JP2019197805A - Ｄａｆの破断起点形成装置及びｄａｆ貼着装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被加工物の加工方法の所要時間を抑制しながらもデバイスチップ毎に分割することができるＤＡＦの破断起点形成装置及びＤＡＦ貼着装置を提供すること。【解決手段】実施形態に係るテープ貼着装置２は、ＤＡＦ１１５を含む粘着シート１１１がロール状に巻かれた状態でセットされ、該粘着シート１１１を送り出す送り出しローラー１０６と、この送り出しローラー１０６から送り出された粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に第１の方向１０と平行に破断起点を形成する一対の第１挟持ローラー４１、４２と、送り出された粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に第１の方向１０と直交する第２の方向１１と平行に破断起点を形成する一対の第２挟持ローラー４３、４４とを備える。【選択図】図５

Description

本発明は、ＤＡＦの破断起点形成装置及びＤＡＦ貼着装置に関する。

半導体ウエーハや光デバイスウエーハなどの被加工物を個々のデバイスチップに分割した後、デバイスチップを基板などに固定するためのＤＡＦ（Die Attached Film）が用いられている（例えば、特許文献１参照）。被加工物の加工方法の１つとして知られるＳＤＢＧ（Stealth Dicing Before Grinding）工程は、分割予定ラインに沿って内部に改質層が形成された被加工物の裏面にＤＡＦ及びエキスパンドテープを貼着した後に、エキスパンドテープを拡張して、被加工物を個々のデバイスチップに分割するとともに、ＤＡＦをデバイスチップ毎に分割する。

また、特許文献１などに記載された被加工物の加工方法であるＤＢＧ（Dicing Before Grinding）と、ＤＡＦをレーザー光線などにより切断する工程とを組み合わせた工程は、個々のデバイスチップに分割された被加工物の裏面にＤＡＦを貼着した後に、分割溝から露出するＤＡＦをアブレーション加工などでデバイスチップ毎に分割する。

特開２０１５−２０７７２４号公報

ＳＤＢＧ工程では、加工条件によっては、ＤＡＦをデバイスチップ毎に完全に分割できないおそれがある。また、ＤＢＧとＤＡＦの切断とを組み合わせた工程では、被加工物の裏面を研削する際にデバイスチップが僅かに動いて、該デバイスチップの並びにずれが生じる。このため、デバイスチップのずれに応じたアライメント及びＤＡＦを分割するためのアブレーション加工などにより、被加工物を加工する際の所要時間が長時間化する。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、被加工物の加工方法の所要時間を抑制しながらもデバイスチップ毎に分割することができるＤＡＦの破断起点形成装置及びＤＡＦ貼着装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係るＤＡＦの破断起点形成装置は、ＤＡＦがロール状に巻かれた状態でセットされ、該ＤＡＦを送り出すロール送り出し部と、該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦの表面に破断起点を形成する破断起点形成部と、を備えることを特徴とする。

この構成によれば、被加工物に貼着される前に、破断起点形成部がＤＡＦの表面に破断起点を形成するため、被加工物を加工する際の所要時間が長時間化することを抑制できるとともに、ＤＡＦをチップ毎に容易に分割することができる。

また、本発明に係るＤＡＦの破断起点形成装置は、ＤＡＦがロール状に巻かれた状態でセットされ、該ＤＡＦを送り出すロール送り出し部と、該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦに第１の方向と平行に破断起点を形成する第１の破断起点形成部と、該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦに該第１の方向と交差する第２の方向と平行に破断起点を形成する第２の破断起点形成部とを備えることを特徴とする。

この構成によれば、被加工物に貼着される前に、第１の破断起点形成部及び第２の破断起点形成部がそれぞれＤＡＦに対して、第１の方向及び該第１の方向と交差する第２の方向に破断起点を形成するため、被加工物を加工する際の所要時間が長時間化することを抑制できるとともに、ＤＡＦをチップ毎に容易に分割することができる。

この構成において、該第１の破断起点形成部は、互いの間に該ＤＡＦを挟持する一対の第１挟持ローラーを備え、一対の第１挟持ローラーのうち一方が該第１の方向と平行でＤＡＦに切り込む第１切り刃を備えてもよい。

また、該第２の破断起点形成部は、互いの間に該ＤＡＦを挟持する一対の第２挟持ローラーを備え、一対の第２挟持ローラーのうち一方が該第２の方向と平行でＤＡＦに切り込む第２切り刃を備えてもよい。

