JP2021068762A - シートの拡張方法 - Google Patents
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Abstract
Description
ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
該拡張装置の該ローラーと、該シートのうち該挟持機構の該ローラーで挟持される被挟持部と、の少なくとも一方に滑り止め加工が施されている、こととする。
<ワーク及びシート>
図1は、被加工物としてのワーク10と、ワーク10が貼着されるシート1について示す図である。
ワーク10は、例えば半導体ウェーハや光デバイスウェーハ等の円板状のウェーハである。ワーク10の表面には互いに直角に交差する複数の分割予定ライン101が格子状に設定されるものである。
次に、図2に示すように、ワークが貼着されたシートを拡張するための拡張装置の一実施形態について説明する。この拡張装置2は、四隅の角部が直角に形成された正方形状の固定基台20と、固定基台20上に配設され、ワークが貼着されたシートが水平に載置される円板状の保持テーブル3と、保持テーブル3に載置される図示せぬシートを挟持する第一挟持手段4A、第二挟持手段4B、第三挟持手段4C、第四挟持手段4Dと、これら挟持手段4A〜4Dごとに設けられ、第一および第二挟持手段4A〜4Bを第一方向にそれぞれ移動させる第一移動手段5A、第二移動手段5B、および第三および第四挟持手段4C〜4Dをそれぞれ第二方向に移動させる第三移動手段5C、第四移動手段5Dと、を具備している。
図3は、上側挟持部432の上側ローラー433と、下側挟持部422の下側ローラー423にてシート1を挟んだ状態について示す図である。
このように、シート1とローラーの接触領域において、シート1側に滑り止め加工470を施すことによれば、シート1の裏面1bの摩擦係数が高められ、シート1の滑りの発生を抑制することができる。
<挟持ステップ>
図5(A)(B)に示すように、第一方向で互いに対向する一対の第一挟持手段4A,第二挟持手段4Bと、第二方向で互いに対向する一対の第三挟持手段4Cと第四挟持手段4Dと、により、シート1の第一方向の両端、及び、第二方向の両端が挟持される。シート1には、分割予定ライン101に沿って改質層が形成されたワーク10が貼着された状態となっている。
次いで、図6(A)(B)に示すように、一対の第一挟持手段4A,第二挟持手段4Bを第一方向で互いに離反する方向に移動させるとともに、一対の第三挟持手段4Cと第四挟持手段4Dを第二方向で互いに離反する方向に移動させる。
即ち、図1乃至図6に示すように、
ワーク10が貼着されたシート1の拡張方法であって、
第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)と、第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段(第三挟持手段4C,第四挟持手段4D)と、を含む挟持機構を備え、
一対の第一方向挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)はそれぞれ上側挟持部432と、下側挟持部422と、を有し、上側挟持部432の下部には第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー433が配設され、下側挟持部422の上部には第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー423が配設され、
一対の第二方向挟持手段(第三挟持手段4C,第四挟持手段4D)はそれぞれ上側挟持部432と、下側挟持部422と、を有し、上側挟持部432の下部には第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー433が配設され、下側挟持部422の上部には第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラー423が配設された拡張装置2を準備する準備ステップと、
挟持機構の複数のローラー423,432でシート1のワーク10の外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
一対の第一方向挟持手段(第一挟持手段4A,第二挟持手段4B)を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の第二方向挟持手段(第三挟持手段4C,第四挟持手段4D)を互いに離反する方向へ移動させることでシート1を拡張する拡張ステップと、を備え、
拡張装置2のローラー423,432と、シート1のうち挟持機構のローラー423,432で挟持される被挟持部480と、の少なくとも一方に滑り止め加工が施されている、シート1の拡張方法とするものである。
1b 裏面
2 シート拡張装置
3 保持テーブル
4A 第一挟持手段
4B 第二挟持手段
4C 第三挟持手段
4D 第四挟持手段
10 ワーク
10a チップ
11 基材
11a 上面
11b 下面
11c 凹凸
12 粘着層
42 下側挟持機構
43 上側挟持機構
101 分割予定ライン
412c ガイド孔
421 アーム部
421c 基端部
422 下側挟持部
423 下側ローラー
432 上側挟持部
433 上側ローラー
460 加工
470 加工
480 被挟持部
Claims (1)
- ワークが貼着されたシートの拡張方法であって、
第一方向で互いに対向する一対の第一方向挟持手段と、該第一方向に直交する第二方向で互いに対向する一対の第二方向挟持手段と、を含む挟持機構を備え、
一対の該第一方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第一方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、
該一対の該第二方向挟持手段はそれぞれ上側挟持部と、下側挟持部と、を有し、該上側挟持部の下部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設され、該下側挟持部の上部には該第二方向と平行な回転軸を中心に回転する複数のローラーが配設された拡張装置を準備する準備ステップと、
該挟持機構の複数の該ローラーで該該シートの該ワークの外側に位置する箇所を挟持する挟持ステップと、
一対の該第一方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させるとともに一対の該第二方向挟持手段を互いに離反する方向へ移動させることで該シートを拡張する拡張ステップと、を備え、
該拡張装置の該ローラーと、該シートのうち該挟持機構の該ローラーで挟持される被挟持部と、の少なくとも一方に滑り止め加工が施されている、
ことを特徴とする、シートの拡張方法。
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WO2024143522A1 (ja) * | 2022-12-29 | 2024-07-04 | Dic株式会社 | 仮固定用テープの剥離方法、剥離部材および部品(部材)の製造装置および部品(部材)の製造方法 |
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