JP6570942B2 - 分割装置及びウエーハの分割方法 - Google Patents
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Description
10 保持テーブル
20 リングフレーム保持部
40 昇降手段
50 熱収縮手段
51 ヒータ
52 回転手段
65 角度認識部
66 速度可変手段
81 改質層(分割起点)
82 皺
83 中間部分
C チップ
F リングフレーム
L 分割予定ライン
T テープ
W ウエーハ
WS ワークセット
Claims (6)
- リングフレームの開口部を塞いで熱収縮性を有するテープを貼着し該開口部の該テープに分割予定ラインに沿って分割起点を形成したウエーハを貼着させたワークセットの該テープを引き伸ばし該分割起点でウエーハを分割させチップにする分割装置であって、
該ワークセットの該テープを介してウエーハを吸引保持する保持テーブルと、
該ワークセットの該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、
該ワークセットのウエーハの外周と該リングフレームの内周との間のリング状の該テープの所定の箇所を加熱し、ウエーハの中心を中心に対向して配設される一対のヒータと、
一対の該ヒータをウエーハの中心を軸に回転させる回転手段と、
該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを相対的に上下に動作させる昇降手段と、を備え、
該保持テーブルと該リングフレーム保持部とに該ワークセットが保持された状態で、該昇降手段で該保持テーブルを上昇方向に該リングフレーム保持部を下降方向に相対的に移動させ該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを離間させ該テープを引き伸ばし該分割起点でウエーハを分割し、
該回転手段は、回転角度を認識する角度認識部と、予め設定された角度範囲において該角度認識部が角度を認識しながらヒータを回転させる速度を可変させる速度可変手段とを備え、
ウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープに対する該ヒータの加熱範囲を円周方向において、該速度可変手段により回転速度を可変させ、所定の加熱領域ずつ加熱し、該テープを該所定の加熱領域ずつ熱収縮させ該チップを離間させる分割装置。 - リングフレームの開口部を塞いで熱収縮性を有するテープを貼着し該開口部の該テープに分割予定ラインに沿って分割起点を形成したウエーハを貼着させたワークセットの該テープを介してウエーハを吸引保持する保持テーブルと、該ワークセットの該リングフレームを保持するリングフレーム保持部と、該ワークセットのウエーハの外周と該リングフレームの内周との間のリング状の該テープの所定の箇所を加熱するヒータと、該ヒータをウエーハの中心を軸に回転させる回転手段と、該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを相対的に上下に動作させる昇降手段と、を備え、該テープを引き伸ばし該分割起点でウエーハを分割させチップにする分割装置を用いたウエーハの分割方法であって、
該保持テーブルと該リングフレーム保持部とで該ワークセットを保持する保持工程と、
該保持工程の後、該昇降手段で該保持テーブルが上昇方向で該リングフレーム保持部が下降方向で相対的に移動させ該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを離間させ該テープを引き伸ばし該分割起点でウエーハを分割する分割工程と、
該分割工程の後、ウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープに対する該ヒータの加熱範囲を円周方向において、回転速度を可変させ、所定の加熱領域ずつ加熱して、該テープを熱収縮させ該チップを離間させるチップ離間工程と、
からなるウエーハの分割方法。 - 該チップ離間工程は、
該昇降手段で該保持テーブルが下降方向で該リングフレーム保持部が上昇方向で相対的に移動させ該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを接近させウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープにテンションがかけられた一方向に直交する他方向でウエーハを挟んだ対向箇所に発生する2箇所の皺の部分を限定的に加熱させて熱収縮させる第1の収縮工程と、
該第1の収縮工程の後、該回転手段で該ヒータを回転させウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープを全体的に加熱させ熱収縮させる第2の収縮工程と、からなる請求項2記載のウエーハの分割方法。 - 該チップ離間工程は、
該分割工程の後、該昇降手段で該保持テーブルと該リングフレーム保持部とを指定量ずつ段階的に接近させる接近工程と、
該接近工程の後、該回転手段で該ヒータを回転させウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープを加熱させ熱収縮させる第3の収縮工程と、からなり、
該接近工程と該第3の収縮工程とを該保持テーブルと該リングフレーム保持部とが最も接近されるまで繰返す請求項2記載のウエーハの分割方法。 - 該分割装置が該ヒータをウエーハの径方向に進退させる径方向進退手段を備え、
該チップ離間工程は、ウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープに発生する皺の部分と該リング状の該テープの径方向の中間部分とを通る楕円軌道を描くように該回転手段と該径方向進退手段でヒータを動かし、ウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープを加熱させ熱収縮させる第4の収縮工程を有する請求項2記載のウエーハの分割方法。 - 該回転手段には、回転角度を認識する角度認識部と、予め設定された角度範囲において該角度認識部が角度を認識しながらヒータを回転させる速度を可変させる速度可変手段とを備え、
該チップ離間工程は、該角度認識部でヒータの回転角度を認識し予め設定されたそれぞれの角度範囲において該速度可変手段で該回転手段の回転速度を可変させウエーハの外周と該リングフレームの内周との間の該リング状の該テープを加熱させ熱収縮させる請求項4または請求項5記載のウエーハの分割方法。
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