JP6998154B2 - ダイボンディングシート - Google Patents
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Description
すなわち、この方法では、まず、半導体ウエハの回路が形成されている側の面(回路形成面)に、バックグラインドテープ(表面保護テープ)を貼付する。次いで、半導体ウエハの内部に設定された焦点に集束するように、レーザー光を照射して、半導体ウエハの内部に改質層を形成する。次いで、グラインダーを用いて、半導体ウエハの回路形成面とは反対側の面(裏面)を研削することにより、半導体ウエハの厚さを目的とする値に調節するとともに、このときの半導体ウエハに加えられる研削時の力を利用することによって、改質層の形成部位において、半導体ウエハを分割し、複数個の半導体チップを形成する。この方法では、これ以降さらに、バックグラインドテープ上で固定化されているこれら半導体チップの、上述の研削を行った面(研削面)に、ダイボンディングシート中のフィルム状接着剤を貼り合わせることにより、複数個の半導体チップの前記研削面に、ダイボンディングシートを貼付する。ここで、ダイボンディングシートとしては、上述のダイシングダイボンディングシートと同様に、基材上に粘着剤層及びフィルム状接着剤がこの順に積層されて構成されたものが挙げられる。ただし、ダイボンディングシート中の基材及び粘着剤層は、ダイシングダイボンディングシート中の基材及び粘着剤層とは、求められる特性が異なることがある。次いで、半導体チップからバックグラインドテープを剥離した後、ダイボンディングシートを、その表面(フィルム状接着剤の表面)に対して平行な方向に引き伸ばす、いわゆるエキスパンドを行うことで、フィルム状接着剤を半導体チップの外周に沿って切断(分割)する。以上により、切断後のフィルム状接着剤を備えた半導体チップが得られる。
なお、半導体ウエハの裏面の研削時には、その条件によっては、半導体ウエハの一部の領域において、半導体チップへの分割が行われないこともある。その場合、この領域は、ダイボンディングシートのエキスパンド時に、半導体チップへ分割される。
本発明のダイボンディングシートにおいては、前記基材のMD方向と、前記中間層のMD方向と、が直交していることが好ましい。
本発明のダイボンディングシートにおいては、前記中間層の厚さが130μm以下であることが好ましい。
本発明のダイボンディングシートは、基材を備え、前記基材上に、粘着剤層、中間層及びフィルム状接着剤がこの順に積層されてなり、前記中間層の0℃における引張弾性率が80MPa以下、0℃における引張強度が30N/15mm以下であり、前記中間層と前記フィルム状接着剤との間の0℃における剥離力が0.2N/25mm以上のものである。
本発明のダイボンディングシートを用いて、エキスパンドによってフィルム状接着剤を切断することにより、エキスパンド時のダイボンディングシートでは、その表面(フィルム状接着剤の表面)に対して平行な方向において、エキスパンドの程度のばらつきが抑制される。すなわち、フィルム状接着剤では、その表面に対して平行な方向において、引き伸ばすように加えられる力が方向によらず均一となる。その結果、フィルム状接着剤は、直交する2方向において、均等かつ良好に切断され、切断不良の発生が抑制される。本明細書においては、フィルム状接着剤の切断不良の発生を抑制する程度を「フィルム状接着剤の切断性」と称することがある。
なお、本明細書において、「フィルム状接着剤の切断」とは、特に断りのない限り、「半導体チップの外周に沿った、フィルム状接着剤の切断」を意味する。
すなわち、まず、半導体ウエハの回路が形成されている側の面(本明細書においては「回路形成面」と略記することがある)に、バックグラインドテープ(表面保護テープ)を貼付する。次いで、半導体ウエハの内部に設定された焦点に集束するように、レーザー光を照射して、半導体ウエハの内部に改質層を形成する。次いで、グラインダーを用いて、半導体ウエハの回路形成面とは反対側の面(裏面)を研削することにより、半導体ウエハの厚さを目的とする値に調節するとともに、このときの半導体ウエハに加えられる研削時の力を利用することによって、改質層の形成部位において、半導体ウエハを分割し、複数個の半導体チップを形成する。この研削時の条件によっては、半導体ウエハの一部の領域において、半導体チップへの分割が行われないこともある。
すなわち、まず、半導体ウエハの回路形成面に、半導体ウエハを分割しない程度にまで溝又は切れ込みを形成する(本明細書においては、「ハーフカット」と称することがある)。次いで、このハーフカット後の回路形成面に、上記と同様のバックグラインドテープ(表面保護テープ)を貼付する。次いで、グラインダーを用いて、半導体ウエハの回路形成面とは反対側の面(裏面)を、前記溝又は切れ込みが現れるまで研削することにより、半導体ウエハの厚さを目的とする値に調節するとともに、半導体ウエハを分割し、複数個の半導体チップを形成する。
前記溝又は切れ込みが表面に形成された半導体ウエハは、例えば、ブレードを用いて半導体ウエハを表面から切り込むブレードダイシング、レーザー照射により半導体ウエハを表面から切り込むレーザーダイシング、又は研磨剤を含む水の吹き付けにより半導体ウエハを表面から切り込むウォーターダイシング等を利用する方法で作製できる。
図1は、本発明のダイボンディングシートの一実施形態を模式的に示す断面図であり、図2は、図1に示すダイボンディングシートの平面図である。
そして、ダイボンディングシート101において、中間層13及びフィルム状接着剤14は、これらの中心が一致するように、換言すると、中間層13及びフィルム状接着剤14の外周の位置が、これらの径方向においていずれも一致するように、配置されている。
なお、剥離フィルム15を備えたダイボンディングシート101においては、粘着剤層12の前記露出面には、ここに示すように、剥離フィルム15が積層されていない領域があってもよい。
治具用接着剤層は、公知のものでよく、例えば、接着剤成分を含有する単層構造のものであってもよいし、芯材となるシートの両面に接着剤成分を含有する層が積層された複数層構造のものであってもよい。
ダイボンディングシート101において、中間層13とフィルム状接着剤14との間の0℃における剥離力は、0.2N/25mm以上である。
例えば、本発明のダイボンディングシートは、基材、粘着剤層、中間層、フィルム状接着剤、剥離フィルム及び治具用接着剤層以外の、他の層を備えていてもよい。ただし、本発明のダイボンディングシートは、図1に示すように、粘着剤層を基材に直接接触した状態で備え、中間層を粘着剤層に直接接触した状態で備え、フィルム状接着剤を中間層に直接接触した状態で備えているものが好ましい。
次に、本発明のダイボンディングシートを構成する各層について、より詳細に説明する。
前記基材は、シート状又はフィルム状である。
