JP6243165B2 - 接着シート及び接着シート貼付方法 - Google Patents

Description

本発明は、少なくとも１層の基材シートと、当該基材シートの少なくとも一方の面に積層された接着剤層とを備え、内側に開口部を有するフレーム部材に貼付される接着シート及び当該接着シートの貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単に「ウエハ」という場合がある）における搬送等の取り扱いを容易にするために、ウエハとリングフレーム（フレーム部材）とを一体化するマウント用シート（接着シート）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００２−１４１３０９号公報

しかしながら、特許文献１に記載された接着シートでは、当該接着シートの接着力が弱いと、例えば、フレーム部材を支持して搬送している途中で当該接着シートがフレーム部材から剥がれてしまい、ウエハを落下させてしまうという不都合がある。一方、接着力を強くすればウエハ落下の不都合は抑制できるものの、ウエハの搬送後や加工後に接着シートをフレーム部材から剥離しにくくなるという不都合が生じる。

本発明の目的は、接着材の接着力を強くすることなく剥がれにくくフレーム部材に貼付することができる接着シート及び当該接着シートの貼付方法を提供することにある。

前記目的を達成するため、本発明の接着シートは、少なくとも１層の基材シートと、当該基材シートの少なくとも一方の面に積層された接着剤層とを備え、内側に開口部を有するフレーム部材に貼付される接着シートであって、前記開口部の一部又は全部を塞ぐように前記フレーム部材の一の面に貼付されたときに、当該フレーム部材の一の面に当接する外側部と、前記外側部よりも内側において、前記開口部を塞ぐ開口面に位置する内側部と、前記開口面から外れる方向に変位させて前記フレーム部材の他の面に貼付可能に設けられた他面貼付部とを備え、前記他面貼付部は、前記内側部において少なくとも前記基材シートを切断した切断部と、周辺部と連結された連結部とが交互に並ぶことにより形成され、１つの前記連結部が破断されずに他の前記連結部が破断され、当該１つの連結部を基端部として折り曲げられることにより、前記他の面に貼付されることを特徴とする。

さらに、本発明の接着シートでは、前記切断部は、少なくとも前記基材シートの一部が除去されることで形成されることが好ましい。

また、本発明の接着シートでは、複数層の前記基材シートを備え、前記複数層の基材シートのうち少なくとも接着剤層の反対側に位置する最外層の基材シートに前記他面貼付部が形成されていないことが好ましい。

一方、本発明の接着シート貼付方法は、接着シートを前記フレーム部材に貼付する接着シート貼付方法であって、前記接着シートの外側部を前記フレーム部材の一の面に貼付し、前記開口部を塞ぐ開口面から外れる方向に変位させた前記他面貼付部を当該フレーム部材の他の面に貼付することを特徴とする。

以上のような本発明によれば、外側部をフレーム部材の一の面に貼付するとともに、他面貼付部を当該フレーム部材の他の面に貼付することで、接着シートがフレーム部材の異なる２面に貼付されるので、接着材の接着力を強くすることなく剥がれにくくフレーム部材に貼付することができる。

更に、区画部が少なくとも基材シートの一部を除去可能に形成されていれば、貼付前に他面貼付部が開口面から変位することを確実に防止することができる上、基材シートと接着剤層とを除去可能な構成とすれば、除去された部分によって他面貼付部が周辺部から離隔するので、当該他面貼付部が周辺部と接着してしまうことを防止し、当該他面貼付部を容易に開口面から変位させることができる。
また、複数の基材シートのうち少なくとも接着剤層の反対側に位置する最外の基材シートに前記他面貼付部が形成されていない構成とすれば、接着シートの面方向への引張強度が低下することを極力抑えることができる。

（Ａ）は、本発明の実施形態に係る接着シートの平面図。（Ｂ）は、（Ａ）の断面図。 （Ａ）、（Ｂ）は、図１の接着シートの使用例を示す斜視図。 図１の接着シートの使用例を示す部分断面図。 本発明の第１変形例に係る接着シートの使用例を示す部分断面図。 （Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の第２変形例に係る接着シートの部分平面図。

以下、本発明の１実施形態を図面に基づいて説明する。
尚、本明細書におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸及びＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な図１の手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

