KR20110003486A - 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 탈착 장치와, 이러한 장치를 포함하는 시스템과, 제조된 기기에 손상을 주지 않고 가요성 기판(14) 후처리하기 위해 이러한 장치 또는 시스템을 사용하는 방법을 제공한다.

Description

부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 방법 및 장치{METHOD AND APPARATUS FOR DEBONDING A SUBMOUNTED SUBSTRATE}
관련 출원
본 출원은 그 전체가 본원에 참조로서 포함된, 2008년 4월 11일 출원된 미국 가출원 제61/044278호에 대하여 우선권을 청구한다.
정부 기금에 대한 진술
본 업무는 미 육군 연구소(ARL) 승인 제W911NF-04-2-005호에 의해 적어도 부분적으로 지원되었다. 미국 정부는 본 발명에 있어 소정의 권리를 갖는다.
가요성 디스플레이 및 전자 기기는 저가 용도, 강건 용도(rugged application) 및 일회용 용도에 의해 산업에 급격한 변화를 줄 것으로 예상된다. 가요성 디스플레이 및 전자 기기의 급격한 확산은 그들의 제조를 촉진시키는 보조적인 기술에 의해 부분적으로 방해된다. 회로 소자가 가요성 기판상에 제조될 수 있도록, 기판 자체는 처리 도중 고정된 배향으로 고정될 필요가 있다. 일부는 프레이밍(framing) 또는 접착(bonding)을 이용했던 반면에, 다른 일부는 롤 대 롤형(roll-to-roll type)의 처리를 구상했다. 롤 대 롤은 이론적으로 장래성이 있는 반면에, 상당한 규모에 있어서 고분해능 반도체형 프로세스에 롤 대 롤을 실제로 적용하는 것은 아직까지는 증명되어야 한다. 프레이밍은 큰 규모에서는 실용적이지 못한 것으로 판명되었으며, 실행 가능한 옵션이 되기 위해 많은 장비 및 프로세스 변형이 요구될 것이다. 접착 기술이 존재하고 현재 제조 단계에서 실현되었으며, 이러한 프로세스들은 대부분 강성 대 강성 접착(rigid-to-rigid bonding)에 제한되었다.
다른 접근 방법은 강성 캐리어에 가요성 기판을 접착하는 것으로서, 반도체 프로세스에 알맞은 접착제에 의한 접착 프로세스의 개발을 수반한다. 이러한 접근 방법은 후속하는 탈착(debonding)을 더욱 어렵게 하는데, 이는 가요성 기판이 조립된 회로 소자 또는 가요성 기판 자체에 손상을 주지 않고 강성 캐리어로부터 분리되어야 하기 때문이다.
본원에서 제공된 개시는 조립된 장치에 손상을 주지 않고 가요성 기판 제거 후처리를 수행하기 위한 방법 및 공구 플랫폼을 약술한다. 또한, 이러한 방법은 강성 캐리어에 손상을 입히지 않아서, 상기 강성 캐리어는 이러한 제조 프로세스의 수행 능력(sustainability)을 촉진하기 위해 교정 및 재사용될 수 있다.
따라서, 제1 양태에 있어서, 본 발명은 부가 장착형 기판(submounted substrate)을 탈착하기 위한 장치를 제공하며, 상기 장치는 (a) X 스테이지와, (b) X 스테이지에 부착되고 부가 장착형 기판을 수용할 수 있는 진공 작동식 척과, (c) X 스테이지에 이동 가능하게 커플링되고 X 스테이지에 수직하게 배향되는 Y 스테이지와, (d) Y 스테이지에 커플링되는 탈착기를 포함하고, 탈착기는 2개의 장착 블록과 절단 에지를 포함하고, X 스테이지가 2개의 장착 블록들 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록 각각은 Y 스테이지에 부착되는 말단 단부를 갖고, 절단 에지가 X 스테이지에 놓이도록(span) 2개의 장착 블록 각각은 절단 에지의 일단부에 부착되는 근위 단부를 갖고, 절단 에지의 높이가 Z축으로 조절될 수 있다.
또한, 본 발명은 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 방법을 제공하며, 상기 방법은 (a) X 스테이지에 부착되는 진공 작동식 척 내에 부가 장착형 기판을 장착하는 단계로서, 부가 장착형 기판은 가요성 기판에 접착된 강성 캐리어 기판을 포함하고 X 스테이지는 Y 스테이지와 이동 가능하게 커플링되는, 부가 장착형 기판을 장착하는 단계와, (b) 탈착기가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스와 정렬되도록 Z축으로의 탈착기 높이를 조절하는 단계로서, 탈착기는 Y 스테이지에 커플링되고 탈착기는 2개의 장착 블록과 절단 에지를 포함하고, X 스테이지가 2개의 장착 블록 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록 각각은 Y 스테이지에 부착되는 원위 단부를 갖고, 절단 에지가 X 스테이지에 놓이도록 2개의 장착 블록 각각은 절단 에지의 일단부에 부착되는 근위 단부를 갖는, 탈착기 높이 조절 단계와, (c) 진공 링을 포함하는 상위 플레이트를 가요성 기판과 접촉시키는 단계와, (d) 탈착기가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스를 통과하도록 강성 캐리어 기판으로부터 가요성 기판을 탈착하는 단계를 포함하고, 진공 링은 가요성 기판이 강성 캐리어로부터 탈착될 때 흡입을 통해 가요성 기판을 보유한다.
또한, 본 발명은 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 시스템을 제공하며, 상기 시스템은 (a) 사용자 인터페이스와, (b) 사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되는 컨베이어 시스템으로서, 컨베이어 시스템은 (i) 미리 결정된 거리로 부가 장착형 기판을 운반하고, (ii) 탈착 장치 내로 부가 장착형 기판을 적재하도록 작동 가능한, 컨베이어 시스템과, (c) 사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되고 부가 장착형 기판에 용매 적하를 적용하도록 작동 가능한 용매 적하 시스템과, (d) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 초음파 주파수로 탈착기를 진동하도록 작동 가능한 진동 시스템과, (e) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 진공 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판을 안정시키도록 작동될 수 있는 진공 시스템과, (f) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 가요성 기판 및 강성 캐리어 기판으로 부가 장착형 기판을 분리하도록 작동 가능한 탈착 시스템과, (g) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 전에 탈착 시스템의 절단 에지 및/또는 진공 작동식 척을 가열하도록 작동 가능한 온도 제어 시스템과, (h) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되는 릴 대 릴 시스템으로서, 탈착기가 사용 후 절단 에지를 교체할 수 있는 릴 대 릴 시스템과, (i) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 후 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하도록 작동 가능한 세척 시스템을 포함한다.
