JP7312666B2 - シート拡張装置 - Google Patents

Description

本発明は、ワークが貼着されたシートを拡張するシート拡張装置に関する。

従来、レーザビーム照射によりワークに改質層を形成した後、シート拡張装置によりワークが貼着されたシートを拡張（エキスパンド）することでワークを分割する方法が知られている。シート拡張装置の具体的な構成は、例えば特許文献１に開示されるものが知られている。

特許文献１には、ワークが貼着されたシートの四辺をそれぞれ挟持機構で挟持しつつ拡張することで、チップの縦横サイズが異なるワークにおいてもチップ間の間隔が適切な距離となるようにシートを拡張することができる拡張装置が開示されている。

特開２０１４－１４３２９７号公報

特許文献１に開示される構成では、挟持機構は複数のローラーを一列に配置してなる上下一対をなす構成であり、上下の各ローラーにおいてシートが挟持されるものである。

ここで、ワークが貼着されるシートは、一般に帯状に製造されるものであるが、製造工程においては、その帯状の長手方向となる第二方向においてテンションがかけられているため、収縮しやすいということがある。そして、このテンションが作用するため、第二方向においてはシートは伸び難いものとなる。

これに対し、第二方向と直交する第一方向は、上記のテンションが作用しないためシートが比較的伸びやすいということになる。

このように第一方向、第二方向においてシートの伸びやすさが異なる状況が生じ得ることに加え、ローラーで挟持される箇所と、挟持されない箇所でのシートの伸び量の違いが生じることが考えられる。

つまり、図１０の左側に示すようにシートＳの四辺を挟持した準備状態から、図１０の右側の拡大図に示すようにシートＳを矢印Ｎの方向に拡張した場合において、ローラーＲ１，Ｒ２で挟持される箇所Ｍ１では伸び量が多くなる一方、ローラーＲ１，Ｒ２の間で挟持されていない箇所Ｍ２では伸び量が少なくなる。このように、ローラーＲ１，Ｒ２によって挟持されているかいないかによっても伸び量に差が生じることになる。特に、矢印Ｎの方向が伸びやすい第一方向では、伸び量の差が顕著になる。

そして、ローラーＲ１，Ｒ２の間で挟持されていない箇所Ｍ２の部分も伸ばすようにさらに拡張をした場合には、ローラーＲ１，Ｒ２で挟持されて局所的に伸びている箇所Ｍ１がさらに引き伸ばされることになり、当該箇所Ｍ１において破断が生じる恐れがある。

本発明は以上の問題に鑑み、ローラーにてシートを挟持して拡張をする構成において、シートが局所的に引き伸ばされることを抑制することを可能とする新規な技術を提案するものである。

本発明の一態様によれば、
ワークが貼着されたシートを拡張するシート拡張装置であって、
第一方向においてワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持手段と、第二挟持手段と、
該第一方向に直交する第二方向においてワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第三挟持手段と、第四挟持手段と、
該第一挟持手段と該第二挟持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに、該第三挟持手段と、該第四挟持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段と、を備え、
該第一挟持手段と、該第二挟持手段と、該第三挟持手段と、該第四挟持手段とは、それぞれ該ワーク側である内側において上下に対向して配置される内側挟持部と、該内側挟持部に隣接して該内側挟持部の外側おいて上下に対向して配置される外側挟持部と、を有し、
下側の該内側挟持部と下側の該外側挟持部の上部には、該離反する向きと平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
上側の該内側挟持部と上側の該外側挟持部の下部には、該離反する向きと平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
少なくとも該第一挟持手段と、該第二挟持手段と、において、上側と下側のそれぞれにおいて、該内側挟持部の隣接したローラーの回転軸の間に該外側挟持部のローラーの回転軸が位置付くように配置される、シート拡張装置とする。

また、本発明の一態様によれば、
該第三挟持手段と、該第四挟持手段と、においても、上側と下側のそれぞれにおいて、該内側挟持部の隣接したローラーの回転軸の間に該外側挟持部のローラーの回転軸が位置付くように配置されることとする。