図１に示すように、接着シート１０は、１層の基材シートＢＳと、当該基材シートＢＳの一方の面ＢＳ１に積層された接着剤ＡＤ層とを備え、内側に開口部ＲＦ１を有するフレーム部材としてのリングフレームＲＦに貼付されるものであって、開口部ＲＦ１の全部を塞ぐようにリングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に貼付されたときに、当該リングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に当接する外側部２０と、外側部２０よりも内側において、開口部ＲＦ１を塞ぐ開口面に位置する内側部３０と、内側部３０に形成された区画部４０によって周辺部３１と区画されるとともに、開口面から外れる方向に変位させてリングフレームＲＦの他の面ＲＦ３に貼付可能に設けられた他面貼付部５０とを備えている。

この接着シート１０は、例えば、図２に示すように、被保持体としてのウエハＷＦとリングフレームＲＦとを一体化するものに使用することができ、感圧接着性の接着剤や感熱接着性の接着剤等によってウエハＷＦ及びリングフレームＲＦに接着される。また、接着剤ＡＤ層は、例えば、光硬化型（紫外線硬化型）の接着剤で構成され、ウエハＷＦの加工後に所定波長の光（紫外線）を照射して硬化させることで、その接着力を低下させてウエハＷＦから簡単に剥離できるようになっている。尚、基材シートＢＳ及び接着剤ＡＤ層は、使用目的に応じて様々な種類のものを選択することができ、接着剤ＡＤ層は、光硬化型の接着剤でなくてもよく、例えば、特開２００２−１４１３０９号公報、特開２００５−１２３３８２号公報、特開２００８−１５０６１３号公報、特開２０１３−６２４４５号公報等に開示されたものが例示でき、特にそれらに限定されるものではない。

外側部２０は、接着シート１０がリングフレームＲＦに貼付されたときに、当該リングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に当接する接着シート１０の一部であり、リングフレームＲＦや開口部ＲＦ１の大きさによってその領域は異なり、内側部３０との相対的な位置関係となる。

内側部３０は、接着シート１０がリングフレームＲＦに貼付されたときに、当該リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を繋ぐ開口面に位置する接着シート１０の一部であり、本実施形態の場合、リングフレームＲＦの一の面ＲＦ２側の内周縁を繋いだ面が開口面となる。

他面貼付部５０は、切断部６０と連結部７０とを備えた区画部４０によって形成され、円形形状に形成された接着シート１０の中心Ｐ１を中心として略９０度間隔で４ヶ所に設けられている。

切断部６０は、図１（Ａ）中ＡＡで示すように、左端６１Ａと右端６１Ｂとによって左右方向に延びる第１切断部６１と、第１切断部６１の左端６１Ａ側で前端６２Ａと後端６２Ｂとによって前後方向に延びる第２切断部６２と、第１切断部６１の右端６１Ｂ側で前端６３Ａと後端６３Ｂとによって前後方向に延びる第３切断部６３とを備えている。

連結部７０は、破断されることで他面貼付部５０を開口面から変位可能にするものであってもよいし、破断されずに他面貼付部５０の基端部となってもよく、第１切断部６１の左端６１Ａと第２切断部６２の前端６２Ａとの間に形成された第１連結部７１と、第１切断部６１の右端６１Ｂと第３切断部６３の前端６３Ａとの間に形成された第２連結部７２と、第２切断部６２の後端６２Ｂと第３切断部６３の後端６３Ｂとの間に形成されるとともに、第１及び第２連結部７１、７２に比べて幅広に形成された第３連結部７３とを備えている。第１及び第２連結部７１、７２は、容易に破断することができるようにその幅が狭く形成されている。第３連結部７３は、他面貼付部５０が折り曲げられる際に当該他面貼付部５０の基端部となる。

ここで、他面貼付部５０は、第１〜第３切断部６１〜６３及び第１〜第３連結部７１〜７３とで囲まれる部分によって形成され、第１及び第２連結部７１、７２を破断することで、開口面から外れる方向に変位可能になっている。

以上の接着シート１０をリングフレームＲＦ及びウエハＷＦに貼付する手順について説明する。
まず、人手または適宜なシート貼付装置によって、図１（Ｂ）に示すように、接着シート１０の外側部２０をリングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に押圧して貼付するとともに、内側部３０をウエハＷＦに貼付する。次に、人手または適宜な駆動機器によって、第１及び第２連結部７１、７２を破断し、他面貼付部５０を開口面から外れる方向、即ち、図１（Ｂ）の矢印方向に折り曲げ、図３に示すように、他面貼付部５０をリングフレームＲＦの他の面ＲＦ３に押圧して貼付する。これにより、接着シート１０は、図２にも示すように、外側部２０と他面貼付部５０とでリングフレームＲＦを挟み込むように貼付される。