다른 양태에 있어서, 본 발명은 데이터 저장부 내에 저장되고 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 시스템이 본 발명의 방법 중 하나 이상을 수행하게 하는 프로세서에 의해 수행될 수 있는 명령을 제공하는 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체를 제공한다. 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체는 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 시스템의 다양한 실시예를 제어하기 위해 컴퓨터 시스템상에서 작동 가능하다.
상기 양태의 일 실시예는 데이터 저장부 내에 저장되고 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 장치 또는 시스템이 기능을 수행하게 하는 프로세서에 의해 처리될 수 있는 명령을 제공하는 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체이며, 상기 기능은 (a) 미리 결정된 거리에 대해 부가 장착형 기판을 운반하고, (b) 탈착 장치 내로 부가 장착형 기판을 적재하고, (c) 부가 장착형 기판에 용매 적하를 적용하고, (d) 절단 에지 및/또는 진공 작동식 척을 가열하고, (e) 초음파 주파수로 탈착기를 진동시키고, (f) 진동 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판을 안정화시키고, (g) 부가 장착형 기판을 탈착시키고, (h) 릴 대 릴 시스템을 통해 탈착기의 절단 에지를 교체하고, (i) 탈착 후 부가 장착형 기판의 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 기능 포함한다.
도 1은 본 장치의 평면도이다.
도 2는 본 장치의 등각도이다.
도 3은 본 장치의 정면도이다.
도 4는 본 장치의 측면도이다.
제1 양태에 있어서, 본 발명은 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 장치의 형태를 취할 수 있으며, 상기 장치는 (a) X 스테이지와, (b) X 스테이지에 부착되고 부가 장착형 기판을 수용할 수 있는 진공 작동식 척과, (c) X 스테이지에 이동 가능하게 커플링되고 X 스테이지에 수직하게 배향되는 Y 스테이지와, (d) Y 스테이지에 커플링되는 탈착기를 포함하고, 탈착기는 2개의 장착 블록과 절단 에지를 포함하고, X 스테이지가 2개의 장착 블록들 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록 각각은 Y 스테이지에 부착되는 말단 단부를 구비하고, 절단 에지가 X 스테이지에 놓이도록 2개의 장착 블록 각각은 절단 에지의 일단부에 부착되는 근위 단부를 구비하고, 절단 에지의 높이가 Z축으로 조절될 수 있다.
본 장치의 예시적 실시예는 도 1 내지 도 4에 제공된다. 아래 기술되는 도면 부호는 도 1 내지 도 4를 참조하며, 도시만을 목적으로 제공되며, 청구된 발명을 도시된 실시예에 제한하지 않는다.
본원에 사용된 "가요성 기판"은 굽혀지거나 뒤틀리거나 비틀리거나 만곡되거나 또는 순응적일 수 있는 가요성 재료를 포함하는 프리-스탠딩(free-standing) 기판이다. 가요성 기판의 비제한적 예는, 알루미늄 및 얇은 금속 포일과 같은 금속 포일과, 폴리이미드, 폴리에틸렌, 폴리카보네이트, 폴리에틸렌 테레프탈레이트(PET), 폴리에틸렌 나프탈레이트(PEN), 폴리에테르술폰(PES) 등의 폴리머 시트와 같은 폴리머 및 금속의 필름과, 전체 적층체 조립체가 가요적으로 유지되는 경우 둘 이상의 금속 및/또는 폴리머 재료를 포함하는 다중층 적층체를 포함하지만, 이에 제한되지 않다. 가요성 기판은 소정의 목적에 적합하도록 소정의 두께를 가질 수 있으며, 바람직한 두께는 용도에 따라 특정된다. 다양한 실시예에서, 가요성 기판의 두께는 10㎛ 내지 5㎜의 범위를 갖는다.
본원에 사용된 바와 같이, 가요성 캐리어는 전자 부품 또는 회로를 제조하는데 사용되는 처리를 내구할 수 있는 임의의 재료를 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 강성 캐리어는 반도체 재료를 포함한다. 다른 바람직한 양태 및 실시예에서, 강성 캐리어는 적어도 하나의 실질적으로 편평한 표면을 구비하는 것이 바람직하다. 더욱 바람직하게는, 강성 캐리어는 반도체 웨이퍼이다. 더더욱 바람직하게는, 강성 캐리어는 실리콘 웨이퍼이다(편평한 표면을 갖는 것이 바람직하다).
본원에 사용된 바와 같이, X 스테이지(10)는 X축을 따라 배향된 플랫폼으로, 진공 작동 척(12, vacuum operated chuck)을 지지하는 표면을 제공한다.
본원에 사용된 바와 같이, 진공 작동 척(12)은 본 기술 분야에 공지된 임의 유형의 진공 작동 척(12)이다. 사용자에게 제공되는 척의 표면은 하나 이상의 구멍 또는 채널을 포함하고, 이 구멍 또는 채널을 통해 진공 흡입이 부가 장착형 기판(14)의 강성 캐리어 기판의 표면에 작용되어 탈착 프로세스 도중 대체로 적소에 강성 캐리어를 보유한다.
본원에 사용된 바와 같이, Y 스테이지(16)는 Y축을 따르는 X 스테이지(10)에 사실상 수직하게 배향된 플랫폼으로서, Z축을 따르는 하나 이상의 평면 내에 하나 이상의 표면을 제공하여 X 스테이지(10) 및 탈착기(18)를 지지한다. Y 스테이지(16)는 X 스테이지(10)가 X축을 따라 수동으로 전후 이동될 수 있도록 X 스테이지(10)에 이동 가능하게 커플링된다.
일 실시예에서, Y 스테이지(16)는 이동 가능하다. Y 스테이지(16)의 이동으로 인해, Y 스테이지(16)에 커플링된 탈착기(18)는 부가 장착형 기판(14)의 접착제 층을 통해 전후식 톱니형 이동(back-and-forth saw- like movement)을 생성할 수 있으며, 이로 인해 탈착 프로세스가 촉진된다.
일 실시예에서, Y 스테이지(16)는 X 스테이지(10)와 동심으로 회전 이동할 수 있다. X축에 수직한 배향으로 시작하여, Y 스테이지(16)는 최소한, 시계 방향으로 45°그리고 반시계 방향으로 45°회전될 수 있어, 총 90°회전 가능하다. 그리고, 탈착기의 절단 에지(22)의 길이가 X축을 따르는 X 스테이지(10)의 길이보다 긴 경우, Y 스테이지(16)는 최대 360°회전할 수 있다.
