JP2007067278A - エキスパンド方法及びエキスパンド装置 - Google Patents
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Abstract
ウェーハ表面にコンタミを付着させず、歩留まりを向上させたウェーハのエキスパンド方法、及びエキスパンド装置を提供すること。
【解決手段】
ダイシング加工後のウェーハWの裏面に貼着されている粘着シートSをエキスパンドすることにより個々のチップT間の間隔を拡大するエキスパンド方法において、ダイシング加工後のウェーハWの表面を、重力方向に向けて反転させた後に粘着シートSをエキスパンドして個々のチップT間の間隔を拡大することにより、ウェーハW表面へのコンタミの付着を防止し、歩留まりが向上したウェーハのWエキスパンドが可能となる。
【選択図】図3
Description
Claims (8)
- 裏面を粘着シートに貼着されたウェーハを個々のチップにダイシング加工した後に、前記粘着シートをエキスパンドすることにより前記個々のチップ間の間隔を拡大するエキスパンド方法において、
ダイシング加工後の前記ウェーハの表面を、重力方向に向けて反転させた後に前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップ間の間隔を拡大することを特徴とするエキスパンド方法。 - 前記エキスパンドを行なう際には、前記ウェーハ表面に向けてエアーを吹き付けることを特徴とする請求項1に記載のエキスパンド方法。
- 前記エキスパンドを行なう際には、前記ウェーハよりも重力方向の下方に位置する吸引口より該ウェーハ周辺のエアーを吸引することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のエキスパンド方法。
- 前記エキスパンド行なう際には、前記ウェーハを加振手段により振動させることを特徴とする請求項1、2、又は3のうちいずれか1項に記載のエキスパンド方法。
- 裏面を粘着シートに貼着されたウェーハの表面を重力方向に向けて反転させた状態で保持する反転保持手段と、
前記ウェーハが貼着された前記粘着シートをエキスパンドするエキスパンド手段と、を備えたことを特徴とするエキスパンド装置。 - 前記エキスパンド装置には、重力方向に表面を向けた前記ウェーハの表面に向かってエアーを噴射する噴射手段が設けられていることを特徴とする請求項5に記載のエキスパンド装置。
- 前記エキスパンド装置には、前記ウェーハの重力方向の下方に該ウェーハ周囲のエアーを吸引する吸引口が設けられていることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のエキスパンド装置。
- 前記エキスパンド装置には、表面を重力方向に向けて保持された前記ウェーハに対して振動を与える加振手段が設けられていることを特徴とする請求項5、6、又は7のうちいずれか1項に記載のエキスパンド装置。
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