JP2019145707A - ボール搭載装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、ボール搭載装置1の概略構成を示す平面図である。なお、図1において、図示左右方向をX軸、X軸に直交する方向をY軸、X−Y平面に対して鉛直方向Z軸又は上下方向と表し説明する。ボール搭載装置1は、ウエハ搬送用ユニット2をストックする給材部としてのローダ4aと、ローダ4aからプレアライナ5にウエハ搬送用ユニット2を搬送し、プレアライナ5からクランプユニット6にウエハ搬送用ユニット2を搬送する搬送ロボット7とを有している。ウエハ搬送用ユニット2は、搬送用リング8と、搬送用リング8の下面側に貼着されるテープ9と、テープ9の表面側(貼着面側)に仮貼着されたウエハ10とから構成されている。ウエハ搬送用ユニット2の構成は、図2を参照して後述し、クランプユニット6の構成は図4を参照して後述する。
図2は、ウエハ搬送用ユニット2を拡大して示す図である。図2(a)は平面図、図2(b)は図2(a)のA−A切断線で切断した断面図である。ウエハ搬送用ユニット2は、搬送時に撓まない程度の剛性を有する搬送用リング8と、搬送用リング8の下面8bに貼着される弾性及び伸縮性を有するテープ9と、テープ9の表面(貼着面)9aに仮貼着されたウエハ10とから構成されている。仮貼着とは、ウエハ10がテープ9に密接固定されてはいるが、剥離することが可能な状態をいう。ウエハ10を貼着する粘着剤は、ウエハ10をスクライブしチップに個片化する際にはウエハ10を強固に固定しておく必要があり、スクライブ後、テープ10からチップを剥離する際には固定力を弱め剥離し易くすることが求められる。そこで、ウエハ10がテープ9に貼着されている状態を仮貼着と記載する。粘着剤としては例えば、UV(紫外線)照射によって粘着力を変えることが可能な機能を有するものを使用することが好ましい。なお、テープ9の厚みは粘着剤を含めて40μm〜200μmである。ウエハ10は、ウエハ搬送ユニット2の形態にすることによって、破損したり、変形したり、撓んだりすることなく搬送することが可能となる。
図4は、クランプユニット6及びクランプ搬送用ユニット45の構成を示す斜視図である。なお、図1も参照しながら説明する。クランプユニット6は、クランプ搬送用ユニット45上に配置されている。クランプ搬送用ユニット45は、ステージY軸アクチェータ17、ステージX軸アクチュエータ18及びステージ上下駆動アクチュエータ46で構成されている。ステージ上下駆動アクチュエータ46は、第1ベース47を介してステージY軸アクチュエータ17に固定されている。クランプユニット6は、第2ベース48を介してステージ上下駆動アクチュエータ46に取付けられている。クランプ搬送用ユニット45は、クランプユニット6をX軸方向、Y軸方向及びZ軸方向(上下方向)に移動する。
図6は、搬送用リング8を下方に引き下げ、テープ9を引き伸ばした状態を模式的に示す断面図である。図4、図5も参照しながら説明する。ウエハ10は、テープ9を介して吸着ステージ52に真空吸着孔55によって真空吸着されている。搬送用リング8は、クランプステージ49とクランプリング50に挟持された状態でウエハ10の上面10aとクランプリング50の上面50aとが同じ高さになるまで下方に引き下げられる。テープ9は、弾性及び伸縮性を有しているために、図6に示すように、吸着ステージ52とクランプステージ49との間において下方側に引き伸ばされる。ウエハ10は真空吸着されているため位置は変化しない。なお、クランプリング50の上面50aが、ウエハ10の上面10aよりも僅かに下方にあるようにしてもよい。このように、ウエハ10の上面10aとクランプリング50の上面50aとを同じ高さ位置にすることによってフラックス印刷及びボール振込を良好に行うことが可能となる。
図9は、ボール搭載方法の主要工程を示す工程フロー図である。まず、ローダ4aにストックされているウエハ搬送用ユニット2をプレアライナ5に搬送する(ステップS1)。プレアライナ5では、ウエハ搬送用ユニット2の位置を補正する。具体的には、ウエハ10の中心又はアライメントマークと搬送用リング8の4か所のノッチ8aとの双方のクランプユニット6に対する位置を補正する(ステップS2)。次に、ウエハ搬送用ユニット2をクランプユニット6に搬送する(ステップS3)。クランプユニット6は、吸着ステージ52にウエハ10を真空吸着し、クランプステージ49とクランプリング50によってウエハ搬送用ユニット2の搬送用リング8を挟持する(ステップS4)。次に、ウエハ矯正装置16においてウエハ10の反りを矯正した後、ウエハ搬送用ユニット2をクランプユニット6で挟持した状態で、フラックス印刷装置11に搬送する(ステップS5)。
Claims (7)
- 伸縮性を有するテープが貼着された搬送用リングの径方向内側に配置され、前記テープの貼着面側に仮貼着されたワークに導電性ボールを搭載するボール搭載装置であって、
フラックス印刷用マスクのマスク開口部から前記ワークにフラックスを印刷するフラックス印刷装置と、
前記フラックスが印刷された前記ワーク上に、ボール振込用マスクのボール振込用孔から前記導電性ボールを振り込むボール振込装置と、
前記テープを介して前記ワークを真空吸着する吸着ステージと、前記搬送用リングを厚み方向で挟持するクランプステージ及びクランプリングと、前記ワークの上面と前記搬送用リングの上面とが同じ高さになるまで前記テープを引き伸ばしながら前記搬送用リングを引き下げるクランプユニット上下駆動アクチェータと、を有するクランプユニットと、
を有している、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1に記載のボール搭載装置において、