본원에 개시된 모든 실시예에서, X 스테이지(10) 및 Y 스테이지(16)는 동력에 의해 작동될 수도 있다.
일 실시예에서, 탈착기의 절단 에지(22)는 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 접착제 층과 사실상 일렬(inline)로 위치된다. 절단 에지(22)의 높이를 조절하기 위한 임의의 기술이 사용될 수 있으며, 이는 예컨대, (i) 장착 블록(20)이 적소에서 삽통(telescoping) 및 잠금(locking) 가능하고 (ii) 장착 블록(20)이 대향 표면상에 2개의 대응 노치형 트랙 내에서 이동 가능한 2개의 멈춤쇠를 포함할 수 있고, 그리고/또는 (iii) 탈착기(18)가 부착되는 표면이 Z 축을 따라 Y 스테이지(16)에 대해 이동 가능한, 실시예를 포함하지만 이에 제한되지 않는다. 달리, 용도에 따라 상호 교환 가능하게 사용될 수 있는 부가 장착형 기판(14)의 다양한 깊이에 대응하는 다양한 높이를 갖는 복수의 장착 블록(20)이 존재할 수 있다. 다른 대안으로서, 척(12)은 상하로 조절될 수 있어, 절단 에지(22)가 척(12)에 의해 약간 가압되는 것을 보장한다.
당업자라면 본원의 교시를 기초로 절단 에지(22)의 높이를 조절하는 많은 방법이 존재한다는 것을 이해할 것이다. 또한, 절단 에지(22)는 접착제 층을 통과해 전진될 때 접착제의 강도를 극복할 수 있는 재료를 포함한다. 예컨대, 높은 인장 강도 와이어 또는 코드(cord)를 포함하지만 이에 제한되지 않는 임의의 높은 인장 강도 재료가 사용될 수 있다.
일 실시예에서, 탈착기(18)의 절단 에지(22)는 릴 대 릴 시스템(reel-to-reel system)을 거쳐 탈착 프로세스 내에서 사용된 후 교체된다. 본원에서 사용된 바와 같이, 릴 대 릴 시스템은 탈착기의 장착 블록(20) 중 하나의 블록의 근위 단부(26)로부터 다른 장착 블록의 근위 단부(26)로 그리고 이로부터 사용된 절단 에지(22)를 수용 및 권취하는 스풀 상으로 와이어를 풀어서 공급하는, 얇은 와이어의 스풀(spool)을 포함한다. 또한, 릴 대 릴 시스템은 권취 가능한 얇은 레이저블레이드(razorblade)형 재료와 함께 실시 가능하다. 릴 대 릴 시스템은 예컨대, 손으로 또는 수동 크랭크(hand crank)로 직접 수용 스풀을 권취함으로써 수동으로 작동될 수 있거나, 또는 와이어 또는 레이저블레이드형 재료의 다음 길이를 당기도록 동력에 의해 작동될 수 있으며, 이 실시예에서는 릴 대 릴 시스템은 사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링될 수 있다.
일 실시예에서, 본 장치는 진공 링(vacuum-ring)을 포함하는 상위 플레이트를 더 포함할 수 있으며, 상위 플레이트의 진공원은 X 스테이지 또는 Y 스테이지(16)에 커플링된다. 일 실시예에서, 상위 플레이트의 진공 링은 예컨대, 직경이 15.24㎝(6인치)인 원 내에 필요에 따라 배치되는 바람직하게는 직경이 0.1588㎝(1/16인치)인 유연한 진공 팁(pliable vacuum tip)을 다수 개(2, 3, 4, 5, 6 또는 그 이상) 포함하며, 대략 -10㎜Hg 내지 -50㎜Hg 범위의 압력에서 작동한다. 하지만, 당업자라면, 동일한 목적을 충족시키는 진공 링을 위한 많은 다양한 구성이 존재하며, 각 치수 및 구성은 탈착되는 가요성 기판의 크기 및 형상에 따라 결정될 것이라는 것을 이해할 것이다. 예컨대, 진공 링은 (i) 상위 플레이트의 중간에 0.1588㎝(1/16인치)보다 큰 직경을 갖는 단일 구멍과 (ii) 하나 이상의 클러스터 내에 배열된, 직경이 0.1588㎝(1/16인치)보다 작은 복수의 구멍과, (iii) 다양한 길이 및 폭을 갖는 하나 이상의 채널을 포함할 수 있다.
작동시, 상위 플레이트는 탈착 전에 가요성 기판과 접촉되고 진공 흡입이 개시된다. 강성 캐리어로부터 탈착되었을 때 상위 플레이트의 진공 링이 가요성 기판상으로 위치됨으로써 가요성 기판의 에지에서의 말림(curl)을 사실상 제한하거나 또는 강성 캐리어가 탈착된 후에 재부착되는 것을 방지한다. 상위 플레이트는 예컨대, 진공 척(12) 내의 리세스가 형성된 구멍과 정합하는 상위 플레이트에 부착된 정렬 핀과 같이 하나 이상의 암형 구성 요소와 쌍을 이루는 하나 이상의 수형 구성 요소에 부착되도록 수동으로 정렬될 수 있다. 달리, 상위 플레이트의 정렬은 자동화될 수도 있으며, 예컨대, 상위 플레이트를 적절한 위치로 이동하기 위해 로봇 아암이 조정될 수 있거나, 또는 하우징이 X 스테이지 및 Y 스테이지(16)에 대해 고정되어 상위 플레이트를 소정 위치로 낮출 수 있다. 당업자라면, 본원의 교시를 기초로 상위 플레이트의 적절한 정렬이 달성될 수 있는 다양한 방법이 존재한다는 것을 이해할 것이다.
일 실시예에서, 본 장치는 탈착기의 절단 에지(22)의 온도를 제어하기 위한 수단을 더 포함할 수 있다. 가열된 절단 에지(22)가 접착제 층과 접촉하게 되면, 접착제가 연화되고 더욱 유연해져서, 부가 장착형 기판(14)이 더욱 쉽게 탈착되게 만든다. 가열 요소는 탈착기의 장착 블록(20) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링될 수 있어서, 직접 접촉을 통해 절단 에지(22)로 열을 전달한다. 달리, 릴 대 릴 시스템의 급송 스풀은 탈착 프로세스에서 능동적인 사용(active use)을 위해 풀림(unwinding) 전에 절단 에지(22)에 열을 전달하는 가열 코일을 포함할 수 있다. 공기 실린더가 절단 에지(22)를 꼭 죄는데(clamp down) 사용되는 다른 실시예에서, 절단 에지(22)는 2개의 알루미늄 플레이트 사이에 개재될 수 있으며, 절단 에지(22)는 이러한 알루미늄 플레이트들을 통해 이루어지는 전기 접촉을 거쳐 가열될 수 있다. 일 실시예에서, 온도를 제어하기 위한 수단은 온도 제어기이다.
