JP2018116955A - 切断装置および切断方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供すること。【解決手段】切断対象物WFを支持する支持手段20と、切断対象物WFに切断線CUの基となる切れ目を形成する切れ目形成手段30と、支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、切断対象物WFに所定形状の切断線CUを形成する移動手段40とを備え、支持手段20は、複数で構成されるとともに、切れ目形成手段30は、単数で構成され、移動手段40は、複数の支持手段20と単数の切れ目形成手段30とを相対移動させ、複数の切断対象物WFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成する。【選択図】図1
Description
本発明は、切断装置および切断方法に関する。
従来、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線を形成する切断装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に記載された従来のダイシング装置(切断装置)では、複数のワーク(切断対象物)に対して複数の加工部(切れ目形成手段)でダイシング加工を行う(所定形状の切断線を形成する)ため、装置が大型化するという不都合がある。
本発明の目的は、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる切断装置および切断方法を提供することにある。
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
本発明によれば、単数の切れ目形成手段に対して複数の支持手段を相対移動させる構成なので、複数の切断対象物それぞれに同時に所定形状の切断線または切断予定線を形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
また、切れ目形成刃の回転方向に対する複数の切断対象物の移動方向がそれぞれ同じになるように、各支持手段と切れ目形成手段とを相対移動させる構成とすれば、各切断対象物に形成される切断線または切断予定線の状態、形状、品質等を均一化することができる。
さらに、各支持手段と切れ目形成手段との相対移動方向を水平方向に交差する方向とすれば、各切断対象物に沿わせて冷却水や切断用のオイル等を流すことができる。
また、塵埃遮蔽手段を備えれば、切れ目、切断線または切断予定線の形成によって切断対象物から発せられた塵埃が、他の切断対象物を損傷させることを防止することができる。
また、切れ目形成刃の回転方向に対する複数の切断対象物の移動方向がそれぞれ同じになるように、各支持手段と切れ目形成手段とを相対移動させる構成とすれば、各切断対象物に形成される切断線または切断予定線の状態、形状、品質等を均一化することができる。
さらに、各支持手段と切れ目形成手段との相対移動方向を水平方向に交差する方向とすれば、各切断対象物に沿わせて冷却水や切断用のオイル等を流すことができる。
また、塵埃遮蔽手段を備えれば、切れ目、切断線または切断予定線の形成によって切断対象物から発せられた塵埃が、他の切断対象物を損傷させることを防止することができる。
ここで、本発明でいう切断線とは、切断対象物を貫通する切込が連続的に続く完全な切断のことであり、切断予定線とは、切断線とは異なり、当該切断予定線が形成された切断対象物に、例えば、張力や振動等の外力を付与することで、当該切断予定線を境にして切断対象物を完全に切断することができる擬似的な切断のことである。このような切断予定線は、例えば、切断対象物を貫通する切込が断続的に続く擬似的な切断、切断対象物の厚み方向の途中までの深さであって当該切断対象物を貫通することのない切込が連続的または断続的に続く擬似的な切断および、切断対象物を貫通する切込と当該切断対象物を貫通することのない切込とが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続く擬似的な切断等をも含むものとする。
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図1に示すBD方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
本発明の切断装置10は、切断対象物としての半導体ウエハ(以下、単に「ウエハ」ともいう)WFを支持する支持手段20と、ウエハWFに切断線CU(図2(B)参照)の基となる切れ目を形成する切れ目形成手段30と、支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに所定形状の切断線CUを形成する移動手段40と、切れ目または切断線CUの形成によって、ウエハWFから発せられた塵埃が他のウエハWFに当たることを抑制する塵埃遮蔽手段50とを備えている。
なお、本実施形態の場合、ウエハWFは、接着シートASを介してフレーム部材としてのリングフレームRFと一体化され一体物WKとされている。
なお、本実施形態の場合、ウエハWFは、接着シートASを介してフレーム部材としてのリングフレームRFと一体化され一体物WKとされている。
支持手段20は、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって一体物WKを支持可能な支持面21Aを有する支持テーブル21を備え、図1中右側に配置された第1支持手段20Aと、同図左側に配置された第2支持手段20Bとの複数で構成されている。
