JP7437963B2 - エキスパンド装置 - Google Patents
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Description
本発明の実施形態1に係るエキスパンド装置を図面に基づいて説明する。図1は、実施形態1に係るエキスパンド装置の加工対象のワークユニットの一例を示す斜視図である。図2は、実施形態1に係るエキスパンド装置の構成例を模式的に示す断面図である。図3は、図2に示されたエキスパンド装置の封鎖ユニットを断面で示す斜視図である。図4は、図2に示されたエキスパンド装置の封鎖ユニットの断面図である。
20 フレーム保持部
27 開口
42 昇降用シリンダ(移動ユニット)
44 コロ部材(押圧部材)
90 封鎖ユニット
91 基台部
92 粘着層
98 吸引口
200 ワークユニット
201 ワーク
208 改質層(分割起点)
210 エキスパンドシート
211 環状フレーム
400 閉鎖空間
401 気流
922 封鎖面
Claims (2)
- エキスパンドシートと、該エキスパンドシート上に貼着された分割起点が形成されたワークと、該エキスパンドシートの外周側が貼着された環状フレームと、からなるワークユニットの該エキスパンドシートを拡張するエキスパンド装置であって、
該ワークユニットの該ワークを下に向けるとともに該エキスパンドシートを上に向けた状態で該環状フレームを保持する環状のフレーム保持部と、
該フレーム保持部より上方の退避位置に配設され、該フレーム保持部で保持された該環状フレームを含むワークユニットのワークの外周縁と該環状フレームの内周縁の間の該エキスパンドシートを押圧する押圧部材と、
該押圧部材を該退避位置から該エキスパンドシートを押圧する押圧位置へと移動させる移動ユニットと、
該押圧位置よりも下方で環状の該フレーム保持部の開口を塞ぐ封鎖面を有し、上面に開口する吸引口が形成された封鎖ユニットと、を備え、
該フレーム保持部で該環状フレームが固定されたワークユニットの該エキスパンドシートと、該フレーム保持部と、該封鎖ユニットと、でワークを収容する閉鎖空間を形成し、少なくとも該エキスパンドシートの拡張時に該吸引口から吸引して該閉鎖空間で下向きの気流を生成し、異物がワークに付着することを防止し、
該封鎖面は、粘着性を有するエキスパンド装置。 - 該封鎖ユニットは、基台部と、該基台部から着脱自在に配設された粘着層と、を備える、請求項1に記載のエキスパンド装置。
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