本発明の構成によれば、シートが第一方向において伸びやすく、破断が生じる可能性が高くなる場合において、シートが挟持される間隔が狭くなるため、シートが局所的に伸ばされることを抑制することができ、シートの破断を防止することができる。

被加工物としてのワークと、ワークが貼着されるシートについて示す図である。 拡張装置の構成例について示す図である。 （Ａ）はシートの四辺が挟持手段で保持される様子を上側から見た図である。（Ｂ）は第一方向への拡張の様子について説明する図である。（Ｃ）は第二方向への拡張の様子について説明する図である。 第一挟持手段の構成について説明する図である。 同じく第一挟持手段の構成について説明する図である。 第一挟持手段の挟持点の間隔について説明する図である。 第三挟持手段の構成について説明する図である。 同じく第三挟持手段の構成について説明する図である。 （Ａ）はシートの四辺が同一構成の挟持手段で保持される様子を上側から見た図である。（Ｂ）は第一方向への拡張の様子について説明する図である。（Ｃ）は第二方向への拡張の様子について説明する図である。 課題であるシートの滑りの発生について説明する図である。

以下、図面を参照して本発明の一実施形態を説明する。
＜ワーク及びシート＞
図１は、被加工物としてのワーク１０と、ワーク１０が貼着されるシート１について示す図である。
ワーク１０は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。ワーク１０の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン１０１が格子状に設定されるものである。

ワーク１０は、例えばシート１に貼着される前、または後に、分割予定ライン１０１に沿って分割起点が形成される。そして分割起点が形成されたワーク１０をシート１に貼着した状態において、シート１を拡張することで分割起点に沿ってチップに分割する。

分割予定ライン１０１に沿って形成される分割起点は、レーザ光照射でワーク１０内に形成する改質層の他、ワーク１０の表面に分割予定ライン１０１に沿って溝を形成し、この溝を分割起点とすることもできる。溝は、例えばレーザ照射によるアブレーション加工、切削ブレードを切り込ませる切削加工、あるいはけがき等の溝加工を行うことで形成することができる。

シート１は、例えばポリ塩化ビニルやポリオレフィン等の拡張性を有する合成樹脂シート等からなる基材１１の片面にワーク１０が貼着される粘着層１２が形成されたもので、例えば、ワーク１０よりも大きな矩形のものが用いられる。

なお、被加工物となるワーク１０は、半導体ウェーハ等のウェーハの他、ＤＢＧ（Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ブレードで分割予定ラインに沿ってワーク表面にハーフカット溝を形成した後裏面研削でワークを分割するプロセス）やＳＤＢＧ（Ｓｔｅａｌｔｈ Ｄｉｃｉｎｇ Ｂｅｆｏｒｅ Ｇｒｉｎｄｉｎｇ：ＳＤ加工（ＳＴＥＡＬＴＨ ＤＩＣＩＮＧ：登録商標）を施した後ワークの裏面を研削して分割するプロセス）によりチップに分割されたウェーハに貼着されたチップ実装用のＤＡＦ（Ｄｉｅ Ａｔｔａｃｈ Ｆｉｌｍ）等の接着シートや、ガラス、セラミックス、樹脂等の各種板状物が対象となり得る。

＜シート拡張装置＞
次に、図２に示すように、ワークが貼着されたシートを拡張するためのシート拡張装置の一実施形態について説明する。このシート拡張装置２は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台２０と、固定基台２０上に配設され、ワークが貼着されたシートが水平に載置される円板状の保持テーブル３と、保持テーブル３に載置される図示せぬシートを挟持する第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂ、第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄと、これら挟持手段４Ａ～４Ｄごとに設けられ、第一および第二挟持手段４Ａ～４Ｂを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段５Ａ、第二移動手段５Ｂ、および第三および第四挟持手段４Ｃ～４Ｄをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段５Ｃ、第四移動手段５Ｄと、を具備している。これらの第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄにより、第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂを第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに、第三挟持手段４Ｃと、第四挟持手段４Ｄとを第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段が構成される。