다른 실시예에서, 본 장치는 절단 에지(22)의 탈착기에 기능적으로 커플링된 온도 제어기를 더 포함한다.
일 실시예에서, 본 장치는 초음파 주파수에서 탈착기(18)를 진동시키기 위한 수단을 더 포함할 수 있다. 탈착기(18)를 진동시키기 위한 수단은 예컨대 변환기 플레이트(transducer plate) 또는 본 기술 분야에 공지된 기구를 포함하는 임의의 다른 유형의 초음파 진동을 포함할 수 있다. 탈착기(18)의 진동이 절단 에지(22)가 부가 장착형 기판(14)의 접착제 층을 관통하는 것을 추가로 돕도록, 진동 수단은 두 장착 블록(20) 모두에 커플링된다. 일 실시예에서, 탈착기(18)의 절단 에지(22)는 초음파 주파수로 진동할 수 있다. 이를 달성하기 위해, 상기 수단은 절단 에지 바로 아래에서 절단 에지(22)와 직접 접촉하는 탈착기(18)의 장착 블록(20) 중 하나 또는 양자 모두의 상부를 가로질러 배치될 수 있는 하나 이상의 변환기 플레이트를 포함할 수 있다. 변환기 플레이트가 진동하면, 이러한 진동은 이후 탈착기(18)의 절단 에지(22)로 전달된다. 절단 에지(22)의 진동은 부가 장착형 기판(14)의 접착제 층을 관통하는 것을 추가로 돕는다.
다른 실시예에서, 본 장치는 탈착기(18)에 기능적으로 커플링되는 하나 이상의 변환기 플레이트를 더 포함한다.
일 실시예에서, 장치는 부가 장착형 기판(14)에 용매를 적용하기 위한 수단을 더 포함할 수 있으며, 용매를 적용하는 이러한 수단은 X 스테이지 또는 Y 스테이지(16) 중 하나에 커플링된 용매 저장부를 포함한다. 용매를 적용하면 부가 장착형 기판(14)의 주연부의 접착제 층을 용해시켜서, 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 접착부(bond)를 약화시켜 절단 에지(22)가 접착제 층을 관통하는 것을 더욱 용이하게 한다.
일 실시예에서, 용매를 적용하기 위한 수단은 용매 적하 시스템(solvent drip system)을 포함한다. 본원에 사용된 바와 같이, 용매 적하 시스템은 부가 장착형 기판(14)의 주연부 주위의 접착제 층에 용매 스프레이를 유도하는 스프레이 기구를 포함할 수 있다. 본원에 사용된 바와 같이, 스프레이는 많은 다양한 형태를 가질 수 있다. 예로서, 스프레이는 (i) 분무기 또는 다른 장치로부터 배출된 용매의 미세한 미립자의 분무(mist)와, (ii) 미립자가 분무보다 더욱 조밀하게 농축된 용매의 고출력(high powered) 제트 또는 스트림과, (iii) 약물 점적기(medicine dropper)에 의해 관리되는 것과 유사한 크기의 액적(droplet)을 포함할 수 있다. 또한, 용매 적하 시스템은, 용매로 포화되고 소정의 시간 동안 접착제 층의 주연부와 직접 접촉하는 포화 요소를 포함할 수 있다. 포화 요소(saturated element)는 스펀지, 또는 쉽게 액체를 흡수하고 젖었을 때 부드러워지지만 질김(toughness)을 유지하는 특성을 갖는 본 기술 분야에 공지된 다른 유형의 흡수 재료를 포함한다. 포화 요소는 포화 요소와 직접 접촉하는 용매 저장부를 통해 포화 상태를 유지할 수 있거나, 포화 요소는 접착제 층에 적용하기 전에 용매에 침지될 수 있다. 또한, 용매 적하 시스템은 탈착 프로세스 이전과 도중 모두에서 용매를 적용할 수 있다.
다른 실시예에서, 본 장치는 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매 적하 시스템을 더 포함한다.
일 실시예에서, 본 장치는 탈착이 발생한 후 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템을 더 포함할 수 있으며, 이러한 세척 시스템은 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매 저장부를 포함한다. 본원에 사용된 바와 같이, 탈착된 강성 캐리어 기판 또는 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템은 기판 자체에 손상을 가하지 않고 사실상 모든 잔류 접착제를 제거하는 시스템이다.
본원에 사용된 바와 같이, 잔류 접착제는 탈착 프로세스가 완료된 후 강성 캐리어 기판 또는 가요성 기판에 부착되어 남아 있는 접착제 층의 부분을 의미한다.
일 실시예에서, 강성 캐리어로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템은 용매 내의 일괄 침지(batch dip)를 위한 수단을 포함한다. 본원에 도시된 바와 같이, 일괄 침지는 강성 캐리어 기판 또는 가요성 기판이 용매 내에 완전히 침지되는 것을 요구하거나 또는 잔류 접착제가 존재하는 측면만이 용매에 침지되는 것을 요구한다. 이 실시예에서, 용매를 수용하고 각각의 기판이 침지되는 저장고는 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링된다.
일 실시예에서, 본 장치는 탈착이 발생한 후 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템을 더 포함하고, 이 세척 시스템은 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링된 용매 저장부를 포함한다.
일 실시예에서, 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템은 고압 용매 스프레이를 포함한다. 본원에 사용된 바와 같이, 잔류 접착제가 존재하는 측면으로만 사실상 유도되는 고압 스프레이를 사용하여, 고압 용매 스프레이가 강성 캐리어 기판 또는 가요성 기판에 적용된다. 고압 용매 스프레이는 우선 잔류 접착제를 용해시킨 후, 스프레이의 압력이 접착제를 씻어낸다. 이 실시예에서, 용매를 수용하고 고압 스프레이가 인출되는 저장고는 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16) 중 하나 또는 양자 모두에 커플링된다.