前記基材の構成材料は、各種樹脂であることが好ましく、具体的には、例えば、ポリエチレン(低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖低密度ポリエチレン(LLDPE)、高密度ポリエチレン(HDPE等))、ポリプロピレン(PP)、ポリブテン、ポリブタジエン、ポリメチルペンテン、スチレン・エチレンブチレン・スチレンブロック共重合体、ポリ塩化ビニル、塩化ビニル共重合体、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリブチレンテレフタレート(PBT)、ポリウレタン、ポリウレタンアクリレート、ポリイミド(PI)、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、アイオノマー樹脂、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体、エチレン・(メタ)アクリル酸共重合体及びエチレン・(メタ)アクリル酸エステル共重合体以外のエチレン共重合体、ポリスチレン、ポリカーボネート、フッ素樹脂、これらのいずれかの樹脂の水添加物、変性物、架橋物又は共重合物等が挙げられる。
なお、本明細書においては、基材の場合に限らず、「複数層が互いに同一でも異なっていてもよい」とは、「すべての層が同一であってもよいし、すべての層が異なっていてもよく、一部の層のみが同一であってもよい」ことを意味し、さらに「複数層が互いに異なる」とは、「各層の構成材料及び厚さの少なくとも一方が互いに異なる」ことを意味する。
ここで、「基材の厚さ」とは、基材全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる基材の厚さとは、基材を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
また、基材は、表面がプライマー処理を施されたものであってもよい。
また、基材は、帯電防止コート層;ダイボンディングシートを重ね合わせて保存する際に、基材が他のシートに接着することや、基材が吸着テーブルに接着することを防止する層等を有するものであってもよい。
なかでも、電子線照射処理された基材は、その切断時において、基材由来の切断片の発生が抑制される点と、上述のエキスパンド時における裂けが抑制される点で、好ましいものである。
前記ダイボンディングシートにおいては、基材(図1に示すダイボンディングシート101の場合には、基材11)のMD方向と、後述する中間層(図1に示すダイボンディングシート101の場合には、中間層13)のMD方向と、が直交していることが好ましい。換言すると、前記ダイボンディングシートにおいては、基材のTD方向と、中間層のTD方向と、が直交していることが好ましい。基材及び中間層がこのように配置されている前記ダイボンディングシートは、エキスパンドのされ易さ(拡張性)が方向によらず、より均一化する。そして、このようなダイボンディングシートを用いることで、エキスパンドによるフィルム状接着剤の切断性がより向上し、さらに、フィルム状接着剤の切断時に、半導体チップ間の領域、いわゆるカーフがより安定して形成され、この領域の幅(カーフ幅)の均一性もより高くなる。さらに、このようにカーフ幅の均一性が高くなることで、後述するフィルム状接着剤付き半導体チップをピックアップするときに、工程不良の発生を抑制する効果が顕著に高くなる。
すなわち、「MD方向」とは、これら各層の成形時における樹脂の流れ方向(Machine Direction)を意味し、「TD方向」とは、これら各層の成形時における樹脂の流れ方向(MD方向)に直交する方向(Transverse Direction)を意味する。
MD方向は、フィルム又はシートの加工時における、フィルム又はシートの流れに平行な方向であり、TD方向は、このようなフィルム又はシートの流れに直交する方向であるともいえる。フィルム又はシートを延伸加工する場合には、MD方向は、フィルム又はシートの延伸方向であり、TD方向は、このようなフィルム又はシートの延伸方向に直交する方向である。
各層のMD方向及びTD方向は、例えば、X線2次元回折画像の分析等、光学的な分析によって、互いに区別できる。
前記粘着剤層は、シート状又はフィルム状であり、粘着剤を含有する。
粘着剤層は、前記粘着剤を含有する粘着剤組成物を用いて形成できる。例えば、粘着剤層の形成対象面に粘着剤組成物を塗工し、必要に応じて乾燥させることで、目的とする部位に粘着剤層を形成できる。
紫外線は、例えば、紫外線源として高圧水銀ランプ、ヒュージョンHランプ、キセノンランプ、ブラックライト又はLEDランプ等を用いることで照射できる。電子線は、電子線加速器等によって発生させたものを照射できる。
本発明において、「エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射することにより硬化する性質を意味し、「非エネルギー線硬化性」とは、エネルギー線を照射しても硬化しない性質を意味する。
ここで、「粘着剤層の厚さ」とは、粘着剤層全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる粘着剤層の厚さとは、粘着剤層を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
次に、前記粘着剤組成物について説明する。
粘着剤層がエネルギー線硬化性である場合、エネルギー線硬化性粘着剤を含有する粘着剤組成物、すなわち、エネルギー線硬化性の粘着剤組成物としては、例えば、非エネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-1a)(以下、「粘着性樹脂(I-1a)」と略記することがある)と、エネルギー線硬化性化合物と、を含有する粘着剤組成物(I-1);非エネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-1a)の側鎖に不飽和基が導入されたエネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-2a)(以下、「粘着性樹脂(I-2a)」と略記することがある)を含有する粘着剤組成物(I-2);前記粘着性樹脂(I-2a)と、エネルギー線硬化性化合物と、を含有する粘着剤組成物(I-3)等が挙げられる。
前記粘着剤組成物(I-1)は、上述の様に、非エネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-1a)と、エネルギー線硬化性化合物と、を含有する。
前記粘着性樹脂(I-1a)は、アクリル系樹脂であることが好ましい。
前記アクリル系樹脂としては、例えば、少なくとも(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位を有するアクリル系重合体が挙げられる。
前記アクリル系樹脂が有する構成単位は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-1)が含有する前記エネルギー線硬化性化合物としては、エネルギー線重合性不飽和基を有し、エネルギー線の照射により硬化可能なモノマー又はオリゴマーが挙げられる。
エネルギー線硬化性化合物のうち、モノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、1,4-ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6-へキサンジオール(メタ)アクリレート等の多価(メタ)アクリレート;ウレタン(メタ)アクリレート;ポリエステル(メタ)アクリレート;ポリエーテル(メタ)アクリレート;エポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。
