 실행하여 장착할 수 있기 때문에, 도포할 기판의 두께나 형성할 도막의 두께에 대응하여, 상기 이동부재의 높이 위치를 임의로 조정할 수 있어, 다양한 두께의 기판에 대해, 다양한 막 두께의 도포를 실행하는 것이 가능하게 된다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(5)는, 상기 도포헤드(1)~(3) 중 어느 하나에 있어서, 상기 상측 헤드가, 상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와, 해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 2개의 이동부재를 구비하고, 상기 상측 액류부가 상기 고정부재에 형성되고, 상기 상측 액류부에 병설된 일방의 이동부재에 상기 상측 흙손부가 배설되고, 상기 일방의 이동부재에 병설된 타방의 이동부재에 상기 상측 제거부가 배설되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(5)에 의하면, 상기 고정부재에 대해, 상기 일방의 이동부재와 상기 타방의 이동부재를 개별적으로 상하 방향으로 이동시켜 위치 조정을 실행하여 장착할 수 있기 때문에, 도포할 기판의 두께나 형성할 도막의 두께에 대응하여, 상기 상측 흙손부가 장비된 상기 일방의 이동부재와, 상기 상측 제거부가 장비된 상기 타방의 이동부재의 높이 위치를 개별적으로 조정할 수 있어, 다양한 두께의 기판에 대해, 다양한 막 두께의 도포를 실행할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(6)는, 상기 도포헤드(1)~(3) 중 어느 하나에 있어서, 상기 상측 헤드가, 상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와, 해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 이동부재를 구비하고, 해당 이동부재가, 부세(付勢; bias) 수단에 의해 하(下)방향으로 부세된 상태에서 상기 고정부재에 장착되고, 상기 상측 액류부와 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 이동부재에 배설되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(6)에 의하면, 상기 고정부재에 대해 상기 이동부재를 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착할 수 있기 때문에, 도포할 기판의 두께나 형성할 도막의 두께에 대응하여, 상기 이동부재의 높이 위치를 임의로 조정할 수 있어, 다양한 두께의 기판에 대해, 다양한 막 두께의 도포를 실행하는 것이 가능하게 된다. 더욱이, 상기 이동부재가, 상기 부세 수단에 의해 하방향으로 부세된 상태에서 상기 고정부재에 장착되어 있기 때문에, 상기 상측 헤드와 상기 하측 헤드의 간극 크기에 일정한 폭을 부여할 수 있어, 해당 간극 크기의 범위 이내이면 두께가 다른 기판에 대해서도 적절하게 도포하는 것이 가능하게 된다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(7)는, 상기 도포헤드(6)에 있어서, 상기 이동부재가, 제1 부재와 제2 부재를 구비하고, 상기 제1 부재가, 상기 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 것이고, 상기 제2 부재가, 상기 부세 수단에 의해 하방향으로 부세된 상태에서 상기 제1 부재에 장착되는 것이고, 상기 상측 액류부와 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 제2 부재에 배설되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(7)에 의하면, 상기 제1 부재에 의해 상기 고정부재에 대한 상하 방향의 장착 위치 조정을 용이하게 실행할 수 있고, 또한, 상기 기판의 단부가 삽입되는 상기 제2 부재만을 하방으로 부세된 상태로 장착할 수 있기 때문에, 상기 제2 부재에 배설된 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부에 의해, 두께가 다른 기판에 대해서도 상기 막형성액을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포헤드(8)는, 상기 도포헤드(1)~(7) 중 어느 하나에 있어서, 상기 상측 헤드가, 상기 막형성액을 배출하는 액배출로를 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포헤드(8)에 의하면, 상기 상측 액류부에 공급된 여분의 상기 막형성액을 상기 액배출로로부터 적절하게 배출할 수 있어, 상기 상측 헤드와 상기 하측 헤드와의 상기 간극 부분으로부터의 불필요한 액흘림 등을 방지할 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포방법(1)은, 기판의 단면을 포함한 주연부에 막형성액을 도포하는 도포방법에 있어서, 상기 기판의 단부를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치된 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에 상기 기판의 단부를 삽입하는 공정과, 상기 한 쌍의 도포헤드의 대향면에 형성된 액류부에 상기 막형성액을 공급하면서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시켜, 해당 기판의 주연부에 도막을 형성하는 도포 공정을 구비하고, 해당 도포 공정이, 상기 액류부에 병설된 도공부에서, 상기 액류부를 통과시킨 상기 기판에 부착된 상기 막형성액을 박막상으로 도공하는 공정을 구비하고 있는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포방법(1)에 의하면, 상기 기판의 주연부의 상하면 및 상기 기판의 단면에 상기 막형성액을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있어, 상기 기판의 주연부에 액연 형상의 도막을 정밀도가 좋게 형성할 수 있다. 그렇기 때문에, 상기 기판의 단면 부분의 붕괴로 인한 진애의 발생을 방지할 수 있는 동시에 상기 기판의 주연부를 도막(塗膜)으로 보강할 수 있어, 상기 기판의 취급성을 높일 수 있다.

또한 본 발명에 따른 도포방법(2)은, 상기 도포방법(1)에 있어서, 상기 기판의 각 변을 복수의 상기 도포헤드를 사용하여 동시에 병행하여 도포하는 것을 특징으로 하고 있다.

상기 도포방법(2)에 의하면, 상기 기판의 각 변을 복수의 상기 도포헤드를 사용하여 동시에 병행하여 도포하기 때문에, 상기 기판 전주(全周)를 도포하는 시간을 대폭적으로 단축할 수 있어, 상기 도포 공정의 효율을 높일 수 있다.

본 발명에 의하면, 기판의 단면(端面)을 포함한 주연부(周緣部)에 막형성액을 얇고 또한 균일한 막 두께(膜厚)로 도포할 수 있어, 막 두께 변동이 적은 도막을 안정하게 형성할 수 있는 도포장치, 도포헤드 및 도포방법을 제공할 수 있다.

도 1은, 본 발명의 실시예(1)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 측면도이다.
도 2는, 실시예(1)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 정면도이다.
도 3은, 도 2에 있어서의 화살표 A방향에서 본 도포헤드의 정면도이다.
도 4는, 도 3에 있어서의 IV-IV선의 단면도(斷面圖)이다.
도 5는, 도 3에 있어서의 V-V선의 단면도이다.
도 6은, 상측 헤드의 분해 저면도(底面圖)이다.
도 7은, 도 3에 있어서의 VII-VII선의 단면도이다.
도 8은, 실시예(1)에 따른 도포장치의 도포헤드를 도포헤드용 보호구의 위치로 퇴피(退避)시켰을 때의 평면도이다.
도 9는, 도 8에 있어서의 화살표 C방향에서 본 도포헤드용 보호구의 정면도이다.
도 10은, 실시예(1)에 따른 도포장치의 도포헤드의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 11은, 실시예(1)에 따른 도포장치를 사용하여 도포된 기판의 주연부(周緣部) 부근을 도시한 도면이며, (a)는 부분 사시도이고, (b)는 (a)에 있어서의 b-b선의 단면도이다.
도 12는, 다른 실시예에 따른 도포헤드를 구성하는 상측 헤드의 구조를 도시한 도면이며, (a)는 저면도이고, (b)는 평면도이다.
도 13은, 실시예(2)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 평면도이다.
도 14는, 실시예(2)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 측면도이다.
도 15는, 도 14에 있어서의 화살표 A1방향에서 본 도포헤드의 정면도이다.
도 16은, 도 15에 있어서의 XVI-XVI선의 단면도이다.
도 17은, 도 15에 있어서의 XVII-XVII선의 단면도이다.
도 18은, 도 15에 있어서의 XVIII-XVIII선의 단면도이다.
도 19는, 상측 헤드의 분해 저면도이다.
도 20은, 상측 헤드의 분해 정면도이다.
도 21은, 도 15에 있어서의 XXI-XXI선의 단면도이다.
도 22는, 실시예(2)에 따른 도포장치의 도포헤드의 동작을 설명하기 위한 평면도이다.
도 23은, 종래의 도포장치의 개략 측면도이다.
도 24는, 종래의 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 개략 정면도이다.

이하, 본 발명에 따른 도포장치, 도포헤드 및 도포방법의 실시예를 도면에 의거하여 설명한다. 도 1은, 실시예(1)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 측면도이고, 도 2는, 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 정면도이다.

도포장치(1)는, 기판(2)을 지지하는 지지테이블(10), 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)로 이루어진 한 쌍의 도포헤드(21)를 구비한 도포유닛(20), 및 도포유닛(20)을 이동시키는 이동유닛(40)을 포함하여 구성되어 있다.

또한, 도포장치(1)에는, 한 쌍의 도포헤드(21)에 수지 성분을 포함한 막형성액(51)을 공급하는 액공급유닛(50), 기판(2)에 도포된 막형성액(51)의 건조를 실행하는 건조로(60), 장치 각부의 구동을 제어하는 제어부(70), 및 조작부(80)가 장비되어 있다.

지지테이블(10)은, 기판(2)의 반송 방향으로 평행하게 배설된 반송레일(12) 사이에 배설되어 있다. 반송레일(12)은, 리니어기구 등에 의해, 기판(2)의 반송 방향으로 평행하게 배설된 고정레일(11) 위를 슬라이드 이동 가능하게 구성되어 있다. 지지테이블(10)은 승강기구(13)에 의해 승강 가능하게 지지되고, 승강기구(13)는 고정레일(11) 사이에 배설된 지지부재(14)에 장착되어 있다. 고정레일(11)은, 도시하지 않은 케이스에 고정되어 있다.

반송레일(12)이 고정레일(11) 위를 슬라이드 이동하여, 반송레일(12)에 재치(載置)된 기판(2)이 지지테이블(10) 위까지 반송되면, 다음은 승강기구(13)가 작동하여, 반송레일(12)의 상면보다 아래에 위치시켜 놓은 지지테이블(10)이 상승하여, 기판(2)이 지지테이블(10) 위에 지지된 상태에서 소정의 도포 위치까지 상승한다. 또한 도포 후, 승강기구(13)가 작동하여, 지지테이블(10)이 하강하여, 기판(2)이 반송레일(12) 위에 재치되도록 되어 있다.

또한, 지지테이블(10)에는, 흡착기구(도시하지 않음)가 배설되어 있어, 기판(2)을 지지테이블(10) 상면에 흡착시키는 것이 가능하게 되어 있다. 흡착기구로서는, 지지테이블(10)에 복수의 공기 흡기공을 형성하고, 이러한 공기 흡기공에 에어튜브를 통해 진공 펌프가 연결된 구성 등을 채용할 수 있다.

이동유닛(40)은, 도포유닛(20)을 2축(XY축) 방향으로 수평 이동시키는 2축(XY축) 직동기구로 구성되고, 도시하지 않은 케이스에 고정된 X축 실린더(41), X축 실린더(41)에 일단측이 슬라이드 이동 가능하게 연결된 Y축 실린더(42), Y축 실린더(42) 위를 슬라이드 이동하는 Y축 슬라이더(43), 및 Y축 실린더(42)의 타단측을 지지하는 지지가이드(44)를 포함하여 구성되어 있다. Y축 슬라이더(43)에는 도포유닛(20)이 장착되어 있다. 지지가이드(44)는 도시하지 않은 케이스에 고정되어 있다. Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)의 동작은 제어부(70)에서 제어되도록 되어 있다.

도포유닛(20)은, 선회기구부(30) 및 한 쌍의 도포헤드(21)를 포함하여 구성되어 있다. 선회기구부(30)는, Y축 슬라이더(43)에 연결된 연결부재(31), 연결부재(31)에 장착된 선회모터(32), 연직 방향으로 연설된 선회모터(32)의 회전축(32a)과 연결된 회전축부(33), 및 일단(一端)이 회전축부(33)에 연결된 선회아암(34)을 포함하여 구성되어, 선회모터(32)의 회전축(32a)을 중심으로 한 쌍의 도포헤드(21)를 선회시키는 것이 가능하게 되어 있다.

회전축부(33)는, 회전축(33a) 및 회전축(33a)을 회전 가능하게 지지하는 볼베어링(도시하지 않음)을 포함하여 구성되고, 회전축(33a) 상단측이 선회모터(32)의 회전축(32a)에 연결되고, 회전축(33a)의 하단측이 선회아암(34)에 연결되어 있다.