切れ目形成手段30は、回転手段であって駆動機器としての回動モータ31と、その出力軸31Aに支持され、当該回動モータ31で回転される切れ目形成刃としてのロータリカッター刃32とを備え、単数で構成されている。
移動手段40は、第1〜第6アーム41A〜41Fによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第6アーム41Fで支持した第1支持手段20Aを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット41と、第1〜第6アーム42A〜42Fによって構成され、その作業範囲内において、作業部である第6アーム42Fで支持した第2支持手段20Bを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な駆動機器としての多関節ロボット42とを備えている。このような構成により、移動手段40は、複数の支持手段としての第1、第2支持手段20A、20Bと単数の切れ目形成手段30とを相対移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成するようになっている。
塵埃遮蔽手段50は、ロータリカッター刃32の突出を許容するスリット51Aが形成された遮蔽板51と、スリット51Aの内部に配置され、ロータリカッター刃32が摺動して当該ロータリカッター刃32に付着した付着物を除去するスポンジやゴム等の弾性部材やブラシ等の塵埃除去手段52とを備え、ロータリカッター刃32の上下に一対配置されている。
以上の切断装置10の動作を説明する。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している切断装置10に対し、当該切断装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、2体の一体物WKがそれぞれ位置決めされて各支持面21A上に載置されると、第1、第2支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、各一体物WKの吸着保持を開始する。次いで、切れ目形成手段30が回動モータ31を駆動し、図2(A)に示すように、ロータリカッター刃32をMD方向に回転させる。
先ず、各部材が図1中実線で示す初期位置で待機している切断装置10に対し、当該切断装置10の使用者(以下、単に「使用者」という)が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、使用者または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、2体の一体物WKがそれぞれ位置決めされて各支持面21A上に載置されると、第1、第2支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段を駆動し、各一体物WKの吸着保持を開始する。次いで、切れ目形成手段30が回動モータ31を駆動し、図2(A)に示すように、ロータリカッター刃32をMD方向に回転させる。
ここで、本実施形態では、移動手段40は、ロータリカッター刃32の回転方向(MD方向)に対する複数のウエハWFの移動方向がそれぞれ同じになるように、複数の支持手段20A、20Bと単数の切れ目形成手段30とを相対移動させるようになっている。すなわち、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、図1中二点鎖線および図2(A)に示すように、第1支持手段20Aをロータリカッター刃32の右側上方へ移動させるとともに、第2支持手段20Bをロータリカッター刃32の左側下方へ移動させる。そして、移動手段40が多関節ロボット41を駆動し、第1支持手段20Aを左方へ移動させて当該第1支持手段20Aで支持したウエハWFにロータリカッター刃32の上側で切断線CUを形成する。また、多関節ロボット41の上記駆動と同時に、移動手段40が多関節ロボット42を駆動し、第2支持手段20Bを右向へ移動させて当該第2支持手段20Bで支持したウエハWFにロータリカッター刃32の下側で切断線CUを形成する(以降、移動手段40が複数のウエハWFそれぞれに同時に切断線CUを形成する動作を「同時切断動作」という)。これにより、第1および第2支持手段20A、20Bで支持された両ウエハWFは、ロータリカッター刃32の回転方向(MD方向)に対向する方向に移動されつつ切断線CUが形成され、両ウエハWFに形成する切断線CUの状態、形状、品質等を均一化することができる。その後も、移動手段40が同時切断動作を繰り返し行うことで、2体のウエハWFそれぞれに同時に第1方向に延出した所定本数の切断線CUが形成される(図2(B)参照)。
各ウエハWFそれぞれに第1方向に延出した所定本数の切断線CUが形成されると、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、図2(B)に示すように、第1方向に延出した切断線CUがY軸方向と平行となるように各支持手段20A、20Bを変位させる。次いで、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、上記と同様にして第1支持手段20Aを左方へ移動させるとともに、第2支持手段20Bを右方へ移動させ、再び同時切断動作を繰り返し行う。これにより、2体のウエハWFそれぞれに同時に第2方向に延出した所定本数の切断線CUが形成され、各ウエハWFそれぞれに格子状の切断線CUが形成される。各ウエハWFそれぞれに格子状の切断線CUが形成されると、移動手段40が各多関節ロボット41、42を駆動し、各部材を初期位置に復帰させた後、支持手段20A、20Bがそれぞれ図示しない減圧手段の駆動を停止し、一体物WKの吸着保持を解除する。その後、使用者または図示しない搬送手段が、各ウエハWFに格子状の切断線CUが形成された一体物WKそれぞれを別の工程に搬送し、以降上記同様の動作が繰り返される。