일 실시예에서, 본 장치는 진공 작동식 척(12) 내로 부가 장착형 기판(14)을 적재하기 위한 컨베이어 시스템을 더 포함할 수 있으며, 이러한 컨베이어 시스템은 X 스테이지(10)에 커플링된다. 본원에 사용된 바와 같이, 컨베이어 시스템은 슬라이드를 포함할 수 있으며, 이 슬라이드는 슬라이드의 원위 단부에서 컨베이어 벨트의 고정 부분에 사실상 단단하게 부착되는 반면에, 슬라이드가 진공 척(12)에 인접하게 위치되도록 슬라이드의 근위 단부는 X 스테이지(10)에 이동 가능하게 커플링된다. 컨베이어 벨트는 본 기술 분야에 공지된 유형이며 먼 위치로부터 슬라이드로 부가 장착형 기판(14)을 운반한다. 부가 장착형 기판(14)이 컨베이어 벨트의 단부에 도착하면, 부가 장착형 기판(14)은 슬라이드 상으로 추진되고, 부가 장착형 기판(14)을 수용하는 크기를 갖는 진공 척(12) 내의 오목부 내로 활주하거나, 또는 진공 척(12) 상의 정지부를 타격할 때까지 활주한다.
또한, 컨베이어 시스템은 컨베이어 벨트의 고정 부분에 사실상 단단하게 고정되고 X 스테이지(10)에 이동 가능하게 커플링되는 기부를 구비한 로봇 아암을 포함할 수 있다. 로봇 아암은 진공 척(12) 상에 부가 장착형 기판(14)의 배치 및 컨베이어 벨트로부터 부가 장착형 기판(14)의 제거를 제공할 수 있는 이동 범위를 갖는다. 컨베이어 벨트는 본 기술 분야의 공지된 유형이며 먼 위치로부터 로봇 아암까지 부가 장착형 기판(14)을 운반한다. 부가 장착형 기판(14)이 로봇 아암의 리치 내로 이동되면, 아암은 부가 장착형 기판(14)을 컨베이어 벨트로부터 들어올려 진공 척(12) 상에 부가 장착형 기판(14)을 배치한다.
컨베이어 시스템은 컨베이어 벨트가 진공 척(12)에 사실상 인접하도록 컨베이어 벨트의 고정 부분이 X 스테이지(10)에 이동 가능하게 커플링되는 컨베이어 벨트를 더 포함할 수 있다. 컨베이어 벨트는 본 기술 분야의 공지된 유형이며 부가 장착형 기판(14)을 먼 위치로부터 진공 척(12)까지 운반한다. 컨베이어 벨트는 이동 방향에서 그리고 각각의 부가 장착형 기판(14)의 후방측으로부터 설정 거리에 예각으로 배향된 가요성 돌출부를 포함한다. 부가 장착형 기판(14)이 컨베이어 벨트의 단부에 도달하면, 부가 장착형 기판(14)은 진공 척(12) 상으로 추진되고 가요성 돌출부는 진공 척(12)과 접촉하기 때문에 컨베이어 벨트에 대해 상기 돌출부가 다시 휘어질 때까지 부가 장착형 기판(14)을 계속 가압한다. 달리, 가요성 돌출부는 컨베이어 벨트에 대해 편평해질 때까지 완전히 회전하고 진공 척(12)을 완전히 우회하였을 때 제 위치로 탄성 복귀(spring back)하도록 스프링이 장착될 수 있다.
본원에 사용된 바와 같이, 본 장치 양태에 대한 모든 전술된 사항과 실시예는 후속하는 방법, 소프트웨어 및 시스템 양태에도 동일하게 적용될 수 있다. 또한, 각 양태에 대해 개시된 모든 실시예는 문맥이 명백하게 다르다는 것을 지시하지 않는다면 그 양태의 다른 실시예와 조합될 수 있다.
제2 양태에 있어서, 본 발명은 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 방법의 형태를 취할 수 있으며, 상기 방법은 (a) X 스테이지(10)에 부착되는 진공 작동식 척(12) 내에 부가 장착형 기판(14)을 장착하는 단계로서, 부가 장착형 기판(14)은 가요성 기판에 접착된 강성 캐리어 기판을 포함하고 X 스테이지(10)는 Y 스테이지(16)와 이동 가능하게 커플링되는, 부가 장착형 기판(14)을 장착하는 단계와, (b) 탈착기(18)가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스와 정렬되도록 Z축으로의 탈착기 높이를 조절하는 단계로서, 탈착기(18)는 Y 스테이지(16)에 커플링되고 탈착기(18)는 2개의 장착 블록(20)과 절단 에지(22)를 포함하고, X 스테이지(10)가 2개의 장착 블록(20) 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록(20) 각각은 Y 스테이지(16)에 부착되는 원위 단부(24)를 구비하고, 절단 에지(22)가 X 스테이지(10)에 놓이도록 2개의 장착 블록(20) 각각은 절단 에지(22)의 일단부에 부착되는 근위 단부(26)를 갖는, 탈착기 높이 조절 단계와, (c) 진공 링을 구비하는 상위 플레이트를 가요성 기판과 접촉시키는 단계와, (d) 탈착기(18)가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스를 통과하도록 강성 캐리어 기판으로부터 가요성 기판을 탈착하는 단계를 포함하고, 진공 링은 가요성 기판이 강성 캐리어로부터 탈착될 때 흡입을 통해 가요성 기판을 보유한다.
본원에 사용된 바와 같이, 장착 단계는 반드시 그러한 것은 아니지만 본 장치의 양태에 대해 설명된 컨베이어 시스템을 통해 수행될 수 있다. 또한, 컨베이어 시스템은 본 방법 양태 또는 후속하는 소프트웨어 및 시스템 양태를 실행하기 위해 반드시 X 스테이지(10)에 커플링될 필요는 없다. 부가 장착형 기판(14)은 손에 의해 그리고 본 기술 분야에 공지된 임의의 다른 방법에 의해 적재될 수 있다.
본원에 사용된 바와 같이, 상위 플레이트의 진공원은 본 방법 양태 또는 후속하는 소프트웨어 및 시스템 양태를 실행하기 위해 반드시 X 스테이지 또는 Y 스테이지(16)에 커플링될 필요는 없다. 대신에, 상위 플레이트 및 진공원은 탈착기 장치(18)로부터 이격되어 개별적으로 존재할 수 있다.
