KR102059827B1 - 기판 분리 장치 및 기판 분리 방법 - Google Patents

기판 분리 장치 및 기판 분리 방법 Download PDF

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Abstract

기판 분리 장치 및 기판 분리 방법이 제공된다. 기판 분리 장치는 수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부, 상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부를 포함하되, 상기 하부 이송부는, 상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간 및 상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2 이송구간을 포함할 수 있다.

Description

기판 분리 장치 및 기판 분리 방법{Apparatus And Method For Separating Plates}
본 발명은 기판 분리 장치 및 기판 분리 방법에 관한 것이다.
최근 들어 유연성을 갖는 플렉시블 전자소자의 중요성이 증대되고 있으며, 이에 따라 유기 발광 표시 장치(organic light emitting display: OLED), 액정 표시 장치(liquid crystal display: LCD), 전기영동장치(Electrophoretic display: EPD), 플라스마 디스플레이 패널(plasma display panel: PDP), 박막 트랜지스터(thin-film transistor: TFT), 마이크로 프로세서(microprocessor), 램(Random access memory: RAM) 등을 유연성을 갖는 기판상에 구현하는 다양한 기술이 요구되고 있다.
이러한 유연성을 갖는 기판 상에 전자소자를 제조하는 방법으로서, 단단한 재질의 캐리어 기판상에 유연성을 갖는 기판을 부착하고, 전자소자를 형성하는 방법이 제안되었으며, 이러한 방법은 캐리어 기판과 유연성을 갖는 기판을 분리하는 공정이 필수적이다.
그러나, 상술한 캐리어 기판과 유연성을 갖는 기판을 분리하는 공정에서 전자소자가 파손되거나 균열이 발생하는 문제점, 분리공정에서 발생하는 정전기에 의해 원활한 분리가 이루어지지 않는 문제점 및 정전기에 의한 이물질의 부착으로 인해 오염이 발생하는 문제점이 존재하였다.
본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 제1기판과 유연성을 갖는 제2기판을 안정적으로 분리할 수 있는 기판 분리 장치 및 기판 분리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는, 분리 과정에서 정전기를 제어함으로써 오염발생을 최소화할 수 있는 기판 분리 장치 및 기판 분리 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치는, 수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상기 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부; 상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 을 이송하기 위한 하부 이송부; 를 포함하되, 상기 하부 이송부는, 상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간; 및 상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2 이송구간을 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치는, 상기 제1기판 상면을 고정하여 제1직선을 따라 이송하기 위한 상부 이송부; 상기 상부 이송부 하부에 설치되고, 상기 제2기판 하면을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부를 포함하고, 상기 하부 이송부는 상기 제2기판이 이송되는 제1이송구간 및 제2 이송구간을 포함하고, 상기 직선으로부터 상기 제1이송구간까지의 수직 거리는 일정하고, 상기 직선으로부터 상기 제2이송구간까지의 수직 거리는 상기 제1이송구간에서 멀어질수록 증가할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 상호 접촉하는제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치는, 상기 제1기판을 고정하여 이송하기 위한 상부 이송부; 상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부를 포함하고, 상기 하부 이송부는 제1이송구간 및 일측이 상기 제1이송구간과 연속하는 제2이송구간을 포함하고, 상기 제2이송구간의 타측은 상기 제1이송구간에 보다 낮은 위치에 위치할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 방법은, 상기 제2기판의 하면 및 상기 제1기판의 상면을 고정하고, 제1영역에서, 수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 양의 X축 방향으로 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 이송하고, 제2영역에서 양의 X축 방향으로 상기 제1기판을 이송하는 것과 동시에 상기 제2기판을 양의 X축 방향 및 음의 Y축 방향으로 이송하여 상기 제2기판과 상기 제1기판을 점진적으로 분리하는 것을 포함할 수 있다.
상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 다른 실시예에 따른 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 방법은, 상기 제2기판의 하면 및 상기 제1기판의 상면을 고정하고, 직선을 따라 상기 제1기판을 이송하고, 상기 제1기판의 이송과 동시에 상기 제2기판을 이송하는 것을 포함하고, 상기 제2기판을 이송하는 것은, 상기 직선으로부터 수직거리가 동일한 제1이송구간에서 상기 제2기판을 이송하고, 상기 직선으로부터 수직거리가 증가하는 제2이송구간에서 상기 제2기판을 이송하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것을 포함할 수 있다.
기타 실시예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.
본 발명의 실시예들에 의하면 적어도 다음과 같은 효과가 있다.
제1기판과 제2기판간의 이격거리를 점진적으로 증가시킴으로써 제1기판과 제2기판을 보다 안정적으로 분리할 수 있는 이점 및 분리 과정에서 발생 가능한 기판 손상가능성을 최소화 할 수 있는 이점을 갖는다.
또한, 분리 과정에서 정전기를 제어함으로써 정전기로 인한 영향을 최소화할 수 있으며, 이물질로 인한 오염발생을 방지할 수 있다.
본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치의 개략적 단면을 도시한 것이다.
도 2는 도 1에 도시된 하부 이송부의 일 실시예에 대한 구조를 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 하부 이송부의 일 실시예에 대한 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 4는 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 일 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 5는 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 6은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 7은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 8은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 9는 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 10은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 11은 도 1에 도시된 상부 이송부의 개략적 구조를 도시한 사시도이다.
도 12는 도 1에 도시된 상부 고정수단의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 단면도이다.
도 13은 도 1에 도시된 상부 고정수단의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 저면도이다.
도 14는 도 1에 도시된 분리부의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 단면도이다.
도 15는 도 1에 도시된 분리부의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 사시도이다.
도 16은 도 1에 도시된 분리부의 다른 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 사시도이다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리부의 동작을 나타내기 위한 사시도이다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 고정수단과 분리부의 동작을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 고정수단과 분리부의 동작을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 20은 본 발명에 따른 기판 분리 장치에서, 일 실시예에 따른 보조 분리부 및 이온 발생부의 배치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 21 내지 도 23은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 분리 방법에 따른 기판 분리 장치의 동작을 각 단계별로 도시한 단면도이다.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다. 도면에서 층 및 영역들의 크기 및 상대적인 크기는 설명의 명료성을 위해 과장된 것일 수 있다.
소자(elements) 또는 층이 다른 소자 또는 층의 "위(on)" 또는 "상(on)"으로 지칭되는 것은 다른 소자 또는 층의 바로 위 뿐만 아니라 중간에 다른 층 또는 다른 소자를 개재한 경우를 모두 포함한다.
비록 제1, 제2 등이 다양한 구성요소들을 서술하기 위해서 사용되나, 이들 구성요소들은 이들 용어에 의해 제한되지 않음은 물론이다. 이들 용어들은 단지 하나의 구성요소를 다른 구성요소와 구별하기 위하여 사용하는 것이다. 따라서, 이하에서 언급되는 제1 구성요소는 본 발명의 기술적 사상 내에서 제2 구성요소일 수도 있음은 물론이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들에 대하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 장치의 개략적 단면을 도시한 것이다.
도 1을 참조하면, 본 발명에 따른 기판 분리 장치(1)는, 제2기판(11) 상에 접촉하는 제1기판(13)을 포함한 적층체(10)를, 제2기판(11)과 제1기판(13)으로 분리하기 위한 장치이다.
적층체(10)의 제2기판(11)은 유연성(flexible)을 가질 수 있으며, 유연성을 갖는 것이라면 그 제한이 없다. 예컨대 제2기판(11)은 필름 또는 시트 그 자체일 수도 있으며, 연성회로기판(FPCB)일 수도 있다. 또한 제2기판(11)은 유연성을 갖는 전자소자를 포함할 수도 있다. 상기 전자소자는, 유기 발광 표시 장치(organic light emitting diode display: OLED display), 백색 유기 발광 표시 장치(white organic light emitting diode display: WOLED display), 액정 표시 장치(liquid crystal display: LCD)로 이루어진 군에서 선택된 하나 이상일 수 있다. 아울러 제2기판(11)은 유연성을 갖는 절연기판(예컨대 폴리이미드 기판) 및 상기 유연성을 갖는 절연기판 상에 실장된 상기 전자소자를 모두 포함할 수도 있다.
제1기판(13)은 유연성을 가질 수도 있으며, 경성(rigid)을 가질 수도 있다. 예컨대 제1기판(13)은 필름 또는 시트 그 자체일 수도 있으며, 이를 포함하는 전자소자일 수도 있다. 또한 제1기판(13)은 경성을 갖는 캐리어 기판 또는 표시장치의 윈도우일 수도 있다. 제1기판(13)이 경성을 갖는 경우, 제1기판(13)은 글라스 기판, 석영 기판, 사파이어 기판, 세라믹 기판 중 어느 하나일 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
상술한 제2기판(11)과 제1기판(13)을 분리하기 위한 본 발명의 기판 분리 장치(1)는, 하부 이송부(100), 하부 이송부(100) 상에 이격되어 배치된 상부 이송부(300)를 포함할 수 있으며, 분리부(500)를 더 포함할 수도 있다.
하부 이송부(100)는 제2기판(11)을 고정 및 이송하는 부분으로서, 적층체(10)가 안착되어 제2기판(11)의 하면과 접촉하는 하부 안착수단(110), 적층체(10)의 하면, 보다 구체적으로 제2기판(11)의 하면을 고정하는 하부 고정수단(130), 제2기판(11)의 이송을 위하여 하부 안착수단(110)을 이동시키는 하부 구동수단(도면 미도시)를 포함할 수 있다.
