JP2007027562A - ウエーハに装着された接着フィルムの破断方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のチップに分割されたウエーハの裏面に装着されたダイボンディング用の接着フィルムを、個々のチップに沿って破断するウエーハに装着された接着フィルムの破断方法であって、保護テープを拡張しチップ間の間隔を広げるとともに接着フィルムを各チップに沿って破断する接着フィルム破断工程と保護テープにおける接着フィルムが貼着されている領域を吸引保持する保護テープ吸引保持工程と、余剰領域を拡張から開放して余剰領域に外的刺激を付与し、余剰領域を収縮せしめることによりチップ間の間隔を維持するチップ間隔維持工程とを含む。
【選択図】図7
Description
ウエーハの裏面に装着された該接着フィルムが貼着された該保護テープを拡張し、該チップ間の間隔を広げるとともに該接着フィルムを各チップに沿って破断する接着フィルム破断工程と、
該接着フィルム破断工程を実施した後に、該保護テープを拡張した状態で該保護テープにおける該接着フィルムが貼着されている領域を吸引保持手段によって吸引保持する保護テープ吸引保持工程と、
該保護テープ吸引保持工程を実施した後に、該吸引保持手段によって該保護テープにおける該接着フィルムが貼着されている領域を吸引保持した状態で該保護テープにおける該環状のフレームの内周と該接着フィルムが貼着された領域との間の余剰領域を拡張から開放して該余剰領域に外的刺激を付与し、該余剰領域を収縮せしめることにより該チップ間の間隔を維持するチップ間隔維持工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハに装着された接着フィルムの破断方法が提供される。
図1には、先ダイシング法によって個々の半導体チップに分割された半導体ウエーハ2の裏面にダイボンディング用の接着フィルム3が装着された状態が示されている。図1に示す半導体ウエーハ2は、表面2aに複数のストリート21が格子状に形成されているとともに該複数のストリート21によって区画された複数の領域にデバイス22が形成されている。半導体ウエーハ2を先ダイシング法によって個々の半導体チップに分割するには、切削装置を用いて半導体ウエーハ2の表面2aに形成されたストリート21に沿って所定深さ(各半導体チップの仕上がり厚さに相当する深さ)の分割溝23を形成する(分割溝形成工程)。次に、分割溝23が形成された半導体ウエーハ2の表面に保護部材を装着し、半導体ウエーハ2の裏面2bを研削し、分割溝23を裏面2bに表出させて個々の半導体チップ200に分割する(分割溝表出工程)。このようにして個々の半導体チップ200に分割された半導体ウエーハ2の裏面2bにダイボンディング用の接着フィルム3が装着される。このとき、80〜200°Cの温度で加熱しつつ接着フィルム3を半導体ウエーハ2の裏面2bに押圧して装着する。
図5乃至図7に示す接着フィルム破断装置6は、基台60と、該基台60の上方に配置され上記環状のフレーム4を保持するフレーム保持手段61と、該フレーム保持手段61に保持された環状のフレーム4に装着された保護テープ5を拡張するテープ拡張手段62を具備している。フレーム保持手段61は、環状のフレーム保持部材611と、該フレーム保持部材611の外周に配設された固定手段としての4個のクランプ機構612とからなっている。フレーム保持部材611の上面は環状のフレーム4を載置する載置面611aを形成しており、この載置面611a上に環状のフレーム4が載置される。そして、載置面611a上に載置された環状のフレーム4は、クランプ機構612によってフレーム保持部材611に固定される。このように構成されたフレーム保持手段61は、テープ拡張手段62によって上下方向に移動可能に支持されている。
上記図3および図4に示すように裏面に接着フィルム3が貼着された半導体ウエーハ2(20)を保護テープ5を介して支持した環状のフレーム4を、図7の(a)に示すようにフレーム保持手段61を構成するフレーム保持部材611の載置面611a上に載置し、クランプ機構612によってフレーム保持部材611に固定する(フレーム保持工程)。このとき、フレーム保持部材611は図7の(a)に示す基準位置に位置付けられている。
20:半導体ウエーハ
200:半導体チップ
21:ストリート
22:デバイス
23:分割溝
24:変質層
240:破断線
3:接着フィルム
4:環状のフレーム
5:保護テープ
6:接着フィルム破断装置
60:基台
61:フレーム保持手段
611:フレーム保持部材
612:クランプ機構
62:テープ拡張手段
621:拡張ドラム
63:支持手段
631:エアシリンダ
632:ピストンロッド
65:冷却手段
651:冷却流体噴射ノズル
Claims (2)
- 複数のチップに分割されたウエーハの裏面に装着されたダイボンディング用の接着フィルムを、環状のフレームに装着され外的刺激によって収縮する保護テープの表面に貼着された状態で個々のチップに沿って破断するウエーハに装着された接着フィルムの破断方法であって、
ウエーハの裏面に装着された該接着フィルムが貼着された該保護テープを拡張し、該チップ間の間隔を広げるとともに該接着フィルムを各チップに沿って破断する接着フィルム破断工程と、
該接着フィルム破断工程を実施した後に、該保護テープを拡張した状態で該保護テープにおける該接着フィルムが貼着されている領域を吸引保持手段によって吸引保持する保護テープ吸引保持工程と、
該保護テープ吸引保持工程を実施した後に、該吸引保持手段によって該保護テープにおける該接着フィルムが貼着されている領域を吸引保持した状態で該保護テープにおける該環状のフレームの内周と該接着フィルムが貼着された領域との間の余剰領域を拡張から開放して該余剰領域に外的刺激を付与し、該余剰領域を収縮せしめることにより該チップ間の間隔を維持するチップ間隔維持工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハに装着された接着フィルムの破断方法。 - 該接着フィルム破断工程を実施する前に、該接着フィルムを冷却する接着フィルム冷却工程を実施する、請求項1記載のウエーハに装着された接着フィルムの破断方法。
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