일 실시예에서, 본 방법은 강성 캐리어로부터 가요성 기판을 탈착하기 전에 탈착기(18)의 절단 에지(22)를 가열하는 단계를 포함할 수 있다. 가열된 절단 에지(22)는 접착제 층과 접촉할 때, 접착제를 연화시키고 더욱 유연하게 만들어 부가 장착형 기판(14)의 탈착을 더욱 용이하게 한다. 절단 에지(22)를 가열하기 위한 온도 제어기를 위한 다양한 실시예는 본 발명의 제1 양태에서 상술된 것들을 포함하지만 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에서, 탈착기(18)는 초음파 진동이 가능하다. 탈착기(18)의 이러한 진동은 절단 에지(22)가 부가 장착형 기판(14)의 접착제 층을 관통하는 것을 추가로 돕는다. 탈착기(18)의 초음파 진동을 발생시키기 위한 다양한 실시예는 본 발명의 제1 양태에서 상술된 것을 포함하지만 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에서, 본 방법은 탈착 단계 이전 및/또는 도중에 가요성 기판과 강성 캐리어 기판 사이의 인터페이스에 용매 적하 시스템을 적용하는 단계를 포함할 수 있다. 용매를 적용하면, 부가 장착형 기판(14)의 주연부의 접착제 층을 용해함으로써 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이를 약화시켜 절단 에지(22)가 접착제 층을 관통하는 것을 더욱 용이하게 한다. 본원에 사용된 바와 같이, 용매 적하 시스템의 용매 저장부는 본 방법의 양태, 후속하는 소프트웨어 및 시스템 양태를 구현하기 위해 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16)에 반드시 커플링될 필요는 없다. 대신에, 용매 저장부 및 전체 용매 적하 시스템은 탈착기 장치(18)로부터 이격되어 개별적으로 존재할 수 있다. 용매 적하 시스템의 다양한 실시예는 본 발명의 제1 양태에서 상술된 것을 포함하지만 이에 제한되지 않는다.
일 실시예에서, 본 방법은 탈착이 발생한 후 세척 시스템을 통해 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 단계를 포함할 수 있다. 다른 실시예에서, 본 방법은 탈착이 발생한 후 세척 시스템을 통해 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 단계를 포함할 수 있으며, 이 실시예로 인해 기판 자체에는 손상을 주지 않으면서 모든 잔류 접착제가 제거된다. 잔류 접착제를 제거하기 위한 다양한 실시예는 본 발명의 제1 양태에서 상술된 것을 포함하지만 이에 제한되지 않는다.
본원에 사용된 바와 같이, 강성 캐리어 기판 및 가요성 기판의 세척 시스템의 용매 저장부는 본 방법 양태, 후속하는 소프트웨어 및 시스템 양태를 구현하기 위해 반드시 X 스테이지(10) 또는 Y 스테이지(16)에 커플링될 필요는 없다. 대신에, 용매 저장부 및 양 세척 시스템은 탈착기 장치(18)로부터 이격되어 개별적으로 존재할 수 있다.
일 실시예에서, X 스테이지(10) 및 Y 스테이지(16)는 동력에 의해 작동될 수 있으며, 다른 실시예에서, Y 스테이지(16)는 X 스테이지(10)에 대해 이동되고, 또 다른 예에서, Y 스테이지(16)는 X 스테이지(10)와 동심으로 회전한다. 이러한 실시예 각각은 본 발명의 제1 양태에서 더욱 상세하게 설명되었다.
일 실시예에서, 진공 작동식 척(12)은 온도 제어부를 갖는다. 본원에 사용된 바와 같이, 진공 척(12)의 온도 제어부는 진공 척(12)의 표면을 가열할 수 있게 하며, 그 후 그 열을 강성 캐리어 기판에 전달하고 후속하여 접착제 층에 전달할 수 있게 한다. 이러한 방식으로 접착제 층을 가열하면 접착제가 연화되고 절단 에지(22)를 관통하는 것이 더욱 용이해진다. 온도는 접착제 상에 작용할 정도로 높은 온도이지만, 강성 캐리어 기판 또는 가요성 기판상에 영구적인 손상이 발생할 정도로 높은 온도는 아니다. 다양한 실시예에서, 탈착은 40℃ 내지 200℃ 사이의 온도에서 수행된다.
일 실시예에서, 본 방법은 탈착 프로세스에서의 사용 후 릴 대 릴 시스템을 통해 탈착기의 절단 에지(22)를 교체하는 단계를 더 포함한다.
본원에서 사용된 바와 같이, 본 방법 양태에 대한 모든 전술된 설명 및 실시예는 후속하는 소프트웨어 및 시스템 양태뿐만 아니라 이전의 장치 양태에도 동일하게 적용될 수 있다. 다양한 실시예에서, 본 발명의 방법의 각 실시예는 본 발명의 제1 양태의 임의 실시예의 임의 장치 또는 후술되는 본 발명의 제3 양태의 임의 실시예의 임의 시스템을 이용하여 수행될 수 있다.
제3 양태에 있어서, 본 발명은 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 시스템의 형태를 취할 수 있으며, 상기 시스템은 (a) 사용자 인터페이스와, (b) 사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되는 컨베이어 시스템으로서, 컨베이어 시스템은 (i) 미리 결정된 거리로 부가 장착형 기판(14)을 운반하고, (ii) 탈착 장치 내로 부가 장착형 기판(14)을 적재하도록 작동 가능한, 컨베이어 시스템과, (c) 사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되고 부가 장착형 기판(14)에 용매 적하를 적용하도록 작동 가능한 용매 적하 시스템과, (d) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 초음파 주파수로 탈착기(18)를 진동하도록 작동 가능한 진동 시스템과, (e) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 진공 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판(14)을 안정화하도록 작동될 수 있는 진공 시스템과, (f) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 가요성 기판 및 강성 캐리어 기판으로 부가 장착형 기판(14)을 분리하도록 작동 가능한 탈착 시스템과, (g) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 전에 탈착 시스템의 절단 에지(22) 및/또는 진공 작동식 척(12)을 가열하도록 작동 가능한 온도 제어 시스템과, (h) 탈착기(18)가 사용 후 절단 에지(22)를 교체할 수 있는 릴 대 릴 시스템과, (i) 사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 후 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하도록 작동 가능한 세척 시스템을 포함한다.
본원에 사용된 바와 같이, 부가 장착형 기판(14)을 운반 및 적재하는 단계는 본 장치 및 방법 양태에 관하여 설명된 바와 같이 컨베이어 시스템에 의해 수행된다.
본원에 사용된 바와 같이, 용매를 적용하는 단계는 본 장치 및 방법 양태와 관련하여 설명된 용매 적하 시스템에 의해 수행된다.
본원에 사용된 바와 같이, 사용자 인터페이스는 키보드와, 모니터와, 제어 패널과, 운반, 적재, 용매 적하 적용, 가열, 진동, 안정화, 탈착 및 잔류 접착제 제거를 관리하기 위한 도구 및 출력 설비 중 하나 이상을 포함할 수 있다. 이러한 도구는 각 기능을 모니터링하고 모니터 또는 다른 디스플레이 상에 사용자에 대한 실시간 데이터를 제공하는 트랙커(tracker) 및 센서와 같은 다양한 입력 설비를 포함하여, 사용자는 이후 제어 패널 및/또는 키보드에 커플링된 출력 설비를 이용하는 시스템을 관리할 수 있으며, 이들 모두는 본 발명의 장치, 시스템 및 방법을 자동화시킬 수 있는 처리 유닛에 의해 통합된다.
