JP2011199008A - 粘接着シート、ダイシング−ダイボンディングテープ及び粘接着シート付き半導体チップの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】粘接着シート51は、個々の半導体チップに分割されており、切断部分23cを有する分割後半導体ウェーハ23に積層され、粘接着シート51付き半導体チップを得るために用いられる。粘接着シート51は、分割後半導体ウェーハ23が積層される第1の表面51aと該第1の表面51aとは反対側の第2の表面51bとの内の少なくとも一方の表面に、分割後半導体ウェーハ23の切断部分23cと略平行に配置された窪みを有する。
【選択図】図1
Description
本発明に係る粘接着シートは、個々の半導体チップに分割されており、切断部分を有する分割後半導体ウェーハに積層され、粘接着シート付き半導体チップを得るために用いられる。本発明に係る粘接着シートは、分割後半導体ウェーハが積層される第1の表面と該第1の表面とは反対側の第2の表面との内の少なくとも一方の表面に、上記分割後半導体ウェーハの切断部分と略平行に配置された窪みを有するので、分割後半導体ウェーハの片面に上記粘接着シートを積層した後、該粘接着シートを引き延ばしたときに、分割後半導体ウェーハの切断部分に沿って、粘接着シートを精度良く切断することが可能になる。さらに、上記粘接着シートを引き延ばす前又は間に、上記粘接着シートを改質しなくても、粘接着シートを精度良く切断できる。例えば、上記粘接着シートを改質するために、上記粘接着シートを加熱及び冷却せず、かつレーザー光を照射しなくても、粘接着シートを精度良く切断できる。
次に、図3(a),(b)に示すダイシング−ダイボンディングテープ1を用いた場合の粘接着シート付き半導体チップの製造方法の一例を以下説明する。
(1)基材層の作製
2−エチルヘキシルアクリレート95重量部、2−ヒドロキシエチルアクリレート5重量部、光ラジカル発生剤としてのイルガキュア651(チバガイギー社製、50%酢酸エチル溶液)0.2重量部、及びラウリルメルカプタン0.01重量部を酢酸エチルに溶解させ、溶液を得た。この溶液に紫外線を照射して重合を行い、ポリマーの酢酸エチル溶液を得た。さらに、この溶液の固形分100重量部に対して、2−メタクリロイルオキシエチルイソシアネート(昭和電工社製、カレンズMOI)3.5重量部を反応させて(メタ)アクリル樹脂架橋体であるアクリル系ポリマーA(アクリル共重合体)を得た。得られたアクリル系ポリマーAの重量平均分子量は70万であり、酸価は0.86(mgKOH/g)であった。
図1(a)及び(b)に示す形状の粘接着シートを以下のようにして用意した。
上記基材層の両面に貼り付けられた離型PETフィルムの一方を剥がし、直径306.8mmの円形の基材層を得た。上記PET38CS上の粘接着シートを直径305.8mmの円形に加工した。基材層と粘接着シートとを、円の中心が合うように貼り合せた。基材層の片面に貼り付けられた離型PETフィルムを剥がし、ダイシング層(PEテープ#6318−B:積水化学工業社製粘着フィルム、厚み70μmのポリエチレン基材の片面に、厚み10μmのゴム系粘着剤層が形成されている粘着フィルム)を、粘着剤層側から基材層に貼り付けた。また、ダイシング層の粘接着シート及び基材層の外周側面よりも側方に張り出している領域を、上記PET38CS上に貼り付けた。このようにして離型層と粘接着シートと基材層とダイシング層とがこの順で積層されたダイシング−ダイボンディングテープを得た。
図2(a)及び(b)に示す形状の粘接着シートを以下のようにして用意した。
粘接着シートに窪みを形成しなかったこと以外は実施例1と同様にして、ダイシング−ダイボンディングテープを得た。
直径300mm(12inch)の半導体ウェーハ(シリコンウェーハ、厚み76.5μm)の表面に深さ50μmの切り込みを入れた。次に、半導体ウェーハの表面に保護シートとしてのバックグラインディングテープ イクロスSB135S−BN(三井化学社製、オレフィンの片面にアクリル系粘着剤が塗布されている)をアクリル系粘着剤側からラミネートした。次に、半導体ウェーハの厚みが35μmになるまで半導体ウェーハの裏面を研削した後、CMPスラリーを用いて、半導体ウェーハの厚みが30μmになるまで半導体ウェーハの裏面の鏡面仕上げを行った。このようにして、保護シートと、分割後半導体ウェーハとの積層体を得た。
○:半導体チップの下方において、粘接着シートに欠けがない
×:半導体チップの下方において、粘接着シートに欠けがある
○:ピックアップできなかった粘接着シート付き半導体チップなし
×:ピックアップできなかった粘接着シート付き半導体チップあり
2…離型層
2a…上面
3…基材層