以上のような実施形態によれば、単数の切れ目形成手段30に対して複数の支持手段20A、20Bを相対移動させる構成なので、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成する場合でも、装置が大型化することを防止することができる。
本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、支持手段は、複数であって、それぞれが切断対象物を支持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない(他の手段および工程も同様でありその説明は省略する)。
支持手段20は、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で一体物WKを支持する構成としてもよいし、一体物WKにおけるウエハWF側から当該一体物WKを支持してもよいし、ウエハWFのみからなる切断対象物を直接支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を当該接着シートAS側から支持してもよいし、接着シートASが貼付されたウエハWFからなる切断対象物を当該ウエハWF側から支持してもよいし、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよい。なお、本発明の切断装置10に支持手段20が備わっていない場合、他の装置で複数のウエハWFを支持しておき、移動手段40が単数の切れ目形成手段30を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成するように構成すればよい。
切れ目形成手段30は、切れ目形成刃として、ワイヤソー、チェンソー、図3(A)に示すような両端に刃のあるカッター刃32A、図3(B)に示すような丸鋸32B等を採用し、回動モータ31で回転させる構成でもよいし、切れ目形成刃として、前記実施形態で示したロータリカッター刃32や、図3(C)に示すような両端に切れ目形成用の刃があるカッター刃32Cを採用し、回動モータ31をなくしてカッター刃32Cを回転させることなくウエハWFに切断線CUを形成してもよく、この場合、図3(C)に示すように、超音波振動装置、バイブレータ、偏心モータ等の振動付与手段33でカッター刃32Cに振動を付与する構成としてもよく、振動付与手段33で切れ目形成刃に振動を付与する場合、例えば、図3(B)に示すような丸鋸32Bやその他の切れ目形成刃を回転させながら振動を付与してもよいし、丸鋸32Bやその他の切れ目形成刃を回転させずに振動を付与してもよい。
切れ目形成手段30は、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよく、本発明の切断装置10に切れ目形成手段30が備わっていない場合、単数の切れ目形成手段を備えた他の装置に対し、移動手段40がウエハWFを支持している複数の支持手段20を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成するように構成すればよい。
切れ目形成手段30は、図3(D)に示すように、エネルギーEGとしてのレーザ、イオンビーム、火力、熱、水圧、熱線、気体や液体等の吹付け等で切断線CUまたは切断予定線の基となる切れ目を形成するエネルギー出力手段34を採用してもよいし、例えば、ミシン目ロータリカッター刃等でウエハWFを貫通または貫通することなく断続的に続くような切断予定線の基となる切れ目を形成するものを採用してもよいし、ウエハWFを貫通する切込を形成することで、当該ウエハWFに切断線CUの基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込を形成することで、当該ウエハWFに切断予定線の基となる切れ目を形成するものでもよい。
切れ目形成手段30は、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよく、本発明の切断装置10に切れ目形成手段30が備わっていない場合、単数の切れ目形成手段を備えた他の装置に対し、移動手段40がウエハWFを支持している複数の支持手段20を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUを形成するように構成すればよい。
切れ目形成手段30は、図3(D)に示すように、エネルギーEGとしてのレーザ、イオンビーム、火力、熱、水圧、熱線、気体や液体等の吹付け等で切断線CUまたは切断予定線の基となる切れ目を形成するエネルギー出力手段34を採用してもよいし、例えば、ミシン目ロータリカッター刃等でウエハWFを貫通または貫通することなく断続的に続くような切断予定線の基となる切れ目を形成するものを採用してもよいし、ウエハWFを貫通する切込を形成することで、当該ウエハWFに切断線CUの基となる切れ目を形成するものでもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込を形成することで、当該ウエハWFに切断予定線の基となる切れ目を形成するものでもよい。
