JP2016140850A - 異物除去装置及び清掃システム - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、被対象物から異物を容易かつ確実に除去することができる異物除去装置を提供することを課題とする。【解決手段】本発明に係る異物除去装置は、被対象物に接触することで異物を除去する粘着面を有する異物付着部、上記異物付着部の粘着面に接触することで異物付着部の粘着面の異物を除去可能な長尺状の粘着シート、及び異物付着部の粘着面に粘着シートの未使用部分を供給する供給部と粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有する粘着シート供給排出機構を備える。粘着シート供給排出機構は、供給部から排出部に粘着シートを送るシート送り部を備えるとよい。粘着シート供給排出機構は、異物付着部に接近及び離反可能に設けられる移動部を有し、粘着シート供給排出機構が、移動部の異物付着部との接近時に粘着シートを異物付着部に接触させ、移動部の異物付着部との離反時に粘着シートを異物付着部と離間させるとよい。【選択図】図８

Description

本発明は、異物除去装置及び清掃システムに関する。

携帯電話やスマートフォン等には、ガラス基板が用いられている。ガラス基板は、ガラス基板の製造装置によって製造される。ガラス基板を製造する際には、ガラス基板の表面に切削により生ずるガラス粉等が付着する場合がある。また、ガラス基板の搬送中にも埃等が付着するおそれがある。これらのガラス粉や埃等を取り除くためにはガラス基板の表面を清掃する必要があり、このような清掃装置としては、アルコールを含んだ布で透明板の上面全体の汚れを払拭する清掃装置が提案されている（中国特許出願公開第１０２６９８９８８号）。

特許文献１に記載のように布を用いて透明板を清掃した場合、この布に起因する付着物がガラス基板の清掃面に付着する場合がある。また、布を用いて透明板を清掃するような構成でなくとも、装置内で各種部材がこすれ合うことにより、樹脂粉や金属粉が発生し透明板に付着する場合がある。このような付着物を除去する方法としては、表面が粘着力を有するローラを清掃面に接触させて、ローラに付着物を転移させることが考えられる。このローラに付着物が多く転移されると粘着力が低下するので、このローラの粘着力を回復することが望まれる。

なお、加工処理されたフィルム基板に付着している加工残渣を除去する洗浄する手法に関して、フィルム基板の巻出しロールから巻取ロールまでの間に配設される第１の洗浄部と第２の洗浄部とを有する洗浄装置において、この第２の洗浄部が異物付着部とこの異物付着部をクリーンニングするクリーニングローラとを備えるものが開示されている（特開２０１０−１４９０３９号公報）。このクリーニングローラは、積層構造体となっており、加工残渣が全面に付着した時点で１枚ずつクリーニングロールから剥ぎ取れられ用いられる。

また、写真フィルムを清掃する異物付着部を清掃する手法に関して、写真フィルムの表面に接する第１の循環接触体と、第１の循環接触体に接する第２の循環接触体とを備えた写真フィルム・クリーナーにおいて、第１の循環接触体を異物付着部から構成し、第２の循環接触体を粘着無端ベルトから構成することが開示されている（特開平８−１３７０１９号公報）。

中国特許出願公開第１０２６９８９８８号公報 特開２０１０−１４９０３９号公報 特開平８−１３７０１９号公報

特許文献２の手法では、クリーニングローラに加工残渣が付着した時点で１枚ずつクリーニングロールから剥ぎ取れる必要があり、剥ぎ取る手間がかかり、作業効率が悪い。

また、特許文献３の手法では、継続して使用する粘着無端ベルトの粘着力が低下してしまい、第１の循環体である異物付着部から異物を除去できなくなるおそれがある。

そこで、本発明は、被対象物から異物を容易かつ確実に除去することができる異物除去装置及び清掃システムを提供することを課題とする。

上記課題を解決するためになされた発明は、
被対象物に接触することで異物を除去する粘着面を有する異物付着部、
上記異物付着部の粘着面に接触することで異物付着部の粘着面の異物を除去可能な長尺状の粘着シート、及び
上記異物付着部の粘着面に上記粘着シートの未使用部分を供給する供給部と上記粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有する粘着シート供給排出機構を備える異物除去装置である。

当該異物除去装置にあっては、被対象物に付着した異物は、異物付着部の粘着面が接触することで除去される。異物付着部の粘着面に付着した異物は、粘着シートが接触することで除去される。このため異物付着部の粘着面の粘着力を回復することができる。当該異物除去装置にあっては、上述のように異物付着部の粘着面の粘着力を回復するにあたって長尺状の粘着シートを用い、粘着シート供給排出機構が粘着シートの未使用部分を供給する供給部と粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有している。供給部により供給される粘着シートの未使用部分と異物付着部の粘着面とを接触させることで、容易かつ確実に上記粘着面の粘着力の回復を行うことができる。

上記粘着シート供給排出機構は、上記供給部から上記排出部に粘着シートを送るシート送り部を備えることが好ましい。これにより、粘着シートの使用済部分を容易かつ確実に排出部に送ることができる。

上記粘着シート供給排出機構は、上記異物付着部に接近及び離反可能に設けられる移動部を有している。上記粘着シート供給排出機構が、上記移動部と上記異物付着部との接近時に上記粘着シートを上記異物付着部に接触させ、上記移動部と上記異物付着部との離反時に上記粘着シートを上記異物付着部と離間させる構成を採用することが好ましい。これにより、移動部の接近及び離反によって、粘着シートと異物付着部の粘着面との接触を間欠的に行うことができる。このように両者の接触を間欠的に行うことで、粘着シートと異物付着部との接触が過剰となり過ぎず、粘着シートの消費量を低減することができる。

上記粘着シート供給排出機構は、上記移動部との上記異物付着部との離反時に上記異物付着部と対面する上記粘着シートの部分を上記供給側に戻し、次の上記移動部の上記異物付着部との近接時に上記粘着シートの接触済部分と未使用部分とを上記異物付着部の表面に接触させる構成を採用することが好ましい。なお、供給側とは移動部と異物付着部が接触する点よりも供給部側にある部分とし、排出側とは移動部と異物付着部が接触する点よりも排出部側にある部分である。このように、粘着シートによる異物除去した後に異物付着部から離間した粘着シートを供給側に戻して、次の異物付着部との接触において粘着シートの接触済部分と未使用部分とを上記異物付着部の表面に接触することによって、粘着シートの既に一度接触した上記接触済部分の有効活用が図られると共に、粘着シートの未使用部分に接触する異物付着部から異物を確実に除去できる。このため、長尺状の粘着シートを有効利用しつつ異物の除去を確実に行うことができる。なお、粘着シートの未使用部分とは、異物付着部に未だ接触していない部分を意味し、接触済部分とは、異物付着部に一度でも接触した部分を意味し、また上記使用済部分とは、予め設定された回数分接触させた部分であり、使用が完了した部分を意味する。

上記粘着シート供給排出機構は、上記移動部と上記供給部との間に位置して上記粘着シートに接触する供給側ダンサローラと、上記移動部と上記排出部との間に位置して上記粘着シートに接触する排出側ダンサローラを有するとよい。

上記粘着シート供給排出機構が上記移動部と上記供給部との間に位置して上記粘着シートに接触する供給側ダンサローラを有することで、供給側ダンサローラによって移動部と異物付着部との離反時において異物付着部と対面する粘着シートの部分を供給側に戻すことができる。つまり、上記粘着シートの部分を戻すに際して、上記供給部を動作させることを必ずしも要しない。

また、粘着シート供給排出機構が上記移動部と上記排出部との間に位置して上記粘着シートに接触する排出側ダンサローラを有することで、上述のように移動部と異物付着部との離反時に異物付着部と対面する粘着シートの部分を供給側に戻す際に、この排出側ダンサローラによって戻し量を調整できる。つまり、排出側ダンサローラを動作させることで、粘着シートの一部を供給側に戻すことができるので、上記排出部を動作させることを必ずしも要しない。

上記排出部は、粘着シートの使用済部分を巻取る巻取部であるとよい。これにより粘着シートの使用済部分を巻取部によって巻き取って、廃棄等の後工程に送ることができる。

上記異物付着部が、外周面が上記粘着面である粘着ローラであるとよい。これにより、粘着ローラが被対象物に接触しつつ回転することで被対象物の異物を容易かつ確実に除去することができる。

