JP6230937B2 - ダイシングテープの拡張方法 - Google Patents
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Description
このような問題は、先ダイシングによって個々のデバイスに分割されたウエーハがダイシングテープに貼着されている場合においても生じうる。
また、ダイシングテープに弛みが生じて中央部が垂れ下がった状態ではカセットに収容することができないという問題がある。
吸引力の作用によって吸着する保持面を備えた保持テーブルの保持面上に該ダイシングテープを介してウエーハを載置するとともに、該環状のフレームをフレーム保持手段によって保持するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程を実施した後に高温雰囲気内または高温雰囲気外において、該保持テーブルの保持面に吸引力を作用させない状態で該ダイシングテープを拡張し、隣接するデバイスの間隔を拡張するデバイス間隔拡張工程と、
該デバイス間隔拡張工程を実施した後に高温雰囲気内において、該保持テーブルの保持面に吸引力を作用させて該ダイシングテープを介してウエーハを吸引保持することにより拡張されたデバイス間の間隔を保持するデバイス間隔維持工程と、
該デバイス間隔維持工程を実施した後に高温雰囲気内または高温雰囲気外において、該ダイシングテープの拡張を解除するテープ拡張解除工程と、
該テープ拡張解除工程を実施した後に高温雰囲気外において、該保持テーブルの保持面に該ダイシングテープを介してウエーハを吸引保持した状態で加熱された該ダイシングテープを冷却し、該ダイシングテープにおける該環状のフレームとウエーハが貼着された領域との間の弛んだ領域を緊張させるテープ緊張工程と、を含む、
ことを特徴とするダイシングテープの拡張方法が提供される。
また、上記高温雰囲気内の温度は50〜200℃であり、テープ緊張工程においてダイシングテープを冷却する温度は30℃以下である。
テープ拡張機構3は、環状のフレームFを保持するフレーム保持手段31と、該フレーム保持手段31によって保持された環状のフレームFに装着されたダイシングテープTを介してウエーハ10を保持する保持面を有するウエーハ保持テーブル32と、フレーム保持手段31とウエーハ保持テーブル32とを保持面に対して垂直な方向に相対的に移動してダイシングテープTを拡張するテープ拡張手段33を具備している。フレーム保持手段31は、環状のフレーム保持部材311と、該フレーム保持部材311の外周に配設された固定手段としての複数のクランプ機構312とからなっている。フレーム保持部材311の上面は環状のフレームFを載置する支持面311aを形成しており、この支持面311a上に環状のフレームFが載置される。そして、支持面311a上に載置された環状のフレームFは、クランプ機構312によってフレーム保持部材311に固定される。後述するテープ拡張手段33によって上下方向に移動可能に支持されている。なお、図示の実施形態における環状のフレーム保持部材311の下側には、図2に示すようにフレーム保持部材冷却手段313が配設されている。このフレーム保持部材冷却手段313は、図2および図3に示すように環状のペルチェ素子313aと、該ペルチェ素子313aの両側分極面にそれぞれ装着された環状の一対の電極板313b、313cとからなっている。フレーム保持部材冷却手段313を構成する一対の電極板313b、313cは、導電線314、315を介して直流電力供給手段316に接続される。このように構成されたフレーム保持部材冷却手段313は、環状のフレーム保持部材311と環状の支持部材310との間に絶縁部材を介して配設される。
上記図10に示すように分割予定ライン101に沿って強度が低下されたウエーハ10をダイシングテープTを介して支持した環状のフレームFを、図5に示すようにウエーハ着脱位置に位置付けられたテープ拡張機構3のウエーハ保持テーブル32を構成するウエーハ保持部材322の保持面にダイシングテープTを介してウエーハ10を載置するとともに、フレーム保持手段31を構成する環状のフレーム保持部材311の載置面311a上に載置し、クランプ機構312によって環状のフレーム保持部材311に固定する(ウエーハ支持工程)。このとき、環状のフレーム保持部材21は、図5に示す基準位置に位置付けられている。
なお、上述したデバイス間隔拡張工程は高温雰囲気内で実施する例を示したが、デバイス間隔拡張工程は高温雰囲気外である常温状態で実施してもよい。
3:テープ拡張機構
31:フレーム保持手段
311:環状のフレーム保持部材
313:フレーム保持部材冷却手段
32:ウエーハ保持テーブル
321:ウエーハ保持テーブルの本体
322:ウエーハ保持部材
323:ウエーハ保持部材冷却手段
33:テープ拡張手段
4:支持基台
5:昇降手段
6:高温雰囲気生成手段
61:箱状のハウジング
62:ヒータ
10:ウエーハ
F:環状のフレーム
T:ダイシングテープ
Claims (3)
- 個々のデバイスに分割されまたは分割されるウエーハを貼着するとともに環状のフレームに装着されたダイシングテープを拡張して、隣接するデバイスの間隔を拡張するダイシングテープの拡張方法であって、
吸引力の作用によって吸着する保持面を備えた保持テーブルの保持面上に該ダイシングテープを介してウエーハを載置するとともに、該環状のフレームをフレーム保持手段によって保持するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程を実施した後に高温雰囲気内または高温雰囲気外において、該保持テーブルの保持面に吸引力を作用させない状態で該ダイシングテープを拡張し、隣接するデバイスの間隔を拡張するデバイス間隔拡張工程と、
該デバイス間隔拡張工程を実施した後に高温雰囲気内において、該保持テーブルの保持面に吸引力を作用させて該ダイシングテープを介してウエーハを吸引保持することにより拡張されたデバイス間の間隔を保持するデバイス間隔維持工程と、
該デバイス間隔維持工程を実施した後に高温雰囲気内または高温雰囲気外において、該ダイシングテープの拡張を解除するテープ拡張解除工程と、
該テープ拡張解除工程を実施した後に高温雰囲気外において、該保持テーブルの保持面に該ダイシングテープを介してウエーハを吸引保持した状態で加熱された該ダイシングテープを冷却し、該ダイシングテープにおける該環状のフレームとウエーハが貼着された領域との間の弛んだ領域を緊張させるテープ緊張工程と、を含む、
ことを特徴とするダイシングテープの拡張方法。 - 該保持テーブルは保持面を冷却する冷却手段を備えているとともに該フレーム保持手段は該環状のフレームを支持する支持面を冷却する冷却手段を備えており、
該高温雰囲気内においては、該冷却手段を作動して該保持テーブルの保持面を冷却することにより該ダイシングテープにおけるウエーハが貼着された領域を冷却するとともに該フレーム保持手段の支持面を冷却することにより該ダイシングテープにおける該環状のフレームに装着されている領域を冷却する、請求項1記載のダイシングテープの拡張方法。 - 該高温雰囲気内の温度は50〜200℃であり、該テープ緊張工程において該ダイシングテープを冷却する温度は30℃以下である、請求項1又は2記載のダイシングテープの拡張方法。
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