하부 안착수단(110)은 제1이송구간(111) 및 제2이송구간(113)을 포함할 수 있다. 제1이송구간(111)에서는 제2기판(11)이 화살표 C 방향, 즉 양의 X축 방향으로 이송될 수 있으며, 제2이송구간(113)에서는 제2기판(11)이 화살표 D 방향, 즉 양의 X축 방향과 음의 Y축 방향의 합으로 이루어진 방향으로 이송될 수 있다. 이하에서 양의 방향이란 도면에 표시된 각 축의 화살표가 향하는 방향을 의미하며, 음의 방향이란 도면에 표시된 각 축의 화살표가 향하는 방향의 반대방향을 의미한다. 또한 ⊙는 도면을 기준으로 전면 방향으로 화살표가 향함을 의미한다. 즉, ⊙는 도면을 기준으로 화살표가 튀어나옴을 의미한다. 또한 ⓧ는 도면을 기준으로 후면 방향으로 화살표가 향함을 의미한다. 즉, ⓧ는 ⊙와 반대 방향으로 화살표가 향함을 의미한다.
하부 안착수단(110) 상에 적층체(10)가 안착되면, 하부 고정수단(330)은 제2기판(11)의 하면을 고정할 수 있다. 그리고 하부 구동수단의 구동에 의해 하부 안착수단(310)을 이동시킴으로써, 하부 안착수단(310) 상에 고정된 제2기판(11)은 제1이송구간(111)에서는 상기 C 방향으로 이송될 수 있고, 제2이송구간(113)에서는 상기 D 방향으로 이송될 수 있다.
상부 이송부(300)는 제1기판(13)을 고정 및 이송하는 부분으로서, 제1기판(13)의 상면과 접촉하는 상부 안착수단(310), 상부 안착수단(310)의 하부에 배치되어 제1기판(13)의 상면을 고정하는 상부 고정수단(330), 제1기판(13)의 이송을 위하여 상부 안착수단(310)을 이동시키는 상부 구동수단(도면 미도시)를 포함할 수 있다.
상부 안착수단(310)은 제1기판(13)을 이송하는 부분의 외관을 형성하는 것으로서, 상부 안착수단(310)의 크기 및 형태는 제1기판(13)의 크기 및 형태를 고려하여 제작될 수 있다.
상부 고정수단(330)은 상부 안착수단(310) 하부에 배치되어 제1기판(13)의 상면을 고정하는 부분으로서, 진공흡착수단으로 이루어질 수 있다.
적층체(10)가 하부 이송부(100) 상에 안착되면, 상부 구동수단은 상부 안착수단(310)을 B 방향, 즉 음의 Y축 방향으로 이동할 수 있으며, 이에 따라 상부 안착수단(310)은 제1기판(13)의 상면과 접촉할 수 있다. 상부 고정수단(330)은 제1기판(13)의 상면을 고정할 수 있다. 그리고 상부 구동수단은 상부 안착수단(310)을 A 방향, 즉 양의 X축 방향으로 이동시킴으로써 제1기판(13)을 이송할 수 있게 된다. 여기서 상부 안착수단(310)의 B방향으로의 이동을 가이드 하기 위하여 상부가이드(390)가 더 배치될 수도 있다.
제1영역(PA1)에서는 제1기판(13)과 제2기판(11)의 이동속도는 서로 동일할 수 있다. 여기서 '속도'란 방향성분 및 크기성분을 포함하는 벡터값을 의미한다. 즉, 제1영역(PA1)에서 제1기판(13)과 제2기판(11)의 이동거리 및 이동방향은 서로 동일할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제1영역(PA1)에서 적층체(10)는 제1기판(13)과 제2기판(11)이 상호 접촉하는 상태에서, 상면이 상부 고정수단(330)에 의해 고정되고, 하면이 하부 고정수단(130)이 고정되어 제1이송구간(111)을 따라 이송될 수 있다. 즉, 제1영역(PA1)은 제1기판(13)과 제2기판(11)이 상호 물리적으로 완전히 분리되지 않은 상태에서 동시에 동일방향으로 이송되는 영역으로 정의될 수 있다. 그리고 제1이송구간(111)은 상면에 제2기판(11)이 안착되는 하부 안착수단(110) 중 제1영역(PA1)과 대응하는 부분으로 정의될 수 있다. 즉, 제1이송구간(111)은 제1영역(PA1)과 대응하는 하부 안착수단(110)의 일부분이다.
제2영역(PA2)에서는 제1기판(13)과 제2기판(11)의 이동속도는 서로 상이할 수 있다. 보다 구체적으로 제1기판(13) 이동속도의 Y방향 성분과 제2기판(11) 이동속도의 Y축 방향 성분은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 제2영역(PA2)에서 제1기판(13) 이동속도의 Y축 방향 성분은 실질적으로 0일 수 있으며, 제2이송구간(113)에서 제2기판(13) 이동속도의 Y축 방향 성분은 음의 값을 가질 수 있다. 한편 제2영역(PA2)에서 제1기판(13) 이동속도의 X축 방향 성분과 제2이송구간(113)에서 제2기판(13) 이동속도의 X축 방향 성분은 서로 동일할 수 있으며, 상이할 수도 있다.
즉, 제2이송구간(113)에서 제2기판(11)은 제1기판(13)에 대하여 상대적으로 음의 Y축 방향으로 이동하게 된다. 그리고 제2기판(11)의 하면은 하부 고정수단(130)에 의해 고정되고, 제1기판(13)의 상면은 상부고정수단(130)에 의해 고정된 상태에서 상호 상대적으로 이동하는 바, 제2기판(11)과 제1기판(13)은 점진적으로 분리될 수 있다. 즉, 제2영역(PA2)은 제1기판(13)과 제2기판(11)이 Y축 방향에 대하여 상대적으로 이동함으로써 상호 분리되는 영역으로 정의될 수 있다. 그리고 제2이송구간(113)은 상면에 제2기판(11)이 안착되는 하부 안착수단(110) 중 제2영역(P2)에 대응하는 부분으로 정의될 수 있다. 즉, 제2이송구간(113)은 제2영역(PA2)과 대응하는 하부 안착수단(110)의 일부분이다.
이에 따르면, 제2기판(11)과 제1기판(13)은 제2영역(PA2)에 진입하여 점진적으로 분리되는 바, 제2기판(11) 또는 제1기판(13)에 가해지는 스트레스를 최소화하고 안정적으로 기판 분리과정을 수행할 수 있는 이점, 분리 속도를 조절할 수 있는 이점을 갖는다. 또한 기판 분리과정에서 제2기판(11)의 상면에 별도의 접촉이 발생하는 것을 방지할 수 있는 이점 및 이에 따라 분리과정에서 제2기판(11)의 상면이 오염되는 것을 방지할 수 있는 이점이 존재한다.
기판 분리 장치(1)는 제2영역(PA2)에서 제2기판(11)과 제1기판(13)의 분리가 보다 용이하게 이루어질 수 있도록 하기 위하여 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리하는 분리부(500)를 더 포함할 수 있다.
분리부(500)는 나이프(510)를 포함할 수 있으며, 나이프(510)는 상호 접촉하는 제2기판(11)과 제1기판(13)을 X 및 Y축과 수직 교차하는 Z축 방향을 따라 부분적으로 분리할 수 있다. 즉, 분리부(500)는 나이프(510)를 이용하여 제2기판(11)과 제1기판(13)을 일차적으로 분리하는 데 사용될 수 있다. 나이프(510)를 이용한 제1기판(13)과 제2기판(11)의 분리 과정은 제2영역(PA2)의 진입 전, 즉 제2기판(11)이 제1이송구간(111)에 위치하는 동안 이루어질 수 있다.
바꾸어 말하면, 상호 접촉하는 제2기판(11)과 제1기판(13)은, 분리부(500)의 나이프(510)에 의해 Z축 방향을 따라 부분적으로 분리될 수 있으며, 적층체(10)는 나이프(510)에 의해 제1기판(13)과 제2기판(11)이 부분적으로 분리된 이후에 제2영역(PA2)으로 이송될 수 있다.
이에 따라 제2영역(PA2)에서 제2이송구간(113)으로 이송되는 제2기판(11) 및 제2영역(PA2)에서 양의 X축 방향으로 이송되는 제1기판(13)은 보다 용이하게 분리될 수 있다.
한편, 나이프(510)를 이용한 제2기판(11)과 제1기판(13)의 부분 분리과정이 보다 용이하게 이루어지도록 하기 위하여, 제1영역(PA1)에서 제1이송구간(111)을 따라 이송되는 적층체(10)는 제2영역(PA2)으로 진입하기 전에 그 이동이 정지될 수도 있다. 그리고, 나이프(510)를 이용한 제2기판(11)과 제1기판(13)의 부분 분리과정은 적층체(10)가 정지된 상태에서 이루어질 수 있다.
도 2 및 도 3은 도 1에 도시된 하부 이송부의 일 실시예에 대한 구조를 개략적으로 도시한 단면도 및 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 도 1의 설명에서 상술한 바와 같이 하부 이송부(도 1의 100)는 하부 안착수단(110), 하부 고정수단(130) 및 하부 구동수단(151, 153)을 포함할 수 있다.