上記課題を解決するためになされた別の発明は、
ワークの清掃面を清掃する清掃システムであって、
上記ワークの清掃面を清掃する清掃装置、及び
上記構成からなる当該異物除去装置を有し、
上記異物付着部が、上記清掃装置によって清掃された上記ワークの上記清掃面に接触する清掃システムである。

当該清掃システムは、清掃装置により清掃された清掃面に異物が付着していても、当該異物除去装置によって除去できるので、ワークの清掃面を容易かつ確実に清掃することができる。

また、当該清掃システムは、上記清掃装置による上記ワークの搬送速度と上記異物除去装置による上記ワークの搬送速度とが同期しており、上記粘着シートの上記供給部から上記排出部までの平均送給速度が、上記清掃装置による上記ワークの搬送速度より遅いとよい。これにより、ワークの処理速度を向上させつつ、粘着シートの消費量を低減させることができる。なお、清掃装置及び異物除去装置によるワークの搬送速度とは、清掃装置及び異物除去装置においてワークが搬入され搬出されるまでの搬送方向の距離を時間で割った値を意味する。また、粘着シートの上記供給部から上記排出部までの平均送給速度とは、粘着シートの所定長さ（例えば３ｍ）を、その所定の長さの粘着シートが排出部に到達するまでの時間を意味する。

さらに、当該清掃システムは、上記異物除去装置から排出された上記ワークの清掃面を検査する検査装置をさらに備えるとよい。これにより、上述のように清掃された上記清掃面の検査を行うことができる。特に、清掃装置によって清掃された清掃面に清掃に起因する異物が付着していても、異物付着部が清掃面に接触して異物を除去できるので、清掃装置の清掃に起因する異物の付着がワークの良否判定に影響を与えることを抑制することができる。

本発明の異物除去装置及び清掃システムは、被対象物から異物を容易かつ確実に除去することができる異物除去装置及び清掃システムを提供することができる。

本発明の一実施形態の透明板清掃検査システムを示す模式的側面図である。 図１の透明板清掃検査システムの第１清掃装置の一部を拡大した模式的側面図である。 図２の第１清掃装置の押圧ヘッドの模式的側面図である。 図１の透明板清掃検査システムの反転装置を示す模式的平面図である。 図４の反転装置の模式的側面図である。 図１の異物除去装置の模式的側面図である。 図１の異物除去装置の模式的側面図である。 図１の異物除去装置の粘着シート供給排出機構の動作を説明するための説明図である。 図１の異物除去装置による粘着シートの粘着ローラとの接触状態を説明するための説明図である。 図１の異物除去装置による粘着シートの粘着ローラとの接触状態を説明するための説明図である。 図１と異なる異物除去装置の模式的側面図である。

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。先ず、図１から図１０を参照しながら、本発明の第１実施形態の異物除去装置を具備する透明板清掃検査システム１について説明する。

［第１実施形態］
図１の透明板清掃検査システム１は、例えばスマートフォンに用いられるカバーガラスやタッチパネル等の透明板Ｐを清掃し、検査するためのシステムである。より具体的には、本実施形態の透明板清掃検査システム１は、自動的に、透明板Ｐの両面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２（清掃面））を清掃すると共に透明板Ｐに付着した異物を除去し、さらに傷や欠け等の透明板Ｐの欠陥を検査するシステムである。本実施形態においては、上記透明板のような薄板状物であり、清掃面はこの薄板状物の両面である。

当該透明板清掃検査システム１は、透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第１面ｐ１を清掃する第１清掃装置１０Ａ、この第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させる反転装置３０、この反転装置３０によって反転された透明板Ｐを搬送しつつこの透明板Ｐの第２面ｐ２（第１面ｐ１の反対面）を清掃する第２清掃装置１０Ｂ、この第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去可能な異物除去装置５０、及び上記異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する透明板検査装置７０を備えている。なお、図１等に示すように、第１清掃装置１０Ａの透明板Ｐの搬送方向Ｘと、第２清掃装置１０Ｂの透明板Ｐの搬送方向Ｘとは、同一方向である。ここで搬送方向Ｘは、１０Ａから１０Ｂに向かう方向である。また、本実施形態の透明板清掃検査システムは、第１清掃装置１０Ａに透明板Ｐを供給するローダ装置９０を有している。

本実施形態の透明板清掃検査システム１は、各種装置の動作を制御等する制御装置（図示省略）をさらに備えている。

＜清掃装置＞
上記第１清掃装置１０Ａ及び上記第２清掃装置１０Ｂは、一方向（搬送方向Ｘ）に透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、及びこの搬送機構１１によって搬送される透明板Ｐの清掃面に長尺状の清掃布Ｃの一部を接触させて清掃面を清掃すべく清掃布を送給する送給機構２５を備えている。具体的には、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）は、図２及び図３に示すように、透明板Ｐを搬送する搬送機構１１、透明板Ｐに接する長尺状の清掃布Ｃ、清掃布Ｃを透明板Ｐに向けて押圧するための二つの押圧ヘッド１３、清掃布Ｃを送る送給機構２５（図１参照）、及び清掃布Ｃに洗浄液を供給する洗浄液供給機構２８を有している。この搬送機構１１、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８は、上記制御装置によって動作が制御されている。なお、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、後述するように一部の構成（例えば載置用長尺シート）において相違し、他の部分は同一構成を有している。また、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、搬送機構１１、清掃布Ｃ、押圧ヘッド１３、送給機構２５及び洗浄液供給機構２８を内蔵する筐体１０ｈを有している。この筐体１０ｈ（図１参照）は、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおける透明板Ｐの清掃が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。なお、この筐体１０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

（搬送機構）
搬送機構１１は、清掃対象物である透明板Ｐを搬送方向Ｘに搬送する機構である。搬送機構１１は薄板状物である透明板Ｐを透明板Ｐの平面方向に搬送し、具体的には、本実施形態においては、搬送機構１１は、透明板Ｐを清掃面（第１面ｐ１及び第２面ｐ２のいずれか）が上方を向いた状態で載置され、水平面に沿った方向のうちの１つの方向に搬送する機構である。なお、「平面方向に搬送する」とは、透明板Ｐの清掃面（上記第１面ｐ１及び第２面ｐ２）に沿った方向のうちの１つの方向に搬送することを意味する。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第２面ｐ２（清掃対象である第１面ｐ１の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第２面ｐ２全面が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟持され、上方に位置する面（第１面ｐ１）が清掃される。この第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１としては、例えばベルトコンベアから構成できる。

第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、透明板Ｐを載置、つまりは透明板Ｐの下側に位置する面（第１面ｐ１（清掃対象である第２面ｐ２の反対側の面））の全面が接した状態で透明板Ｐを搬送する。このように透明板Ｐは第１面ｐ１が接した状態で搬送されることで、搬送機構１１と清掃布Ｃとの間で全面的に挟み込まれ、第２面ｐ２が清掃される。この第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１としては、例えば図１に示すようにベルトコンベアと、このベルトコンベア上に供給され、ベルトコンベアと同じ速度で移動する清浄な載置用長尺シート１２とを有するものが採用できる。このように第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１が、載置用長尺シート１２を有することで、第１面ｐ１が第２清掃装置１０Ｂ内で汚れることを防止できる。

上記ベルトコンベアについてさらに詳述する。ベルトコンベアは、搬送ベルト１１ａ、搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃを備えている。搬送ベルト１１ａは無端状のベルト部材からなり、この搬送ベルト１１ａが搬送従動ローラ１１ｂ及び搬送駆動ローラ１１ｃに架け渡されており、搬送駆動ローラ１１ｃの回転に伴って搬送ベルト１１ａが循環すると共に搬送従動ローラ１１ｂも回転する。なお、搬送駆動ローラ１１ｂと搬送従動ローラ１１ｃとの配設箇所を逆とすることも可能である。

また、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、上記ローダ装置９０から透明板Ｐを受け取り、清掃後に反転装置３０に受け渡す第１受渡領域Ａ１（図６参照）まで透明板Ｐを搬送する。また、第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１は、反転装置３０から第２受渡領域Ａ２（図６参照）において透明板Ｐを受け取り、透明板Ｐの排出領域まで透明板Ｐを搬送して排出する。