エネルギー線硬化性化合物のうち、オリゴマーとしては、例えば、上記で例示したモノマーが重合してなるオリゴマー等が挙げられる。
エネルギー線硬化性化合物は、分子量が比較的大きく、粘着剤層の貯蔵弾性率を低下させにくいという点では、ウレタン(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレートオリゴマーが好ましい。
粘着性樹脂(I-1a)として、(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位以外に、さらに、官能基含有モノマー由来の構成単位を有する前記アクリル系重合体を用いる場合、粘着剤組成物(I-1)は、さらに架橋剤を含有することが好ましい。
架橋剤としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、これらジイソシアネートのアダクト体等のイソシアネート系架橋剤(イソシアネート基を有する架橋剤);エチレングリコールグリシジルエーテル等のエポキシ系架橋剤(グリシジル基を有する架橋剤);ヘキサ[1-(2-メチル)-アジリジニル]トリフオスファトリアジン等のアジリジン系架橋剤(アジリジニル基を有する架橋剤);アルミニウムキレート等の金属キレート系架橋剤(金属キレート構造を有する架橋剤);イソシアヌレート系架橋剤(イソシアヌル酸骨格を有する架橋剤)等が挙げられる。
粘着剤の凝集力を向上させて粘着剤層の粘着力を向上させる点、及び入手が容易である等の点から、架橋剤はイソシアネート系架橋剤であることが好ましい。
粘着剤組成物(I-1)は、さらに光重合開始剤を含有していてもよい。光重合開始剤を含有する粘着剤組成物(I-1)は、紫外線等の比較的低エネルギーのエネルギー線を照射しても、十分に硬化反応が進行する。
また、前記光重合開始剤としては、例えば、1-クロロアントラキノン等のキノン化合物;アミン等の光増感剤等を用いることもできる。
粘着剤組成物(I-1)は、本発明の効果を損なわない範囲内において、上述のいずれの成分にも該当しない、その他の添加剤を含有していてもよい。
前記その他の添加剤としては、例えば、帯電防止剤、酸化防止剤、軟化剤(可塑剤)、充填材(フィラー)、防錆剤、着色剤(顔料、染料)、増感剤、粘着付与剤、反応遅延剤、架橋促進剤(触媒)等の公知の添加剤が挙げられる。
なお、反応遅延剤とは、例えば、粘着剤組成物(I-1)中に混入している触媒の作用によって、保存中の粘着剤組成物(I-1)において、目的としない架橋反応が進行するのを抑制するものである。反応遅延剤としては、例えば、触媒に対するキレートによってキレート錯体を形成するものが挙げられ、より具体的には、1分子中にカルボニル基(-C(=O)-)を2個以上有するものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-1)は、溶媒を含有していてもよい。粘着剤組成物(I-1)は、溶媒を含有していることで、塗工対象面への塗工適性が向上する。
前記粘着剤組成物(I-2)は、上述の様に、非エネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-1a)の側鎖に不飽和基が導入されたエネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-2a)を含有する。
前記粘着性樹脂(I-2a)は、例えば、粘着性樹脂(I-1a)中の官能基に、エネルギー線重合性不飽和基を有する不飽和基含有化合物を反応させることで得られる。
前記エネルギー線重合性不飽和基としては、例えば、(メタ)アクリロイル基、ビニル基(エテニル基)、アリル基(2-プロペニル基)等が挙げられ、(メタ)アクリロイル基が好ましい。
粘着性樹脂(I-1a)中の官能基と結合可能な基としては、例えば、水酸基又はアミノ基と結合可能なイソシアネート基及びグリシジル基、並びにカルボキシ基又はエポキシ基と結合可能な水酸基及びアミノ基等が挙げられる。
粘着性樹脂(I-2a)として、例えば、粘着性樹脂(I-1a)におけるものと同様の、官能基含有モノマー由来の構成単位を有する前記アクリル系重合体を用いる場合、粘着剤組成物(I-2)は、さらに架橋剤を含有していてもよい。
粘着剤組成物(I-2)が含有する架橋剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-2)は、さらに光重合開始剤を含有していてもよい。光重合開始剤を含有する粘着剤組成物(I-2)は、紫外線等の比較的低エネルギーのエネルギー線を照射しても、十分に硬化反応が進行する。
粘着剤組成物(I-2)が含有する光重合開始剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-2)は、本発明の効果を損なわない範囲内において、上述のいずれの成分にも該当しない、その他の添加剤を含有していてもよい。
粘着剤組成物(I-2)における前記その他の添加剤としては、粘着剤組成物(I-1)におけるその他の添加剤と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-2)が含有するその他の添加剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-2)は、粘着剤組成物(I-1)の場合と同様の目的で、溶媒を含有していてもよい。
粘着剤組成物(I-2)における前記溶媒としては、粘着剤組成物(I-1)における溶媒と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-2)が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-2)において、溶媒の含有量は特に限定されず、適宜調節すればよい。
前記粘着剤組成物(I-3)は、上述の様に、前記粘着性樹脂(I-2a)と、エネルギー線硬化性化合物と、を含有する。
粘着剤組成物(I-3)が含有する前記エネルギー線硬化性化合物としては、エネルギー線重合性不飽和基を有し、エネルギー線の照射により硬化可能なモノマー及びオリゴマーが挙げられ、粘着剤組成物(I-1)が含有するエネルギー線硬化性化合物と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-3)が含有する前記エネルギー線硬化性化合物は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-3)は、さらに光重合開始剤を含有していてもよい。光重合開始剤を含有する粘着剤組成物(I-3)は、紫外線等の比較的低エネルギーのエネルギー線を照射しても、十分に硬化反応が進行する。
粘着剤組成物(I-3)が含有する光重合開始剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-3)は、本発明の効果を損なわない範囲内において、上述のいずれの成分にも該当しない、その他の添加剤を含有していてもよい。