また、該破断起点形成部は、該ＤＡＦに対向して配置されて該ＤＡＦに挿し込む多数の針状突起を備えてもよい。

また、ＤＡＦを該被加工物に貼着するＤＡＦ貼着装置であって、上記したＤＡＦの破断起点形成装置を備えた構成としてもよい。

本発明によれば、被加工物に貼着される前に、破断起点形成部がＤＡＦの表面に破断起点を形成するため、被加工物を加工する際の所要時間が長時間化することを抑制できるとともに、ＤＡＦをチップ毎に容易に分割することができる。

図１は、本実施形態に係るＤＡＦ貼着装置で用いられるＤＡＦを有する粘着シートの一例を示す斜視図である。 図２は、図１のＩ−Ｉ断面図である。 図３は、ＤＡＦが貼着される被加工物の一例を示す斜視図である。 図４は、ＤＡＦ及びエキスパンドテープが貼着された被加工物の一例を示す斜視図である。 図５は、本実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成を示す斜視図である。 図６は、テープ貼着装置の概略構成を示す側面図である。 図７は、第１挟持ローラーの概略構成を示す平面図である。 図８は、第１挟持ローラーの側断面図である。 図９は、第２挟持ローラーの概略構成を示す平面図である。 図１０は、第２挟持ローラーの側断面図である。 図１１は、別の実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成を示す斜視図である。 図１２は、テープ貼着装置の概略構成を示す側面図である。

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。

本実施形態に係るＤＡＦ（Die Attached Film；ダイアタッチフィルム）について説明する。図１は、本実施形態に係るＤＡＦ貼着装置で用いられるＤＡＦを有する粘着シートの一例を示す斜視図である。図２は、図１のＩ−Ｉ断面図である。図３は、ＤＡＦが貼着される被加工物の一例を示す斜視図である。図４は、ＤＡＦ及びエキスパンドテープが貼着された被加工物の一例を示す斜視図である。

本実施形態において、ＤＡＦが貼着される被加工物としてのウエーハ１２１は、シリコンを母材とする円板状の半導体ウエーハやサファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハである。ウエーハ１２１は、図３に示すように、表面１２１Ａと裏面１２１Ｂとを有し、表面１２１Ａに形成された複数の分割予定ライン１０２によって区画された複数の領域にそれぞれデバイス１０３が形成されている。これらの分割予定ライン１０２は、互いに直交して格子状に配置されており、ウエーハ１２１は、既存の加工方法（例えば、ＳＤＢＧ工法もしくはＤＢＧ工法）によって、分割予定ライン１０２に沿って各デバイスチップに分割される。

粘着シート１１１は、図１に示すように、剥離シート１１３と、ＤＡＦ１１５と、エキスパンドテープ１１７とを備える。粘着シート１１１は、ＤＡＦ１１５とエキスパンドテープ１１７とが一体に成形された複合タイプのシートである。粘着シート１１１（エキスパンドテープ１１７）は、長尺に形成されてロール状に巻き付けられている。粘着シート１１１は、例えば、加熱された樹脂が第１の方向１０に沿って移動されながら第１の方向１０と該第１の方向１０に対して直交する第２の方向１１とに延伸されて、後述する送り出しローラー１０６に巻き付けられる。本実施形態では、第１の方向１０は、所謂流れ方向（ＭＤ：Machine Direction方向）であり、第２の方向１１は、所謂垂直方向（ＴＤ：Transverse Direction方向）である。

エキスパンドテープ１１７は、図２に示すように、合成樹脂で構成された樹脂層１１７ａ及び粘着層１１７ｂを有する。粘着層１１７ｂは、樹脂層１１７ａに積層される。樹脂層１１７ａには厚さ１００μｍ程度のポリオレフィンなどを用いることができ、粘着層１１７ｂには厚さ１０μｍ程度のアクリル樹脂系の糊などを用いることができる。本実施形態では、粘着層１１７ｂは、例えば、所定波長（３００〜４００ｎｍ）の紫外線を照射することによって粘着力が低下する粘着材料が用いられている。

ＤＡＦ１１５は、ダイボンティング用のフィルム状の粘着性部材であり、エキスパンドテープ１１７の粘着層１１７ｂに予め積層される。ＤＡＦ１１５は、図１に示すように、上記した第１の方向１０に所定の間隔を空けてエキスパンドテープ１１７の上に複数設けられる。ＤＡＦ１１５は、例えばアクリル系接着剤や、ポリイミド系接着剤などを用いることができ、エキスパンドテープ１１７の粘着層１１７ｂの上に配置される。本実施形態では、ＤＡＦ１１５は、貼着されるウエーハ１２１と同形である円盤状の外形を有し、図４に示すウエーハ１２１の裏面１２１Ｂに貼着される。ＤＡＦ１１５は、ウエーハ１２１の裏面全体を覆った状態でウエーハ１２１に貼着できるように、ウエーハ１２１が有する直径よりも長い直径を有する。また、ＤＡＦ１１５が積層されたエキスパンドテープ１１７は、所定長さ及び所定形状（円盤状）に切断されて、エキスパンドテープ１１７の外周部がウエーハ１２１の周囲に載置される環状のフレーム１３３に貼着される。