このような本実施形態によれば、以下のような効果がある。
即ち、外側部２０をリングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に貼付するとともに、他面貼付部５０を当該リングフレームＲＦの他の面ＲＦ３に貼付することで、接着シート１０がリングフレームＲＦの異なる２面に貼付されるので、接着力を強くすることなく剥がれにくくリングフレームＲＦに貼付することができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法などは、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。従って、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部、もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。

例えば、接着シート１０は、開口部ＲＦ１の一部を塞ぐようにリングフレームＲＦの一の面ＲＦ２に貼付されるものでもよい。
更に、接着シート１０の形状は、円形以外の長方形、楕円形、その他の形状であってもよい。

また、区画部４０は、第１及び第２連結部７１、７２がなく、第３連結部７３とコ字状の切断部で形成されてもよいし、第３連結部７３と容易に破断可能な少なくとも１の連結部７０によって形成されてもよい。
更に、区画部４０は、図５（Ａ）に示すように、環状に連続した切断部６４のみによって構成されていてもよい。
また、区画部４０は、接着シート１０の少なくとも１箇所に形成されていればよく、直線や曲線、それらを組み合わせた線状の切断部によって任意の形状に形成することができる。
更に、区画部４０は、図５（Ｂ）に示すように、連結部７５及び切断部６５が交互に並んで形成されたミシン目によって形成されていてもよい。
また、区画部４０は、図５（Ｃ）に示すように、他面貼付部５０が周辺部３１と連結された状態から少なくとも基材シートＢＳの一部が除去されることで他面貼付部５０を形成してもよい。この場合、基材シートＢＳを切り取りやすくするために、糸や樹脂等の切取部材を基材シートＢＳに設けたり、基材シートＢＳに押し溝や切り取り線を設けたりするとよい。

更に、他面貼付部５０は、図４に示すように、リングフレームＲＦを巻き込んで外側部２０にまで貼付可能な構成としてもよい。これにより、例えば、リングフレームＲＦに付着物が付いていたり、リングフレームＲＦ自体に接着し難い接着剤ＡＤ層が採用されていたりしても、確実に剥がれにくくしてリングフレームＲＦに貼付することができる。尚、他面貼付部５０は、リングフレームＲＦを巻き込んで外側部２０に達することなく、一の面ＲＦ２に貼付可能な構成でもよい。
また、他面貼付部５０は、リングフレームＲＦの上下方向の幅が広い場合、リングフレームＲＦの開口部ＲＦ１を形成する内側面を他の面としてこの内側面のみに貼付され、外側部２０とでリングフレームＲＦの２面に貼付される構成としてもよい。

更に、切断部６０は、基材シートＢＳだけに設けてもよいし、基材シートＢＳ及び接着剤層ＡＤに設けてもよい。

また、連結部７０の代わり又は連結部７０と併用して、他面貼付部５０と周辺部３１とを連結する外部連結部材を設けてもよい。外部連結部材としては、接着シート１０と同等又は違う構成の接着シートや粘着テープ等が例示できる。
更に、基材シートＢＳは、複数で構成されていてもよく、この場合、全ての基材シートＢＳに区画部４０が形成されている構成としてもよいし、複数層の基材シートＢＳのうち少なくとも接着剤ＡＤ層の反対側に位置する最外の基材シートに区画部４０が形成されていない構成としてもよい。最外の基材シートに区画部４０を形成しないことで、全ての基材シートＢＳに区画部４０が形成されている構成のものに比べて、接着シート１０の面方向への引張強度を強くすることができ、例えば、ウエハＷＦのダイシング後のエキスパンド工程において接着シート１０が破断してしまうことを防止することができる。

また、本発明における接着シート、フレーム部材、被保持体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートは、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態に限定されることはなく、例えば、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、基材シートが２層以上のものや、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、基材シートの上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材シートを接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、フレーム部材は、内側に開口部を有するものであれば何ら限定されることはなく、リングフレームＲＦのように、１の平面内に１の開口部を有するもの以外に、１の平面内に複数の開口部を有するものや、所定の角度で折れ曲がることで、２以上の面に１又は複数の開口部を有するものや、所定の曲率で曲がることで、湾曲した面に１又は複数の開口部を有するものであってもよい。尚、湾曲した面に開口部を有するフレーム部材の場合、開口面は平面ではなく、当該湾曲した面に沿う湾曲面となる。更に、フレーム部材は、額縁や中央に孔の空いた板状部材等であってもよいし、開口部全周に存在することなく、例えばＣ字、Ｕ字、Ｖ字、コ字状の閉ループ状であってもよい。更に、被保持体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができるし、省略していてもよい。
更に、本発明における各構成物は、それら構成物について説明した機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる１実施形態の構成物に全く限定されるものではない。例えば、他面貼付部は、内側部に形成された区画部によって周辺部と区画されるとともに、開口面から外れる方向に変位させてフレーム部材の他の面に貼付可能に設けられたものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない（他の構成物についての説明は省略する）。