保持テーブル３は、固定基台２０の中央部上面に円筒台３０を介して支持されている。保持テーブル３は図示されない回転機構によって円筒台３０上に回転可能に、かつ、図示されない上下動機構によって円筒台３０上に上下動可能に支持されている。保持テーブル３の上面はワークが載置可能な直径を有しており、ワークが貼着されたシートは、ワークを上側に配し、かつ、同心状に配した状態で保持テーブル３の上面に載置される。

固定基台２０の四辺の各端縁２００ａ，２００ｂ，２００ｃ，２００ｄの中央部には、外側に突出する矩形状の凸部２０１がそれぞれ形成されている。固定基台２０の、各凸部２０１から凸部２０１の内側（保持テーブル３側）にわたる部分には、対応する凸部２０１の延びる方向に沿って延びる矩形状の第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂ、第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄがそれぞれ形成されている。

図２に示すように、この場合、固定基台２０の互いに平行な一対の端縁２００ｃ・２００ｄの延びる方向を第一方向、該第一方向に直交し、端縁２００ａ・２００ｂの延びる方向を第二方向としており、固定基台２０の、第一方向の両端に第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂがそれぞれ配設され、第二方向側の両端に第三挟持手段４Ｃ、第四挟持手段４Ｄがそれぞれ配設されている。

第一移動手段５Ａおよび第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａおよび第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向に沿って往復移動させ、第三移動手段５Ｃおよび第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃおよび第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向に沿って往復移動させるものである。

第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂは、第一方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第一ガイド溝２０１ａ、第二ガイド溝２０１ｂに対し第一方向に移動可能に配設されている。また、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄは、第二方向において保持テーブル３を挟んで互いに対向し、それぞれ第三ガイド溝２０１ｃ、第四ガイド溝２０１ｄに対し第二方向に移動可能に配設されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄは同一構成であり、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ移動可能に組み込まれたＬ字状の可動基台４１と、可動基台４１の内側に上下動可能に取り付けられた下側挟持機構４２０および上側挟持機構４３０と、これら挟持機構４２０，４３０をそれぞれ上下方向に移動させる下側移動機構４４および上側移動機構４５を具備している。

可動基台４１は、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄにそれぞれ摺動自在に嵌合するスライド部４１１と、スライド部４１１の外側の端部に立設された支持部４１２とからなっている。

支持部４１２の内側の面には上下方向に延びるガイドレール４１２ａが形成されている。また、支持部４１２の外側の面には上下方向に延びるガイド溝４１２ｂが形成されている。さらに支持部４１２には、ガイドレール４１２ａの内側の面からガイド溝４１２ｂに貫通する上下方向に延びるガイド孔４１２ｃが形成されている。

第一～第四挟持手段４Ａ～４Ｄをそれぞれガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って移動させる第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄは同一構成であり、スライド部４１１に螺合し、ガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿ってそれぞれ延びるねじロッド５１と、凸部２０１に配設され、ねじロッド５１を正逆回転駆動するパルスモータ５２とを有している。ねじロッド５１の先端は、固定基台２０上のガイド溝２０１ａ～２０１ｄの内側にそれぞれ固定された軸受５３に回転可能に支持されている。

ねじロッド５１が螺合する可動基台４１のスライド部４１１が、パルスモータ５２で回転駆動されるねじロッド５１の回転方向に応じてガイド溝２０１ａ～２０１ｄに沿って外側から内側、または内側から外側に送られ、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂは第一方向に往復移動させられ、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄは第二方向に往復移動させられる。したがって第一移動手段５Ａと第二移動手段５Ｂは、第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂをそれぞれ第一方向において互いに離反する向きに移動可能としており、また、第三移動手段５Ｃと第四移動手段５Ｄは、第三挟持手段４Ｃと第四挟持手段４Ｄをそれぞれ第二方向において互いに離反する向きに移動可能としている。