ウエーハ１２１及びフレーム１３３に、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を貼着することにより、図４に示す板状物（フレームユニット）２００が生成される。エキスパンドテープ１１７は、ＤＡＦ１１５を介してウエーハ１２１に間接的に貼着し、また、フレーム１３３に直接貼着される。ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を貼着することにより、ウエーハ１２１はフレーム１３３に内側に支持された状態となる。すなわち、ウエーハ１２１及びフレーム１３３は、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７（粘着シート１１１）を介して一体化された部材となる。

ウエーハ１２１の表面１２１Ａに、分割予定ライン１０２に沿って切削された溝（図示せず）が形成されるＤＧＢ加工が実施される場合、複数のデバイスチップに分割された状態のウエーハ１２１の裏面１２１Ｂに粘着シート１１１が貼着された板状物２００が生成される。また、ウエーハ１２１の内部に、分割予定ライン１０２に沿った改質層が形成されるＳＤＢＧ加工が実施される場合、複数のデバイスチップに分割される前の状態のウエーハ１２１の裏面１２１Ｂに粘着シート１１１が貼着された板状物２００が生成される。板状物２００において、ＤＡＦ１１５はウエーハ１２１の裏面１２１Ｂの全体を覆うように貼着される。なお、ウエーハ１２１の表面１２１Ａには、粘着シート１１１を貼着する前に表面保護部材（図示せず）が貼着される。

剥離シート１１３は、図１及び図２に示すように、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を覆うように、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７に重畳される。剥離シート１１３は、貼着前のＤＡＦ１１５及び粘着層１１７ｂの表面を保護し、ウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着する際に剥離されて、ＤＡＦ１１５及び粘着層１１７ｂの表面を露出する。

次に、ウエーハ１２１とフレーム１３３とにＤＡＦ１１５が積層されたエキスパンドテープを貼着するテープ貼着装置（ＤＡＦ貼着装置）について説明する。図５は、本実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成を示す斜視図である。図６は、テープ貼着装置の概略構成を示す側面図である。図７は、第１挟持ローラーの概略構成を示す平面図である図８は、第１挟持ローラーの側断面図である。図９は、第２挟持ローラーの概略構成を示す平面図である。図１０は、第２挟持ローラーの側断面図である。図５及び図６においては、テープ貼着装置の構成の一部が省略されている。

テープ貼着装置２は、各構成を支持する基台４を備えている。基台４の上方には、ロール状に巻回された粘着シート１１１がセットされて送り出される送り出しローラー（テープ送り出し部）１０６が配置されている。送り出しローラー１０６の下方には、剥離シート１１３を粘着シート１１１のＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７から剥離する剥離ローラー（シート剥離部）１０８と、剥離された剥離シート１１３を巻き取る剥離シート巻き取りローラー（剥離シート巻き取り部）１１０とが配置されている。

剥離ローラー１０８は、鉛直方向において互いに接するように配置された２個のローラー１０８ａ，１０８ｂを備える。この２個のローラー１０８ａ，１０８ｂの間には、送り出しローラー１０６から送り出された粘着シート１１１（剥離シート１１３、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７）が挟持されている。

すなわち、２個のローラー１０８ａ，１０８ｂは、粘着シート１１１を介して接している。なお、粘着シート１１１は、粘着面側（剥離シート１１３側）を下側に位置づけるように送り出しローラー１０６から送り出される。

剥離ローラー１０８において、剥離シート１１３を剥離されたＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７は、剥離ローラー１０８の下方に送られる。一方、剥離された剥離シート１１３は、水平方向に送られ、剥離ローラー１０８と同等の高さに位置づけられた剥離シート巻き取りローラー１１０によって巻き取られる。

また、剥離ローラー１０８の下方には、第１駆動ローラー１１２が配置されている。第１駆動ローラー１１２は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、粘着シート１１１の送り方向Ｄ１（図２）と垂直な回転軸の周りに回転する。