前記その他の添加剤としては、粘着剤組成物(I-1)におけるその他の添加剤と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-3)が含有するその他の添加剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-3)は、粘着剤組成物(I-1)の場合と同様の目的で、溶媒を含有していてもよい。
粘着剤組成物(I-3)における前記溶媒としては、粘着剤組成物(I-1)における溶媒と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-3)が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-3)において、溶媒の含有量は特に限定されず、適宜調節すればよい。
ここまでは、粘着剤組成物(I-1)、粘着剤組成物(I-2)及び粘着剤組成物(I-3)について主に説明したが、これらの含有成分として説明したものは、これら3種の粘着剤組成物以外の全般的な粘着剤組成物(本明細書においては、「粘着剤組成物(I-1)~(I-3)以外の粘着剤組成物」と称する)でも、同様に用いることができる。
非エネルギー線硬化性の粘着剤組成物としては、例えば、アクリル系樹脂、ウレタン系樹脂、ゴム系樹脂、シリコーン系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリビニルエーテル、ポリカーボネート、エステル系樹脂等の、非エネルギー線硬化性の粘着性樹脂(I-1a)を含有する粘着剤組成物(I-4)が挙げられ、アクリル系樹脂を含有するものが好ましい。
粘着剤組成物(I-4)で好ましいものとしては、例えば、前記粘着性樹脂(I-1a)と、架橋剤と、を含有するものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-4)における粘着性樹脂(I-1a)としては、粘着剤組成物(I-1)における粘着性樹脂(I-1a)と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-4)が含有する粘着性樹脂(I-1a)は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着性樹脂(I-1a)として、(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位以外に、さらに、官能基含有モノマー由来の構成単位を有する前記アクリル系重合体を用いる場合、粘着剤組成物(I-4)は、さらに架橋剤を含有することが好ましい。
粘着剤組成物(I-4)が含有する架橋剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-4)は、本発明の効果を損なわない範囲内において、上述のいずれの成分にも該当しない、その他の添加剤を含有していてもよい。
前記その他の添加剤としては、粘着剤組成物(I-1)におけるその他の添加剤と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-4)が含有するその他の添加剤は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-4)は、粘着剤組成物(I-1)の場合と同様の目的で、溶媒を含有していてもよい。
粘着剤組成物(I-4)における前記溶媒としては、粘着剤組成物(I-1)における溶媒と同じものが挙げられる。
粘着剤組成物(I-4)が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
粘着剤組成物(I-4)において、溶媒の含有量は特に限定されず、適宜調節すればよい。
粘着剤組成物(I-1)~(I-3)や、粘着剤組成物(I-4)等の粘着剤組成物(I-1)~(I-3)以外の粘着剤組成物は、前記粘着剤と、必要に応じて前記粘着剤以外の成分等の、粘着剤組成物を構成するための各成分を配合することで得られる。
各成分の配合時における添加順序は特に限定されず、2種以上の成分を同時に添加してもよい。
溶媒を用いる場合には、溶媒を溶媒以外のいずれかの配合成分と混合してこの配合成分を予め希釈しておくことで用いてもよいし、溶媒以外のいずれかの配合成分を予め希釈しておくことなく、溶媒をこれら配合成分と混合することで用いてもよい。
配合時に各成分を混合する方法は特に限定されず、撹拌子又は撹拌翼等を回転させて混合する方法;ミキサーを用いて混合する方法;超音波を加えて混合する方法等、公知の方法から適宜選択すればよい。
各成分の添加及び混合時の温度並びに時間は、各配合成分が劣化しない限り特に限定されず、適宜調節すればよいが、温度は15~30℃であることが好ましい。
前記中間層は、シート状又はフィルム状であり、樹脂を含有する。
中間層は、樹脂からなるものであってもよいし、樹脂と樹脂以外の成分を含有するものであってもよい。
中間層は、例えば、前記樹脂又は前記樹脂を含有する中間層形成用組成物を成形することで形成できる。また、中間層は、中間層の形成対象面に、前記中間層形成用組成物を塗工し、必要に応じて乾燥させることでも形成できる。
中間層における好ましい前記樹脂としては、例えば、エチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)、ポリプロピレン(PP)、ポリエチレン(PE)、ポリウレタンアクリレート(UA)等が挙げられる。
前記ダイボンディングシートにおいては、上述のとおり、中間層(図1に示すダイボンディングシート101の場合には、中間層13)の0℃における引張弾性率は80MPa以下であり、これは、中間層の第1面に対して平行な方向のうち、少なくともMD方向及びTD方向の0℃における引張弾性率が、いずれも80MPa以下であることを意味する。
本明細書においては、中間層の0℃におけるMD方向及びTD方向の引張弾性率を包括して、単に「中間層の引張弾性率」と称することがある。
一方、中間層の0℃における引張弾性率の下限値は、特に限定されない。ただし、常温下で中間層とフィルム状接着剤との積層構造(例えば、後述する第2中間積層体)を形成する際の作業性が向上する点では、中間層の前記引張弾性率は、20MPa以上であることが好ましく、22MPa以上であることがより好ましく、24MPa以上であることが特に好ましい。
例えば、中間層の0℃における引張弾性率は、20~80MPaであることが好ましく、20~75MPaであることがより好ましく、22~70MPaであることがさらに好ましく、24~65MPaであることが特に好ましいが、これらは、前記引張弾性率の数値範囲の一例である。
すなわち、幅が15mmの中間層の試験片を作製し、この試験片を2個の挟み治具で挟んで保持する。このとき、試験片における、2個の挟み治具によって挟んだ箇所の間の距離(2個の挟み治具間の距離)が50mmとなるようにする。次いで、引張速度200mm/minで、これら挟み治具によって試験片を引っ張ったときの弾性率を測定することで、中間層の引張弾性率が求められる。
試験片の長さは、2個の挟み治具間の距離が50mmとなるように、50mmよりも長ければいずれであってもよい。
