JP7321883B2 - シートの拡張方法 - Google Patents

Description

本発明は、ワークが貼着されたシートを拡張する方法に関する。

従来、レーザビーム照射によりワークに改質層を形成した後、シート拡張装置によりワークが貼着されたシートを拡張（エキスパンド）することでワークを分割する方法が知られている。シート拡張装置の具体的な構成は、例えば特許文献１に開示されるものが知られている。

特許文献１には、ワークが貼着されたシートの四辺をそれぞれ挟持機構で挟持しつつ拡張することで、チップの縦横サイズが異なるワークにおいてもチップ間の間隔が適切な距離となるようにシートを拡張することができる拡張装置が開示されている。

特開２０１４－１４３２９７号公報

ワークが貼着されるシートは、一般に帯状に製造されるものであるが、製造工程においては、その帯状の長手方向となる第二方向においてテンションがかけられているため、収縮しやすいということがある。そして、このテンションが作用するため、シートが第二方向においては伸び難いものとなる。

これに対し、第二方向と直交する第一方向は、上記のテンションが作用しないためシートが比較的伸びやすいということになる。つまり、このように第一方向と第二方向においてシートの伸びやすさが異なる状況が生じるものとなる。

他方、特に、特許文献１に開示されるような複数配列されるローラーにて挟持機構を構成する場合には、各ローラーで挟持されるシートの部分に局所的に大きな引張応力が作用するため、挟持されていない部分に作用する引張応力との差が顕著に大きくなる。そして、引張応力が強く作用する際には、その差も大きくなって、シートが破断する恐れが生じる。特に、シートが伸びやすい第一方向へのシートの拡張については、シートの破断する恐れも大きくなることが懸念される。

本発明は以上の問題に鑑み、シートを挟持して拡張をする構成において、シートが局所的に引き伸ばされて破断することを抑制することを可能とする新規な技術を提案するものである。

本発明の一態様によれば、
ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
矩形の該シート上に該ワークが貼着された状態に形成する準備ステップと、
該シートの少なくとも対向する２辺の外周部を折り曲げて該ワークの外周縁に該シートが２重となる重なり部を形成する折り曲げステップと、
対向する一対の挟持手段でそれぞれ該重なり部を挟持する挟持ステップと、
該挟持ステップを実施した後、一対の該挟持手段を互いに離反する方向に移動させて該シートを拡張する拡張ステップと、を含む、シートの拡張方法とする。

また、本発明の一態様によれば、
該シートは、基材と、該基材上に配設された粘着層と、を有し、
該準備ステップでは、該粘着層上に該シートが貼着され、
該折り曲げステップでは、該粘着層同士が重なるようにして該重なり部が形成され、
該挟持ステップでは、該シートの該基材側を該挟持手段で挟持することとする。

本発明の構成によれば、重なり部において基材が二重の状態で挟持されるため、シートが破断する恐れを防止することができる。

被加工物としてのワークと、ワークが貼着されるシートについて示す図である。 拡張装置の構成例について示す図である。 （Ａ）は折り曲げステップにおいてシートの両端部の折り曲げについて説明する図である。（Ｂ）は折り曲げステップにより形成される重なり部を示す平面図である。（Ｃ）は折り曲げステップにより形成される重なり部を示す側面図である。 折り曲げステップについて説明する図である。 （Ａ）は挟持ステップについて説明する図である。（Ｂ）はシートの第一方向の両端が挟持される様子について説明する図である。（Ｃ）はシートの第二方向の両端が挟持される様子について説明する図である。 （Ａ）は拡張ステップについて説明する図である。（Ｂ）はシートの第一方向の両端が挟持されて拡張される様子について説明する図である。（Ｃ）はシートの第二方向の両端が挟持されて拡張される様子について説明する図である。 拡張によりチップに個片化された様子について説明する図である。 シートの四辺に重なり部を構成する例について説明する図である。 （Ａ）はシートを裏側に追って重なり部を構成する例について説明する図である。（Ｂ）は同じくシートを裏側に追って重なり部を構成する例について説明する図である。（Ｃ）は基材を重ねて構成される重なり部について説明する図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
＜ワーク及びシート＞
図１は、被加工物としてのワーク１０と、ワーク１０が貼着されるシート１について示す図である。
ワーク１０は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。ワーク１０の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン１０１が格子状に設定されるものである。

