JP2008283056A - 接着フィルム破断装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基本的には、筐体50の内部を冷却手段60によって冷却し、接着フィルム1を冷却状態で破断することによってストリート2に沿った破断を可能とするが、この際、接着フィルム1のウエーハ外にはみ出したはみ出し部1aに対しては環状の気体噴出手段70によって気体74を噴出させ、はみ出し部1aが冷却され硬化するのを防止して糊状状態に維持することで、保護テープ6の拡張時に、はみ出し部1aの破断による飛散を防止できるようにした。
【選択図】 図6
Description
1a はみ出し部
2 ストリート
3 デバイス
4 ウエーハ
5 フレーム
6 保護テープ
10 フレーム保持手段
14 保持面
20 ウエーハ押圧手段
21 押圧面
40 進退手段
50 筐体
60 冷却手段
70 気体噴出手段
Claims (1)
- 表面に複数のストリートが格子状に形成されるとともに該複数のストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成されたウエーハの裏面に装着されて該ウエーハ外径より大きな外径によるはみ出し部を有する接着フィルムを、環状のフレームに装着された保護テープの表面に貼着された状態で前記ストリートに沿って破断する接着フィルム破断装置であって、
前記フレームを保持する保持面を有するフレーム保持手段と、
該フレーム保持手段に保持された前記フレームに装着された前記保護テープにおける前記ウエーハが貼着されているウエーハ貼着領域に作用する押圧面を有するウエーハ押圧手段と、
該ウエーハ押圧手段を前記保持面より下方の退避位置から前記保持面より上方の押圧位置に移動させる進退手段と、
前記フレーム保持手段、ウエーハ押圧手段および進退手段を囲繞する筐体と、
該筐体の内部を冷却する冷却手段と、
前記接着フィルムの前記ウエーハ外にはみ出した前記はみ出し部を覆うように配設された環状の気体噴出手段と、
を備えることを特徴とする接着フィルム破断装置。
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