下側挟持機構４２０は、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４２１と、アーム部４２１の先端にアーム部４２１に直交して固定された下側挟持部４２とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４２１の基端部４２１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの下側挟持部４２は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの下側挟持部４２は第一方向と平行に延びている。各下側挟持部４２は直方体状に形成されており、その上面には、第一挟持手段４Ａに現れるように、二列に配列される複数のローラー（内側ローラー４２ａ、外側ローラー４２ｂ（第一挟持手段４Ａのみ符号を付す、他の挟持手段においても同様であるため符号を省略する））が互いに近接して配列されている。第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂのローラー（４２ａ，４２ｂ）は第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄのローラーは第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に下側挟持部４２に支持されている。下側のローラー（４２ａ，４２ｂ（第一挟持手段４Ａ参考））は下側挟持部４２の上面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

下側挟持機構４２０の上方に配設された上側挟持機構４３０は、下側挟持機構４２０と概ね上下対称の構成であり、ガイドレール４１２ａに沿って上下動可能に支持された内側に向かって延びるアーム部４３１と、アーム部４３１の先端にアーム部４３１に直交して固定され、下側挟持部４２に対向して配設された上側挟持部４３とを有し、略Ｔ字状に構成されている。アーム部４３１の基端部４３１ｃはガイド孔４１２ｃを貫通して外側のガイド溝４１２ｂ内に配設されている。

第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側挟持部４３は第二方向と平行に延びており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側挟持部４３は第一方向と平行に延びている。各上側挟持部４３は直方体状に形成されており、その下面には、後述するように二列に配列される複数の上側ローラー（不図示）が互いに近接して配列されている。これら上側ローラーは、下側挟持部４２の各ローラー（４２ａ，４２ｂ（第一挟持手段４Ａ参考））と対になるように対向配置され、第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの上側ローラーは第一方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３に支持されており、第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの上側ローラーは第二方向と平行な回転軸を中心として回転可能に上側挟持部４３に支持されている。上側ローラーは上側挟持部４３の下面から外周面の半分程度が突出して装着されている。

上記下側挟持機構４２０および上側挟持機構４３０は、それぞれ下側移動機構４４および上側移動機構４５によりガイドレール４１２ａに沿って支持部４１２に対し上下方向に往復移動させられる。

下側移動機構４４は、アーム部４２１の基端部４２１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４４１と、ガイド溝４１２ｂの下端部に配設され、ねじロッド４４１を正逆回転駆動するパルスモータ４４２とを有している。ねじロッド４４１の上端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４４３に回転可能に支持されている。ねじロッド４４１が螺合する基端部４２１ｃが、パルスモータ４４２で回転駆動されるねじロッド４４１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより下側挟持機構４２０は上下動させられる。

下側移動機構４４の上方に配設された上側移動機構４５は下側移動機構４４と概ね上下対称の構成を有しており、アーム部４３１の基端部４３１ｃに螺合し、ガイド溝４１２ｂに沿って上下方向に延びるねじロッド４５１と、支持部４１２の上端部に配設され、ねじロッド４５１を正逆回転駆動するパルスモータ４５２とを有している。ねじロッド４５１の下端はガイド溝４１２ｂ内に固定された軸受４５３に回転可能に支持されている。ねじロッド４５１が螺合する基端部４３１ｃが、パルスモータ４５２で回転駆動されるねじロッド４５１の回転方向に応じてガイド溝４１２ｂに沿って上下に送られ、これにより上側挟持機構４３０は上下動させられる。

制御手段７は、第一～第四移動手段５Ａ～５Ｄの各パルスモータ５２に動作制御信号を送る。制御手段７は、規定のプログラムにより各パルスモータ５２の動作を制御し、これにより第一および第二挟持手段４Ａ，４Ｂの第一方向への移動、ならびに第三および第四挟持手段４Ｃ，４Ｄの第二方向への移動を制御する。

次に図３（Ａ）～（Ｃ）に示すように、ワーク１０が貼着されたシート１を、第一方向、第二方向に拡張（エキスパンド）する構成について説明する。

図３（Ａ）に示すシート１は、第一方向と第二方向で延びやすさが異なり、第一方向のほうが、第二方向と比較して伸びやすいこととなっている。本実施例では、第一方向において対向する第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂについては、図４乃至図６の構成とし、第二方向において対向する第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄについては、図７及び図８の構成が採用される。