선회아암(34)은, 수평 방향으로 연설된 완부(腕部)(34a)를 구비하고, 완부(34a)의 하면 중간부에는, 한 쌍의 도포헤드(21)를 완부(34a)의 연설 방향(수평 방향)으로 슬라이드 이동시키기 위한 슬라이드기구(35)가 배설되어 있다. 슬라이드기구(35)는, 전동식 직동 안내기구 등으로 구성되고, 슬라이드기구(35)에는, 한 쌍의 도포헤드(21)를 장착하기 위한 연결부재(36)가 장착되어 있다.

또한, 선회아암(34)의 선회 정지위치를 검출하기 위한 센서(예를 들어, ㄷ자형 포토센서)(도시하지 않음)가, 회전축부(33) 주위에 90도 간격으로 배설되고, 선회아암(34)이 90도 선회하면, 선회아암(34)에 설치된 차광판(도시하지 않음)이 상기 센서의 수광부를 차단함으로써, 정지위치가 검출되도록 구성되어 있다.

다음으로, 도포유닛(20)을 구성하는 한 쌍의 도포헤드(21)에 대해 설명한다. 도 3은, 도 2에 있어서의 화살표 A방향에서 본 한 쌍의 도포헤드(21)의 정면도이고, 도 4는, 도 3에 있어서의 IV-IV선의 단면도(斷面圖)이다. 도 5는, 도 3에 있어서의 V-V선의 단면도이고, 상측 헤드의 저면(하측 헤드와의 대향면)을 나타내며, 도 6은, 상측 헤드의 분해 저면도이다. 또한, 도 7은, 도 3에 있어서의 VII-VII선의 단면도이고, 하측 헤드의 상면(상측 헤드와의 대향면)을 나타내고 있다. 또한, 도면 속의 화살표 B는, 도포헤드(21)의 이동 방향을 나타내고 있다.

도포헤드(21)는, 기판(2)의 단부(端部)를 삽입할 수 있는 간극을 두고 상하로 대향 배치되는 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)를 포함하여 구성되어 있다. 도포헤드(21) 아래에는, 하측 헤드(23)에 고정된 액받이부(24)가 배설되어 있다. 도포헤드(21) 및 액받이부(24)는, 내부식성(耐腐食性)이 있는 스테인리스강 등의 금속 재료로 형성되어 있다. 또한, 도포헤드(21)의 표면(적어도 막형성액 유로면)에는, 세라믹 가공 등의 표면 가공이 되어 있다.

도 5, 6에 도시한 바와 같이, 상측 헤드(22)는, 하측 헤드(23)에 고정되는 고정부재(22A)와, 고정부재(22A)에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 고정되는 이동부재(22B)를 포함하여 구성되어 있다. 기판(2)의 단부를 삽입할 수 있는 간극은, 상측 헤드(22)의 이동부재(22B)와 하측 헤드(23)와의 사이에 형성되고, 고정부재(22A)와 하측 헤드(23)와의 대향면은 밀착시켜 고정되어 있다.

이동부재(22B)의 저면에는, 경사안내부(22a)와, 상측 액류부(22b)와, 상측 흙손부재(흙손부)(22c)와, 상측 스크래이퍼부(제거부)(22d)가 병설되어 있다(인접되게 배설되어 있다). 고정부재(22A)의 저면에는, 상측 액류부(22b)와, 상측 액류부(22b)로부터 고정부재(22A)의 배면(背面)을 연통(連通)하는 액배출홈(22e)과, 하측 헤드(23)에 고정하는 볼트부재(도시하지 않음)를 삽통(揷通)시키기 위한 통공(22f)이 형성되어 있다.

또한, 고정부재(22A)의 배면에는, 막형성액(51)을 공급하는 이음매(22g)의 장착공(22h)이 형성되고, 장착공(22h)은, 내부에 형성된 액공급로(22i)에 접속되고, 액공급로(22i)는, 이동부재(22B)의 상측 액류부(22b)에 형성된 주입공(22j)에 접속되어, 막형성액(51)이 상측 액류부(22b)에 공급되도록 구성되어 있다.

경사안내부(22a)는, 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)와의 간극에 기판(2)의 단부를 안내하기 쉽게 하기 위해 배설되고, 수평면에 대해 30도 전후 경사시킨 구조로 되어 있다.

경사안내부(22a)에 병설된 상측 액류부(22b)는, 이동부재(22B)와 고정부재(22A)에 걸쳐, 즉 이동부재(22B) 정면측 단부에서 고정부재(22A) 중앙 부근에 걸쳐 대략 구형(矩形)의 얕은 홈 형상(溝狀)으로 형성되어 있다.

상측 액류부(22b)에 형성된 주입공(22j)은, 도시하지 않은 나사부재로 개별적으로 마개를 할 수 있도록 되어 있으며, 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭이 좁을 때(3mm~5mm일 때)는, 고정부재(22A) 쪽의 주입공(22j)에 마개(도시하지 않음)를 하고, 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭이 넓을 때(5mm~10mm일 때)는, 2개의 주입공(22j)에 마개를 하지 않고 사용할 수 있어, 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭에 대응하여, 주입량과 주입 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

이동부재(22B)의 상측 액류부(22b) 옆에 오목부(凹部)(22k)가 형성되고, 오목부(22k)의 상측 액류부(22b) 가까이에 상측 흙손부재(22c)가 배설되며, 오목부(22k)의 후단(後端) 벽부가 상측 스크래이퍼부(22d)로서 기능하도록 구성되어 있다.

상측 흙손부재(22c)는, 상측 액류부(22b)에 병설되어, 기판(2)에 부착된 막형성액(51)에 밀착시켜 균일한 막 두께로 도포하는 기능을 가지고, 평면시(平面視) 대략 정방형을 한 판형상 금속부재에 흙손면(22l)과, 볼트(22m)의 장착공(22n)이 형성된 것이며, 이동부재(22B)의 오목부(22k)에 볼트(22m)로 착탈 가능하게 고정되어 있다.

흙손면(22l)에는, 도포헤드(21)의 이동 방향 B와 평행하는 방향으로 복수의 미소 홈(예를 들어, 단면 V자형상 홈)이 형성되어 있다. 미소 홈의 간격이나 깊이는, 사용하는 막형성액(51)의 점도 등의 특성이나 막 두께 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다. 예를 들어, 10μm~50μm 정도의 도막을 형성할 경우, 홈의 중심 간격을 0.2mm~0.3mm 정도로, 홈의 깊이를 0.05mm~0.1mm 정도로 설정한 것을 사용하는 것이 바람직하다.

상측 스크래이퍼부(22d)는, 상측 흙손부재(22c)를 통과시킨 기판(2)에 부착된 여분의 막형성액(51)을 제거하는 기능을 가지며, 오목부(22k) 후단의 벽부를, 도포헤드(21)(이동부재(22B))의 정면과 직교(直交)하는 면에 대해 후방측으로 소정 각도 θ₁(예를 들어, 30도 전후) 경사시킨 형태로 되어 있다. 이 경사에 의해, 기판(2)의 단부 상면으로부터 제거한 막형성액(51)을, 기판(2)의 단면측에 긁어모을 수 있어, 막형성액(51)의 도포 폭을 일정하게 제어할 수 있다. 또한, 상측 스크래이퍼부(22d)를 구성하는 블레이드부(刃部)의 높이는, 상측 액류부(22b)의 둑(土手) 부분의 상면보다도 100μm 정도 낮아지도록(간극이 넓어지도록), 상기 블레이드부의 연삭 가공이 이루어져 있다. 다만, 상기 블레이드부의 높이는, 도막의 두께에 따라 설정할 수 있다.

액배출홈(22e)은, 상측 액류부(22b)의 고정부재(22A) 측의 단부로부터 고정부재(22A)의 배면에 통하도록 형성되어, 상측 액류부(22b)에 공급된 여분의 막형성액(51)이 액배출홈(22e)으로부터 외부로 배출되도록 되어 있다.

또한, 도 3에 도시한 바와 같이, 상측 헤드(22)의 이동부재(22B) 정면에는, 종방향으로 긴 장공(長孔)(22o)이 2개 형성되고, 장공(22o)과 대면하는 고정부재(22A) 측면에, 각각 나사공(도시하지 않음)이 형성되어, 이동부재(22B)가 고정부재(22A)에 볼트(22p)로 고정된다. 장공(22o)에 의해, 이동부재(22B)를 고정부재(22A)에 대해 상하 방향으로 이동시키는 것이 가능하게 되어 있어, 도포하는 기판(2)의 두께에 따른 간극을 형성하도록, 이동부재(22B)의 고정 위치를 상하로 미세 조정할 수 있게 되어 있다.

도 7에 도시한 바와 같이, 하측 헤드(23) 상면에는, 경사안내부(23a)와, 하측 액류부(23b)와, 하측 흙손부재(23c), 하측 스크래이퍼부(23d)가 병설되며, 또한, 상측 헤드(22)의 통공(22f)에 통과시킨 볼트(도시하지 않음)를 고정하기 위한 장착공(23e)이 형성되어 있다. 또한, 하측 헤드(23) 상면에는, 도포헤드(21)를 지지부(25)에 적하(吊下)하기 위한 적하부재(23g)가 입설되고, 하측 헤드(23)의 배면에는, 액받이부(24)를 장착하기 위한 장착공(23h)과, 액배출홈(23f)이 형성되어 있다. 봉상(棒狀)의 적하부재(23g) 상부에는, 연결볼트(26)를 삽착하기 위한 나사홀(23i)이 형성되어 있다.

경사안내부(23a)는, 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)와의 간극에 기판(2)의 단부를 안내하기 쉽게 하기 위해 배설되고, 수평면에 대해 30도 전후 경사시킨 구조로 되어 있다.

경사안내부(23a)에 병설된 하측 액류부(23b)는, 하측 헤드(23)의 정면측 단부로부터 중앙 부근에 걸쳐 대략 구형(矩形)의 얕은 홈 형상으로 형성되고, 상측 액류부(22b)와 대향하는 위치에 동일한 크기로 형성되어 있다.

하측 헤드(23)의 하측 액류부(23b)에 인접하여 구멍부(孔部)(23j)가 형성되고, 구멍부(23j) 하측 액류부(23b) 가까이에 하측 흙손부재(23c)가 배설되며, 구멍부(23j) 후단의 벽부가 하측 스크래이퍼부(23d)로서 기능하도록 구성되어 있다.

하측 흙손부재(23c)는, 하측 액류부(23b)에 병설되어, 기판(2)에 부착된 막형성액(51)에 밀착시켜 균일한 막 두께로 도포하는 기능을 가지고, 세판상(細板狀) 금속부재에 흙손면(23k)과, 볼트(23l)의 장착공(23m)이 형성되어, 하측 헤드(23) 상면에 형성된 오목부(23n)에 볼트(23l)로 착탈 가능하게 고정되어 있다.

흙손면(23k)에는, 도포헤드(21)의 이동방향 B와 평행하는 방향으로 복수의 미소 홈(예를 들어, 단면 V자형상 홈)이 형성되어 있다. 미소 홈의 간격이나 깊이는, 사용하는 막형성액(51)의 점도 등의 특성이나 막 두께 등에 따라 적절하게 설정할 수 있다. 예를 들어, 10μm~50μm 정도의 도막을 형성할 경우, 홈의 중심 간격을 0.2mm~0.3mm 정도, 홈의 깊이를 0.05mm~0.1mm 정도로 설정한 것을 사용하는 것이 바람직하다.

하측 스크래이퍼부(23d)는, 하측 액류부(23b) 및 하측 흙손부재(23c)를 통과시킨 기판(2)에 부착된 여분의 막형성액(51)을 제거하는 기능을 가지고, 구멍부(23j) 후단의 벽부를, 도포헤드(21)(하측 헤드(23)) 정면과 직교하는 면에 대해 후방측으로 소정 각도 θ₂(예를 들어, 30도 전후) 경사시킨 형태로 되어 있다. 이 경사에 의해, 기판(2)의 단부 하면으로부터 제거한 막형성액(51)을, 기판(2)의 단면측으로 긁어모아, 구멍부(23j)로부터 액받이부(24)에 흘러들어가게 할 수 있어, 막형성액(51)의 도포 폭을 일정하게 제어할 수 있다. 또한, 하측 스크래이퍼부(23d)를 구성하는 블레이드부의 높이는, 하측 액류부(23b) 둑 부분의 상면보다도 100μm 정도 낮아지게(간극이 넓어지게), 상기 블레이드부의 연마 가공이 이루어져 있다. 다만, 상기 블레이드부의 높이는, 도막의 두께에 따라 설정할 수 있다.