하부 안착수단(110)은 제2기판(도 1의 11)과 마찬가지로 유연성을 가질 수 있다. 예컨대 하부 안착수단(110)은 이송벨트 또는 컨베이어벨트 형태로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다. 즉, 하부 안착수단(110)은 유연성을 갖는 제2기판(도 1의 11)의 구부러짐 등의 형상변화를 반영할 수 있는 모든 형태, 예컨대 유연성을 갖는 플레이트 형상으로 이루어질 수도 있다. 이하에서는 하부 안착수단(110)이 이송벨트 형태로 이루어진 경우를 예시로 설명하나, 이에 한정되는 것은 아니다.
하부 안착수단(110)이 이송벨트로 이루어지는 경우, 제1이송구간(111)은 하부 안착수단(110) 중 도 1의 설명에서 상술한 제1영역(PA1)과 대응하는 부분으로 정의될 수 있으며, 제2이송구간(113)은 하부 안착수단(110) 중, 도 1의 설명에서 상술한 제2영역(PA2)과 대응되는 부분으로 정의될 수 있다.
하부 고정수단(130)은 상술한 하부 안착수단(110)에 형성된 복수의 진공홀 형태로 이루어질 수 있으며, 하부 안착수단(110) 상에 안착되는 제2기판(도 1의 11)을 진공 흡착할 수 있다. 즉, 하부 고정수단(130)은 하부 안착수단(110)에 제2기판(도 1의 11)이 안착되면 홀을 통해 공기를 흡입함으로써 하부 안착수단(110)과 제2기판(도 1의 11) 사이에 진공을 형성할 수 있으며, 이에 따라 제2기판(도 1의 11)은 하부 안착수단(110)에 고정될 수 있다. 다만 이는 하나의 예시일 뿐이며, 이외에도 하부 고정수단(130)은 하부 안착수단(110) 상에 형성되는 진공흡착패드 또는 흡착고무패드 등으로 이루어질 수 있다. 즉, 현재 개발되어 상용화되었거나 향후 기술발전에 따라 구현 가능한 모든 흡착수단이 본 발명의 하부 고정수단(130)으로 이용될 수 있다고 할 것이다.
하부 구동수단(151, 153)은 하부 안착수단(110) 상에 고정되는 제2기판(도 1의 11)을 이송하기 위한 구동력을 발생시키는 부분이다. 하부 구동수단(151, 153)은, 하부 안착수단(110)이 이송벨트 또는 컨베이어벨트 형태로 이루어지는 경우, 구동롤러 형태로 이루어질 수 있다. 상기 구동롤러는 하부 안착수단(110)의 일측에 배치된 제1하부 구동롤러(151) 및 하부안착수단(110)의 타측에 배치된 제2하부 구동롤러(153)를 포함할 수 있다. 즉, 하부 구동수단(151, 153)은 롤러형태로 이루어질 수 있으며, 화살표 방향으로 회전함으로써 하부 안착수단(110) 상에 고정되는 제2기판(도 1의 11)을 양의 X축 방향으로 이송할 수 있게 된다. 다만, 상술한 내용은 하나의 예시일 뿐이며, 하부 구동수단(515, 153)에는 그 제한이 없다.
이외 하부 이송부(도 1의 100)의 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113) 사이에는, 하부 안착수단(110)을 가이드 하기 위한 하부가이드(155)를 더 포함할 수도 있다. 즉, 하부 안착수단(150)은 하부가이드(155)의 가이드에 의해 제1이송구간(111) 및 제2이송구간(113)으로 구획될 수 있다.
하부가이드(155)는 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이 상부 및 하부에 평면이 형성된 육각기둥 형상을 가질 수 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며 이외에도 원기둥 형상, 롤러 형상 등 다양한 형상을 가질 수도 있다.
도 4는 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 일 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 4를 참조하면, 본 실시예에 따른 제1이송구간(111)은 X축과 평행한 평면 형상으로 이루어질 수 있으며, 제1이송구간(111)에서는 제2기판(도 1의 11)이 양의 X축 방향으로 이송될 수 있다.
본 실시예에 따른 제2이송구간(113)은 제1이송구간(111)과 연속하며, 제2이송구간(113)에서 제2기판(도 1의 11)은 양의 X축 방향으로 이동함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이동하게 된다. 즉, XY좌표계에서 제2이송구간(113) 상의 제2기판(도 1의 11)은 음의 기울기를 갖는 방향으로 이송된다.
하부 안착수단(110) 중, 제2이송구간(113)의 상부면(113a)은 음의 기울기를 갖는 직선(L1)과 상호 접할 수 있다. 즉, 직선(L1)은 XY좌표계에서 제2이송구간(113)의 상면(113a)에 접하는 접선을 의미한다. 상술한 직선(L1)의 기울기는 제2이송구간(113)의 상면(113a) 전체에 걸쳐 일정할 수 있다.
보다 구체적으로, XY좌표계에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)간의 경계를 원점(p)으로 가정하면 원점(P)은 (0, 0)의 좌표값을 가질 수 있다. 그리고 제2이송구간(113) 상의 제1위치(P1), 제2위치(P2), 제3위치(P3)는 각각 (x1, -y1), (x2, -y2), (x3, -y3)의 좌표값을 가질 수 있다. (이하에서 xn, yn 은 양의 실수값을 가지며, n은 양의 정수이다.) 이때 제1위치(P1)와 접하는 직선의 기울기, 제2위치(P2)와 접하는 직선의 기울기 및 제3위치(P1)과 접하는 직선의 기울기 값은 서로 동일할 수 있다. 바꾸어 말하면, 제2이송구간(113)은 하방으로 경사진 평면, 즉 경사평면으로 이루어질 수 있으며, 이에 따라 XY 좌표계에 투영한 제1위치(P1), 제2위치(P2) 및 제3위치(P3)는 XY 좌표계 상에서 동일 직선(L1) 상에 위치할 수 있다.
이때 XY좌표계에서 직선(L1)과 양의 X축이 이루는 예각(α1)은 0도 초과 45도 이하일 수 있다. 즉, 제2이송구간(113)의 상면(113a)으로부터 제1이송구간(111)의 상면(111a)까지 시계방향을 따라 측정한 각도는 135˚ 초과 180˚ 미만일 수 있다. 바꾸어 말하면, 제1이송구간(111)의 상면(111a)으로부터 제2이송구간(113)의 상면(113a)까지 시계방향을 따라 측정한 각도는 180˚ 초과 225˚ 미만일 수 있다. 다만, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)이 이루는 각도는 필요에 따라 적절히 변경 가능하다.
도 5는 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것으로서, 도 4에 도시된 구조와는 제2이송구간의 형상이 일부 상이하며, 그 이외의 구조는 동일하다.
도 5를 참조하면, 제2이송구간(113)의 상면(113a)은 음의 기울기를 갖는 직선(L2, L3, L4)과 상호 접할 수 있다. 즉, 직선(L2, L3, L4)은 XY좌표계에서 제2이송구간(113)의 상면(113a)에 접하는 접선을 의미한다.
직선(L2. L3, L4)의 기울기는 제1이송구간에서 멀어질수록 증가할 수 있다. 즉, XY좌표계에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)간의경계를 원점(p)으로 가정하면 원점(P)은 (0, 0)의 좌표값을 가질 수 있다. 그리고 제2이송구간(113) 상의 제4위치(P4), 제5위치(P5), 제6위치(P6)는 각각 (x4, -y4), (x5, -y5), (x6, -y6)의 좌표값을 가질 수 있다. 이때 제4위치(P4)와 접하는 직선(L2)의 기울기가 제5위치(P5)와 접하는 직선(L3)의 기울기보다 완만할 수 있으며, 제5위치(P5)와 접하는 직선(L3)의 기울기는 제6위치(P6)과 접하는 직선(L4)의 기울기보다 완만할 수 있다. 즉, 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 각 직선의 기울기 절대값은 증가할 수 있다.
즉, 제2이송구간(113)은 하방으로 경사가 형성된 곡면으로 이루어질 수 있으며, 이에 따라 XY좌표계로 이루어진 XY평면에 투영한 제4위치(P4), 제5위치(P5) 및 제6위치(P6)는 XY좌표계에서 동일 곡선 상에 위치할 수 있고, 각 위치(P4, P5, P6)와 접하는 접선(L2, L3, L4)의 기울기는 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 증가할 수 있다.
이때 XY좌표계에서 제4위치(P4), 제5위치(P5) 및 제6위치(P6)와 접하는 각 직선(L2, L3, L4)과 양의 X축이 이루는 예각(α2, α3, α4)의 크기는, 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 증가하게 된다. 즉, 도 5를 기준으로 α2 < α3 < α4의 관계를 갖게 된다.
도 6은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것으로서, 도 4 및 도 5에 도시된 구조와는 제2이송구간의 형상이 일부 상이하며, 그 이외의 구조는 동일하다.
제2이송구간(113)의 상면(113a)은 음의 기울기를 갖는 직선(L5, L6, L7)과 상호 접할 수 있다. 즉, 직선(L5, L6, L7)은 XY좌표계에서 제2이송구간(113)의 상면(113a)에 접하는 접선을 의미한다.
XY좌표계에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)간의 경계를 원점(p)으로 가정하면 원점(P)은 (0, 0)의 좌표값을 가질 수 있고, 제2이송구간(113) 의 상면(113a) 중 제1구간(113-1) 에 위치하는 제7위치(P7)는 (x7, -y7)의 좌표값을 가질 수 있다. 이때 제1구간(113-1) 내에서 x7값이 증가할수록 제7위치(P7)와 접하는 접선(L5)의 기울기는 증가할 수 있다. 즉, 제1구간(113-1)은 하방으로 경사가 형성된 곡면으로 이루어질 수 있으며, 제1구간(113-1)의 곡면 경사는 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 증가할 수 있다.