ワーク１０は、例えばシート１に貼着される前、または後に、分割予定ライン１０１に沿って分割起点が形成される。そして分割起点が形成されたワーク１０をシート１に貼着した状態において、シート１を拡張することで分割起点に沿ってチップに分割する。

分割予定ライン１０１に沿って形成される分割起点は、レーザ光照射でワーク１０内に形成する改質層の他、ワーク１０の表面に分割予定ライン１０１に沿って溝を形成し、この溝を分割起点とすることもできる。溝は、例えばレーザ照射によるアブレーション加工、切削ブレードを切り込ませる切削加工、あるいはけがき等の溝加工を行うことで形成することができる。

シート１は、例えばポリ塩化ビニルやポリオレフィン等の拡張性を有する合成樹脂シート等からなる基材１１の片面にワーク１０が貼着される粘着層１２が形成されたもので、例えば、ワーク１０よりも大きな矩形（四角形）のものが用いられる。

なお、被加工物となるワーク１０は、半導体ウェーハ等のウェーハの他、ＤＢＧ（Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ブレードで分割予定ラインに沿ってワーク表面にハーフカット溝を形成した後裏面研削でワークを分割するプロセス）やＳＤＢＧ（Ｓｔｅａｌｔｈ Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ＳＤ加工（ＳＴＥＡＬＴＨ ＤＩＣＩＮＧ：登録商標）を施した後ワークの裏面を研削して分割するプロセス）によりチップに分割されたウェーハに貼着されたチップ実装用のＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈ Ｆｉｌｍ）等の接着シートや、ガラス、セラミックス、樹脂等の各種板状物が対象となり得る。

＜拡張装置＞
次に、図２に示すように、ワークが貼着されたシートを拡張するための拡張装置の一実施形態について説明する。この拡張装置２は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台２０と、固定基台２０上に配設され、ワークが貼着されたシートが水平に載置される円板状の保持テーブル３と、保持テーブル３に載置される図示せぬシートを挟持する第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂ、第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄと、これら挟持手段４Ａ～４Ｄごとに設けられ、第一および第二挟持手段４Ａ～４Ｂを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段５Ａ、第二移動手段５Ｂ、および第三および第四挟持手段４Ｃ～４Ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段５Ｃ、第四移動手段５Ｄと、を具備している。

保持テーブル３は、固定基台２０の中央部上面に円筒台３０を介して支持されている。保持テーブル３は図示されない回転機構によって円筒台３０上に回転可能に、かつ、図示されない上下動機構によって円筒台３０上に上下動可能に支持されている。保持テーブル３の上面はワークが載置可能な直径を有しており、ワークが貼着されたシートは、ワークを上側に配し、かつ、同心状に配した状態で保持テーブル３の上面に載置される。

固定基台２０の四辺の各端縁２００ａ，２００ｂ，２００ｃ，２００ｄの中央部には、外側に突出する矩形状の凸部２０１がそれぞれ形成されている。固定基台２０の、各凸部２０１から凸部２０１の内側（保持テーブル３側）にわたる部分には、対応する凸部２０１の延びる方向に沿って延びる矩形状の第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂ、第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄがそれぞれ形成されている。

図２に示すように、この場合、固定基台２０の互いに平行な一対の端縁２００ｃ・２００ｄの延びる方向を第一方向、該第一方向に直交し、端縁２００ａ・２００ｂの延びる方向を第二方向としており、固定基台２０の、第一方向の両端に第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂがそれぞれ配設され、第二方向側の両端に第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄがそれぞれ配設されている。

第一移動手段５Ａおよび第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａおよび第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向に沿って往復移動させ、第三移動手段５Ｃおよび第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃおよび第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向に沿って往復移動させるものである。

第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂは、第一方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂに対し第一方向に移動可能に配設されている。また、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄは、第二方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄに対し第二方向に移動可能に配設されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄは同一構成であり、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ移動可能に組み込まれたＬ字状の可動基台４１と、可動基台４１の内側に上下動可能に取り付けられた下側挟持機構４２および上側挟持機構４３と、これら挟持機構４２，４３をそれぞれ上下方向に移動させる下側移動機構４４および上側移動機構４５を具備している。