前記ダイボンディングシートにおいては、上述のとおり、中間層(図1に示すダイボンディングシート101の場合には、中間層13)の0℃における引張強度は30N/15mm以下であり、これは、中間層の第1面に対して平行な方向のうち、少なくともMD方向及びTD方向の0℃における引張強度が、いずれも30N/15mm以下であることを意味する。
本明細書においては、中間層の0℃におけるMD方向及びTD方向の引張強度を包括して、単に「中間層の引張強度」と称することがある。
一方、中間層の0℃における引張強度の下限値は、特に限定されない。ただし、常温下で中間層とフィルム状接着剤との積層構造(例えば、後述する第2中間積層体)を形成する際の作業性が向上する点では、中間層の前記引張強度は、3.0N/15mm以上であることが好ましく、3.3N/15mm以上であることがより好ましく、3.6N/15mm以上であることが特に好ましい。
例えば、中間層の0℃における引張強度は、3.0~30N/15mmであることが好ましく、3.0~25N/15mmであることがより好ましく、3.3~20N/15mmであることがさらに好ましく、3.6~15N/15mmであることが特に好ましいが、これらは、前記引張強度の数値範囲の一例である。
すなわち、まず上述の中間層の引張弾性率を求める場合と同じ方法で、中間層の試験片を作製し、2個の挟み治具でこの試験片を保持する。次いで、引張速度200mm/minで、これら挟み治具によって試験片を引っ張ったときに、試験片の長さが、引っ張る前の試験片の長さの25%分だけ伸びたとき(引張伸度が25%のとき)の強度を測定することで、中間層の引張強度が求められる。
中間層の引張強度は、中間層の引張弾性率と同時に測定できる。
例えば、好ましい中間層としては、0℃における引張弾性率が20~80MPaであり、かつ0℃における引張強度が3.0~30N/15mmであるものが挙げられ、より好ましい中間層としては、0℃における引張弾性率が20~75MPaであり、かつ0℃における引張強度が3.0~25N/15mmであるものが挙げられ、さらに好ましい中間層としては、0℃における引張弾性率が22~70MPaであり、かつ0℃における引張強度が3.3~20N/15mmであるものが挙げられ、特に好ましい中間層としては、0℃における引張弾性率が24~65MPaであり、かつ0℃における引張強度が3.6~15N/15mmであるものが挙げられる。ただし、これらは、好ましい中間層の一例である。
中間層の引張強度は、例えば、中間層の構成材料、すなわち、中間層の含有成分の種類及び量、並びに中間層の厚さ等を調節することで、適宜調節できる。
中間層の厚さの下限値は、特に限定されない。ただし、中間層の構造がより安定化する点では、中間層の厚さは17μm以上であることが好ましく、20μm以上であることがより好ましく、23μm以上であることが特に好ましい。
ここで、「中間層の厚さ」とは、中間層全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなる中間層の厚さとは、中間層を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
前記フィルム状接着剤は、硬化性を有し、熱硬化性を有するものが好ましく、感圧接着性を有するものが好ましい。熱硬化性及び感圧接着性をともに有するフィルム状接着剤は、未硬化状態では各種被着体に軽く押圧することで貼付できる。また、フィルム状接着剤は、加熱して軟化させることで各種被着体に貼付できるものであってもよい。フィルム状接着剤は、硬化によって最終的には耐衝撃性が高い硬化物となり、この硬化物は、厳しい高温・高湿度条件下においても十分な接着特性を保持し得る。
前記剥離力の上限値は、特に限定されない。ただし、後述するフィルム状接着剤付き半導体チップのピックアップをより容易に行うことができる点では、前記剥離力は、1N/25mm以下であることが好ましく、0.8N/25mm以下であることがより好ましく、0.6N/25mm以下であることが特に好ましい。
すなわち、まず、中間層と、フィルム状接着剤と、補強基材とを、この順にこれらの厚さ方向において貼り合わせて積層し、積層シートを作製する。ここで「補強基材」とは、シート状であり、フィルム状接着剤の構造を安定的に維持できるものであれば、特に限定されない。
次いで、この積層シートを裁断して、幅が25mmで長さが任意の試験片を作製する。
次いで、この試験片中の中間層のうち、フィルム状接着剤が積層されていない側の表面(露出面)を、固定用基材に貼り合わせて、試験片を固定用基材に固定する。ここで、「固定用基材」とは、試験片を強固に固定できるものであればよく、その形状はシート状であってもよいし、その他の形状であってもよい。
次いで、温度0℃の条件下で、フィルム状接着剤及び中間層の互いに接触していた面同士が180°の角度を為すように、フィルム状接着剤及び補強基材の積層物を、剥離速度300mm/minで中間層から引き剥がす、所謂180°剥離を行う。このときの剥離力を測定して、その測定値を中間層とフィルム状接着剤との間の剥離力(N/25mm)とする。測定に供する試験片の長さは、剥離力を安定して測定できる範囲であれば、特に限定されない。
ここで、「フィルム状接着剤の厚さ」とは、フィルム状接着剤全体の厚さを意味し、例えば、複数層からなるフィルム状接着剤の厚さとは、フィルム状接着剤を構成するすべての層の合計の厚さを意味する。
次に、前記接着剤組成物について説明する。
好ましい接着剤組成物としては、例えば、重合体成分(a)及びエポキシ系熱硬化性樹脂(b)を含有するものが挙げられる。以下、各成分について説明する。
なお、以下に示す接着剤組成物は、好ましいものの一例であり、本発明における接着剤組成物は、以下に示すものに限定されない。
重合体成分(a)は、重合性化合物が重合反応して形成されたとみなせる成分であり、フィルム状接着剤に造膜性や可撓性等を付与すると共に、半導体チップ等の接着対象への接着性(貼付性)を向上させるための重合体化合物である。また、重合体成分(a)は、後述するエポキシ樹脂(b1)及び熱硬化剤(b2)に該当しない成分でもある。
エポキシ系熱硬化性樹脂(b)は、エポキシ樹脂(b1)及び熱硬化剤(b2)からなる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤が含有するエポキシ系熱硬化性樹脂(b)は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
エポキシ樹脂(b1)としては、公知のものが挙げられ、例えば、多官能系エポキシ樹脂、ビフェニル化合物、ビスフェノールAジグリシジルエーテル及びその水添物、オルソクレゾールノボラックエポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、フェニレン骨格型エポキシ樹脂等、2官能以上のエポキシ化合物が挙げられる。
熱硬化剤(b2)は、エポキシ樹脂(b1)に対する硬化剤として機能する。
熱硬化剤(b2)としては、例えば、1分子中にエポキシ基と反応し得る官能基を2個以上有する化合物が挙げられる。前記官能基としては、例えば、フェノール性水酸基、アルコール性水酸基、アミノ基、カルボキシ基、酸基が無水物化された基等が挙げられ、フェノール性水酸基、アミノ基、又は酸基が無水物化された基であることが好ましく、フェノール性水酸基又はアミノ基であることがより好ましい。