제2이송구간(113) 의 상면(113a) 중 제1구간(113-1)과 연속하는 제2구간(113-2) 에 위치하는 제8위치(P8)는 (x8, -y8)의 좌표값을 가질 수 있다. 이때 제2구간(113-2) 내에서 x8의 값이 증가하더라도 제8위치(P8)과 접하는 접선(L6)의 기울기는 일정할 수 있다. 즉, 제2구간(113-2)은 하방으로 경사진 평면, 즉 경사평면으로 이루어질 수 있다.
제2이송구간(113) 의 상면(113a) 중 제2구간(113-2)과 연속하는 제3구간(113-3) 상에 위치하는 제9위치(P9)는 (x9, -y9)의 좌표값을 가질 수 있다. 이때, 제3구간(113-3) 내에서 x9값이 증가할수록 제9위치(P9)와 접하는 접선(L7)의 기울기는 감소할 수 있다. 즉, 제3구간(113-3)은 하방으로 경사가 형성된 곡면으로 이루어질 수 있으며, 제3구간(113-3)의 곡면 경사는 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 감소할 수 있다.
다만, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 도면에는 미도시하였으나, 제3구간(113-3)에서 x9값이 증가할수록 제9위치(P9)와 접하는 접선(LL)의 기울기가 증가할 수도 있다. 즉, 제3구간(113-3)은 상술한 제1구간(113-1)과 유사하게 하방으로 경사가 형성된 곡면으로 이루어질 수도 있으며, 제3구간(113-3)의 곡면 경사는 제1이송구간(111)에서 멀어질수록 증가할 수도 있다.
즉, 본 실시예에 따른 제2이송구간(113)은 경사면으로 이루어질 수 있으며, 상기 경사면은 곡면/평면/곡면의 조합으로 이루어질 수 있다.
또한, 도면에는 미도시하였으나 제1구간 내지 제3구간(113-1, 113-2, 113-3)의 형성위치는 변경될 수 있다. 즉, 제2구간(113-2)이 제1이송구간(111)과 연속하는 위치에 형성될 수 있으며, 순차적으로 제1구간(113-1) 및 제3구간(113-3)이 형성될 수도 있다. 아울러, 도 6에는 제2이송구간(113)의 상면(113a)이 두개의 곡면 및 하나의 평면을 포함하는 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이다. 즉, 제2이송구간(113)의 상면(113a)을 형성하는 평면과 곡면 각각의 개수 및 그 형성위치에는 그 제한이 없으며, 제2이송구간(113)의 상면(113a)은 경사 기울기가 상이한 복수의 평면만으로 이루어질 수도 있으며, 또는 복수의 곡면 만으로 이루어질 수도 있다고 할 것이다.
도 7은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1이송구간(111)은 평면으로 이루어질 수 있으며, 제1이송구간(111)에서는 제2기판(도 1의 11)이 양의 X축 방향으로 이송될 수 있다.
제2이송구간(113)은 일측(113c)이 제1이송구간(111)과 맞닿아 있으며, 타측(113d)은 제1이송구간(111)보다 낮은 부분에 위치할 수 있다. 그리고, 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 제1이송구간(111)과의 높이차는 점점 증가할 수 있다. 즉, 제2이송구간(113)에는 일측(113c)에서 타측(113d)을 향하는 방향으로 경사가 형성될 수 있다.
본 실시예에서는 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)간의 높이 차는 일정하게 증가할 수 있다. 예컨대 XY평면 상에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)간의 경계를 원점(P)으로 가정하는 경우, 원점은 (0,0)의 좌표를 가질 수 있고, 제2이송구간(113)의 상면(113a)에 위치하는 임의의 점인 제10위치(P10), 제11위치(P11), 제12위치(P12)는 각각 (x10, -y10), (x11, -y11), (x12, -y12)의 좌표를 가질 수 있다. 이때 y10/x10 = y11/x11 = y12/x12 또는 (y11-y10)/(x11-x10) = (y12-y11)/(x12-x11) 의 관계가 성립할 수 있다. 즉, 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a) 간의 높이차는 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 일정하게 증가할 수 있으며, 높이차의 증가율은 일정할 수 있다. 즉, 제2이송구간(113)의 상부면(113a)은 은 일측(113c)에서 타측(113d)을 향하는 방향으로 경사가 형성된 평면으로 이루어질 수 있다.
도 8은 도 1에 도시된 기판이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것으로서, 도 7에 도시된 구조와는 제2이송구간의 형상이 일부 상이하며, 그 이외의 구조는 동일하다.
도 8을 참조하면, 본 실시예에서는 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a)간의 높이차는 증가할 수 있으며, 상기 높이차의 증가율은 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 커질 수 있다. 예컨대 XY좌표계에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a) 간의 경계를 원점(P)으로 가정하는 경우, 원점은 (0,0)의 좌표를 가질 수 있고, 제2이송구간(113)의 상면(113a)에 위치하는 임의의 점인 제13위치(P13), 제14위치(P14), 제15위치(P15)은 각각 (x13, -y13), (x14, -y14), (x15, -y15)의 좌표를 가질 수 있다. 이때 y13/x13 < y14/x14 < y15/x15 의 관계가 성립할 수 있으며, 또는 (y14-y13)/(x14-x13) < (y15-y14)/(x15-x14) 의 관계가 성립할 수 있다. 즉, 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a) 간의 높이차는 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 증가할 수 있으며, 또한 상술한 높이차의 증가율은 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d)으로 갈수록 증가할 수 있다. 이에 따르면, 제2이송구간(113)의 상면(113a)은 도 8에 도시된 바와 같이 일측(113c)에서 타측(113d)을 향하는 방향으로 경사진 곡면으로 이루어질 수 있다.
도 9는 도 1에 도시된 기판이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것으로서, 도 7에 도시된 구조와는 제2이송구간의 형상이 일부 상이하며, 그 이외의 구조는 동일하다.
즉, 본 실시예에 따른 제2이송구간(113)은 복수의 곡면구간(113-4, 113-6) 및 평면구간(113-5)의 조합으로 이루어질 수 있다. 이하에서는 제2이송구간(113)이 하나의 평면구간 및 두개의 곡면구간을 갖는 경우를 예시로 설명하나, 이는 하나의 예시일 뿐이며 평면구간과 곡면구간 각각의 개수 및 그 형성위치에는 그 제한이 없다고 할 것이다.
XY좌표계에서 제1이송구간(111)의 상면(111a)과 제2이송구간(113)의 상면(113a) 간의 경계를 원점(p)으로 가정하면 원점(P)은 (0, 0)의 좌표값을 가질 수 있고, 제2이송구간(113)의 상면(113a) 중 제1곡면구간(113-4) 에 위치하는 임의의 점인 제16위치(P16)는 (x16, -y16)의 좌표값을 가질 수 있다. 마찬가지로 제2이송구간(113)의 상면(113a) 중 평면구간(113-5)에 위치하는 임의의 점인 제17위치(P17)는 (x17, -y17)의 좌표값을 가질 수 있으며, 제2이송구간(113)의 상면(113a) 중 제2곡면구간(113-3)에 위치하는 임의의 점인 제18위치(P18)는 (x18, -y18)의 좌표값을 가질 수 있다.
이때 y16/x16 < (y17-y16)/(x17-x16)의 관계가 성립할 수 있으며, 또한 (y17-y16)/(x17-x16) > (y18-y17)/(x18-x17) 의 관계가 성립할 수 있다. 아울러 y16/x16 < y17/x17의 관계 및 y17/x17 > y18/x18의 관계가 성립할 수 있다. 즉, 제2이송구간(113)의 상면(113a)과 제1이송구간(111)의 상면(111a) 간의 높이차의 증가율은, 제1곡면구간(113-4)에서는 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d) 방향으로 이동할수록 점차 증가할 수 있다. 또한 평면구간(113-5)에서 상술한 높이차의 증가율은 일정할 수 있으며, 제2곡면구간(113-6)에서 상술한 높이차의 증가율은 제2이송구간(113)의 일측(113c)에서 타측(113d) 방향으로 이동할수록 점차 감소할 수 있다.
도 10 은 도 1에 도시된 제1이송구간 및 제2이송구간의 또 다른 실시예에 대한 단면을 도시한 것이다.
도 10을 참조하면, 제1기판(도 1의 13) 이동시 제1기판(도 1의 13)과 동시에 이동하는 상부 안착수단(310)은, 직선(M1)을 따라 이동할 수 있다.
제2기판(도 1의 11)은 하부 안착수단(110) 상에 안착 고정되어 이송될 수 있으며, 제1이송구간(111) 및 제2이송구간(113)을 따라 이송될 수 있다.
제1이송구간(111)은 직선(L1)과 평행한 평면형상으로 이루어질 수 있으며, 직선(L1)으로부터 제1이송구간(111)의 상면(111a)까지의 수직거리는 D0로 일정할 수 있다. 즉, 제1기판(도 1의 13)의 이송경로에 해당하는 직선(M1)과 제2기판(도 1의 11)이 안착되는 제1이송구간(111)의 상면까지의 수직거리(D0)는 일정한 바, 제1이송구간(111)에서 제2기판(도 1의 11)은 제1기판(도 1의 13)과 평행하게 이송될 수 있다.