상측 흙손부재(22c), 상측 스크래이퍼부(22d), 하측 흙손부재(23c), 및 하측 스크래이퍼부(23d)를 포함해 도공부가 형성되어 있다.

액배출홈(23f)은, 하측 헤드(23)의 배면 거의 중앙에 형성되고, 상측 헤드(22)의 액배출홈(22e)으로부터 배출된 막형성액(51)이, 액배출홈(23f)을 통해서 하방의 액받이부(24)에 흘러들어가게 되어 있다.

액받이부(24)는, 평면시 구형의 받침접시(24a)와, 받침접시(24a)의 일측면으로부터 상방으로 연설된 장착판(24b)을 구비하고, 장착판(24b) 상부가, 하측 헤드(23) 배면의 장착공(23h)에, 도시하지 않은 볼트로 장착되어 있다. 받침접시(24a)의 저면에 형성된 회수구(24c)에는 이음매(24d)를 통해 튜브(55)가 접속되어 있다. 받침접시(24a)는, 회수구(24c) 측이 아래가 되도록, 약간 경사시킨 상태로 하측 헤드(23)에 장착되어 있다.

또한, 도포헤드(21)의 퇴피위치(도 10의 A위치)에는, 도포헤드용 보호구(27)가 설치되어 있다. 도 8은, 도포헤드용 보호구(27)의 위치에 도포헤드(21)를 퇴피시킨 상태를 나타낸 평면도이고, 도 9는, 도 8의 C방향에서 본 부분 정면도이다.

도포헤드용 보호구(27)는, 도포장치(1) 내의 도시하지 않은 대부(臺部)에 설치되는 대좌(臺座)(27a)와, 대좌(27a) 위에 입설된 측면이 대략 L자 형상을 한 띠형상판(帶狀板)(27b)과, 띠형상판(27b)의 상부에 장착된 패드유닛(27c)을 포함하여 구성되어 있다. 대좌(27a)의 저면에는, 도시하지 않은 자석이 배설되어 있고, 해당 자석에 의해 상기 대부에 고정되도록 되어 있다.

패드유닛(27c)은, 띠형상판(27b)에 장착되는 띠판 형상(帶板狀)의 장착부(27d)와, 장착부(27d)의 일측변 상부로부터 평면시 대각선 방향으로 연설된 연설편(延設片)(27e)과, 장착부(27d) 상부 및 연설편(27e)에 각각 장착된 패드지지부(保持部)(27f)와, 각 패드지지부(27f)에 지지되는 패드부재(27g)와, 장착부(27d) 하단에 배설된 평면시 구형 받침접시 형상을 한 액받이부(27h)를 포함하여 구성되어 있다.

장착부(27d) 상단부와 연설편(27e)이 이루는 각도 θ₃은, 도포헤드(21) 정면(기판을 삽입하는 면)과 스크래이퍼부(22d, 23d)가 이루는 각도 θ₄와 거의 동일하게 설정되고, 패드부재(27g)가, 도포헤드(21) 정면의 간극 부분과 스크래이퍼부(22d, 23d)의 간극 부분에 접촉되도록 되어 있다.

패드지지부(27f)는, 개구부가 대략 ㄷ자형으로 형성되어 있다. 패드부재(27g)는, 스폰지 등의 흡액성이 있는 다공질체로 구성되고, 패드지지부(27f)에 착탈 가능하게 감입(嵌入; 끼워넣음)되어 있다. 패드부재(27g)는 대략 직방체 형상이기 때문에, 패드지지부(27f)에 감입하는 면을 바꿈으로써, 패드부재(27g) 측면의 4면을 도포헤드(21)와의 접촉면으로 하는 것이 가능하게 되어 있다.

액공급유닛(50)은, 막형성액(51)이 수용되는 액수용부(52)와, 액수용부(52)로부터 튜브(54)를 통해 도포헤드(21)에 막형성액(51)을 공급하는 전동식 펌프(53)와, 액받이부(24)에서 받은 막형성액(51)을 액수용부(52)에 튜브(55)를 통해 이송(회수)하는 전동식 펌프(56)를 포함하여 구성되어 있다. 액공급장치(50)에 의해, 액수용부(52)의 막형성액(51)이, 펌프(53) 및 튜브(54)를 통해 도포헤드(21)의 상측 헤드(22)에 공급되고, 액받이부(24)에서 받은 막형성액(51)이, 튜브(55) 및 펌프(56)를 통해 액수용부(52)에 회수되도록 되어 있다.

막형성액(51)으로서는, 기판처리공정(에칭공정이나 도금공정 등)으로 벗겨지지 않는 특성(산 및/또는 알칼리에 대한 내성)이 있고, 기판 표면으로의 부착성 등이 뛰어나게 복수의 수지 성분이 혼합된 것, 예를 들어, 수(水)계 매체의 용제에 대해, 수성 우레탄수지, 수성 스티렌수지 및 수성 증점제를 포함한 코팅제 등, 목적 용도에 따라 조제된 액제를 사용할 수 있다. 또한, 막형성액(51)을 도포하는 막 두께에 따라 적절히 점도를 조정한다. 예를 들어, 막 두께를 얇게 할 경우에는 점도를 낮추는 것이 바람직하다.

또한, 도 1에 도시한 바와 같이, 도포유닛(20) 후방에 건조로(60)가 배설되어 있다. 도포유닛(20)에 의해 도포된 기판(2)이 반송레일(12) 위에 실려 건조로(60) 내에 반송되고, 소정의 건조 시간이 경과한 후, 건조로(60)로부터 반출되도록 되어 있다.

건조로(60) 내벽면에는 단열재(61)가 배설되고, 건조로(60) 내에는 봉상의 핀히터(62)가 우물정자 모양으로 배설되고, 건조로(60) 내의 내측면에는, 공기를 건조로(60) 내로 보내기 위한 공급공(도시하지 않음)이 소정 간격마다 형성된 공급배관(63)이 주설(周設)되어 있다. 공급배관(63)은, 건조로(60) 외부의 에어펌프(64)에 접속되어 있다.

제어부(70)는, 반송레일(12)의 슬라이드 이동제어, 이동유닛(40)의 XY축 직동제어, 도포유닛(20)의 선회·슬라이드 이동제어, 승강기구(13)에 의한 지지테이블(10)의 승강제어, 흡착제어, 액공급유닛(50)의 펌프(53, 56)의 구동제어, 및 건조로(60)의 온도제어 등, 도포장치(1) 각부의 제어를 실행하는 기능을 가지고 있으며, 마이크로컴퓨터, 드라이버 회로, 기억부 및 전원부 등(모두 도시하지 않음)을 포함하여 구성되어 있다. 다만, 제어부(70)는 하나 또는 복수의 제어유닛으로 구성할 수 있다.

또한, 제어부(70)는, 한 쌍의 도포헤드(21)(상측 헤드(22)와 하측 헤드(23))의 간극에, 지지테이블(10)에 지지된 기판(2)의 단부를 삽입하고, 그 상태에서 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)의 주연부를 따라서 이동시키도록 이동유닛(40)이나 도포유닛(20)의 각부를 구동 제어하는 기능을 가지고 있다.

조작부(80)는, 액정조작패널(81)을 구비하고 있으며, 케이스(도시하지 않음)에 장착되어 있다. 액정조작패널(81)을 통해, 도포장치(1) 각부의 동작조건의 설정, 각부의 작동지시, 동작모드(수동, 자동 등) 전환 등의 각종 조작을 실행하는 것이 가능하게 되어 있다. 조작패널(81)을 통해 입력된 조작신호나 설정신호가 제어부(70) 등으로 송신되도록 되어 있다.

예를 들어, 조작부(80)에서는, 이동유닛(40)의 XY축 직동기구에 의한 도포유닛(20)의 수평 이동속도, 액공급유닛(50)의 펌프(53)에 의한 막형성액(51)의 이송속도 등의 동작조건의 설정, 건조로(60)의 핀히터(62)에 의한 노(爐) 내 온도 설정이나 건조시간 설정 등을 실행할 수 있게 되어 있다.

다음으로, 실시예(1)에 따른 도포장치(1)를 사용한 기판(2) 주연부로의 막형성액(51)의 도포방법에 대해 설명한다. 다만, 피도포 대상으로서, 구형의 박형(수십 μm~수백 μm)의 동장(銅張) 적층기판을 사용한 경우에 대해 설명하지만, 피도포 대상은, 이에 한정되는 것이 아니고, 알루미늄기판 등 다양한 기판을 피도포 대상으로 할 수 있다. 또한, 실시예(1)에 따른 도포장치(1)를 사용한 도포방법은, 기판 제조공정의 한 공정으로서 채용될 수 있다.

우선, 한 쌍의 도포헤드(21)(상측 헤드(22)와 하측 헤드(23))의 간극의 조정 및 설정을 실행한다. 즉, 피도포 대상인 기판(2)의 두께, 도막의 두께 등을 고려하여 결정한 간극 크기(예를 들어, 기판 두께+10μm)에 대응하는 틈새 게이지(도시하지 않음)를 상측 헤드(22)의 이동부재(22B)와 하측 헤드(23)와의 사이에 협지시켜, 볼트(22p)로 이동부재(22B)를 고정부재(22A)에 고정한다. 그 후, 상기 틈새 게이지를 빼내어, 도포헤드(21)의 간극의 조정 및 설정을 완료하고, 연결볼트(26)로 도포헤드(21)를 지지부(25)에 장착한다.

그 후, 반입측으로 이동시킨 반송레일(12) 위의 소정의 위치에 기판(2)을 재치(載置)하고, 조작부(80)를 조작하여, 반송레일(12)을 도포유닛(20) 측으로 슬라이드 이동시킨다.

반송레일(12)이 이동하여 기판(2)이 지지테이블(10) 위의 위치로 실려오면, 반송레일(12)의 이동이 정지하고, 이어서 승강기구(13)가 작동하여, 지지테이블(10)이 상승하여, 지지테이블(10) 위에 기판(2)이 지지되며, 또한 소정의 위치(도포유닛(20)의 한 쌍의 도포헤드(21) 간극의 높이 위치)까지 지지테이블(10)이 상승한다. 또한, 흡착기구(도시하지 않음)도 작동하여, 지지테이블(10) 위에 기판(2)이 흡착된 상태로 지지된다.

다음의 도포 공정은, 한 쌍의 도포헤드(21) 간극에 기판(2)의 단부를 삽입한 상태에서, 한 쌍의 도포헤드(21)의 액류부(상측 액류부(22b)와 하측 액류부(23b))에 막형성액(51)을 공급하면서, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)의 4변의 주연부를 따라서 이동시키는 공정이다.

도 10은, 기판(2)의 주연부를 한 쌍의 도포헤드(21)로 도포하는 공정을 설명하기 위한 도면이다. 도면 속의 파선은, 한 쌍의 도포헤드(21)의 이동 궤적을 나타내고 있다.

도포헤드(21)는, 소정의 퇴피위치인 A위치에, 기판(2)의 단면(우변(2a))의 방향과, 도포헤드(21)의 진행 방향이 일치하도록 설정되어 있다.

우선, 이동유닛(40)의 Y축 실린더(42)를 X축 실린더(41)에 따라서 a방향으로 이동시킴으로써, 한쌍의 도포헤드(21)를 a방향으로 이동시켜, 도 10에 있어서의 기판(2)의 우변(2a)의 주연부에 막형성액(51)을 도포해 나간다.

즉, 펌프(53)를 구동시켜 상측 헤드(22)의 액공급로(22i)에 막형성액(51)을 공급하면서, 기판 우변(2a)의 단부를 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극에 삽입하고, 상측 액류부(22b)와 하측 액류부(23b)에 막형성액(51)을 채운 상태에서 한 쌍의 도포헤드(21)를 이동시킨다. 다만, 도포 시에는, 기판(2)의 단부가 한쌍의 도포헤드(21)의 간극으로부터 빠져 나오지 않도록, 한 쌍의 도포헤드(21)의 위치가 제어되고 있다.