移動手段40は、複数の支持手段20を停止または移動させながら単数の切れ目形成手段30を移動させ、複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUまたは切断予定線を形成するように構成してもよいし、所定の位置に載置または保持されている一体物WKを第1、第2支持手段20A、20Bでそれぞれ支持し、単数の切れ目形成手段30と相対移動させて複数のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUまたは切断予定線を形成するようにしてもよいし、複数の支持手段20A、20Bと単数の切れ目形成手段30との相対移動方向を水平方向としたり、重力方向としたり、水平方向に交差する方向としたりしてもよいし、図3(E)に示すように、支持手段20と切れ目形成手段30との相対移動方向を水平方向HDに対して傾斜角α1傾斜する方向とし、切れ目形成手段30で切断線CUまたは切断予定線を形成している部位の重力方向上方から冷却水や切断用のオイル等の切断補助液SLを流す切断補助液供給手段60を備えてもよく、この場合、切断補助液SLの粘度によって、傾斜角α1の角度を15度〜90度の間とすれば、切断補助液SLがウエハWF上で滞留することなく重力方向下方へ流れるので効果的であり、傾斜角α1の角度を30度〜60度の間とすれば、切断補助液SLのウエハWF上での滞留と、重力方向下方への流れとの両方のバランスがよくなり、さらに効果的である。なお、第1支持手段20Aの傾斜角α1と第2支持手段20Bの傾斜角α1とは、同じでもよいし異なっていてもよい。
移動手段40は、図3(F)に示すように、3体以上(同図では4体)の支持手段20と単数の切れ目形成手段30とを相対移動させ、3体以上のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUまたは切断予定線を形成する構成でもよいし、同図に示すように、各ウエハWFに対してそれぞれ半分の位置にまで切断線CUまたは切断予定線が形成された際、支持手段20で支持しているもの同士が当接しないタイミングで複数の支持手段20と単数の切れ目形成手段30とを相対移動させてもよく、この場合、一度に多くのウエハWFに切断線CUまたは切断予定線を形成することができる。
移動手段40は、チャックモータやチェックシリンダ等の把持手段を備え、当該把持手段で支持手段20を着脱可能な構成としてもよいし、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、6軸以下の多関節ロボット、7軸以上の多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできるし、第1方向に延出した切断線CUまたは切断予定線のみを形成してもよいし、第2方向に延出した切断線CUまたは切断予定線のみを形成してもよいし、第1、第2方向以外のその他の方向に延出した切断線CUまたは切断予定線を形成してもよいし、切断線CUまたは切断予定線を1本だけ形成してもよいし、直線でなく曲線や他の図柄さらには円形、楕円形、多角形等の切断線CUまたは切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFの端縁にまで至らない切断線CUまたは切断予定線を形成してもよい。
移動手段40は、ウエハWFを貫通する切込が断続的に続くように、支持手段20と切れ目形成手段30とを離間接近させながら相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込が連続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込が断続的に続くように、支持手段20と切れ目形成手段30とを離間接近させながら相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、例えば、切れ目形成手段30としてミシン目ロータリカッター刃を採用し、ウエハWFを貫通または貫通することのない切込が断続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、例えば、切れ目形成手段30として上述のようにレーザやイオンビーム等を出力するものを採用し、ウエハWFを貫通する切込またはウエハWFを貫通することのない切込が連続的または断続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、切れ目形成手段30として上述のようにレーザやイオンビーム等を出力するものを採用し、移動手段40による支持手段20の移動に合わせてその出力のON−OFF動作を繰り返すことで、ウエハWFを貫通する切込またはウエハWFを貫通することのない切込が連続的または断続的に続くような切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通する切込とウエハWFを貫通することのない切込とが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続くようにして当該ウエハWFに切断予定線を形成してもよい。