まず、第一挟持手段４Ａの構成例について説明する。図４及び図５は、上側挟持部４３と下側挟持部４２を有する第一挟持手段４Ａの構成について示す図である。なお、第一挟持手段４Ａと第一方向において対向する第二挟持手段４Ｂ（図２（Ａ））は、第一挟持手段４Ａと同様の構成であり、説明を省略する。

図４及び図５に示すように、上側挟持部４３は、平行に配置される内側挟持部４３Ａと、外側挟持部４３Ｂを有して構成される。内側挟持部４３Ａと外側挟持部４３Ｂは、アーム部４３１に接続され、一体的に上下移動するものである。

内側挟持部４３Ａは、第二方向に均等間隔で複数配列される内側ローラー４３ａと、各内側ローラー４３ａを回転可能に支持する回転軸４３ｍと、回転軸４３ｍを支持しつつ内側ローラー４３ａの周面を露出させる支持枠４３ｕと、を有する。

外側挟持部４３Ｂは、第二方向に均等間隔で複数配列される外側ローラー４３ｂと、各外側ローラー４３ｂを回転可能に支持する回転軸４３ｎと、回転軸４３ｎを支持しつつ外側ローラー４３ｂの周面を露出させる支持枠４３ｖと、を有する。

内側ローラー４３ａと外側ローラー４３ｂの直径、及び、回転軸４３ｍ，４３ｎの直径は同一で構成される。また、内側挟持部４３Ａの回転軸４３ｍと、外側挟持部４３Ｂの回転軸４３ｎは、回転軸と直交する方向、即ち、第二方向においてずらして配置される。

この構成により、図５に示すように、隣り合う内側ローラー４３ａ，４３ａの中間の位置に外側挟持部４３Ｂの回転軸４３ｎ，４３ｎの軸心が配置され、また、隣り合う外側ローラー４３ｂ，４３ｂの中間の位置に内側挟持部４３Ａの回転軸４３ｍ，４３ｍの軸心が配置される。

同様に、図４及び図５に示すように、下側挟持部４２は、平行に配置される内側挟持部４２Ａと、外側挟持部４２Ｂを有して構成される。内側挟持部４２Ａと外側挟持部４２Ｂは、アーム部４２１に接続され、一体的に上下移動するものである。

内側挟持部４２Ａは、第二方向に均等間隔で複数配列される内側ローラー４２ａと、各内側ローラー４２ａを回転可能に支持する回転軸４２ｍと、回転軸４２ｍを支持しつつ内側ローラー４２ａの周面を露出させる支持枠４２ｕと、を有する。

外側挟持部４２Ｂは、第二方向に均等間隔で複数配列される外側ローラー４２ｂと、各外側ローラー４２ｂを回転可能に支持する回転軸４２ｎと、回転軸４２ｎを支持しつつ外側ローラー４２ｂの周面を露出させる支持枠４２ｖと、を有する。

内側ローラー４２ａと外側ローラー４２ｂの直径、及び、回転軸４２ｍ，４２ｎの直径は同一で構成される。また、内側挟持部４２Ａの回転軸４２ｍと、外側挟持部４２Ｂの回転軸４２ｎは、回転軸と直交する方向、即ち、第二方向においてずらして配置される。

この構成により、図５に示すように、隣り合う内側ローラー４２ａ，４２ａの中間の位置に外側挟持部４２Ｂの回転軸４２ｎ，４２ｎの軸心が配置され、また、隣り合う外側ローラー４２ｂ，４２ｂの中間の位置に内側挟持部４２Ａの回転軸４２ｍ，４２ｍの軸心が配置される。

このように、図５及び図６に示すように、内側挟持部４２Ａ，４３Ａと外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂのローラーの軸が第二方向にずれることにより、内側挟持部４２Ａ，４３Ａによるシート１の挟持点Ｃ１の中間位置に、外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂによるシート１の挟持点Ｃ２が配置される。