한 쌍의 도포헤드(21)가 B위치(기판(2) 코너부(角部) 앞)에 도달하면, 도포유닛(20)의 선회아암(34)에 배설된 슬라이드기구(35)를 작동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하는 방향(d방향)에 수 mm 정도 슬라이드 이동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하고, 기판 우변(2a)의 도포를 끝낸다. 다만, B위치에서 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하는 것은, 기판 코너부에 막형성액(51)을 2번 칠하는 것을 방지하기 위한 것이지만, B위치에서 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격시키지 않고, 기판 우변(2a) 전체를 도포하는 것도 가능하다.

그 후, 이동유닛(40)의 Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)를 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 C위치까지 이동시킨 후, 슬라이드기구(35)로 슬라이드 이동시킨 한 쌍의 도포헤드(21)를 원래 위치로 되돌리고, 선회기구부(30)의 선회모터(32)를 구동시켜, 회전암(34)을 90도 왼쪽 방향으로 선회시켜, 기판(2)의 단면(상변(2b))의 방향과, 한 쌍의 도포헤드(21)의 진행 방향을 일치시킨다.

그 후, 이동유닛(40)의 Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)를 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 D위치로 설정하고, Y축 슬라이더(43)를 Y축 실린더(42)에 따라 b방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포헤드(21)를 b방향으로 이동시켜, 기판 우변(2a)과 동일한 동작으로 기판 상변(2b)의 주연부에 막형성액(51)을 도포한다.

한 쌍의 도포헤드(21)가 E위치(기판(2) 코너부 앞)에 도달하면, 상기한 B위치에 있어서의 동작과 동일하게, 도포유닛(20)의 선회아암(34)에 배설된 슬라이드기구(35)를 작동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하는 방향으로 수 mm 정도 슬라이드 이동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하고, 기판 상변(2b)의 도포를 끝낸다.

그 후, 이동유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 F위치까지 이동시킨 후, 슬라이드기구(35)로 슬라이드 이동시킨 한 쌍의 도포헤드(21)를 원래 위치로 되돌려, 선회기구부(30)의 선회모터(32)를 구동시키고, 선회아암(34)을 90도 왼쪽 방향으로 선회시켜, 기판(2)의 단면(좌변(2c))의 방향과, 한 쌍의 도포헤드(21)의 진행 방향을 일치시킨다.

그 후, 이동유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 G위치로 설정하고, Y축 실린더(42)를 X축 실린더(41)에 따라 c방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포헤드(21)를 c방향으로 이동시켜, 기판 상변(2b)과 동일한 동작으로 기판 좌변(2c)의 주연부에 막형성액(51)을 도포한다.

한 쌍의 도포헤드(21)가 H위치(기판(2) 코너부 앞)에 도달하면, 상기한 B위치에 있어서의 동작과 동일하게, 도포유닛(20)의 선회아암(34)에 배설된 슬라이드기구(35)를 작동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하는 방향으로 수 mm 정도 슬라이드 이동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하고, 기판 좌변(2c)의 도포를 끝낸다.

그 후, 이동유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 I위치까지 이동시킨 후, 슬라이드기구(35)로 슬라이드 이동시킨 한 쌍의 도포헤드(21)를 원래 위치로 되돌리고, 선회기구부(30)의 선회모터(32)를 구동시켜, 선회아암(34)을 90도 왼쪽 방향으로 선회시켜, 기판(2)의 단면(하변(2d))의 방향과, 도포헤드(21)의 진행 방향을 일치시킨다.

그 후, 이동유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 J위치에 설정하고, Y축 슬라이더(43)를 Y축 실린더(42)를 따라 d방향으로 이동시킴으로써, 한 쌍의 도포 헤드(21)를 d방향으로 이동시켜, 기판 좌변(2c)과 동일한 동작으로 기판 하변(2d)의 주연부에 막형성액(51)을 도포한다.

한 쌍의 도포헤드(21)가 K위치(기판(2) 코너부 앞)에 도달하면, 상기한 B위치에 있어서의 동작과 동일하게, 도포유닛(20)의 선회아암(34)에 배설된 슬라이드기구(35)를 작동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하는 방향으로 수 mm 정도 슬라이드 이동시켜, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)으로부터 이격하여, 기판 하변(2d)의 도포를 끝내고, 그 후, 이동유닛(40)을 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 L위치까지 이동시킨 후, 슬라이드기구(35)로 슬라이드 이동시킨 도포헤드(21)를 원래 위치로 되돌리고, 기판(2) 4변의 도포 작업을 끝낸다.

그리고, 도포유닛(20)의 선회모터(32)를 구동시켜, 기판(2)의 단면(우변(2a)) 방향과, 도포헤드(21)의 진행 방향이 일치하도록 도포헤드(21)를 선회시키고, 이동유닛(40)의 Y축 실린더(42) 및 Y축 슬라이더(43)를 구동시켜 한 쌍의 도포헤드(21)를 A위치로 설정한다.

A위치에는, 도포헤드용 보호구(27)가 설치되어 있다. 도포헤드(21)의 정면(기판(2)이 통과하는 면) 및 스크래이퍼부(22d, 23d)의 간극에 도포헤드용 보호구(27)의 패드부재(27g)가 접촉되어, 상기 간극으로부터의 액의 누출 및 건조를 방지할 수 있도록 되어 있다.

상기한 도포 공정이 끝난 후, 이어서 건조 공정으로 진행한다. 먼저, 도포 종료 후, 승강기구(13)가 작동하여, 지지테이블(10)이 하강하고, 기판(2)이 반송레일(12) 위에 재치된다. 그 후, 반송레일(12)이 건조로(60) 방향으로 슬라이드 이동하고, 소정의 온도로 설정된 건조로(60) 내에 기판(2)이 반송된다. 소정의 건조 시간이 경과하면, 반송레일(12)이 이동하고, 기판(2)이 건조로(60)로부터 반출되어, 건조 공정을 끝낸다.

도 11은, 실시예(1)에 따른 도포장치(1)를 사용하여 도포된 기판(2)의 주연부 부근을 도시한 도면으로서, (a)는 부분 사시도이고, (b)는 (a)에 있어서의 b-b선 단면도이다.

기판(2)의 주연부에는, 수지 성분으로 이루어진 도막(51a)이 액연 형상(단면 및 상하면)으로 형성되어 있다. 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극 설정, 상측 흙손부재(22c) 및 하측 흙손부재(23c)의 흙손면의 홈 형상, 상측 스크래이퍼부(22d) 및 하측 스크래이퍼부(23d)의 블레이드부의 높이 위치, 한 쌍의 도포헤드(21)의 이동 속도, 막형성액(51)의 점도 등을 조정함으로써, 도막(51a)의 건조 후의 막 두께가, 10μm~60μm 정도가 되도록 제어하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 상하면의 도포 폭은, 한 쌍의 도포헤드(21)와 기판(2)의 단부와의 겹침 폭으로 조정할 수 있고, 1mm~10mm 정도로 조정 가능하게 되어 있다.

상기 실시예(1)에 따른 도포장치(1)에 의하면, 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극에, 지지테이블(10)로 지지된 기판(2)의 단부를 삽입한 상태에서, 한 쌍의 도포헤드(21)의 액류부(22b, 23b)에 막형성액(51)을 공급하면서, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)의 주연부를 따라 이동시킬 수 있다. 즉, 액류부(22b, 23b)에 모인 막형성액(51)에 기판(2)의 단부를 통과시킨 후, 기판(2)의 단부에 부착된 막형성액(51)을 도공부인 흙손부재(22c, 23c) 및 스크래이퍼부(22d, 23d)로 박막상으로 도공하면서, 한 쌍의 도포헤드(21)를 기판(2)의 주연부를 따라서 이동시킬 수 있다.

또한, 액류부(22b, 23b)에 모인 막형성액(51)에 기판(2)의 단부를 통과하도록 구성되어 있기 때문에, 펌프(53)의 맥동(脈動) 등에 의한 공급량의 변동에 기인하는 영향을 받지 않고 기판(2)의 단부에 막형성액(51)을 충분히 부착시킬 수 있고, 기판(2)의 단부에 막형성액(51)을 얼룩없이 부착시킨 상태에서, 흙손부재(22c, 23c)에 의해 얇고 균일한 막 두께로 고른 후, 스크래이퍼부(22d, 23d)로, 필요 이상으로 부착된 막형성액을 제거할 수 있다.

따라서, 기판(2)의 주연부의 상하면 및 기판(2)의 단면(측면)에 막형성액(51)을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있다. 또한, 막 두께 변동 등의 도막 품질이 고른 도포를 계속해서 실행할 수 있어, 기판(2)의 주연부에 액연 형상의 균질한 도막을 정밀도 좋게 형성할 수 있다. 따라서, 기판(2)의 단면 부분의 붕괴로 인한 진애의 발생을 방지할 수 있는 동시에, 기판(2)의 주연부를 도막에 의해 보강할 수 있고, 후공정에 있어서의 기판(2)의 취급성을 높일 수 있어, 기판(2)의 불량품 발생률을 저하시킬 수 있다.

또한, 산이나 알칼리에 내성이 있는 막형성액(51)을 사용함으로써, 기판처리공정(에칭공정이나 도금공정 등)에 있어서의 작업성의 향상이나 비용 절감을 도모할 수 있다. 예를 들어, 도금 내성을 구비한 막형성액(51)을 사용함으로써, 기판(2)의 주연부에 도금이 부착되는 것을 방지할 수 있고, 기판 주연부의 마스킹을 실행할 수 있어, 마스킹 작업 효율의 향상을 도모할 수 있다.

또한, 도포장치(1)에 의하면, 선회기구부(30)에 의해 한 쌍의 도포헤드(21)를 선회시킬 수 있기 때문에, 구형 기판(2)의 주연부에 막형성액(51)을 도포할 경우, 기판(2)의 단면에 대한 한 쌍의 도포헤드(21)의 방향을 기판(2)의 각 변 모두 같은 방향으로 설정할 수 있어, 기판(2)의 각 변 모두 동일한 상태로 안정된 도포를 실행할 수 있다.

또한, 슬라이드기구(35)에 의해 한 쌍의 도포헤드(21)를 선회기구부(30)에 대해 수평 방향으로 슬라이드 이동시킬 수 있다. 따라서, 한 쌍의 도포헤드(21) 위치의 미세조정, 예를 들어, 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극에 삽입하는 기판(2) 단부 폭의 미세조정 등, 기판(2)의 단면에 대한 한 쌍의 도포헤드(21)의 위치 제어를 보다 고정도로 실행할 수 있다.

또한, 도포헤드(21) 아래에 액받이부(24)가 배설되어 있기 때문에, 도포헤드(21)로부터 누출된 막형성액(51)이 액받이부(24)에서 받아지고, 받침접시(24a)에 모인 막형성액(51)은, 튜브(55)를 통해서 액수용부(52)에 회수되기 때문에, 막형성액(51)을 순환시켜 반복해서 사용할 수 있어, 막형성액(51)을 낭비없이 사용할 수 있다.

또한, 한 쌍의 도포헤드(21)의 퇴피위치에 도포헤드용 보호구(27)가 설치되어 있기 때문에, 퇴피위치에 있어서, 도포헤드용 보호구(27)의 패드부재(27g)에 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극 부분을 접촉시킬 수 있다. 따라서, 한 쌍의 도포헤드(21)의 간극 부분에서 막형성액(51)의 건조나 액막힘이 발생하는 것을 방지할 수 있어, 기판(2)으로의 도포를 계속해서 실행할 수 있다.

또한 도포장치(1)는, 건조로(60)를 구비하고 있기 때문에, 건조로(60)에 의해, 막형성액(51)을 도포한 후 바로 막형성액(51)을 건조시킬 수 있어, 그 후의 작업성을 향상시킬 수 있으며, 또한 막형성액(51)의 벗겨짐 등의 도포 불량을 방지하는 효과를 향상시킬 수 있다. 다만, 도포장치(1)로 대응할 수 있는 피도포 대상이 되는 기판의 종류는 특별히 한정되지 않지만, 두께 수백 μm~수십 μm 정도의 박판상 또는 필름상의 각종 재질로 구성되는 기판에 아주 적절하게 적용할 수 있다.