3a…第1の表面
3b…第2の表面
4…ダイシング層
4A…基材
4B…粘着剤層
11…ダイシング−ダイボンディングテープ
12…基材層
12A…非粘着部
12B…粘着部
12a…第1の表面
12b…第2の表面
13…ダイシング層
21…積層体
22…保護シート
22a…片面
23…分割後半導体ウェーハ
23A…半導体ウェーハ
23a…表面
23b…裏面
23c…切断部分
25…ステージ
26…ダイシングリング
27…ステージ
51…粘接着シート
51a…第1の表面
51b…第2の表面
51c…切断部分
52,52A,52B…窪み
56…粘接着シート
56a…第1の表面
56b…第2の表面
57…窪み
61…粘接着シート
61a…第1の表面
61b…第2の表面
62…窪み
66…粘接着シート
66a…第1の表面
66b…第2の表面
67…窪み
Claims (12)
- 個々の半導体チップに分割されており、切断部分を有する分割後半導体ウェーハに積層され、粘接着シート付き半導体チップを得るために用いられる粘接着シートであって、
前記分割後半導体ウェーハが積層される第1の表面と該第1の表面とは反対側の第2の表面との内の少なくとも一方の表面に、前記分割後半導体ウェーハの前記切断部分と略平行に配置された窪みを有する、粘接着シート。 - 前記窪みは線状であり、
線状の前記窪みが、前記分割後半導体ウェーハの前記切断部分と略平行に配置されている、請求項1に記載の粘接着シート。 - 前記窪みを複数有し、かつ複数の前記窪みが点状であり、
複数の点状の窪みが、前記分割後半導体ウェーハの前記切断部分と略平行に配置されている、請求項1に記載の粘接着シート。 - 前記分割後半導体ウェーハは、第1の方向と該第1の方向と垂直な第2の方向との両方にのびる切断部分を有し、
前記第1の方向にのびる前記切断部分と略平行に配置された窪みと、前記第2の方向にのびる前記切断部分と略平行に配置された窪みとを有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の粘接着シート。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の粘接着シートと、
前記粘接着シートの前記第1の表面とは反対側の第2の表面に積層された基材層とを備える、ダイシング−ダイボンディングテープ。 - 前記基材層の前記粘接着シート側とは反対側の表面に積層されたダイシング層をさらに備える、請求項5に記載のダイシング−ダイボンディングテープ。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の粘接着シートと、個々の半導体チップに分割されている分割後半導体ウェーハとを用いて、
前記分割後半導体ウェーハの片面に、前記粘接着シートを前記第1の表面側から積層する工程と、
前記粘接着シートを引き延ばすことにより、前記粘接着シートを前記分割後半導体ウェーハの切断部分に沿って切断し、かつ前記分割後半導体ウェーハの個々の前記半導体チップを離間させる工程と、
前記粘接着シートが積層された状態で、前記粘接着シート付き半導体チップを取り出す工程とを備える、粘接着シート付き半導体チップの製造方法。 - 前記粘接着シートと、該粘接着剤層の片面に積層された基材層とを備えるダイシング−ダイボンディングテープを用いる、請求項7に記載の粘接着シート付き半導体チップの製造方法。
- 前記分割後半導体ウェーハの一方の面に、保護シートが積層されている積層体を用いて、
前記分割後半導体ウェーハの他方の面に前記粘接着シートを積層した後、かつ前記粘接着シートを引き延ばす前に、前記保護シートを前記分割後半導体ウェーハから剥離する工程をさらに備える、請求項7又は8に記載の粘接着シート付き半導体チップの製造方法。 - 半導体ウェーハの表面に、該半導体ウェーハを個々の半導体チップに分割するための切り込みを形成する工程と、
切り込みが形成された前記半導体ウェーハの表面に保護シートを貼り付ける工程と、
前記保護シートが貼り付けられた前記半導体ウェーハの裏面を研削し、前記半導体ウェーハを個々の半導体チップに分割し、前記積層体を得る工程をさらに備える、請求項9に記載の粘接着シート付き半導体チップの製造方法。 - 前記粘接着シートを引き延ばす前又は間に、前記粘接着シートを改質しない、請求項7〜10のいずれか1項に記載の粘接着シート付き半導体チップの製造方法。
- 前記粘接着シートを引き延ばす前又は間に、前記粘接着シートを改質するために、前記粘接着シートを加熱及び冷却せず、かつレーザー光を照射しない、請求項7〜11のいずれか1項に記載の粘接着シート付き半導体チップの製造方法。
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