移動手段40は、図2(A)に示すMD方向に回転するロータリカッター刃32に対し、第1支持手段20Aをロータリカッター刃32の左側上方から右方へ移動させ、且つ、第2支持手段20Bをロータリカッター刃32の右側下方から左方へ移動させることで、各ウエハWFそれぞれに同時に切断線CUまたは切断予定線を形成してもよい。この場合でも、移動手段40は、ロータリカッター刃32の回転方向に対する複数のウエハWFの移動方向がそれぞれ同じになるように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させて切断線CUまたは切断予定線を形成することになる。
移動手段40は、図3(B)に示すように、切れ目形成刃の回転方向(MD方向)に対する複数のウエハWFの移動方向がそれぞれ同じにならないように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させてもよいし、各ウエハWFに形成される切断線CUまたは切断予定線の形状が全て同じとなるように、全てが異なるように、または、一部が同じで他が異なるように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させてもよい。
移動手段40は、図3(F)に示すように、3体以上(同図では4体)の支持手段20と単数の切れ目形成手段30とを相対移動させ、3体以上のウエハWFそれぞれに同時に所定形状の切断線CUまたは切断予定線を形成する構成でもよいし、同図に示すように、各ウエハWFに対してそれぞれ半分の位置にまで切断線CUまたは切断予定線が形成された際、支持手段20で支持しているもの同士が当接しないタイミングで複数の支持手段20と単数の切れ目形成手段30とを相対移動させてもよく、この場合、一度に多くのウエハWFに切断線CUまたは切断予定線を形成することができる。
移動手段40は、チャックモータやチェックシリンダ等の把持手段を備え、当該把持手段で支持手段20を着脱可能な構成としてもよいし、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、6軸以下の多関節ロボット、7軸以上の多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできるし、第1方向に延出した切断線CUまたは切断予定線のみを形成してもよいし、第2方向に延出した切断線CUまたは切断予定線のみを形成してもよいし、第1、第2方向以外のその他の方向に延出した切断線CUまたは切断予定線を形成してもよいし、切断線CUまたは切断予定線を1本だけ形成してもよいし、直線でなく曲線や他の図柄さらには円形、楕円形、多角形等の切断線CUまたは切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFの端縁にまで至らない切断線CUまたは切断予定線を形成してもよい。
移動手段40は、ウエハWFを貫通する切込が断続的に続くように、支持手段20と切れ目形成手段30とを離間接近させながら相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込が連続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通することのない切込が断続的に続くように、支持手段20と切れ目形成手段30とを離間接近させながら相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、例えば、切れ目形成手段30としてミシン目ロータリカッター刃を採用し、ウエハWFを貫通または貫通することのない切込が断続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、例えば、切れ目形成手段30として上述のようにレーザやイオンビーム等を出力するものを採用し、ウエハWFを貫通する切込またはウエハWFを貫通することのない切込が連続的または断続的に続くように支持手段20と切れ目形成手段30とを相対移動させ、ウエハWFに切断予定線を形成してもよいし、切れ目形成手段30として上述のようにレーザやイオンビーム等を出力するものを採用し、移動手段40による支持手段20の移動に合わせてその出力のON−OFF動作を繰り返すことで、ウエハWFを貫通する切込またはウエハWFを貫通することのない切込が連続的または断続的に続くような切断予定線を形成してもよいし、ウエハWFを貫通する切込とウエハWFを貫通することのない切込とが規則的または不規則的に、連続的または断続的に続くようにして当該ウエハWFに切断予定線を形成してもよい。
移動手段40は、図2(A)に示すMD方向に回転するロータリカッター刃32に対し、第1支持手段20Aをロータリカッター刃32の左側上方から右方へ移動させ、且つ、第2支持手段20Bをロータリカッター刃32の右側下方から左方へ移動させることで、各ウエハWFそれぞれに同時に切断線CUまたは切断予定線を形成してもよい。この場合でも、移動手段40は、ロータリカッター刃32の回転方向に対する複数のウエハWFの移動方向がそれぞれ同じになるように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させて切断線CUまたは切断予定線を形成することになる。
移動手段40は、図3(B)に示すように、切れ目形成刃の回転方向(MD方向)に対する複数のウエハWFの移動方向がそれぞれ同じにならないように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させてもよいし、各ウエハWFに形成される切断線CUまたは切断予定線の形状が全て同じとなるように、全てが異なるように、または、一部が同じで他が異なるように、各支持手段20A、20Bと切れ目形成手段30とを相対移動させてもよい。