다만, 실시예(1)에 따른 도포장치(1)로는, 이동유닛(40)이, X축 실린더(41), Y축 실린더(42), Y축 슬라이더(43), 및 지지가이드(44)를 포함한 2축(XY축) 직동기구로 구성되어 있는 형태에 대해 설명했지만, 이동유닛(40)의 형태는, 이 형태로 한정되는 것이 아니고, 다른 실시예에 따른 도포장치로는, 예를 들어, XY축 로봇식 직동기구, 또는 다관절식 로봇기구 등을 구비한 각종의 이동유닛(이동수단)을 채용할 수 있다.

또한, 상기 실시예(1)에 따른 도포방법에 의하면, 기판 제조공정에 있어서, 기판(2)의 주연부의 상하면 및 상기 기판의 단면(측면)에 막형성액(51)을 얇고 또한 균일하게 도포할 수 있어, 기판(2)의 주연부에 액연 형상의 도막을 정밀도 좋게 형성할 수 있다. 따라서, 기판 제조 공정에 있어서 기판(2)의 단면 부분의 붕괴로 인한 진애의 발생을 방지할 수 있는 동시에 기판(2)의 주연부를 도막으로 보강할 수 있어, 후공정에서의 기판(2)의 취급성을 향상시킬 수 있고, 기판의 불량품 발생률을 저하시킬 수 있다.

다만, 상기 실시예(1)에 따른 도포헤드(21)로는, 상측 헤드(22)의 이동부재(22B)가 고정부재(22A)에 대해 상하 방향으로 이동 가능하게 구성되어 있었지만, 상측 헤드(22)의 구성은, 이 형태로 한정되는 것이 아니고, 고정부재(22A)에 대해 이동부재(22B)를 고착한 구성으로 할 수도 있다. 또한, 도 12에 도시한 구조를 채용할 수도 있다.

도 12는, 다른 실시예에 따른 도포헤드를 구성하는 상측 헤드(22C)의 구조를 도시한 도면으로서, (a)는 저면도이고, (b)는 평면도이다. 다만, 상기한 실시예(1)에 따른 도포헤드(21)의 상측 헤드(22)와 동일한 기능을 가지는 구성 부품에는 동일 부호를 붙이고, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

다른 실시예에 따른 도포헤드의 상측 헤드(22C)는, 고정부재(22D)와, 2개의 이동부재(22E, 22F)를 포함하여 구성되고, 고정부재(22D)에 대해, 2개의 이동부재(22E, 22F)를 개별적으로 상하 방향으로 이동시켜 고정하는 것이 가능한 구성으로 되어 있다.

고정부재(22D)의 저면에는, 경사안내부(22a)와, 상측 액류부(22b)가 형성되고, 고정부재(22D)의 상측 액류부(22b)에 병설된 일방의 이동부재(22E)의 저면에는, 상측 흙손부(22q)가 형성되고, 이동부재(22E)에 병설된 타방의 이동부재(22F)의 저면에는, 상측 스크래이퍼부(22r)가 형성되어 있다.

상측 흙손부(22q)가 형성된 이동부재(22E)는, 고정부재(22D)에 볼트(22s)로 상하 방향으로 이동 가능하게 고정되고, 상측 스크래이퍼부(22r)가 형성된 이동부재(22F)는, 이동부재(22E)에 볼트(22t)로 상하 방향으로 이동 가능하게 고정되어 있다. 상측 헤드(22C)에 대응하는 하측 헤드에는, 상기한 하측 헤드(23)와 동일한 구성의 것이 채용될 수 있다.

상기한 다른 실시예에 따른 도포헤드에 의하면, 상측 헤드(22C)가, 고정부재(22D)와, 2개의 이동부재(22E, 22F)를 구비하고 있기 때문에, 고정부재(22D)에 대해, 상측 흙손부(22q)를 가지는 이동부재(22E)와, 상측 스크래이퍼부(22r)를 가지는 이동부재(22F)를 개별적으로 상하 방향으로 이동시켜 고정할 수 있다. 따라서, 도포하는 기판(2)의 두께나 도막의 두께에 대응하여, 이동부재(22E)와, 이동부재(22F)와의 높이 위치를 개별적으로 조정할 수 있어, 다양한 두께의 기판에 대해, 다양한 막 두께의 도포를 실행하는 것이 가능하게 된다.

또한, 상기 실시예(1)에 따른 도포헤드(21)에서는, 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)와의 간극이, 도포하는 기판에 대응하여 미리 고정되어 있지만, 다른 실시예에서는, 조작부(80)를 통해 제어부(70)에, 도포하는 기판의 두께 등의 조건을 입력하고, 기판(2)으로의 삽입 타이밍에 맞추어, 상측 헤드(22)와 하측 헤드(23)와의 사이에 소정의 간극(입력된 기판의 두께에 대응한 간극)이 형성되도록, 도포헤드(21)에 상측 헤드(22)의 이동부재(22B)를 승강시키는 기구를 배설하고, 기계적으로 상측 헤드(22)의 이동부재(22B)를 상하 이동시켜, 상기 간극을 형성하는 간극 개폐식 기구를 채용할 수도 있다.

도 13은, 실시예(2)에 따른 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 평면도이고, 도 14는, 도포장치의 내부 기구를 나타내기 위해 케이스를 생략하여 도시한 측면도이다. 다만, 도 1∼9에 도시한 실시예(1)에 따른 도포장치와 동일한 기능을 가지는 구성 부품에는 동일 부호를 붙이고, 여기에서는 그 설명을 생략하기로 한다.

실시예(1)에 따른 도포장치(1)에서는, 도포유닛(20)이 하나 배설되어 있는 형태, 즉 하나의 도포유닛(20)으로 기판(2)의 4변을 도포하는 형태에 대해 설명했다. 실시예(2)에 따른 도포장치(1A)에서는, 도포유닛이 복수 배설되며, 구체적으로는, 4대의 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)이 지지테이블(10A) 주위에 배설되어, 기판(2)의 4변이 4대의 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)에 의해 동시 병행하여 도포되는 형태로 되어 있다.

도포장치(1A)는, 위치결정부(90), 도포부(200), 및 건조부(600)를 구비하고 있다.

위치결정부(90)는, 도포부(200)의 지지테이블(10A) 위에 기판(2)을 이재(移載)하기 전단(前段)에서 기판(2)의 위치결정을 실행하기 위해 배설되어 있다. 위치결정부(90)는, 기판(2)을 소정 위치까지 반송하는 컨베이어부(91)와, 소정 위치까지 반송되어 온 기판(2)의 위치결정(위치 조정)을 실행하는 위치결정 가이드부(92)를 구비하고 있다.

위치결정부(90)에 있어서의 기판(2)의 위치결정 공정은, 컨베이어부(91)로 기판(2)을 소정 위치까지 반송(반입)한 후, 컨베이어부(91)의 롤러(91a) 사이에 승강 가능하게 배설된 기판승강부(91b)로 기판(2)을 롤러(91a)로부터 일단 들어올린 상태로 한다. 그 후, 컨베이어부(91)의 양측에 배설된 위치결정 가이드부(92)를, 기판(2)을 협지하는 방향으로 이동시키고, 위치결정 가이드부(92)로 기판(2)을 협지하여, 기판(2)을 소정 위치에 위치결정 배치하고 종료한다. 위치결정 가이드부(92)의 내측면에는, 기판(2)을 손상시키지 않고 파지(把持)하기 위한 부재가 배설되어 있다.

위치결정부(90)로 위치결정된 기판(2)은, 복수의 흡착지지구(305)를 구비한 기판이재부(300)에 의해, 위치결정부(90)로부터 지지테이블(10A)로 이재되고, 흡착지지구(305)에 기판(2)이 흡착 지지된 상태로 지지테이블(10A) 위에 재치되게 되어 있다.

도포부(200)는, 기판(2)을 지지하는 지지테이블(10A)과, 지지테이블(10A) 주위에 배설된 4대의 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)과, 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)을 지지테이블(10A)의 변을 따라 각각 이동시키는 4대의 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)을 구비하고 있다. 각 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)에는, 상측 헤드(22G) 및 하측 헤드(23A)를 구비한 한 쌍의 도포헤드(21A)가 장비되어 있다.

또한, 도포부(200)에는, 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)의 각 도포헤드(21A)에 수지 성분을 포함한 막형성액(51)을 공급하는 액공급유닛(50A, 50B, 50C, 50D)이 장비되어 있다.

건조부(600)는, 도포부(200)로부터 이송되어 온 기판(2)을 반송하는 컨베이어부(12A)와, 기판(2)에 도포된 막형성액(51)의 건조를 실행하는 건조로(60A)를 구비하고 있다. 건조로(60A)는, 도 1에 도시한 건조로(60)와 동일한 기능을 구비하고 있다. 컨베이어부(12A)에는, 예를 들어, 슬랫컨베이어가 채용되어, 기판(2)을 슬랫(널빤지) 위에 재치했을 때, 기판(2)의 주연부가 슬랫에 닿지 않도록, 각 슬랫의 폭 및 간격이 설정되어 있다.

또한, 도포장치(1A)는, 위치결정부(90), 도포부(200), 기판이재부(300), 건조부(600) 등의 장치 각부의 구동을 제어하는 제어부(70A)와, 각부를 조작하기 위한 조작부(80A)를 구비하고 있다.

기판이재부(300)는, 기판(2)을 위치결정부(90)로부터 도포부(200)로 이재함과 동시에 도포부(200)로부터 건조부(900)로 이송하는 기능을 구비하고 있다. 기판이재부(300)는, 제1 기판지지부(301)와, 제2 기판지지부(302)와, 제1 기판지지부(301) 및 제2 기판지지부(302)를 기판 반송 방향으로 왕복 이동시키는 수평이동기구(303)와, 제1 기판지지부(301) 및 제2 기판지지부(302)를 수직 방향으로 왕복 이동시키는 수직이동기구(304)를 구비하고 있다. 또한, 제1 기판지지부(301) 및 제2 기판지지부(302)에는, 기판(2)을 흡착 지지하는 흡착지지구(305)가 배설되어 있다. 흡착지지구(305)는, 흡착 노즐 등으로 구성되며, 도시하지 않은 에어튜브를 통해 진공펌프에 연결되어 있다.

제1 기판지지부(301) 및 제2 기판지지부(302)는, 수평이동기구(303) 및 수직이동기구(304)에 의해, 위치결정부(90)로부터 기판(2)을 지지테이블(10A)로 이재하는 동작과, 기판(2)을 지지테이블(10A)로부터 건조부(600)로 이송하는 동작이 병행하여 실행되도록 구성되어 있다.

다음은 도포부(200)의 구성에 대해 설명한다. 지지테이블(10A)은, 대부(臺部)(3)에 지주(4)로 지지되어 있다. 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)은, 지지테이블(10A)을 둘러싸는 양태로 배설되어 있다. 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)은, 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)을 2축(XY축) 방향으로 수평 이동시키는 2축(XY축) 직동기구로 구성되어 있다.

이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)은, 지지테이블(10A)의 변과 평행하게 배설된 X축 실린더(46)와, X축 실린더(46) 위를 슬라이드 이동하는 X축 슬라이더(47)와, X축 슬라이더(47)에 장착된 Y축 실린더(48)와, Y축 실린더(48) 위를 슬라이드 이동하는 Y축 슬라이더(49)를 각각 구비하고 있다. 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)의 Y축 슬라이더(49)에 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)이 각각 장착되어 있다. X축 슬라이더(47) 및 Y축 슬라이더(49)의 동작은 제어부(70A)에 의해 제어된다.

도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)은, Y축 슬라이더(49)에 장착된 도포헤드 장착부재(37)와, 도포헤드 장착부재(37)에 장착된 도포헤드(21A)를 각각 구비하고 있다.

다음으로, 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)에 각각 배설된 도포헤드(21A)에 대해 설명한다. 도 15는, 도 14에 있어서의 화살표 A1방향에서 본 도포헤드(21A)의 정면도이고, 도 16은, 도 15에 있어서의 XVI-XVI선 단면도이며, 도 17은, 도 15에 있어서의 XVII-XVII선 단면도이다. 도 18은, 도 15에 있어서의 XVIII-XVIII선 단면도이고, 상측 헤드의 저면(하측 헤드와의 대향면)을 나타내며, 도 19는, 상측 헤드의 분해 저면도이다. 도 20은, 상측 헤드의 분해 정면도이다. 또한, 도 21은, 도 15에 있어서의 XXI-XXI선 단면도이며, 하측 헤드의 상면(상측 헤드와의 대향면)을 나타내고 있다. 다만, 도 15, 도 21에 나타낸 화살표 B1은, 도포헤드(21A)의 이동 방향을 나타내고 있다.