熱硬化剤(b2)のうち、アミノ基を有するアミン系硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド(DICY)等が挙げられる。
前記フィルム状接着剤が含有する他の成分で好ましいものとしては、例えば、硬化促進剤(c)、充填材(d)、カップリング剤(e)、架橋剤(f)、エネルギー線硬化性樹脂(g)、光重合開始剤(h)、汎用添加剤(i)等が挙げられる。
硬化促進剤(c)は、接着剤組成物の硬化速度を調節するための成分である。
好ましい硬化促進剤(c)としては、例えば、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン、ジメチルアミノエタノール、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の第3級アミン;2-メチルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール類(1個以上の水素原子が水素原子以外の基で置換されたイミダゾール);トリブチルホスフィン、ジフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィン等の有機ホスフィン類(1個以上の水素原子が有機基で置換されたホスフィン);テトラフェニルホスホニウムテトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィンテトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等が挙げられる。
フィルム状接着剤は、充填材(d)を含有することにより、エキスパンドによるその切断性がより向上する。また、フィルム状接着剤が充填材(d)を含有することにより、その熱膨張係数の調整が容易となり、この熱膨張係数をフィルム状接着剤の貼付対象物に対して最適化することで、フィルム状接着剤を用いて得られたパッケージの信頼性がより向上する。また、フィルム状接着剤が充填材(d)を含有することにより、硬化後のフィルム状接着剤の吸湿率を低減したり、放熱性を向上させたりすることもできる。
好ましい無機充填材としては、例えば、シリカ、アルミナ、タルク、炭酸カルシウム、チタンホワイト、ベンガラ、炭化ケイ素、窒化ホウ素等の粉末;これら無機充填材を球形化したビーズ;これら無機充填材の表面改質品;これら無機充填材の単結晶繊維;ガラス繊維等が挙げられる。
これらの中でも、無機充填材は、シリカ又はアルミナであることが好ましい。
フィルム状接着剤は、カップリング剤(e)を含有することにより、被着体に対する接着性及び密着性が向上する。また、フィルム状接着剤がカップリング剤(e)を含有することにより、その硬化物は耐熱性を損なうことなく、耐水性が向上する。カップリング剤(e)は、無機化合物又は有機化合物と反応可能な官能基を有するものである。
重合体成分(a)として、上述のアクリル系樹脂等の、他の化合物と結合可能なビニル基、(メタ)アクリロイル基、アミノ基、水酸基、カルボキシ基、イソシアネート基等の官能基を有するものを用いる場合、接着剤組成物及びフィルム状接着剤は、前記官能基を他の化合物と結合させて架橋するための架橋剤(f)を含有していてもよい。架橋剤(f)を用いて架橋することにより、フィルム状接着剤の初期接着力及び凝集力を調節できる。
フィルム状接着剤は、エネルギー線硬化性樹脂(g)を含有していることにより、エネルギー線の照射によって特性を変化させることができる。
前記エネルギー線硬化性化合物としては、例えば、分子内に少なくとも1個の重合性二重結合を有する化合物が挙げられ、(メタ)アクリロイル基を有するアクリレート系化合物が好ましい。
接着剤組成物は、エネルギー線硬化性樹脂(g)を含有する場合、エネルギー線硬化性樹脂(g)の重合反応を効率よく進めるために、光重合開始剤(h)を含有していてもよい。
また、光重合開始剤(h)としては、例えば、アミン等の光増感剤等も挙げられる。
汎用添加剤(I)は、公知のものでよく、目的に応じて任意に選択でき、特に限定されないが、好ましいものとしては、例えば、可塑剤、帯電防止剤、酸化防止剤、着色剤(染料、顔料)、ゲッタリング剤等が挙げられる。
接着剤組成物及びフィルム状接着剤の含有量は、特に限定されず、目的に応じて適宜選択すればよい。
接着剤組成物は、さらに溶媒を含有することが好ましい。溶媒を含有する接着剤組成物は、取り扱い性が良好となる。
前記溶媒は特に限定されないが、好ましいものとしては、例えば、トルエン、キシレン等の炭化水素;メタノール、エタノール、2-プロパノール、イソブチルアルコール(2-メチルプロパン-1-オール)、1-ブタノール等のアルコール;酢酸エチル等のエステル;アセトン、メチルエチルケトン等のケトン;テトラヒドロフラン等のエーテル;ジメチルホルムアミド、N-メチルピロリドン等のアミド(アミド結合を有する化合物)等が挙げられる。
接着剤組成物が含有する溶媒は、1種のみでもよいし、2種以上でもよく、2種以上である場合、それらの組み合わせ及び比率は任意に選択できる。
接着剤組成物は、これを構成するための各成分を配合することで得られる。
各成分の配合時における添加順序は特に限定されず、2種以上の成分を同時に添加してもよい。
溶媒を用いる場合には、溶媒を溶媒以外のいずれかの配合成分と混合してこの配合成分を予め希釈しておくことで用いてもよいし、溶媒以外のいずれかの配合成分を予め希釈しておくことなく、溶媒をこれら配合成分と混合することで用いてもよい。
各成分の添加及び混合時の温度並びに時間は、各配合成分が劣化しない限り特に限定されず、適宜調節すればよいが、温度は15~30℃であることが好ましい。
前記ダイボンディングシートは、上述の各層を対応する位置関係となるように積層することで製造できる。各層の形成方法は、先に説明したとおりである。
前記ダイボンディングシートは、剥離フィルムを備えていない状態で、フィルム状接着剤の第1面(図1に示すダイボンディングシート101の場合には、フィルム状接着剤14の第1面14a)が、ダイシング後の半導体ウエハの裏面に貼付されて、使用される。ここで、「ダイシング後の半導体ウエハ」とは、複数個の半導体チップがあらかじめ整列した状態となっているもの、又はこのように整列した複数個の半導体チップ以外に、半導体ウエハ中の半導体チップへの分割が行われていない領域を含むものを意味する。
半導体ウエハの大きさは、特に限定されず、例えば、8インチサイズ又は12インチサイズのもの等、当該分野で汎用される大きさのものを適宜使用できる。
ただし、エキスパンドによるフィルム状接着剤の切断時において、中間層からのフィルム状接着剤の浮きや飛散がより抑制される点から、半導体ウエハの直径は、ダイボンディングシート中の中間層の直径に対して、0.91~1.09倍であることが好ましく、0.93~1.07倍であることがより好ましく、0.95~1.05倍であることが特に好ましい。すなわち、[半導体ウエハの直径]/[ダイボンディングシート中の中間層の直径]の値は、0.91~1.09であることが好ましく、0.93~1.07であることがより好ましく、0.95~1.05であることが特に好ましい。