そして、このように、挟持点Ｃ１，Ｃ２が交互に配置されることで、内側挟持部４２Ａ，４３Ａと外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂが第二方向にずれない場合と比較して、第二方向においてシート１が挟持される間隔Ｗ２（図５、図６）が狭くなる（本実施例では間隔が１／２となる）。

次に、第三挟持手段４Ｃの構成例について説明する。図７及び図８は、上側挟持部１４３と下側挟持部１４２を有する第三挟持手段４Ｃの構成について示す図である。なお、第三挟持手段４Ｃと第二方向において対向する第四挟持手段４Ｄは、第三挟持手段４Ｃと同様の構成であり、説明を省略する。

図７及び図８に示すように、上側挟持部１４３は、平行に配置される内側挟持部１４３Ａと、外側挟持部１４３Ｂを有して構成される。内側挟持部１４３Ａと外側挟持部１４３Ｂは、アーム部４３１に接続され、一体的に上下移動するものである。

内側挟持部１４３Ａは、第一方向に均等間隔で複数配列される内側ローラー１４３ａと、各内側ローラー１４３ａを回転可能に支持する回転軸１４３ｍと、回転軸１４３ｍを支持しつつ内側ローラー１４３ａの周面を露出させる支持枠１４３ｕと、を有する。

外側挟持部１４３Ｂは、第一方向に均等間隔で複数配列される外側ローラー１４３ｂと、各外側ローラー１４３ｂを回転可能に支持する回転軸１４３ｎと、回転軸１４３ｎを支持しつつ外側ローラー１４３ｂの周面を露出させる支持枠１４３ｖと、を有する。

内側挟持部１４３Ａの内側ローラー１４３ａの直径は、外側挟持部１４３Ｂの外側ローラー１４３ｂの直径と同一であり、各ローラー１４３ａ，１４３ｂは支持枠１４３ｕ，１４３ｖから下方に露出するように設けられる。また、両回転軸１４３ｍ，１４３ｎは同軸線上に配置され、これにより、両ローラー１４３ａ，１４３ｂの第一方向の位置が同一となる。

同様に、図７及び図８に示すように、下側挟持部１４２は、平行に配置される内側挟持部１４２Ａと、外側挟持部１４２Ｂを有して構成される。内側挟持部１４２Ａと外側挟持部１４２Ｂは、アーム部４２１に接続され、一体的に上下移動するものである。

内側挟持部１４２Ａは、第一方向に均等間隔で複数配列される内側ローラー１４２ａと、各内側ローラー１４２ａを回転可能に支持する回転軸１４２ｍと、回転軸１４２ｍを支持しつつ内側ローラー１４２ａの周面を露出させる支持枠１４２ｕと、を有する。

外側挟持部１４２Ｂは、第一方向に均等間隔で複数配列される外側ローラー１４２ｂと、各外側ローラー１４２ｂを回転可能に支持する回転軸１４２ｎと、回転軸１４２ｎを支持しつつ外側ローラー１４２ｂの周面を露出させる支持枠１４２ｖと、を有する。

内側挟持部１４２Ａの内側ローラー１４２ａの直径は、外側挟持部１４２Ｂの外側ローラー１４２ｂの直径と同一であり、各ローラー１４２ａ，１４２ｂは支持枠１４２ｕ，１４２ｕから上方に露出するように設けられる。また、両回転軸１４２ｍ，１４２ｎは同軸線上に配置され、これにより、両ローラー１４２ａ，１４２ｂの第一方向の位置が同一となる。

また、図７に示すように、上側の回転軸１４３ｍ，１４３ｎと下側の回転軸１４２ｍ，１４２ｎの第一方向の位置が同一であり、上側のローラー１４３ａ，１４３ｂと下側のローラー１４２ａ，１４２ｂの第一方向の位置が同一となる。

