JP2009170688A - ステージおよびこれを用いたボール搭載装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を支持する基板支持面41を備えた基板支持台42と、基板支持台42を上下に移動させる第1の駆動機構44と、基板支持面41の周囲に位置する上端面51を備えた、外形が矩形状のフレーム52と、フレーム52を上下に移動させる第2の駆動機構54とを有する。ステージ10の移動先上方に固定された薄板状のマスクの下で第2の駆動機構54によりフレーム52を上方に動かし上端面51がマスクに接したときにマスクを吸引吸着するための複数の第1の吸引孔58が、フレーム52の上端面51の相対する一対の辺に沿って設けられている。
【選択図】図4
Description
8 ボール充填装置、 10 ステージ、 11 ステージ移動装置(移動機構)
21 フラックス塗布用マスク、 31 ボール搭載用マスク
41 基板支持面、 42 基板吸着治具(基板支持台)
44 第1の駆動機構、 47 第2の吸引孔
51 上端面、 52 マスクサポート治具(フレーム)
54 第2の駆動機構、 58 第1の吸引孔
59 空気拡散用溝、 100 ウエハ、プリント配線板(基板)
Claims (10)
- 基板を搭載して移送可能なステージであって、
前記基板を支持する基板支持面を備えた基板支持台と、
前記基板支持台を上下に移動させる第1の駆動機構と、
前記基板支持面の周囲に位置する上端面を備えた、外形が矩形状のフレームと、
前記フレームを上下に移動させる第2の駆動機構とを有し、
当該ステージの移動先上方に固定された薄板状のマスクの下で前記第2の駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記上端面が前記マスクに接したときに前記マスクを吸引吸着するための複数の第1の吸引孔が、前記フレームの上端面の相対する一対の辺に沿って設けられている、ステージ。 - 請求項1において、前記複数の第1の吸引孔は、前記一対の辺に沿った部分に限り設けられている、ステージ。
- 請求項1または2において、前記フレームの前記上端面に、さらに、前記一対の辺と交差する方向に前記上端面の縁に達するように延びる複数の溝が、前記複数の第1の吸引孔と重ならない位置に設けられている、ステージ。
- 請求項1ないし3のいずれかにおいて、前記基板支持台の前記基板支持面に、前記基板を吸引吸着によって支持するための複数の第2の吸引孔が設けられている、ステージ。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載のステージと、
スキージを備えるフラックス塗布装置であって、前記スキージを移動させることにより、多数の第1の開口を備えた薄板状のフラックス塗布用マスクを介して、前記基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置と、
多数の第2の開口を備えた薄板状のボール搭載用マスクの前記多数の第2の開口に導電性ボールを充填することにより、前記ボール搭載用マスクを介して前記基板に導電性ボールを搭載するボール充填装置と、
前記ステージを、前記フラックス塗布用マスクおよび前記ボール搭載用マスクの下側に順番に移動する移動機構とを有し、
前記ステージは、前記フラックス塗布用マスクおよび前記ボール搭載用マスクのそれぞれに対し、前記第2の駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記複数の第1の吸引孔を用いて吸着させ、前記第2の駆動機構により前記フレームを下方に動かして離す動作を繰り返す、ボール搭載装置。 - 請求項5において、前記ステージの前記複数の第1の吸引孔は、前記スキージの移動方向と交差する方向に沿って配置されている、ボール搭載装置。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載のステージと、
多数の開口を備えた前記薄板状のマスクを介して、前記基板を処理する複数の処理ユニットと、
前記ステージを、前記複数の処理ユニットのマスクの下側に順番に移動する移動機構とを有し、
前記ステージは、前記複数の処理ユニットのそれぞれに対し、前記第2の駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記複数の第1の吸引孔を用いて吸着させ、前記第2の駆動機構により前記フレームを下方に動かして離す動作を繰り返す、基板処理装置。 - 基板処理装置により基板を処理する方法であって、
前記基板処理装置は、基板を搭載して移送可能なステージと、
多数の開口を備えた薄板状のマスクを介して前記基板を処理する複数の処理ユニットと、
前記ステージを、前記複数の処理ユニットのマスクの下側に移動する移動機構とを有し、
前記ステージは、前記基板の周囲に位置する上端面を備えたフレームと、前記フレームを上下に移動させる駆動機構とを含み、前記フレームには前記上端面に開いた複数の第1の吸引孔が設けられており、
当該方法は、前記ステージを前記移動機構により、前記複数の処理ユニットのいずれかの処理ユニットの下側に移動させることと、
前記処理ユニットのマスクに対し、前記駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記複数の第1の吸引孔を用いて前記処理ユニットのマスクを吸着させることと、
前記駆動機構により前記フレームを下方に動かして前記処理ユニットのマスクを離すこととを含む、方法。 - 請求項8において、前記基板処理装置の複数の処理ユニットの1つは、多数の第1の開口を備えた薄板状のフラックス塗布用マスクを介して、前記基板にフラックスを塗布するフラックス塗布装置であり、
当該方法は、前記ステージを前記移動機構により、前記フラックス塗布用マスクの下側に移動させることと、
前記フラックス塗布用マスクに対し、前記駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記複数の第1の吸引孔を用いて前記フラックス塗布用マスクを吸着させることと、
前記駆動機構により前記フレームを下方に動かして前記フラックス塗布用マスクを離すこととを含む、方法。 - 請求項8または9において、前記基板処理装置の複数の処理ユニットの1つは、多数の第2の開口を備えた薄板状のボール搭載用マスクを介して前記基板に導電性ボールを搭載するボール充填装置であり、
当該方法は、前記ステージを前記移動機構により、前記ボール搭載用マスクの下側に移動させることと、
前記ボール搭載用マスクに対し、前記駆動機構により前記フレームを上方に動かし前記複数の第1の吸引孔を用いて前記ボール搭載用マスクを吸着させることと、
前記駆動機構により前記フレームを下方に動かして前記ボール搭載用マスクを離すこととを含む、方法。
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