１０ 接着シート
２０ 外側部
３０ 内側部
３１ 周辺部
４０ 区画部
５０ 他面貼付部
６０ 切断部
７０ 連結部
ＡＤ 接着剤層
ＢＳ 基材シート
ＲＦ リングフレーム（フレーム部材）
ＲＦ１ 開口部
ＲＦ２ 一の面
ＲＦ３ 他の面

Claims (6)

1. 少なくとも１層の基材シートと、当該基材シートの少なくとも一方の面に積層された接着剤層とを備え、内側に開口部を有するフレーム部材に貼付される接着シートであって、
   前記開口部の一部又は全部を塞ぐように前記フレーム部材の一の面に貼付されたときに、当該フレーム部材の一の面に当接する外側部と、
   前記外側部よりも内側において、前記開口部を塞ぐ開口面に位置する内側部と、
   前記開口面から外れる方向に変位させて前記フレーム部材の他の面に貼付可能に設けられた他面貼付部とを備え、
   前記他面貼付部は、前記内側部において少なくとも前記基材シートを切断した切断部と、周辺部と連結された連結部とが交互に並ぶことにより形成され、１つの前記連結部が破断されずに他の前記連結部が破断され、当該１つの連結部を基端部として折り曲げられることにより、前記他の面に貼付されることを特徴とする接着シート。
2. 少なくとも１層の基材シートと、当該基材シートの少なくとも一方の面に積層された接着剤層とを備え、内側に開口部を有するフレーム部材に貼付される接着シートであって、
   前記開口部の一部又は全部を塞ぐように前記フレーム部材の一の面に貼付されたときに、当該フレーム部材の一の面に当接する外側部と、
   前記外側部よりも内側において、前記開口部を塞ぐ開口面に位置する内側部と、
   前記開口面から外れる方向に変位させて前記フレーム部材の他の面に貼付可能に設けられた他面貼付部とを備え、
   前記他面貼付部は、前記内側部において少なくとも前記基材シートを切断した環状の切断部によって形成され、外部連結部材によって周辺部と連結されることにより、当該外部連結部材を基端部として折り曲げられて前記他の面に貼付されることを特徴とする接着シート。
3. 少なくとも１層の基材シートと、当該基材シートの少なくとも一方の面に積層された接着剤層とを備え、内側に開口部を有するフレーム部材に貼付される接着シートであって、
   前記開口部の一部又は全部を塞ぐように前記フレーム部材の一の面に貼付されたときに、当該フレーム部材の一の面に当接する外側部と、
   前記外側部よりも内側において、前記開口部を塞ぐ開口面に位置する内側部と、
   前記開口面から外れる方向に変位させて前記フレーム部材の他の面に貼付可能に設けられた他面貼付部とを備え、
   前記他面貼付部は、前記外側部および前記内側部において少なくとも前記基材シートを切断した環状の切断部によって形成され、前記外側部に位置する部分が前記フレーム部材の一の面に貼付され、前記開口部の内縁に位置する部分を基端部として折り曲げられることにより、前記内側部に位置する部分が前記他の面に貼付されることを特徴とする接着シート。
4. 前記切断部は、少なくとも前記基材シートの一部が除去されることで形成されることを特徴とする請求項１〜３いずれか１項に記載の接着シート。
5. 複数層の前記基材シートを備え、
   前記複数層の基材シートのうち少なくとも接着剤層の反対側に位置する最外層の基材シートに前記他面貼付部が形成されていないことを特徴とする請求項１〜４いずれか１項に記載の接着シート。
6. 請求項１〜５いずれか１項に記載の接着シートを前記フレーム部材に貼付する接着シート貼付方法であって、
   前記接着シートの外側部を前記フレーム部材の一の面に貼付し、
   前記開口部を塞ぐ開口面から外れる方向に変位させた前記他面貼付部を当該フレーム部材の他の面に貼付することを特徴とする接着シート貼付方法。

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