작동시, 상술된 복수의 서브시스템은 부가 장착형 기판(14)을 탈착하는 것을 수행할 수 있도록 상호 작용할 수 있다. 일 실시예에서, 탈착기(18)는 둘 이상의 세척 시스템, 강성 캐리어를 세척하기 위한 하나의 일괄 침지 스테이션 및 가요성 기판을 세척하기 위한 하나의 고압 용매 스프레이 스테이션을 공급할 수 있다. 탈착 시스템의 속도에 따라, 제조 환경에 대한 효과적인 속도로 탈착 시스템을 작동시키기 위해 둘보다 많은 세척 시스템이 필요할 수도 있다. 다른 실시예에서, 넷 이상의 세척 스테이션을 차례로 공급하는 2개의 탈착 시스템에 2개의 부가 장착형 기판(14)을 공급하는 2개의 슬라이드에 커플링된 하나의 컨베이어 시스템이 존재할 수 있다. 당업자라면 예컨대, 제조 성능을 최적화하기 위해 각 서브시스템의 다양한 쌍을 구비한 이러한 시스템을 구현하기 위한 다양한 방법이 존재한다는 사실을 이해할 것이다.
제4 양태에 있어서, 본 발명은 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 장치 또는 시스템에 대해 본 발명의 방법을 자동적으로 수행하기 위해 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체의 형태를 취할 수 있다. 이 양태에서, 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체는 데이터 저장부에 저장된 명령을 제공할 수 있으며, 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 시스템이 본원에 개시된 방법 또는 시스템 중 하나 이상을 수행하게 하는 프로세스에 의해 실행 가능하다. 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체는 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 시스템의 다양한 실시예를 제어하도록 컴퓨터 시스템에서 작동 가능하다.
본원에서 사용된 바와 같이, 용어 "물리적 컴퓨터 판독 가능 매체"는 자성 디스크, 광학 디스크, 유기 메모리, 및 CPU에서 판독 가능한 임의의 다른 휘발성[예컨대, 임의 기억 장치(Random Access Memory)("RAM")] 또는 비휘발성[예컨대, 판독 전용 기억 장치(Read-Only Memory)("ROM")] 대용량 저장 시스템을 포함한다. 물리적 컴퓨터 단독 가능 매체는 처리 시스템상에서 독점적으로 존재할 수 있거나 처리 시스템에 대해 원격이거나 또는 근거리일 수 있는 다중 상호 연결 처리 시스템 사이에서 분포될 수 있는 협력 또는 상호 연결 컴퓨터 판독 가능 매체를 포함한다.
제4 양태의 일 실시예에 있어서, 본 발명은 데이터 저장부 내에 저장되고 부가 장착형 기판(14)을 탈착하기 위한 장치 또는 시스템이 기능을 수행하게 하는 프로세서에 의해 처리될 수 있는 명령을 제공하는 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체의 형태를 취할 수 있으며, 상기 기능은 (a) 미리 결정된 거리에 대해 부가 장착형 기판(14)을 운반하고, (b) 탈착 장치 내로 부가 장착형 기판(14)을 적재하고, (c) 부가 장착형 기판(14)에 용매 적하를 적용하고, (d) 절단 에지(22) 및/또는 진공 작동식 척(12)을 가열하고, (e) 초음파 주파수로 탈착기(18)를 진동시키고, (f) 진동 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판(14)을 안정화시키고, (g) 부가 장착형 기판(14)을 탈착시키고, (h) 릴 대 릴 시스템을 통해 탈착기의 절단 에지(22)를 교체하고, (i) 탈착 후 부가 장착형 기판의 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 기능 포함한다.
임의 양태의 전술된 실시예 중 임의 실시예는 문맥이 명백하게 그렇지 않다는 것을 나타내지 않는다면 청구된 발명을 실행하기 위해 함께 조합될 수 있다.

Claims (31)

  1. 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 장치이며,
    X 스테이지와,
    X 스테이지에 부착되고 부가 장착형 기판을 수용할 수 있는 진공 작동식 척과,
    X 스테이지에 이동 가능하게 커플링되고 X 스테이지에 수직하게 배향되는 Y 스테이지와,
    Y 스테이지에 커플링되는 탈착기를 포함하고,
    탈착기는 2개의 장착 블록과 절단 에지를 포함하고, X 스테이지가 2개의 장착 블록들 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록 각각은 Y 스테이지에 부착되는 말단 단부를 구비하고, 절단 에지가 X 스테이지에 놓이도록 2개의 장착 블록 각각은 절단 에지의 일단부에 부착되는 근위 단부를 구비하고, 절단 에지의 높이가 Z축으로 조절될 수 있는
    기판 탈착 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    진공 링을 수용하는 상위 플레이트를 더 포함하고,
    상위 플레이트를 위한 진공원은 X 스테이지 또는 Y 스테이지에 커플링되는
    기판 탈착 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    탈착기의 절단 에지의 온도를 제어하기 위한 수단을 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    탈착기의 절단 에지에 기능적으로 커플링되는 온도 제어기를 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    초음파 주파수로 탈착기를 진동시키기 위한 수단을 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    탈착기에 기능적으로 커플링되는 하나 이상의 변환기 플레이트를 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    부가 장착형 기판에 용매를 적용하기 위한 수단을 더 포함하고,
    상기 용매를 적용하기 위한 수단은 X 스테이지 또는 Y 스테이지 중 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매를 포함하는
    기판 탈착 장치.
  8. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    X 스테이지 또는 Y 스테이지 중 어느 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매 적하 시스템을 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서,
    탈착이 발생한 후 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템을 더 포함하고,
    상기 세척 시스템은 X 스테이지 또는 Y 스테이지 중 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매 저장부를 포함하는
    기판 탈착 장치.
  10. 제9항에 있어서,
    강성 캐리어로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템은 용매 내로의 일괄 침지를 위한 수단을 포함하는
    기판 탈착 장치.
  11. 제1항 내지 제10항에 있어서,
    탈착이 발생한 후, 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템을 더 포함하고,
    상기 세척 시스템은 X 스테이지 또는 Y 스테이지 중 하나 또는 양자 모두에 커플링되는 용매 저장부를 포함하는
    기판 탈착 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하기 위한 세척 시스템은 고압 용매 스프레이를 포함하는
    기판 탈착 장치.