한 쌍의 도포헤드(21A)는, 기판(2)의 단부를 삽입할 수 있는 간극을 두고 상하로 대향 배치되는 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)를 포함하여 구성되어 있다. 도포헤드(21A) 아래에 액받이부(24A)가 배설되어 있다. 도포헤드(21A) 및 액받이부(24A)는, 내부식성이 있는 스테인리스강 등의 금속재료로 형성되어 있다. 다만, 하측 헤드(23A) 및 액받이부(24A)의 구성은, 도 7에 도시한 하측 헤드(23) 및 액받이부(24)와 거의 동일하기 때문에, 동일한 기능을 가지는 구성 부품에는 동일 부호를 붙이고, 여기에서는 그 설명을 생략한다.

또한, 도포헤드(21A)의 표면(적어도 막형성액 유로면)에는, 세라믹 가공 등의 표면 가공이 되어 있다. 이 표면 가공에 의해, 도포 시에 도포헤드(21A)로의 막형성액(51)의 고착 방지 효과가 향상되며, 또한 도포 후에, 도포헤드(21A)로부터 막형성액(51)의 박리나 세정 작업을 용이하게 할 수 있어, 유지보수성을 향상시키는 것이 가능하게 되어 있다.

상측 헤드(22G)는, 도(18, 19, 20)에 도시한 바와 같이, 하측 헤드(23A)에 고정되는 고정부재(22H)와, 고정부재(22H)에 대해 상하 방향으로 위치 조정(슬라이드 이동) 가능하게 장착되는 이동부재(22I)를 포함하여 구성되어 있다.

이동부재(22I)는, 제1 부재(22J)와 제2 부재(22K)를 구비하고 있다. 제1 부재(22J)는, 고정부재(22H)에 대해 상하 방향으로 위치 조정(슬라이드 이동) 가능하게 장착되어 있다. 제2 부재(22K)는, 부세 수단으로서의 판스프링부재(28e)(도 16 참조)에 의해 하방향으로 부세(가압)된 상태에서 제1 부재(22J)에 장착되어 있다. 제1 부재(22J)와 제2 부재(22K)와의 사이에는 대략 오목형상(凹形狀)의 와셔부재(금속판)(22L)가 배설되어 있다.

제2 부재(22K)의 저면에는, 경사안내부(28a), 상측 액류부(28b), 상측 흙손부재(흙손부)(28c), 및 상측 스크래이퍼부(제거부)(28d)가 병설되어 있다. 상측 스크래이퍼부(28d)가 형성된 쪽에, 판스프링부재(28e)에 의해 부세(가압)되는 가압부(28f)가 연설되어 있다. 가압부(28f)의 평면(상면)에는, 판스프링부재(28e)에 의해 가압되는 돌기부(28g)(도 16 참조)가 형성되어 있다. 돌기부(28g)는, 나사 부재로 구성되어, 나착량에 의해 돌기부(28g)의 높이 조절을 실행하는 것이 가능하게 되어 있다. 돌기부(28g)의 높이 조정에 의해, 판스프링부재(28e)에 의한 가압력, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극을 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

제1 부재(22J)의 저면에는, 상측 액류부(28h)와, 적하부재(23g)를 통과시키기 위한 통공(28i)이 형성되며, 통공(28i)이 형성된 쪽에 판스프링 장착부(28j)가 연설(굴곡형성)되어 있다. 판스프링 장착부(28j) 평면(상면)에, 판스프링부재(28e)의 일단부가 나사부재(28k)(도 16 참조)로 장착되고, 판스프링부재(28e)의 타단(他端)이, 제2 부재(22K)의 가압부(28f)의 돌기부(28g)를 가압하도록 구성되어 있다. 판스프링부재(28e)의 스프링상수는, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극, 기판(2)의 두께, 도막의 두께 등을 고려하여, 원하는 도막이 형성될 수 있도록 적절하게 설정된다.

고정부재(22H) 저면 거의 중앙부에는, 고정부재(22H) 정면측으로부터 배면측으로 통하는 액배출홈(28l)이 형성되고, 고정부재(22H) 양단부에 통공(28m)이 형성되어 있다. 통공(28m)에 볼트(28n)가 삽착되어, 볼트(28n)에 의해 고정부재(22H)가 하측 헤드(23A)에 고정된다.

도 20에 도시한 바와 같이, 고정부재(22H)의 정면 거의 중앙부에는, 막형성액(51)을 제2 부재(22K)에 공급하기 위한 관상(管狀)의 연결부재(28o)(도 17 참조)가 배치되는 오목부(28p)가 형성되어 있다. 고정부재의 정면(제1 부재(22J)와의 대면)에는, 상하 방향에 볼록부(28q)가 형성되고, 볼록부(28q)의 높이 방향 중앙부에 볼트홀(29a)이 형성되며, 또한 오목부(28p)를 넘은 쪽의 정면 상부에 볼트홀(29b)이 형성되어 있다.

제1 부재(22J)의 정면 거의 중앙부에는, 접속부재(28o)가 배치되는 오목부(28r)가 형성되어 있다. 또한, 제1 부재(22J)의 배면(고정부재(22H)와의 대면)에는, 고정부재(22H)의 볼록부(28q)와 감합(끼움)시키는 홈부(28s)가 형성되어 있다. 홈부(28s)의 높이 방향 중앙부에 종장(縱長; 세로로 긴)의 장공(29c)이, 고정부재(22H)의 볼트홀(29a)과 대면하는 위치에 형성되어 있다. 장공(29c) 위에 볼트장착홀(29d)이 형성되며, 또한 오목부(28r)를 넘은 쪽 상부에 종장의 장공(29e)이, 고정부재(22H)의 볼트홀(29b)과 대면하는 위치에 형성되어 있다.

제2 부재(22K)의 배면측에는, 접속부재(28o)의 선단부가 삽착되는 삽착부(28t)가 형성되어 있다. 삽착부(28t)는, 제2 부재(22K)의 내부에 형성된 액공급로(28u)에 접속되고, 액공급로(28u)는, 상측 액류부(28b)에 형성된 주입공(28v)에 접속되어 있다. 액공급로(28u) 및 주입공(28v)을 통해, 막형성액(51)이 상측 액류부(28b)에 공급되도록 되어 있다.

또한, 제2 부재(22K) 정면에는, 경사안내부(28a) 상방에 형성된 종장의 장공(29f)이, 제1 부재(22J)의 장공(29c)과 대면하는 위치에 형성되고, 상측 흙손부재(28c) 상방에 형성된 종장의 장공(29h)이, 제1 부재(22J)의 장공(29e)과 대면하는 위치에 형성되어 있다. 또한, 장공(29f) 위에 볼트장착공(29g)이 제1 부재(22J)의 볼트장착홀(29d)과 대면하는 위치에 형성되어 있다.

와셔부재(22L) 정면 좌우 2개소에, 볼트삽통공(29i, 29j)이 제1 부재(22J)의 장공(29c, 29e)과 대면하는 위치에 형성되어 있다.

제2 부재(22K)의 경사안내부(28a)는, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극에 기판(2)의 단부를 안내하기 쉽게 하기 위해 배설되고, 수평면에 대해 30도 전후 하방으로 경사시킨 구조로 되어 있다.

경사안내부(28a)에 병설된 상측 액류부(28b)는 얕은 홈 형상으로 형성되어, 제1 부재(22J)의 상측 액류부(28h)와 연결되도록 형성되어 있다. 상측 액류부(28b)에 형성된 주입공(22v)은, 도시하지 않은 나사 부재로 개별적으로 마개를 할 수 있다. 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭이 좁을 때(3mm~5mm일 때)는, 제1 부재(22J) 가까운 쪽 주입공(22v)에 마개(도시하지 않음)를 하고, 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭이 넓을 때(5mm~10mm일 때)는, 2개의 주입공(22v)에 마개를 하지 않고 사용할 수 있다. 이 구조에 의해, 기판(2)의 단부에 도포하는 액막의 폭에 대응하여, 주입량과 주입 위치를 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.

제2 부재(22K)의 상측 액류부(28b) 옆에 오목부(28w)가 형성되고, 오목부(28w)의 상측 액류부(28b) 가까운 쪽에 상측 흙손부재(28c)가 배설되어, 오목부(28w) 후단의 벽부가 상측 스크래이퍼부(28d)로서 기능하도록 구성되어 있다.

상측 흙손부재(28c)는, 상측 액류부(28b)에 병설되어, 기판(2)에 부착된 막형성액(51)에 밀착시켜 균일한 막 두께로 도포하는 기능을 가지며, 평면시 대략 정방형을 한 판형상 금속부재에 흙손면(28x)과, 볼트(28y)의 장착공(28z)이 형성되어, 제2 부재(22K)의 오목부(28w)에 볼트(28y)로 착탈 가능하게 되어 있다. 흙손면(28x)은, 평탄면으로 형성되어 있지만, 도포헤드(21A)의 이동 방향 B1과 평행하는 방향으로 복수의 미소 홈(예를 들어, 단면 V자상 홈)이 형성된 것을 적용할 수 있다.

상측 스크래이퍼부(28d)는, 상측 흙손부재(28c)를 통과시킨 기판(2)에 부착된 여분의 막형성액(51)을 제거하는 기능을 가지며, 오목부(28w) 후단의 벽부를, 도포헤드(21A)(제2 부재(22K)) 정면과 직교하는 면에 대해 후방측으로 소정 각도 θ₁(예를 들어, 30도 전후) 경사시킨 형태로 되어 있다. 또한, 상측 스크래이퍼부(28d)를 구성하는 블레이드부의 높이는, 상측 액류부(28b)의 둑 부분의 상면보다도 100μm 정도 낮아지도록(간극이 넓어지도록), 상기 블레이드부의 연삭 가공이 이루어져 있다. 다만, 상기 블레이드부의 높이는, 도막의 두께에 대응해 설정할 수 있다.

상기한 상측 헤드(22G) 각부의 장착 구조는, 제2 부재(22K)가 제1 부재(22J)에 볼트(29k)로 축착(軸着)되어, 제1 부재(22J)가 고정부재(22H)에 볼트(29l, 29m)로 고정되는 구조로 되어 있다.

제2 부재(22K)를 제1 부재(22J)에 장착하는 절차는, 제2 부재(22K)의 볼트장착공(29g)에 정면측으로부터 볼트(예를 들어, 두부와 원주상 동부(胴部)와 선단 나사부를 구비한 바깥나사식 스트리퍼볼트)(29k)를 삽입하여, 볼트(29k)의 선단 나사부를 제1 부재(22J)의 볼트 장착홀(29d)에 나착(螺着)한다.

제1 부재(22J)를 고정부재(22H)에 장착하는 절차는, 제2 부재(22K)와 제1 부재(22J)와의 사이(제1 부재(22J) 정면측)에 와셔부재(22L)를 배설하고, 볼트(29l)를, 제2 부재(22K)의 장공(29f), 와셔부재(22L)의 통공(29i), 및 제1 부재(22J)의 장공(29c)에 삽통하여, 제1 부재(22J)의 홈부(28s)에 고정부재(22H)의 볼록부(28q)를 감합(嵌合) 상태에서, 볼트(29l)의 선단부를 고정부재(22H)의 볼트홀(29a)에 가볍게 나착한다. 이어서 볼트(29m)를, 제2 부재(22K)의 장공(29h), 와셔부재(22L)의 통공(29j), 및 제1 부재(22J)의 장공(29e)에 삽통하여, 볼트(29m)의 선단부를 고정부재(22H)의 볼트홀(29b)에 가볍게 나착한다.

다음으로, 고정부재(22H)에 대한 제1 부재(22J)(이동부재(22I))의 장착 위치를 결정하고(다만, 위치 조정량은, 장공(29c, 29e)의 길이로 규제된다), 위치결정 후, 볼트(29l, 29m)를 더욱 나착하여, 제1 부재(22J)(이동부재(22I))를 고정부재(22H)에 고정한다. 와셔부재(22L)를 배설함으로써, 제1 부재(22J)를 고정부재(22H)에 볼트(29l, 29m)로 고정할 때, 제1 부재(22J)의 위치 오차의 발생을 방지할 수 있다.

