JP4288392B2 - エキスパンド方法 - Google Patents
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- 粘着シートに貼着されて該粘着シートを介してリング状のフレームにマウントされ、個々のチップにダイシング加工された板状物に対し、ダイシング加工後に、前記粘着シートをエキスパンドして前記個々のチップの間隔を拡大するエキスパンド方法において、
前記粘着シートに熱収縮性のシートを用い、
前記板状物と前記フレームとの間の前記粘着シートを押圧リングにより下方へ押圧することによって前記粘着シートをエキスパンドし、
エキスパンドされた前記板状物が貼付されている部分の粘着シートのエキスパンド状態を吸着保持又は機械的に保持し、
前記押圧リングを上昇させて前記板状物と前記フレームとの間の前記粘着シートの押圧を解除することによって弛みを形成し、
該弛み部分を加熱して収縮させることによって前記弛みを解消し、前記個々のチップ間隔が拡大されたエキスパンド状態を保持することを特徴とするエキスパンド方法。
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