第１駆動ローラー１１２と近接する水平位置には、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を介して第１駆動ローラー１１２と接する第１従動ローラー１１４が配置されている。すなわち、剥離ローラー１０８から送られたＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７は、第１駆動ローラー１１２と第１従動ローラー１１４との間に挿通される。第１駆動ローラー１１２と第１従動ローラー１１４とは、円筒状の外周面において間接的に接しており、第１従動ローラー１１４は、第１駆動ローラー１１２の回転に従い回転する。

第１駆動ローラー１１２及び第１従動ローラー１１４から、水平方向において上記したフレーム１３３の直径以上離れた位置には、第２駆動ローラー１１６が配置されている。第２駆動ローラー１１６は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送り方向Ｄ１と垂直な回転軸の周りに回転する。第２駆動ローラー１１６と近接する水平位置には、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を介して第２駆動ローラー１１６と接する第２従動ローラー１１８が配置されている。すなわち、第１駆動ローラー１１２から送られたＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７は、第２駆動ローラー１１６と第２従動ローラー１１８との間に挿通される。第２駆動ローラー１１６と第２従動ローラー１１８とは、円筒状の外周面において間接的に接しており、第２従動ローラー１１８は、第２駆動ローラー１１６の回転に従い回転する。

上記した第１駆動ローラー１１２をＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送り方向Ｄ１に対応する順方向Ｒ１（図２）に回転させるとともに、第２駆動ローラー１１６をＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送り方向Ｄ１に対応する順方向Ｒ１（図２）に回転させることで、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７は送り方向Ｄ１に送られる。

第１駆動ローラー１１２と第２駆動ローラー１１６との回転を停止させることで、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送り方向Ｄ１への送り出しは停止する。また、第１駆動ローラー１１２は、回転方向を切り替えることができるように構成されている。また、第１駆動ローラー１１２と第２駆動ローラー１１６とによって、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の粘着面を、ウエーハ１２１及びフレーム１３３と平行に位置づけることができる。

第１駆動ローラー１１２と第２駆動ローラー１１６との間には、基台４の上面に、案内機構Ｇ１及び案内機構Ｇ２が配置される。案内機構Ｇ１及び案内機構Ｇ２は、エキスパンドテープ１１７の幅方向両側から該エキスパンドテープ１１７を挟み込むように配置され、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送りを案内する。

また、第２駆動ローラー１１６及び第２従動ローラー１１８の上方には、第２駆動ローラー１１６から送られたＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を巻き取るテープ巻き取りローラー（テープ巻き取り部）１２０が配置されている。ウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着されて円形に切り出された残りのエキスパンドテープ１１７は、テープ巻き取りローラー１２０で巻き取られる。

第１駆動ローラー１１２及び第２駆動ローラー１１６の下方に位置する基台４には、ウエーハ１２１及びウエーハ１２１を囲繞するフレーム１３３を吸引保持するチャックテーブル２２が配置されている。このチャックテーブル２２は、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の送り方向Ｄ１（第１の方向１０）における第１駆動ローラー１１２と第２駆動ローラー１１６との間に位置づけられている。第１駆動ローラー１１２は、チャックテーブル２２と剥離ローラー１０８との間に配設されており、第２駆動ローラー１１６は、チャックテーブル２２とテープ巻き取りローラー１２０との間に配設されている。また、チャックテーブル２２は、エキスパンドテープ１１７の幅方向（第２の方向１１）における案内機構Ｇ１と案内機構Ｇ２との間に位置づけられている。

チャックテーブル２２の上面は、ウエーハ１２１及びフレーム１３３を吸引保持する保持面となっている。この保持面は、チャックテーブル２２の内部に形成された流路（不図示）を通じて吸引源（不図示）と接続されている。ウエーハ１２１及びフレーム１３３は、保持面に作用する吸引源の負圧でチャックテーブル２２に吸引保持される。

案内機構Ｇ１及び案内機構Ｇ２は、チャックテーブル２２の保持面に対して粘着面を対向させるようにＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を平行に位置づける。これにより、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を、チャックテーブル２２に吸引保持されたウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着できるようになる。図２に示すように、チャックテーブル２２の下方には、保持面と垂直な方向にチャックテーブル２２を移動させるチャックテーブル移動機構２４が設けられている。チャックテーブル移動機構２４は、例えば、圧縮空気によって動作するエアシリンダであり、基台４に固定されたシリンダケース２６と、シリンダケース２６に挿通されたピストンロッド２８とを備えている。チャックテーブル２２は、このチャックテーブル移動機構２４によって、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７に近いテープ貼着位置、及びテープ貼着位置から下方に離れた待機位置に位置づけられる。