また、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１は、搬送ベルト１１ａの表面の異物を除去するための粘着ローラ１１ｄを有している。この粘着ローラ１１ｄは、搬送ベルト１１ａの下側に位置する面に接して回転する。また、第１清掃装置１０Ａは、この搬送ローラ１１ｄの粘着力を回復するための粘着力回復機構５２を有している。この粘着力回復機構５２の具体的構成は、後述する異物除去装置５０の粘着力回復機構５２の構成と同一であるため、ここでの説明を省略する。

第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１による透明板Ｐの搬送速度及び第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１の搬送速度は、本実施形態においては同一に設定されている。なお、搬送速度とは、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂにおいて透明板Ｐが搬入され搬出されるまでの距離を時間で割った値を意味する。

（清掃布）
清掃布Ｃは、清掃箇所において透明板Ｐに接触されながら動かされることで透明板Ｐの清掃面（上側に位置する面）を清掃する。清掃布Ｃは、清掃箇所において一方の面が透明板Ｐの清掃面に対面するよう供給され、上記押圧ヘッド１３によって透明板Ｐの清掃面に押し付けられながら清掃面を拭き取ることで清掃面を清掃する。

この清掃布Ｃとしては、繊維製のものが用いられ、例えば織物が用いられる。この繊維としては、天然繊維、合成繊維等、種々のものが採用可能である。ここで、清掃布Ｃとして不織布を用いることもできる。不織布を用いる場合、不織布としては、乾式法、湿式法、メルトブロー法によってフリースが形成されるものを用いることができる。

（押圧ヘッド）
二つの上記押圧ヘッド１３は、搬送方向Ｘに並べて配置されている。各押圧ヘッド１３は、図２に示すように清掃布Ｃの一部を透明板Ｐに向けて押圧する第１清掃部材１４、及び清掃布Ｃの第１清掃部材１４よりも搬送方向Ｘの下流側の部分を透明板Ｐに向けて押圧する第２清掃部材１５をそれぞれ備えている。つまり、本実施形態においては、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂは、それぞれ清掃布Ｃと透明板Ｐとが接する清掃箇所を、透明板Ｐの搬送方向Ｘに並べて４箇所設けられている。なお、本実施形態においては、二つの押圧ヘッド１３は同一構成を有している。この第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５は、例えばシリコン等の弾性部材によって形成されたパッドから構成される。

各押圧ヘッド１３は、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５それぞれを清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向に往復動させる清掃部材駆動機構（図示省略）を有している。なお、「清掃面の平面上であって、且つ搬送方向Ｘの直交方向」とは、第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５が清掃布Ｃを透明板Ｐの清掃面に接触させることのできる平面内における搬送方向Ｘの直交方向であることを意味し、具体的には清掃面と平行な面上であり且つ搬送方向Ｘの直交方向を意味する。

（送給機構）
図１を参照して清掃布Ｃの送給機構２５について説明する。上記清掃布Ｃは、上述のように送給機構２５によって送られる。ここで、送給機構２５は、主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂを有している。清掃布Ｃは、この主動ローラ２５ａ及び従動ローラ２５ｂに架け渡され、主動ローラ２５ａの回転によって透明板Ｐの清掃後の清掃布Ｃの部分は主動ローラ２５ａに巻き取られる。このとき、従動ローラ２５ｂから未使用の清掃布Ｃが繰り出される。

送給機構２５は、透明板Ｐの搬送方向Ｘと逆方向に清掃布Ｃを送るよう設けられている（図２参照）。つまり、清掃布Ｃは、送給機構２５によって、清掃箇所（透明板Ｐと接する箇所）において清掃布Ｃが搬送方向Ｘの逆方向（図２のＹ方向）に送られる。

また、送給機構２５は、二つの上記押圧ヘッド１３の間に位置する清掃布Ｃの一部を、透明板Ｐから離間させるようにガイドしている。具体的には、送給機構２５は、二つの押圧ヘッド１３間においてベルトコンベアの上方に配されたローラ２６を有している。この送給機構２５では、このテンションローラ２６に二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが架け渡されていることで二つの押圧ヘッド１３間の清掃布Ｃが透明板Ｐから離間されている。

（洗浄液供給機構）
上記清掃布Ｃには、上述のように洗浄液供給機構２８によって洗浄液が供給される。このため、洗浄液が含浸された清掃布Ｃによって透明板Ｐが清掃される。本実施形態において洗浄液供給機構２８は、搬送方向Ｘにおいて第１清掃部材１４及び第２清掃部材１５間に位置する清掃布Ｃの一部にそれぞれ洗浄液を供給すると共に、後述するように押圧ヘッド１３よりも搬送方向Ｘの下流側に位置する清掃布Ｃの一部にも洗浄液を供給している。

洗浄液供給機構２８は、図３に示すように第１清掃部材１４と第２清掃部材１５との間に設けられた供給ノズル２８ｂを有している。供給ノズル２８ｂは図示しない洗浄液貯蔵タンクに接続されている。供給ノズル２８ｂは、上方に向かって洗浄液を供給する。供給ノズル２８ｂから供給された洗浄液は、清掃布Ｃに含浸して透明板Ｐの清掃面に到達する。供給ノズル２８ｂから供給される洗浄液の量は、透明板Ｐに付着した汚れを分解可能であり、且つ押圧パッド１５により清掃布Ｃの一部が押圧されて拭き取り動作が行われたとしても筋が残らないように調整されている。供給ノズル２８ｂは、先細形状となっている。本実施形態では、上述のような構成となっているが、清掃布Ｃの上方から下方に向かって洗浄液を供給する構成を採用することもできる。

上記洗浄液としては、特に限定されるものではないが、アルコールが好適に用いられ、中でもエタノールが特に好適に用いられる。

また、当該透明板清掃検査システム１は、洗浄液供給機構２８として、搬送方向Ｘの下流側の押圧ヘッド１３の清掃布Ｃの供給方向の上流側の清掃布Ｃの一部に洗浄液を供給する洗浄液供給部２８ａをさらに有している（図１参照）。

＜反転装置＞
図１、図５及び図６を参照して反転装置３０について説明する。反転装置３０は、上述のように第１清掃装置１０Ａから搬出された透明板Ｐを反転させて、第２清掃装置１０Ｂに供給する装置である。具体的には、第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から順次第１受渡領域Ａ１に供給される透明板Ｐを、第２受渡領域Ａ２において第２清掃装置１０Ｂ（図１参照）に受け渡している。

この反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着し、第２受渡領域Ａ２において上記透明板Ｐを解放する保持部（吸着部３２）と、この保持部（吸着部３２）が一端側に付設されているアーム３３と、このアーム３３の他端側を支持する回転部３５とを備えている。なお、反転装置３０は、上記吸着部３２、アーム３３及び回転部３５等を内蔵する筐体３０ｈ（図１参照）を有している。

さらに、反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１に配設された仮受部材３１と、回転部３５に対して上記アーム３３を上記吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する突出機構３４とを備える。反転装置３０は、第１受渡領域Ａ１において一つの透明板Ｐを下側から支持する仮受部材３１を備えている。具体的には、仮受部材３１は、第１受渡領域Ａ１において第１清掃装置１０Ａ（図１参照）から排出された透明板Ｐの第２面ｐ２を一時的に支持する。吸着部３２は、仮受部材３１に支持されている透明板Ｐの第２面ｐ２を吸着する。アーム３３は伸縮可能である。具体的には、アーム３３は、吸着部３２が一端側に付設されており、回転部３５に支持される上記他端から吸着部３２が付設される上記一端に向かう方向に伸縮可能である。突出機構３４は、回転部３５とアーム３３との間に設けられ、上述のように回転部３５に対してアーム３３を吸着部３２の吸引方向に突出又は後退する機構である。具体的には、突出機構３４は、アーム３３の上記他端側を支持するエアシリンダからなる。回転部３５は、突出機構３４が固定され、これにより上述のようにアーム３３を支持している。回転部３５は、吸着部３２に吸着される透明板Ｐと平行な平面上に位置する回転軸を中心に回転可能である。具体的には、この回転軸は、水平方向（透明板Ｐを搬送する方向に垂直な方向）であり、また吸着部３２の吸引する方向に垂直な方向に設けられている。反転装置３０は、複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４を備えており、これら複数の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４はそれぞれ対をなし、一対の上記吸着部３２、上記アーム３３及び上記突出機構３４は、それぞれ回転部３５の回転軸を中心に略回転対称に配設されている。なお、「略回転対称」とは、完全に回転対称である場合のみならず、第１受渡領域Ａ１における一の透明板Ｐの吸着と第２受渡領域Ａ２における他の透明板Ｐの解放とを同時に行うことができる程度に配置されている場合を含むものである。