제2이송구간(113)은 제1이송구간(111)의 하방으로 경사가 형성된 구간으로서, 직선(M1)으로부터 제2이송구간(113)의 상부면(113a)까지의 수직 거리는 점진적으로 증가할 수 있다. 예컨대, 상부 안착수단(310)이 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)의 경계에서 r, 2r, 3r만큼 이동한 경우에 직선(M1)으로부터 제2이송구간(113)의 상면(113a)까지의 수직거리를 D1, D2, D3라 하면, 각 수직거리의 대소관계는 D0 < D1 < D2 < D3일 수 있다.
이때 D1-D0 = D2-D1 = D3-D2의 관계가 성립할 수 있으며, 이러한 경우, 제2이송구간(113)의 상면(113a)은 하방으로 경사가 형성된 평면으로 이루어질 수 있다.
또한, D1-D0 < D2-D1 < D3-D2의 관계가 성립할 수 있으며, 이러한 경우 제2이송구간(113)의 상면(113a)은 도 10에 도시된 바와 같이 하방으로 경사가 형성된 곡면으로 이루어질 수도 있다.
즉, 상술한 수직거리의 대소관계가 D0 < D1 < D2 < D3를 만족하는 범위에서 제2이송구간(113) 상면(113a)의 형상은 그 제한이 없다고 할 것이다.
도 11은 도 1에 도시된 상부 이송부의 개략적 구조를 도시한 사시도이다.
도 11을 참조하면, 본 발명의 상부 이송부는, 상부 안착수단(310), 상부 고정수단(도면 미도시) 및 상부 구동수단(도면 미도시)을 포함할 수 있으며, 제1상부 지지수단(350), 제2상부 지지수단(370) 및 제3상부 지지수단(380)을 더 포함할 수 있다.
제1상부 지지수단(350)은 상부 안착수단(310)의 상부에 연결되어 상부 안착수단(310)을 지지하는 부분이다. 제1상부 지지수단(350)은 상부 구동수단(도면 미도시)에 의해 Y축 방향으로 이동됨으로써, 상부 안착수단(310)을 승강 또는 하강시킬 수 있다. 제1상부 지지수단(350) 제2상부 지지수단(370)에 의해 가이드되어 의 Y축 방향으로 이동할 수도 있다.
제2상부 지지수단(370)은 제3상부 지지수단(380)에 연결될 수 있으며, 상부 구동수단(도면 미도시)에 의해 Z축 방향으로 이동됨으로써, 상부 안착수단(310)을 이동시킬 수 있다. 이때 제2상부 지지수단(370)의 이동은 제3상부 지지수단(380)에 의해 가이드될 수 있다.
제3상부 지지수단(380)은 상부 구동수단(도면 미도시)에 의해 X축 방향으로 이동됨으로써, 상부 안착수단(310)을 이동시킬 수 있다. 이때 제3상부 지지수단(380)의 이동은 상부 가이드(390a, 390b)에 의해 가이드될 수 있으며, 도면에 도시된 바와 같이 상부 가이드(390a, 390b)는 제3상부 지지수단(380)의 양 단부와 접촉할 수 있다.
다만, 상술한 제1상부 지지수단(350), 제2상부 지지수단(370) 및 제3상부 지지수단(380)의 결합관계에 대한 내용은 하나의 예시일 뿐이며, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1상부 지지수단(350), 제2상부 지지수단(370) 및 제3상부 지지수단(380)의 결합관계에 대한 제한은 없으며, 필요에 따라 적절히 변경 가능하다고 할 것이다. 또한 제1상부 지지수단(350), 제2상부 지지수단(370) 및 제3상부 지지수단(380) 중 어느 하나가 생략되는 것도 가능하며, 어느 하나와 다른 하나가 일체로 형성되는 것도 가능하다.
도 12 및 도 13은 도 1에 도시된 상부 고정수단의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 단면도 및 저면도이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 상부 고정수단(330)은 도 1의 설명에서 상술한 바와 같이 상부 안착수단(310)의 하면에 위치할 수 있으며, 진공흡착수단으로 이루어짐으로써 제1기판(13)의 상면을 흡착 고정할 수 있다.
보다 구체적으로 상부 고정수단(330)은 상부 안착수단(310)의 하면 가장자리 부분에 장착된 제1진공흡착수단(331), 상부 안착수단(310)의 하면 중 제1진공흡착수단(331)이 형성되지 않은 부분에 형성된 제2진공흡착수단(333)을 포함할 수 있다.
제1진공흡착수단(331)은 제1기판(13)의 상면 일측부를 진공흡착하기 위한 것으로서, 강한 흡착력을 갖도록 구성되어 있다. 이러한 제1진공흡착수단(331)은 도 13에 도시된 바와 같이 상부 안착수단(310)의 저면 중 일 가장자리측에 일자형으로 복수개 배열될 수 있다. 한편, 도면에는 제1진공흡착수단(331)이 상부 안착수단(310)의 저면 중 일 가장자리에만 형성된 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 다른 가장자리에 더 형성될 수도 있다. 이러한 제1진공흡착수단(331)의 형상에는 그 제한이 없다. 예컨대 제1진공흡착수단(331)은 진공홀 형태로 형성될 수 있으며, 보다 강한 흡입력을 위해 도 12 및 도 13에 도시된 바와 같이 빨판형태로 형성될 수도 있다.
제2진공흡착수단(333)은 도 13에 도시된 바와 같이 상부 안착수단(310)의 하면 중, 제1진공흡착수단(331)이 형성된 영역을 제외한 부분에 위치할 수 있으며, 제1기판(13)의 상면 가장자리를 제외한 부분을 진공흡착할 수 있다. 제2진공흡착수단(333)은 제1진공흡착수단(331)에 비해 상태적으로 강한 흡입력을 요구하지 않는 바, 진공홀 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
한편, 도면에는 미도시하였으나, 상부 고정수단(330)은 보조 상부 구동수단을 더 포함할 수 있다. 보조 상부 구동수단은 제1진공흡착수단(331)을 Y축 방향으로 이동시킬 수 있으며, 실린더 형태로 이루어질 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
도 14 및 도 15는 도 1에 도시된 분리부의 일 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 단면도 및 사시도이다.
도 14 및 도 15를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 분리부(500)는 나이프(510), 나이프(510)를 이동시키기 위한 나이프 이동수단(510)을 포함할 수 있으며, 제1나이프 지지수단(530), 제2나이프 지지수단(540), 제3나이프 지지수단(550) 및 제4나이프 지지수단(560) 중 적어도 어느 하나를 더 포함할 수 있다.
제1나이프 지지수단(530)은 일측에 나이프(510)를 고정하여 지지하는 부분일 수 있으며, 제1나이프 지지수단(530)은 나이프 구동수단(도면 미도시)에 의해 X축 방향으로 이동될 수 있다. 이에 따라 제1나이프 지지수단(530)에 고정된 나이프(530)를 X축 방향으로 이동시킬 수 있다. 제1나이프 지지수단(530)의 X축 방향 이동은 제2나이프 지지수단(540)에 의해 가이드될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제2나이프 지지수단(540)은 제3나이프 지지수단(550)에 연결될 수 있으며, 나이프 구동수단(도면 미도시)에 의해 Y축 방향으로 이동됨으로써, 결과적으로 나이프(510)를 Y축 방향으로 이동시킬 수 있다. 상술한 제2나이프 지지수단(540)의 이동은 제3나이프 지지수단(550)에 의해 가이드될 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니다.
제3나이프 지지수단(550)은 나이프 구동수단(도면 미도시)에 의해 Z축 방향으로 이동됨으로써, 나이프(510)를 이동시킬 수 있다. 이때 제3나이프 지지수단(550)의 이동은 제3나이프 지지수단(550)을 지지하는 제4나이프 지지수단(560)에 의해 가이드될 수 있다.
다만, 상술한 제1 내지 제4 나이프 지지수단(530, 540, 550, 560)의 결합관계에 대한 내용은 하나의 예시일 뿐이며, 이에 제한되는 것은 아니다. 즉, 제1 내지 제4 나이프 지지수단(530, 540, 550, 560)의 결합관계에 대한 제한은 없으며, 필요에 따라 적절히 변경 가능하다고 할 것이다. 또한 제1 내지 제4 나이프 지지수단(530, 540, 550, 560) 중 어느 하나가 생략되는 것도 가능하다.
도 16은 도 1에 도시된 분리부의 다른 실시예에 대한 개략적 구조를 도시한 단면도 및 사시도로서, 분리부 자체의 구조는 도 14 및 도 15에 도시된 구조와 동일하다.
본 실시예에 따른 분리부(500)는 상부 이송부와 일체로 형성될 수 있다. 예컨대 분리부(500)의 제4나이프 지지수단(560)은 상부 이송부의 상부 안착수단(310)에 연결될 수 있다. 이에 따라, 분리부(500)는 상부 고정수단(311, 333)에 의해 고정된 제1기판(도 1의 13)의 이송과정에서 상부 안착수단(310)과 함께 이동할 수 있다.
도 17은 본 발명의 일 실시예에 따른 분리부의 동작을 나타내기 위한 사시도이다.
도 17을 참조하면, 분리부의 나이프(510)는, 음의 X축 방향으로 이동하여 제2기판(11)과 제1기판(13) 사이에 삽입된 후, Z축 방향을 따라 이동함으로써 상호 접촉하는 제2기판(11)과 제1기판(13)을 부분적으로 분리할 수 있다. 나이프(510)의 Z축 방향 이동경로에는 제한이 없다. 예컨대, 음의 X축 방향으로 이동하여 제2기판(11)과 제1기판(13) 사이에 삽입된 나이프(510)는, 양의 Z축 방향을 따라 이동하여 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리한 후, 다시 음의 Z축 방향으로 이동하여 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리할 수 있다. 또는 나이프(510)는 음의 Z축 방향으로 먼저 이동한 후 다시 양의 Z축 방향으로 이동함으로써 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리할 수도 있다.