チャックテーブル２２は、ウエーハ１２１及びフレーム１３３にＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を貼着する際に、待機位置からテープ貼着位置へと移動される。また、チャックテーブル２２は、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を貼着して円形にカットした後に、テープ貼着位置から待機位置へと移動される。

また、図１及び図２に示すように、第１駆動ローラー１１２及び第２駆動ローラー１１６の上方の位置には、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７を上方から押圧してウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着する押圧ローラー３０が配置されている。

この押圧ローラー３０は、移動機構（不図示）を備えており、上下方向及び水平方向に移動できる。押圧ローラー３０でＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７の上面（樹脂層１１７ａ側の面）を押圧しながら、押圧ローラー３０を水平方向に移動させることで、ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７は、ウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着される。

また、第１駆動ローラー１１２及び第２駆動ローラー１１６の上方において、押圧ローラー３０と干渉しない位置には、ＤＡＦ１１５の周囲でエキスパンドテープ１１７を円形に切断するカッター機構（不図示）が設けられている。このカッター機構は、例えば、鉛直方向に延びる回転軸と、この回転軸から径方向に延びるアームと、このアームの先端下部に設けられるカッター刃とを備える。ＤＡＦ１１５及びエキスパンドテープ１１７が、ウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着された状態で、カッター刃をＤＡＦ１１５の周囲でエキスパンドテープ１１７に接触させつつ、回転軸を中心としてアームを旋回させることによって、ウエーハ１２１及びフレーム１３３に貼着されたエキスパンドテープ１１７をフレーム１３３に沿って切断できる。なお、カッター刃の取り付け位置は、フレーム１３３の径に応じて調整される。

ところで、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、上記した構成に加え、送り出しローラー１０６から送り出された粘着シート１１１のＤＡＦ１１５の表面に、該ＤＡＦ１１５の破断起点を形成する破断起点形成ユニット（破断起点形成部）４０を備える。破断起点形成ユニット４０は、図５及び図６に示すように、一対の第１挟持ローラー（第１の破断起点形成部）４１，４２と、一対の第２挟持ローラー（第２の破断起点形成部）４３，４４とを備える。これらの一対の第１挟持ローラー４１，４２及び一対の第２挟持ローラー４３，４４は、送り出しローラー１０６と剥離ローラー１０８との間に配置されている。また、本実施形態では、上記した送り出しローラー１０６と破断起点形成ユニット４０と、破断起点が形成された粘着シート１１１を巻き取る巻取りローラー（不図示）とがＤＡＦ１１５の破断起点形成装置１００として機能する。

図６に示すように、一方の第１挟持ローラー４１は、粘着シート１１１の剥離シート１１３側に配置され、他方の第１挟持ローラー４２は、粘着シート１１１のエキスパンドテープ１１７に配置されている。これにより、一対の第１挟持ローラー４１，４２の間には、送り出しローラー１０６から送り出された粘着シート１１１が挟持されている。一方の第１挟持ローラー４１は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、粘着シート１１１の送り方向である第１の方向１０と垂直な回転軸の周りに回転する。また、一方の第１挟持ローラー４１は、図７に示すように、ローラー本体１４１と、このローラー本体１４１の外周面から突出する複数の第１切り刃１４２とを備える。この第１切り刃１４２は、上記した第１の方向１０と平行に延びており、粘着シート１１１が一対の第１挟持ローラー４１，４２の間を通過する際に、剥離シート１１３を介して、粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に切り込んで、ＤＡＦ１１５に第１の方向１０と平行な破断起点を形成する。第１切り刃１４２は、例えば、ステンレススチールなどの金属によって形成されている。

一方の第１挟持ローラー４１の幅方向、すなわち粘着シート１１１の第２の方向１１と平行な方向に隣接する第１切り刃１４２，１４２の間隔Ｌａは、例えば、ＤＡＦ１１５に貼着されるウエーハ１２１に形成された隣接する分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１（図４）が予め判明している場合には、この分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１と同等とすることが好ましい。この構成によれば、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５に形成される破断起点（不図示）は、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２に相当する位置に形成されるため、より効率良く、ＤＡＦ１１５が貼着されたウエーハ１２１を分割することができる。

また、上記した第１切り刃１４２，１４２の間隔Ｌａは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２（図４）に対して、
１／２Ｌ２≦Ｌａ＜Ｌ２ （１）
を満たすように形成してもよい。この構成によれば、第１切り刃１４２，１４２の間隔Ｌａは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２よりも小さいため、ＤＡＦ１１５に形成された破断起点は、分割予定ライン１０２に対応する位置に形成されることにより、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５をデバイスチップごとに容易に分割することができる。また、第１切り刃１４２，１４２の間隔Ｌａを、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２の１／２以上とすることにより、第１挟持ローラー４１に設けられる第１切り刃１４２の数を抑制することができる。