＜異物除去装置＞
図１を参照して異物除去装置５０を説明する。異物除去装置５０は、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂによって清掃された透明板Ｐの第１面ｐ１及び第２面ｐ２に付着する異物を除去するための装置であり、当該透明板清掃検査システム１では、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの繊維製の清掃布Ｃ等に起因する異物が透明板Ｐに付着していたとしても上記異物除去装置５０によって除去することができる。なお、異物除去装置５０の各種動作も上記制御装置によって制御されている。

この異物除去装置５０は、図６及び図７に示すように、透明板Ｐに接触することで異物を除去する粘着面を外周面に有する粘着ローラ５１と、この粘着ローラ５１の粘着面５１ｓに付着する異物を除去可能な粘着力回復機構５２を備えている。この粘着力回復機構５２は、粘着ローラ５１の粘着面５１ｓに接触することで粘着ローラ５１の粘着面５１ｓの異物を除去可能な長尺状の粘着シート５３、及びこの粘着シート５３を供給及び排出するための粘着シート供給排出機構５４を備えている。この粘着シート供給排出機構５４は、上記粘着ローラ５１に供給する粘着シート５３の未使用部分を供給する供給部５５と粘着シート５３の使用済み部分を排出する排出部５６とを有している。

この粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５２は、透明板Ｐを挟んで上下に二組設けられている。つまり、当該異物除去装置５０は、上下一対の粘着ローラ５１及び上下一対の粘着力回復機構５２を備えている。

上下一対の粘着ローラ５１は、図６及び図７に示すように、搬送される透明板Ｐを挟み込み、搬送方向Ｘの透明板Ｐを搬送するよう互いに反対方向に回転している。なお、粘着ローラ５１は、駆動モータ（図示省略）に接続され、駆動モータによって回転している。なお、当該異物除去装置５０は、第２清掃装置１０Ｂから排出される透明板Ｐを受け取る複数のフリーローラ５０ａを有し、フリーローラ５０ａに排出された透明板Ｐが上記上下一対の粘着ローラ５１によって搬送方向Ｘに搬送される。なお、本実施形態においては、異物除去装置５０における透明板Ｐの搬送方向が、第１清掃装置１０Ａ（図１参照）の搬送方向と同一方向とされているため、異物除去装置５０における透明板Ｐの搬送方向として図６及び図７において第１清掃装置１０Ａの搬送方向と同一符号であるＸを用いて図示しているが、異物除去装置５０における透明板Ｐの搬送方向はこれに限定されない。

上記粘着ローラ５１は、回転中心から略同距離の外周面を有し、この外周面が粘性を有する粘着面５１ｓを構成するローラから構成されている。

この異物除去装置５０による透明板Ｐの搬送速度は、上記第２清掃装置１０Ｂによる透明板Ｐの搬送速度と同期している。具体的には、上記粘着ローラ５１の周速度が、上記第２清掃装置１０Ｂの搬送機構１１による透明板Ｐの搬送速度と略同一に設定されている。このため、第２搬送装置１０Ｂによって排出された透明板Ｐを同速度のまま粘着ローラ５１によって挟み込んで搬送することができ、この受渡し時において透明板Ｐに負荷がかかりにくい。

上記粘着シート５３は、一方の面が粘着面５３ｓであり、他方の面が非粘着面である長尺状の可撓性帯状体から構成され、ロール状に巻回されるものである。この粘着シート５３は、その粘着面５３ｓが、少なくとも未使用状態において上記粘着ローラ５１の粘着面５１ｓよりも粘着力が大きく、このため粘着シート５３の粘着面５３ｓを粘着ローラ５１の粘着面５１ｓに接触させると、粘着ローラ５１の粘着面５１ｓに付着する異物が粘着シートの粘着面５３ｓに転移しやすい。なお、粘着シート５３は、特に限定されるものではないが、合成樹脂製の基材シートと、この基材シートの一方の面に積層される粘着層とを有するものが好適に用いられる。上記基材シートの他方の面に離型処理が施されていることが好ましく、これによって粘着シート５３をロール状に巻回して保存しやすい。

上記粘着シート供給排出機構５４の上記供給部５５は、未使用且つロール状に巻回された粘着シート５３を装着できる。この供給部５５は、粘着シート５３が繰出し方向に作用するテンションによって回転し、粘着シート５３を繰出すよう設けられている。供給部５５では、常時一定の速度で粘着シート５３を繰り出している。

上記粘着シート供給排出機構５４の上記排出部５６は、粘着シート５３の使用済部分を順次巻取可能な巻取部から構成されている。この巻取部は、回転することで上述のように粘着シート５３の使用済部分を巻き取る。なお、この巻取部の回転については後に詳述する。

上記粘着シート供給排出機構５４は、粘着ローラ５１に接近及び離反可能に設けられる移動部５７を有している。この移動部５７は粘着シート５３が粘着面５３ｓを外向きとなるよう架け渡されるローラから構成されている。この移動部５７に架け渡された粘着シート５３は、その粘着面５３ｓが粘着ローラ５１の粘着面５１ｓと対面する。このため、移動部５７が粘着ローラ５１に接近すると、粘着シート５３が粘着ローラ５１に接触し、移動部５７が粘着ローラ５１から離反すると粘着シート５３が粘着ローラ５１から離間する。この移動部５７の粘着ローラ５１への接近及び離反は間欠的に行われ、つまり粘着シート５３と粘着ローラ５１との接触は間欠的に行われる。なお、移動部５７は、特に限定されるものではないが、例えばシリンダ等によって移動される。

上記粘着シート供給排出機構５４は、移動部５７の粘着ローラ５１との離反時に粘着シート５３の粘着ローラ５１と対面する部分を供給部５５側に戻し、次の移動部５７の粘着ローラ５１との近接時に粘着シート５３の接触済部分と未使用部分とが粘着ローラ５１に接触するよう制御されている。

上記粘着シート供給排出機構５４は、上記移動部５７より供給部５５側の供給側ダンサローラ５８及び排出部５６側の排出側ダンサローラ５９を備えている。供給側ダンサローラ５８は、移動部５７と供給部５５との間で粘着シート５３に接触している。供給側ダンサローラ５８は、粘着シート５３の非粘着面と接触している。排出側ダンサローラ５９は、移動部５７と排出部５６との間で粘着シート５３に接触している。排出側ダンサローラ５９は、粘着シート５３の非粘着面と接触している。供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９はそれぞれ個別に移動機構を備えている。このため、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９は、それぞれ単独で移動することができる。供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９の移動機構は、図示しないシリンダなどを有している。本実施形態では供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９の移動機構は、図示しないシリンダを有している構成を採用するが、モータやラック及びピニオンによって移動させる構成など別の構成であってもよい。

供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９は、粘着シート５３に張力を付与する。供給側段差ローラ５８及び排出側ダンサローラ５９は、図６に示すスタートポジションと図７に記載のエンドポジションとの間を移動可能である。供給側ダンサローラ５８又は排出側ダンサローラ５９のスタートポジションとは、供給側ダンサローラ５８又は排出側ダンサローラ５９が移動可能な範囲のうち搬送方向Ｘの下流側の位置であって、粘着シート５３によって粘着ローラ５１の粘着力回復動作が行われる前の位置である。供給側ダンサローラ５８又は排出側ダンサローラ５９のエンドポジションとは、排出側ダンサローラ５９又は供給側ダンサローラ５８が粘着シート５３によって粘着ローラ５１に付着した異物を除去する動作が完了した時点での位置を意味している。スタートポジション及びエンドポジションの両方のいずれの位置においても、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９は粘着シート５３に張力を付与している。すなわち、供給側ダンサローラ５８が搬送方向下流側に粘着シート５３を引っ張るとともに、排出側ダンサローラ５９が粘着シート５３を搬送方向Ｘの上流側に引っ張っている。この供給側ダンサローラ５８は、移動することで、搬送方向Ｘにおける供給側ダンサローラ５８から移動部５７までの距離の長さを変更でき、排出側ダンサローラ５９は、移動することで、搬送方向Ｘにおける排出側ダンサローラ５９から移動部５７までの距離の長さを変更できる（図６及び図７参照）。