前記クランプユニットは、前記クランプステージの周囲に前記クランプステージに対し前記クランプリングを同期された速度で上昇及び降下動作させる複数のクランプリング上下駆動アクチュエータを有している、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1または請求項2に記載のボール搭載装置において、
前記搬送用リングの引き下げ量は、前記搬送用リングを引き下げる際に前記テープを引き伸ばした後、前記搬送用リングを引き下げ前の位置に戻した際に、前記テープが引き伸ばし前の状態に復元可能な範囲内である、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のボール搭載装置において、
前記ボール振込用マスクに対向する前記クランプリングの上面には、前記吸着ステージの外周から離間した位置で前記ボール振込用マスクを吸着する真空吸着溝が設けられている、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のボール搭載装置において、
前記クランプリングは、前記ワークに向かって突設する鍔部を有し、
フラックス印刷の際に、前記クランプリングの上面は前記鍔部を含めて前記ワークの上面と同じ高さ位置に調整されている、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1に記載のボール搭載装置において、
前記吸着ステージは、前記ワークを真空吸着する際に前記ワークが陥没しない大きさの真空吸着孔を有している、
ことを特徴とするボール搭載装置。 - 請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のボール搭載装置において、
前記クランプユニットを昇降し、前記フラックス印刷用マスク及び前記ボール振込用マスクに対する前記ワークの高さ位置を調整するステージ上下駆動アクチュエータを有している、
ことを特徴とするボール搭載装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113471111A (zh) * | 2021-07-10 | 2021-10-01 | 江苏晟驰微电子有限公司 | 一种孔板钢网印刷实现晶圆玻璃钝化工艺的治具 |
CN117572732A (zh) * | 2024-01-16 | 2024-02-20 | 上海图双精密装备有限公司 | 调平辅助装置及调平方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170688A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Athlete Fa Kk | ステージおよびこれを用いたボール搭載装置 |
JP2012156400A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
JP2016015360A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持装置 |
JP2018206939A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | エキスパンド方法及びエキスパンド装置 |
JP2019062201A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングSuss MicroTec Lithography GmbH | ウエハ支持システム、ウエハ支持装置、ウエハ及びウエハ支持装置を備えるシステム、並びにマスクアライナ |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5270192B2 (ja) * | 2007-04-16 | 2013-08-21 | アスリートFa株式会社 | マスクおよびこのマスクを用いた基板の製造方法 |
JP2012250426A (ja) * | 2011-06-02 | 2012-12-20 | Mitsubishi Electric Corp | スクリーン印刷機 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009170688A (ja) * | 2008-01-17 | 2009-07-30 | Athlete Fa Kk | ステージおよびこれを用いたボール搭載装置 |
JP2012156400A (ja) * | 2011-01-27 | 2012-08-16 | Disco Abrasive Syst Ltd | テープ拡張装置 |
JP2016015360A (ja) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | 株式会社ディスコ | チップ間隔維持装置 |
JP2018206939A (ja) * | 2017-06-05 | 2018-12-27 | 株式会社ディスコ | エキスパンド方法及びエキスパンド装置 |
JP2019062201A (ja) * | 2017-09-25 | 2019-04-18 | ズス・マイクロテック・リソグラフィ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツングSuss MicroTec Lithography GmbH | ウエハ支持システム、ウエハ支持装置、ウエハ及びウエハ支持装置を備えるシステム、並びにマスクアライナ |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7425296B2 (ja) | 2020-02-20 | 2024-01-31 | 澁谷工業株式会社 | 導電性ボール搭載装置 |
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