また、第１切り刃１４２の高さＨａは、粘着シート１１１の剥離シート１１３の表面から剥離シート１１３の厚みより高く、かつ、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａに達しない高さに形成されている。これによれば、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａを傷つけることなく、ＤＡＦ１１５に破断起点を形成することができるため、エキスパンドテープ１１７を拡張した際のエキスパンドテープ１１７の破断を防止し、ＤＡＦ１１５を確実に破断させることができる。

他方の第１挟持ローラー４２は、第１切り刃１４２に対する粘着シート１１１の位置を規制し、第１切り刃１４２がＤＡＦ１１５に切り込む際の受け部として機能する。他方の第１挟持ローラー４２は、粘着シート１１１の送りに従って回転する。

また、図８に示すように、一方の第２挟持ローラー４３は、粘着シート１１１の剥離シート１１３側に配置され、他方の第２挟持ローラー４４は、粘着シート１１１のエキスパンドテープ１１７に配置されている。これにより、一対の第２挟持ローラー４３，４４の間には、送り出しローラー１０６から送り出され、一対の第１挟持ローラー４１，４２を通過した粘着シート１１１が挟持される。一方の第２挟持ローラー４３は、モータ等の駆動機構（不図示）と連結されており、粘着シート１１１の送り方向である第１の方向１０と垂直な回転軸の周りに回転する。また、一方の第２挟持ローラー４３は、図９に示すように、ローラー本体１４３と、このローラー本体１４３の外周面から突出する複数の第２切り刃１４４とを備える。この第２切り刃１４４は、上記した第１の方向１０と直交（交差）する第２の方向１１と平行に延びており、粘着シート１１１が一対の第２挟持ローラー４３，４４の間を通過する際に、剥離シート１１３を介して、粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に切り込んで、ＤＡＦ１１５に第２の方向１１と平行な破断起点を形成する。第２切り刃１４４は、例えば、ステンレススチールなどの金属によって形成されている。

一方の第２挟持ローラー４３の周方向、すなわち粘着シート１１１の第１の方向１０と平行な方向に隣接する第２切り刃１４４，１４４の間隔Ｌｂは、例えば、ＤＡＦ１１５に貼着されるウエーハ１２１に形成された隣接する分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１（図４）が予め判明している場合には、この分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１と同等とすることが好ましい。この構成によれば、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５に形成される破断起点（不図示）は、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２に相当する位置に形成されるため、より効率良く、ＤＡＦ１１５が貼着されたウエーハ１２１を分割することができる。

また、上記した第２切り刃１４４，１４４の間隔Ｌｂは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２（図４）に対して、
１／２Ｌ２≦Ｌｂ＜Ｌ２ （２）
を満たすように形成してもよい。この構成によれば、第２切り刃１４４，１４４の間隔Ｌｂは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２よりも小さいため、ＤＡＦ１１５に形成された破断起点は、分割予定ライン１０２に対応する位置に形成されることにより、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５をデバイスチップごとに容易に分割することができる。また、第２切り刃１４４，１４４の間隔Ｌｂを、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２の１／２以上とすることにより、第２挟持ローラー４３に設けられる第２切り刃１４４の数を抑制することができる。

また、第２切り刃１４４の高さＨｂは、粘着シート１１１の剥離シート１１３の表面から剥離シート１１３の厚みより高く、かつ、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａに達しない高さに形成されている。これによれば、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａを傷つけることなく、ＤＡＦ１１５に破断起点を形成することができるため、エキスパンドテープ１１７を拡張した際のエキスパンドテープ１１７の破断を防止し、ＤＡＦ１１５を確実に破断させることができる。

他方の第２挟持ローラー４４は、第２切り刃１４４に対する粘着シート１１１の位置を規制し、第２切り刃１４４がＤＡＦ１１５に切り込む際の受け部として機能する。他方の第２挟持ローラー４４は、粘着シート１１１の送りに従って回転する。