図８（Ａ）〜（Ｆ）を参照して、異物を除去して粘着ローラ５１の粘着力を回復する動作（粘着力回復動作）について説明する。ここでは、粘着ローラ５１によって３枚の透明板Ｐを清掃する毎に、粘着ローラ５１に付着した異物を粘着シート５３で除去する場合を例として説明する。なお、図８（Ａ）〜（Ｆ）では、異物除去機構５０の上側のみを示しているが、上述のように下側にも同様の構成が透明板Ｐの搬送経路に対して対照となるように設けられている。

図８（Ａ）は、３枚の透明板Ｐの異物が除去された後、４枚目の透明板Ｐ４の表面に付着した異物が粘着ローラ５１によって除去されるまでの状態を示している。図８（Ａ）に示すように、この状態では、粘着ローラ５１が粘着シート５３に接触しておらず、移動部５７が粘着ローラ５１から離間している。粘着ローラ５１は、透明板Ｐ３を搬送方向Ｘに搬送するよう矢印Ｒの方向に回転しており、透明板Ｐ３と接触した状態では、透明板Ｐの表面に接触して異物を除去するとともに透明板Ｐ３を搬送する。

図８（Ｂ）は、３枚の透明板Ｐの清掃が終了した後、４枚目の透明板Ｐ４を清掃するタイミングにおける異物除去機構５０を示している。３枚目の透明板Ｐ３の異物除去が終了すると、移動部５７が粘着ローラ５１に近接する。具体的には、移動部５７が下方に移動する。このとき、粘着ローラ５１と粘着シート５３とが第１清掃始点Ｓ１において接触する。ここで、第１清掃始点Ｓ１とは、１度目の粘着ローラ５１の粘着力回復動作において粘着ローラ５１が粘着シート５３と接触する粘着シート５３上での位置を示している。

図８（Ｃ）は、４枚目の透明板Ｐ４を清掃している状態の異物除去機構５０を示している。この例では、３枚の透明板Ｐの異物除去動作が終了する毎に粘着ローラ５１の粘着力回復動作が行われる。４枚目の透明板Ｐ４の異物を除去する際には、上述のように粘着ローラ５１に粘着シート５３が接触する。この状態で透明板Ｐ４の異物除去及び搬送を行うため、粘着ローラ５１が回転する。粘着ローラ５１が回転すると、粘着ローラ５１の回転によって粘着シート５３が矢印Ｈ方向に送り出される。このとき、粘着シート５３の粘着力の方が粘着ローラ５１の粘着力よりも強いため、粘着ローラ５１に付着している異物が粘着シート５３に付着する。このため、粘着ローラ５１の表面から異物が除去され、粘着ローラ５１の粘着力が回復する。そして、粘着力回復動作において粘着シート５３が排出側に送られるが、粘着ローラ５１による粘着シート５３の送り量よりも供給部５５の供給量の方が少ないため、供給側ダンサローラ５８は粘着シート５３によって搬送方向Ｘの下流側に押し付けられる。このため、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９がスタートポジションからエンドポジション側に移動する。すなわち、粘着ローラ５１が４枚目の透明板Ｐ４の搬送に伴って１回転する間に、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９が、スタートポジションからエンドポジションまで移動する。

図８（Ｄ）は、４枚目の透明板Ｐ４の異物除去動作が終了した後のタイミングにおける異物除去機構５０が示されている。４枚目の透明板Ｐ４の異物除去動作終了時点では、粘着ローラ５１は４枚目の透明板Ｐ４の搬送方向Ｘ後方端に接触している。このとき粘着ローラ５１が接触する粘着シート５３上の位置を第１清掃終点Ｆ１とする。この状態では、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９はエンドポジションまで移動している。

図８（Ｅ）は、４枚目の透明板Ｐ４の異物除去動作後、５枚目の透明板Ｐ５の異物除去動作前の異物除去機構５０を示す。４枚目の透明板Ｐ４の異物除去動作が終了すると、移動部５７が粘着ローラ５１から離間する。すなわち、移動部５７が上方に移動する。移動部５７が上方に移動すると、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９がエンドポジションからスタートポジション側に移動する。これと同時に粘着シート５３が供給側（矢印Ｋ側）に送られる。

図８（Ｆ）は、図８（Ｅ）の状態の後、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９がスタートポジションまで戻った状態を示している。移動部５７が粘着ローラ５１から離間し粘着シート５３が供給側に戻される際に、供給部５５及び排出部５６により粘着シート５３は排出側に送られる。このため、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９がスタートポジションまで戻ったとしても、粘着力回復動作が行われる前よりも粘着シート５３は排出側に送られている。したがって、次の粘着ローラ５１の粘着力回復動作においては、粘着ローラ５１と粘着シート５３は第１清掃始点Ｓ１で接触するのではなく、最初の粘着力回復動作時点においては粘着シート５３における第１清掃始点Ｓ１よりも供給側に位置していた第２清掃始点Ｓ２で粘着シート５３が粘着ローラ５１と接触する。

図９は、粘着ローラ５１の粘着力回復動作における粘着シート５３の状況を示している。異物除去機構５０では、１度の粘着力回復動作で粘着シート５３を廃棄するのではなく、粘着ローラ５１の粘着力が一定以上に保たれる程度に複数回使用する。この例では、粘着シート５３のうち３回の粘着力回復動作を行った部分を排出するケースを示している。この図において「粘着ローラとの接触点又は対向点」は、粘着力回復動作において粘着ローラ５１が粘着シート５３に接触している状態では粘着シート５３上の位置を示しており、粘着ローラ５１が粘着シート５３に接触していない状態では、粘着ローラ５１が粘着シート５３に対向する粘着シート５３上の位置を示す。図９においては、右側が排出側を意味しており、左側が供給側を意味している。図９では、未使用部分５３ａ、１回の使用後部分５３ｂ、２回の使用後部分５３ｃ、使用済み部分５３ｄに分けて粘着シート５３のステータスを示している。図９におけるＳ１は、１回目の粘着力回復動作の際に粘着ローラ５１が粘着シート５３に接触する粘着シート５３上での位置を示し、Ｓ２、Ｓ３、Ｓ４は、それぞれ２回目の粘着力回復動作、３回目の粘着力回復動作、４回目の粘着力回復動作の際に粘着ローラ５１が粘着シート５３に接触する粘着シート５３上での位置を示している。図９におけるＦ１は、１回目の粘着力回復動作の際に粘着ローラ５１が粘着シート５３と接触し終える粘着シート５３上での位置を示し、Ｆ２、Ｆ３、Ｆ４は、それぞれ２回目の粘着力回復動作、３回目の粘着力回復動作、４回目の粘着力回復動作の際に粘着ローラ５１が粘着シート５３と接触し終える粘着シート５３上での位置を示している。

図９（Ａ）は、最初に粘着ローラ５１から異物を除去し、粘着力回復動作を行った後の粘着シート５３の状況を示している。すなわち、図８（Ｄ）に示す異物除去機構５０の状態における粘着シート５３のステータスを示している。この状態では、粘着ローラ５１が粘着シート５３の第１清掃終点Ｆ１で接触している。第１清掃始点Ｓ１は、粘着ローラ５１の１周分だけ排出側に移動している。この状態から、粘着ローラ５１と粘着シート５３が離間するとともに、粘着シート５３が供給側に戻される。

図９（Ｂ）は、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９がエンドポジションからスタートポジションまで戻った状態における、粘着シート５３のステータスを示す。すなわち、図８（Ｆ）に示す異物除去機構５０の状態における粘着シート５３のステータスを示している。粘着シート５３が供給側に戻されたとしても、供給部５５及び排出部５６によって粘着シート５３が排出側に送られているため、粘着力回復動作が行われる前よりも第１清掃始点Ｓ１が排出側に移動している。異物除去機構５０では、このようにして、１回の粘着力回復動作が終了する。２回目以降も同様の動作が繰り返されるが、１回目の粘着力回復動作により使用された粘着シート５３の部分のうちの一部を再度粘着力回復動作に使用する。これは、粘着ローラ５１が、透明板Ｐが清掃された後に透明板Ｐに付着した異物を除去する構成であるため、付着している異物の量が少なく、粘着ローラ５１の粘着力を一定以上に保つという観点で考えると、１度の粘着力回復動作のみで廃棄する必要がないためである。