도 18은 본 발명의 일 실시예에 따른 상부 고정수단과 분리부의 동작을 개략적으로 도시한 단면도이다.
도 18을 참조하면, 도 12 및 도 13의 설명에서 상술한 바와 같이 상부 안착수단(310) 하부에는 상부 고정수단으로서 제1진공흡착수단(331) 및 제2진공흡착수단(333)이 배치될 수 있다. 그리고 제1진공흡착수단(331) 및 제2진공흡착수단(333)에 의해 제1기판(13)의 상면이 고정되고, 하부 안착수단(110)의 하부 고정수단(130)에 의해 제2기판(11)의 하면이 고정된 상태에서, 제1진공흡착수단(331)은 보조 상부 구동수단에 의해 양의 Y축 방향으로 이동할 수 있다. 이에 따라 제1기판(13)의 가장자리 일부분이 상측 방향, 즉 양의 Y축 방향으로 들어 올려질 수 있으며, 제1기판(13)과 제2기판(11)의 전면부에는 틈(19)이 형성될 수 있다. 그리고 나이프(510)는 음의 X축 방향으로 이동하여 틈(19)에 삽입되고, Z축 방향으로 이동하여 상호 접촉하는 제1기판(13)과 제2기판(11)을 분리할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면 제1진공흡착수단(331)을 이용하여 제2기판(11)과 제1기판(13) 사이에 틈(19)을 형성함으로써, 나이프(510)가 양 기판(11, 13) 사이에 보다 용이하게 삽입할 수 있는 이점을 갖게 된다.
도 19는 본 발명의 다른 실시예에 따른 상부 고정수단과 분리부의 동작을 개략적으로 도시한 단면도이다.
본 실시예에 따르면 제1기판(13)의 상면 모서리측을 진공흡착하는 제1진공흡착수단(331)을 Y축 방향으로 이동함으로써, 제1기판(13) 및 제2기판(11)의 측부에 틈(19)을 형성할 수 있으며, 나이프(510)는 제1기판(13) 및 제2기판(11)의 측면에서 음의 Z축 방향으로 이동하여 틈(19)에 삽입되고, 연속적으로 음의 Z축 방향으로 이동하여 상호 접촉하는 제1기판(13)과 제2기판(11)을 분리할 수 있다. 즉, 본 실시예에 따르면 나이프(510)는 제1기판(13) 및 제2기판(11)의 사이로 삽입되는 방향이 도 17에서 설명한 경우와는 일부 상이하다. 본 실시예에 따르면 나이프(510)가 양 기판(11, 13) 사이에 보다 용이하게 삽입할 수 있는 이점 및 나이프(510)가 제1기판(13) 및 제2기판(11) 사이로 삽입되는 방향과 나이프(510)가 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리하는 방향이 일치하게 된다. 이에 따라 나이프(510)를 제1기판(11)과 제2기판(13) 사이에 삽입시키는 동작 및 나이프(510)로 제1기판(11)과 제2기판(13)을 분리하는 동작을 연속적으로 수행할 수 있는 이점이 존재한다.
도 20은 본 발명에 따른 기판 분리 장치에서, 일 실시예에 따른 보조 분리부 및 이온 발생부의 배치를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도 20을 참조하면, 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)의 경계와 대응하는 측부에는 이온 발생부(930a, 930b)가 배치될 수 있다. 기판 분리를 위해 제1이송구간(111) 상에 안착되는 적층체(도 1의 10)는 공정 진행 중 또는 이송과정에서 정전기가 축적될 수 있다. 적층체(도 1의 10)에 정전기가 축적되면, 대전된 표면이 주위의 미세입자를 끌어 당기게 되는 바, 외부로 노출되는 적층체(도 1의 10)의 표면이 오염될 수 있다. 이에 따라, 적층체(도 1의 10)가 제2기판(도 1의 11)과 제1기판(도 1의 11)의 분리되는 과정에서 제2기판(도 1의 11) 또는 제1기판(도 1의 13)에 정전기가 발생되는 경우, 제2기판(도 1의 11)의 상면 또는 제1기판(도 1의 13)의 하면은 정전기로 인해 표면이 오염될 수 있다.
따라서, 본 실시예에 따른 기판 분리 장치는 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)의 경계와 대응하는 측부에 이온 발생부(930a, 930b)를 배치함으로써 기판 분리과정에서 발생되는 정전기를 제거할 수 있으며, 이에 따라 기판 분리 과정에서 발생 가능한 오염발생을 방지할 수 있게 된다.
이온 발생부(930a, 930b)는 포토 이오나이저(photo ionaizer)일 수 있다. 포토 이오나이저는 제전(정전기 제거) 거리 및 풍향 등의 외부 조건에 영향을 거의 받지 않고, 공기 전리 작용을 이용하는 바, 먼지, 전자파 및 오존 발생이 없는 이점을 갖는다. 또한 높은 이온 생성 밀도를 가지므로 정전기 제거 효율이 우수한 이점도 갖는다. 이온 발생부(930a, 930b)가 상호 분리되는 제1기판(도 1의 13) 및 제2기판(도 1의 11)에 엑스선을 조사하면, 엑스선이 공기 중의 가스나 원자와 부딪쳐 양이온/음이온을 만들고, 양이온/음이온은 제1기판(도 1의 13) 및 제2기판(도 1의 11)에 대전된 정전기를 중화시킴으로써 정전기를 제거하게 된다. 이에 따라, 기판 분리 과정에서 정전기로 인한 제2기판(도 1의 11) 또는 제1기판(도 1의 13)의 표면 오염 발생을 방지할 수 있게 된다.
도면에는 이온 발생부(930a, 930b)가 두개 배치되는 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 그 갯수에는 제한이 없다. 또한 이온 발생부(930a, 930b)의 위치도, 기판 분리 과정에서 제2기판(도 1의 11)의 상면 또는 제1기판(도 1의 13)의 하면에 이온을 공급할 수 있는 위치라면 그 제한이 없으며 적절히 변경될 수 있다.
한편, 제1이송구간(111)의 측부에도 이온 발생부(910a, 910b)가 배치될 수 있다. 즉, 제1이송구간(111)의 측부에 이온 발생부(910a, 910b)를 배치하여 이온을 공급함으로써, 기판 분리 이전에 적층체(도 1의 10) 또는 제1기판(도 1의 13)과 제2기판(도 1의 11) 중 적어도 어느 하나에 대전된 정전기를 일차적으로 제거할 수도 있다.
도 20에는 이온 발생부(910a, 910b)가 제1이송영역(111)의 양 측부에 배치된 것으로 도시되어 있으나, 일 측부에만 배치되는 것도 가능하다. 또한 이온을 적층체(도 1의 10) 전체 영역에 동시에 공급할 수 있도록 제1이송영역(111)의 상부에 배치하는 것도 가능하다. 즉, 이온 발생부(910a, 910b)의 개수와 그 위치에는 제한이 없다고 할 것이다.
한편, 본 실시예에 따른 기판 분리 장치는, 제1기판(도 1의 13)과 제2기판(도 1의 11)을 부분적으로 분리하기 위한 보조 분리부(700a, 700b)를 더 포함할 수 있다. 보조 분리부(700a, 700b)는 흡착고정 및 이송을 통해 제1기판(도 1의 13)과 제2기판(도 1의 11)이 분리되는 제2이송구간(113)의 양 측부에 배치될 수 있으며, 각 보조 분리부(700a, 700b)는 Z축 방향을 따라 돌출된 보조 나이프(710a, 710b) 및 보조 나이프(710a, 710b)를 고정 및 지지하는 보조 나이프 지지수단(730a, 730b)를 포함할 수 있다.
예컨대, 제1기판(도 1의 13)과 제2기판(도 1의 11)이 양의 X축 방향으로 이동하여 상호 분리되는 지점에 Z축 방향을 따라 돌출된 보조 나이프(710a, 710b)를 배치하면, 보조나이프(710a, 710b)는 제1기판(도 1의 13) 과 제2기판(도 1의 11)의 이동에 따라 양 기판(도 1의 11, 13) 사이에 삽입될 수 있다. 여기서 제1기판(도 1의 13) 과 제2기판(도 1의 11)은 X축에 대하여 양의 방향으로 이동하는 바, 제1기판(도 1의 13) 및 제2기판(도 1의 11)은 이동과정에서 보조 나이프(710a, 710b)에 의해 음의 X축 방향으로 분리될 수 있다. 즉, 보조 나이프(710a, 710b)는 특정 위치에 고정 배치될 수 있으며, 제1기판(도 1의 13) 및 제2기판(도 1의 11)은 이동과정에서 보조 나이프(710a, 710b)에 의해 음의 X축 방향으로 분리될 수 있다.
다만, 이는 하나의 예시일 뿐이며, 보조 분리부(700a, 700b)가 별도의 구동수단을 더 구비함으로써 보조 나이프를 이동시키는 것도 가능하다.
한편, 보조 분리부(700a, 700b)와 이온 발생부(930a, 930b)간의 배치와 관련하여, 도 20에는 이온 발생부(930a, 930b)가 보조 분리부(700a, 700b)보다 제1이송구간(111)에 더 인접하게 배치된 것으로 도시되어 있으나, 이는 하나의 예시일 뿐이다. 즉, 보조 분리부(700a, 700b)가 이온 발생부(930a, 930b)보다 제1이송구간(111)에 인접하게 배치될 수도 있다.