このように、本実施形態に係るテープ貼着装置２は、ＤＡＦ１１５を含む粘着シート１１１がロール状に巻かれた状態でセットされ、該粘着シート１１１を送り出す送り出しローラー１０６と、この送り出しローラー１０６から送り出された粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に第１の方向１０と平行に破断起点を形成する一対の第１挟持ローラー４１、４２と、送り出された粘着シート１１１のＤＡＦ１１５に第１の方向１０と直交する第２の方向１１と平行に破断起点を形成する一対の第２挟持ローラー４３、４４とを備え、一方の第１挟持ローラー４１が第１の方向１０と平行でＤＡＦ１１５に切り込む第１切り刃１４２を備え、一方の第２挟持ローラー４３が第２の方向１１と平行でＤＡＦ１１５に切り込む第２切り刃１４４を備える。この構成よれば、ウエーハ１２１に貼着する前にＤＡＦ１１５に第１の方向１０及び第２の方向１１にそれぞれ平行な破断起点が予め形成されているため、従来のようにアブレーション加工などによりＤＡＦ１１５を切断する工程を備える場合と比較して、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５をデバイスチップごとに分割する時間を抑制でき、結果として、ＤＡＦ１１５が貼着されたウエーハ１２１を加工する際の所要時間の長期化を抑制できる。

また、一方の第１挟持ローラー４１が第１の方向１０と平行でＤＡＦ１１５に切り込む第１切り刃１４２を備え、一方の第２挟持ローラー４３が第２の方向１１と平行でＤＡＦ１１５に切り込む第２切り刃１４４を備えるため、一対の第１挟持ローラー４１、４２及び一対の第２挟持ローラー４３、４４の間にＤＡＦ１１５を含む粘着シート１１１を送ることにより、ＤＡＦ１１５に第１の方向１０及び第２の方向１１にそれぞれ平行な破断起点を容易に形成することができる。

次に、別の実施形態について説明する。図１１は、別の実施形態に係るテープ貼着装置の概略構成を示す斜視図である。図１２は、テープ貼着装置の概略構成を示す側面図である。この別の実施形態に係るテープ貼着装置（ＤＡＦ貼着装置）５２は、破断起点形成ユニット（破断起点形成部）６０の構成が異なる点で、上記したテープ貼着装置２と構成を異にする。他の構成については同一であるため、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。破断起点形成ユニット６０は、図１１及び図１２に示すように、剣山ユニット６１と受け板６２とを備える。これら剣山ユニット６１と受け板６２は、送り出しローラー１０６と剥離ローラー１０８との間に配置されている。また、この別の実施形態では、上記した送り出しローラー１０６と破断起点形成ユニット６０と、破断起点が形成された粘着シート１１１を巻き取る巻取りローラー（不図示）とがＤＡＦ１１５の破断起点形成装置１５０として機能する。

剣山ユニット６１は、図１２に示すように、粘着シート１１１の剥離シート１１３側に配置され、受け板６２は、粘着シート１１１のエキスパンドテープ１１７に配置されている。剣山ユニット６１は、粘着シート１１１における第２の方向１１の幅よりも大きい幅を有する矩形状の本体部１６０と、この本体部１６０の剥離シート１１３と対向する面に設けられる多数の針状突起１６１と、該本体部１６０を受け板６２に向けて移動するエアシリンダなどの移動手段（不図示）とを備える。針状突起１６１は、剥離シート１１３に向けて配置されており、粘着シート１１１が剣山ユニット６１と受け板６２との間を通過する際に、剣山ユニット６１の本体部１６０が受け板６２に向けて間欠的に移動する。これにより、針状突起１６１は、剥離シート１１３を介して、ＤＡＦ１１５に破断起点としての孔部を形成する。この際、送り出しローラー１０６は、剣山ユニット６１の動作に合わせて、粘着シート１１１を間欠的に送り出すのが好ましい。

また、針状突起１６１は、例えば、第１の方向１０及び第２の方向１１に沿って、それぞれ所定の間隔Ｌｃをあけて配置されている。これにより、ＤＡＦ１１５には、第１の方向１０及び第２の方向１１にそれぞれ平行で間隔Ｌｃの多数の孔部が形成される。

第１の方向１０及び第２の方向１１にそれぞれ平行な方向に隣接する針状突起１６１の間隔Ｌｃは、例えば、ＤＡＦ１１５に貼着されるウエーハ１２１に形成された隣接する分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１（図４）が予め判明している場合には、この分割予定ライン１０２の間隔Ｌ１と同等とすることが好ましい。この構成によれば、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５に形成される破断起点（不図示）は、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２に相当する位置に形成されるため、より効率良く、ＤＡＦ１１５が貼着されたウエーハ１２１を分割することができる。