可動基台４１は、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄにそれぞれ摺動自在に嵌合するスライド部４１１と、スライド部４１１の外側の端部に立設された支持部４１２とからなっている。

支持部４１２の内側の面には上下方向に延びるガイドレール４１２ａが形成されている。また、支持部４１２の外側の面には上下方向に延びるガイド溝４１２ｂが形成されている。さらに支持部４１２には、ガイドレール４１２ａの内側の面からガイド溝４１２ｂに貫通する上下方向に延びるガイド孔４１２ｃが形成されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄをそれぞれガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って移動させる第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄは同一構成であり、スライド部４１１に螺合し、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ延びるねじロッド５１と、凸部２０１に配設され、ねじロッド５１を正逆回転駆動するパルスモータ５２とを有している。ねじロッド５１の先端は、固定基台２０上のガイド溝２０１ａ～２０１ｄの内側にそれぞれ固定された軸受５３に回転可能に支持されている。

ねじロッド５１が螺合する可動基台４１のスライド部４１１が、パルスモータ５２で回転駆動されるねじロッド５１の回転方向に応じてガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って外側から内側、または内側から外側に送られ、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂは第一方向に往復移動させられ、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄは第二方向に往復移動させられる。したがって第一移動手段５Ａと第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向において互いに離反する向きに移動可能としており、また、第三移動手段５Ｃと第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向において互いに離反する向きに移動可能としている。

下側挟持機構４２は、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４２１と、アーム部４２１の先端にアーム部４２１に直交して固定された下側挟持部４２２とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４２１の基端部４２１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの下側挟持部４２２は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの下側挟持部４２２は第一方向と平行に延びている。下側挟持部４２２は直方体状に形成されており、その上面には、複数の下側ローラー４２３が互いに近接して配列されている。第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの下側ローラー４２３は第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２２に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの下側ローラー４２３は第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２２に支持されている。下側ローラー４２３は下側挟持部４２２の上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

下側挟持機構４２の上方に配設された上側挟持機構４３は、下側挟持機構４２と概ね上下対称の構成であり、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４３１と、アーム部４３１の先端にアーム部４３１に直交して固定され、下側挟持部４２２に対向して配設された上側挟持部４３２とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４３１の基端部４３１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側挟持部４３２は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側挟持部４３２は第一方向と平行に延びている。上側挟持部４３２は直方体状に形成されており、その下面には、後述する複数の上側ローラー（不図示）が互いに近接して配列されている。これら上側ローラーは、下側挟持部４２２の各下側ローラー４２３と対になるように対向配置され、第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側ローラーは第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３２に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側ローラーは第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３２に支持されている。上側ローラーは上側挟持部４３２の下面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

上記下側挟持機構４２および上側挟持機構４３は、それぞれ下側移動機構４４および上側移動機構４５によりガイドレール４１２ａに沿って支持部４１２に対し上下方向に往復移動させられる。

下側移動機構４４は、アーム部４２１の基端部４２１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４４１と、ガイド溝４１２ｂの下端部に配設され、ねじロッド４４１を正逆回転駆動するパルスモータ４４２とを有している。ねじロッド４４１の上端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４４３に回転可能に支持されている。ねじロッド４４１が螺合する基端部４２１ｃが、パルスモータ４４２で回転駆動されるねじロッド４４１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより下側挟持機構４２は上下動させられる。

下側移動機構４４の上方に配設された上側移動機構４５は下側移動機構４４と概ね上下対称の構成を有しており、アーム部４３１の基端部４３１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４５１と、支持部４１２の上端部に配設され、ねじロッド４５１を正逆回転駆動するパルスモータ４５２とを有している。ねじロッド４５１の下端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４５３に回転可能に支持されている。ねじロッド４５１が螺合する基端部４３１ｃが、パルスモータ４５２で回転駆動されるねじロッド４５１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより上側挟持機構４３は上下動させられる。

制御手段７は、第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄの各パルスモータ５２に動作制御信号を送る。制御手段７は、規定のプログラムにより各パルスモータ５２の動作を制御し、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの第一方向への移動、ならびに第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの第二方向への移動を制御する。

