JP5313036B2 - 粘着テープの拡張方法 - Google Patents
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Description
波長 :1064nm
平均出力 :1W
パルス幅 :40ns
繰り返し周波数 :100kHz
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :100mm/秒
ウエーハ保持テーブル62を囲繞するように外筒74が配設されている。外筒74は、図示しない移動手段により図5に示した待機位置と図6に示した拡張位置との間で上下方向に移動される。
T 粘着テープ(ダイシングテープ)
F 環状フレーム
2 レーザ加工装置
20 チャックテーブル
46 レーザビーム照射ユニット
50 集光器(レーザヘッド)
60 粘着テープ拡張装置
62 ウエーハ保持テーブル
74 外筒
76 クランパ
84 DAF(ダイアタッチフィルム)
Claims (3)
- 格子状に形成された分割予定ラインに沿ってウエーハ内部に形成された変質層を有するウエーハが貼着された粘着テープの外周に配設された環状フレームを保持するフレーム保持手段と、該粘着テープに貼着されたウエーハを保持するウエーハ保持テーブルと、該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを待機位置と拡張位置との間で相対的に移動する移動手段とを備えた粘着テープ拡張装置によって、ウエーハが貼着された該粘着テープを拡張してウエーハを該変質層に沿って破断する粘着テープの拡張方法であって、
該粘着テープを介して該環状フレームで支持されたウエーハを該ウエーハ保持テーブル上に載置し、該環状フレームを該フレーム保持手段で保持するウエーハ載置工程と、
該ウエーハ保持テーブルを加熱してウエーハが貼着されている部分の該粘着テープを柔軟にする粘着テープ第1柔軟化工程と、
前記移動手段を作動して該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを相対的に移動して前記拡張位置に位置づけて該粘着テープを拡張し、ウエーハを該変質層に沿って破断する粘着テープ拡張工程と、
該ウエーハ保持テーブルに吸引力を作用させて該粘着テープを吸引保持する粘着テープ保持工程と、
該移動手段を作動して該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを相対的に移動して前記待機位置に位置づけるとともに、ウエーハの外周と該環状フレームとの間の該粘着テープを加熱して柔軟にする粘着テープ第2柔軟化工程と、
該粘着テープ第2柔軟化工程実施後、ウエーハの外周と該環状フレームとの間の該粘着テープを冷却して弛みを除去する弛み除去工程と、
該フレーム保持手段を解除するとともに該ウエーハ保持テーブルの吸引力を解除して、該粘着テープに貼着されたウエーハを該環状フレームとともに該粘着テープ拡張装置から搬出する搬出工程と、
を具備したことを特徴とする粘着テープの拡張方法。 - 格子状に形成された分割溝を有するウエーハがダイアタッチフィルムを介して貼着された粘着テープの外周に配設された環状フレームを保持するフレーム保持手段と、該粘着テープに貼着されたウエーハを保持するウエーハ保持テーブルと、該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを待機位置と拡張位置との間で相対的に移動する移動手段とを備えた粘着テープ拡張装置によって、ウエーハが該ダイアタッチフィルムを介して貼着された該粘着テープを拡張して該分割溝の幅を広げると共に該ダイアタッチフィルムを該分割溝に沿って破断する粘着テープの拡張方法であって、
該ダイアタッチフィルム及び該粘着テープを介して該環状フレームで支持されたウエーハを該ウエーハ保持テーブル上に載置し、該環状フレームを該フレーム保持手段で保持するウエーハ載置工程と、
該ウエーハ保持テーブルを加熱してウエーハが貼着されている部分の該粘着テープを柔軟にする粘着テープ第1柔軟化工程と、
前記移動手段を作動して該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを相対的に移動して前記拡張位置に位置づけて該粘着テープを拡張し、該分割溝の幅を広げると共に該ダイアタッチフィルムを該分割溝に沿って破断する粘着テープ拡張工程と、
該ウエーハ保持テーブルに吸引力を作用させて該粘着テープを吸引保持する粘着テープ保持工程と、
該移動手段を作動して該フレーム保持手段と該ウエーハ保持テーブルとを相対的に移動して前記待機位置に位置づけるとともに、ウエーハの外周と該環状フレームとの間の該粘着テープを加熱して柔軟にする粘着テープ第2柔軟化工程と、
該粘着テープ第2柔軟化工程実施後、ウエーハの外周と該環状フレームとの間の該粘着テープを冷却して弛みを除去する弛み除去工程と、
該フレーム保持手段を解除するとともに該ウエーハ保持テーブルの吸引力を解除して、該粘着テープに貼着されたウエーハを該環状フレームとともに該粘着テープ拡張装置から搬出する搬出工程と、
を具備したことを特徴とする粘着テープの拡張方法。 - 該粘着テープは塩化ビニル又はポリオレフィンから構成され、
前記粘着テープ第1柔軟化工程で加熱する温度は40〜100℃であり、前記粘着テープ第2柔軟化工程で加熱する温度は80〜300℃である請求項1又は2記載の粘着テープの拡張方法。
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