JP7109916B2 - 分割装置 - Google Patents
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Description
図1は、実施形態1に係る分割装置10(図2参照)の分割対象である被加工物ユニット100の一例を示す平面図である。まず、本発明の実施形態1に係る分割装置10の分割対象である被加工物ユニット100を図面に基づいて説明する。
フレーム固定ステップST1は、エキスパンドシート106を介して被加工物ユニット100の被加工物101を保持テーブル30の保持面31に載置し、環状フレーム107をフレーム固定部40で固定するステップである。
シート拡張ステップST2は、フレーム固定ステップST1を実施した後、保持テーブル30とフレーム固定部40とを被加工物101の表面102と直交する軸心方向に相対的に移動させ、被加工物101の外周である外縁と環状フレーム107の内周である内縁との間のエキスパンドシート106の環状領域108を拡張するステップである。
吸引保持ステップST3は、シート拡張ステップST2の後、エキスパンドシート106を介して被加工物101を保持テーブル30の保持面31で吸引保持し、エキスパンドシート106の拡張を維持するステップである。吸引保持ステップST3では、制御ユニット70が、真空吸引源34を駆動して、真空吸引源34により吸着部33を吸引して、被加工物101の裏面側をエキスパンドシート106を介して保持面31に吸引保持して、デバイスチップ105間の間隔113を維持する。
図9は、図8の加熱ステップST4を実行している際の分割装置10の要部を示す断面図である。図10は、図8の加熱ステップST4において加熱する加熱ユニット60を示す平面図である。図11は、図9のXI部を拡大して示す断面図である。
図12は、実施形態2に係る分割装置10-2の加熱ユニット60-2の機能ブロック図である。実施形態2に係る分割装置10-2は、実施形態1に係る分割装置10において、加熱ユニット60を加熱ユニット60-2に変更したものである。実施形態2に係る分割装置10-2の説明では、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
図15は、実施形態3に係る分割装置10-3の加熱ユニット60-3の機能ブロック図である。実施形態3に係る分割装置10-3は、実施形態2に係る分割装置10-2において、加熱ユニット60-2を加熱ユニット60-3に変更したものである。実施形態3に係る分割装置10-3の説明では、実施形態2と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
図16は、分割装置10の分割対象としての変形例に係る被加工物ユニット200を示す平面図である。変形例に係る被加工物ユニット200を図面に基づいて説明する。変形例に係る被加工物ユニット200を分割加工する分割装置10は、実施形態1に係る分割装置10と同様の構成を有する。変形例の説明では、実施形態1と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
図17は、実施形態4に係る分割装置10-4の加熱ユニット60-4の機能ブロック図である。実施形態4に係る分割装置10-4は、実施形態1に係る分割装置10、実施形態2に係る分割装置10-2及び実施形態3に係る分割装置10-3を組み合わせたものである。具体的には、実施形態4に係る分割装置10-4は、実施形態1に係る加熱ユニット60、実施形態2に係る加熱ユニット60-2及び実施形態3に係る加熱ユニット60-3を組み合わせた加熱ユニット60-4を備える。実施形態4に係る分割装置10-4の説明では、実施形態1から実施形態3及び変形例と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。
(付記1)
分割予定ラインに沿って分割起点が形成された板状の被加工物と、該被加工物が貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートが貼着された環状フレームとからなる被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張して該被加工物を分割する被加工物の分割方法であって、
該被加工物ユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定ステップと、
該被加工物の外周と該環状フレームの内周の間の該エキスパンドシートの環状領域を該被加工物の表面と直交する方向に押圧して該エキスパンドシートを拡張し、該分割起点から該被加工物を破断するシート拡張ステップと、
該拡張された該エキスパンドシートの該環状領域を加熱して該エキスパンドシートの弛み部分を収縮させる加熱ステップと、を備え、
該加熱ステップでは、該環状領域に沿って周方向に設置される複数の加熱部の位置を、該被加工物の径方向又は該エキスパンドシートと遠近する方向に調整する、被加工物の分割方法。
(付記2)
該加熱ステップでは、複数の該加熱部を、それぞれ異なる温度に調整する、付記1に記載の被加工物の分割方法。