次に、本発明において特徴的な拡張（エキスパンド）の方法について説明する。
＜準備ステップ＞
図１に示すように、ワーク１０をシート１に貼着させた状態とする。上述したように、ワーク１０には分割予定ライン１０１に沿って分割起点が形成されるものである。シート１は矩形（四角形）に構成されるものである。

＜折り曲げステップ＞
図３（Ａ）に示すように、矩形のシート１は、もともと帯状に製造され、ロール巻きにて提供されたものを所定の長さ巻出してカットされたものであり、帯状の長手方向（巻き出し方向）が第二方向とされ、第二方向と直交する方向が第一方向として定義される。シート１は、第二方向において伸び難く、第一方向において伸びやすいものとなっている。

そして、図３（Ａ）～（Ｃ）、及び、図４に示すように、シート１が伸びやすい第一方向の両端部の外周縁において、所定幅Ｗの外周部１Ｆ，１Ｆが規定され、外周部１Ｆ，１Ｆを折り曲げて重ねることにより、第一方向の両端部にシート１が二重となった重なり部Ｋ１，Ｋ１が形成される。この折り曲げは、装置によって自動で行われるもののほか、オペレータにより手動で行われることとしてもよい。

図３（Ａ）～（Ｃ）、及び、図４に示す例は、ワーク１０が貼着されるシート１の表面１ａ（図４）側を互いに折り重ねるようにする例であり（谷折り）、粘着層１２同士が重ね合わせられるとともに、シート１の裏面１ｂ（図４）側の基材１１がシート１の表面側に現れる状態となる（図３（Ｂ））。

＜挟持ステップ＞
図５（Ａ）に示すように、重なり部Ｋ１の部位が、上側挟持部の上側ローラー４３３と、下側挟持部の下側ローラー４２３にて挟持され、図５（Ｂ）に示すように、シート１の第一方向の両端が第一挟持手段４Ａおよび第二挟持手段４Ｂにより挟持された状態となる。

同様に、図５（Ｃ）に示すように、シート１の第二方向の両端が、第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄにより挟持された状態となる。なお、図５（Ｃ）、図６（Ａ）に示すように、第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄの上側ローラー４３３と、下側ローラー４２３にて挟持されるシート１の部位は、重なり部が存在せず、一重のシート１が挟持された状態となる。

＜拡張ステップ＞
次いで、図６（Ａ）～（Ｃ）に示すように、第一方向において第一挟持手段４Ａおよび第二挟持手段４Ｂを離反させるとともに、第二方向において第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄを離反させることで、シート１を拡張（エキスパンド）する。この拡張により、図７に示すように、ワーク１０が分割起点において破断し、チップ１０ａに個片化される。

シート１が拡張される過程では、拡張に追従して各ローラー４２３，４３３（図５（Ａ））が転動することで、各ローラー４２３，４３３の回転軸と直交する方向におけるシート１の拡張（エキスパンド）は円滑に行われる。

＜フレーム貼着ステップ＞
次いで、図７に示すように、金属製のフレームＦをシート１に貼着するとともに、図示せぬシートカッターによりフレームＦの外周に沿ってシートをカットすることで、ワーク１０とフレームＦが一体となったワークユニットが構成される。

以上の実施例における折り曲げステップでは、シート１が伸びやすい第一方向の両側のみを折り曲げて二重にして重なり部Ｋ１，Ｋ１（図３（Ｂ））を形成させることとしたが、図８に示すように、シート１が第一方向と比較して伸びにくい第二方向の両端部の外周縁も折り曲げて、重なり部Ｋ２，Ｋ２を形成することとしてもよい。これによれば、第二方向での拡張においてシート１の破断の発生も効果的に抑制できる。

また、以上の実施例における拡張ステップでは、第一方向と第二方向の拡張は、同時に行われることとする他、個別に順番に実施することとしてもよい。

また、以上に説明した実施例では、第一方向において一対の第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂを備え、第二方向において一対の第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄを備える装置構成においてシート１の拡張を行うものであり、このように直交する方向で合計二対の挟持手段を設ける場合においては、上記のようにして第一方向と第二方向におけるシート１の拡張を同時に実施できる。

