JP6266429B2 - チップ間隔維持装置及びチップ間隔維持方法 - Google Patents
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Description
11 テーブル
12 フレーム保持手段
21 支持面
23 押圧手段
32 保持面
37 昇降シリンダ(拡張手段)
41 加熱手段
45 熱照射口
52 分割予定ライン
54 改質層(分割起点)
C チップ
F 環状フレーム
R 隆起部
S エキスパンドシート
W 被加工物
Claims (3)
- エキスパンドシートに貼着され環状フレームに装着された被加工物を構成する複数のチップの間隔を拡張した状態に維持するチップ間隔維持装置であって、
被加工物を支持する支持面を有し、エキスパンドシートを介して被加工物を吸引保持可能に支持するテーブルと、
該テーブルの周囲で環状フレームを保持する保持面を有したフレーム保持手段と、
該エキスパンドシートを拡張することで複数の該チップ間に間隔を形成する拡張手段と、
該拡張手段で該エキスパンドシートが拡張されて該チップ間に間隔が形成された複数の該チップを該エキスパンドシートを介して該テーブルで吸引保持するとともに該拡張手段による拡張を解除することで被加工物の外周と該環状フレームの内周との間で該エキスパンドシートの余剰分が隆起した隆起部に、上方側から熱を照射して該隆起部を収縮させる加熱手段と、
該加熱手段の熱照射口に対向した該エキスパンドシートを挟んだ直下に配設され且つ該エキスパンドシートの下方から該加熱手段の該熱照射口の方向に該エキスパンドシートを押圧して該隆起部を該加熱手段の該熱照射口の近傍に移動させる押圧手段と、
を備えることを特徴とするチップ間隔維持装置。 - 請求項1記載のチップ間隔維持装置を使用し、エキスパンドシートに貼着され環状フレームに装着された被加工物を構成する複数のチップの間隔を拡張した状態を維持するチップ間隔維持方法であって、
該テーブル上に該エキスパンドシートを介して被加工物を載置するとともに該環状フレームを該フレーム保持手段で保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、該テーブルと該フレーム保持手段とを鉛直方向に所定距離相対移動させて該フレーム保持手段に対して該テーブルを突き上げ該エキスパンドシートを引き延ばすことで、該複数のチップ間に間隔を形成するチップ間隔拡張ステップと、
該チップ間隔拡張ステップを実施した後、該テーブルで該エキスパンドシートを介して被加工物を吸引保持することで隣接する該チップ間の間隔を維持する吸引保持ステップと、
該吸引保持ステップを開始した後、該テーブルと該フレーム保持手段とを鉛直方向に相対移動させて該フレーム保持手段に対する該テーブルの突き上げを解除して、該エキスパンドシートが拡張されて形成された該エキスパンドシートの余剰部位が被加工物の外周側で該エキスパンドシート表面側に盛り上がった隆起部を形成する隆起部形成ステップと、
該隆起部形成ステップを実施した後に、該押圧手段によりエキスパンドシートを押圧し該隆起部を該加熱手段の該熱照射口の直下に移動させるとともに、該加熱手段により該隆起部を加熱収縮させる加熱収縮ステップと、
から構成されるチップ間隔維持方法。 - 交差する複数の分割予定ラインが設定された被加工物に該分割予定ラインに沿って分割起点が形成されていて、
該チップ間隔拡張ステップにおいて、被加工物が複数のチップに分割されるとともに、チップ間に間隔が形成される、請求項2記載のチップ間隔維持方法。
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