20 チャンバ
30 保持テーブル
31 保持面
32 枠体
33 吸着部
34 真空吸引源
40 フレーム固定部
41 フレーム載置プレート
42 フレーム押さえプレート
43,47 開口部
44 上面
45,48,54,55 エアシリンダ
45-1,48-1,54-1,55-1 ピストンロッド
46 センタリングガイド
49 長孔
50 シート拡張ユニット
51 突き上げ部材
52 昇降ユニット
53 コロ部材
60,60-2,60-3,60-4 加熱ユニット
61 ユニット本体
62,62-1,62-2,62-3,62-4 把持部
63,63-1,63-2,63-3,63-4 加熱部
64,64-1,64-2,64-3,64-4 第1加熱位置調整部
65 回動部
66,66-1,66-2,66-3,66-4 第2加熱位置調整部
67-1,67-2,67-3,67-4 領域
68,68-1,68-2,68-3,68-4 加熱温度調整部
69,69-1,69-2,69-3,69-4 加熱調整部
70 制御ユニット
80 搬送ユニット
100,200 被加工物ユニット
101,201 被加工物
102,202 表面
103 分割予定ライン
105,205 デバイスチップ
106,206 エキスパンドシート
107,207 環状フレーム
108,208 環状領域
108-1,208-1 突頂部
108-2,208-2 弛み部分
109,209 改質層
113,213,214 間隔
115,215 長軸領域
116,216 短軸領域
117,118,217,218 境界線
203 第1分割予定ライン
204 第2分割予定ライン
Claims (3)
- 分割予定ラインに沿って分割起点が形成された板状の被加工物と、該被加工物が貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートが貼着された環状フレームとからなる被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張して該被加工物を分割する分割装置であって、
該被加工物ユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定部と、
該被加工物の外周と該環状フレームの内周の間の該エキスパンドシートの環状領域を該被加工物の表面と直交する方向に押圧して該エキスパンドシートを拡張し、該分割起点から該被加工物を破断するシート拡張ユニットと、
該拡張された該エキスパンドシートの該環状領域を加熱して該エキスパンドシートの弛み部分を収縮させる加熱ユニットと、を備え、
該加熱ユニットは、
該環状領域に沿って周方向に設置される複数の加熱部と、
該加熱部を該エキスパンドシートの該環状領域に沿って周方向に移動させる回動部と、
該加熱部の位置をそれぞれ個別に該被加工物の径方向に移動させることで、該加熱部の位置を該被加工物の径方向に調整する加熱位置調整部と、を備え、
構成要素を制御する制御ユニットを備え、
該制御ユニットは、該加熱位置調整部により、該エキスパンドシートの該環状領域のA方向に対して交差し且つ該A方向よりも拡張しやすいB方向の両端部を加熱する加熱部を、該エキスパンドシートの該環状領域のA方向の両端部を加熱する加熱部よりも径方向の外側に位置付けることを特徴とする分割装置。 - 分割予定ラインに沿って分割起点が形成された板状の被加工物と、該被加工物が貼着されたエキスパンドシートと、該エキスパンドシートが貼着された環状フレームとからなる被加工物ユニットの該エキスパンドシートを拡張して該被加工物を分割する分割装置であって、
該被加工物ユニットの該環状フレームを固定するフレーム固定部と、
該被加工物の外周と該環状フレームの内周の間の該エキスパンドシートの環状領域を該被加工物の表面と直交する方向に押圧して該エキスパンドシートを拡張し、該分割起点から該被加工物を破断するシート拡張ユニットと、
該拡張された該エキスパンドシートの該環状領域を加熱して該エキスパンドシートの弛み部分を収縮させる加熱ユニットと、を備え、
該加熱ユニットは、
該環状領域に沿って周方向に設置される複数の加熱部と、
該加熱部を該エキスパンドシートの該環状領域に沿って周方向に移動させる回動部と、
該加熱部の位置を該エキスパンドシートと遠近する方向に調整する加熱位置調整部と、を備え、
構成要素を制御する制御ユニットを備え、
該加熱位置調整部は、該加熱部の位置をそれぞれ個別に該エキスパンドシートと遠近する方向に移動させることで、該加熱部の位置を該エキスパンドシートと遠近する方向に調整し、
該制御ユニットは、該加熱位置調整部により、該エキスパンドシートの該環状領域のA方向に対して交差し且つ該A方向よりも拡張しやすいB方向の両端部を加熱する加熱部を、該エキスパンドシートの該環状領域のA方向の両端部を加熱する加熱部よりも該エキスパンドシートに近づけることを特徴とする分割装置。 - 複数の該加熱部は、それぞれ異なる温度に調整される請求項1または請求項2に記載の分割装置。
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