이에 따르면, 제2이송구간(113)에서 상호 접촉하는 제2기판(도 1의 11)과 제1기판(도 1의 13)을, 보조 나이프(710a, 710b)를 이용하여 X축 방향으로 더 분리할 수 있는 바, 제1기판(도 1의 13)과 제2기판(도 1의 11)을 보다 용이하게 분리할 수 있게 된다.
도 21 내지 도 23은 본 발명의 실시예에 따른 기판 분리 방법 및 기판 분리 장치의 동작을 각 단계별로 도시한 단면도이다.
도 21을 참조하면, 제1기판(13)의 상면 및 제2기판(11)의 하면을 고정하며, 이는 다음과 같이 이루어질 수 있다. 구체적으로 하부 이송부(100)의 하부 안착수단(110) 상에 적층체(10)를 안착하고, 하부 고정수단(130)을 이용하여 제2기판(11)의 하면을 고정한다. 그리고 상부 이송부(300)의 상부 안착수단(310)을 적층체(10) 상에 위치시키고, 상부 안착수단(310)을 B 방향, 즉 음의 Y축 방향으로 이동하고, 상부 고정수단(331, 333)을 이용하여 제1기판(13)의 상면을 고정한다.
또는, 도면에는 미도시하였으나, 제1기판(13)의 상면을 고정하는 과정이 먼저 이루어질 수도 있다. 예컨대, 적층체(10)가 상부 고정수단(331, 333)에 의해 고정된 상태에서 상부 안착수단(310)이 하부 이송부(100) 상으로 이동하고, 상부 안착수단(310)이 음의 Y축, 즉 B 방향으로 이동하여 적층체(10)를 하부 안착수단(110) 상에 안착시키고, 하부 고정수단(130)이 제2기판(11)의 하면을 고정할 수도 있다.
이후 상면이 고정된 제1기판(13)과 하면이 고정된 제2기판(11)은 제1영역(PA1)에서 B방향, 즉 양의 X축 방향으로 함께 이송된다. 보다 구체적으로, 상부 안착수단(310)은 A 방향, 즉 양의 X축 방향으로 이동함으로써 상부 고정수단(331, 333)에 의해 상면이 고정된 제1기판(13)을 이송하게 되며, 동시에 하부 고정수단(130)에 의해 하면이 고정된 제2기판(11)은 양의 X축 방향으로 제1이송구간(111)을 따라 이송된다.
바꾸어 말하면, 제1기판(13)은 상면이 고정된 상태에서 제1영역(PA1)에서 직선(M2)을 따라 이동될 수 있으며, 직선(M2)은 X축과 평행할 수 있다.
그리고, 제2기판(11)은 하면이 고정된 상태에서 직선(M2)과 수직거리가 일정한 제1이송구간(111)을 따라 이송될 수 있다.
이후 도 22에 도시된 바와 같이, 제1영역(PA1) 또는 제1영역(PA1)과 제2영역(PA2)의 경계에서 제1기판(13)과 제2기판(11)을 일차적으로 분리하게 되며, 이는 다음과 같이 이루어질 수 있다.
제1기판(13)과 제2기판(11)이 제2영역(PA2)에 진입하기 전에 제1기판(13)과 제2기판(11)의 이송을 정지한다. 즉, 상부 안착수단(310)과 하부 안착수단(110)의 이동을 할 수 있다. 그리고, 분리부의 나이프(510)를 음의 X축 방향으로 이동하여 제1기판(13)과 제2기판(11)에 삽입하고, Z축 방향으로 이동하여 상호 접촉하는 제1기판(13)과 제2기판(11)을 부분적으로 분리할 수 있다.
추가적으로, 상부 고정수단(331, 333) 중 제1기판(11)의 가장자리 상면을 고정하는 제1진공흡착수단(331)을 양의 Y축 방향으로 이동시킴으로써 제1기판(13)과 제2기판(11) 사이에 틈(19)을 형성하는 과정이 더 수행될 수 있으며, 이러한 경우 상술한 틈(19)을 형성함으로써 나이프(510)가 제1기판(13)과 제2기판(11) 사이에 보다 용이하게 삽입할 수 있는 이점을 갖게 됨은 도 18의 설명에서 상술한 바와 같다.
한편, 도면에는 미도시하였으나, 도 19의 설명에서 상술한 바와 같이 틈(19)은 제1기판(13)과 제2기판(11)의 측면부에 형성될 수도 있으며, 이러한 경우 나이프(510)는 음의 Z축 방향으로 이동하여 틈(19)에 삽입될 수도 있다.
이후 도 23에 도시된 바와 같이 제1기판(13) 및 제2기판(11)을 제2영역(PA2)로 이동시킴으로서 제1기판(13)과 제2기판(11)을 점진적으로 분리하게 된다.
보다 구체적으로 상부 안착수단(310)을 B방향, 즉 양의 X축 방향으로 이동함으로써 상부 고정수단(331, 333)에 의해 상면이 고정된 제1기판(13)을 양의 X축 방향으로 이송한다. 그리고 동시에 하부 고정수단(130)에 의해 하면이 고정된 제2기판(11)을 제2이송구간(113)을 따라 D방향, 즉 양의 X축 방향 및 음의 Y축 방향의 합 방향으로 이송한다. 즉, 제2이송구간(113)에서 제2기판(11)은 X축에 대해서는 양의 X축 방향으로 이송되며, Y축에 대해서는 음의 Y축 방향으로 이송된다. 이에 따라 제1기판(13) 상부를 고정하는 힘과 제1기판(13)을 양의 X축 방향으로 이동하는 힘, 그리고 제2기판(11)의 하부를 고정하는 힘과 제2기판(11)을 양의 X축 방향 및 음의 Y축 방향으로 이동하는 힘은 외력으로 작용하여 제1기판(13)과 제2기판(11)을 점진적으로 분리할 수 있다.
바꾸어 말하면, 제1기판(13)은 상면이 고정된 상태에서 제2영역(P2)에서 상술한 직선(M2)을 따라 이송되고, 제2기판(11)은 하면이 고정된 상태에서 직선(M2)과 수직거리가 증가하는 제2이송구간(113)을 따라 이송될 수 있으며, 이에 따라 제1기판(13)과 제2기판(11)이 점진적으로 이격됨으로써 상호 분리될 수 있다.
이때, 제2기판(11)은 유연성을 갖는 바, 제2기판(11)과 제1기판(13)의 분리는 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)의 경계 또는 제1영역(PA1)과 제2영역(PA2)의 경계에서 점진적으로 이루어질 수 있다.
한편, 제2이송구간(113)의 측부에 보조 나이프(710a)를 포함하는 보조 분리부를 더 배치함으로써, 제1기판(13)과 제2기판(11)을 더 분리할 수 있음은 도 20의 설명에서 상술한 바와 같다.
아울러, 도면에는 미도시하였으나, 제1기판(13)과 제2기판(11)의 분리가 시작되는 제1영역(PA1)과 제2영역(PA2)의 경계 또는 제1이송구간(111)과 제2이송구간(113)의 경계 측부에 이온 발생부(도 24의 930a, 930b)를 배치하여 제1기판(13)과 제2기판(11)의 분리면에 이온을 공급함으로써 정전기를 제거할 수 있음은 도 20의 설명에서 상술한 바와 같다. 또한, 제1기판(13)과 제2기판(11)의 분리 이전에도, 이온 발생부(도 24의 910a, 910b)를 이용하여 이온을 공급함으로써 적층체(10)에 대전된 정전기를 일차적으로 제거할 수도 있음은 도 20의 설명에서 상술한 바와 같다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 제조될 수 있으며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다.
10: 적층체
11: 제2기판 13: 제1기판
100: 하부 이송부
110: 하부 안착수단
111, 113: 제1, 제2이송구간
130: 하부 고정수단
151, 153: 하부 구동수단
300: 상부 이송부
310: 상부 안착수단
330: 상부 고정수단
350, 370, 380: 제1, 제2, 제3 상부 지지수단
390: 상부 가이드
500: 분리부
510: 나이프
530, 540, 550, 560: 제1, 제2, 제3, 제4 나이프 지지수단
700a, 700b: 보조 분리부
710a, 710b: 보조 나이프
730a, 730b: 보조 나이프 지지수단
910a, 910b, 930a, 930b: 이온 발생부

Claims (36)

  1. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상기 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부; 및
    상기 X축, 상기 Y축, 상기 X축 및 상기 Y축과 수직 교차하는 Z축으로 이루어진 XYZ좌표계에서 상기 제2기판과 상기 제1기판을 상기 Z축 방향으로 분리하기 위한 분리부; 를 포함하되,
    상기 하부 이송부는,
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간; 및
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2이송구간; 을 포함하고,
    상기 분리부는,
    상기 제2기판과 상기 제1기판 사이에 삽입되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 분리하는 나이프;
    상기 나이프와 연결되어 상기 나이프를 고정하는 나이프 지지수단; 및
    상기 나이프 지지수단을 이동시키기 위한 나이프 구동수단;
    을 포함하는 기판 분리 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제2이송구간의 상면은,
    상기 XY좌표계에서 음의 기울기를 갖는 직선과 접하는 기판 분리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 기울기의 절대값은 일정한 기판 분리 장치.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 제2이송구간은,
    상기 기울기의 절대값이 상기 제1이송구간에서 멀어질수록 증가하는 부분을 포함하는 기판 분리 장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제2이송구간의 상면은 경사면으로 이루어지고,
    상기 경사면은, 평면 또는 곡면을 포함하는 기판 분리 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1이송구간의 상면과 상기 제2이송구간의 상면이 이루는 각도는,
    135˚ 이상 180˚ 미만인 기판 분리 장치.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제1이송구간의 상면 및 제2이송구간의 상면은 상기 상부 이송부와 대향하는 기판 분리 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 분리부는, 상기 상부 이송부와 연결된 기판 분리 장치.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 제2기판과 상기 제1기판을 음의 X축 방향으로 분리하기 위한 보조 분리부를 더 포함하는 기판 분리 장치.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 보조 분리부는 상기 제2이송구간의 측부 또는 상기 제1이송구간과 상기 제2이송구간 간의 경계 측부에 위치하는 기판 분리 장치.