半導体ウエハのダイシング時にバックグラインドテープを用いた場合には、半導体チップ等にダイボンディングシートを貼付した後で、かつこのエキスパンド前の段階で、バックグラインドテープを半導体チップ等から取り除けばよい。
<ダイボンディングシートの製造>
基材としてポリエチレン(PE)フィルム(厚さ120μm)を用意し、粘着剤層として強粘タイプ接着フィルム(リンテック社製、アクリル酸アルキルエステルを主成分とするアクリル系強粘着剤を用いた接着フィルム、厚さ10μm)を用意し、中間層としてエチレン酢酸ビニル共重合体(EVA)フィルム(厚さ120μm)を用意した。また、フィルム状接着剤として、重合体成分(a)-1(100質量部)、エポキシ樹脂(b1)-1(10質量部)、熱硬化剤(b2)-1(1.5質量部)、充填材(d)-1(75質量部)、カップリング剤(e)-1(0.5質量部)、及び架橋剤(f)-1(0.5質量部)を含有するもの(厚さ20μm)を用意した。これら含有成分の略号を以下に示す。
(a)-1:アクリル酸メチル(95質量部)及びアクリル酸-2-ヒドロキシエチル(5質量部)を共重合してなるアクリル系樹脂(重量平均分子量800000、ガラス転移温度9℃)。
[エポキシ樹脂(b1)]
(b1)-1:アクリロイル基が付加されたクレゾールノボラック型エポキシ樹脂(日本化薬社製「CNA147」、エポキシ当量518g/eq、数平均分子量2100、不飽和基含有量はエポキシ基と等量)
[熱硬化剤(b2)]
(b2)-1:アラルキル型フェノール樹脂(三井化学社製「ミレックスXLC-4L」、数平均分子量1100、軟化点63℃)
[充填材(d)]
(d)-1:球状シリカ(アドマテックス社製「YA050C-MJE」、平均粒径50nm、メタクリルシラン処理品)
[カップリング剤(e)]
(e)-1:シランカップリング剤、3-グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン(信越シリコーン社製「KBE-402」)
[架橋剤(f)]
(f)-1:トリレンジイソシアナート系架橋剤(東ソー社製「コロネートL」)
(中間層の引張弾性率及び引張強度の測定、引張強度比の算出)
中間層を裁断して、幅が15mmであり、長さが50mmより長い試験片を作製した。
電気機械式万能試験機(インストロン社製)を用いて、その2個の挟み治具で、これら2個の挟み治具間の距離が50mmとなるように、この試験片を挟んで保持した。そして、0℃の条件下で、引張速度200mm/minで、これら挟み治具によって試験片をMD方向に引っ張り、引張弾性率を測定した。また、このとき、試験片の長さが、引っ張る前の試験片の長さの25%分だけ伸びたとき(引張伸度が25%のとき)の強度を測定し、引張強度とした。別の試験片を用いて、同様の測定をTD方向について行い、引張強度比を算出した。結果を表1に示す。なお、表1中、評価結果の欄の「-」との記載は、その項目が未評価であることを意味する。
上述の中間層とフィルム状接着剤とを貼り合わせて積層フィルムを作製し、そのフィルム状接着剤の露出面(中間層が積層されていない側の表面)に、ポリエチレンテレフタレート(PET)製フィルム(厚さ50μm)を貼り合わせて、3層構造の積層シートを作製した。さらに、この積層シートを裁断して、幅25mmの試験片を作製した。
得られた試験片の中間層の露出面(フィルム状接着剤が積層されていない側の表面)を、ポリ塩化ビニル(PVC)製プレートに貼り合わせることで、試験片を固定した。
次いで、0℃の条件下で、フィルム状接着剤及び中間層の互いに接触していた面同士が180°の角度を為すように、フィルム状接着剤及びPET製フィルムの積層物を、剥離速度300mm/minで中間層から引き剥がして180°剥離を行い、このときの剥離力(N/25mm)を測定した。結果を表1に示す。
(エキスパンドによるフィルム状接着剤の切断性の評価)
直径200mmのシリコンウエハに対して、大きさが10mm×10mmのシリコンチップが多数得られるように、表面から途中の深さまで切れ込みを形成してハーフカットを行った。
次いで、このハーフカットを行ったシリコンウエハの、切れ込みを形成した面に、表面保護テープ(リンテック社製「Adwill E-3125KN)を貼付した。そして、グラインダー(DISCO社製「DFG8760」)を用いて、シリコンウエハの、この表面保護テープを貼付した面(前記切れ込みを形成した面)とは反対側の面を研削した。このときの研削は、シリコンウエハの厚さが50μmになるまで行い、研削面をドライポリッシュ仕上げとした。そして、このときの半導体ウエハに加えられる研削時の力を利用することによって、前記切れ込みの形成部位において半導体ウエハを分割し、複数個のシリコンチップを形成した。
[切断率(%)]=[エキスパンドによって実際に切断されたフィルム状接着剤の箇所の総数]/[エキスパンドによって切断されるべきフィルム状接着剤の箇所の総数]×100
(評価基準)
A:切断率が80%以上100%以下である。
B:切断率が70%以上80%未満である。
C:切断率が70%未満である。
上述の、エキスパンド後の前記積層構造体の観察時に、下記方法によってカーフ保持性を評価した。
すなわち、エキスパンド後の前記積層構造体には、中間層のMD方向に伸びる複数本のカーフと、中間層のTD方向に伸びる複数本のカーフと、によって、カーフが網目状に形成されているが、中間層のMD方向に伸びるカーフと、中間層のTD方向に伸びるカーフと、の交差部位(換言すると直交部位)のうち、分割前のシリコンウエハのほぼ中心部に相当する中央の交差部位(本明細書においては、「第1の交差部位」と称することもある)と、分割前のシリコンウエハの外周に位置が最も近く、かつ中間層のTD方向において前記中央の交差部位(第1の交差部位)と同じ位置にある2箇所の交差部位(本明細書においては、それぞれ「第2の交差部位」、「第4の交差部位」と称することもある)と、分割前のシリコンウエハの外周に位置が最も近く、かつ中間層のMD方向において前記中央の交差部位(第1の交差部位)と同じ位置にある2箇所の交差部位(本明細書においては、それぞれ「第3の交差部位」、「第5の交差部位」と称することもある)と、の合計5箇所において、中間層のMD方向及びTD方向のそれぞれのカーフ幅を測定した。すなわち、交差部位1箇所につき、カーフ幅の測定値は、前記MD方向及びTD方向それぞれ1個ずつ、合計2個とし、カーフ幅の測定値の総数を、交差部位5箇所合計で10個とした。
なお、図3は、カーフ幅の測定箇所を説明するために、前記積層構造体を模式的に示す平面図であり、ここでは、カーフ幅がどこでも一定である場合を示しているが、これは例示に過ぎない。同一の前記積層構造体においても、カーフの位置によって、カーフ幅は変化し得るし、また、実施例及び比較例ごとに、前記積層構造体における同じ位置のカーフであっても、カーフ幅は変化し得る。
(評価基準)
A:カーフ幅の平均値が10μm以上である。
B:カーフ幅の平均値が10μm未満である。
上述の、エキスパンド後の前記積層構造体の観察時に、フィルム状接着剤の中間層からの浮きの有無と、浮きがある場合には、その程度を確認した。そして、浮きが2mm未満である場合を「A」と判定し、浮きが2mm以上である場合を「B」と判定した。また、フィルム状接着剤の中間層からの飛散の有無を確認した。そして、中間層からの飛散が全く見られなかった場合を「A」と判定し、中間層からの飛散が僅かでも見られた場合を「B」と判定した。結果を表1に示す。