以上の構成により、図７及び図８に示すように、内側挟持部１４２Ａ，１４３Ａの間に挟持点Ｃ３が構成され、外側挟持部１４２Ｂ，１４３Ｂの間に挟持点Ｃ４が構成され、各挟持点Ｃ３，Ｃ４においてシート１が挟持される。そして、図８に示すように、シート１が挟持される挟持点Ｃ３，Ｃ４は第一方向の位置が同一となるとともに、各挟持点Ｃ３，Ｃ４の第一方向の間隔Ｗ１は、回転軸１４２ｍ，１４２ｎ，１４３ｍ，１４３ｎの第一方向の間隔と一致することになる。この間隔Ｗ１は、上述した間隔Ｗ２（図５、図６）の２倍となる。

以上のように構成し、図３（Ａ）～（Ｃ）に示すように、第一挟持手段４Ａ～第四挟持手段４Ｄにより、ワーク１０が貼着された四角形のシート１の四辺が挟持されるとともに、第一方向、第二方向への拡張（エキスパンド）が行われる。この拡張により、ワーク１０は分割予定ラインに沿って破断されてチップに個片化される。

そして、この場合、シート１は第一方向において伸びやすく、破断が生じる可能性が高くなるが、図５及び図６に示すように、第一方向に対向する第一挟持手段４Ａ（４Ｂ）においては、シート１が挟持される間隔Ｗ２が狭くなるため、シート１が局所的に伸ばされることを抑制することができ、シートの破断を防止することができる。

なお、図３（Ａ）（Ｂ）に示すように、シート１の拡張がされる際には、シート１が伸びやすい第一方向の端部が、それぞれ第一挟持手段４Ａ、第二挟持手段４Ｂによって挟持されるように、シート１の向きが予め設定された上で拡張装置２に供給される、あるいは、拡張装置２においてシート１の向きが調整されることとする。

また、以上の構成において、図９（Ａ）～（Ｃ）に示すように、第二方向に対向する第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄについても、第一方向に対向する第一挟持手段４Ａ，第二挟持手段４Ｂと同様の構成とすることし、第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄにおいてもシート１の滑りがより確実に抑えられる構成としてもよい。

この構成によれば、第一方向のみならず第二方向においても、シート１が挟持される箇所でのシート１の破断を効果的に防止することができる。

なお、以上の構成において、第二方向に対向する第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄは、図７に示すように、内側挟持部１４２Ａ，１４３Ａと、外側挟持部１４２Ｂ，１４３Ｂの２列のローラーの列を有する構成としたが、第三挟持手段４Ｃ，第四挟持手段４Ｄが一列のローラーの列のみ（例えば、内側挟持部１４２Ａ，１４３Ａのみ）を有する構成としてもよい。

以上のようにして本発明を実現することができる。
即ち、図１乃至図６に示すように、
ワーク１０が貼着されたシート１を拡張するシート拡張装置２であって、
第一方向においてワーク１０を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシート１を挟持する第一挟持手段４Ａと、第二挟持手段４Ｂと、
第一方向に直交する第二方向においてワーク１０を挟んで互いに対向して配設され、それぞれシート１を挟持する第三挟持手段４Ｃと、第四挟持手段４Ｄと、
第一挟持手段４Ａと第二挟持手段４Ｂを第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに、第三挟持手段４Ｃと、第四挟持手段４Ｄとを第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段（５Ａ～５Ｄ）と、を備え、
第一挟持手段４Ａと、第二挟持手段４Ｂと、第三挟持手段４Ｃと、第四挟持手段４Ｄとは、それぞれワーク１０側である内側において上下に対向して配置される内側挟持部４２Ａ，４３Ａと、内側挟持部４２Ａ，４３Ａに隣接して内側挟持部４２Ａ，４３Ａの外側おいて上下に対向して配置される外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂと、を有し、
下側の内側挟持部４２Ａと下側の外側挟持部４２Ｂの上部には、離反する向きと平行な回転軸４２ｍ，４２ｎを中心に回転する複数のローラー４２ａ，４２ｂが配設され、
上側の内側挟持部４３Ａと上側の外側挟持部４３Ｂの下部には、離反する向きと平行な回転軸４３ｍ，４３ｎを中心に回転する複数のローラー４３ａ，４３ｂが配設され、
少なくとも第一挟持手段４Ａと、第二挟持手段４Ｂと、において、上側と下側のそれぞれにおいて、内側挟持部４２Ａ，４３Ａの隣接したローラー４２ａ，４３ａの回転軸４２ｍ，４３ｍの間に外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂのローラー４２ｂ，４３ｂの回転軸４２ｎ，４３ｎが位置付くように配置される、シート拡張装置２とするものである。