図９（Ｃ）は、２回目の粘着力回復動作が行われる直前の粘着シート５３のステータスを示している。すなわち、図９（Ｃ）は、８枚目の透明板Ｐを清掃するタイミングにおける粘着シート５３のステータスを示している。２回目の粘着力回復動作を開始するタイミングでは、粘着シート５３は、最初の粘着力回復動作の状況よりも、粘着ローラ５１の１周の３分の１の距離だけ排出側に移動している。２回目の粘着力回復動作では、粘着ローラ５１は、粘着シート５３と第２清掃始点Ｓ２で接触し始める。このため、第１清掃始点Ｓ１と第２清掃始点Ｓ２の間の距離は粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離となっている。

図９（Ｄ）は、２回目の粘着力回復動作が終了した時点における粘着シート５３のステータスを示している。第１清掃始点Ｓ１と第２清掃始点Ｓ２との間の部分は、２回目の粘着力回復動作においては粘着ローラ５１と接触しない。第２清掃始点Ｓ２から粘着ローラ５１の周方向における３分の２の距離は既に１度粘着力回復動作に用いられた部分５３ｂで異物を除去し、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離だけ未使用の部分５３ａで粘着ローラ５１の異物が除去される。このため、２回目の粘着力回復動作が終了した時点においては、第２清掃始点Ｓ２から粘着ローラ５１の周方向における３分の２の距離は２回使用された後の部分５３ｃとなっており、粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１回使用された後の部分５３ｂとなっている。

図９（Ｅ）は、３回目の粘着力回復動作が行われる直前の粘着シート５３のステータスを示している。すなわち、図９（Ｅ）は、１２枚目の透明板Ｐを清掃するタイミングにおける粘着シート５３のステータスを示している。３回目の粘着力回復動作を開始するタイミングでは、粘着シート５３は、２回目の粘着力回復動作の状況よりも、粘着ローラ５１の１周のさらに３分の１の距離だけ排出側に移動している。３回目の粘着力回復動作では、粘着ローラ５１は、粘着シート５３と第３清掃始点Ｓ３で接触し始める。このため、第１清掃始点Ｓ１と第３清掃始点Ｓ３の間の距離は粘着ローラ５１の周方向における３分の２の距離となっている。

図９（Ｆ）は、３回目の粘着力回復動作が終了した時点における粘着シート５３のステータスを示している。第１清掃始点Ｓ１と第３清掃始点Ｓ３との間の部分は、３回目の粘着力回復動作においては粘着ローラ５１と接触しない。第３清掃始点Ｓ３から粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は既に２度粘着力回復動作に用いられた部分５３ｃで異物を除去し、その位置から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１度使用された部分５３ｂで異物が除去され、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は未使用の部分５３ａで粘着ローラ５１の異物が除去される。このため、３回目の粘着力回復動作が終了した時点においては、第３清掃始点Ｓ３から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は３回使用された後の部分、すなわち使用済の部分５３ｄとなっており、その位置から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は２回使用された後の部分５３ｃとなっており、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１回使用された部分５３ｂとなっている。

図９（Ｇ）は、４回目の粘着力回復動作が行われる直前の粘着シート５３のステータスを示している。すなわち、図９（Ｇ）は、１６枚目の透明板Ｐを清掃するタイミングにおける粘着シート５３のステータスを示している。４回目の粘着力回復動作を開始するタイミングでは、粘着シート５３は、３回目の粘着力回復動作の状況よりも、粘着ローラ５１の１周のさらに３分の１の距離だけ排出側に移動している。４回目の粘着力回復動作では、粘着ローラ５１は、粘着シート５３と第４清掃始点Ｓ４で接触し始める。このため、第１清掃始点Ｓ１と第４清掃始点Ｓ４の間の距離は粘着ローラ５１の１周分の距離となっている。

図９（Ｈ）は、４回目の粘着力回復動作が終了した時点における粘着シート５３のステータスを示している。第１清掃始点Ｓ１と第４清掃始点Ｓ４との間の部分は、４回目の粘着力回復動作においては粘着ローラ５１と接触しない。すなわち、１回目の粘着力回復動作に用いられた部分は４回目の粘着力回復動作では使用されない。第４清掃始点Ｓ４から粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は既に２度粘着力回復動作に用いられた部分５３ｃで異物を除去し、その位置から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１度使用された部分５３ｂで異物が除去され、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は未使用の部分５３ａで粘着ローラ５１の異物が除去される。このため、４回目の粘着力回復動作が終了した時点においては、第４清掃始点Ｓ４から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は使用済の部分５３ｄとなっており、その位置から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は２回使用された後の部分５３ｃとなっており、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１回使用された部分５３ｂとなっている。

図１０は、粘着ローラ５１のｎ回目の粘着力回復動作における粘着シート５３の状況を示している。

図１０（Ａ）は、ｎ回目の粘着力回復動作が行われる直前の粘着シート５３のステータスを示している。ここでｎは４よりも大きな数字である。ｎ回目の粘着力回復動作では、粘着ローラ５１は、粘着シート５３と第ｎ清掃始点Ｓｎで接触し始める。

図１０（Ｂ）は、ｎ回目の粘着力回復動作が行われた後の粘着シート５３のステータスを示している。ｎ回目の粘着力回復動作は、４回目の粘着力回復動作と同様に、第４清掃始点Ｓ４から粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は既に２度粘着力回復動作に用いられた部分５３ｃで異物を除去し、その位置から供給側に粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は１度使用された部分５３ｂで異物が除去され、残りの粘着ローラ５１の周方向における３分の１の距離は未使用の部分５３ａで粘着ローラ５１の異物が除去される。４回以上の粘着力回復動作では、４回目の粘着力回復動作と同様の状態で粘着ローラ５１の異物除去が行われる。このため、粘着力回復動作による粘着シート５３の粘着ローラ５１の異物除去性能は安定して発揮される。なお、上記の例では、３回使用し終えると廃棄するようにしたが、粘着ローラ５１の粘着力が一定以上に保たれるなら４回以上であってもよい。

図１０（Ｃ）は、ｎ＋１回目の粘着力回復動作が行われる直前の粘着シート５３のステータスを示している。図１０（Ｃ）に示すように、図１０（Ａ）に示すｎ回目の粘着力回復動作と同様の状態となっている。すなわち、ｎ回目以降は、図１０（Ａ）及び（Ｃ）の状況で粘着力回復動作が行われ、粘着力回復動作が終了した時点では、図１０（Ｂ）の状態となっている。

上記粘着シート供給排出機構５４は、図６及び図７に示すように、上記供給部５５から上記排出部５６に粘着シート５３を送るシート送り部６０を備えており、このシート送り部６０は、排出側ダンサローラ５９より排出部５６側に配設される排出ローラ６０ａ、排出部５６、ニップローラ６０ｂとベルト６０ｃを有する。この排出ローラ６０ａは、排出部５６に粘着シート５３の使用済部分を連続的に送っている。この排出ローラ６０ａは、駆動モータ（図示省略）に接続され、駆動モータによって回転している。なお、この排出ローラ６０ａの軸は、ベルト６０ｃで連結されている。このため排出ローラ６０ａの回転力はベルト６０ｃを介して伝達されるので、排出ローラ６０ａの回転に伴って排出部５６の巻取部が回転する。ただし、排出部５６の巻取部のテンションが所定以上に高くなると空回りするよう設けられている。このため、粘着シート５３の使用済部分を一定速度で排出するために、駆動モータの回転数を変更する必要がなく、駆動モータのコスト減に寄与できる。

なお、上記排出ローラ６０ａの粘着シート５３の送給速度は、上記粘着ローラ５１の周速度よりも遅く設けられている。換言すると、当該異物除去装置５０は、粘着シート５３の上記供給部５５から上記排出部５６までの平均送給速度（上記排出ローラ６０ａの粘着シート５３の送給速度）が、上記第２清掃装置１０Ｂによる透明板Ｐの搬送速度より遅く設けられている。

なお、異物除去装置５０は、上記粘着ローラ５１及び粘着力回復機構５３等を内蔵する筐体５０ｈを有し、この筐体５０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため上述のような異物除去が略密閉状態でなされ、外気に含まれる埃等が透明板Ｐに付着することが防止されている。また、異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬入口は第２清掃装置１０Ｂの筐体１０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この異物除去装置５０の筐体５０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