[実施例2]
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ80μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表1に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ50μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表1に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ25μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表1に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、ポリプロピレン(PP)フィルム(厚さ50μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表1に示す。
中間層及びフィルム状接着剤の直径を、いずれも、後述するダイボンディングシートの評価時に用いるシリコンウエハの直径に対して1.05倍([シリコンウエハの直径]/[中間層及びフィルム状接着剤の直径]=0.95)とした点以外は、実施例2と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造した。このとき、シリコンウエハ、フィルム状接着剤及び中間層の中心がいずれも一致するように、シリコンウエハの貼付位置を調節した。
そして、得られたダイボンディングシートについて、実施例1と同じ方法で評価した。結果を表1に示す。
中間層及びフィルム状接着剤の直径を、いずれも、後述するダイボンディングシートの評価時に用いるシリコンウエハの直径に対して0.95倍([シリコンウエハの直径]/[中間層及びフィルム状接着剤の直径]=1.05)とした点以外は、実施例2と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造した。このとき、シリコンウエハ、フィルム状接着剤及び中間層の中心がいずれも一致するように、シリコンウエハの貼付位置を調節した。
そして、得られたダイボンディングシートについて、実施例1と同じ方法で評価した。結果を表1に示す。
基材としてPEフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ120μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表1に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ140μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
中間層及びフィルム状接着剤の直径を、いずれも、後述するダイボンディングシートの評価時に用いるシリコンウエハの直径に対して0.9倍([シリコンウエハの直径]/[中間層及びフィルム状接着剤の直径]=1.1)とした点以外は、実施例2と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造した。このとき、シリコンウエハ、フィルム状接着剤及び中間層の中心がいずれも一致するように、シリコンウエハの貼付位置を調節した。
そして、得られたダイボンディングシートについて、実施例1と同じ方法で評価した。結果を表2に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、PPフィルム(厚さ80μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、EVAフィルム(厚さ50μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
なお、本比較例で用いた前記EVAフィルムは、実施例3で用いているEVAフィルムとは、メーカーが異なり、フィルムとしての特性が異なっている。これを反映して、表1に示すとおり、中間層の引張弾性率、中間層の引張強度、中間層の引張強度比等が、本比較例と実施例3とでは、互いに異なっている。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、PPフィルム(厚さ80μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
なお、本比較例で用いた前記PPフィルムは、比較例1で用いているPPフィルムとは、メーカーが異なり、フィルムとしての特性が異なっている。これを反映して、表1及び表2に示すとおり、中間層の引張弾性率、中間層の引張強度、中間層の引張強度比等が、本比較例と比較例1とでは、互いに異なっている。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、PEフィルム(厚さ80μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、ポリイミド(PI)フィルム(厚さ50μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
中間層として、EVAフィルム(厚さ120μm)に代えて、ポリブチレンテレフタレート(PBT)フィルム(厚さ80μm)を用いた点以外は、実施例1と同じ方法で、ダイボンディングシートを製造し、評価した。結果を表2に示す。
Claims (5)
- 基材を備え、前記基材上に、粘着剤層、中間層及びフィルム状接着剤がこの順に積層されてなるダイボンディングシートであって、
前記ダイボンディングシートは、前記ダイボンディングシートのエキスパンドによって、前記フィルム状接着剤を切断するためのものであり、
前記中間層の0℃における引張弾性率が80MPa以下、0℃における引張強度が30N/15mm以下であり、
前記中間層と前記フィルム状接着剤との間の0℃における剥離力が0.2N/25mm以上である、ダイボンディングシート。 - 前記基材のMD方向と、前記中間層のMD方向と、が直交している、請求項1に記載のダイボンディングシート。
- 基材を備え、前記基材上に、粘着剤層、中間層及びフィルム状接着剤がこの順に積層されてなり、
前記中間層の0℃における引張弾性率が80MPa以下、0℃における引張強度が30N/15mm以下であり、
前記中間層と前記フィルム状接着剤との間の0℃における剥離力が0.2N/25mm以上であり、
前記基材のMD方向と、前記中間層のMD方向と、が直交している、ダイボンディングシート。 - [前記中間層の0℃におけるMD方向の引張強度(N/15mm)]/[前記中間層の0℃におけるTD方向の引張強度(N/15mm)]の引張強度比が、0.75~1.25である、請求項1~3のいずれか一項に記載のダイボンディングシート。
- 前記中間層の厚さが130μm以下である、請求項1~4のいずれか一項に記載のダイボンディングシート。
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