この構成により、シートが第一方向において伸びやすく、破断が生じる可能性が高くなる場合において、シートが挟持される間隔が狭くなるため、シートが局所的に伸ばされることを抑制することができ、シートの破断を防止することができる。

また、図９に示すように、
第三挟持手段４Ｃと、第四挟持手段４Ｄと、においても、上側と下側のそれぞれにおいて、内側挟持部４２Ａ，４３Ａの隣接したローラー４２ａ，４３ａの回転軸４２ｍ，４３ｍの間に外側挟持部４２Ｂ，４３Ｂのローラー４２ｂ，４３ｂの回転軸４２ｎ，４３ｎが位置付くように配置される、こととするものである。

この構成により、第一方向と直交する第二方向においても、シートが挟持される間隔が狭くなるため、シートが局所的に伸ばされることを抑制することができ、シートの破断を防止することができる。

１ シート
２ シート拡張装置
３ 保持テーブル
４Ａ 第一挟持手段
４Ｂ 第二挟持手段
４Ｃ 第三挟持手段
４Ｄ 第四挟持手段
１０ ワーク
４２ 下側挟持部
４２Ａ 内側挟持部
４２Ｂ 外側挟持部
４２ａ 内側ローラー
４２ｂ 外側ローラー
４２ｍ 回転軸
４２ｎ 回転軸
４２ｕ 支持枠
４２ｖ 支持枠
４３ 上側挟持部
４３Ａ 内側挟持部
４３Ｂ 外側挟持部
４３ａ 内側ローラー
４３ｂ 外側ローラー
４３ｍ 回転軸
４３ｎ 回転軸
４３ｕ 支持枠
４３ｖ 支持枠
４４ 下側移動機構
４５ 上側移動機構
１０１ 分割予定ライン
Ｃ１ 挟持点
Ｃ２ 挟持点
Ｃ３ 挟持点
Ｃ４ 挟持点
Ｗ１ 間隔
Ｗ２ 間隔

Claims (2)

1. ワークが貼着されたシートを拡張するシート拡張装置であって、
   第一方向においてワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第一挟持手段と、第二挟持手段と、
   該第一方向に直交する第二方向においてワークを挟んで互いに対向して配設され、それぞれシートを挟持する第三挟持手段と、第四挟持手段と、
   該第一挟持手段と該第二挟持手段を該第一方向において互いに離反する向きに移動可能とするとともに、該第三挟持手段と、該第四挟持手段とを該第二方向において互いに離反する向きに移動可能とする移動手段と、を備え、
   該第一挟持手段と、該第二挟持手段と、該第三挟持手段と、該第四挟持手段とは、それぞれ該ワーク側である内側において上下に対向して配置される内側挟持部と、該内側挟持部に隣接して該内側挟持部の外側おいて上下に対向して配置される外側挟持部と、を有し、
   下側の該内側挟持部と下側の該外側挟持部の上部には、該離反する向きと平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
   上側の該内側挟持部と上側の該外側挟持部の下部には、該離反する向きと平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
   少なくとも該第一挟持手段と、該第二挟持手段と、において、上側と下側のそれぞれにおいて、該内側挟持部の隣接したローラーの回転軸の間に該外側挟持部のローラーの回転軸が位置付くように配置される、シート拡張装置。
2. 該第三挟持手段と、該第四挟持手段と、においても、上側と下側のそれぞれにおいて、該内側挟持部の隣接したローラーの回転軸の間に該外側挟持部のローラーの回転軸が位置付くように配置される、
   ことを特徴とする請求項１に記載のシート拡張装置。