塵埃遮蔽手段50は、上側の遮蔽板51だけでもよいし、下側の遮蔽板51だけでもよいし、遮蔽板51に代えてまたは併用して、減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧手段で塵埃を吸引するものを採用してもよいし、塵埃除去手段52をスリット51Aの外部に配置してもよいし、塵埃除去手段52を備えていない遮蔽板51を採用してもよいし、本発明の切断装置10に備わっていなくてもよい。
塵埃除去手段52は、大気、単体ガス、複合ガス等の気体や、水、洗浄液、オイル等の液体等を切れ目形成刃に吹き付けたり当てたりすることで当該切れ目形成刃に付着した付着物を除去する構成でもよい。
塵埃除去手段52は、大気、単体ガス、複合ガス等の気体や、水、洗浄液、オイル等の液体等を切れ目形成刃に吹き付けたり当てたりすることで当該切れ目形成刃に付着した付着物を除去する構成でもよい。
切断装置10は、天地反転して配置したり横向きに配置したりして、ウエハWFに切断線CUまたは切断予定線を形成してもよい。
一体物WKの位置決めは、例えば、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のV型、U型等の切欠に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を当て嵌めてもよいし、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のフラット部に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を押し当ててもよい。
切断装置10は、位置決めすることなく支持面21A上に載置された一体物WKやウエハWFを吸着保持した後、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段でウエハWFの位置を検知し、当該図示しない検知手段の検知結果を基に、移動手段40が同時切断動作を行ってもよい。
切断装置10は、切断予定線が形成された切断対象物に、例えば張力や振動等の外力を付与して当該切断対象物を完全に切断する張力付与手段や振動付与手段を備えていてもよく、このような、張力付与手段としては、例えば、切断対象物を引っ張るエキスパンド装置や、切断対象物を繰り出す繰出装置等が例示でき、振動付与手段としては、例えば、切断対象物に所定波長の振動を付与するバイブレータや、切断対象物を研削するグラインダ等が例示できる。
フレーム部材は、円形や多角形の環状のものでもよいし、閉ループ状のものでもよいし、一部が繋がっていない環状のものでもよい。
一体物WKの位置決めは、例えば、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のV型、U型等の切欠に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を当て嵌めてもよいし、リングフレームRFに形成された1箇所または複数箇所のフラット部に、支持面21A上に設けられた図示しない1体または複数体の位置決め部材を押し当ててもよい。
切断装置10は、位置決めすることなく支持面21A上に載置された一体物WKやウエハWFを吸着保持した後、カメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段でウエハWFの位置を検知し、当該図示しない検知手段の検知結果を基に、移動手段40が同時切断動作を行ってもよい。
切断装置10は、切断予定線が形成された切断対象物に、例えば張力や振動等の外力を付与して当該切断対象物を完全に切断する張力付与手段や振動付与手段を備えていてもよく、このような、張力付与手段としては、例えば、切断対象物を引っ張るエキスパンド装置や、切断対象物を繰り出す繰出装置等が例示でき、振動付与手段としては、例えば、切断対象物に所定波長の振動を付与するバイブレータや、切断対象物を研削するグラインダ等が例示できる。
フレーム部材は、円形や多角形の環状のものでもよいし、閉ループ状のものでもよいし、一部が繋がっていない環状のものでもよい。
本発明における切断対象物、接着シートASおよびフレーム部材の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、切断対象物は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよい。切断対象物が接着シートASの場合、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよい。また、このような接着シートASは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材シートと接着剤層とだけで構成されたもの、基材シートと接着剤層との間に中間層を有するもの、接着剤層の間に中間層を有するもの等、1層または2層以上のものであってよい。また、切断対象物としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板、紙、ゴムまたは樹脂等の単体物であってもよいし、それら2つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートASを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。