  13. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상기 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부; 및
    상기 제2기판과 상기 제1기판을 음의 X축 방향으로 분리하기 위한 보조 분리부; 를 포함하되,
    상기 하부 이송부는,
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간; 및
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2이송구간; 을 포함하고,
    상기 보조 분리부는,
    상기 제2기판과 상기 제1기판 사이에 삽입되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 음의 X축 방향으로 분리하는 보조 나이프; 및
    상기 보조 나이프와 연결되어 상기 보조 나이프를 고정하는 보조 나이프 지지수단; 을 포함하는 기판 분리 장치.
  14. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상기 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부; 를 포함하되,
    상기 하부 이송부는,
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간; 및
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2이송구간; 을 포함하고,
    상기 상부 이송부는,
    상부 안착수단;
    상기 제1기판 상면을 고정하기 위해 상기 상부 안착수단 하부에 형성된 상부 고정수단; 및
    상기 상부 안착수단을 이동시키기 위한 상부 구동수단; 을 포함하는 기판 분리 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 상부 고정수단은,
    상기 제1기판의 상면을 진공 흡착하기 위한 상부 진공흡착수단을 포함하는 기판 분리 장치.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 상부 고정수단은,
    상기 제1기판의 상면 가장자리를 흡착하기 위해 상기 상부 안착수단 하면의 제1부분에 설치된 제1진공흡착수단;
    상기 상부 안착수단 하면 중 상기 제1부분을 제외한 제2부분에 설치된 제2진공흡착수단; 을 포함하는 기판 분리 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 제1진공흡착수단을 Y축 방향으로 이동시키기 위한 보조 상부 구동수단을 더 포함하는 기판 분리 장치.
  18. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 상기 제1기판을 고정하여 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부; 를 포함하되,
    상기 하부 이송부는,
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송하기 위한 제1 이송구간; 및
    상기 제2기판을 양의 X축 방향으로 이송함과 동시에 음의 Y축 방향으로 이송하기 위한 제2이송구간; 을 포함하고,
    상기 하부 이송부는,
    상면에 상기 제2기판이 안착되고, 상기 제1이송구간 및 상기 제2이송구간을 포함하는 하부 안착수단;
    상기 제2기판 하면을 고정하기 위한 하부 고정수단; 및
    상기 하부 안착수단에 안착되는 상기 제2기판을 이동시키기 위한 하부 구동수단; 을 포함하는 기판 분리 장치.
  19. 제18항에 있어서,
    상기 하부 고정수단은,
    상기 제2기판의 하면을 진공 흡착하기 위한 하부 진공흡착수단을 포함하는 기판 분리 장치.
  20. 제18항에 있어서,
    상기 하부 안착수단은,
    이송벨트를 포함하는 기판 분리 장치.
  21. 제1항에 있어서,
    상기 제2기판 또는 상기 제1기판에 대전된 정전기를 중화하기 위해 이온을 공급하는 하나 이상의 이온 발생부; 를 더 포함하는 기판 분리 장치.
  22. 제21항에 있어서,
    상기 이온 발생부는,
    엑스선 조사에 의해 이온을 생성하는 포토 이오나이저인 기판 분리 장치.
  23. 제21항에 있어서,
    상기 이온 발생부는 상기 제1이송구간과 상기 제2이송구간 간의 경계 측부 또는 상기 제2이송구간의 측부에 위치하는 기판 분리 장치.
  24. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    상기 제1기판 상면을 고정하여 직선을 따라 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 설치되고, 상기 제2기판 하면을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부;
    상기 제2기판과 상기 제1기판 사이에 삽입되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 분리하는 나이프;
    상기 나이프와 연결되어 상기 나이프를 고정하는 나이프 지지수단; 및
    상기 나이프 지지수단을 이동시키기 위한 나이프 구동수단; 을 포함하고,
    상기 하부 이송부는 상기 제2기판이 이송되는 제1이송구간 및 제2 이송구간을 포함하고,
    상기 직선으로부터 상기 제1이송구간까지의 수직 거리는 일정하고,
    상기 직선으로부터 상기 제2이송구간까지의 수직 거리는 상기 제1이송구간에서 멀어질수록 증가하는 기판 분리 장치.
  25. 제24항에 있어서,
    상기 제2이송구간의 상면은 경사면으로 이루어지고,
    상기 경사면은, 평면 또는 곡면을 포함하는 기판 분리 장치.
  26. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 장치에 있어서,
    상기 제1기판을 고정하여 이송하기 위한 상부 이송부;
    상기 상부 이송부 하부에 이격되어 설치되고, 상기 제2기판을 고정하여 이송하기 위한 하부 이송부;
    상기 제2기판과 상기 제1기판 사이에 삽입되어 상기 제1기판과 상기 제2기판을 분리하는 나이프;
    상기 나이프와 연결되어 상기 나이프를 고정하는 나이프 지지수단; 및
    상기 나이프 지지수단을 이동시키기 위한 나이프 구동수단;
    을 포함하고,
    상기 하부 이송부는 제1이송구간 및 일측이 상기 제1이송구간과 연속하는 제2이송구간을 포함하고,
    상기 제2이송구간의 타측은 상기 제1이송구간에 보다 상대적으로 낮은 부분에 위치하는 기판 분리 장치.
  27. 제26항에 있어서,
    상기 제1이송구간의 상면과 상기 제2이송구간의 상면 간의 높이 차는,
    상기 제1이송구간에서 멀어질수록 증가하는 기판 분리 장치.
  28. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 방법에 있어서,
    상기 제2기판의 하면 및 상기 제1기판의 상면을 고정하고,
    제1영역에서, 수직 교차하는 X축 및 Y축으로 이루어진 XY좌표계에서 양의 X축 방향으로 상기 제1기판 및 상기 제2기판을 이송하고,
    제2영역에서, 양의 X축 방향으로 상기 제1기판을 이송하는 것과 동시에 상기 제2기판을 양의 X축 방향 및 음의 Y축 방향으로 이송하여, 상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것을 포함하고,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것 이전에,
    상기 제1영역 또는 상기 제1영역과 상기 제2영역의 경계에서, 상기 제1기판과 상기 제2기판을, 상기 X축 및 상기 Y축과 직교하는 Z축 방향으로 부분 분리하는 것을 더 포함하고,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 부분 분리하는 것은,
    상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 나이프를 삽입하고,
    상기 나이프와 연결된 나이프 지지수단을 상기 Z축 방향으로 이동하는 것을 포함하는 기판 분리 방법.
  29. 삭제
  30. 삭제
  31. 제28항에 있어서,
    상기 나이프를 삽입하는 것 이전에,
    상기 제1기판 가장자리와 상기 제2기판 가장자리 사이에 상기 나이프 를 삽입하기 위한 틈을 형성하는 것을 더 포함하는 기판 분리 방법.
  32. 제28항에 있어서,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 부분 분리하는 것 이전에,
    상기 제1기판과 상기 제2기판의 이송을 정지하는 것을 더 포함하는 기판 분리 방법.
  33. 제28항에 있어서,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것 이전에,
    이온 발생부로 이온을 공급하여 상기 제2기판 및 상기 제1기판 중 적어도 어느 하나에 대전된 정전기를 중화하는 것을 더 포함하는 기판 분리 방법.
  34. 상호 접촉하는 제1기판과 제2기판을 분리하는 기판 분리 방법에 있어서,
    상기 제2기판의 하면 및 상기 제1기판의 상면을 고정하고,
    직선을 따라 상기 제1기판을 이송하고,
    상기 제1기판의 이송과 동시에 상기 제2기판을 이송하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것을 포함하고,
    상기 제2기판은,
    상기 직선으로부터 수직거리가 동일한 제1이송구간 및 상기 직선으로부터 수직거리가 증가하는 제2이송구간을 포함하는 하부 안착부 상에 고정되어 이송되고,
    상기 제1기판과 상기 제2기판을 점진적으로 분리하는 것 이전에,
    상기 제1기판과 상기 제2기판 사이에 나이프를 삽입하고,
    상기 나이프와 연결된 나이프 지지수단을 이동하여 상기 제1기판과 상기 제2기판을 부분적으로 분리하는 것을 더 포함하는 기판 분리 방법.
  35. 제34항에 있어서,
    상기 제1이송구간 및 상기 제2이송구간은 상기 제2기판이 안착되는 상면 및 상기 상면과 대향하는 하면을 구비하고,
    상기 제1이송구간의 하면과 상기 제2이송구간의 하면이 이루는 각도는 135˚ 이상 180˚ 미만인 기판 분리 방법.
  36. 제35항에 있어서,
    상기 제2이송구간의 상면은 경사면으로 이루어지고,
    상기 경사면은, 평면 또는 곡면을 포함하는 기판 분리 방법.
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