また、上記した針状突起１６１の間隔Ｌｃは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２（図４）に対して、
１／２Ｌ２≦Ｌｃ＜Ｌ２ （３）
を満たすように形成してもよい。この構成によれば、針状突起１６１の間隔Ｌｃは、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２よりも小さいため、ＤＡＦ１１５に形成された孔部（破断起点）は、分割予定ライン１０２に対応する位置に形成されることにより、ウエーハ１２１に貼着されたＤＡＦ１１５をデバイスチップごとに容易に分割することができる。また、針状突起１６１の間隔Ｌｃを、ウエーハ１２１の分割予定ライン１０２の幅Ｌ２の１／２以上とすることにより、剣山ユニット６１に設けられる針状突起１６１の数を抑制することができる。

また、針状突起１６１の高さＨｃは、粘着シート１１１の剥離シート１１３の表面から剥離シート１１３の厚みより高く、かつ、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａに達しない高さに形成されている。これによれば、エキスパンドテープ１１７の樹脂層１１７ａを傷つけることなく、ＤＡＦ１１５に孔部（破断起点）を形成することができるため、エキスパンドテープ１１７を拡張した際のエキスパンドテープ１１７の破断を防止し、ＤＡＦ１１５を確実に破断させることができる。受け板６２は、剣山ユニット６１に対する粘着シート１１１の位置を規制し、針状突起１６１がＤＡＦ１１５に挿し込む際の受け部として機能する。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。すなわち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。例えば、剣山ユニット６１の本体部１６０は、粘着シート１１１における第２の方向１１の幅よりも大きい幅を備えた構成として、１度の移動動作により、粘着シート１１１における第２の方向１１の幅方向全域に亘って孔部（破断起点）を形成する構成としたが、これに限るものではなく、本体部を第２の方向１１に沿って移動する移動機構を別途設けた構成とすれば、粘着シート１１１における第２の方向１１の幅より小さくすることもできる。

２、５２ テープ貼着装置（ＤＡＦ貼着装置）
１０ 第１の方向
１１ 第２の方向
２２ チャックテーブル
３０ 押圧ローラー
４０、６０ 破断起点形成ユニット（破断起点形成部）
４１、４２ 第１挟持ローラー（第１破断起点形成部）
４３、４４ 第２挟持ローラー（第２破断起点形成部）
６１ 剣山ユニット
６２ 受け板
１００、１５０ ＤＡＦの破断起点形成装置
１０２ 分割予定ライン
１０６ 送り出しローラー（ロール送り出し部）
１０８ 剥離ローラー
１１１ 粘着シート
１１３ 剥離シート
１１５ ＤＡＦ
１１７ エキスパンドテープ
１２１ ウエーハ
１３３ フレーム
１４１ ローラー本体
１４２ 第１切れ刃
１４３ ローラー本体
１４４ 第２切れ刃
１６０ 本体部
１６１ 針状突起

Claims (6)

1. ＤＡＦがロール状に巻かれた状態でセットされ、該ＤＡＦを送り出すロール送り出し部と、
   該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦの表面に破断起点を形成する破断起点形成部と、を備える
   ことを特徴とするＤＡＦの破断起点形成装置。
2. ＤＡＦがロール状に巻かれた状態でセットされ、該ＤＡＦを送り出すロール送り出し部と、
   該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦに第１の方向と平行に破断起点を形成する第１の破断起点形成部と、
   該ロール送り出し部から送り出された該ＤＡＦに該第１の方向と交差する第２の方向と平行に破断起点を形成する第２の破断起点形成部とを備える
   ことを特徴とするＤＡＦの破断起点形成装置。
3. 該第１の破断起点形成部は、互いの間に該ＤＡＦを挟持する一対の第１挟持ローラーを備え、
   一対の第１挟持ローラーのうち一方が該第１の方向と平行でＤＡＦに切り込む第１切り刃を備える
   ことを特徴とする請求項２に記載のＤＡＦの破断起点形成装置。
4. 該第２の破断起点形成部は、互いの間に該ＤＡＦを挟持する一対の第２挟持ローラーを備え、
   一対の第２挟持ローラーのうち一方が該第２の方向と平行でＤＡＦに切り込む第２切り刃を備える
   ことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のＤＡＦの破断起点形成装置。
5. 該破断起点形成部は、該ＤＡＦに対向して配置されて該ＤＡＦに挿し込む多数の針状突起を備える
   ことを特徴とする請求項１に記載のＤＡＦの破断起点形成装置。
6. ＤＡＦを該被加工物に貼着するＤＡＦ貼着装置であって、
   請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載のＤＡＦの破断起点形成装置を備える
   ことを特徴とするＤＡＦ貼着装置。

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