前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。
10…切断装置
20…支持手段
30…切れ目形成手段
31…回動モータ(回転手段)
32…ロータリカッター刃(切れ目形成刃)
40…移動手段
50…塵埃遮蔽手段
CU…切断線
WF…ウエハ(切断対象物)
20…支持手段
30…切れ目形成手段
31…回動モータ(回転手段)
32…ロータリカッター刃(切れ目形成刃)
40…移動手段
50…塵埃遮蔽手段
CU…切断線
WF…ウエハ(切断対象物)
Claims (9)
- 切断対象物を支持する支持手段と、
前記切断対象物に切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 切断対象物に切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成手段と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切れ目形成手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 切断対象物を支持する支持手段と、
前記切断対象物に切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成手段と、
前記支持手段と切れ目形成手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動手段とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断装置。 - 前記切れ目形成手段は、回転手段と当該回転手段で回転される切れ目形成刃とを備え、
前記移動手段は、前記切れ目形成刃の回転方向に対する前記複数の切断対象物の移動方向がそれぞれ同じになるように、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の切断装置。 - 前記移動手段は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とのそれぞれの相対移動方向を水平方向に交差する方向とすることを特徴とする請求項1乃至請求項4に記載の切断装置。
- 前記切れ目、切断線または切断予定線の形成によって、前記切断対象物から発せられた塵埃が他の切断対象物に当たることを抑制する塵埃遮蔽手段を備えていることを特徴とする請求項1乃至請求項5に記載の切断装置。
- 切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
前記切断対象物に切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成手段と前記支持手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを有し、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。 - 切断対象物に切れ目形成手段で切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成工程と、
前記切断対象物を支持する支持手段と前記切れ目形成手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。 - 切断対象物を支持手段で支持する支持工程と、
前記切断対象物に切れ目形成手段で切断線または切断予定線の基となる切れ目を形成する切れ目形成工程と、
前記支持手段と切れ目形成手段とを相対移動させ、前記切断対象物に所定形状の切断線または切断予定線を形成する移動工程とを備え、
前記支持手段は、複数で構成されるとともに、前記切れ目形成手段は、単数で構成され、
前記移動工程は、前記複数の支持手段と前記単数の切れ目形成手段とを相対移動させ、前記複数の切断対象物それぞれに同時に前記所定形状の切断線または切断予定線を形成することを特徴とする切断方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017004927A JP2018116955A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017004927A JP2018116955A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2018116955A true JP2018116955A (ja) | 2018-07-26 |
Family
ID=62984049
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2017004927A Pending JP2018116955A (ja) | 2017-01-16 | 2017-01-16 | 切断装置および切断方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2018116955A (ja) |
-
2017
- 2017-01-16 JP JP2017004927A patent/JP2018116955A/ja active Pending
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