상기한 상측 헤드(22G)의 조립 구조에 의하면, 제1 부재(22J)의 장공(29c, 29e)에 의해, 이동부재(22I)(제1 부재(22J) 및 제2 부재(22K))를 고정부재(22H)에 대해 상하 방향으로 이동시킬 수 있어, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극의 조정이 가능하게 되어 있다.

또한, 제2 부재(22K)는, 제1 부재(22J)에 볼트(29k)로 축착(회동 가능하게 축지(軸支))되어, 장공(29f, 29h) 상부에 볼트(29l, 29m)의 두부가 각각 위치하고, 가압부(28f)가 판스프링부재(28e)에 의해 하방으로 부세된 상태(바꾸어 말하면, 제2 부재(22K)의 하단면이, 상측 액류부(28b)로부터 상측 스크래이퍼부(28d)를 향해 약간 하방으로 경사져 있는 상태)로 되어 있다.

따라서, 볼트(29k)를 지점으로, 장공(29f, 29h)에 의해 규제되는 범위에 있어서, 제2 부재(22K)를 판스프링부재(28e)의 부세력에 대항하여(상방향으로) 회동시킬 수 있기 때문에, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극 크기에 일정한 폭을 유지할 수 있어, 두께가 다른 기판에도 대응시킬 수 있다.

하측 헤드(23A)는, 도 21에 도시한 바와 같이, 상면에 경사안내부(23a)와, 하측 액류부(23b)와, 하측 흙손부재(23c), 하측 스크래이퍼부(23d)가 병설되어 있다. 또한, 하측 헤드(23A) 상면에는, 고정부재(22H)의 통공(28m)에 삽통한 볼트(28n)를 고정하기 위한 장착공(23e)이 형성되며, 또한 하측 헤드(23A) 상면에는, 도포헤드(21A)를 장착부재(37)에 적하하기 위한 적하부재(23g)가 입설되어 있다. 또한, 하측 헤드(23A) 배면에는, 액받이부(24A)를 장착하기 위한 장착공(23h)과, 액배출홈(23f)이 형성되어 있다. 봉상의 적하부재(23g) 상부에는, 연결볼트(26)(도 14 참조)를 삽착하기 위한 나사홈(23i)이 형성되어 있다.

액받이부(24A)는, 평면시 구형의 받침접시(24a)와, 받침접시(24a)의 일측면으로부터 상방으로 연설된 장착판(24b)을 구비하고, 장착판(24b) 상부가, 하측 헤드(23A) 배면의 장착공(23h)에, 도시하지 않은 볼트 등으로 장착되어 있다. 받침접시(24a) 저면에 형성된 회수구(24c)에는, 이음매(24d)를 통해 튜브(55)가 접속되어 있다. 받침접시(24a)는, 회수구(24c) 쪽이 아래가 되도록, 약간 경사시킨 상태에서 하측 헤드(23)에 장착되어 있다.

또한, 각 도포헤드(21A)의 퇴피위치에는, 도포헤드용 보호구(27A)가 각각 배치되어 있다. 도포헤드용 보호구(27A)의 요부(要部)는, 도 8, 9에 도시한 형태와 대략 동일하기 때문에, 여기에서는 그 설명을 생략하지만, 도포헤드용 보호구(27A)는, 승강기구(27i)(도 14 참조)에 의해, 도포시는 지지테이블(10A) 하방으로 하강하고, 퇴피시에 도포헤드(21A) 위치까지 상승하여, 패드유닛(27c)의 패드부재(27g)가, 도포헤드(21A) 정면의 간극 부분과 스크래이퍼부(28d, 23d)의 간극 부분에 접촉되도록 되어 있다.

액공급유닛(50A, 50B, 50C, 50D)은, 막형성액(51)이 수용되는 액수용부(52)와, 액수용부(52)로부터 튜브(54)를 통해 각 도포헤드(21A)에 막형성액(51)을 공급하는 전동식 펌프(53)와, 각 액받이부(24A)에서 받은 막형성액(51)을 액수용부(52)에 튜브(55)를 통해 이송(회수)하는 전동식 펌프(56)를 포함하여 구성되어 있다. 액공급유닛(50A, 50B, 50C, 50D)에 의해, 액수용부(52)의 막형성액(51)이, 펌프(53) 및 튜브(54)를 통해 각 도포헤드(21A)의 상측 헤드(22G)에 공급되고, 각 액받이부(24A)에서 받은 막형성액(51)이, 튜브(55) 및 펌프(56)를 통해 액수용부(52)에 회수되도록 되어 있다.

또한, 각 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)에 의해 도포된 기판(2)은, 기판이재부(300)에 의해 컨베이어부(12A) 위에 이송되고, 그 후 건조로(60A) 내에 반송되어, 소정의 건조 시간이 경과한 후, 건조로(60A)로부터 반출되도록 되어 있다. 건조로(60A)에는, 건조로(60)와 동일한 구성의 것이 채용될 수 있다.

제어부(70A)는, 위치결정부(90)에 있어서의 반송·위치결정제어, 기판이재부(300)에 의한 기판(2)의 이재제어, 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)의 XY축 직동제어, 액공급유닛(50A, 50B, 50C, 50D)의 펌프(53,56)의 구동제어, 및 건조로(60A)의 온도제어 등, 도포장치(1A) 각부의 제어를 실행하는 기능을 가지고 있으며, 마이크로컴퓨터, 드라이버회로, 기억부 및 전원부 등(모두 도시하지 않음)을 포함하여 구성되어 있다. 다만, 제어부(70A)는 하나 또는 복수의 제어유닛(예를 들어, 반입·위치결정제어용, 도포부제어용, 건조로용 등)으로 구성할 수 있다.

또한, 제어부(70A)는, 각 도포헤드(21A)(상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A))의 간극에, 지지테이블(10A)에 지지된 기판(2) 4변의 단부를 각각 삽입하고, 그 상태에서 각 도포헤드(21A)를 기판(2)의 주연부를 따라 이동시키도록 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)을 구동 제어하는 기능을 가지고 있다.

조작부(80A)는, 액정조작패널(81)을 구비하고 있고, 케이스(도시하지 않음)에 설치되어 있다. 액정조작패널(81)을 통해, 도포장치(1A)의 각부의 동작 조건의 설정, 각부의 작동 지시, 동작 모드(수동, 자동 등)의 전환 등의 각종 조작을 하는 것이 가능하게 되어 있다. 조작패널(81)을 통해 입력된 조작 신호나 설정 신호가 제어부(70A) 등으로 송신되도록 되어 있다.

예를 들어, 조작부(80A)에서는, 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D)의 XY축직동기구에 의한 도포유닛(20A, 20B, 20C, 20D)의 수평 이동 속도, 액공급유닛(50A, 50B, 50C, 50D)의 각 펌프(53)에 의한 막형성액(51)의 이송 속도 등의 동작 조건의 설정, 건조로(60A)의 핀히터(62)에 의한 노 내 온도 설정이나 건조 시간 설정 등을 할 수 있게 되어 있다.

다음으로, 실시예(2)에 따른 도포장치(1A)를 이용한 기판(2)의 주연부로의 막형성액(51)의 도포방법에 대해 설명한다. 다만, 피도포 대상으로서, 구형을 한 박형(수십 μm~수백 μm)의 동장 적층기판을 이용한 경우에 대해 설명하지만, 피도포 대상은, 이에 한정되는 것이 아니고, 알루미늄기판, 유리기판 등 각종의 기판을 피도포 대상으로 할 수 있다. 또한, 실시예(2)에 따른 도포장치(1A)를 이용한 도포방법은, 기판 제조 공정의 한 공정(인라인)으로서 채용될 수 있다.

먼저, 도포헤드(21A)(한 쌍의 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A))의 간극 조정 및 설정을 한다. 즉, 피도피 대상인 기판(2)의 두께, 도막의 두께 등을 고려하여 결정한 간극 크기(예를 들어, 기판 두께 + 10~500μm)에 대응하는 틈새게이지(도시하지 않음)를 상측 헤드(22G)의 이동부재(22I)(제2 부재(22K))와 하측 헤드(23A)와의 사이에 삽입하여, 볼트(29l, 29m)로 제1 부재(22J)를 고정부재(22H)에 고정한다. 그 후, 상기 틈새게이지를 뽑아, 도포헤드(21A)의 간격 조정 및 설정을 완료하고, 연결볼트(26)로 도포헤드(21A)를 장착부재(37)에 고정한다. 상측 헤드(22G)의 가압부(28f)가 판스프링부재(28e)에 의해 하방으로 부세(가압)되어 있기 때문에, 상측 헤드(22G)의 제2 부재(22K) 하단면은, 상측 액류부(28b)로부터 상측 스크래이퍼부(28d)을 향해 약간 아래로 경사진 상태로 되어 있다.

기판 반입 공정에서는, 우선 위치결정부(90)의 컨베이어부(91)에서 기판(2)을 소정 위치까지 반송하고, 기판승강부(91b)를 작동(상승)시켜 롤러(91a) 위의 기판(2)를 일단 들어올린 후, 위치결정 가이드부(92)를 작동시켜, 기판(2)의 측면을 가볍게 협지하듯이 하여 위치결정을 하고, 그 후 기판승강부(91b)를 작동(강하)시켜 기판(2)을 롤러(91a) 위에 재치한다. 이어서, 기판이재부(300)의 수직이동기구(304)를 작동시켜, 흡착지지구(305)로 기판(2)을 흡착한 상태에서 상방으로 들어올리고, 수평이동기구(303)를 작동시켜, 지지테이블(10A) 위까지 수평 이동시킨 후, 수직이동기구(304)를 작동시켜, 흡착지지구(305)로 기판(2)을 흡착 지지한 상태에서 지지테이블(10A) 위에 기판(2)를 재치한다.

다음의 도포 공정은, 도포헤드(21A)의 간극에 기판(2)의 단부를 삽입한 상태에서, 4대의 도포헤드(21A)의 액류부(상측 액류부(28b, 28h)와 하측 액류부(23b))에 막형성액(51)을 공급하면서, 4대의 도포헤드(21A)를 기판(2)의 각 변의 주연부를 따라 이동시키는 공정이다.

도 22는, 기판(2)의 주연부를 4대의 도포헤드(21A)로 도포하는 공정을 설명하기 위한 모식도이다. 도면 내의 파선은, 각 도포헤드(21A)의 이동 궤적을 나타내고 있다. 어느 도포헤드(21A)도 동일한 동작을 실행하도록 제어되기 때문에, 여기에서는 도포유닛(20A)에 장비된 도포헤드(21A)의 동작에 대해 설명한다.

도포헤드(21A)는, 소정의 퇴피위치인 A위치에, 기판(2)의 단면(우변(2a))의 방향과, 도포헤드(21A)의 진행방향이 일치하도록 설정되어 있다.

우선, 이동유닛(40A)의 X축 슬라이더(47)를 구동시켜, Y축 실린더(48)를 X축 실린더(46)에 따라 a방향으로 이동시킴으로써, 도포헤드(21A)를 a방향으로 이동시켜, 도 22에 있어서의 기판(2)의 우변(2a)의 주연부에 막형성액(51)을 도포해 나간다.

즉, 펌프(53)를 구동시켜 상측 헤드(22C)의 액공급로(28u)에 막형성액(51)을 공급하면서, 기판 우변(2a)의 단부를 도포헤드(21A)의 간극에 삽입하고, 상측 액류부(28b)와 하측 액류부(23b)에 막형성액(51)을 채운 상태로 도포헤드(21A)를 수평 이동시킨다. 다만, 도포 시에는, 기판(2)의 단부가 도포헤드(21A)의 간극으로부터 빠져나오지 않도록, 도포헤드(21A)의 위치가 제어되어 있다. 또한, X축 슬라이더(47)를 구동시킬 때에, 승강기구(27i)를 구동시켜 도포헤드용 보호구(27A)를 강하시키는 제어가 실행된다.

도포헤드(21A)가 B위치(기판(2)의 코너부 통과 위치)에 도달하면, 이동유닛(40A)의 Y축 슬라이더(49)를 작동시키고, 도포헤드(21A)를 기판(2)으로부터 이격 방향(d방향)으로 C위치까지 슬라이드 이동시킨다.

