JP5038695B2 - 処理装置および表面処理治具 - Google Patents
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Description
処理液にて前記被処理体の被処理面を処理する表面処理治具と、
前記表面処理治具に処理液を供給する供給手段と、
前記表面処理治具に供給された処理液を回収する回収手段と、
前記表面処理治具を前記被処理面と離間した状態を維持する離間維持手段と、を含み、 前記表面処理治具は、上記被処理面に対向する対向面を有し、該対向面と被処理面との間に前記供給手段から供給された処理液を保持して被処理面を処理する処理部を備えることを特徴としている。
被処理体の被処理面を処理液で処理するのに用いられる表面処理治具であって、
被処理面に対して離間して維持された際に、前記被処理面に対向する対向面を有し、該対向面と該被処理面との間に供給された処理液を保持して被処理面を処理する処理部を備えることを特徴としている。
本実施形態にかかる処理装置100について、図1ないし図3を参照しつつ説明する。図1は、本実施形態にかかる処理装置100の要部を示す断面図である。図2は、図1のA部をより詳細に示す断面図である。図3は、本実施形態にかかる処理装置に備えられている表面処理治具の一部を示す平面図である。なお、図3は、表面処理治具の対向面(被処理面と対向する面)を示す平面図である。
次に、上述の処理装置を用いた被処理体の処理方法について説明する。本処理方法では、まず、被処理体18を載置台10に保持する。載置台10には、吸引機構が設けられており、被処理体18を保持することができる。ついで、離間維持手段50により、表面処理治具20を被処理体18の上方に配置する。このとき、被処理体18の被処理面18aと、表面処理治具20(特に突出部24)との距離が、たとえば、3mm以下であるように維持されていることが好ましい。これにより、処理液を被処理面18aと表面処理治具20の対向面22aとの間に、処理液を保持することが容易となる。
12 回転軸
14 モーター
16 洗浄槽
18 被処理体
18a 被処理面
20 表面処理治具
22 処理部
22a 対向面
24 突出部
26 第1貫通孔
28 第2貫通孔
30 供給手段
32 供給配管
34 処理液タンク
40 回収手段
42 回収配管
44 吸引ポンプ
50 離間維持手段
52 アーム
60 不活性ガス供給手段
62 不活性ガスタンク
64 不活性ガス供給配管
66 ノズル
100 処理装置
Claims (11)
- 被処理体が載置される載置台と、
処理液にて前記被処理体の被処理面を処理する表面処理治具と、
前記表面処理治具に処理液を供給する供給手段と、
前記表面処理治具に供給された処理液を回収する回収手段と、
前記表面処理治具を前記被処理面と離間した状態に維持する離間維持手段と、を含み、
前記表面処理治具は、前記被処理面に対向する対向面を有し、該対向面と該被処理面との間に前記供給手段から供給された処理液を保持して被処理面を処理する処理部を備え、
前記処理部は、前記対向面から前記被処理体に向かって突出する突出部を備え、該突出部は、表面処理治具の処理部と前記被処理面との間における処理液の表面張力を保持するようになっており、前記対向面の周縁に設けられており、
前記処理部には、一つの前記対向面に複数の貫通孔が設けられており、前記複数の貫通孔のうちの一部が前記処理液を供給するための貫通孔であり、前記複数の貫通孔のうちの一部が前記処理液を回収するための貫通孔であり、
前記突出部は前記対向面の周縁のみに設けられていることを特徴とする処理装置。 - 前記突出部の、前記被処理面と対向する面は平面であり、前記離間維持手段により該突出部と該被処理面との距離が、3mm以下に維持されることを特徴とする請求項1に記載の処理装置。
- 処理後の被処理面を乾燥させる乾燥手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の処理装置。
- 前記乾燥手段は、前記被処理面に向かって不活性ガスを供給する不活性ガス供給手段であることを特徴とする請求項3に記載の処理装置。
- 前記乾燥手段は、前記被処理面に残った処理液を吸引する吸引手段であることを特徴とする請求項3に記載の処理装置。
- 前記吸引手段は、前記表面処理治具を用いて行なわれ、前記供給手段からの処理液の供給が停止した状態で、前記回収手段により前記被処理面に残った処理液を吸引することにより行われることを特徴とする請求項5に記載の処理装置。
- 前記対向面の面積は、前記被処理面の面積と比して小さいことを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記離間維持手段は、表面処理治具を被処理体に対して移動させることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか1項に記載の処理装置。
- 前記離間維持手段は、表面処理治具を被処理体の略中心から外縁に向かって移動させることを特徴とする請求項8に記載の処理装置。
- 前記載置台は、載置された被処理体を回転させることを特徴とする請求項1ないし9のいずれか1項に記載の処理装置。
- 被処理体の被処理面を処理液にて処理するのに用いられる表面処理治具であって、
被処理面に対して離間して維持された際に、上記被処理面に対向する対向面を有し、該対向面と前記被処理面との間に供給された処理液を保持して被処理面を処理する処理部を備え、前記処理部は、前記対向面から前記被処理体に向かって突出する突出部を備え、該突出部は、前記処理部と前記被処理面との間における処理液の表面張力を保持するようになっており、前記対向面の周縁に設けられており、
前記処理部には、一つの前記対向面に複数の貫通孔が設けられており、前記複数の貫通孔のうちの一部が前記処理液を供給するための貫通孔であり、前記複数の貫通孔のうちの一部が前記処理液を回収するための貫通孔であり、
前記突出部は前記対向面の周縁のみに設けられていることを特徴とする表面処理治具。
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