JP2012156400A - テープ拡張装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部に樹脂拡張テープを介して板状ワーク4を支持する環状フレーム5を保持するフレーム保持手段10と、環状フレーム5と板状ワーク4とを板状ワーク4の表面と垂直に交わる方向に離反させて樹脂拡張テープを拡張し板状ワーク4を分割予定ライン2に沿って分割する分割手段20と、を有するテープ拡張装置であって、樹脂拡張テープを2.5μm以上30.0μm以下の波長を含む電磁波の照射により加熱して樹脂拡張テープの拡張されて弛み6aを生じた箇所を収縮させる加熱手段40を有する。
【選択図】図4−4
Description
4 板状ワーク
5 環状フレーム
5a 開口部
6 樹脂拡張テープ
10 フレーム保持手段
20 分割手段
30 冷却手段
40 加熱手段
42 減衰機構
Claims (7)
- 開口部に樹脂拡張テープを介して板状ワークを支持する環状フレームを保持するフレーム保持手段と、前記環状フレームと前記板状ワークとを該板状ワークの表面と垂直に交わる方向に離反させて前記樹脂拡張テープを拡張し前記板状ワークを分割予定ラインに沿って分割する分割手段と、を有するテープ拡張装置であって、
前記樹脂拡張テープを2.5μm以上30.0μm以下の波長を含む電磁波の照射により加熱して該樹脂拡張テープの拡張された箇所を収縮させる加熱手段を有することを特徴とするテープ拡張装置。 - 照射する前記電磁波は、ピーク波長が2.5μm以上30.0μm以下に存在することを特徴とする請求項1に記載のテープ拡張装置。
- 照射する前記電磁波は、ピーク波長が2.5μm以上10.0μm以下に存在することを特徴とする請求項1に記載のテープ拡張装置。
- 前記加熱手段と前記樹脂拡張テープとの間の雰囲気には、水蒸気を含む空気が存在し、
照射する前記電磁波は、ピーク波長が3.0μm以上5.0μm以下又は8.0μm以上30.0μm以下に存在することを特徴とする請求項1に記載のテープ拡張装置。 - 前記加熱手段と前記樹脂拡張テープとの間の雰囲気には、二酸化炭素が存在し、
照射する前記電磁波は、ピーク波長が2.5μm以上14.0μm以下又は17.0μm以上30.0μm以下に存在することを特徴とする請求項1に記載のテープ拡張装置。 - 前記加熱手段は、少なくとも2.5μm未満の波長の電磁波を減衰させる減衰機構を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載のテープ拡張装置。
- 前記樹脂拡張テープを拡張し前記板状ワークを分割予定ラインに沿って分割する際に、前記板状ワークを冷却する冷却手段を有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載のテープ拡張装置。
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