他方、本実施例の装置構成とは異なり、一対の挟持手段のみを設ける装置構成においても、まず、シート１の第一方向において拡張を行った後にシート１を回転させ、シート１の第二方向についての拡張を行うこととすることで、上記の実施形態と同様に、シート１の第一方向の破断を抑えた拡張（エキスパンド）が実施可能となる。

また、以上に説明した実施例では、図４に示すように、ワーク１０が貼着されるシート１の表面１ａ側を互いに折り重ねることとしたが（谷折り）、図９（Ａ）～（Ｃ）に示すように、シート１の裏面１ｂ側を互いに重ねるようにすることで（山折り）、基材１１同士を重ね合わせるとともに、粘着層１２が露出する重なり部Ｋ３が形成されるようにしてもよい。

この形態では、粘着層１２がローラーに接触することになるため、粘着層１２による粘着性をローラーとの滑り防止に活用することも可能である。なお、粘着層１２がローラーに付着することにより不具合が生じる場合には、この図９（Ａ）～（Ｃ）の形態は粘着層１２の粘着性が弱いシートにおいて好適な実施形態となる。

また、本発明を実施するために使用する拡張装置の具体的な構成は、図２に示す拡張装置２の構成に限定されるものではなく、本発明のシートの拡張方法は、様々な拡張装置の形態において適用することができる。

以上のようにして本発明を実現することができる。
即ち、図１乃至図６に示すように、
ワーク１０が貼着されたシート１の拡張方法であって、
矩形のシート１上にワーク１０が貼着された状態に形成する準備ステップと、
シート１の少なくとも対向する２辺の外周部を折り曲げてワーク１０の外周縁にシート１が２重となる重なり部Ｋ１を形成する折り曲げステップと、
対向する一対の挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）でそれぞれ重なり部Ｋ１を挟持する挟持ステップと、
挟持ステップを実施した後、一対の挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）を互いに離反する方向に移動させてシート１を拡張する拡張ステップと、を含む、シート１の拡張方法とするものである。

これにより、重なり部Ｋ１において基材１１が二重の状態で挟持されるため、シート１が破断する恐れを防止することができる。

また、図４に示すように、
シート１は、基材１１と、基材１１上に配設された粘着層１２と、を有し、
準備ステップでは、粘着層１２上にシート１が貼着され、
折り曲げステップでは、粘着層１２同士が重なるようにして重なり部Ｋ１が形成され、
挟持ステップでは、シート１の基材１１側を挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）で挟持する、こととするものである。

この場合には、挟持手段（第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂ）に粘着層１２を付着させずにシートを挟持することができる。

１ シート
１ａ 表面
１ｂ 裏面
１Ｆ 外周部
２ 拡張装置
３ 保持テーブル
４Ａ 第一挟持手段
４Ｂ 第二挟持手段
４Ｃ 第三挟持手段
４Ｄ 第四挟持手段
１０ ワーク
１０ａ チップ
１１ 基材
１２ 粘着層
４２ 下側挟持機構
４３ 上側挟持機構
１０１ 分割予定ライン
４２２ 下側挟持部
４２３ 下側ローラー
４３２ 上側挟持部
４３３ 上側ローラー
Ｆ フレーム
Ｋ１ 重なり部

Claims (2)

1. ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
   矩形の該シート上に該ワークが貼着された状態に形成する準備ステップと、
   該シートの少なくとも対向する２辺の外周部を折り曲げて該ワークの外周縁に該シートが２重となる重なり部を形成する折り曲げステップと、
   対向する一対の挟持手段でそれぞれ該重なり部を挟持する挟持ステップと、
   該挟持ステップを実施した後、一対の該挟持手段を互いに離反する方向に移動させて該シートを拡張する拡張ステップと、を含む、シートの拡張方法。
2. 該シートは、基材と、該基材上に配設された粘着層と、を有し、
   該準備ステップでは、該粘着層上に該シートが貼着され、
   該折り曲げステップでは、該粘着層同士が重なるようにして該重なり部が形成され、
   該挟持ステップでは、該シートの該基材側を該挟持手段で挟持する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のシートの拡張方法。