그 후, 이동유닛(40A)의 X축 슬라이더(47)를 구동시켜 도포헤드(21A)를 D위치까지 슬라이드 이동시킨 후, Y축 슬라이더(49)를 구동시켜 도포유닛(20A)을 퇴피위치(A위치)까지 슬라이드 이동시킨다. 도포유닛(20A)이 퇴피위치로 이동하기까지, 승강기구(27i)를 구동시켜 도포헤드용 보호구(27A)를 상승시키는 제어가 실행되고, 도포유닛(20A)이 퇴피위치에 도착하면, 도포헤드(21A)에 패드부재(27g)가 접촉되도록 되어 있다.

도포유닛(20A)에 의한 기판 우변(2a)의 도포 작업과 동시 병행하여, 도포유닛(20B)에 의해 기판 상변(2b), 도포유닛(20C)에 의해 기판 좌변(2c), 도포유닛(20D)에 의해 기판 하변(2d)의 도포 작업이 실행되도록, 이동유닛(40A, 40B, 40C, 40D) 등의 각부의 구동 제어가 실행된다.

상기한 도포 공정에서 기판(2)의 4변에의 도포 작업 종료 후, 이어서 건조 공정으로 진행한다.

도포 종료 후, 기판이재부(300)의 흡착지지구(305)로 기판(2)을 흡착한 상태로 기판(2)을 들어올려, 컨베이어부(12A) 상방으로 수평 이동시킨 후, 컨베이어부(12A)에 재치한다. 그 후, 컨베이어부(12A)에 의해 기판(2)이 건조로(60A) 내에 반송된다. 소정의 건조 시간이 경과하면, 기판(2)이 건조로(60A)로부터 반출되고, 건조 공정을 끝낸다. 기판(2)의 주연부에는, 수지 성분으로 이루어진 도막이 액연 형상(단면 및 상하면)으로 형성된다.

상기 실시예(2)에 따른 도포장치(1A)에 의하면, 4대의 도포헤드(21A)에 의해, 기판(2)의 4변을 동시 병행하여 도포할 수 있어, 도포 시간을 단축할 수 있다. 따라서, 기판 제조라인에 인라인 방식으로 편성하는 것이 가능하게 되어, 높은 생산 효율을 유지할 수 있다. 또한, 기판(2)의 주연부에 도막이 형성됨으로써, 그 후의 기판 가공 공정에서의 취급성을 향상시킬 수 있으며, 또한, 불량품의 발생도 저하시킬 수 있어, 도포장치(1A)의 사용에 의해 기판 제조 코스트를 저감시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 실시예(2)에 따른 도포헤드(21A)에 의하면, 상측 헤드(22G)가, 고정부재(22H)와 제1 부재(22J)와 제2 부재(22K)를 포함하여 구성되고, 제1 부재(22J)의 장공(29c, 29e)에 의해, 이동부재(22I)(제1 부재(22J) 및 제2 부재(22K))를 고정부재(22H)에 대해 상하 방향으로 이동(위치 조정)시킬 수 있어, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극을 용이하게 조정할 수 있다. 또한, 상측 헤드(22G)의 조립 구조에 의하면, 볼트(29k)를 지점(支點)으로 하여, 장공(29f, 29h)으로 규제되는 범위에서, 제2 부재(22K)를 판스프링부재(28e)의 부세력에 역행하여(상방향으로) 회동시킬 수 있기 때문에, 상측 헤드(22G)와 하측 헤드(23A)와의 간극 크기에 일정한 폭을 확보할 수 있어, 두께가 다른 기판에도 대응시킬 수 있다.

이상, 본 발명의 실시예에 대해 설명했지만, 본 발명은, 상기한 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에 있어서, 본 발명의 실시예에 대해 각종의 변형이나 변경을 가할 수 있고, 이러한 변형이나 변경도 또한 본 발명의 기술적 범위에 포함된다. 또한, 발명의 실시예에 기재된, 작용 및 효과는, 본 발명으로부터 얻어지는 가장 호적(好適)한 작용 및 효과를 열거한 것에 지나지 않고, 본 발명에 따른 작용 및 효과는, 본 발명의 실시예에 기재된 것에 한정되는 것은 아니다.

본 발명은, 프린트기판, 금속기판, 패키지기판, 유리기판 등의 각종 기판을 취급하는 전자기기산업 등의 분야에 있어서 폭넓은 이용이 가능하다.

1, 1A 도포장치
10, 10A 지지테이블
11 고정레일
12 반송레일
13 승강기구
20, 20A, 20B, 20C, 20D 도포유닛
21, 21A 도포헤드
22, 22C, 22G 상측 헤드
22A, 22D, 22H 고정부재
22B, 22E, 22F, 22I 이동부재
22a, 28a 경사안내부
22b, 28b, 28h 상측 액류부
22c, 28c 상측 흙손부재
22d, 28d 상측 스크래이퍼부
23, 23A 하측 헤드
23a 경사안내부
23b 하측 액류부
23c 하측 흙손부재
23d 하측 스크래이퍼부
24, 24A 액받이부
30 선회기구부
40, 40A, 40B, 40C, 40D 이동유닛
41, 46 X축 실린더
42, 48 Y축 실린더
47 X축 슬라이더
43, 49 Y축 슬라이더
50, 50A, 50B, 50C, 50D 액공급유닛
51 막형성액
52 액수용부
53, 56 펌프
54, 55 튜브
60, 60A 건조로
70, 70A 제어부
80, 80A 조작부
90 위치결정부
300 기판이재부

Claims

기판의 단면(端面)을 포함하는 주연부(周緣部)에 액체를 도포하는 도포장치로서,
상기 기판을 지지하는 지지수단과,
상기 기판의 단부(端部)를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치된 한 쌍의 도포헤드를 구비한 도포수단과,
해당 도포수단을 이동시키는 이동수단과,
상기 한 쌍의 도포헤드에 막형성액을 공급하는 액공급수단과,
상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에, 상기 지지수단에 지지된 상기 기판의 단부를 삽입한 상태에서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시키도록 상기 이동수단을 제어하는 제어수단
을 구비하고,
상기 한 쌍의 도포헤드가,
해당 한 쌍의 도포헤드의 대향면에, 상기 막형성액을 모으는 액류부와,
해당 액류부를 통과시킨 상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 박막상으로 도공하는 도공부
를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1에 있어서,
상기 도공부가,
상기 기판의 단부에 부착된 상기 막형성액을 고르는 흙손부와,
해당 흙손부를 통과시킨 상기 기판의 단부에 부착된 여분의 상기 막형성액을 제거하는 제거부
를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 도포수단이, 상기 한 쌍의 도포헤드를 선회시키기 위한 선회기구부를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 3에 있어서,
상기 선회기구부에, 상기 한 쌍의 도포헤드를 수평방향으로 슬라이드시키는 슬라이드기구부가 장비되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 도포수단이, 상기 지지수단 주위에 복수 배설되고,
상기 이동수단이, 상기 지지수단에 지지된 기판의 변(邊)을 따라 상기 복수의 도포수단을 이동시키는 것이고,
상기 제어수단이, 상기 복수의 도포수단을 상기 기판의 변을 따라 이동시키도록 상기 이동수단을 제어하는 것임
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 5에 있어서,
상기 이동수단이, 상기 기판의 변 방향과, 해당 변 방향과 교차하는 방향과의 2방향으로 이동 가능한 복수의 2축 직동기구를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 막형성액이 수용되는 액수용부와,
상기 한 쌍의 도포헤드 하방에 배설되는 액받이부와,
해당 액받이부에서 받은 상기 막형성액을 상기 액수용부로 이송하는 이송수단을 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에 접촉시키는 패드부와,
해당 패드부 하방에 배설되는 액받이부와,
상기 패드부 및 상기 액받이부를 지지하는 지지부를 구비하고 있는 도포헤드용 보호구
를 추가로 구비하고,
해당 도포헤드용 보호구가, 상기 한 쌍의 도포헤드의 퇴피위치에 설치되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 기판의 주연부에 도포된 상기 막형성액을 건조시키는 건조수단을 구비하고 있는 것
을 특징으로하는 도포장치.
청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
상기 지지수단에 지지되기 전의 기판을 소정의 위치에 위치결정 배치하는 위치결정수단과,
해당 위치결정수단으로 위치결정된 기판을 상기 지지수단에 이재하고, 상기 막형성액이 도포된 기판을 상기 지지수단으로부터 이송하는 기판이송수단
을 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포장치.
청구항 10에 있어서,
상기 기판이재수단이, 제1 기판지지부와 제2 기판지지부를 구비하고,
상기 제1 기판지지부와 상기 제2 기판지지부에 의해, 상기 기판을 상기 지지수단으로 이재하는 동작과, 상기 기판을 상기 지지수단으로부터 이송하는 동작이 병행하여 실행되도록 구성되어 있는 것
을 특징으로하는 도포장치.
기판의 단면을 포함하는 주연부에 액체를 도포하기 위한 도포헤드에 있어서,
상기 기판의 단부를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치되는 상측 헤드와 하측 헤드를 구비하고,
상기 상측 헤드가,
상기 하측 헤드와의 대향면에 형성된 상측 액류부와,
해당 상측 액류부에 막형성액을 공급하기 위한 액공급로와,
해당 상측 액류부에 병설된 상측 흙손부와,
해당 상측 흙손부에 병설된 상측 제거부
를 구비하고,
상기 하측 헤드가,
상기 상측 액류부와 대향하는 개소에 형성된 하측 액류부와,
해당 하측 액류부에 병설된 하측 흙손부와,
해당 하측 흙손부에 병설된 하측 제거부
를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12에 있어서,
상기 상측 흙손부 및/또는 상기 하측 흙손부의 흙손면에 복수의 미소(微小) 홈이 형성되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 상측 흙손부가 상기 상측 헤드에 착탈 가능하게 구성되고,
상기 하측 흙손부가 상기 하측 헤드에 착탈 가능하게 구성되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 상측 헤드가,
상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와,
해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 이동부재
를 구비하고,
상기 상측 액류부가 상기 이동부재에 형성되고,
상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 이동부재에 배설되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 상측 헤드가,
상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와,
해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 2개의 이동부재
를 구비하고,
상기 상측 액류부가 상기 고정부재에 형성되고,
상기 상측 액류부에 병설된 일방의 이동부재에 상기 상측 흙손부가 배설되고,
상기 일방의 이동부재에 병설된 타방의 이동부재에 상기 상측 제거부가 배설되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 상측 헤드가,
상기 하측 헤드에 고정되는 고정부재와,
해당 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 이동부재
를 구비하고,
해당 이동부재가, 부세수단에 의해 하방향으로 부세된 상태에서 상기 고정부재에 장착되고,
상기 상측 액류부와 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 이동부재에 배설되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 17에 있어서,
상기 이동부재가,
제1 부재와 제2 부재를 구비하고,
상기 제1 부재가, 상기 고정부재에 대해 상하 방향으로 위치 조정 가능하게 장착되는 것이고,
상기 제2 부재가, 상기 부세수단에 의해 하방향으로 부세된 상태에서 상기 제1 부재에 장착되는 것이고,
상기 상측 액류부와 상기 상측 흙손부와 상기 상측 제거부가, 상기 제2 부재에 배설되어 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
청구항 12 또는 청구항 13에 있어서,
상기 상측 헤드가, 상기 막형성액을 배출하는 액배출로를 구비하고 있는 것
을 특징으로 하는 도포헤드.
기판의 단면을 포함한 주연부에 막형성액을 도포하는 도포방법에 있어서,
상기 기판의 단부를 삽입할 수 있는 간극을 두고 대향 배치된 한 쌍의 도포헤드의 상기 간극에 상기 기판의 단부를 삽입하는 공정과,
상기 한 쌍의 도포헤드의 대향면에 형성된 액류부에 상기 막형성액을 공급하면서, 상기 한 쌍의 도포헤드를 상기 기판의 주연부를 따라 이동시켜, 해당 기판의 주연부에 도막을 형성하는 도포공정
을 구비하고,
상기 도포공정이, 상기 액류부에 병설된 도공부에서, 상기 액류부를 통과시킨 상기 기판에 부착된 상기 막형성액을 박막상으로 도공하는 공정을 구비하고 있는 것
을 특징하는 도포방법.
청구항 20에 있어서,
상기 기판의 각 변을 복수의 상기 도포헤드를 사용하여 동시 병행하여 도포하는 것
을 특징으로 하는 도포방법.