＜検査装置＞
図１を参照して検査装置７０に関して説明する。上記検査装置７０は、上述のように異物除去装置５０から排出される透明板Ｐを検査する装置である。

この検査装置７０は、透明板Ｐを搬送する機構（図示省略）、搬送される透明板Ｐに光線を照射する照明部７１、及び光線を照射された透明板Ｐを撮像するカメラ７２を有している。なお、検査装置７０は、上記照明部７１及びカメラ７２等を内蔵する筐体７０ｈを有し、この筐体７０ｈは、透明板Ｐの搬入口及び搬出口（図示省略）を有し、この搬入口及び搬出口以外は密閉状態に設けられ、このため透明板Ｐの検査は気密状態で行われる。この検査装置７０の筐体７０ｈの搬入口は異物除去装置５０の筐体５０ｈの搬出口と気密に連結されている。なお、この検査装置７０の筐体７０ｈは、メンテナンス等のための開閉扉（図示省略）が設けられている。

本実施形態においては、検査装置７０は、複数対の上記照明部７１及びカメラ７２を有しており、複数対の照明部７１及びカメラ７２によって、反射光や透過光等による種々の画像が撮像される。当該透明板清掃検査システム１にあっては、上記画像が上記制御装置に送信され、制御装置によって透明板Ｐの良否判定を行い得る。

検査装置７０は、異物付着阻止機構７５をさらに備えている。異物付着阻止機構７５は、送風装置と、フィルタとを備えている。送風装置は、筐体７０ｈの上面、言い換えると天井に設けられている。送風装置は、筐体７０ｈの外部の空気を内部に送り込む。送風装置は、図示しないフィンなどを有しており、回転することで筐体７０ｈの外部の空気を内部に送り込む。送風装置は、検査のために搬送される透明板Ｐの表面に付着した異物を流すように、空気を透明板Ｐに向けて送る。フィルタは、送風装置で筐体７０ｈの内部に空気が送り込まれる際に、埃等の異物が筐体７０ｈの内部に入りこまないようにする。フィルタは送風装置よりも筐体７０ｈの内側に配置されている。

異物侵入阻止機構７５により筐体７０ｈに空気が送り込まれるため、筐体７０ｈ内の内圧が外部の気圧より高くなる。したがって異物が筐体７０ｈの内部に入り込みにくくなる。また、異物付着阻止機構７５によって透明板Ｐの表面に付着した異物を流すように空気が送られるため、例え、筐体７０ｈ内で生じた異物が透明板Ｐに付着したとしても検査に影響を与えにくくすることができる。

＜利点＞
当該透明板清掃検査システム１によれば、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂによって清掃された清掃面に異物が付着していたとしても、異物除去装置５０の粘着ローラ５１によって異物を的確に除去することかできる。特に、当該透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａ及び第２清掃装置１０Ｂの繊維製の清掃布Ｃに基づいて透明板Ｐに繊維等の異物が付着しても上記粘着ローラ５１によって上記異物を的確に除去することかできる。

また、粘着ローラ５１の粘着面５１ｓに付着した異物は、粘着シート５３が接触することで除去されるので、粘着ローラ５１の粘着面５１ｓの粘着力を回復することができる。当該異物除去装置５０は、粘着ローラ５１の粘着面５１ｓの粘着力を回復するにあたって長尺状の粘着シート５３を用い、この粘着シート５３の未使用部分が粘着力の回復に用いられるので、（１）容易かつ確実に粘着ローラ５１の粘着面５１ｓの粘着力の回復を行うことができ、（２）粘着シート５３の使用開始から終了時までの長時間にわたって、粘着力を一定以上に維持することができる。

上記粘着シート供給排出機構５４は、粘着シート５３と粘着ローラ５１との接触を間欠的に行うため、粘着シート５３と粘着ローラ５１との接触が過剰となり過ぎず、粘着シート５３を有効利用することができ、粘着シート５３の消費量を低減することができる。また、粘着シート５３と粘着ローラ５１との接触に際して、上述のように粘着シート５３の接触済部分５３ｂ，５３ｃと未使用部分５３ａとを粘着ローラ５１に接触させるので、粘着シート５３の既に接触した部分の有効活用が図られると共に、粘着シート５３の未使用部分５３ａによって粘着ローラ５１から異物を確実に除去できる。

また、粘着シート供給排出機構５４は、上述のように排出側ダンサローラ５９を有し、この排出側ダンサローラ５９より上記排出部５６側に配設される排出ローラ６０ａが、上記排出部５６に粘着シート５３の使用済部分を連続的に送ることができ、上記排出側ダンサローラ５９によって粘着シート５３の粘着ローラ５１との接触による繰出量をバランスしつつ、排出ローラ６０ａによって連続的に粘着シート５３の使用済部分を排出部５６に送ることができ、これにより排出部５６の構造の簡素化等を図ることができる。

粘着シート５３の使用済み部分は排出部５６へ送られ一か所に集積されるため、粘着シート５３の交換がしやすい。また、粘着力回復機構５２の洗浄なども必要無いので装置のメンテナンスも容易になる。

また、当該透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａによって透明板Ｐの第１面ｐ１が清掃され、第１面ｐ１清掃後の透明板Ｐが反転装置３０によって反転され、この反転された透明板Ｐの第２面ｐ２が第２清掃装置１０Ｂによって清掃されるため、人が介在することなく透明板Ｐの両面を清掃できる。そして、上記第２清掃装置１０Ｂによる透明板Ｐの搬送速度と異物除去装置５０による透明板Ｐの搬送速度とが同期し、粘着シート５３の供給部５５から排出部５６までの平均送給速度が、第２清掃装置１０Ｂによる透明板Ｐの搬送速度より遅いので、透明板Ｐの清掃等に要する処理時間を短縮させつつ、粘着シート５３の消費量を低減させることができる。

さらに、当該透明板清掃検査システム１は、上述のように第２清掃装置１０Ｂから搬出された透明板Ｐの異物を異物除去装置５０に除去した後に、検査装置７０によって透明板Ｐの検査を行うため、仮に上記清掃段階で透明板Ｐに繊維製の清掃布Ｃ等が起因する異物が付着したとしても、異物除去装置５０によって異物を的確に除去することかでき、検査精度を向上させることができる。

また、当該透明板清掃検査システム１は、第１清掃装置１０Ａの搬送機構１１の搬送ベルト１１ａの表面に異物が付着したとしても、粘着ローラ１１ｄによって異物を的確に除去することかできる。また、第１清掃装置１０Ａは粘着力回復機構５２を有しているので、搬送機構１１の粘着ローラ１１ｄの粘着面に付着した異物が、粘着シート５３が接触することで除去され、このため粘着ローラ５１の粘着面の粘着力を回復することができる。

さらに、供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９によって粘着シート５３を巻き戻すことができるので、供給部５５及び排出部５６を動作させることを必ずしも要せず、巻き戻しをしても粘着シート５３が皺になりにくい。また粘着ローラ５１との接触によって粘着シート５３が繰出される際に供給側ダンサローラ５８及び排出側ダンサローラ５９によって粘着シート５３のテンションを調整可能である。

［その他の実施形態］
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記実施形態の構成に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更（構成の置換、付加及び削除）が含まれることが意図される。

つまり、上記実施形態においては、当該透明板清掃検査システムが、第１清掃装置、反転装置、第２清掃装置及び検査装置を具備する透明板清掃検査システムに用いられるものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、当該異物除去装置が単独で用いられるものや、当該異物除去装置と清掃装置とがセットになったものや、当該異物除去装置と検査装置がセットになったものも本発明の意図する範囲内である。

また、上記実施形態においては、第２清掃装置の筐体の搬出口と異物除去装置の筐体の搬入口とを気密に接続しているものについて説明したが、第２清掃装置と異物除去装置との間に別途ローダを配置することも可能である。さらに、検査装置の下流側にラミネート装置を配置し、検査終了後の透明板の両面に保護フィルムを貼着することも可能である。

さらに、当該透明板清掃検査システムが清掃装置を有する場合であっても、上記実施形態のように二つの清掃装置を有するものに限定されるものではなく、一つの清掃装置のみを有するものであってもよい。

また、上記実施形態においては、当該異物除去装置が、透明板の表面の異物を除去するもの、及び搬送ベルトの表面の異物を除去するものについて説明したが、本発明にあっては当該異物除去装置の異物付着部の粘着面によって異物を除去する被対象物は上記実施形態のものに限定されるものではない。ただし、異物除去の対象部位が平滑面であることが好ましく、これにより異物付着部の粘着面を平滑にすることで、容易かつ確実に異物を除去できる。