  13. 제1항 내지 제12항 중 어느 한 항에 있어서,
    X 스테이지 및 Y 스테이지는 동력에 의해 작동되는
    기판 탈착 장치.
  14. 제1항 내지 제13항 중 어느 한 항에 있어서,
    Y 스테이지는 이동 가능한
    기판 탈착 장치.
  15. 제13항에 있어서,
    Y 스테이지는 X 스테이지에 대해 동심으로 회전 이동 가능한
    기판 탈착 장치.
  16. 제1항 내지 제15항 중 어느 한 항에 있어서,
    진공 작동식 척 내에 부가 장착형 기판을 적재하기 위한 컨베이어 시스템을 더 포함하고,
    컨베이어 시스템은 X 스테이지에 커플링되는
    기판 탈착 장치.
  17. 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서,
    2개의 장착 블록에 커플링되는 릴 대 릴 시스템을 더 포함하는
    기판 탈착 장치.
  18. 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 방법이며,
    X 스테이지에 부착된 진공 작동식 척 내에 부가 장착형 기판을 장착하는 단계로서, 부가 장착형 기판은 가요성 기판에 접착된 강성 캐리어 기판을 포함하고 X 스테이지는 Y 스테이지에 이동 가능하게 커플링되는, 부가 장착형 기판을 장착하는 단계와,
    탈착기가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스와 정렬되도록 Z축으로의 탈착기 높이를 조절하는 단계로서, 탈착기는 Y 스테이지에 커플링되고 탈착기는 2개의 장착 블록과 절단 에지를 포함하고, X 스테이지가 2개의 장착 블록 사이에서 이동 가능하도록 2개의 장착 블록 각각은 Y 스테이지에 부착된 원위 단부를 갖고, 절단 에지가 X 스테이지에 놓이도록 2개의 장착 블록 각각은 절단 에지의 일단부에 부착된 근위 단부를 갖는, 탈착기 높이 조절 단계와,
    진공 링을 포함하는 상위 플레이트를 가요성 기판과 접촉시키는 단계와,
    탈착기가 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스를 통과하도록 강성 캐리어 기판으로부터 가요성 기판을 탈착하는 단계를 포함하고,
    진공 링은 가요성 기판이 강성 캐리어로부터 탈착될 때 흡입을 통해 가요성 기판상으로 유지되는
    기판 탈착 방법.
  19. 제18항에 있어서,
    강성 캐리어로부터 가요성 기판을 탈착하는 단계 이전에 탈착기의 절단 에지를 가열하는 단계를 더 포함하는
    기판 탈착 방법.
  20. 제18항에 있어서,
    탈착기는 초음파 진동이 가능한
    기판 탈착 방법.
  21. 제18항에 있어서,
    탈착 단계 이전 및/또는 도중에 강성 캐리어 기판과 가요성 기판 사이의 인터페이스에 용매 적하 시스템을 적용하는 단계를 더 포함하는
    기판 탈착 방법.
  22. 제18항에 있어서,
    탈착이 발생한 후, 세척 시스템을 통해 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 단계를 더 포함하는
    기판 탈착 방법.
  23. 제18항에 있어서,
    탈착이 발생한 후, 세척 시스템을 통해 가요성 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 단계를 더 포함하는
    기판 탈착 방법.
  24. 제18항에 있어서,
    X 스테이지 및 Y 스테이지는 동력에 의해 작동되는
    기판 탈착 방법.
  25. 제18항에 있어서,
    Y 스테이지는 X 스테이지에 대해 이동하는
    기판 탈착 방법.
  26. 제18항에 있어서,
    Y 스테이지는 X 스테이지에 대해 동심으로 회전하는
    기판 탈착 방법.
  27. 제18항에 있어서,
    진공 작동식 척은 온도 제어부를 갖는
    기판 탈착 방법.
  28. 제18항에 있어서,
    탈착 프로세스에서 사용한 후 릴 대 릴 시스템을 통해 탈착기의 절단 에지를 교체하는 단계를 더 포함하는
    기판 탈착 방법.
  29. 데이터 저장부 내에 저장되고 프로세서에 의해 처리될 수 있는 명령을 제공하는 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체이며, 상기 프로세서는
    미리 결정된 거리만큼 부가 장착형 기판을 운반하고,
    탈착 장치 내로 부가 장착형 기판을 적재하고,
    부가 장착형 기판에 용매 적하를 적용하고,
    절단 에지 및/또는 진공 작동식 척을 가열하고,
    초음파 주파수로 탈착기를 진동시키고,
    진동 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판을 안정화시키고,
    부가 장착형 기판을 탈착시키고,
    릴 대 릴 시스템을 통해 탈착기의 절단 에지를 교체하고,
    탈착 후 부가 장착형 기판의 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하는 것을 포함하는 기능을 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 장치 또는 시스템이 수행하게 하는
    물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체.
  30. 데이터 저장부 내에 저장되고 프로세서에 의해 수행될 수 있는 명령을 제공하는 물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체이며,
    상기 프로세서는 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 시스템이 제18항 내지 제28항에 따른 방법 중 하나 이상을 수행하게 하는
    물리적 컴퓨터 판독 가능 저장 매체.
  31. 부가 장착형 기판을 탈착하기 위한 시스템이며,
    사용자 인터페이스와,
    사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되고, (i) 미리 결정된 거리만큼 부가 장착형 기판을 운반하고, (ii) 탈착 장치 내로 부가 장착형 기판을 적재하도록 작동 가능한 컨베이어 시스템과,
    사용자 인터페이스에 통신 가능하게 커플링되고 부가 장착형 기판에 용매 적하를 적용하도록 작동 가능한 용매 적하 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 초음파 주파수로 탈착기를 진동하도록 작동 가능한 진동 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 진공 링을 통해 상위 플레이트에 대해 부가 장착형 기판을 안정화시키도록 작동될 수 있는 진공 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 가요성 기판 및 강성 캐리어 기판으로 부가 장착형 기판을 분리하도록 작동 가능한 탈착 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 전에 탈착 시스템의 절단 에지 및/또는 진공 작동식 척을 가열하도록 작동 가능한 온도 제어 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되는 릴 대 릴 시스템으로서, 탈착기가 사용 후 절단 에지를 교체할 수 있는, 릴 대 릴 시스템과,
    사용자 인터페이스와 통신 가능하게 커플링되고 탈착 후 강성 캐리어 기판으로부터 잔류 접착제를 제거하도록 작동 가능한 세척 시스템을 포함하는
    부가 장착형 기판 탈착 시스템.
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