JP2019197802A - Daf - Google Patents
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Abstract
Description
実施形態1に係るDAF(Die Attached Film;ダイアタッチフィルム)について説明する。図1は、実施形態1に係るDAFを有する粘着シートの一例を示す斜視図である。図2は、図1のI−I断面図である。図3は、DAFに形成された改質層の一例を示す平面図である。図4は、DAFが貼着される被加工物の一例を示す斜視図である。図5は、DAF及びエキスパンドテープが貼着された被加工物の一例を示す斜視図である。
1/2L2≦La<L2 (1)
を満たすように形成してもよい。この構成によれば、一連の改質層20のラインの間隔Laは、ウエーハ121の分割予定ライン102の幅L2よりも小さいため、DAF115の改質層20は、分割予定ライン102に対応する位置に形成されることにより、ウエーハ121に貼着されたDAF115をデバイスチップごとに容易に分割することができる。また、一連の改質層20のラインの間隔Laを、ウエーハ121の分割予定ライン102の幅L2の1/2以上とすることにより、DAF115に形成される改質層20を抑制することができ、該改質層20を形成する工程の長時間化を抑制できる。
次に、実施形態2に係るDAFについて説明する。図6は、実施形態2に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大図である。図7は、実施形態2に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大断面図である。この実施形態2では、改質層20が形成されるパターンが上記した実施形態1と異なり、その他の構成は同一であるため、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
次に、実施形態3に係るDAFについて説明する。図8は、実施形態3に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大図である。図9は、実施形態3に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大断面図である。この実施形態3についても、改質層20が形成されるパターンが上記した実施形態1と異なり、その他の構成は同一であるため、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
次に、実施形態4に係るDAFについて説明する。図10は、実施形態4に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す図である。図11は、実施形態4に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分断面図である。この図11では、説明の便宜上、第1の方向10に沿って延びる改質層20のみを描いているが、第2の方向11に沿って延びる改質層20を備えることができることは勿論である。この実施形態4についても、改質層20が形成されるパターンが上記した実施形態1と異なり、その他の構成は同一であるため、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
次に、実施形態5に係るDAFについて説明する。図12は、実施形態5に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大図である。図13は、実施形態5に係るDAFに形成された改質層のパターンを示す部分拡大断面図である。この図12では、説明の便宜上、第1の方向10に沿って延びる改質層20のみを描いているが、第2の方向11に沿って延びる改質層20を備えることができることは勿論である。この実施形態5ついても、改質層20が形成されるパターンが上記した実施形態1と異なり、その他の構成は同一であるため、同一の構成については、同一の符号を付して説明を省略する。
20 改質層
20A 第1改質層
20B 第2改質層
102 分割予定ライン
103 デバイス
111 粘着シート
113 剥離シート
115、115A、115B、115C、115D DAF
115C1 中央部
115C2 外周部
115D1 表面
115D2 裏面
117 エキスパンドテープ
117a 樹脂層
117b 粘着層
121 ウエーハ(被加工物)
121A 表面
121B 裏面
133 フレーム
200 板状物
Claims (6)
- 内部に破断起点となる改質層が形成されたDAF。
- 該改質層がスポット状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のDAF。
- 貼着対象の被加工物と同形であり、
該改質層は、中央部が外周部より多いことを特徴とする請求項1に記載のDAF。 - 該改質層として該DAFの表面に露出する位置に形成された第1改質層と、該改質層として該DAFの裏面に露出する位置に形成された第2改質層とを備え、該第1改質層と該第2改質層とが交互に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のDAF。
- エキスパンドテープの上に積層されて該エキスパンドテープと一体に成形されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のDAF。
- 該DAFは、ロール状に巻回されていることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のDAF。
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