さらに、上記実施形態のように異物除去装置が透明板の異物を除去する場合にあっても、透明板の両面の異物を除去するものに限定されるわけではなく、透明板の一つの清掃面（例えば透明板の一方の面のみ）の異物を除去可能に設けることも可能である。なお、上述のように清掃装置が繊維製の清掃布を用いて清掃を行うものである場合、その清掃布で清掃された清掃面の異物を異物除去装置が除去可能に設けられていることが好ましく、これにより繊維製の清掃布に起因して付着する異物を異物除去装置によって好適に除去することができる。

さらに、上記実施形態では異物付着部として粘着ローラを用いたものについて説明したが、異物付着部としては、粘着面を繰り返し使用することができるものであれば種々のものを採用可能であり、粘着性フィルム、粘着性ゴム部材、粘着性ウレタン等を採用することもでき、また粘着方法としては粘性を用いるほか静電気を用いることもでき、例えば導電性ローラを採用することも可能である。さらに、ローラを用いずにベルトコンベアのような構成を用いてもよい。

また、上記実施形態においては、粘着シート供給排出機構が、供給部から排出部に粘着シートを送るための排出ローラを備えるものについて説明したが、本発明はこれに限定されず、粘着シートが接触する異物付着部の動作によって排出部に粘着シートが排出されるよう設けることも可能である。例えば、異物付着部として上記実施形態のような粘着ローラを設けた場合、この粘着ローラとの接触によって排出部に粘着シートが排出されるものも採用可能である。なお、この場合に、粘着ローラの排出部側に粘着シートの撓みを防止するローラを配設することも可能である。

さらに、上記実施形態では、排出部として粘着シートの使用済部分を順次巻取可能な巻取部から構成するものについて説明したが、例えば使用済部分を順次廃棄するものであっても良い。ただし、粘着シートの使用済部分を巻取る巻取部を排出部として設けることで、巻き取った粘着シートを次工程に容易に搬送できる。なお、この次工程としては、廃棄のほか、他の異物粘着装置で用いることも可能であり、具体的には、例えば上記実施形態の異物除去装置で使用した使用済の粘着シートを、第１清掃装置１０Ａの搬送機構の粘着力回復機構で用いることも可能である。

また、上記実施形態においては、粘着シートが粘着ローラと間欠的に接触するものについて説明したが、例えば図１１に示すように粘着シート５３が粘着ローラ５１と連続的に接触するものであっても本発明の意図する範囲内である。図１１の示す実施形態においても粘着シートが異物付着部と間欠的に接触する構成を用いてもよく、粘着シートの使用量を低減することができる。なお、図１１において第１実施形態と同様の構成又は機能を有する部材については同一符号を用いている。

上記実施形態においては、粘着シート供給排出機構が、粘着ローラに接近及び離反可能に設けられる移動部を有するものについて説明したが、移動部の移動方向については、図６、図７、図８に示すような位置に限られない。例えば、図６などに示される位置よりも搬送方向下流側に粘着ローラが設けられ、この粘着ローラの上方に移動部を配置するとともに、上下動するなど適宜設計変更で対応可能である。

さらに、上記実施形態においては、粘着シート供給排出機構が、粘着ローラに接近及び離反可能に設けられる移動部を有するものについて説明したが、例えば図１１に示すように粘着シートと粘着ローラとが連続的に接触するもの等の場合、移動部は不要である。

また、粘着シート供給排出機構が移動部を有する場合にあっても、上記ダンサローラは必須の構成ではなく、例えば供給部によって粘着シートの巻き戻しを行うよう設けることも可能である。

さらに、上記実施形態では粘着シート供給排出機構の供給部において粘着シートがロール状に巻回されて保持されているものについて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく他の構成であってもよい。例えば、粘着シートが折り畳まれて積層するような構成であってもよい。また、排出部についても同様に巻き取られる構成である必要は必ずしもなく、使用済みの粘着シートを折り畳んで積層していく構成であってもよい。

上記実施形態では、供給側ダンサローラ及び排出側ダンサローラは、搬送方向Ｘの上流側から下流側及び下流側から上流側に向かって移動する構成を採用したが、これに限らない。供給側ダンサローラは、粘着シートの非粘着面に接触して粘着シートにテンションを与える方向であれば、どの方向に移動するようにしてもよい。排出側ダンサローラは、粘着シートの非粘着面に接触して粘着シートにテンションを与える方向であれば、どの方向に移動するようにしてもよい。供給側ダンサローラと排出側ダンサローラとは、略逆方向に粘着シートを引っ張る構成であればよい。例えば、供給側ダンサローラは、上記実施形態のスタートポジションよりもスタートポジション又は／及びエンドポジションが上方又は下方に位置しており、排出側ダンサローラは、上記実施形態のスタートポジション又は／及びエンドポジションが下方又は上方に位置していてもよい。

さらに、上記粘着シートと粘着ローラとを間欠的に接触するための移動部として、上記実施形態はローラを用いたが、異物付着部と接近及び離間でき、粘着シートをガイド可能なガイド部材等を採用することも可能である。

また、上記実施形態では、異物除去装置が粘着ローラ５１の回転によって透明板Ｐを搬送するものについて説明したが、本発明はこれに限らず、フリーローラの一部にモータを設けて透明板Ｐを搬送するようにしてもよい。

本発明の異物除去装置及び清掃システムは、携帯機器の表示装置に用いられるガラス基板等の透明板の清掃に好適に利用できる。

１０Ａ 第１清掃装置
１０Ｂ 第２清掃装置
５０ 異物除去装置
５１ 粘着ローラ（異物付着部）
５３ 粘着シート
５４ 粘着シート供給排出機構
５５ 供給部
５６ 排出部
５７ 移動部
５８ 供給側ダンサローラ
５９ 排出側ダンサローラ
６０ａ 排出ローラ
７０ 検査装置
Ｐ 透明板（被対象物）

Claims (10)

1. 被対象物に接触することで異物を除去する粘着面を有する異物付着部、
   上記異物付着部の粘着面に接触することで上記異物付着部の粘着面の異物を除去可能な長尺状の粘着シート、及び
   上記異物付着部の粘着面に上記粘着シートの未使用部分を供給する供給部と上記粘着シートの使用済み部分を排出する排出部とを有する粘着シート供給排出機構を備える異物除去装置。
2. 上記粘着シート供給排出機構が、上記供給部から上記排出部に上記粘着シートを送るシート送り部を備える請求項１に記載の異物除去装置。
3. 上記粘着シート供給排出機構が、上記異物付着部に接近及び離反可能に設けられる移動部を有し、
   上記粘着シート供給排出機構が、上記移動部の上記異物付着部との接近時に上記粘着シートを上記異物付着部に接触させ、上記移動部の上記異物付着部との離反時に上記粘着シートを上記異物付着部と離間させる請求項１又は請求項２に記載の異物除去装置。
4. 上記粘着シート供給排出機構が、上記移動部の上記異物付着部との離反時に上記異物付着部と対面する上記粘着シートの部分を供給側に戻し、次の上記移動部の上記異物付着部との近接時に上記粘着シートの接触済部分と未使用部分とを上記異物付着部の表面に接触させる請求項３に記載の異物除去装置。
5. 上記粘着シート供給排出機構が、上記移動部と上記供給部との間に位置して上記粘着シートに接触する供給側ダンサローラと、上記移動部と上記排出部との間に位置して上記粘着シートに接触する排出側ダンサローラを有する請求項４に記載の異物除去装置。
6. 上記排出部が、粘着シートの使用済部分を巻取る巻取部である請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の異物除去装置。
7. 上記異物付着部が、外周面が上記粘着面である粘着ローラである請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の清掃システム。
8. ワークの清掃面を清掃する清掃システムであって、
   上記ワークの清掃面を清掃する清掃装置、及び
   請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の異物除去装置を有し、
   上記異物付着部が、上記清掃装置によって清掃された上記ワークの上記清掃面に接触する清掃システム。
9. 上記清掃装置による上記ワークの搬送速度と上記異物除去装置による上記ワークの搬送速度とが同期しており、
   上記粘着シートの上記供給部から上記排出部までの平均送給速度が、上記清掃装置による上記ワークの搬送速度より遅い請求項８に記載の清掃システム。
10. 上記異物除去装置から排出された上記ワークの清掃面を検査する検査装置をさらに備える請求項８又は請求項９に記載の清掃システム。

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